DE1440594B2 - Lichtbogenanordnung zur erzeugung eines hochtemperatur plasmas - Google Patents

Description

1 2

Die Erfindung betrifft eine Lichtbogenanordnung Hilfslichtbogen zwischen einer massiven ersten Elek-

zur Erzeugung eines Hochtemperatur-Plasmas mit trode und einer massiven zweiten seitlichen Hilfs-

einer Gleichstromquelle, deren einer Pol an einer elektrode. Dieser Hilfslichtbogen brennt aber dann

ersten Elektrode, deren anderer Pol an einer düsen- immer an einer Seite der Elektroden, wo er sich

förmigen zweiten Elektrode liegt und die dazu dient, 5 konzentriert und eine starke Aufheizung hervorruft,

einen Lichtbogen zwischen diesen beiden Elektroden was wiederum zu einer unwirtschaftlichen örtlichen

zu zünden und zu unterhalten, mit Mitteln zum Er- starken Abnutzung der Elektroden führt,

zeugen eines von der ersten Elektrode auf die zweite Deswegen ist es auch schon bekanntgeworden,

Elektrode gerichteten und durch die Düse hindurch- den Zündlichtbogen dadurch zu ersetzen, daß einem

tretenden Gasstromes und mit einer zweiten Strom- 10 mit Wechselstrom gespeisten Leistungsbogen zwi-

quelle, die mit einer dritten Elektrode sowie mit sehen zwei Elektroden ein hochfrequenter Hilfs-

einer von der ersten Elektrode verschiedenen ande- strom überlagert wird. Mit »hochfrequent« ist dabei

ren Elektrode verbunden ist und dazu dient, das aus eine Schwingungszahl gemeint, welche bewirkt, daß

der zweiten Elektrode ausströmende Plasma weiter nach jedem Wechsel der Polarität das Feld zwischen

aufzuheizen (vgl. deutsche Patentschrift 1 006 676). ₁₅ den Elektroden noch hinreichend ionisiert bleibt, um

Bei den bekannten Lichtbogenanordnungen dieser den Leistungsbogen nach dem Nulldurchgang des Art wird zwischen einer massiven ersten Elektrode Wechselstroms unverzögert zünden zu lassen. Dies und einer düsenförmigen zweiten Elektrode mittels wird beispielsweise ermöglicht mit einer Frequenz einer Gleichstromquelle, welche an diese beiden des Hilfsstroms von etwa 1 kHz. Die Anwendung Elektroden gelegt ist, ein Lichtbogen gebildet und 20 einer solchen hohen Frequenz führt aber zu uneraufrechterhalten. Ferner wird bei diesen Lichtbogen- wünschten Störstrahlungen. Außerdem wurde festanordnungen ein Gasstrom mit dem Lichtbogen in gestellt, daß dabei die Nachzündungen des Leistungs-Berührung gebracht und durch die Düsenelektrode bogens unzuverlässig sind. Ferner ist dabei nachteilig, geleitet, um das durch den Lichtbogen gebildete daß der Zündfleck des Hauptlichtbogens wandert. Plasma zu einer dritten Elektrode zu treiben. Die 25 Zur Unterdrückung dieses letzteren Nachteils hat Gleichstromquelle dient dabei nicht nur zur Auf- man noch vorgeschlagen, die Rotation des Lichtrechterhaltung des Lichtbogens zwischen der mas- bogens um die Elektrodenachse durch ein elektrosiven Elektrode und der Düsenelektrode, sondern magnetisches Feld zu unterdrücken, was aber nur vor allem auch zur Aufheizung des durch den Licht- teilweise Abhilfe brachte.

bogen gebildeten "und zu der dritten Elektrode ge- ₃₀ Schließlich ist es schon bekannt, einen dauernden, triebenen Plasmas, und zwar durch die Wirkung _mit Gleichstrom gespeisten Zündlichtbogen während Joulescher Wärme. Die bekannten Lichtbogenan- des Betriebs des mit Wechselstrom gespeisten Hauptordnungen können auch eine zweite Gleichstrom- lichtbogens zu unterhalten, wobei eine erste Elektrode quelle aufweisen, die mit der Düsenelektrode und einmal mit einer zu ihr koaxialen Düsenelektrode der dritten Elektrode in Verbindung steht und die ₃₅ über eine Hilfsgleichstromquelle, zum anderen mit dazu dient, einen Strom für eine zusätzliche Auf- einer dritten Elektrode über eine Wechselstromquelle heizung des zu der dritten Elektrode getriebenen hoher Leistung verbunden war. Zu dieser dritten Plasmas zu liefern. Elektrode wurde der Plasmastrom, dessen Erzeugung

