Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Verfahren zum herstellen einer teile eines werkstueckes abdeckenden maske mit hilfe einer photomaske und einrichtung zum ausrichten eines werkstueckes mit einer photomaske
Einrichtung zur Erhöhung der Dichte der mit einer eine Vielzahl von in einer Ebene quer zum Strahlengang nebeneinanderliegenden Einzellinsen aufweisenden Rasterlinsenkamera auf einer photoempfindlichen Schicht erzeugbaren, verkleinerten Vielfachabbildungen von Bearbeitungsschablonen