DE1439714A1 - Verfahren zum sperrschichtfreien Kontaktieren eines Halbleiterkoerpers - Google Patents

Verfahren zum sperrschichtfreien Kontaktieren eines Halbleiterkoerpers

Info

Publication number
DE1439714A1
DE1439714A1 DE19641439714 DE1439714A DE1439714A1 DE 1439714 A1 DE1439714 A1 DE 1439714A1 DE 19641439714 DE19641439714 DE 19641439714 DE 1439714 A DE1439714 A DE 1439714A DE 1439714 A1 DE1439714 A1 DE 1439714A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lot
marked
solder
application
procedure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19641439714
Other languages
English (en)
Inventor
Alfred Bauer
Walter Klossika
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Telefunken Patentverwertungs GmbH
Original Assignee
Telefunken Patentverwertungs GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Telefunken Patentverwertungs GmbH filed Critical Telefunken Patentverwertungs GmbH
Publication of DE1439714A1 publication Critical patent/DE1439714A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/24Alloying of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, with a semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Description

  • wVerfahren mm sperrschichtfreien Kontaktieren
    einem Halbleiterköfflro"
    Die Brtindung betrifft ein Verfahren zum sperrschichtfrei-
    en Auflöten einen Halbleiterkörpers auf eine nichtsperrende
    Elektrode.
    Ein solchen Verfahren bereitet auch heute noch Schwierigkeiffl
    ten,v wenn en sich m die sperrschichtfre:Le Kontaktierung von
    Halbleiterkörpern'handelt, die die Kollektorzone einen Tran-
    nistors bilden. Untersuchungen haben nämlich ergebeng daß be:L
    Transistoren mit einen Kollektorkö rpe r als Ausgangekürger mit
    dem Auftreten den sogenannten Tbjristoroffekten zu rechnen istg
    wenn der Kollektorkörper nicht einwaaHre:L nichtzperrend komr-
    taktiert ist. Unter Tbjrinto»ffekt wird eine vin rwünschte
    Rückinjektion von Minoritätsladungeträgern in dIe Xollektor»-
    ne verstanden.
    Der Brrindung liegt die Aufgabe zugrundip, ein VOZfahrOM
    aufzuzeigen, weiches ganz allgemein eine eiUwa»UZ@i*
    aperrochichtfreit Kontaktierung von Halbleiterkörpern ge-
    stattet» Die Lösung der gestellten Aufgabe besteht erfin-
    dungegemäß darin# daß das Lot beim sperrschichtfreien Auf-
    löten eines Halbleiterkörpern auf eine nichtsperrende Blek-
    trode begrenzt wird*
    Das erfindungsgemäße Verfahren hat sich vor allem beim
    sperrachichtfreien Auflöten den Halbleiter.körpern auf ei-
    ne mit einem Lotüberzug versehene Elektrode bewährt. Der
    Firfindung liegt nämlich die Erkenntnis zugrunde, daß nur
    ein Teil des auf der Elektrode befindlichen Überzugsma-
    terials in das eigentliche Lot gelangen darf. Das Übrige
    Uberzugsmaterial muß dagegen am Eindringen in das Lot ge-
    hindert worden, wqs durch die Begrenzung des Loten Semäß
    der Erfindung geschieht.
    Zur Begrenzung des Lotes eignet sich beispielsweise ein
    vorzugs,weise ringföriaig ausgebildeter BegrenzungskÖrper,
    der beim aperrschichtfreien Auflüten einen Halbleiterkör-
    pers auf eine gleichzeitig als Trägerkörper dienende Elek-
    trode vor den Auflöten auf den Trägerkörper gelegt wird.
    Naoh dem den Loten In den BegrenzungekÖrper wird
    der aufzulötende Belbleiterkörper auf da* Lot gelegt und
    mehließlich mit den Trägerkörper verlbtete
    Die Erfindung wird im folgenden an einem AuatUhrungebeiapiel
    in Verbindung mit den Figuren 1 und 2 näher erläutert*
    .Die Fig. 1 zeigt zunächst das Trägerblech l# welches zur Kon-
    taktierung den p-leitenden lialbleiterkörpern 2 von Leitunge-
    t7p der Kollektürzone dient und aus diesen Grunde auoh Kollek-
    borbloch genamt wirdp Das Kollektorbloch 1 besteht belApiels-
    »ine aus den Warkstotfen Nialtele Yacon oder Kovar und ist
    mit einem GoldUberaug 3 versehene der duroh stromlose Vorgol-
    dung aufgebracht wirde Im Gegensatz zu anderen bekannten Vor-
    fahren genügt für den Go#dübereug eine Dicke von of.5 bis 1 /u
    statt lo bin 2o /up Das in "3&Mwichtom" gebracht* Lot 4 be.*
    s"ht aue oold-Gallinao Der zur Begrenzung den Loten 4 vor49-
    sehene Besmamman .5 kann aus denselben Materialien wie
    das Kollektorbleob bestehen" Der KollektorUrper 2 ist bereit$
    mit dem Bawie- und Ermittersonen sowie mit den Baute und Init-
    terelektroden 6 und 7 versehe4
    Zur Nerstellung einer sperrechichtfreien Lötverbindung
    zwischen -den mit einem -GoldUberzug 3 versehenen Kollek-
    torbleoh 1 und dem ffalbleiterkörper 2 wird nach Fig. 2
    zunächst der Begrensumgeriag .5 iut das Kollektorblech auf-
    gebracht, Anschließend wird das Lot 4 Ln den Begrensunge-
    ring 5 eint;clegt und der Halbleiterkörper auf das Gold-
    Gallium-Lot, welchen den Begrenzungsring Überragt, aufge-
    notzte, Das Lot kam beispielsweise aue'rj. In Kugelform vor-
    liegen, was der Fall ist, wenn en z.B. nach den Shottower-
    Verfahren hergestellt wird. Bei Verwendung einer Lotkugel
    empfiehlt en oichg das Lot in den Begrenvingsring einzu-
    pressen,
    Der eigentliche LE;tprozeß erfolgt dadurch, daß das System
    auf j-.#Öttennoratur gebracht und der Halbleiterkörper mit den
    Kollektorbloch verlätet wird, Die Wirkungsweise des Begren-
    zungsringes besteht darin» daß er-ein undeffinierten Ein-
    dringen von Gold aus dem außerhalb d(-a Begrensungsringes
    liegenden Teil den GoldÜberzugen in das Lot'verhindert. Ein
    grÖßerer Goldnachschub hätte nämlich partielle LösunjIavor-
    sänge mit daraus reaultierendien tiefen ,":1)pitzen in dem aus
    Germanium bestehenden Halbleiterkörper zur Folge, die einen
    Th7ristoroffekt
    verursachen wUrdOu. Für-das Gold-Gallium-
    Lot «PfiOhlt sich ein GewichtSverhältnis von 66.--34.

