DE1245342B - Verfahren zur Herstellung von feinteiligem amorphem Siliciumdioxid - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von feinteiligem amorphem Siliciumdioxid

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DE1245342B
DE1245342B DEC27112A DEC0027112A DE1245342B DE 1245342 B DE1245342 B DE 1245342B DE C27112 A DEC27112 A DE C27112A DE C0027112 A DEC0027112 A DE C0027112A DE 1245342 B DE1245342 B DE 1245342B
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James Wilfred White
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Columbian Carbon Co
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Description

  • Verfahren zur Herstellung von feinteiligem amorphem Siliciumdioxid Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung feinteiligen amorphen Siliciumdioxids durch Hydrolyse gemäß den beiden folgenden, an sich bekannten Umsetzungen: Si02 (kristallin) -;- 4 HF -> SiF,, -!- 2 H20 (1) SiF4 + 2 H20 -> 4 HF + SiO2 (amorph) (2) Daß die Hydrolyse von Siliciumtetrafluorid zur Bildung eines amorphen Siliciumdioxids führt, ist in der Technik bekannt. Es ist daher viel Mühe darauf verwendet worden, wirtschaftliche Verfahren zur Herstellung von Siliciumtetrafluorid und zu dessen Hydrolyse zu entwickeln.
  • Neben den bekannten Verfahren zur Herstellung von Siliciumtetrafluorid durch a) Umsetzung von Quarzsand mit Fluorwasserstoff, b) Einwirkung von Schwefelsäure auf kieselsäurehaltigen Flußspat und c) Einwirkung von Fluorwasserstoff auf kieselsäurehaltigen Flußspat unter Bildung von Kieselfluorwasserstoffsäure und deren thermische Zersetzung, wurde in jüngster Zeit ein Verfahren angewandt, bei dem Fluorwasserstoffdämpfe@durch eine Suspension von Quarzsand in Glyzerin oder in einem anderen mehrwertigen Alkohol hindurchgeleitet werden, wobei die Suspension bei einer Temperatur zwischen ungefähr 121 und ungefähr 177'C gehalten wird.
  • Auch für die im Prinzip bekannte Hydrolyse des Siliciumtetrafluorids mit Wasser sind die verschiedensten Verfahren entwickelt worden. Beispielsweise ist ein Verfahren bekannt, bei dem Siliciumtetrafluorid mit Wasserdampf bei Temperaturen über 700°C umgesetzt, die feinteilige Kieselsäure bei dieser Temperatur vom gebildeten Fluorwasserstoff abgetrennt und erst danach abgekühlt wird, wobei der als Nebenprodukt gebildete Fluorwasserstoff wenigstens teilweise zur Bildung von Kieselfluorwasserstof säure wiederverwendet werden kann. Weiter ist ein Verfahren bekannt, bei dem Siliciumtetrafluorid mit Sauerstoff und einem brennbaren Gas vermischt und das Gasgemisch abgebrannt wird, wobei neben Fluorwasserstoff amorphes Siliciumdioxid entsteht.
  • Obwohl der Bedarf an extrem feinteiligen hellfarbigen Pigmenten und Kautschuk verstärkenden Füllstoffen ständig wächst, scheiterten trotz vieler Bemühungen bis jetzt alle Versuche, die vorgenannten Umsetzungen (1) und (2) für die Herstellung von feinteiligem Siliciumdioxid nutzbar zu machen daran, daß sie in ihrer Durchführung zu kostspielig und daher unwirtschaftlich waren.
  • Fluorwasserstoffsäure ist ein verhältnismäßig teures Reagenz, weshalb Arbeitsverfahren für die Herstellung von feinteiligem Siliciumdioxid nur dann wirtschaftlich tragbar sind, wenn die bei der Hydrolyse des Siliciumtetrafluorids frei werdende Fluorwasserstoffsäure ohne großen Aufwand in einer Form zurückgewonnen werden kann, in der sie für die erneute Verwendung geeignet ist.
  • Eine derartige Rückgewinnung war bislang dadurch mit Komplikationen verbunden, daß die Fluorwasserstoffsäure aus den Abgasen in Form extrem verdünnter wäßriger Lösungen abgeschieden wurde und daß die Rückgewinnung konzentrierter Fluorwasserstoffsäure aus diesen verdünnten Lösungen schwierig und mit hohen Kosten verbunden war.
  • Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, ein wirtschaftliches Verfahren zur Herstellung feinteiligen amorphen Siliciumdioxids mit überragenden Eigenschaften zu entwickeln, das die vorgenannten Nachteile nicht aufweist und das die Rückgewinnung der eingesetzten Fluorwasserstoffsäure in einfacher Weise gestattet.
  • Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst worden, daß zur Erzeugung eines Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Gemisches eine 30 bis 39 Gewichtsprozent Fluorwasserstoff enthaltende wäßrige Flußsäure in einer Verdampfungszone verdampft und das dabei entstehende Gemisch aus Fluorwasserstoff und Wasserdampf bei einer oberhalb der Kondensationstemperatur des Wasserdampfes, jedoch nicht über 221'C liegenden Temperatur durch kristallines Siliciumdioxid geleitet und zur Hydrolyse des Siliciumtetrafluorids das Siliciumtetrafluorid und Wasserdampf enthaltende Gemisch in einen kräftig durchwirbelten Luftstrom eingeblasen und danach dem durchwirbelten Gasstrom ein Brenngas beigemischt und diese brennbare Mischung unmittelbar in die hocherhitzte Verbrennungszone eingeleitet wird.
  • Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens hat es sich als besonders günstig herausgestellt, beim Durchleiten des Siliciumtetrafluoiid-Wasserdampf-Gemisches durch die Siliciumdioxid enthaltende Schicht die Temperatur im Bereich zwischen etwa 121 und 188°C und eine Kontaktzeit von etwa 15 Sekunden einzuhalten oder die Dampfmischung mit einer solchen Geschwindigkeit durch die Schicht hindurchzuführen, daß je Minute ungefähr 8 kg Fluorwasserstoff jeweils mit einem Kubikmeter des Sandes in Berührung kommen. Vorzugsweise wird als kristallines Siliciumdioxidmaterial Quarz mit einem Siliciumdioxidgehalt von 990/, verwendet, wobei die mittlere Teilchengröße der Quarzkristalle maximal 25 mm beträgt.
  • Die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens entwickelte Hydrolysevorrichtung besteht aus den folgenden Teilen: a) einem langgestreckten, vorzugsweise zylindrischen Ofenraum (36), dem ein Ansatzstück mit einem sich verengenden, koaxial angeordneten Abschnitt (38) vorgeschaltet ist; b) einer diesem Ansatzstück vorgeschalteten koaxialen Luftkammer (44) von zylindrischem Querschnitt; c) einer in den zylindrischere Teil der Luftkammer (44) tangential einmündenden Luftzuführung (45); d) mindestens einer in der Wand des verengten Abschnittes (38) vorgesehenen Öffnung (50) zur Einführung der in dem Siliciumtetrafluoridgenerator (1) erzeugten Gasmischung; e) einem koaxial durch die Luftkammer (44) geführten, in den verengten Abschnitt (38) hineinragenden, in Längsrichtung verschiebbaren Brenngasinjektor (46). Als besonders vorteilhaft hat es sich erwiesen, den Brenngasinjektor stirnseitig zu verschließen und ihn an seinem verschlossenen Ende mit Manteldurchbrüchen zu versehen, so daß das Brenngas im wesentlichen radial nach außen in die wirbelnde Gasmischung von Siliciumtetrafluorid, Wasserdampf und Luft von einer Stelle aus eingeblasen wird, die etwa in der Achse des wirbelnden Gasstromes liegt. Weitere Vorteile können dadurch erzielt werden, daß in der Wand des verengten Abschnittes (38) tangentiale Löcher vorgesehen sind und der verengte Abschnitt (38) von einer ringförmigen Kammer (42) umgeben ist, in die die Zuleitung (16) für das Gasgemisch tangential einmündet. Eine weitere Verbesserung des Hydrolysegefäßes besteht schließlich darin, daß die Wand des Ofenraumes in ihrer ganzen Länge von einem Kühlmantel umschlossen wird.
