DE1254773B - Anschlusskoerper fuer Halbleiterbauelemente - Google Patents
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Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. CI.:
HOlI
Deutsche Kl.: 21 g -11/02
Nummer: 1254773
Aktenzeichen: S 71091 VIII c/21 g
Anmeldetag: 2. November 1960
Auslegetag: 23. November 1967
Bei Halbleiteranordnungen, wie Halbleiterflächengleichrichter, Transistoren oder Halbleiterstromtoren
auf der Basis eines solchen Halbleiters, daß sie in der Lage sind, vorzugsweise große Ströme zu führen,
wie einem solchen aus oder nach Art von Silizium oder Germanium oder einer intermetallischen
Verbindung wird an der für die Dotierung des Halbleiterkörpers einlegierten Elektrode ein besonderer
elektrischer Anschlußkörper bzw. -leiter befestigt. Es ist nun für ein einwandfreies und betriebsmäßig
sicheres Arbeiten einer solchen Halbleiteranordnung wichtig, daß die mechanische Verbindung, welche
zwischen einem solchen Anschlußleiter bzw. -elektrode und der einlegierten Elektrode hergestellt wird
und dann besteht, auch bei den betriebsmäßig zu erwartenden Beanspruchungen, insbesondere thermischen
Beanspruchungen, sicher erhalten bleibt, so daß auf diese Weise eine große Lebensdauer der Anordnung
gewährleistet ist. Es muß nämlich an solchen Verbindungsstellen damit gerechnet werden, daß »o
zufolge der thermischen Beanspruchungen und der gegebenenfalls verschiedenen thermischen Ausdehnungskoeffizienten
der miteinander verbundenen Körper Ermüdungserscheinungen an der gegenseitigen Verbindungsstelle bzw. den Verbindungsflächen
auftreten können. Es ist das insbesondere beispielsweise bei der Herstellung von Lötverbindungen der
Fall. Es hat sich dann z. B. gezeigt, daß Weichlotverbindungen ermüden und dadurch Abtrennungsbzw. Abhebungserscheinungen auftreten können, die
dann ihrerseits zu weiteren Schäden und zur Unbrauchbarkeit der Halbleiteranordnung führen.
Außer der Anwendung von Lötverbindungen entweder in Form von Weichlot- oder Hartlotverbindungen
ist auch vorgeschlagen worden, diese Verbindungen in Form eines Verschweißungsprozesses bzw.
eines Legierungsprozesses vorzunehmen, der durch eine elektrische Widerstandsverschweißung vorgenommen
wird. Um bei dem Widerstandsverschweißungsprozeß Mängel auszuschließen, ist es bereits
vorgeschlagen worden, diese Verschweißung dadurch vorzunehmen, daß auf die gleiche Fläche des anzuschweißenden
Anschlußleiters nahe einander benachbart zwei Elektroden der Schweißeinrichtung aufgesetzt
werden, so daß bei der elektrischen Widerstandsverschweißung der Stromweg von der einen Schweißelektrode
über den anzuschweißenden Körper, den Körper, an den angeschweißt werden soll, und alsdann
wieder durch den anzuschweißenden Körper sowie die zweite Schweißelektrode der Widerstands-Schweißeinrichtung
verläuft. Auf diese Weise gelingt es also, eine Verschweißung vorzunehmen, ohne daß
Anschlußkörper für Halbleiterbauelemente
Anmelder:
Anmelder:
Siemens Aktiengesellschaft,
Berlin und München,
Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50
Als Erfinder benannt:
Dr. Karl-Heinz Geyer,
Dipl.-Phys. Götz von Bernuth, München;
Hans-Jürgen Nixdorf, Berlin-Lankwitz;
August Meyer, München
der Strom seinen Weg über den Halbleiterkörper nehmen muß, sondern vielmehr im wesentlichen nur
innerhalb des Körpers der in den Halbleiterkörper einlegierten Elektrode verläuft. Es gelingt auf diese
Weise auch, eine einwandfreie Verschweißung in nur sehr kurzen Zeiträumen vorzunehmen, so daß auch