Da es erwünscht ist, in dem gebildeten Plasma am Eingang der Düsenelektrode erfolgte, getrieben,

sehr hohe Temperaturen zu erzeugen, muß die zur ₄₀ Die Gleichstromquelle war beispielsweise für 30 Am-

Anwendung gelangende elektrische Leistung groß p_ere ausgelegt, während die Wechselstromquelle zur

sein. Die bei den bekannten Lichtbogenanordnungen Aufheizung des Plasmas einige hundert Ampere zu

zur Erzielung einer großen Leistung erforderlichen liefern hatte. Es wurde jedoch festgestellt, daß mit

Gleichstromquellen sind jedoch kostspielig, und dieser Anordnung auch nicht die Auslöschung des

zwar wegen der bei ihnen benötigten umfrangreichen 45 Leistungsbogens nach jedem Nulldurchgang mit den

und teuren Geräte. So sind bei diesen Gleichstrom- dadurch bewirkten Nachteilen vermieden werden

quellen mehrere Gleichrichter oder Umformer großer kann, daß dabei also der Zündlichtbogen nutzlos ist.

Leistung notwendig. Deswegen wird bei anderen Der Grund hierfür dürfte darin liegen, daß in dem

bekannten Lichtbogenanordnungen der Lichtbogen gemeinsamen Teil der beiden Stromkreise, nämlich

nur mit Wechselstrom gespeist. Dabei schnürt sich 50 zwischen der ersten Elektrode und der Düsenelek-

aber das gebildete Plasma an den Elektrodenober- trode, der Wechselstrom für den Leistungslichtbogen

flächen ein, und zwar entsprechend der Temperatur- den viel schwächeren Gleichstrom für den Hilfslicht-

verteilung auf den Elektroden. bogen additiv überlagert, so daß das Niveau der

Wenn die Elektroden bei Wechselstrombetrieb Nulldurchgänge nur verschoben wird, aber kein nicht gekühlt werden, wird deren Lebensdauer in- 55 Gleichstrom im Zündbereich mehr wirksam ist.
folge der Ausbildung von lokalen Schmelzkratern Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine an ihnen beeinträchtigt. Dem läßt sich zwar durch Lichtbogenanordnung zur Erzeugung eines Plasmas Kühlung der Wechselstromelektroden entgegen- von hoher Temperatur zu schaffen, bei welcher der wirken. Dabei wird aber die Kontraktion des Licht- Zündlichtbogen dauernd aufrechterhalten werden bogens im Oberflächenbereich der Elektroden infolge 60 kann und bei welcher somit eine augenblickliche der Neuzündung nach jedem Nulldurchgang des Neuzündung des Leistungsbogens nach jedem Null-Lichtbogenstromes verstärkt. durchgang des ihn speisenden Wechselstroms ermög-

Es sind bereits mehrere Maßnahmen bekannt, um licht wird.

die Kontraktion des Lichtbogens an den gekühlten Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung

Wechselstromelektroden zu unterdrücken. Diese 65 bei einer Lichtbogenanordnung der eingangs genann-

Maßnahmen sind jedoch ebenfalls mit Nachteilen ten Art vor, daß die zweite Stromquelle eine

verbunden. Wechselstromquelle ist.

Zum Beispiel unterhielt man einen dauernden Bei dieser Lichtbogenanordnung überlagert sich

der Wechselstrom nicht mehr dem Gleichstrom zwischen den beiden mit der Gleichstromquelle verbundenen Elektroden. Infolgedessen gelangt ein ununterbrochener Strom ionisierten Plasmas aus dem Bereich des dauernd brennenden Zündlichtbogens zwischen die beiden letzteren Elektroden, also in den Bereich des mit Wechselstrom gespeisten Leistungsbogens. Dadurch wird dessen Zündung nach jedem Nulldurchgang des Leistungsstromes ohne Verzögerung ermöglicht. Man kann also einen stabilen sowie wirtschaftlichen Betrieb mit einem Hauptlichtbogen aus einer verhältnismäßig billigen Wechselstromquelle hoher Leistung durch einen schwachen elektrisch getrennten Hilfslichtbogen mit Gleichstrom geringer Leistung erhalten.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung kann die andere Elektrode, an welche die Wechselstromquelle angeschlossen ist, die Düsenelektrode sein, mit welcher die Gleichstromquelle in Verbindung steht. Dies bedeutet dann, daß die Gleichstromquelle und die Wechselstromquelle einen einzigen Pol gemeinsam haben, und zwar an der Düsenelektrode.

