DE1414858A1 - Festkoerperschaltung mit eigener Stromversorgung - Google Patents
Festkoerperschaltung mit eigener StromversorgungInfo
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Description
"7
International Standard Electric Corporation, New York
International Standard Electric Corporation, New York
Festkörperschaltung mit eigener Stromversorgung
Die Erfindung bezieht sich auf Halbleiter-Festkörperschaltungen.
Eine der Schwierigkeiten, die bei der Herstellung von elektrischen
Halbleitervorrichtungen auftreten, besteht darin, wirksame ohmsehe
Kontakte anzubringen, so daß die Vorrichtungen gut an einen äußeren Stromkreis angeschlossen werden können. Ein weiteres
Problem besteht darin, daß elektrische Halbleitervorrichtungen
eine dichte Umhüllung benötigen. Die fertige Vorrichtung wird
daher meist in eine entsprechende Umhüllung eingebaut.
Gegenstand der Erfindung sind elektrische Halbleitervorrichtungen*
die eine in sich abgeschlossene Schaltungsanordnung darstellen, welche keine äußeren ohmschen Anschlüsse und keine teure oder
komplizierte Umhüllung zu ihrem Schutz benötigen. Die Festkörperschaltung
gemäß der Erfindung enthält einzelne Halbleiterelemente mit gewünschten Eigenschaften, die in geeigneter geometrischer
Anordnung zueinander angeordnet sind, wobei ein Halbleiterelement mit einem oder mehreren der anderen Elemente in Kontakt steht
und die Halbleiterschaltung mit Mitteln versehen ist, mit denen sie induktiv an einen äußeren Stromkreis angeschlossen werden
kann. Die Halbleiterschaltung gemäß der Erfindung kann aber auch
anstelle dessen oder zusätzlich mit kapazitiven Bütteln an einen äußeren Stromkreis angeschlossen werden·
(Dr.Bs.)Fr./n. - 5·10·ΐ961
80 980 2/0 19!
Si· Halbleiterschaltung kasn über eine iduktive oder kapazitive
Kopplung yon einem äußeren Stromkreis salt Strom versorgt werden
und Ihr Ausgang kann über tin· ander« induktive oder kapazitive
Kopplung an den gleichen ©der «inen anderen äuSeren Stromkreis
angeschlossen sein«
Bei einer Aueführungeform der Balbleitersehaltang gemäß der Erfindung hat diese eine eigen« Stromversorgungr so daß die einsige
Kopplung an einen äußeren Stromkreis diejenige ist, die dazu erforderlich istφ den Ausgang der Halbleiterschaltung mit einem
Stromkreis zu verbinden. Die Stromerzeugung Kann !beispielsweise
aus einer in der Halbleiter» ehalt wag angeordneten Sonnenbatterie
oder einem radioaktiven Eltaent bestehen«
Xm einseinen enthält die Halbleiterschaltung gemäß der Erfindung
eines oder mehrere Haupthalbleiterelemente, die susammen einen elektronischen Sehaltungsblook bilden* der induktiv oder kapazitiv
an einen äußeren Stromkreis angesonlessen ist. Die Haupthalbleiterelemente haben gewünschte form und Eigenschaften und haben bestimmte Zonen» die behandelt wurden, um lebenaalbleiterelemente
su bilden, und zwar durefe Dlffueitjs. von Störstoffen oder in anderer
Weise, wobei diese Kebennalblelterelement« wieder geeignete formen
und Eigenschaften haben und in geometrischer Besiehung so zueinander
und su den übrigen Seiles ier BauptAalbleiterelement« angeordnet
sind« AsJ sich bekannt· tlektrenlsehe Schaltelemente ale Teile
diese· Blockes einer tlekiroÄieehta Schaltung ergeben*
Sei einer Ausbildungsform besteht Al» Halbleiterschaltung gemäß
4er Sriindung aus einem Stiiek att». Halblei-feeraaterial mit bistimmten