nicht eine nachteilige Ableitung der an der Schweißstelle entwickelten Wärme ihren Weg bis zu dem
Halbleiterkörper und gegebenenfalls bis zu einem in diesem erzeugten pn-übergang nehmen kann. Es ist
daher eine solche Verschweißung sowohl für die Befestigung eines drahtförmigen Anschlußleiters als
auch für die Befestigung eines plattenartigen Anschlußleiters an einer einlegierten Elektrode vorgeschlagen
worden, wobei gegebenenfalls an diesem plattenförmigen ZwischenanschlußkÖrper dann ein
besonderer weiterer z. B. IitzenfÖrmiger Anschlußleiter befestigt werden kann. Im Fall eines solchen
plattenförmigen Anschlußleiters werden dann an diesem vorzugsweise eine Vielzahl von Verschweißungsprozessen
an nahe benachbarten Stellen zwischen dem Anschlußkörper und der einlegierten Elektrode oder
gegebenenfalls einem besonders zunächst auf dieser aufgebrachten Zwischenkörper vorgenommen, der
z. B. aus einem Material bestehen kann, das in seinem thermischen Ausdehnungskoeffizienten demjenigen
des Halbleiterkörpers möglichst dicht benachbart liegt. Besteht der Halbleiterkörper aus Germanium
oder Silizium, so können als Werkstoff für solche Zwischenkörper z. B. Molybdän, Wolfram oder Tantal
oder deren Legierungen benutzt werden. Bei der Vornahme einer solchen Verschweißung muß aber
oft bei dem Andrückprozeß, der zwischen dem zu verschweißenden Körper und den Schweißelektroden
auf jeden Fall auftritt, damit gerechnet werden, daß
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an der einzelnen Schweißstelle eine gewisse Verformung des anzuschweißenden Körpers im Sinn einer
Dehnung auftritt. Diesem Gesichtspunkt ist aber Beachtung zu schenken, wenn der gesamte Anschlußleiterkörper
oder ein Teil desselben plattenförmigen Charakter haben und über diese Plattenform relativ
großer Flächenausdehnung mit der einlegierten Elektrode oder einer Zwischenelektrode verbunden ist.
So ist z. B. vorgeschlagen worden, einen Anschlußleiter zu benutzen mit einem plattenförmigen Teil,
von dessen Umfang einzelne Streifen in radialer Richtung strahlenförmig ausladen, die bei dem Charakter
des angeschweißten Anschlußleiters dann noch den Charakter biegsamer Leiter haben. Diese können in
eine bestimmte Lage an dem plattenförmigen Teil abgebogen werden und auf diese Weise alle zusammen
unter Belassung einer biegsamen Zwischenelektrode auf der Mantelfläche eines starren Bolzens als
Anschlußleiter befestigt werden, der sich z. B. durch eine isolierte Durchführung an der Halbleiteranordnung
als Anschlußleiter vom zweiten Pol des eingeschlossenen Halbleiterelementes erstreckt.
Wenn aber bei einem solchen elektrischen Verschweißungsprozeß an einer Vielzahl nahe benachbarter
Stellen eines Anschlußleiters solche wenn auch nur geringe Verformungen des plattenförmigen Teiles
des Anschlußleiters stattfinden, so werden an diesem verformten Körper insbesondere auch dann betriebsmäßig
in thermischer Abhängigkeit mechanische Spannungen auftreten, die wiederum zu einer mechanischen
Beanspruchung der Verbindungsstellen zwischen den beiden verschweißten Körpern führen
können.
Die Erfindung bezieht sich auf einen solchen Anschlußkörper oder Zwischenanschlußkörper von mindestens
anteilig platten- oder folienartiger Gestalt für elektrische Halbleiterbauelemente, der über eine Vielzahl
selbständiger, nebeneinanderliegender, vorzugsweise punktartiger, durch elektrische Widerstandsschweißung
erzeugter Stellen mit einem Elektrodenkörper des Halbleiterkörpers verbunden ist.
