DE1245679B

DE1245679B - Verfahren zum Vakuumbedampfen von Unterlagen mit Metallen mit niedriger Kondensationstemperatur

Info

Publication number: DE1245679B
Application number: DE1960S0068632
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Viktor Degenhart
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1960-05-23
Filing date: 1960-05-23
Publication date: 1967-07-27

Description

Verfahren zum Vaktiumbedampfen von Unterlagen mit Metallen mit niedriger Kondensationstemperatur Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Vakuumbedampfen von Unterlagen mit Metallen mit niedriger Kondensationstemperatur, bei dem vor dem eigentlichen -Bedampfen auf die Unterlage Oxide unedler Metalle als Kondensationskeime aufgebracht werden.
Beim Verdampfen und anschließender Kondensation von Metallen mit niedriger Kondensationstemperatur, wie Zink oder Kadmium, hat es sich als, notwendig erwiesen, auf dem zu bedampfenden Körper vor dem Bedampfen Kondensationskeinie aufzubringen. Als, bedampfungstechnisch einfach haben sich hierbei unter anderem Zinn - und Silber gezeigt. Es besteht jedoch hierbei stets die Gefahr einer Lokalelementebildung und daraus folgend eine Kor--rosionsanfälligkeit derart vorbekehnter Schichten.
Um diese störenden Korrosionsbildungen der vorbekehnten Schichten zu verringern, hat man daher bereits vorgeschlagen, unedlere Metalle als das eigentliche Bedampfungsmetall für die Vorbekeimung zu verwenden.
Aus der französischen Patentschrift 842 019 ist es bekannt, vor dem eigentlichen Bedampfen eine Vorbekehnung mit aufgestreutem Titanoxid vorzunehmen. Ein Nachteil dieses bekannten Verfahrens besteht darin, daß die aufgestreuten Titanoxidkondensationskeime nicht wie aufgedampfte Kondensationskeime in sehr geringer Menge aufgebracht werden können bzw. falls sie in ausreichend geringer Menge aufgebracht werden, eine nicht ausreichende Kondensationshilfe darstellen.
Die Erfindung umgeht diese, Schwierigkeiten und schlägt vor, daß das Aufbringen der Kondensationskeime durch Aufdampfen eines unedlen Metalls bei einem solchen Luftdruck vorgenommen wird, daß das unedle Metall durch Zusammenstöße mit dem Restsauerstoff oxydiert wird.
Sollte der höhere Druck, der zur gewünschten Oxydation des Vorbekeimungsmaterials führt und vom gewählten Vorbekeimungsmaterial abhängt, die Hauptbedampfung merklich stören, müßte mit einem Druckschleusensystein gearbeitet werden. Im Raum für die Vorbekeimung herrscht ein höherer Druck, im eigentlichen Bedampfungsraum der zur Bedampfung notwendige niedrige Druck. Man kann aber auch die Vorbekeimung in einer gesonderten Anlage vornehmen, da sich gezeigt hat, daß die Wirkung der Vorbekehnung über längere Zeit erhalten bleibt. Wie die Erfahrung gezeigt hat, wird mit dem oxydierten Vorbekeimungsmaterial eine gute Bedampfbarkeit des zu bedampfenden Körpers und auch eine außerordentlich gute Korrosionsbeständigkeit erreicht.

Claims

Patentansprüche: 1. Verfahren zum Vakuumbedampfen von Unterlagen mit Metallen mit niedriger Kondensationstemperatur, wie Zink oder Kadmium, bei dem vor dem eigentlichen Bedampfen auf die Unterlage Oxide unedler Metalle als Kondensationskeime aufgebracht werden, dadurch gek#iinzeichnet, daß das Aufbringen der Kondensationskeime durch Aufdampfen eines unedlen Metalls bei einem solchen Luftdruck vorienommen wird, daß das unedle Metall durch Zusammenstöße mit dem Restsauerstoff oxydiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn eichnet, daß die Vorbekehnung in einem Raum vorgenommen wird, der von dem Raum, in dem das Metall aufgedampft wird, durch eine Druckschleuse getrennt ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 882 788; deutsche Auslegeschrift Nr. 1002 584; österreichische Patentschrift Nr. 192 650; französischeTatentschrift Nr. 842 019.