DE1272469B - Festkoerperschaltelement ohne gleichrichtenden UEbergang - Google Patents

Festkoerperschaltelement ohne gleichrichtenden UEbergang

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DE1272469B
DE1272469B DEP1272A DE1272469A DE1272469B DE 1272469 B DE1272469 B DE 1272469B DE P1272 A DEP1272 A DE P1272A DE 1272469 A DE1272469 A DE 1272469A DE 1272469 B DE1272469 B DE 1272469B
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Paul Elliott Lighty
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TDK Micronas GmbH
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Deutsche ITT Industries GmbH
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    • H03K17/70Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices having only two electrodes and exhibiting negative resistance
    • HELECTRICITY
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    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10N70/20Multistable switching devices, e.g. memristors
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    • HELECTRICITY
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    • H10N70/821Device geometry

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  • Thermistors And Varistors (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Description

  • Festkörperschaltelement ohne gleichrichtenden Übergang Die Priorität der Anmeldung in den Vereinigten Staaten von Amerika vom 24. März 1966 Nr. 537187 ist in Anspruch genommen.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft nichtgleichrichtende Schalter mit Phasenänderung, d. h. Schaltelemente, die zumindest zwei physikalische Zustände aufweisen und mittels geeigneter Steuersignale zwischen diesen Zuständen geschaltet werden können. Die Erfindung ermöglicht insbesondere die Herstellung verbesserter Schalter mit Phasenänderung, welche beständige Schalteigenschaften aufweisen.
  • In der Fachwelt sind Halbleitermaterialien mit zwei oder mehr stabilen Zuständen unterschiedlicher elektrischer Eigenschaften allgemein bekannt. Beispielsweise offenbart das kanadische Patent 699155 -J.F.Dewald, W.R.Northover und A. D. P e a r s o n - eine Gruppe derartiger Materialien mit Gemischen des ternären Systems Arsen-Tellur-Jod, die zumindest zwei stationäre Modifikationen aufweist, von denen die eine sich durch einen relativ hohen elektrischen Widerstand und die andere durch einen relativ niedrigen elektrischen Widerstand auszeichnet.
  • Während verschiedene theoretische Erklärungen für das Verhalten derartiger Materialien mit Strukturänderung geäußert wurden, wird nunmehr angenommen, daß der niederohmige Zustand sich durch eine kristalline Struktur und der hochohmige Zustand durch eine Struktur auszeichnet, die zwar begrenzt geordnet, aber makroskopisch amorph oder polykristallin ist. Wird das strukturänderungsfähige Material über eine kritische Temperatur erhitzt und danach schnell abgekühlt, dann hat es keine Gelegenheit, eine geordnete kristalline Struktur zu bilden, und verbleibt deshalb im Zustand eines hohen Widerstandes. Wird das erhitzte Material von der hohen kritischen Temperatur langsam abgekühlt, dann geht es in eine geordnete Kristallstruktur über und nimmt dabei einen Zustand relativ niedrigen Widerstandes an. Es sollte betont werden, daß diese Materialien der Natur nach mikroskopisch homogen sind und keine Sperrschichten oder pn-Übergänge enthalten; deshalb sind derartige Bauelemente grundsätzlich zum Betrieb sowohl bei Wechselstrom als auch bei Gleichstrom geeignet.
  • Bauelemente, die in einer derartigen Weise betrieben werden, daß sie in einem der obengenannten Widerstandszustände nur kurzzeitig verbleiben - d. h. solange das Schaltsignal vorhanden ist -, werden als monostabil bezeichnet, während Bauelemente als bistabil bezeichnet werden, die in einem der Widerstandszustände verbleiben, nachdem das Steuersignal beseitigt ist, welches sie dorthin geschaltet hat.
  • Die vorliegende Erfindung ist sowohl auf monostabile als auch auf bistabile Bauelemente anwendbar.