Durch die Erfindung sollen mechanischen Spannungen in dem Anschlußkörper und dadurch die
mechanische Beanspruchung der einzelnen Schweißpunkte herabgesetzt werden.
Das läßt sich mit einem Anschlußkörper erreichen, der erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß
die gesamte Plattenform oder der gesamte plattenförmige Anteil durch Einschnitte und/oder Aussparungen
derart in voneinander bis auf Stege getrennte Flächenanteile unterteilt ist, daß bei der Herstellung
der einzelnen Verbindungsstelle oder einer Mehrzahl von unmittelbar benachbarten Verbindungsstellen
an einem solchen Flächenanteil auftretende Dehnungen oder Dehnungsbeanspruchungen
auf andere benachbarte Anteile der Plattenform praktisch nicht übertragen werden können.
So läßt sich offenbar z. B. der Entstehung von Spannungen in tangentialer Richtung bzw. der Umfangsrichtung
des plattenförmigen Körpers durch Einschnitte bzw. schlitzartige Aussparungen vorbeugen,
welche sich von dem mittleren Teil nach dem Umfang des plattenförmigen Teiles zu erstrecken.
Hat er Kreisflächenform, so können also zur Erreichung des Effektes z. B. radial bzw. diametral verlaufende
Schlitze angebracht werden. Diese Schlitze gewährleisten dabei durch die Art ihrer Anbringung,
daß der plattenförmige Teil des Anschlußkörpers
zwar noch einen einheitlichen, jedoch flächenmäßig unterteilten Körper darstellt. Die radial bzw. diametral
verlaufenden Schlitze brauchen dabei auch nicht gleich lang zu sein. So können z. B. eine um die
andere der in der Umfangsrichtung der Platte aufeinanderfolgenden schlitzförmigen Aussparungen sich
bis zum mittleren Teil der Scheibe erstrecken, während zwischen den Aussparungen weitere Schlitze
sich nur über eine kürzere Strecke vom Umfang oder
ίο einem bestimmten von dem Mittelpunkt entfernten Punkt in Richtung auf die Mitte der Scheibe zu erstrecken.
Werden auf diese Weise tangentiale oder in der Umfangsrichtung entstehende mechanische Spannungen
bei thermischen Dehnungen beherrscht, so daß sie sich nicht nachteilig auswirken können, so
kann sinngemäß auch in radialer Richtung auftretenden mechanischen Spannungen vorgebeugt werden.
Das läßt sich erreichen, indem Aussparungen oder Einschnitte vorgesehen werden, die z. B. nach Art
so von Kreissehnen oder -bögen verlaufen, also die Fläche des Anschlußleiters z. B. in radialer Richtung
unterteilen. Schließlich können auch schlitzförmige Aussparungen vorgesehen werden, die einander in
einer einheitlichen Figur zugeordnet sind, wie z. B.
as in Form eines Astes, von welchem aus sich seitliche Zweige erstrecken. Solche Zweigformen können auch
derart als Aussparungsmuster an dem plattenförmigen Halbleiterkörper vorgesehen werden, daß sie mit
ihren Zweigen ineinandergreifen.
Nach einer weiteren erfindungsgemäßen Lösung kann der plattenartige Teil auch mit bogenförmigen
Ausschnitten versehen sein, von denen jeder in seiner Lage z. B. nur je einer später vorzunehmenden Verbindungsstelle
bzw. Verschweißungsstelle zugeordnet ist. Wird die Verschweißung vorgenommen, so kann
der von dem konvexen Bogen umschlossene Teil bei der durch die Verschweißung hervorgerufenen Verformung
sich ohne weiteres seitlich ausdehnen, ohne dadurch in der gesamten Fläche des plattenförmigen
Teiles irgendwelche unerwünschten mechanischen Spannungen hervorzurufen.