    Das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren heg-
    stellbare amorphe Siliciumdioxid ist sehr feinteilig und
    weist ein extrem hohes Ölaufnahmevermögen auf.
    Es verleiht Gummimischungen eine außergewöhnlich
    hohe Zerreißfestigkeit und eignet sich besonders zur
    Verwendung als Pigment. Es ist von leuchtend weiW
    Farbe und wird beim Dispergieren in einer Flüssigkeit
    durchscheinend. Seine Dichte in ungepreßtem Zustand
    beträgt ungefähr 16 bis ungefähr 80 g/1. In Gegenwart
    atmosphärischer Feuchtigkeit ist es stabil und weist
    eine nach der Methode der Stickstoffadsorption
    bestimmte spezifische Oberfläche auf, die zwischen
    etwa 120 und etwa 220 m2/g schwankt, wobei die
    einzelnen Teilchen mindestens zu 99"/, aus SiOs
    bestehen und die sie aufbauende feste Substanz eine
    Dichte von wenig über 2 aufweist.
    Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Ver-
    fahrens hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen,
    bei Durchleiten des Siliciumtetrafluorid-Wassersiaff
    dampf-Gemisches durch die Siliciumdioxid enthaltende
    Schicht die Temperatur im Bereich zwischen etwa
    121 und 188'C zu halten.
    Bei tiefen Temperaturen besteht die Gefahr, daß
    sich die Dämpfe kondensieren, während bei Tem-
    peraturen über 188°C die Ausbeute an Siliciumtetra-
    fluorid überraschenderweise rasch abnimmt. Wird die
    Siliciumdioxidschicht gleichmäßig bei einer Temperatur
    zwischen ungefähr 121 und ungefähr 177'C go-
    halten, so läßt sich bei einer Kontaktdauer von
    15 Sekunden eine über 95°/jge Überführung der
    Fluorwasserstoffsäure in Siliciumtetrafluorid er-
    reichen.
    Die Strömungsgeschwindigkeit der gasförmigen
    Mischung durch die Schicht des kristallinen, Kiesel-
    säure enthaltenden Materials ist beträchtlichen
    Schwankungen unterworfen, je nach der Temperatur
    des Gases und der Siliciumdioxidschicht, nach der
    Gleichmäßigkeit der Verteilung des Gases und nach
    der Feinheit des kristallinen Siliciumdioxids, aus dem
    die Schicht besteht. Beim Betrieb einer Versuchsanlage
    wurde jedoch gefunden, daß bei Temperaturen der
    Schicht innerhalb des bevorzugten Bereiches für
    optimale Ergebnisse, d. h. für praktisch vollständige
    Umsetzung der Fluorwasserstofsäure mit den Sili-
    ciurndioxidkörnern, die gasförmige Mischung mit eurer
    solchen Geschwindigkeit durch die Schicht geführt
    werden soll, die ungefähr 8 kg Fluorwasserstoff je
    Minute und je Kubikmeter des körnigen Silicium-
    dioxidmaterials entspricht. Bei Verwendung einer
    Schicht aus kristallinem Quarz, der in gröberen
    Teilchen, z. B. in der Größenordnung von ungefähr
    25 mm größter Abmessung vorliegt, zeigte sich, daH
    eine Kontaktzeit von ungefähr 15 Sekunden zu guten
    Ergebnissen führt.
    Kristallines Siliciumdioxid findet sich reichlich in
    der Natur, und zwar in Form der drei Mineralien
    Quarz, Tridymit und Cristobalit. Im Sinne der vor-
    liegenden Erfindung können alle diese Formen von
    kristallinem Siliciumdioxid oder Mischungen dawm
    verwendet werden. Allerdings ist Quarz am häufigsten
    und weist darüber hinaus besondere praktische
    Vorzüge auf. Er besteht aus pseudohexagonalen
    Kristallen mit einem Brechungsindex von 1,442 und
    einer Dichte von 2,65 und ist in sehr reiner Form
    erhältlich. Die besten Ergebnisse wurden mit f2tura-
    kristallen die ungefähr 990/, reines Si02 enthie#tn
    und eine Teilchengröße von ungefähr 25 mm maximaler
    Ausdehnung aufwiesen, erzielt, doch ist die
    größe im Sinne der vorliegenden Erfindung keine kritische Gi öße.
  • Kristallines Siliciumdioxid der oben angegebenen Teilchengröße hat den Vorzug, daß die gasförmige Mischung kaum mehr dazu neigt, die Schicht in Kanälen zu durchströmen, was einen gleichmäßigeren Kontakt zwischen dem Gas und dem Feststoff begünstigt. Feiner verteiltes kristallines Siliciumdioxid, z. B. Quarzsand, kann - wie oben erwähnt - ebenfalls verwendet werden, doch ergibt sich dann. leicht eine etwas weniger vollständige Umwandlung der Fluorwasserstoffsäure in Siliciumfluorid, wenn nicht spezielle Vorrichtungen vorgesehen werden, die eine praktisch gleichmäßige Durchströmung der Schicht durch den gasförmigen Reaktionspartner sicherstellen.
  • Das nach dem oben beschriebenen Verfahren erzeugte Siliciumtetrafluorid enthält einen ungewöhnlich hohen Anteil an Wasserdampf, der auf die Anwesenheit der großen Wasserdampfmenge in dem reagierenden Fluorwasserstoff zurückzuführen ist, doch bleiben die Mengenanteile von Siliciumtetrafluorid und Wasserdampf, aus welchen die den Generator verlassenden. Gase bestehen, praktisch konstant, solange die Temperatur, die Konzentration und die Strömungsgeschwindigkeit des Fluorwasserstoffs, der die Siliciumdioxidschicht durchströmt, und die Temperatur und die Zusammensetzung dieser Siliciumdioxidschicht konstant bleiben.
  • Dieser große Überschoß an Wasserdampf in Mischung mit dem Siliciumtetrafluorid, das der Hydrolyse nach Gleichung (2) unterworfen wird, ist - wie gefunden wurde - von deutlichem Einfloß auf die Qualität und Gleichmäßigkeit des sehr feinteiligen Siliciumdioxidproduktes, speziell dann, wenn die Hydrolysereaktion entsprechend der weiter unten folgenden Beschreibung durchgeführt wird.
  • Obwohl das oben beschriebene Verfahren zur Herstellung von Siliciumtetrafluorid allgemein anwendbar ist und keine bestimmte Art der Durchführung der Hydrolyse verlangt, hat sich doch gezeigt, daß die Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Mischung, die sich bei dem vorliegenden Verfahren zur Herstellung von Siliciumtetrafluorid ergibt, besonders vorteilhaft ist, wenn diese nach dem Verlassen des Generators zunächst gleichmäßig und vollständig in einem Strom vorerhitzter Luft oder einem ähnlichen Gas, das freien Sauerstoff enthält, unter den Bedingungen extremer Turbulenz verteilt wird und wenn die so erhaltene Mischung, immer noch unter den Bedingungen extremer Turbulenz. vollständig mit einem Strom von Brenngas vermischt wird, bevor man das Siliciumtetrafluorid zur Hydrolyse bringt. Unmittelbar nach diesen vorbereitenden Vorgängen wird die zum Schluß erhaltene Gasmischung in die Verbrennungszone einer hocherhitzten Ofenkammer eingeführt, in welcher das Brenngas unter Luftzutritt verbrannt wird, wobei beide Gase zuvor eine Beimischung des Siliciumtetrafluorid-Vr'asserdampf-Gemisches erhalten haben. Eine andere Möglichkeit ist, die Luft und das Brenngas gleichzeitig mit der Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Mischung aus dem Siliciumtetrafluoridgenerator zu mischen. Es ist jedoch wichtig, daß die Temperatur der Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Mischung währenddessen stets ausreichend hoch bleibt, um eine Kondensation des Wasserdampfes zu vermeiden.
