DE1294135B - Durchfuehrung durch die Wand eines Gefaesses, in dem eine stromstarke Glimmentladungbetrieben wird - Google Patents

Durchfuehrung durch die Wand eines Gefaesses, in dem eine stromstarke Glimmentladungbetrieben wird

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DE1294135B
DE1294135B DEE22583A DEE0022583A DE1294135B DE 1294135 B DE1294135 B DE 1294135B DE E22583 A DEE22583 A DE E22583A DE E0022583 A DEE0022583 A DE E0022583A DE 1294135 B DE1294135 B DE 1294135B
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Rordorf Horst
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Elektrophysikalische Anstalt Bernhard Berghaus
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2813385A1 (de) * 1977-03-28 1978-11-02 Mitsubishi Electric Corp Glimmentladungsheizungsapparat

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015141641A1 (ja) * 2014-03-20 2015-09-24 トヨタ自動車株式会社 プラズマcvd装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE874477C (de) * 1950-05-08 1954-10-11 Berghaus Elektrophysik Anst Durchfuehrung fuer Hochleistungsstroeme
DE967138C (de) * 1938-03-25 1957-10-10 Bernhard Berghaus Stromdurchfuehrung fuer Vakuum-Glueh- und Schmelzoefen

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE722131C (de) * 1937-08-15 1942-07-01 Bernhard Berghaus Anordnung und Verfahren zum Metallisieren von Gegenstaenden mittels Kathodenzerstaeubung
US2583898A (en) * 1948-06-21 1952-01-29 Lester H Smith Vapor phase electrochemical process
US2583899A (en) * 1950-11-29 1952-01-29 Lester H Smith Electrochemical process
BE526527A (enrdf_load_stackoverflow) * 1953-02-17
BE538618A (enrdf_load_stackoverflow) * 1954-05-11

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE967138C (de) * 1938-03-25 1957-10-10 Bernhard Berghaus Stromdurchfuehrung fuer Vakuum-Glueh- und Schmelzoefen
DE874477C (de) * 1950-05-08 1954-10-11 Berghaus Elektrophysik Anst Durchfuehrung fuer Hochleistungsstroeme

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2813385A1 (de) * 1977-03-28 1978-11-02 Mitsubishi Electric Corp Glimmentladungsheizungsapparat

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