Es braucht bei der Erzeugung der Unterteilung der Berührungsflächen des Anschlußleiters auch nicht
unbedingt Material aus der Platte herausgetrennt zu werden, sondern es kann auch ausreichend sein, daß
an den in Frage kommenden Stellen lediglich Schnitte in dem plattenförmigen Teil erzeugt werden. Werden
beispielsweise solche Einschnitte benutzt, die eine spätere Schweißstelle umschließen, so wird bei der
Vornahme des einzelnen Schweißprozesses der eine an der Schnittstelle beteiligte Teil sich etwas in die
Zwischenelektrode oder einlegierte Elektrode des Halbleiterelementes hineinsenken, so daß er mit
seinem geschnittenen Rand aus der Ebene des ge~ genüberliegenden Randes der Schnittstelle heraus in
eine zu dieser parallelen Ebene gelangt, die unter der anderen Ebene liegt. Befindet er sich in dieser Lage,
so ist für ihn wieder die Möglichkeit gegeben, sich bei einer Verformung im Sinn einer Dehnung sowohl
im Verlauf eines Verschweißungsprozesses als auch bei dem betriebsmäßigen Einsatz der Halbleiteranordnung
unter den gegenüberliegenden anderen Rand darunterzuschieben.
In ähnlicher Weise kann auch unmittelbar mit der Erzeugung solcher eingeschnittener Bögen oder bogenförmiger Aussparungen eine leichte Durchwölbung eines der an der Schnittstelle beteiligten Flächenteile erzeugt werden. Wird beispielsweise angenommen,
In ähnlicher Weise kann auch unmittelbar mit der Erzeugung solcher eingeschnittener Bögen oder bogenförmiger Aussparungen eine leichte Durchwölbung eines der an der Schnittstelle beteiligten Flächenteile erzeugt werden. Wird beispielsweise angenommen,
daß der die konkave Schnittlinie aufweisende Flächenteil bei der Erzeugung des Schnittes etwas nach
außen aus der Ebene der Platte durchgedrückt wird und die Verschweißung also an demjenigen Flächenteil
vorgenommen wird, zu dem die konvexe Schnittlinie gehört, so kann sich wieder, wie bereits schon
geschildert, dieser angeschweißte Teil unbedenklich verformen und unter den anderen konkaven Teil
darunterschieben.
Eine weitere erfindungsgemäße Lösung läßt sich auch dadurch erreichen, daß andere als schlitzförmige
Aussparungen in dem plattenförmigen Teil des Anschlußleiters vorgesehen werden. So kann beispielsweise
der plattenförmige Teil mit Löchern von Kreis- oder anderer Form nach Art eines gestanzten
Siebes versehen werden, wobei jede herzustellende Schweißstelle dann an den Stegteilen erzeugt wird,
welche zwischen mehreren umschließenden Aussparungen oder Löchern an dem plattenförmigen Teil
verblieben sind. Statt der kreisflächenförmigen Aussparungen können also z. B. auch kreuzförmige Aussparungen
benutzt werden, die zu einer entsprechenden Unterteilung eines plattenförmigen Elektrodenteiles
führen und wobei zwischen diesen Aussparungen die mechanischen Verbindungsstellen, z. B. elektrischen
Verschweißungsstellen, mit dem anderen Körper bzw. Elektrodenkörper des Halbleiterelementes
oder der Halbleiteranordnung erzeugt werden.
Die Erfindung ist also sowohl für plattenförmige Anschlußleiter anwendbar, die zwischen dem Grundplattenkörper
und dem Halbleiterelement der Halbleiteranordnung benutzt werden, als auch für Zwischenkörper
zwischen einem eventuell biegsamen Anschlußleiter und einem anderen Pol der Halbleiteranordnung.
Es können im Rahmen der Erfindung auch gemeinsam an dem gleichen plattenförmigen Teil des Anschlußleiters
Einschnitte oder Aussparungen verschiedener spezieller Funktionen angebracht werden,
d. h. solche, die radialen mechanischen Spannungen vorbeugen und solche, die tangentialen Spannungen
vorbeugen. So können z. B. in Verbindung mit radialen Schlitzen am zentralen Teil bogenförmige einander
zweckmäßig in der Umfangsrichtung überlappende Schlitze benutzt werden.