Claims (1)

1) ver:rab»a um Aope hiaktfreien Wlötm einen Zelbä. leiterkörpers auf eine niehtsperreMe Elekt»det daft»h gekennzeichnet# daß das tot be" da-flöten bogrenst wird* 2) Amendung des Verfahrem nwh Ampruch 1 beim Wlßtea den Halbleiterkgrpern pf eine mit einex Lötilbersug vez%o a"s» nichtopärrende Blektrodee 3) Anwendung dts Verfahren* nach Jümpruch 1 oder 2 bei* aperrsohiaht£»ion Wlötaa des RalbleiterUrpern auf *J.- mm Trägerkörpert 4)Verfahren nach eine* der 4#AU»k gekomseich»t,u daß des lot du»h ein«:Beg»nam4 ft begrenzt wird* 5-) Verfahren nach Armnruoh 4,8 gekenn»tok»b dumh «0 V»» Wendung einen ringfgrmigen ISOW rpe»o Verfähren nach einem der Ampi-Uhe 3 bin 5# dadxmä MO kennzeichnet, dAß der Begronsungskörper auf den T gelegt$ dus Lot in dem BegrensungoUrper gebraeht umd d« Halbleiterkörper auf das Lot gelegt und mit 621 verlatet wird&
7) Verfah»x noch Anspruch 69 dadurch gek«u»leb»tv dU d« Lot in Plbttenform in den Begrenzungakörper gelegt wird* 8) Verfahren nach Anspruch 6# dadurch Sekenazeichnet9 daß das ]Got in Kligelform In den Begrenzungskörper gelegt,- und amehlie- Bund in diesen eingepreßt wird. 9) Anwendung de Ei Verf ahrens nach -ei ndm der vorhergehenden Aum eptüche bei der sperrschichtfreien Kontaktieruffl den Kollek- torkörpers von Transistoren. 10) Anwendung den Verf.U=enn nach Anspruch 9 beim sperrg3chichto» freien Auflöten des Kollektorkörpers auf eine mit einem Gold- äberzug versehene Grundplatte, 11) Verfahren noch Anspruch 109 daduroh gekann»ioh»tv daß da* Lot bei VerwenKbin einen p.»leitewun zollolrterkufflrt am 4*ld-Gallium besteht, 12) Verft hren noch Annpruoh 119 dadurch gekommeiehnet9 daß &u Gold-Gallium in ein« G«ichte"rhältn" von 66 t 34 ver- »Udet wird, 13) Verfahren nach Anspruch -109 dadurch gekemseichmt,0 daß der Groldüberaug *im ticke w ow.5 bis 1 40u aufweistle
Vorgahr« m&oh @in« der vorgehenden Ansprüche# dadurcdz Wkomastiebaete daß die Grundplatte aus Nickel# 'facon oder
DE19641439714 1964-08-12 1964-08-12 Verfahren zum sperrschichtfreien Kontaktieren eines Halbleiterkoerpers Pending DE1439714A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DET0026789 1964-08-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1439714A1 true DE1439714A1 (de) 1969-08-14