  • Bei diesem Hydrolyseverfahren wird das Siliciumdioxid in gasförmiger Suspension in gleichmäßiger,' extrem feinverteilter amorpher Form mit einem mittleren Teilchendurchmesser im Bereich von 10 bis 20 mu, und mit außergewöhnlich hohem Ölaufnahmevermögen im Bereich von ungefähr 2,09 bis 4,181/kg, bestimmt nach der Gardner-Methode, ausgefällt. Wird der Verfahrensschritt des Vormischens des Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Gemisches mit Luft und Brennstoff nicht angewandt, so liegt, wie gefunden wurde, das Ölaufnahmevermögen des gewonnenen Siliciumdioxids erheblich niedriger, für gewöhnlich zwischen ungefähr 0,585 und ungefähr 0,6691 Öl je Kilogramm Siliciumdioxid.
  • Es sei besonders betont, daß nach dem vorliegenden verbesserten Hydrolyseverfahren die Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Mischung mit der Luft und dem Brenngas vor der Einführung in die Flammenzone der Hydrolysekammer vermischt wird, wodurch sich dieses Verfahren von den früheren Vorschlägen, das Vermischen in der Flammenzone vorzunehmen, unterscheidet.
  • Das bei den früheren Verfahren auftretende Absetzen des Siliciumdioxids auf der Innenwand der Hydrolysekammer, das zu Verstopfungen führte und den Gasstrom sowie die Mischvorgänge erheblich störte, wird bei den Verfahren der Erfindung dadurch vermieden, daß die Temperatur der Wand der Hydrolysekammer und speziell der Wand der Verbrennungszone und anderer hocherhitzter Zonen dieser Kammer nicht über etwa 649-'C ansteigt.
  • Die erforderliche niedrige Wandtemperatur kann dadurch aufrechterhalten werden, daß die Geschwindigkeit der Gase, die durch die Verbrennungszone des Reaktionsgefäßes strömen, auf höhere Werte einreguliert wird, als der Fortpflanzungsgeschwidigkeit der Flamme entspricht. Ein leichter kontrollierbares und deshalb bevorzugt angewandtes Verfahren zur Erfüllung dieser Bedingungen besteht jedoch darin, die Außenwand des Reaktionsgefäßes mit einem Kühlmantel zu versehen und durch diesen ein Kühlmedium, z. B. Luft, hindurchströmen zu lassen, wie weiter unten ausführlicher beschrieben wird.
  • Neben dem suspendierten Siliciurndioxid enthalten die das Hydrolysereaktionsgefäß verlassenden Gase Fluorwasserstoff und eine große Menge Wasserdampf sowie außerdem die gasförmigen Verbrennungsprodukte des Brenngases. Die Rückgewinnung des Fluorwasserstoffs zur Wiederverwendung bei der Erzeugung von Siliciumtetrafluorid ist eine wirtschaftliche Notwendigkeit. Ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß die Rückgewinnung wäßriger Fluorwasserstoffsäure bei dessen verhältnismäßig niedrigen Konzentrationen aus den Abgasen der Hydrolysereaktion nur mit minimalen wirtschaftlichen und praktischen Schwierigkeiten verbunden ist.
  • Im Hinblick auf das Ziel der vorliegenden Erfindung, zur Herstellung von Siliciumtetrafluorid verhältnismäßig verdünnte wäßrige Lösungen von Fluorwasserstoff zu verwenden, kann die Rückgewinnung des Fluorwasserstoffs aus den Abgasen in einer für die Wiederverwendung geeigneten Form leicht mit Hilfe bekannter Verfahren zur fraktionierten Kondensation vorgenommen werden, welchen die aus dem Hydrolysegefäß entweichenden Gase nach der Abscheidung des darin suspendierten Siliciumdioxids zu unterwerfen sind.
  • Es ist jedoch wichtig, daß die Abtrennung des suspendierten Siliciumdioxids aus den Gasen, die das Reaktionsgefäß verlassen, unter solchen Bedingungen erfolgt, unter welchen eine Rückreaktion, d. h. eine Umsetzung des suspendierten Siliciumdioxids mit der gebildeten Fluorwasserstoffsäure, nicht oder doch nur in ganz geringem Umfang möglich ist. Zu diesem Zweck werden am besten die Suspension und die Gefäß- und Leitungswände, mit denen diese in Berührung kommt, auf einer Temperatur gehalten, die möglichst nahe der Temperatur des Gases entspricht. Wenn die Temperatur der Wände so niedrig ist, daß sich daran Wasserdampf kondensiert, so tritt außerdem eine rasche Korrosion der Metallflächen auf. Als vorbeugende Maßnahme zur Vermeidung einer solchen Kondensation und der die Ausbeute beeinträchtigenden Rückreaktion ist zu empfehlen, in dem ganzen Bereich der Apparatur von der Bildung des Siliciumdioxids bis zu der Stelle, bei welcher dieses aus der gasförmigen Suspension abgetrennt und gesammelt wird, eine Temperatur von mindestens 260'C aufrechtzuerhalten.
  • Die Abtrennung und Gewinnung des feinteiligen Siliciumdioxids aus den Gasen, die das Reaktionsgefäß verlassen, kann in verschiedener Weise vorgenommen werden, wenn nur eine Kondensation von Wasserdampf vermieden wird. Mit gutem Erfolg wurde die Abtrennung in der Weise durchgeführt, daß diese Gase zunächst durch ein Elektrofilter, dann durch konventionelleZyklonabscheider und schließlich, falls erforderlich, durch ein Schlauchfilter geführt wurden, eine Verfahrensweise, die zur Gewinnung von Pigmenten, wie z. B. Ruß aus Suspensionen mit gasförmigem Medium, bekannt und üblich ist. Wenn dieses Verfahren zur Abtrennung und Gewinnung angewandt wird, ist es gelegentlich erwünscht, die Temperatur der Suspension auf ungefähr 427°C herabzusetzen, bevor sie in das Elektrofilter gelangt. Häufig jedoch können ohne weiteres Temperaturen bis zu ungefähr 704°C vorliegen.
  • Das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren herstellbare Siliciumdioxid weist noch einen geringen Fluorwasserstoffgehalt von beispielsweise etwa 20/, auf. Für den Fall, daß dieser Fluorwasserstoffgehalt sich ungünstig auf den jeweiligen Verwendungszweck auswirkt, kann der Fluorwasserstoff durch Erhitzen des Siliciumdioxids auf Temperaturen zwischen etwa 260 und 816°C vertrieben und zur Rückgewinnung dem Fluorwasserstoffkreislauf zugeführt werden. Durch ungefähr 15 Minuten langes Erhitzen auf etwa 704°C kann der noch im Siliciumdioxid verbleibende Fluorwasserstoff auf unter 0,10/, vermindert werden.
  • Das zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens entwickelte Hydrolysereaktionsgefäß wird durch die F i g. 2, 3, 4, 5, 6 und 7 wiedergegeben.
  • F i g. 2 zeigt einen Längsschnitt durch ein einzelnes Hydrolysereaktionsgefäß, in welchem die Hydrolyse des Siliciumtetrafluorids erfolgt; F i g: 3 zeigt einen Querschnitt entlang der Linie 3-3 in F i g. 2; F i g. 4 zeigt einen Querschnitt entlang der Linie 4-4 in F i g. 2; F i g. 5 zeigt einen Querschnitt entlang der Linie 5-5 in Fig. 2; F i g. 6 zeigt einen Querschnitt entlang der Linie 6-6 in Fig. 2; F i g. 7 zeigt eine etwas vergrößerte Seitenansicht des Brenngasinjektors.
  • Das Hydrolysereaktionsgefäß besteht aus einem nach beiden Seiten offenen Ofenraum 36 von kreisförmigem Querschnitt, der durch eine sich verjüngende Zone 37 mit einem verengten Bereich 38 in Verbindung steht. Der Ofenraum 36 ist, wie aus F i g. 2 hervorgeht, mit Ausnahme der an seinem vorderen Ende angebrachten Auskleidung aus feuerfestem Material, auf seiner ganzen Länge von praktisch gleichem Durchmesser, während der Abschnitt 37 im allgemeinen konisch geformt ist. Obwohl diese Ofenausführung sich als gut brauchbar erwiesen hat, ist sie doch für das Verfahren nicht kritisch, und es können auch Öfen von anderem Querschnitt verwendet werden.