  • Festkörperschaltelemente mit strukturänderungsfähigem Material, beispielsweise nach der kanadischen Patentschrift 699155, liegen im allgemeinen in Form eines mit mindestens zwei auseinanderliegenden Elektroden kontaktierten Körpers aus derartigem Material vor. Das strukturänderungsfähige Material befindet sich anfangs entweder im »Aus«-(hoher Widerstand) oder im »Ein«- (niedriger Widerstand) Zustand. Wird ein Bauelement mit sich anfangs im »Aus«-Zustand befindlichem Material vermittels einer an seine Elektroden angelegten geeigneten Spannung in den »Ein«-Zustand gebracht, dann wird ein sich zwischen den Elektroden erstreckender Kanal von »Ein«-Material gebildet.
  • Ähnlich verbleibt nach dem »Einschalten« eines derartigen Bauelements und anschließendem »Ausschalten« eine Zone von »Ein«-Material innerhalb der Masse des »Aus«-Materials, das »Ein«-Material bildet jedoch keinen Kanal zwischen den Elektroden.
  • Auf Grund der Tatsache, daß die relativen Mengenverhältnisse des »Ein«.. und »Aus«-Materials dazu neigen, sich sowohl mit der Anzahl der Schaltzyklen des Schaltelements mit strukturänderungsfähigem Material wie auch mit den Parametern der daran angelegten elektrischen Steuersignale zu ändern, ist es bisher nicht möglich gewesen, mit derartigen Bauelementen unter Verwendung relativ einfacher Schaltungsmittel eine stabile Betriebsweise zu erzielen.
  • Ein weiterer Nachteil der bisher bekannten Schaltelemente mit strukturänderungsfähigem Material beruht auf der Tatsache, daß Länge, Durchmesser und Lage des leitenden Kanals, der sich beim »Einschalten« eines »Aus«-Bauelements bildet, dazu neigen, sich von Schaltzyklus zu Schaltzyklus zu ändern. Auf Grund des Effektes dieser Änderung ergibt sich ein Ein- oder Ausschalten des Bauelements in aufeinanderfolgenden Zyklen bei unterschiedlichen Potentialen und/oder Strömen, wobei sich von Zyklus zu Zyklus ein »Schwankungs«-Effekt ergibt. Ein weiterer Nachteil der bisher bekannten Schalter mit strukturänderungsfähigem Material beruht auf den unterschiedlichen Dichten der »Ein«- und »Aus«-Materialien; deshalb werden während der Wechselbeanspruchung des Materials auf Grund einer unterschiedlichen Ausdehnung Spalten oder Mikrorisse gebildet, welche die Schaltleistung beeinträchtigen.
  • Durch die vorliegende Erfindung sollen die Probleme der Schwankungseffekte und der Mikrorisse bei den bisher bekannten Schaltern mit strukturänderungsfähigem Material behoben werden.
  • Durch die vorliegende Erfindung sollen ferner Schalter mit strukturänderungsfähigem Material angegeben werden, die gegen zum Schalten erforderliche Steuersignale unkritisch sind.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft somit einSchaltelement mit einem zwei ohmscheKontakte aufweisenden Körper aus einem Material, dessen hochohmiger oder niederohmiger Zustand durch die Abkühlungsgeschwindigkeit nach einem Schmelzen des Materials sowie durch ein Schaltstromsignal gewählt werden kann. Die obengenannten Nachteile der bekannten Schaltelemente mit einem Material, dessen Struktur bzw. Zustand nach dem Schmelzen durch Wahl der Abkühlungsgeschwindigkeit eingestellt werden kann, werden erfindungsgemäß dadurch behoben, daß der Körper fadenförmig mit einem solchen Querschnitt ausgebildet ist, daß praktisch das gesamte Material des Fadens in einem der beiden Zustände erstarrt.
  • Die Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung sollen im folgenden an Hand der Figuren erläutert werden. Darin bedeuten F i g. 1 und 2 bekannte, nicht sättigungsfähige Bauelemente, F i g. 3 und 4 Schaltkurven, die zur Erleichterung der Erläuterung des Verhaltens von bekannten Schaltern und Schaltern nach der vorliegenden Erfindung mit strukturänderungsfähigem Material dienen, und F i g. 5 und 6 zwei bevorzugte Ausführungsformen von Schaltern mit strukturänderungsfähigem Material nach der vorliegenden Erfindung.