Family

ID=7553047

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19641439714 Pending DE1439714A1 (de) 1964-08-12 1964-08-12 Verfahren zum sperrschichtfreien Kontaktieren eines Halbleiterkoerpers

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1439714A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3635708A1 (de) * 1986-10-21 1988-04-28 Bbc Brown Boveri & Cie Verfahren und anordnung zur kontaktierung einer elektrode mit mehreren emitter-/kathoden-bereichen eines halbleiterbauelementes
DE4142066A1 (de) * 1990-12-19 1992-07-30 Fuji Electric Co Ltd Elektrodenaufbau eines halbleiterelementes

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3635708A1 (de) * 1986-10-21 1988-04-28 Bbc Brown Boveri & Cie Verfahren und anordnung zur kontaktierung einer elektrode mit mehreren emitter-/kathoden-bereichen eines halbleiterbauelementes
DE4142066A1 (de) * 1990-12-19 1992-07-30 Fuji Electric Co Ltd Elektrodenaufbau eines halbleiterelementes

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1765164C3 (de) Verfahren zur Bindung von Stromleitern
DE1806835C3 (de) Solarzelle und Verfahren zur Herstellung ihrer Kontakte
DE1439714A1 (de) Verfahren zum sperrschichtfreien Kontaktieren eines Halbleiterkoerpers
DE1949754A1 (de) Verfahren zum nichtgalvanischen Plattieren von Gegenstaenden mit Nickel
DE2253830A1 (de) Integrierte halbleiteranordnung
DE102016124862A1 (de) Halbleitervorrichtung mit einer Lötmittelsperre
DE1952499A1 (de) Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements
DE1963756A1 (de) Auf Druck ansprechender elektrischer Wandler
DE1800347A1 (de) Halbleitereinrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE1182354B (de) Transistor
AT226779B (de) Verfahren zur Herstellung eines Transistors, insbesondere für Schaltzwecke
DE1627541A1 (de) Verfahren zum Erzielen gleichmaessiger Loetspalte
DE1960712C3 (de) Mechanisch-elektrischer Wandler mit einem Halbleiterkörper
DE1514912C3 (de) Verfahren zum Herstellen eines Transistors
AT228339B (de) Siliziumgleichrichter
AT222700B (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung aus Silizium
DE2028632A1 (de) Halbleiterbauelement
DE848623C (de) Verfahren zum Herstellen einer Loetverbindung zwischen einem Metall- und einem Keramikkoerper
DE1957774C (de) Verfahren zum Herstellen einer gleichrichtenden Halbleiteranordnung
DE1067529B (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung des Flaechentyps
AT212029B (de) Verfahren zur Herstellung von Verbundkörpern, die aus gegossenem Aluminium und Sinteraluminium bestehen
AT218570B (de) Verfahren zur großflächigen Kontaktierung eines einkristallinen Siliziumkörpers
AT228340B (de) Siliziumgleichrichter
DE1439273A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen mit pn-UEbergang,insbesondere von Gleichrichteranordnungen mit einer oder mehreren Gleichrichtertabletten aus Siliziumeinkristall
DE1116829B (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung