DE1224853B - Elektronenbeschussvorrichtung - Google Patents

Elektronenbeschussvorrichtung

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DE1224853B
DE1224853B DEE28693A DEE0028693A DE1224853B DE 1224853 B DE1224853 B DE 1224853B DE E28693 A DEE28693 A DE E28693A DE E0028693 A DEE0028693 A DE E0028693A DE 1224853 B DE1224853 B DE 1224853B
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DE
Germany
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shafts
frame
electron gun
shaft
electron
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Pending
Application number
DEE28693A
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German (de)
English (en)
Inventor
Marcel Meulemans
Maurice Henuset
Paul Groeseneken
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
European Atomic Energy Community Euratom
Original Assignee
European Atomic Energy Community Euratom
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Filing date
Publication date
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/16—Vessels; Containers
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/15—External mechanical adjustment of electron or ion optical components
    • H—ELECTRICITY
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    • H01J37/02—Details
    • H01J37/21—Means for adjusting the focus

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2793882A (en) * 1955-10-21 1957-05-28 Charles L Keck Manifolding device
FR1141535A (fr) * 1964-04-15 1957-09-03 Commissariat Energie Atomique Procédé de soudure des métaux par bombardement électronique
GB909814A (en) * 1960-07-12 1962-11-07 Vakutronik Veb An electron beam furnace for heating and melting materials

Patent Citations (3)

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FR1141535A (fr) * 1964-04-15 1957-09-03 Commissariat Energie Atomique Procédé de soudure des métaux par bombardement électronique

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