BigeMeehaften mit einem £#eiir um Asu herum die erfenäarlicht
3okaltung aufgebaut 1st« Sia Teil its Halbleiterkörptafs wurde einer
Behandlung unterworfen, »m verseilleeeiie püMül «it- uÄtersohiedliclien
Slgeiisehaften su erseugem, *i· geemetrieeh be^syielcweist so eng·«
ordnet sind, daß si· eine Ämnatl*ie*# vmd in der gleichen Schaltung
/ BAD ORtet^AL -3-
800802/0 19 1
- 3 ISE/Reg.2515
eine Sonnenbatterie ergeben,Die verashieäeiien Elemente der
Schaltung sind mit Hucksioht auf ihr« speziellen Eigenschaften
im vorliegenden Beispiel so angeordnets daß sie einen in sich, abgeschlossenen
Tuimeldiodenosfillaiioi1 mit eigener Stromversorgung
bilden. Die erforderlichen Widerstand®, Isduktivitäten und Kapazitäten
der Schaltung werden <te@& geelg&et« Ausbildung oder
Behandlung der verschiedenem losem des uraprttagllohen Halbleiterkörper»
rings um aas Mdh - erhalten* 33i@ fertige Vorrichtung» welche
di· Schaltung bildet, kanu sdhlitSlleli überall mit einem Schutzüberzug
versehen werden, beispielsweise mit einer Oxidschicht·
Die vollkoiamene Halbleiterschaltung kann nun mittels geeigneter
Spulen Induktiv an einen äußern Stromicreie angekoppelt werden«
Beispielsweise kann eint Spule in dem Look des Halbl@lterkSrpers
angeordnet werden, wslohes die Öohleifa bildet9 entlang der die
Ströme fließen. Es kaum aber auch eine k&paeitiv« Kopplung verwendet
warden. In ditsem falle wtr&tn di# «rforderliohen kapazitiven
Koppluiigsmittsl naöh Art ä.«r gedruckten Schaltungen oder
mittels der Aufdampfteohnik auf die Oberfläche der schützenden
Oxidschicht aufgebracht·
Bei einer anderen Ausbildungsform der Halbleiterschaltung gemäß
der Erfindung wird das Isooh im Halbleitermaterial mit einem ferromagnetischen
Material oder siaem Halbleitermaterial hohen Widerstandes
und mit anderen Mgenseh&ite» als der ussprüngliche Halbleiterkörper
ausgefüllt. Ein© solehe Schaltung kann nach einem
weiteren Merkmal der Erfindung in der leise hergestellt werden»
daß Halbleitermaterial um einen langen Stab oder ©inen Kern aus
geeignetem Material angeordnet wird und daß dans ei&ssel&e HaIblelterschaltungen
durch Abschneiden vosx Scheiben geeigneter Dicke
von dem mit Halbleitermaterial umgebenen laaiaetab erzeugt werden·
Bei der zuletzt genanntem Ausbildungsform, d*h« wenn das loch
mit einem festen Stoff ausgefüllt ist, können weiter* Schaltelemente
auf der freien Oberfläche dieser fällung erzeugt werden·
■—·■■-» 4 -.
BAD ORIGINAL.
SO Q002/019 1
Beispielsweise kann die Schaltung aus einer Tunneltriode oder Tetrode
anstelle einer - Diode bestehen.
Zur Verdeutlichung der Erfindung seilen einige Ausführungsbeispiele anhand der Belohnungen näher beschrieben werden«
figur 1 zeigt den Grundriß einer lunneldiodensehaltung mit
eigener Stromversorgung, während Figur 2 die Seitenansicht der Anordnung nach Figur 1 zeigt und Figur 3 das Sehaltschema
für die in Figur 1 und 2 dargestellten Anordnungen widergibt»
Figur 4 zeigt eine Abwandlung der Aueführungsform von Figur 1»
In Figur 5 ist ein Transistorverstärker mit eigener Stromversorgung
dargestellt f während figur 6 die zugehörige Schaltung
seigt.
figur 7 zeigt eine Abwandlung des Verstärkers nach Figur 5»
während Figur 8 das entsprechende Ersatzschaltbild darstellt.
figur 9 zeigt einen mehrstufigen Verstärker und Figur 10 das
Bug«hörige Ersat«schaltbllä.