  • Bei einem bekannten Schaltelement mit strukturänderungsfähigem Material gemäß der F i g. 1 ist ein Körper 5 aus strukturänderungsfähigem Material zwischen die Elektroden 1 und 2 eingeschoben. Anfänglich befindet sich der gesamte Körper 5 im »Aus«-Zustand eines hohen Widerstandes, wobei der Widerstand zwischen den Elektroden 1 und 2 in der Größenordnung von 1 Megohm oder mehr liegen kann. Über die Elektroden 1 und 2 wird ein elektrisches Steuersignal in Form einer ansteigenden Spannung angelegt. Beim Anwachsen der Spannung verbleibt das strukturänderungsfähige Material in seinem »Aus«-Zustand, bis die Spannung einen Schwellwert »VT« in einem Zeitpunkt erreicht, an dem das Material s unter Bildung eines leitenden Kanals 3 zwischen den Elektroden durchbricht. Der wirksame Durchmesser deff des leitenden Kanals wird von der im strukturänderungsfähigen Material s erzeugten Wärmemenge abhängen, welche wiederum von der Größe und Dauer des durch das Steuersignal zugefügten Stromes abhängt. Der wirksame Durchmesser des sich ergebenden Kanals 3 ist ein Maß für den Umfang, wie weit das Bauelement eingeschaltet ist oder für seinen »Durchlaßgrad«. Wird dem Körper 5 aus strukturänderungsfähigem Material dann Gelegenheit gegeben, sich allmählich abzukühlen, beispielsweise durch allmähliches Vermindern des durch ihn fließenden Stromes, dann wird der Kanal 3 im Zustand seines niedrigen Widerstandes verbleiben. Der »Durchlaßgrad« des Bauelements kann durch Anlegen einer Folge von Einschaltimpulsen gesteigert werden.
  • Das Schaltelement mit strukturänderungsfähigem Material gemäß der F i g. 1 kann ausgeschaltet werden, indem zum Schmelzen von zumindest einem Teil des Kanals 3 über seinen gesamten Querschnitt ausreichender Strom zugeführt wird. Wird ein derartiger Strom I1 angelegt und plötzlich unterbrochen, dann wird ein Teil des Kanals 3 unmittelbar darauf in seinen amorphen oder polykristallinen Zustand mit hohem Widerstand abkühlen. Der sich ergebende »Aus«-Zustand wird in F i g. 2 veranschaulicht. Es ist zu bemerken, daß ein Teil des Kanals 3 zwar im »Ein«-Zustand verbleibt, ein Teil des Kanals aber über seinen gesamten Querschnitt in »Aus«-Material umgewandelt worden ist, so daß der vorher zwischen den Elektroden 1 und 2 vorhandene hohe Widerstand wieder hergestellt ist. Der Anteil von »Ein«-Material 3, das in »Aus«-Material 4 umgewandelt ist, wird von Größe und Dauer des Ausschaltstroms Il wie auch von der Wellenform dieses Stromes abhängen, was die Abkühlungsgeschwindigkeit des strukturänderungsfähigen Materials bestimmt.
  • Aus der F i g. 2 ist unmittelbar ersichtlich, daß beim nächsten Einschalten des Bauelements eine kleinere Einschaltspannung den Durchbruch des strukturänderungsfähigen Materials 5 zwischen den Elektroden 1 und 2 bewirken wird. Ähnlich muß die nächste einen Durchbruch verursachende Einschaltspannung um so größer sein, je vollkommener das Bauelement ausgeschaltet ist (d. h. je kleiner der Anteil des verbleibenden »Ein«-Materials 3 ist). Somit erfordern die bisher bekannten nichtsättigungsfähigen Bauelemente Schaltspannungen und/oder -ströme, die von der Vorgeschichte des Betriebes derartiger Bauelemente abhängen. Im Gesamtergebnis ergibt sich ein instabiles Verhalten oder günstigenfalls eine stabile Arbeitsweise gemäß der F i g. 3.