Nach einer anderen Ausführungsform ist es so, daß die andere Elektrode, mit welcher die Wechselstromquelle in Verbindung steht, eine in Strahlrichtung hinter der dritten Elektrode angeordnete vierte Elektrode ist und daß die dritte Elektrode sowie die vierte Elektrode als Düsenelektroden ausgebildet sind.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die dritte Elektrode gleichfalls als Düsenelektrode ausgebildet ist. Gegebenenfalls kann weiterhin vorgesehen sein, daß die dritte Elektrode über eine Gleichstromquelle mit einer vierten Elektrode verbunden ist, die koaxial zu dieser weiteren Düsenelektrode liegt, und daß die aus der zweiten Elektrode und der dritten Elektrode austretenden Plasmastrahlen gegeneinander gerichtet sind.

Eine andere Ausführungsform kennzeichnet sich dadurch, daß eine Phase einer mehrphasigen Stromquelle an die Düsenelektrode angeschlossen ist, daß die anderen Phasen dieser Stromquelle mit zusätzlichen Düsenelektroden in Verbindung stehen, die von der ersten Düsenelektrode getrennt sind, daß die Düsenelektroden über Gleichstromquellen mit je einer koaxial zu ihnen angeordneten massiven Elektrode verbunden sind und daß die aus den Düsenelektroden austretenden Plasmastrahlen gegeneinander gerichtet sind.

Bei einer weiteren ähnlichen Ausführungsform, bei welcher ebenfalls eine Phase einer mehrphasigen Stromquelle an die Düsenelektrode gelegt ist, ist vorgesehen, daß die anderen Phasen dieser Stromquelle zu Elektroden führen, welche von der ersten Elektrode getrennt sind und von denen eine Elektrode massiv und die weiteren als Düsenelektroden ausgebildet sind, daß die Düsenelektroden über Gleichstromquellen an zu ihnen koaxial liegende massive Elektroden angeschlossen sind und daß die aus den Düsenelektroden austretenden Plasmastrahlen gegen einen gemeinsamen Arbeitspunkt auf der massiven Elektrode gerichtet sind.

Bei allen Ausführungsformen kann auch noch vorgesehen sein, daß die an die Wechselstromquelle angeschlossenen Elektroden in ihrem Abstand gegeneinander verstellbar ausgeführt sind.

Die Erfindung wird in der Zeichnung an Hand von schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert, und zwar zeigt

Fig. 1 eine Lichtbogenanordnung mit einer Gleichstromquelle und einer Wechselstromquelle zwischen drei Elektroden,

F i g. 2 die Anordnung nach F i g. 1, ergänzt um eine Einrichtung zur Verstellung der Elektrodenabstände,

F i g. 3 bis 5 Lichtbogenanordnungen mit mehreren Elektroden sowie Gleichstromquellen und Wechselstromquellen,

ίο Fig. 6 und 7 Lichtbogenanordnungen mit mehreren Elektroden sowie Gleichstromquellen und einer dreiphasigen Wechselstromquelle,

F i g. 8 eine F i g. 1 ähnliche Lichtbogenanordnung, Fig. 9 ein Schaltschema für die Trennung des Gleichstrom- und Wechselstromkreises,

Fig.10 eine Variante zu Fig. 9 in schaubildlicher Ansicht.