In figur 11. ist eine andere Ausbildungsform für einen Verstärker
dargestellt und Figur 12 zeigt eine weitere Ausftihrungsform
ei&es ¥@rstärk@rs·
figur 13 zeigt eine Schaltungsanordnung für eine tunneldiode
mit vollkommen kapazitiver Signadfkepplung·
fig»? 14 ist die Eta<&le der Tunneldiode dargestellt«
ORIGINAL
80 880 2/0 13
ISE/Heg.2515
Figur 15 zeigt eine Festkörperseha^tung mit eigener Stromversorgung» welche in großen !Seilen hergestellt werden kann, während
Figur 16 eine vollkommene Vorrichtung darstellt, die durch Zerteilen
der Anordnung nach Figur 15 erhalten wird·
In Figur 17 ist der Aufbau einer Festkörper-Iunneitriodensehaltung
mit induktiver Kopplung und eigener Stromversorgung dargestellt, während Figur 18 die Rückansicht der Anordnung
von Figur 17 darstellt.
In den figuren 1 und 2 ist eine Halbleitervorrichtung dargestellt,
die aus einem Halbleiterkörper 1 besteht mit einer Schicht 2 vom p-Üyp, die durch Diffusion hergestellt wurde· Die
Zone 3 stellt ein sehr stark p-dotiertes Gebiet dar und ein
entsprechend stark η-dotiertes Gebiet ist die Zone 4« Der G-rundkörper
1 mit dem Loch 5 ist so ausgebildet, daß die Tunneldiode,
die durch den pn-übergang zwischen 3 und 4 gebildet wird, in einem Stromkreis im Halbleitermaterial rings um da* lock 5 angeordnet
ist. Die p-Sehieht 2 bildet «in Fotoelement, welches di·
Schaltungsanordnung mit Strom versorgt und die vollständig®
Torrichtung ist zum Schutz mit einer Oxydschicht bedeckt· Die
Anschlüsse an ä,Qn Stromkreis rings um das Lock 5 können entweder
induktiv oder kapazitiv sein* Eine Spul· kann koaxial zu der
Schleife rings um das Loch5angeordnet sein oder eine Kopplungsapule
kann oben auf di· Oxidschicht aufgedruckt «ein nach der
Technik der gedruckten Schaltungen. Bin Ferrltstafe kann in dai
Loch 5 eingesetzt werden (und kann einen geschlossenen magnetischen Kreis bilden), um di· Ankopplung au verbessern und kann
auch als Feinabstimmvorriohtung verwendet werdest* DIt natürlich·
Sehwingungsfrequen* der Anordnung wird durch di» in Figur 3
dargestellten Elemente bestimmt·
0 8 8 0 2/0191
- I
ISE/Seg.2515
Xn Figur 3 bedeutet B den SerieRwiderstand der Tunneldiode, die
Induktivität L ist di· Selfcstiadtiktien der Schleif© um das Loch.
und die Kapazität 0 i«t dl« Slgsakäpasltät i*r Schaltung· Der
Widerstand Hs ist der ^rlttftwltarstaad dta Fotoelementes 2t während
die Kapazität Cs die Sig«»fcap»git&t des Fotoelementes bedeutet
und der Widerstand B*-h dtn P*ralXtlwider»tand dta Fotoelementes
Die Eigenschaften ά&τ eiüfsftlnta Element· können genau und in
einfacher »else mittel« de* Herstellungsverfahren· eingestellt
werden«
figur 4 zeigt eine andere Ausfährungsfera der Anordnung nach
Figur 1 · In diesem i'alle ist die äußer* lorm ringförmig anstelle
der flachen Form des Haltoleitermaterials bei der Ausführungsforn
nach Figur 1* Diese Art des Schwingkreises kann beispielsweise
auf einem Spulenkörper sustamsura Kit den Kopplungs spulen aufgebracht
werden* Xn allem Pällen wo Fotoelemente rerwendet werden,
um die Festkörperschaltung gemäß der Erfindung mit Strom zu versorgen,
können die Vorspannungen*"ia eier Weis» eingestellt werden,
dafl die auffallend« Lichtmeng· entsprechend gewählt wird*
Bei dem Verstärker nach Figur 5 liefert das Fotoelement 6 die
Vorspannung über die Pled· 7 und di· Induktivität üt» Stromkreises
riBfs um das Loch 3 an den Kollekte? 9 ein·· pap-Tranaistore