Zur näheren Erläuterung der Erfindung an Hand einiger Ausführungsbeispiele wird nunmehr auf die
Figuren der Zeichnung Bezug genommen.
In Fig. 1 ist ein Beispiel einer Halbleiteranordnung dargestellt, an welcher die Erfindung zur Anwendung
gelangen kann. 1 bezeichnet einen Grundplattenkörper der Halbleiteranordnung, der mit
einem von seiner unteren Fläche ausladenden Gewindebolzen la für die Befestigung der Halbleiteranordnung
versehen ist. An der oberen Fläche dieser Grundplatte 1 ist ein Halbleiterflächengleichrichterelement
2 durch Hart- oder Weichlötung oder Anlegieren befestigt. Dieses Halbleiterelement besteht
aus einem Halbleiterkörper 3, z. B. aus Silizium, einer oberen einlegierten Elektrode 4, einer unteren einlegierten
Elektrode 5, einer an dieser durch Legierung befestigten Platte 6, z. B. aus kovarplattiertem Molybdän,
aus Wolfram oder Tantal und einer an dieser befestigten Platte 7 aus Kupfer, die dann mit dem aus
Kupfer bestehenden Grundplattenkörper 1 verlötet ist. An der oberen einlegierten Elektrode 4 ist ein
Folienkörper 8 befestigt. Dieser besteht aus einem plattenförmigen Teil 9, wie es z. B. in F i g. 2 ver-
anschaulicht ist, von Kreisflächenform, wobei von dem Umfang dieser Kreisfläche strahlenförmige in
F i g. 2 nur mit einem Teil ihrer Länge dargestellte Teile 10 ausladen, die dann nach oben zu einem tulpenförmigen
Körper zusammengebogen und mit ihren Enden auf der Mantelfläche eines Hülsenkörpers
oder Kappenkörpers 11, der auf das freie Ende des Litzenanschlußleiters 12 aufgepreßt ist, mittels eines
besonderen Ringes 13 festgespannt sind, ίο Beim Gegenstand der Erfindung handelt es sich
entweder um die Herstellung eines Anschlußleiters, der an der oberen einlegierten Elektrode oder auf
einer nicht besonders dargestellten an dieser befestigten Zwischenelektrode befestigt ist oder um einen
Körper 7, der zwischen -dem Grundplattenteil 1 und dem Halbleiterelement 2 eingeordnet ist. Wie bereits
durch die vorausgehende Beschreibung angedeutet wurde, ist in F i g. 2 ein Anschlußelektrodenkörper
in einer erfindungsgemäßen Darstellung veranschauao licht, der als Anschlußleiter 8 an er oberen einlegierten
Elektrode 4 befestigt werden soll. Dieser Anschlußelektrodenkörper ist gemäß der Darstellung
nach F i g. 2 mit Einschnitten bzw. Aussparungen 14 und 15 versehen, welche an dem plattenförmigen
Teil 9, über welchen der Körper 8 an der einlegierten Elektrode 4 befestigt wird, in diametraler bzw. radialer
Richtung verlaufen. Es sind, wie bereits angeführt, zwei verschiedene Arten von Schlitzen benutzt.
Die mit 15 bezeichneten verlaufen vom Umfang des kreisförmigen Teiles nur bis zu einer gewissen radialen
Tiefe. Die mit 14 bezeichneten erstrecken sich über den Kreisdurchmesser der Fläche von 9 bis in
die Fläche der streifenförmigen TeilelO hinein. Durch diese Ausbildung der mit 14 bezeichneten
Einschnitte bzw. Aussparungen wird erreicht, daß die gebogene Kante, welche sich beim Abbiegen eines
Streifens 10 aus der Ebene von 9 ergibt, nicht mehr ein so starres Gebilde darstellt. Der Körper 8 wird
an seinem plattenförmigen Teil 9 mit der einlegierten Elektrode 4 über punktförmige Verschweißungsstellen
durch elektrische Widerstandsverschweißung verbunden, die vorzugsweise mittels eines Schweißwerkzeuges
erzeugt werden, das aus zwei über eine isolierte Zwischenlage aneinander befestigten Schweißelektroden
besteht, so daß dieses mit den beiden benachbarten Kontaktflächen der beiden Elektroden auf
die obere Fläche eines plattenförmigen Körpers 8 aufgesetzt werden kann und dann an der gegenseitigen
Berührungsfläche von 8 bzw. 9 und 4 eine punktartige Verschweißungsstelle erzeugt wird, indem der
Schweißstrom durch die Platte 9, dann durch die Platte 4, dann aus dieser heraus wieder durch die
Platte 9 und durch die zweite Schweißelektrode des Schweißelektrodenwerkzeuges seinen Weg nimmt.
Diese Schweißstellen werden jeweils an dem plattenförmigen Teil 9 nebeneinander erzeugt, wie es z. B.
durch die eingetragenen Kreise 16 veranschaulicht ist.
Sollten die bei der gezeigten Ausführung im zentralen Teil des plattenförmigen Anschlußleiterteiles
vorhandenen Spitzen sich als mechanisch unerwünscht empfindlich erweisen, so können diese auch
fortgelassen werden. Es würde also dann im zentralen Teil, beispielsweise in einem solchen plattenförmigen
Körper, eine entsprechende, kreisflächenförmige Aussparung vorgesehen werden, wie sie gestrichelt angedeutet
ist.
An diesem Körper 8 ist somit zu erkennen, daß nach seinem Einbau in eine Halbleiteranordnung ge-
maß F i g. 1 an ihm an seinem plattenförmigen Teil 9 bei thermischen Beanspruchungen in der Umfangsrichtung
stets nur relativ kurze Strecken eine Dehnung erfahren und der absolute Wert dieser Dehnung an
der einzelnen Strecke, da er proportional der gesamten Länge des sich ausdehnenden Körpers ist, nur
relativ kleine Werte annehmen kann. Durch eine solche Herstellung einer Anschlußleiterplatte bzw.
-elektrode können also in der Umfangsrichtung sich ergebende thermische Dehnungen und damit verbundene
Verformungen der Platte auf ein relativ kleines wirkungsmäßig unmerkliches Maß beschränkt werden.
In F i g. 3 ist eine Lösung veranschaulicht, nach welcher statt radial verlaufender Aussparungen bzw.
Einschnitte an der Kontaktplatte, die über eine Fläche mit einer Elektrode des Halbleiterelementes
bzw. z. B. der Grundplatte der Halbleiteranordnung verschweißt oder verlötet wird, bogenförmig verlaufende
Aussparungen 18 vorgesehen sind. Auf diese Weise gelingt es, in radialer Richtung für nur
kurze Strecken an dem plattenförmigen Anschlußkörper 9 zu sorgen, so daß sich also in radialer Richtung
stets nur geringe absolute Dehnungen an dem Körper ergeben können und somit dem Auftreten
wesentlicher Spannungen in radialer Richtung vorgebeugt ist. Die Ausbildung des plattenförmigen Teiles
18 nach F i g. 3 könnte für jede der Anschlußelektroden bzw. Zwischenelektroden 8 bzw. 7 nach
F i g. 1 benutzt werden. Nach F i g. 3 ist nur eine kreisflächenförmige Scheibe gezeigt, also unmittelbar
zunächst nur eine ihrer Umfangsform nach für eine Zwischenelektrode 7 geeignete Ausführung.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 4 sind an einem plattenförmigen Körper 19 Aussparungen bzw.