  • Aus schon weiter oben beschriebenen Gründen sind der Ofenraum 36 und der Abschnitt 37 auf ihrer ganzen Länge von einem Kühlmantel 39 umgeben, in welchem durch die Zuleitung 40, die Luftkammer 40a und die Öffnungen der Verteilungs-Zwischenwand 40b am vorderen Ende des Ofens kalte Luft eingeführt wird, und aus welchem durch die Luftkammer 41 und die Austrittsöffnung 41a am hinteren Ende des Ofenraumes die heiße Luft entweicht.
  • Die verengte Zone 38 ist von einer ringförmigen Kammer 42 umgeben, in welche die vom Generator kommende Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf -Mischung durch die Leitung 16 tangential unter Druck eingeführt wird. Die Innenwand 43, welche die Verengung 38 bildet, ist - wie durch 50 angedeutet -perforiert, damit die Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Mischung aus der Kammer 42 in die verengte Zone 38 gelangen kann, wie aus F i g. 6 deutlicher hervorgeht.
  • Noch vor der verengten Zone 38 ist eine Luftkammer 44 von im allgemeinen kreisförmigen Querschnitt angebracht, die mit einer Verjüngung in die verengte Zone 38 übergeht; in diese Luftkammer 44 wird durch die Zuleitung 45 tangential Druckluft eingeführt. Koaxial durch die Luftkammer führt ein Brenngasinjektor 46, der in der verengten Zone 38 endigt. Dieser Injektor 46 führt durch die Manschette 47, in welcher er frei vor- und zurückbewegt werden kann, so daß sich die Stellung des Injektorkopfes im Innern der Vorrichtung nach Wunsch einstellen läßt. Die Manschette 47 wird an ihrem inneren Ende durch die radial angeordneten Stäbe 48 und an ihrem äußeren Ende durch die Stopfbüchsenpackung 49 gehalten und abgedichtet.
  • Befindet sich die Vorrichtung in Betrieb, so wird vorzugsweise vorerhitzte Luft unter Druck und mit hoher Geschwindigkeit in die Luftkammer 44 eingeführt, so daß sich in dieser ein wirbelnder Zyklon ausbildet,- dessen Durchmesser sich bis zur verengten Zone 38 allmählich vermindert, so daß sich die Strömungsgeschwindigkeit steigert; in der verengten Zone 38 wird er dann intensiv mit der Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Mischung vermischt, welche durch die Leitung 16 und die Öffnungen 50 ebenfalls in praktisch tangentialer Richtung in die verengte Zone 38 eingeführt wird.
  • Der Brenngasinjektor 46 ist an seinem inneren Ende günstigerweise verschlossen und ganz in der Nähe der inneren Stirnseite mit einer einzelnen Reihe oder mehreren Reihen von radial nach außen führenden Austrittsöffnungen 51 versehen, so daß das unter Druck zugeführte Brenngas durch die Öffnungen 51 in scharfem Strahl radial nach außen in den wirbelnden Strom der Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Mischung strömt und mit diesem gleichmäßig vermischt wird, bevor er in die Flammenzone des Ofenraums eintritt. Die Geschwindigkeit, mit welcher diese Gasmischung durch den verengten Abschnitt in den Ofenraum einströmt, wird größer gehalten als die Geschwindigkeit, mit welcher sich die Flamme ausbreitet, so daß die Flammenzone der Verbrennungsreaktion stets hinter dem verengten Abschnitt verbleibt. Innerhalb der Flammenzone herrschen Temperaturen im Bereich zwischen ungefähr 760 und ungefähr 1650'C, vorzugsweise eine solche im Bereich zwischen ungefähr 1316 und 1427'C. Diese Temperatur kann durch Einstellung des Mengenverhältnisses von Brenngas zu Luft, die eingeblasen wird, einreguliert werden. Der Mengenanteil der eingeblasenen Luft soll so groß sein, daß sich eine nicht rußende, oxydierende Gebläseflamme ausbildet; er kann aber, je nach den Eigenschaften, die das gebildete feinteilige Siliciumdioxid erhalten soll, innerhalb eines beträchtlichen Bereiches schwanken. Auch der Mengenanteil des Siliciumtetrafluorids kann innerhalb weiter Grenzen verändert werden, um eine Variation in der Qualität des Produktes herbeizuführen. Die Feinheit des gebildeten Siliciumdioxids nimmt, wie gefunden wurde, mit steigender Verdünnung der Reaktionspartner zu, was offenbar auf eine Verringerung des Teilchenwachstums des Siliciumdioxidrauches in der Flammenzone zurückzuführen ist.
  • Als Brenngas wurde mit gutem Erfolg ein Industriegas mit einem Heizwert von ungefähr 4190 kcal/m3 verwendet. Es können jedoch auch andere nicht rußende Brennstoffe wie Methan, Butan oder Heizöl zur Erzeugung der für die Hydrolyse erforderlichen hohen Temperatur verwendet werden. Die Lage der Austrittsöffnungen für den Brennstoff wird so einreguliert, daß sich unmittelbar hinter dem verengten Bereich 38 eine stabile Flamme ergibt. Außerdem ist dafür Sorge zu tragen, daß die Temperatur der den Ofen verlassenden Gase ungefähr 982°C nicht übersteigt, um zu vermeiden, daß die darauffolgenden Teile der Anlage beschädigt werden.
  • Das Hydrolysereaktionsgefäß wird in irgendeiner geeigneten Weise, z. B. durch einen Sockel oder - wie mit 52 angedeutet - durch Pfeiler getragen. Der Ofenraum ist mit Vorrichtungen 53, z. B. Thermoelementen, zur Messung der Temperatur in den verschiedenen Abschnitten versehen und darüber hinaus mit Vorrichtungen 54 ausgestattet, mit deren Hilfe die Temperatur der Innenwand des Ofenraums beobachtet werden kann.
  • Wegen der stark korrodierenden Wirkung der zu behandelnden Reaktionspartner ist besondere Sorgfalt auf die Auswahl der Materialien, aus welchen der Apparat hergestellt werden soll, zu verwenden. Die Innenwand 55 des Ofenraumes 36 besteht vorteilhafterweise aus Nickel mit niederem Kohlenstoffgehalt. Der Mantel 56 des Luftkühlers kann aus Kohlenstoffstahl hergestellt sein. Das vordere Ende des Ofenraumes ist mit einer vorgeformten Auskleidung 57 aus feuerfestem Material, vorzugsweise Aluminiumoxid, versehen. Um die Wärmeableitung von der Wand des Ofenraumes zu unterstützen, damit deren Innenseite auf der gewünschten niederen Temperatur bleibt, wird die Wand 55 auf ihrer Außenseite am besten mit einer großen Zahl von Metallrippen versehen, die radial nach außen in den ringförmigen, von Luft durchströmten Raum des Kühlmantels hineinragen.
  • In dem nun folgenden Beispiel soll eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens an Hand der F i g. 1 näher erläutert werden. In dieser Figur ist der Siliciumtetrafluoridgenerator mit 1 und das Hydrolysereaktionsgefäß mit 2 bezeichnet. Der Generator 1 wird durch den Beschikkungstrichter 3, der mit den Gasschleusen 4 der üblichen Art zur Vermeidung eines Gasverlustes während der Beschickung und mit einem Zuleitungsrohr 5 veisehen ist, mit kristallinem Siliciumdioxid gefüllt.
  • Die zurückgewonnene Säure wird durch die Leitung 6 und die mit einem Ventil versehene Verbindungsleitung 7 in den oberen Teil des Säureverdampfers 8 eingeführt, dessen Art in F i g. 9 genauer wiedergegeben ist. Die wäßrige Säurelösung wird, während sie im Verdampfer 8 nach unten fließt, verdampft; die sich dabei ergebende Gasmischung aus Fluorwasserstoff und Wasserdampf gelangt vom Verdampfer durch die Leitung 9 in den Überhitzer 10, in welchem die Gasmischung auf die gewünschte Temperatur, vorzugsweise im Bereich zwischen ungefähr 121 und 188'C, erhitzt wird, und von dort unmittelbar durch die Leitung 11 in das untere Ende des Siliciumtetrafluoridgenerators 1. Während die Gasmischung in diesem Generator nach oben strömt, kommt sie in Berührung mit der Schicht aus kristallinem Siliciumdioxid, so daß der Fluorwasserstoff praktisch vollständig in Siliciumtetrafluorid und Wasserdampf übergeführt wird.
  • Die aus Siliciumtetrafluorid und Wasserdampf bestehende Gasmischung gelangt durch die Leitung 12 vom Generator 1 in den Abscheider 13, der vorzugsweise vom Zyklontyp ist und eine Abscheidung von in der Gasmischung etwa vorhandenen festen Teilchen herbeiführt. Die von festen Teilchen befreite Gasmischung verläßt den Separator durch die Leitung 14, die zum Gebläse 15 führt, durch welches die Dampfmischung durch die mit einem Ventil versehene Leitung 16 dem Hydrolysereaktionsgefäß 2 zugeführt wird. Die Temperatur der Dampfmischung muß auf dem Weg vom Generator 1 zum Hydrolysereaktionsgefäß 2 stets so hoch gehalten werden, daß keine Kondensation erfolgen kann.
  • Die zum Verdampfen der wäßrigen Säurelösung erforderliche Wärme wird am besten durch Wasserdampf im indirekten Wärmeaustausch zugeführt; die Dampfzuleitung zum Verdampfer 8 ist mit 17 und die Kondensatableitung mit 18 bezeichnet. Für diesen Zweck wird zweckmäßigerweise Wasserdampf von ungefähr 3,5 at und ungefähr 148°C verwendet. Die Temperatur der den Verdampfer verlassenden Säuredämpfe liegt für gewöhnlich bei ungefähr 113'C.
  • Die Anteile der Säurelösung, die nicht verdampft sind, werden am unteren Ende des Verdampfers durch die Leitung 19 abgezogen und mit Hilfe der Pumpe 20 und der Leitung 21 in den oberen Teil des Verdampfers zurückgeführt.
  • Der Überhitzer 10 ist ein indirekter Wärmeaustauscher, der mit Wasserdampf unter einem Druck von ungefähr 7,0 at betrieben wird. Dieser wird durch die Leitung 22 zu- und der Abdampf durch die Leitung 23 abgeführt.
  • Bei Verwendung von kristallinem Siliciumdioxid hohen Reinheitsgrades ergeben sich bei der zur Siliciumtetrafluoridbildung führenden Umsetzung nur verhältnismäßig geringe Mengen an Feststoffrückständen. In dieser Weise angefallenes Rückstandmaterial liegt in sehr feinteiliger Form vor; es setzt sich am Boden des Siliciumtetrafluoridgenerators ab und sammelt sich in dem konischen Trichter 24, aus welchem es von Zeit zu Zeit mit Wasser, das durch die mit Ventil versehene Leitung 25 eingeführt wird, durch die mit Ventil versehene Verbindung 26 in den Abfallbehälter 27 gespült wird, aus welchem es im Bedarfsfall durch den Hahn 28 abgelassen werden kann. In ähnlicher Weise können die durch den Separator 13 aus den Gasen, die den Generator verlassen, abgeschiedenen Feststoffe mit Hilfe von Wasser, das durch die mit Ventil versehene Zuleitung 29 zugeführt wird, aus dem Separator durch die mit Ventil versehene Leitung 30 ebenfalls in den Abfallbehälter 27 gespült werden.
  • Wie schon oben erwähnt, muß die Temperatur der Schicht aus kristallinem Siliciumdioxid im Siliciumtetrafluoridgenerator 1 sorgfältig überwacht und auf einen Wert innerhalb des oben beschriebenen Bereichs einreguliert werden. Da die durch Reaktionsgleichung (1) beschriebene Umsetzung exotherm ist, müssen geeignete Vorrichtungen vorgesehen werden, um aus der Schicht des kristallinen Siliciumdioxids Wärme abzuführen. Für diesen Zweck sind verschiedene bekannte Möglichkeiten brauchbar; so werden z. B. besonders zufriedenstellende Ergebnisse erzielt, wenn unmittelbar in die Schicht aus kristallinem Siliciumdioxid ein verhältnismäßig kleiner Anteil der zurückgewonnenen Säure in flüssiger Form eingeführt wird, so daß durch die unmittelbar erfolgende Verdampfung der wäßrigen Säure der Siliciumdioxidschicht Wärme entzogen wird.
  • Dieses Verfahren, die Wärme aus der Schicht des kristallinen Siliciumdioxids abzuführen, ist besonders wirksam, da auf diese Weise die Temperatur in den verschiedenen Zonen dieser Schicht überwacht und reguliert werden kann, so daß sich überall die gleiche vorgesehene Temperatur einstellt. Dadurch wird die Ausbeute der Umsetzung beträchtlich verbessert.
  • Es ist ein besonderer Gesichtspunkt der Erfindung, daß in verschiedenen Höhen in der Schicht des kristallinen Siliciumdioxids Thermoelemente oder andere Einrichtungen zur Messung der Temperatur und zugleich solche Vorrichtungen vorgesehen sind, mit deren Hilfe die wäßrige Säure unmittelbar in die jeweilige Zone eingeführt werden kann. Dies ist in F i g. 1 durch die jeweils mit einem Ventil versehenen Verbindungsleitungen 31, 32, 33 und 34 dargestellt, welche durch die Leitung 35 mit der Zuleitung 6 für die zurückgewonnene Säure in Verbindung stehen.
  • Über die Leitung 16 wird die Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Mischung dem in den F i g. 2, 3, 4, 5, 6 und 7 beschriebenem Hydrolysereaktionsgefäß zugeführt, wo die Umsetzung in der dort geschilderten Weise erfolgt.
  • Als Brenngas wird mit gutem Erfolg ein Industriegas mit einem Heizwert von ungefähr 4190 kcal/m3 verwendet. Es können jedoch auch andere nichtrußende Brennstoffe wie Methan, Butan oder Heizöl zui Erzeugung der für die Hydrolyse erforderlichen hohen Temperatur verwendet werden. Die Lage der Austrittsöffnungen für den Brennstoff wird so einreguliert, daß sich unmittelbar hinter dem verengten Bereich 38 eine stabile Flamme ergibt. Außerdem ist dafür Sorge zu tragen, daß die Temperatur der den Ofen verlassenden Gase ungefähr 982°C nicht übersteigt, um zu vermeiden, daß die darauffolgenden Teile der Anlage beschädigt werden.
  • Die Austrittsöffnung des Hydrolysereaktionsgefäßes 2 steht durch die Leitung 69 mit einem Kühler 70 in Verbindung, in welchem die den Ofen verlassenden Gase auf die gewünschte Temperatur, für gewöhnlich nicht unter ungefähr 427°C, abgekühlt werden, bevor sie in die Anlage zur Abscheidung und Sammlung des Produkts gelangen. Für diesen Zweck stehen verschiedene Typen von indirekten Wärmeaustauschern zur Verfügung. Bevorzugt wird jedoch ein Kühler, bei welchem durch das Gebläse 71 Luft über eine größere Zahl von Röhren geblasen wird, durch welche die den Ofen verlassenden Gase strömen; die Abluft entweicht durch die Öffnung 72 in die Atmosphäre.
  • Das in den Gasen, die den Ofen verlassen, suspendierte Siliciumdioxid wird durch Durchleiten der gasförmigen Suspension durch ein Elektrofilter 74 und weiter über die Leitung 75 durch zwei in Serie geschaltete Zyklonabscheider 76 und 77 abgeschieden. In der Zeichnung ist ein weiteres Filter 78 wiedergegeben, das ein Schlauchfilter sein kann und welchem die aus den Zyklonabscheidern kommenden Gase, die noch Reste von Siliciumdioxid enthalten, durch die Leitung 79 zugeführt werden. Wie jedoch an anderer Stelle schon erwähnt, kann das letzte Filter 78 häufig weggelassen werden.