Kit gemeinsam*» Emitter. Dieser transistor l»«*tfht aus den
p-Zoaen 9 und 10 unt d·? n-Zos· 11« Sie iasis 11 des Transistors
•rhi3.1i ihre Vorapaanuiig ?es ·!«·■ .iwett·» Potoeleaieiit liser dl«
UK dft« loch verlauf tad* Schleife 13* P«r Smit-st* to wird Ton der
fleiciitn Schicht gcbiliet wir 4i* p^Sehiefet 4tr b«ld«2i Fotoelementt
# uad 12» lafolg« d*r PhÄS#aM»kfhruaf im Sraiuiiet·? Xlefera dl·
Ausf*Kgewi*)a*Jt$t» Biga»l»*rea« Mt
stt*t#r Phast und J«4* v»«««i«KllifiM .X*V9X«a§ «wlesh·» beiden
die T*r*-**rkttÄ*t *»*» fiikrt
809802/0131
ΊΗ ΙΗΟϋο
ISS/leg.2515
stellt werden, wtleh® auf tas Vatoaleae&t 12 fällt, entweder
indem eine getrennte I>ie&tq.uella @&φτ sin iur©heeheinender Schirm
14 Terwe&det wird*
Ib. figus? 6 ist Sie SehaltvagaaAerAsiuig *to $is®& äoäeluia
atäsäex· Aargaatallt · Biaxial atelXt £^. «la
Ia Tigu? 7 ist als Tesrat&sfeav imrgtstilXtg &®& »aefe dea
3???lÄ2ip v?i@ bei d©is Törlies'gelaes&ita Beispiel aaibeite-t^ - ^.edoeh hat
dise*^ Terstär-lcer eise aadere gasmetalaeiie Aaerdauag* In diesem
Falle ist dar SaeieanaoAlOfi ü,®v gtatimssa® P«alct roa
Figur β aeigt das S
Figur 9 geigt eiatisi MtSirstmfeaferstarksi? im i®m suti, drti oder
meMr 2raÄsist©r9a dirakt ??d*53iüaiii@i? ^©s^ijMem wiä la Kaikaä®
ge gehaltet sißd 'und ©irnta g®n@i?ife@m®m Kellefetsr ks^ea« Sis liagaagsimptdsms
Äits«ar K©aäiaa*i@a ist aalur gf@i mmä tit Auegaaga»
isapedans sehr kltiss,^ s© *!si mmr* sta kleia®^ E@m4tss®,t@r für di#
Eiagangsköfpltmg *s@a§tlg* wis^- -ms& aisia älela» laAuktiTität für die
Ä«.8gajagsk©ppltiÄgft J3@r Saaäaaa«tor 15 &aaa Aurak ©la© Metall«
sokieht gebildet «e^Mäa» die auf ttf8 CtjQNIeeliieht aitderit®ete.ii%gen
wirdj waleha die Basu-riS Aaa ^psissiatam If üaamiaat« Da» BrtLttar
17 diaaae 'üraaaiatora iat Äiselct alt 4ar S»iü IS i«»
19 T#röu/ideii* Bas
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um die BiXdian^
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Diirehlaßriehtung und hat daher keine nachteilige Wirkung bei
aieiekatrom. Ir wird durcli seine Eigenkapazität bei EuadfunkfrequeüJS
überbrückt»
figur 10 ist öle Schaltung für eine Anordnung nach Figur 9
dargestellt*
Bei der Ausfünrungsfera aaeh Hgur 11 sind die Eingangs spulen
rom'figur 5 und 7 weggelassen* da sie kein wesentliches Merkmal
darstelle"»* so daS die dargestellte Anordnung erkalten wird« Der
£*itttrübergang wird beleuchtet und erhält so selbst eine Vorspannung
in Durchlaßrichtung· Das Signal aniß nun kapazitiv angekoppelt
werden» wie dies bei 25 und 25a dargestellt ist« Die
Schaltung eignet sieh nur für relativ hohe £re%uen&en und anderseits erfordert die niedrige Impedans dee Eingangskreises eine
untragbare große Kapazität. Se ·±ώ. Verstärkerf wie er in figur 11
dargestellt ißt, kann leicht an die Anordnung naeh figur 1 angepaßt werden» &*h» daß die aktire Vorrichtung so klein wie gewünscht
gemaoht werden kann, während der Teil, der das fotoelement bildet»
siealieh groß sein kann und die Schleife kann groß genug gemaoht
wtrdta» um eint genügend groß* Induktivität tu erhalten«
Figur 12 stellt eine Abwandlung der Aueführungsform maoh Figur 11
dar· <
13 zeigt eine Schaltungsanordnung, bei der die i'otoapannung,
die durch Beleuchtung erceugt wird» eine solche Vorspannung ergifct,
i&J die Anordnung i» debiet aegatiTen. Widerstamäes betrieben
wird. Se kann 'sei ep ielsweise bei einer Beehensshaltuiig d«j* Sp ei ehe rkr*i«
ww *ia*r Ansahl Von solohe» Torriehtungen »«stehen« Bei .