Einschnitte 20 benutzt, welche in der Richtung von Kreissehnen verlaufen. Es liegen also in diesem Fall
Einschnitte vor, welche, bezogen auf die radiale Richtung und die tangentiale Richtung bzw. Umfangsrichtung,
diese schneiden. Somit wird also hinsichtlich des nach der Erfindung angestrebten Effektes
eine kombinierte Wirkung für die Vorbeugung von nachteiligen Dehnungen und erzeugten mechanischen
Spannungen erreicht, welche in radialer Richtung bzw. in tangentialer Richtung verlaufen. An jedem
der in den F i g. 2 bis 4 dargestellten plattenförmigen Körper werden nach deren Anlegen dieser Teile an
eine Elektrode des Halbleiterelementes bzw. einer Fläche der Halbleiteranordnung, wenn der plattenförmige
Teil mit dieser Fläche durch elektrische Widerstandsverschweißung verschweißt werden soll,
die einzelnen Schweißstellen mittels eines Schweißelektrodenwerkzeuges erzeugt, welches aus zwei
nebeneinander und einander räumlich dicht benachbarten angeordneten Schweißelektroden besteht.
Diese können einen solchen gegenseitigen Abstand haben, der z. B. lediglich durch eine zwischen beiden
eingelegte isolierte Folie geringer Dicke von z. B. etwa 0,2 mm bestimmt ist, über welche die beiden
Schweißelektroden mechanisch zusammengespannt sind. Der Strom bei dem einzelnen Schweißprozeß
verläuft dann von der einen Elektrode des Schweißwerkzeuges über den anzuschweißenden plattenförmigen
Körper, denjenigen Körper, an welchen er angeschweißt werden soll, also z. B. die in den Halbleiterkörper
einlegierte Elektrode oder eine mit dieser verbundene Zwischenelektrode, eine zweite Stelle des
anzuschweißenden Körpers und schließlich über die zweite Elektrode des Schweißwerkzeuges der elek-
trischen Widerstandsschweißanordnung. Diese einzelnen Schweißstellen werden also jeweils wieder zwischen
den Aussparungen bzw. Einschnitten an dem plattenförmigen Anschlußleiter in einer geeigneten
gewünschten Dichte nebeneinander erzeugt. Verformungen, welche sich an der einzelnen Schweißstelle
an dem plattenförmigen Körper ergeben, bleiben aber dabei in ihrer Auswirkung auf Strecken des plattenförmigen
Körpers beschränkt, die nur eine kurze
ίο Länge haben.
Im allgemeinen Teil der Beschreibung ist auch bereits darauf hingewiesen worden, daß z. B. bei der
Unterteilung der gesamten Fläche des plattenförmigen Teiles geradlinig verlaufende Einschnitte mit bogenförmigen
kombiniert werden können. So könnten sich die radialen Einschnitte nach F i g. 2 in Richtung
auf die Mitte zu nur bis zu einem gewissen Abstand vom Mittelpunkt erstrecken, so daß zunächst noch
ein in sich einheitlicher, kreisflächenförmiger Körper bleibt. Auf diesem kreisflächenförmigen Teil können
entsprechende bogenförmige Aussparungen vorgesehen sein, die auf zueinander konzentrischen Kreislinien
liegen, wobei die Bogenstücke auf den verschiedenen Kreisen in der Umfangsrichtung derart
gegeneinander versetzt sind, daß die Lücke zwischen zwei Aussparungen auf der einen Kreislinie durch
einen Bogen auf einer Kreislinie anderen Durchmessers umschlossen bzw. abgedeckt ist.
In F i g. 5 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel veranschaulicht, nach welchem ein kreisflächenförmiger Anschlußkörper 21 mit bogenförmigen Aussparungen bzw. Einschnitten 22 versehen ist. Innerhalb jedes der von einem Bogen umschlossenen Flächenteiles wird z. B. für die mechanische Verbindung des plattenförmigen Anschlußkörpers mit einer Elektrode des Halbleiterelementes eine punktartige Schweißstelle 22 a durch elektrische Widerstandsverschweißung erzeugt.
In F i g. 5 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel veranschaulicht, nach welchem ein kreisflächenförmiger Anschlußkörper 21 mit bogenförmigen Aussparungen bzw. Einschnitten 22 versehen ist. Innerhalb jedes der von einem Bogen umschlossenen Flächenteiles wird z. B. für die mechanische Verbindung des plattenförmigen Anschlußkörpers mit einer Elektrode des Halbleiterelementes eine punktartige Schweißstelle 22 a durch elektrische Widerstandsverschweißung erzeugt.