  • Die - wie weiter oben beschrieben - zur Vermeidung der Kondensation und Umkehrung der durch Gleichung (2) beschriebenen Reaktion erforderliche höhere Temperatur in der Sammel- und Abscheideanlage kann dadurch aufrechterhalten werden, daß die Kühlleistung des Kühlers 70 entsprechend einreguliert wird und daß das in den jeweiligen Trichtern des Elektrofilters, der Zyklonabscheider und des Filters gesammelte Siliciumdioxid mit Hilfe von elektrischen Heizvorrichtungen, die durch 80 angedeutet sind, auf der erforderlichen Temperatur gehalten wird.
  • Mit dem oben beschriebenen Verfahren konnten durchweg mindestens 90°/o des Siliciumtetrafluorids in feinteiliges Siliciumdioxid übergeführt werden. Dementsprechend setzen sich die Gase, welche die Abscheideranlage verlassen, hauptsächlich aus den Verbrennungsprodukten des Brenngases mit Luft, Fluorwasserstoff aus der Hydrolysereaktion, etwas nicht umgesetztes Siliciumtetrafluorid und einer großen Menge von überschüssigem Wasserdampf zusammen. Je nachdem, ob das Endfilter 78 angewandt wurde oder nicht, können diese Gase für gewöhnlich auch geringere größere Mengen an feinteiligem Siliciumdioxid suspendiert enthalten.
  • Wird das Filter 78 benutzt, so wird die Gasmischung und etwa darin verbliebenes Siliciumdioxid durch die Leitung 81 der Absorber- und Fraktionierkolonne 82 zugeführt. Wenn am Ende der Abscheideanlage kein Filter verwendet wird, so gelangt die Gasmischung von der Leitung 79 unmittelbar in die Kolonne, wie durch die gestrichelte Linie 81a angedeutet ist. Die Kolonne ist günstigerweise eine Glockenbodenkolonne mit Graphitböden und ist an ihrem oberen Ende mit Kühlschlangen 83 versehen, wodurch die gewünschte Temperatur am Kolonnenkopf eingestellt werden kann, damit die Kondensation einer für die Absorption des Fluorwassertoffs ausreichenden Wassermenge sichergestellt und Fluorwasserstoffverluste durch die Abgase so niedrig wie möglich gehalten wer den. Wenn die eintretenden Gase nach oben strömen und dabei mit dem nach unten fließenden Wasser in Berührung kommen, so werden die darin etwa verbliebenen Siliciumdioxidreste und das Siliciumtetrafluorid durch Umsetzung mit dem Fluorwasserstoff unter Bildung von Kieselfluorwasserstofl= säure gebunden. Gase und nicht kondensierter Wasserdampf werden vom oberen Ende der Kolonne durch die Leitung 84 mit Hilfe des Gebläses 85 abgesaugt und in den Schornstein geblasen.
  • Glockenbodenkolonnen der eben beschriebenen Art sind in der Fraktioniertechnik bekannt und brauchen hier nicht genauer beschrieben zu werden. Mit gutem Erfolg wurde eine Glockenbodenkolonne mit vierzehn Glockenböden verwendet, bei welcher die zu behandelnden Gase zwischen dem vierten und dem fünften Boden, von unten gezählt, eingeführt wurden. Es können auch andere Typen von Fraktionierkolonnen, z. B. Füllkörperkolonnen, verwendet werden, doch haben sich diese als weniger wirksam erwiesen.
  • Um die wäßrige Lösung des Fluorwasserstoffs auf die gewünschte Konzentration zu bringen, wird das am unteren Ende der Kolonne 82 durch die Leitung 86 abgezogene Kondensat über die Leitung 87 dem Siedeapparat 88 zugeführt, in welchem es durch indirekten Wärmeaustausch mit Wasserdampf erhitzt wird, der dem Siedeapparat 88 durch die Leitung 89 unter einem Druck von ungefähr 3,5 at zugeführt und dessen Abdampf oder Kondensat durch die Leitung 90 abgezogen wird. Das erhitzte oder verdampfte Kondensat wird durch die Leitung 87a wieder in die Kolonne 82 zurückgeführt.
  • Bei Vorliegen der folgenden Temperaturen an den jeweils angegebenen Stellen konnten ausgezeichnete Ergebnisse erzielt werden: ungefähr 55'C am Kolonnenkopf bei einer Temperatur des am unteren Ende der Kolonne gesammelten Kondensats von ungefähr 112'C und einer Temperatur der durch Leitung 81 frisch in die Kolonne eingeführten Dämpfe von ungefähr 149'C. Unter diesen Bedingungen fällt eine konstant siedende Mischung an, die über 30 Gewichtsprozent Fluonvasserstoff enthält und die für die Erzeugung von Siliciumtetrafluorid nach dem vorliegenden Verfahren sehr gut geeignet ist.
  • Die Temperatur des Kolonnenkopfes wird - wie oben angegeben - durch einen Kühler 83 herkömmlicher Bauart konstant gehalten, welchem durch die Leitung 91 Kühlwasser zugeführt wird und welchen das erwärmte Wasser durch die Leitung 92 verläßt.
  • Durch Einhaltung einer entsprechenden Temperatur am Kopf der Kolonne 82 kann die Wassermenge, die mit den Abgasen entweicht, genau eingestellt werden, so daß die erforderliche Wassermenge im System verbleibt. Unter den eben beschriebenen Temperaturbedingungen erhält man eine wäßrige Säurelösung mit einer Konzentration über 30"/" die sehr gut für die Wiederverwendung im Säureverdampfer geeignet ist. Die Fraktionierung wird vorzugsweise so durchgeführt, daß sich eine konstant siedende Flußsäure ergibt.
  • Wie schon oben erwähnt, werden Reste von Siliciumdioxid sowie nicht in Reaktion getretenes Siiciumtetrafluorid in den Gasen, welche die Abscheideranlage verlassen, in der Kolonne 82 in Kieselfluorwasserstofisäure übergeführt. Dementsprechend enthält die zurückgewonnene Säure für gewöhnlich eine gewisse Menge an Kieselfluorwasserstoffsäure. Deren Anwesenheit beeinträchtigt die Wirksamkeit des vorliegenden Verfahrens jedoch nicht, da sie im Säureverdampfer wieder in Siliciumtetrafluorid und Fluorwasserstoffsäure zerlegt wird.
  • Aus diesem Grund kann das Endfilter 78 häufig wegfallen; wenn es aber benutzt wird, so wird seine Wirksamkeit durch den Kieselfluorwasserstoffsäuregehalt der zurückgewonnenen Säure angezeigt.
  • Die wäßrige Fluorwasserstoffsäure wird mit der gewünschten Konzentration kontinuierlich vom Vorratsbehälter am unteren Ende des Absorbers 82 abgezogen und gelangt mit einer Fördergeschwindigkeit, die durch das Ventil in Leitung 7 bestimmt wird, in den Säureverdampfer; dieses Ventil wird am besten automatisch entsprechend dem Druck der den Siliciumtetrafluoridgenerator verlassenden Gase betätigt, so daß dieser Druck konstant bleibt. Die Leitung 6 ist außerdem mit einem Hilfsventil 93 und einer Förderpumpe 94 versehen.