dieseaf Anordnung sind der Biagaag 26 und der Ausgamg 27 kapazitiT
aa 28 $21$ af angekoppelt. Die Sehleife «it ter Selbetindiiiction 30
stekt Äiefet in Äirtkt*» Koat&kt sit de« limga&g« -
mm Q mm
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bei 3t, aber in kapazitivem Kontakt mit diesem Punkt» Die
Kapazität 32 ist die Eigenkapasität der Schaltung.
In Figur H 1st eine typische Tunneldiodenkennlinie dargestellt.
lin kleiner Auslössimpuls beim Anschluß 16 von figur 13 bringt
den Arbeitapunkt von 55 nach 34· Wenn die Torspannung von dem
Fotoelement gleich bleibt, bewegt sieh der Arbeitspunkt weiter
in die Position 35 der Tunneldiodenktnnlinie und die Schaltung
bleibt in Durchlaßrichtung geadhaltet, bla sie abgeschaltet wird·
Während dieses Vorganges wird ein größerer Impuls am Anschluß von Figur 13 erhalten. Das umschalten wird durch einen großen
Impuls entgegengesetzter Polarität bewirkt« Sas Lesen erfolgt in der Weise, daß versucht wird, die Torrichtung in Durchlaßrichtung
asu schalten und wenn ale bereits in Durchlaßrichtung geschaltet
ist, wird kein veretärketer Auagangsimpuls erhalten.
In Figur 15 ist dargestellt, wie Festkörperschaltungen mit
eigener Stromversorgung in größeren Mengen hergestellt werden
können« Is werden, beispielsweise mittels eines Diffusionsvorgänge·
oder in anderer geeigneter weise awei mäßig dotierte Schichten 36 und 37 auf der Oberfläche eines Halbleiteretabea 53 eraeugt«
In diesem -all· kann der Stab 38 aus einem Halbleitermaterial
hohen Widerstandes bestehen» wie beispielsweise ams Siliaium
und die Schichten 56 und 57 haben unterschiedlichen Leitung«typ.
Sie Diffuaionsprozesse werden ausgeführt unter geeigneter Man·»
k ie rung des Stabes* so daß sswei schmale Zonen 3t V&& 40 mit »ehr
hoher Dotierung erhalten werden* Sie Zone 39 hat den gleichen
Leitungstyp wie die Zone 37 und die Zone 40 den entgegengesetzte*
Leitungatyp, d.h. den gleichen Leitungatyp wie die Zone 36» An»
Böhließend wird ein Schiit* oder eine BlUe 41 in den Stab geschnitten oder geätat, um die Zone 39 Ton der Schicht 36 ssu
trennen* Nachdem ein solcher Halbleiterstab hergestellt
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werden Scheiben geeigneter JDiok· davon abgeschnitten, 30 daß
eiaselne Forriehtungen erhalten werden, wie ait in figur 16 dargestellt sind»
Ein* selche Vorrichtung stellt »la· typisehe Festkörperschaltung
•ine* 2hmneldiöd*nschwingkrtie·· Mit eigener Stromversorgung dar,
sei der die Tunneldiode durch den Übergang »wischen den Zonen 39
und 40 gebildet wird* Das Fotoelement wird gebildet durch die
Zonen 3$ und 37 und der Osiillatoretroa muß lämga der Außenseite
dee Stabes 38 fließen, 30 daß der Stab eelbet die gleiche Holle
Übernimmt wie da« ioeh in Figur 4* Diese Ausbildungsform kann auch "
dasu verwendet werden, saolreieh« andere Sypen iron Festkörper»
■ohaltungen mit eigener Streaverβorgung und induktiver Kopplung
herausteilen, wobei der Stab 1 in Jedem Falle als Induktive
Kepplungsschleife dient. Buroh Änderungen in dec Anordnung
der Diffusionaaohichten, eingeeohnittene eder-geätate Schlitze
und sittels.der bekannten Maekierunge * und Diffusionstθcimik
kennen gewünschte Vorrichtungen oder Ksabinationen TdB Torriohtungen
hergestellt werden·
mit Tunneltriode figur 17 zeigt den Aufbau eimer PestkörperechaltungTuit eigener
Stromversorgung und induktiver Kopplung! bei der das ursprüngliche
Material, beiepieliweiee ein Halbleiter nehea Wideretandes, wie
Silisium, den HalbleittrkSryer 4? bildet* Mittel* geeigneter MaekiemAg wird eine dioke n-Sehioht 43 WbA eine dünne p-Schioht 44