Die Lichtbogenanordnung gemäß Fig. 1 besitzt eine Gleichstromquelle 2, deren einer Pol mit einer massiven ersten Elektrode 3 verbunden ist, und deren anderer Pol an einer düsenförmigen zweiten Elektrode 4 liegt. Mit der Stromquelle 2 kann ein dauernd brennender Lichtbogen zwischen den Elektroden 3 und 4 gezogen werden. Das von diesem erzeugte ionisierte Plasma wird mit einem durch die Pfeile 5 angedeuteten Gasstrom in die Düsenelektrode 4 getrieben, bis zur Berührung mit einer dritten Elektrode 6. Der homogene Plasmastrom ist mit 7 bezeichnet. Die dritte Elektrode 6 liegt an einer Wechselstromquelle, beispielsweise der Sekundärwicklung 8 eines Transformators 9, dessen Primärwicklung in herkömmlicher Weise gespeist ist. Das andere Sekundärende liegt an der Elektrode 4, also an einer von der ersten Elektrode 3 getrennten Stromzuführung. Der ununterbrochene Plasmastrom zwischen den Elektroden 4 und 6 des Wechselstromkreises ermöglicht die unverzögerte Zündung des Wechselstromlichtbogens nach jedem Nulldurchgang. Der so erhaltene Wechselstromlichtbogen kann beispielsweise zum Schneiden des Werkstückes 6 dienen, welches die dritte Elektrode bildet, oder zum Auftragen einer Schweißnaht auf dieses Werkstück.

Die Düsenelektrode 4 ist in an sich bekannter Weise mit einer von Kühlflüssigkeit durchströmten Ringkammer 10 ausgerüstet. Die Flüssigkeit tritt durch ein Zuführungsrohr 11 in die Ringkammer 10 ein und verläßt die Ringkammer durch ein Abführungsrohr 12.

Durch die Energie des Wechselstromlichtbogens zwischen den Elektroden 4 und 6 wird das Plasma 7 aufgeheizt, so daß es sich ausdehnt. Infolgedessen können diese beiden Elektroden 4 und 6 auseinandergezogen werden, ohne daß der Plasmastrom abreißt. Die Entfernung zwischen den Elektroden 4 und 6 kann z. B. vergrößert werden, um den Spannungsabfall im Wechselstromlichtbogen und damit die Heizleistung ohne Erhöhung des Stromes, also bei gleichbleibender Verlustwärme in den Elektroden und deren Zuführungsleitungen, vergrößern zu können.

Zu diesem Zweck kann die aus den Elektroden 3 und 4 gebildete Einheit gegenüber der Elektrode 6 verschieblich angeordnet sein, wie dies in Fig. 2 schematisch dargestellt ist. Dabei ist die erwähnte Elektrodeneinheit 3, 4 auf einem Wagen 13 montiert, der an einer Zahnstange 14, sitzt, die in Führungen 15, 16 gleitbar ist und mit einem Ritzel 17 kämmt, dessen Winkellage mittels einer Handkurbel

quelle 2 und der Wechselstromquelle 8, 9 zu der Düsenelektrode 4 von einem gemeinsamen Leitungsdraht 41 gebildet. Die Verbindung zwischen der Gleichstromquelle 2 und der massiven Elektrode 3 5 ist dabei mit 42 bezeichnet, während die Leitung zwischen der Wechselstromquelle 8, 9 und der Elektrode 6 das Bezugszeichen 43 hat.

Um zu verhindern, daß ein Teil des Gleichstroms in dem Wechselstromkreis 8, 41, 7, 6, 43 das Eisen

18 einstellbar ist. Diese oder eine äquivalente Einstellung ist auch bei den übrigen Ausführungsbeispielen verwendbar.

Bei der Lichtbogenanordnung nach F i g. 3 ist eine dritte Elektrode 19 vorgesehen, welche ebenfalls düsenförmig ausgeführt ist. Diese Düsenelektrode 19 ist an eine Gleichstromquelle 20 gelegt, deren anderer Anschluß zu einer vierten, koaxial zu der Elektrode

19 liegenden massiven Elektrode 21 führt.

Ein Gasstrom 22 treibt das in dem Gleichstrom- io des Transformators 8, 9 vormagnetisiert, kann der lichtbogen zwischen den Elektroden 19 und 21 ge- Transformator 8, 9 in an sich bekannter Weise mit bildete Plasma durch die Elektrode 19 gegen den einer Kompensationswicklung betrieben werden. Plasmastrahl 7, der durch die Elektrode 4 geführt Umgekehrt kann die Überlagerung des Gleichstroms ist. Die Vereinigung der beiden ionisierten Plasma- für den Zündlichtbogen mit Wechselstrom durch strahlen ermöglicht wiederum unverzögerte Zündun- 15 Drosseln in dem Gleichstromkreis verhindert gen des Wechselstromlichtbogens aus der Strom- werden,
quelle 8, 9. In F i g. 9, welche diese Maßnahmen zeigt, stellen