  • Die F i g. 3 veranschaulicht typische Schaltkennlinien von bisher bekannten sättigungsfähigen Schaltelementen mit strukturänderungsfähigem Material. Die ausgezogenen Linien zeigen unmittelbar meßbare Werte, während die gestrichelten Linien Werten entsprechen, die nur durch Berechnung ermittelt werden können. Die zum Einschalten des Bauelements gemäß F i g. 2 erforderliche Spannung hängt, wie oben ausgeführt, von dem »Sperrgrad« eines derartigen Bauelements ab, d. h. von dem Anteil des restlichen »Ein«-Materials 3 in einem derartigen Bauelement zwischen den Elektroden 1 und 2. Ein Maß für den »Sperrgrad« ist unmittelbar die zum Durchbrechen des Bereiches von »Aus«-Material 4 zwischen den Elektroden 1 und 2 und des »Ein«-Bereichs 3 erforderliche Spannung. Ähnlich ist bezüglich der F i g. 1 der »Durchlaßgrad« des Schaltelementes auf den wirksamen Durchmesser des leitenden Kanals 3 bezogen, der wiederum ein Maß für den Anteil des zum Ausschalten des Elementes in den »Aus«-Zustand umzuwandelnden Materials ist. Es gibt keine anwendbare einfache Methode zum unmittelbaren Messen dieses »Durchlaßgrades«; er kann jedoch aus Messungen des Elementwiderstandes unter verschiedenen Anschlußbedingungen berechnet werden.
  • In F i g. 3 sind der »Durchlaßgrad« und der »Sperrgrad« des Bauelements gemäß den F i g. 1 und 2 als Funktionen des Ausschaltstromes 1T und des Einschaltstromes aufgetragen, d. h. des an das ausgeschaltete Bauelement nach Überschreiten seiner Durchbruchspannung VT angelegten Stromes. Angenommen, das Bauelement gemäß F i g. 1 weist anfänglich einen durch A in F i g. 1 bezeichneten »Durchlaßgrad« auf, so wird durch das Anlegen eines Stromimpulses von der Größe Il das strukturänderungsfähige Material 5 den Ausschaltzustand gemäß F i g. 2 annehmen, mit einem durch den Punkt C angegebenen »Sperrgrad«. Nach plötzlichem Entfernen des Stromimpulses Il ist anzunehmen, daß das Material augenblicklich den einer erforderlichen Einschaltspannung Vt entsprechenden, durch Punkt D bezeichneten »Sperrgrad« erhält. Durch anschließendes Anlegen einer Einschaltspannung oberhalb V1 in Verbindung mit einem E entsprechenden Einschaltstrom wird das Bauelement in einen durch F in F i g. 3 bezeichneten »Durchlaßgrad« gebracht, der nach allmählichem Entfernen des Spannungsimpulses erhalten bleibt. Der nächste Ausschaltimpuls 1, wird das Bauelement in den durch Punkt G bezeichneten »Sperrgrad« bringen, der einer mit H bezeichneten, zum Einschalten erforderlichen Spannung entspricht. Der nächste Einschaltspannungsimpuls mit einem E entsprechenden Einschaltstrom wird das Bauelement nach dem Punkt J schalten, wonach es nach allmählichem Entfernen des Spannungsimpulses einen durch K bezeichneten »Durchlaßgrad« annimmt. Das anschließende Anlegen eines Ausschaltstromes von der Größe Il wird nicht ausreichen, das Bauelement auszuschalten, da der Arbeitspunkt nur zum Punkt L bewegt wird, der sich noch im »Ein«-Gebiet des Schaubildes befindet. Diese Bedingung ist als blockiertes Einschalten (lock-on) bekannt und ist eine eigentümliche Schwierigkeit, welche einem beim Betrieb der nichtsättigungsfähigen Schalter mit strukturänderungsfähigem Material begegnet.
  • Aus F i g. 3 ist ersichtlich, daß bei Zuführung eines Ausschaltstromes Il in Verbindung mit einem Einschaltstrom M die Arbeitskurve des Bauelementes stets den gleichen geschlossenen Weg durchmißt, was eine quasistabile Betriebsweise ergibt. Dies ist jedoch eine äußerst kritische Bedingung, da jede Abweichung von den erforderlichen Werten schließlich einen blockierten Einschalt- oder Ausschaltzustand ergibt, womit das Element nicht länger von einem Zustand in den anderen geschaltet werden kann. Dieses Verhalten eines »circulus viciosus« hat bisher verhindert, daß der Fachmann bei den bekannten Schaltern mit strukturänderungsfähigem Material eine stabile Arbeitsweise erzielt hat. Eine ähnliche Schwierigkeit tritt beim Betrieb von monostabilen Schaltelementen mit strukturänderungsfähigem Material auf, wobei sich von Arbeitszyklus zu Arbeitszyklus eine Änderung der erforderlichen Einschalt- oder Ausschaltspannung oder des erforderlichen Einschalt- oder Ausschaltstromes ergibt.