hergestellt, welch« susaamen ei» Petoelemeat ergebe»· 3§r übrig·
bleibeiujle kreiaföndge Teil 42 des Halbleiterkörper bleibt unverändert* Eine pnp-Tuna*ltrie4e wir* hergestellt» indem swei p-SelUehten 45 und 46 auf ^eder Seite der HrSohicht 47 erzeugt werden.
Ώ** CtAtalEt Jtwisohen der n-3ekiekt 4? rai «er Zetoaelle kann durch
eimern dünnen Streif·» 4· τβ» n-Haterial hergestellt wsrden* der
in Tifftur 18 in sehe* ist* Dieser Streife* kann gerade oder aioksackf»»aig yerlaufea» wit dargestellt» j« nae* dem wideretand»
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der für dieses. is»gßlMJ8 s*nSt±gi wird. Der runde ΐeil 42 dient
wieds? asu* iaduktirta Kopplung sswias&sa dta äußerst Stromkreis
und den Strömen, Alt tsa land® ate feilta 4t entlang fließenf
Ee ist klar ersie&tXioA, aal dt« Sv&adfuie altbt BMt di« davgtst*lltaa
Ausfü&rmgsfόμμα 6At? SohaXtuasiaiioytainigtii fcesekrlakt
ist β sondern sie-kann für Ter#©&i«dt&« -BtalliXtittrroxrlolituBgtA
ffendet werd«np w«l@fe« aiss 'BslBltlitrtltmtftttA i&. der be-
';^ Welse safgeisaut wtneii kHimtsu AaBerdtm könn.ea ver-■
solsii# Tör^ieiitmagea si&- tlm$? gerne lasam@a Schaltung
werden» ladt® &tm &® ät-rgüst@llt w$rSem9 daß sie in
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^ 3 &>pplvag sswisisli^m aifftiaaBterfolgtadeii Torriöhtuagen
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24 PatentaaiaprUone
4 Blatt gi
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Claims (1)
- Patentansprüche ιHalbleiter-Festkörperschaltung, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Halbleiterelemente mit gewünschten Eigenschaften geometrisch so zueinander angeordnet sind, daß jjedes Clement in Kontakt mit einem oder mehreren der anderen Elemente steht und die Halbleiterschaltung mit Mitteln zum induktiven oder kapazitiven Ankoppeln an einen äußeren Stromkreis ausgestattet ist.Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 1» dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einem oder mehreren Haupthalbleiterelementen besteht, welche gemeinsam hergestellt sind, so daß sie einen Block einer elektronischen Schaltung ergeben, welche induktiv oder kapazitiv an einen äußeren Stromkreis angekoppelt werden kann, die Haupthalbleiterelemente eine geeignete form und geeignete Eigenschaften haben und Zonen enthalten, die ITebenhalbleiterelemente bilden, welche durch Diffusion ▼on Störstoffen oder in anderer Weise hergestellt sind und diese Nebenhalbleiterelemente eine geeignete Form und geeignete Eigenschaften haben und geometrisch so zueinander und zu den Übrigen feilen der Haupthalbleiterelemente angeordnet sind, daß sie bekannte elektronische Schaltelemente als ÜJeile eines Blockes einer elektronischen Schaltung bilden.Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet* daß alle Halbleiterelement· in einem einsigen Stttok aus Halbleitermaterial eratugt und um ein durch das Halbleiterstück verlaufendte Loch angeordnet sind.-· 13 -G0S802/Ü 131- 15 ISB/fieg. 2515Halbleiter-Festkörperschaltung naoh einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die ganze Oberfläche mit einer Schutzschicht Überzogen ist·Halbleiter-Festkörpersohaltung naoh Anspruch 4» dadurch gekennzeichnet, daß der Schutzüberzug aus einer Oxydschicht besteht,Halbleiter-Festkörperschaltung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Oberfläche kapazitive Kopplungsmitt©! aufgebracht sind, mit denen das Halbleiterelement an eine äußere Schaltung angekoppelt werden kann·Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß das durch den Halbleiterkörper verlaufende loch mit einem festen Stoff ausgefüllt ist·Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die feste Füllung aus ferromagnetische!!! Material besteht,Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die feste Füllung aus einem Halbleitermaterial hohen Widerstandes mit anderen Eigenschaften als das· umgebende Halbleitermaterial besteht«Halbleiter-Festkörperschaltung nach einem der vorhergehendes. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie in der weise hergestellt ist, daß das Halbleitermaterial um ainon Stab oder Kern aus geeignetem Material angeordnet wird und daß einzeln· Halbleitervorrichtungen durch Absehneiden von Seheiben von dem von dem Halbleitermaterial umgebenden Stab gebildet sind·-U-G 0 S 8 0 2/0 19 1ISE/Reg. 2515Halbleiter-festkörpersehaltung nach einem der Ansprache 7»8,9 und 10, dadurch gekennzelohnet, daß zusätzliche ochaltelemente auf der Oberfläche der festen füllung angeordnet sind·Halbleiter-festkörperschaltung nach Anspruch 1 bis 11» dadurch gekennzeichnet, daß in einem flachen Plattohen aus Halbleitermaterial, welches nahe des Bandes eine vorzugsweise runde Öffnung besitzt, parallel zur Plattehenebene zwei Zonen unterschiedliehen Leitungstyps so angeordnet sind, daß sie ein Fotoelement bilden und senkrecht zur Plättchenebene zwischen der öffnung und dem Hand des Halbleiterplättchens zwei Zonen unterschiedlichen Leitungstyps angeordnet sind, welche eine Plod·, z.B. eine !Tunneldiode bilden·Halbleiter-featkärperschaltung nach Anspruch 1 bis 11» dadurch gekennzeichnet, daß in einem zylindrischen Hing aus Halbleitermaterial koneentrieöh zwei Ζό&%η unterschiedlichen Leitungstype so angeordnet sind, daß sie ein fotoelement bilden und daß in radialer Richtung zwei schmale Zonen unterschiedlichen Leitungetype in den beiden konzentrischen Zonen so angeordnet sind, daß sie sich berühren und eine Diode, beispielsweise eine !Tunneldiode bilden·Halbleiter-festkÖrpereohaltung nach Anspruch 1 bis 11» dadurch gekennzeichnet* daß in einem flachen Plättchen aus Halbleitermaterial alt zwei vorzugsweise runden öffnungen Tier Zonen abwechselnd entgegengesetzten Leitungstyps so zu-•inander angeordnet sind, daß drei Zonen abwechselnd entgegengesetzten Leitungstyp* einen Transietor, je zwei Zonen unterschiedlichen Leitungstype eint Diode und zwei fotoelemente bilden» so daß dae eine Fotoelement 1» Basie-Emitterkreis des Transistors und das ander· fotoelement und die Diode mit Bmitter-Kollektorkreis des Transistors angeordnet ist·- 15' 809802/0191ISB/ßeg· 2515 ,Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 14» dadurch gekennzeichnet, daß in dem Harblelterplättchen eine weitere Schicht bestimmten Leitungstype angeordnet ist* welche mit einer der übrigen Schichte», eine weitere Diode bildet und daß die einzelnen Schichten zueinander so angeordnet sind» daß ein Fotoelement ia Basie-Smitterkreie des Transistors liegt und die erste Diode, das aweite Fotoelement und die «weite Diode in Reihe im Basla-Kollektorkraie des Translators liegen·Halbleiter-lestkörpersohaltung nach Anspruch 1 bis 11» dadurch gekennzeichnet, daß lh einem Plättchen aus Halbleitermaterial eine Vorzugselse runde öffnung angeordnet 1st und mehrere Schichten unterschiedlichen Leitungstype so angeordnet sind, Äaß sie mehrere Transistoren, ein Fotoelement und eine Diode bilden und zwar so, daß eine Schicht die gemeinsame Kollektorschicht für alle Transistoren bildet, daß der Emitter jedes Transistors mit der Basis des folgendem Transistors verbunden