Bei der Lichtbogenanordnung gemäß F i g. 4 ist 41 und 43 die Wechselstromleiter und 41 und 42 die die düsenförmig ausgeführte dritte Elektrode 19 nicht Gleichstromleiter dar. Die dargestellten Widerstände mit einer Gleichstromquelle verbunden, wie bei der 20 44 und 45 sind dabei diejenigen der Entladungs-Anordnung nach Fig. 3. Sie steht vielmehr lediglich strecken zwischen der massiven Elektrode 3 und der mit der Wechselstromquelle 8, 9 in Verbindung. Der Düsenelektrode 4 sowie zwischen dieser und der Plasmastrahl 7 wird dabei, aufgeheizt durch den Elektrode 6.

Wechselstromlichtbogen aus der Stromquelle 8, 9, Bei dieser Ausführungsform sitzt äüf dem Kern

durch die Elektrode 19 gegen das Werkstück gespült, 25 46 des Transformators 9 eine Kompensationswickz. B. gegen einen zu schneidenden Block 6', welcher lung 47, welche zur Unterdrückung der Gleichstromelektrisch von der Lichtbogenanordnung völlig Vormagnetisierung dient. Ferner sind bei dieser isoliert ist. Ausführungsform in dem Gleichstromkreis 2, 42, 44,

Bei der Lichtbogenanordnung gemäß Fig. 5 ist 41 mit der Gleichstromquelle 2 Drosseln 49, 48 zur der Plasmastrahl 7 -aus dem Lichtbogen zwischen den 30 Unterdrückung eines Wechselstrom-Überlagerungs-Elektroden 3, 4 hinreichend dicht, um nach dem stromes in Reihe geschaltet.

Durchqueren der Elektrode 19 eine vierte Elektrode Auch bei einer Anordnung mit einer dreiphasigen

119 zu erreichen, die von den Elektroden 3 und 4 Stromquelle kann wenigstens eine Kompensationsunabhängig und mit der Elektrode 19 über die wicklung auf dem Transformatorkern angeordnet Wechselstromquelle 8, 9 verbunden ist. Infolgedessen 35 werden, um eine Gleichstrom-Vormagnetisierung zu sind der Gleichstromkreis und der Wechselstromkreis vermeiden. So kann, wie dies Fig. 10 zeigt, beivollständig voneinander getrennt. Das Plasma 7 wird spielsweise eine Gleichstromspule 55 auf dem neubei dieser Anordnung ebenfalls mittels eines Gas- tralen Schenkel 51 des Transformators 50, der stromes 5 durch die Elektrodendüsen getrieben. Arbeitsschenkel 52, 53, 54 sowie Arbeitswicklungen

Bei der Lichtbogenanordnung nach F i g. 6 liegt 4° 57, 58, 59 aufweist, zur Anordnung gelangen. Die die Düsenelektrode 4 an einer Phase 24 einer drei- Gleichstromspule 55 wird dabei von einer Kompenphasigen Stromquelle 25, deren andere Phasen 26 sations-Stromquelle 56 gespeist,
und 27 mit zwei zusätzlichen Düsenelektroden 19
bzw. 28 verbunden sind. Dabei sind die Düsenelektroden 4, 19, 28 über Gleichstromquellen 2 bzw. 20 45
bzw. 29 mit je einer koaxial zu ihnen angeordneten
massiven Elektrode 3 bzw. 21 bzw. 30 verbunden.
Die Düsenelektroden sowie die massiven Elektroden
sind so zueinander angeordnet, daß deren Plasmastrahlen 7, 23, 32 aus den Gleichstromlichtbögen 50
durch Gasströme 5, 31, 22 gegeneinander gerichtet
sind und sich an einer Stelle vereinigen.