  • Das abgeschiedene feinteilige Siliciumdioxid gelangt von den Trichtern des Elektrofilters 74. der Zyklonabscheider 76 und 77 sowie des Filters 78 durch die jeweils vorgesehenen Gasschleusen 95 kontinuierlich in die pneumatische Fördereinrichtung 96, mit welcher es in den Abscheider 97 gebracht wird. In diesem wird das Fördergas vom Siliciumdioxid abgeschieden und mit Hilfe des Gebläses 99 abgesaugt sowie durch die Leitung 98 in die Leitung 79 gedrückt. Das abgeschiedene Siliciumdioxid gelangt vom Boden des Separators in den Trichter 100, von welchem es durch die Gasschleuse 101 in den Beschickungstrichter 102 übergeführt wird. Das Siliciumdioxid wird unten am Beschickungstrichter abgenommen und durch einen Gasstrom, z. B. Luft, der durch die Leitung 103 zugeführt wird, durch die Leitung 104 dem Apparat 105 zugeführt, in welchem das Siliciumdioxid zur Entfernung des zurückgebliebenen Fluorwasserstoffs auf eine Temperatur zwischen ungefähr 260 und ungefähr 816'C, vorzugsweise auf eine solche von ungefähr 704°C, erhitzt wird. Die abgegebenen Gase werden durch die Leitung 107 abgezogen und gewünschtenfalls der Kolonne 82 zugeführt. Das nachbehandelte Siliciumdioxid wird durch die Schüttrinne 108 an das untere Ende des Förderwerkes 109 gebracht. Vom oberen Ende dieses Förderwerks gelangt das Siliciumdioxid durch die Schüttrinne 110 in den Sammelbehälter 111.
  • Als gasförmiges Medium für den Transport des Siliciumdioxids durch die pneumatische Fördereinrichtung 96 wird vorzugsweise heiße Luft verwendet, d. h. Luft, die auf eine Temperatur von ungefähr 371 bis ungefähr 427'C vorerhitzt wurde. Diese Luft wird günstigerweise durch die Leitung 112 dem Kühlmantel des Ofens 2 entnommen und durch den Luftvorerhitzer 113 und von dort durch die Leitung 114 zur pneumatischen Fördereinrichtung 96 geführt. Die Verbrennungsluft wird in ähnlicher Weise ebenfalls am besten dem den Kühlmantel des Ofens 2 verlassenden erwärmten Luftstrom entnommen. Dafür ist die Leitung 115 vorgesehen, durch welche sie vom Gebläse 116 angesaugt wird. Durch dieses Gebläse wird sie dann - wie oben beschrieben - durch die mit einem Ventil versehene Verbindungsleitung 117 unter Druck in die Kammer 44 gefördert.
  • Die oben beschriebene Verfahrensweise ermöglicht eine außerordentlich wirksame Rückgewinnung von Fluorwasserstoff für die Wiederverwendung. Geringe Verluste des Systems an Fluorwasserstoff und auch größere Wasserverluste können indessen durch die Zufuhr von frischer Flußsäure und Wasser in der erforderlichen Menge wieder ausgeglichen werden; diese werden am besten in das Kondensat, das sich im unteren Teil des Absorbers 82 ansammelt, durch die Leitung 118 eingeführt. Bevor mit dem Betrieb einer solchen Anlage begonnen werden kann, müssen die verschiedenen Apparateteile von Feuchtigkeit befreit und auf die Arbeitstemperatur gebracht werden. Der Siliciumtetrafluoridgenerator wird mit kristallinem Siliciumdioxid beschickt, dessen Schicht dann auf die Betriebstemperatur erhitzt wird; außerdem wird in das untere Ende des Absorbers 82 eine wäßrige Fluorwasserstofflösung der gewünschten Konzentration eingefüllt.
  • Die verschiedenen Mengenanteile, Ausbeuten und Verluste, die sich beim Betrieb der Anlage ergaben, sind in Tabelle I zusammengestellt.
  • Bei dem vorstehenden Beispiel wurde das Hydrolysereaktionsgefäß mit einem Brenngas, dessen Heizwert ungefähr 4190 kcal/m3 betrug, mit einer Geschwindigkeit von ungefähr 193 m3/h, berechnet für 15,6°C, beschickt, wobei die Temperatur der Reaktionszone auf ungefähr 1316°C einreguliert wurde. Die Wände des Ofens wurden durch Einblasen von Luft in den Kühlmantel auf einer etwas unter ungefähr 649°C liegenden Temperatur gehalten. Die Temperatur der den Ofen verlassenden Gase lag bei ungefähr 982°C; diese wurden vor dem Einführen in das Elektrofilter auf ungefähr 427°C abgekühlt. Es wurde Vorsorge getroffen, daß die Temperatur in dem Abscheider nicht unter ungefähr 371'C absinken konnte. Die Temperaturen in der Absorptionskolonne entsprachen den oben angegebenen Werten. Die Temperatur der dem Siliciumtetrafluoridgenerator zugeführten Gase betrug ungefähr 124°C, die diesen Generator verlassenden Gase wiesen eine Temperatur von ungefähr 166'C auf.
  • Das dem Apparat 105 entnommene feinteilige Siliciumdioxid hatte einen mittleren Teilchendurchmesser von ungefähr 15 m#t, bestimmt mit dem Elektronenmikroskop, und bestand zu 99,60/, aus SiOs. Seine spezifische Oberfläche, bestimmt nach dem bekannten BET-Verfahren (Stickstoffadsorption), war 148 m2/g, und das Ölaufnahmevermögen, bestimmt nach der Gardner-Methode, war ungefähr 2,781/kg. Die Schüttdichte im ungepreßten Zustand ergab sich zu ungefähr 17,6 bis 24,0 g/1, die Dichte zu 2,11.
  • Fur Feststellung der Eignung des Produkts zur Herstellung von Gummimischungen wurde dieses mit Naturkautschuk gemäß der folgenden Rezeptur verarbeitet; die angegebenen Teile sind Gewichtsteile:
    Teile
    Kautschuk ................ ...... 100
    Si02-Füllstoff .................... 55
    Zinkoxid ........................ 5
    Stearinsäure...................... 3
    Alterungsverzögerer ............... 1,0
    Beschleuniger .................... 1,0
    Di-o-tolylguanidin ................ 1,6
    Schwefel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3,0
    Der nach diesem Rezept verwendete Alterungsverzögerer war Phenyl-ß-naphthylamin, das von der R. T. Vanderbilt Co. unter der Bezeichnung »Ageritea in den Handel gebracht wird; der Beschleuniger war Benzothiazyldisulfid, das von der gleichen Firmä unter der Handelsbezeichnung »Altaxs geliefert wird.
  • Die gewonnene Gummimischung hatte nach einer Vulkanisationszeit von 50 Minuten die folgenden Eigenschaften, die nach den üblichen Untersuchungsverfahren ermittelt wurden: Spannungswert bei 300 °/o Dehnung, kg/cm2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56,1 Zerreißfestigkeit, kg/cm' . . . . . . . . . . . . 256 Bruchdehnung, °/o . . . . . . . . . . . . . . . . . 635 Rückprallelastizität, °/o . . . . . . . . . . . . . 58,4 Bei einer der oben beschriebenen ähnlichen Arbeitsweise wurde ein anderes Siliciumdioxidprodukt gewonnen, dessen chemische und physikalische Eigenschaften in der folgenden Tabelle zusammengestellt sind:
    Tabelle Il
    Bereich der Teilchengröße ... 10 bis 20 nm
    Spezifische Oberfläche (BET)
    ungefähr . . . . . . . . . . . . . . . . 150 M2/g
    Si02-Gehalt (des trockenen
    Produkts) . . . . . . . . . . . . . . . 99,80/0
    Eisengehalt (als Fe203) ..... 0,060/,
    Gewichtsverlust bei 105'C . . 0,00/,
    Gewichtsverlust bei 1000°C
    (Feuchtigkeit) . . . . . . . . . . . 0,30/,
    pH-Wert ................. 5
    Ölaufnahme (Gardner-Ver-
    fahren) ungefähr . . . . . . . . . 2,5 bis 2,91/kg
    Schüttdichte ungefähr ...... 16 bis 80 g/1
    Das verbesserte feinteilige Siliciumdioxid der vorliegenden Erfindung zeichnet sich durch eine hohe chemische Reinheit, extreme Feinheit, niedrigen Wassergehalt, große spezifische Oberfläche und gute Dispergierbarkeit in Kautschuk und anderen Medien aus.