Nach dem Ausführungsbeispiel gemäß F i g. 6 ist der plattenförmige Anschlußleiter 23 mit Löchern 24
versehen worden, so daß er den Charakter eines Siebkörpers erhält. An den Flächenteilen, welche zwischen
den Löchern 24 bestehenbleiben, werden jeweils wieder entsprechende punktartige Schweißstellen 24 a
durch elektrische Widerstandsverschweißung erzeugt. Die Aussparungen müssen dabei sinngemäß z. B.
derart auf zueinander konzentrischen Kreisen verschieden verteilt sein, daß die Aussparungen auf dem
einen Kreis die Lücke zwischen zwei Aussparungen des anderen Kreises in radialer Richtung abdecken.
Außerdem müssen die Durchmesser der konzentrischen Kreise unter Berücksichtigung des Durchmessers
bzw. der Flächenausdehnung der einzelnen Aussparungen derart gewählt werden, daß jede der Aussparungen,
in der Umfangsrichtung des Kreises betrachtet, den Steg zwischen den Aussparungen zweier
benachbarter konzentrischer Kreise abdeckt.
In F i g. 7 ist ein Ausführungsbeispiel gezeigt, wonach der plattenförmige Anschlußleiter lediglich die
Form eines Kreisringes 27 hat. Auch durch einen solchen einfachen Aufbau wird bereits eine Wirkung
im Sinn der erfindungsgemäßen Zielsetzung erreicht, indem die in radialer Richtung verlaufenden Strecken
auf ein unteres Maß herabgesetzt sind.
In F i g. 8 ist ein Ausführungsbeispiel wiedergegeben, nach welchem in dem Plattenkörper 25
bäumchenförmige Aussparungen bzw. Einschnitte 26 erzeugt worden sind, d. h. Figuren, die sich aus Ein-
Claims (6)
1. Anschlußkörper oder Zwischenanschlußkörper für elektrische Halbleiterbauelemente von
mindestens anteilig platten- oder folienartiger Gestalt, der über eine Vielzahl selbständiger nebeneinanderliegender,
vorzugsweise punktartiger, durch elektrische Widerstandsverschweißung erzeugter Stellen mit einem Elektrodenkörper des
Halbleiterkörpers verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die gesamte Plattenform
oder der gesamte plattenförmige Anteil durch Einschnitte und/oder Aussparungen derart in
voneinander bis auf Stege getrennte Flächenanteile unterteilt ist, daß bei der Herstellung der
einzelnen Verbindungsstelle oder einer Mehrzahl von unmittelbar benachbarten Verbindungsstellen
an einem solchen Flächenanteil auftretende Dehnungen oder Dehnungsbeanspruchungen auf andere
benachbarte Anteile der Plattenform praktisch nicht übertragen werden können.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an dem plattenförmigen Körper
von seinem äußeren Umfang in Richtung auf seine innere Fläche verlaufende Einschnitte oder
schlitzförmige Aussparungen vorgesehen sind.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Anschlußleiter mit
kreisflächenförmigem Plattenteil in radialer bzw. diametraler Richtung verlaufende Einschnitte
oder Aussparungen vorgesehen sind.
4. Verfahren nach Ansprach 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem plattenförmigen Teil
Einschnitte oder Aussparungen vorgesehen sind, welche in der Richtung von Kreissehnen oder
-bögen verlaufen.
5. Verfahren nach Ansprach 2 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß an dem
plattenförmigen Teil des Anschlußleiters Aussparungen oder Einschnitte vorgesehen sind, die
sich aus mehreren Teilen zusammensetzen, die in verschiedenen Richtungen verlaufen.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die aus verschiedenen Aussparungen
oder Einschnitten gebildeten Figuren an dem plattenförmigen Teil ineinandergreifen.
709 589/361
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