F i g. 7 zeigt eine Lichtbogenanordnung, welche derjenigen der F i g. 6 ähnlich ist. Jedoch liegt bei dieser Lichtbogenanordnung eine Phase 26 der dreiphasigen Stromquelle 25 an einer massiven Elek-

Claims (8)

Patentansprüche: trode33, von der kein Plasmastrahl ausgeht. Die Elektroden 3, 4 und 30, 28 sind dabei so angeordnet, daß deren Plasmastrahlen 7 bzw. 32 an der Elektrode 33 aufeinandertreffen. Die Ausführungsbeispiele gemäß den F i g. 6 und 7 sind jedoch nicht auf Dreiphasenstrom beschränkt; es muß nur die Anzahl der Elektroden, von denen Wechselstromlichtbögen ausgehen, der Phasenzahl angepaßt sein. Die Lichtbogenanordnung nach F i g. 8 entspricht derjenigen der Fig. 1. Jedoch werden bei dieser Anordnung die Zuleitung von der Gleichstrom- 60

1. Lichtbogenanordnung zur Erzeugung eines Hochtemperatur-Plasmas mit einer Gleichstromquelle, deren einer Pol an einer ersten Elektrode, deren anderer Pol an einer düsenförmigen zweiten Elektrode liegt und die dazu dient, einen Lichtbogen zwischen diesen beiden Elektroden zu zünden und zu unterhalten, mit Mitteln zum Erzeugen eines von der ersten Elektrode auf die zweite Elektrode gerichteten und durch die Düse hindurchtretenden Gasstromes und mit einer zweiten Stromquelle, die mit einer dritten Elektrode sowie mit einer von der ersten Elektrode verschiedenen anderen Elektrode verbunden ist und dazu dient, das aus der zweiten Elektrode ausströmende Plasma weiter aufzuheizen, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Stromquelle eine Wechselstromquelle ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die andere Elektrode, an welche die Wechselstromquelle (8, 9; 25) angeschlossen ist, die Düsenelektrode (4, 19, 28) ist, mit welcher die Gleichstromquelle (2, 20, 29) in Verbindung steht.

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Elektrode (19) gleichfalls als Düsenelektrode ausgebildet ist.

4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Elektrode (19) über eine Gleichstromquelle (20) mit einer vierten Elektrode (21) verbunden ist, die koaxial zu dieser weiteren Düsenelektrode (19) liegt, und daß die aus der zweiten Elektrode (4) und der dritten Elektrode (19) austretenden Plasmastrahlen gegeneinander gerichtet sind.

5. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Phase (24) einer mehrphasigen Stromquelle (25) an die Düsenelektrode (4) angeschlossen ist, daß die anderen Phasen (26 bzw. 27) dieser Stromquelle (25) mit zusätzlichen Düsenelektroden (19 bzw. 28) in Verbindung stehen, die von der ersten Düsenelektrode (4) getrennt sind, daß die Düsenelektroden (4, 19, 28) über Gleichstromquellen (2 bzw. 20 bzw. 29) mit je einer koaxial zu ihnen angeordneten massiven Elektrode (3 bzw. 21 bzw. 30) verbunden sind und daß die aus den Düsenelektroden (4, 19, 28) austretenden Plasmastrahlen (5, 31, 22) gegeneinander gerichtet sind.

6. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Phase (24) einer mehrphasigen Stromquelle (25) an die Düsenelektrode (4) gelegt ist, daß die anderen Phasen (26, 27) dieser Stromquelle (25) zu Elektroden (33, 28) führen, welche von der ersten Elektrode (4) getrennt sind und von denen eine Elektrode (33) massiv und die weiteren als Düsenelektroden (28) ausgebildet sind, daß die Düsenelektroden (4, 28) über Gleichstromquellen (2, 29) an zu ihnen koaxial liegende massive Elektroden (3, 30) angeschlossen sind und daß die aus den Düsenelektroden (4, 28) austretenden Plasmastrahlen (7, 32) gegen einen gemeinsamen Arbeitspunkt auf der massiven Elektrode (33) gerichtet sind.

7. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die andere Elektrode, mit welcher die Wechselstromquelle (8, 9) in Verbindung steht, eine in Strahlrichtung hinter der dritten Elektrode (19) angeordnete vierte Elektrode (119) ist und daß die dritte Elektrode (19) sowie die vierte Elektrode (119) als Düsenelektroden ausgebildet sind.

8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die an die Wechselstromquelle (8, 9; 25) angeschlossenen Elektroden (4, 6; 4, 19; 4, 19, 28; 4, 28, 33; 19, 119) in ihrem Abstand gegeneinander verstellbar ausgeführt sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 109 52 VI7