  • Aus F i g. 3 ist ersichtlich, daß bei Anwendung eines ausreichend großen Ausschaltstromes 1T die gleiche Kurve jedesmal während des Einschaltens durchfahren wird. Diese Bedingung ist als gesättigte Ausschaltbetriebsweise bekannt und ist im allgemeinen nicht ohne weiteres bei bekannten Schaltelementen mit strukturänderungsfähigem Material erzielbar. Der Grund für diese Schwierigkeiten ist offensichtlich die Tatsache, daß der zur ausreichenden Sättigung bei befriedigenden Schaltgeschwindigkeiten erforderliche Ausschaltstrom 1T im allgemeinen derart groß ist, daß sich eine Verschlechterung der Leistungsfähigkeit des Bauelementes ergibt und übermäßig dimensionierte Leistungsversorgungen und Hochleistungsstromkreise erforderlich sind.
  • In gleicher Weise kann eine stabile Arbeitsweise durch Zuführung eines geeignet großen Einschaltstromes 1B, wie in F i g. 3 veranschaulicht, erreicht werden; während des Ausschaltens wird das Material dann während jedes einzelnen Zyklus die gleiche Arbeitskurve durchmessen. Während Sättigung in einer Richtung lediglich ausreicht, um stabile Arbeitsweise zu gewährleisten, ist es wünschenswert, daß Sättigung in beiden Richtungen erzielt wird, damit sowohl die Einschalt- als auch die Ausschaltspannungen und/oder -ströme annehmbare Toleranzen aufweisen können. Diese Probleme wurden bei bisher bekannten Schaltelementen mit strukturänderungsfähigem Material noch nicht gelöst.
  • Offensichtlich wäre das Problem unterschiedlicher Ausdehnung zwischen den »Ein«- und »Aus«-Materialien nicht vorhanden, wenn die gesamte Menge des strukturänderungsfähigen Materials 5 wie bei einheitlichen Strukturen zwischen den »Ein«- und »Aus«-Zuständen geschaltet werden könnte, womit Effekte von Mikrorissen ausgeschaltet sind, die bekannte Bauelemente verschlechtern.
  • Der wirksame Durchmesser d,ff des »Ein«-Kanals 3 ist im allgemeinen wesentlich kleiner als der gesamte Durchmesser des strukturänderungsfähigen Körpers 5, um noch einmal auf die nicht maßstabgerechte F i g. 1 zurückzukommen. Im allgemeinen beträgt der Durchmesser des strukturänderungsfähigen Körpers 5 etwa 1 mm (0,040 inch), während der wirksame Durchmesser deff des »Ein«-Kanals 3 in der Größenordnung von 25 #t (0,001 inch) liegt. Der Abstand zwischen den Elektroden 1 und 2 mag etwa 2 mm (0,080 Inch) betragen. Bei der charakteristischen Betriebsweise von bekannten nichtsättigbaren Schaltern mit strukturänderungsfähigem Material ist es nicht ungewöhnlich, eine Anzahl von parallelen, innerhalb des strukturänderungsfähigen Materials 5 gleichzeitig gebildeten Kanälen 3 zu beobachten. Diese parallelen Kanäle bewirken ein weiteres unübersichtliches Verhalten des Bauelementes und machen eine stabile Arbeitsweise noch schwieriger.
  • Nach der vorliegenden Erfindung ist das strukturänderungsfähige Material eines sättigbaren Schaltelementes in Form eines dünnen Fadens ausgebildet, dessen Durchmesser in der Größenordnung von 25 bis 250 #t (0,001 bis 0,010 Zoll) liegen kann. Der Betrieb des Bauelementes erfoIgt derart, daß praktisch das gesamte darin vorhandene strukturänderungsfähige Material gleichzeitig entweder in den »Ein«- oder in den »Aus«-Zustand oder in beide geschaltet wird. Eine stabile Arbeitsweise ist dadurch gewährleistet, daß lediglich ein leitfähiger Kanal .möglich ist und während des Schaltvorganges keine unterschiedliche Ausdehnung erfolgen kann.