  • Der bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel vorzugsweise verwendete Siliciumtetrafluoridgenerator ist in F i g. 8 wiedergegeben. Er besteht aus einem äußeren Mantel 58 aus Flußstahl, der mit einer inneren Auskleidung 59 aus Kohlenstoffsteinen versehen ist, und einem unteren Rost 60 aus Monel-Metall, welcher die Schicht aus dem kristallinen Siliciumdioxid trägt. Ein speziell geeigneter Generator dieser Art hat einen inneren Durchmesser von ungefähr 765 mm und eine Gesamthöhe von ungefähr 5000 mm, wobei der über dem Rost befindliche Teil des Generators ungefähr 4000 mm hoch ist. Befindet sich dieser Generator in Betrieb, so wird er normalerweise in einer Schichthöhe von ungefähr 3000 bis ungefähr 3700 mm mit kristallinem Siliciumdioxid gefüllt gehalten, indem bei Bedarf ständig frisches Siliciumdioxid nachgefüllt wird. Das Einsteigloch 61, durch welches der Innenraum des Generators zur Durchführung von Ausbesserungsarbeiten oder zur Inspektion betreten werden kann, ist während des Betriebs natürlich verschlossen.
  • Bei dem wiedergegebenen Generator war die Innenseite des Metallmantels außerdem mit einer säurebeständigen Schicht überzogen. Eine weitere Möglichkeit ist, das Innere des Gefäßes mit Silber oder Molybdän zu plattieren.
  • Ein handelsüblicher Wärmeaustauscher, der ohne weiteres als Säureverdampfer 8 verwendet werden kann, ist in F i g. 9 wiedergegeben. Er wird von oben nach unten durchflossen und besteht aus einem äußeren Metallmantel 62, der im Innern mit vielen horizontal angeordneten Blechen 63, die durch Stäbe 63a gehaltert werden, und vielen Röhren 64 versehen ist, die vertikal zwischen der oberen Endplatte 65 und der unteren Endplatte 66 angebracht sind. Die zu verdampfende wäßrige Säurelösung gelangt durch die Leitung 7 in die Kammer 67, die sich oberhalb der oberen Endplatte befindet, und fließt als Überlauf am oberen Ende des Rohres 64 in dieses hinein und nach unten und gelangt dabei in den Wärmeaustausch mit dem Wasserdampf, der durch die Leitung 17 dem Verdampfer zugeführt wird und dessen Kondensat durch die Leitung 18 abfließt. Nicht verdampfte Säure sammelt sich in der Kammer 68 unterhalb der unteren Endplatte und wird durch die Auslaßöffnung 19 für die Rückführung durch den Verdampfer abgezogen. Die Säuredämpfe steigen in den Röhren auf und entweichen durch die Öffnung 9. Dieser Verdampfer enthält neun Röhren mit einem inneren Durchmesser von ungefähr 22 mm und einer Länge von ungefähr 3700 mm; der innere Durchmesser des Verdampfers beträgt ungefähr 152 mm.

Claims (3)

  1. Patentansprüche: 1. Verfahren zur Herstellung von feinteiligem amorphem Siliciumdioxid durch Hydrolyse von durch Umsetzung von Fluorwasserstoffsäure mit kristallinem Siliciumdioxid erhaltenem Siliciumtetrafluorid, wobei man das Siliciumtetrafluorid in Mischung mit einem elementaren Sauerstoff enthaltenden Gas und einem gasförmigen Brennstoff durch Abbrennen der Mischung-hydrolysiert und das dabei in Gassuspension neben Flußsäure entstehende Siliciumdioxid der Suspension bei einer Temperatur oberhalb des Taupunktes des ebenfalls anwesenden Wasserdampfes entzieht, während man die Flußsäure zurückgewinnt und zur Erzeugung weiteren Siliciumtetrafluorids zurückführt, dadurch gekennzeichet, daß zur Erzeugung eines Siliciumtetrafluorid-Wasserdampf-Gemisches eine 30 bis 39 Gewichtsprozent Fluorwasserstoff enthaltende wäßrige Flußsäure in einer Verdampfungszone verdampft und das dabei entstehende Gemisch aus Fluorwasserstoff und Wasserdampf bei einer oberhalb der Kondensationstemperatur des Wasserdampfes, jedoch nicht über 221'C liegenden Temperatur durch kristallines Siliciumdioxidgeleitet und zurHydrolyse des Siliciumtetrafluorids das Siliciumtetrafluorid und Wasserdampf enthaltende Gemisch in einen kräftig durchwirbelten Luftstrom eingeblasen und danach dem durchwirbelten Gasstrom ein Brenngas beigemischt und diese brennbare Mischung unmittelbar in die hocherhitzte Verbrennungszone eingeleitet wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht des kristallinen Siliciumdioxids auf einer Temperatur im Bereich zwischen ungefähr 121 und ungefähr 188'C gehalten wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als kristallines Siliciumdioxid Quarz verwendet wird und daß der Siliciumdioxidgehalt des Quarzes ungefähr 99 °/o und die mittlere Teilchengröße der Quarzkristalle in der maximalen Ausdehnung ungefähr 25 mm beträgt. 4. Verfahren nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die flußsäurehaltige Dampfmischung mit einer Kontaktzeit von ungefähr 15 Sekunden durch die Schicht des kristallinen Siliciumoxids durchgeführt wird. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die flußsäurehaltige Dampfmischung bei Verwendung von Quarzsand als kristallinem Siliciumdioxid mit einer solchen Geschwindigkeit durch diese Schicht hindurchgeführt wird, daß je Minute ungefähr 8 kg Fluorwasserstoff jeweils mit einem Kubikmeter des Sandes in Berührung kommen. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das abgeschiedene Siliciumdioxid zur Entfernung von anhaftendem Fluorwasserstoff auf eine Temperatur im Bereich zwischen ungefähr 260 und ungefähr 816°C erhitzt wird. 7. Anlage zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Hydrolysevorrichtung aus folgenden Teilen besteht: a) einem langgestreckten, vorzugsweise zylindrischen Ofenraum (36), dem ein Ansatzstück mit einem sich verengenden, koaxial angeordneten Abschnitt (38) vorgeschaltet ist; b) einer diesem Ansatzstück vorgeschalteten koaxialen Luftkammer (44) von zylindrischem Querschnitt; c) einer in den zylindrischen Teil der Luftkammer (44) tangential einmündenden Luftzuführung (45); d) mindestens einer in der Wand des verengten Abschnittes (38) vorgesehenen Öffnung (50) zur Einführung der in dem Siliciumtetrafluoridgenerator (1) erzeugten Gasmischung; e) einem koaxial durch die Luftkammer (44) geführten, in den verengten Abschnitt hineinragenden, in Längsrichtung verschiebbaren Brenngasinjektor (46). B. Anlage nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Brenngasinjektor (46) unmittelbar vor seinem stirnseitig verschlossenen Ende reit Manteldurchbrüchen (51) versehen ist (F i g. 7). 9. Anlage nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß in der Wand des verengten Abschnittes (38) tangentiale Löcher (50) vorgesehen sind und der verengte Abschnitt (38) von einer ringförmigen Kammer (42) umgeben ist, in die die Zuleitung (16) für das Gasgemisch tangential einmündet (F i g. 6). 10. Anlage nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Wand des Ofenraumes (36) in ihrer ganzen Länge von einem Kühlmantel (39) umschlossen ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Auslegeschrift Nr. 1047 756; USA.-Patentschrift Nr. 2 819 151; O. K a u s c h, Flußsäure, Kieselflußsäure und deren Metallsalze, 1936, S.4; J. H. S i m o n s, Umsetzung von Fluorwasserstofi mit Siliciumdioxyd, Fluorine Chemistry, Bd. 1, 1950. S. 108; P e r r y, Chemical Engineers Handbook, 3. Auflage, S. 1203, Abs. A. 1 bis 3.
DEC27112A 1961-05-29 1962-05-28 Verfahren zur Herstellung von feinteiligem amorphem Siliciumdioxid Pending DE1245342B (de)

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