ist und daß im Emitter-Kollektorkreia des letzten Transistors das Fotoelement und die Diode In Reihe liegen und daß auf die Schutzschicht, welche das Halbleiterplättehen umgibt, metallische Elektroden an solchen Stellen aufgebracht sind, daß ein Signal an der Basis des ersten Transistors und dem gemeinsamen Kollektor der Transistoren kapazitiv eingekoppelt werden kann»Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Emitterübergang· der Transistoren so an der Oberfläche des Halbl«it«rplättolien· angeordnet sind, daS sie bei Beleuchtung eine Vorspannung in Durchlaßrichtung erzeugen. ,S09802/U131ISE/ßeg.2515Halbleiter-Pestkörperschaltung nach Anspruch 16 und 17, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Zonen so angeordnet sind, daß die zur kapazitiren Einkopplung dienenden lietallsehichten an einer Zone des Halbleiterkörpers angeordnet sind, die nicht his zur öffnung im Halbleiterplättchen reicht·Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 1 bis 18 mit • mindestens einer Tunneldiode, dadurch gekennzeichnet, daß das Fotoelement bei Beleuchtung eine solche Vorspannung an der !Tunneldiode erzeugt, daß diese im Gebiet negativen Widerstandes arbeitet·Halbleiter-Pestkörperschaltung nach Anspruch 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß um einen zylindrischen Stab aus Halbleitermaterial hohen Widerstandes zwei konzentrische Schichten aus Halbleitermaterial entgegengesetzten Leitungstyps angeordnet sind, daß in den beiden äußeren Schichten radial zwei schmale Zonen starker Dotierung und entgegengesetzten Leitungstyps angeordnet sind und dass der Halbleiterstab in der Nähe dieser beiden hochdotierten Zonen mit einem Schlitz oder einer Rille in der Weise rerechen ist, daß an dieser Stelle die äußerst« der konzentrischen Zonen unterbrochen ist, so daß sich ein Tunneldiodenschwingkreis mit einem fotoelement ergibt, welches die Vorspannung für die Tunneldiode liefert,Halbleiter-PeetkÖrpersehaltung nach Anspruch 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß in einem flachen Halbleiterplättehen parallel xur Plättchenebene xwei Zonen unterschiedlichen Leitungetyp« angeordnet sind, wel&e ein Fotoelement bilden, daß in der Nähe dee Plättchenrande· senkrecht zur Plättchenebene ein das ganze Plättchen durchdringender zylindrischer- 17 -00002/ΰ131U148FB-■17-ISE/Reg. 2515!Eeil aus Halbleitermaterial hoiien Widerstandes besteht, daß an der schmälsten Stelle zwischen dem Halbleitermaterial hohen viderstandes und dem iPlättehenrand senkrecht zur Plattchenebene drei Zonen abwechselnd entgegengesetzten leitungstyps angeordnet sind, so daß sie eine lunneltriode bilden und daß die mittlere Zone dieser lunneltriode über einen Halbleiterstreifen bestimmten Widerstandes, welcher quer über das Halbleitermaterial hohen Widerstandes verläuft, mit der einen Schicht des Fotoelementes verbunden ist*Halbleiter-Festkörperschaltung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die darin enthaltene Stromquelle aus einer Halbleitervorrichtung besteht, die empfindlich gegen radio-aktive Strahlungen ist·Halbleiter-Festkörperschaltuns nach Anspruch t bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die darin enthaltene Stromquelle ein Fotoelement ist,Halbleiter-Festkörperschaltung nach Anspruch 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß sie gleichrichtende Mittel enthält zum Gleichrichten eines von einer äußeren Stromquelle gelieferten. Stromes von Radiofrequenz.CDr.Bs.)Pr./n. - 5.10.19613 0 2/0 1 9 1
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