  • Die F i g. 4 zeigt eine Arbeitskurve eines sättig--baren Schaltelementes mit strukturänderungsfähigem Material nach der Erfindung, wobei IT und VT den minimalen Ausschaltstrom bzw, die entsprechende Einschaltspannung für stabile Arbeitsweise bedeuten. Werte von 1T oberhalb dieser Minimalwerte werden die Leistungsfähigkeit des Bauelementes nicht beeinträchtigen, soweit selbstverständlich die innerhalb des strukturänderungsfähigen Materials erzeugte Wärme nicht derartig groß wird, daß es bleibend zerstört wird. Das Bauelement wird stets auf der gleichen Schaltkurve arbeiten, wenn Ausschaltströme oberhalb von IT und Einschaltspannungen oberhalb von VT verwendet werden.
  • Die F i g. 5 und 6 zeigen bevorzugte Ausführungsbeispiele eines sättigbaren Schalters mit strukturänderungsfähigem Material nach der vorliegenden Erfindung. In der F i g. 5 ist ein dünner Faden 5' aus geeignetem strukturänderungsfähigem Material zwischen den leitfähigen Elektroden 1' und 2' gezeichnet. Die gesamte Anordnung ist verkapselt, um eine dauernde mechanische Festigkeit und einen Schutz gegen Umwelteinflüsse zu gewährleisten. Der Durchmesser des Fadens 5' kann in der Größenordnung von 25 @c liegen. Der Abstand s zwischen den Elektroden 1' und 2' richtet sich nach der Zusammensetzung des strukturänderungsfähigen Materials und der gewünschten Schwellspannung VT; ein Abstand von 2 mm ist charakteristisch für eine Einschaltschwellspannung in der Größenordnung von 100 V bei Verwendung eines strukturänderungsfähigen Materials von der Art des im kanadischen Patent 699 155 beschriebenen.
  • Eine weitere Ausführungsform zeigt die F i g. 6, wonach das strukturänderungsfähige Material s' in einem engen Loch durch die Isolierscheibe 6 angeordnet ist. An dem Faden 5' des strukturänderungsfähigen Materials sind Elektroden 1' und 2' in Form von dünnen Metallschichten vorgesehen, die auf den einander gegenüberliegenden Oberflächen der Isolierscheibe 6 angeordnet sind. Wiederum kann der Fadendurchmesser, der im wesentlichen dem Durchmesser des sich durch die Isolierscheibe 6 erstreckenden Loches entspricht, in der Größenordnung von 25 #t liegen. Die Dicke der Isolierscheibe 6 beträgt für eine Einschaltschwellspannung VT von etwa 100 V etwa 2 mm. An den Elektroden 1' bzw. 2' sind geeignete Zuführungsdrähte 7 und 8 angebracht. Das gesamte Bauelement ist mechanisch und gegen Umwelteinflüsse geschützt eingekapselt.
  • Die vorliegende Erfindung ist selbstverständlich nicht auf obige Ausführungsbeispiele beschränkt.

Claims (3)

  1. Patentansprüche: 1. Schaltelement mit einem zwei ohmsche Kontakte aufweisenden Körper aus einem Material, dessen hochohmiger oder niederohmiger Zustand durch die Abkühlungsgeschwindigkeit nach einem Schmelzen des Materials sowie durch ein Schaltstromsignal gewählt werden kann, d a -durch gekennzeichnet, daß der Körper fadenförmig mit einem solchen Querschnitt ausgebildet ist, daß praktisch das gesamte Material des Fadens in einem der Zustände erstarrt.
  2. 2. Schaltelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Faden einen Durchmesser von 25 bis 250 [, aufweist.
  3. 3. Schaltelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Faden des Materials die Bohrung einer Isolierscheibe ausfüllt und die Elektroden in Form von leitenden Schichten auf entgegengesetzten Oberflächenseiten der Scheibe angeordnet sind. In Betracht gezogene Druckschriften: Kanadische Patentschrift Nr. 699 155.
DEP1272A 1966-03-24 1967-03-17 Festkoerperschaltelement ohne gleichrichtenden UEbergang Pending DE1272469B (de)

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