DE1223959B - Verfahren zur Herstellung einer Schirmgitterroehre mit zylinderfoermigen koaxialen Elektroden - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Schirmgitterroehre mit zylinderfoermigen koaxialen Elektroden

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DE1223959B
DE1223959B DES87401A DES0087401A DE1223959B DE 1223959 B DE1223959 B DE 1223959B DE S87401 A DES87401 A DE S87401A DE S0087401 A DES0087401 A DE S0087401A DE 1223959 B DE1223959 B DE 1223959B
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Description

  • Verfahren zur Herstellung einer Schirmgitterröhre mit zylinderförmigen koaxialen Elektroden Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Schirmgitterröhre, insbesondere einer Leistungstetrode, mit zylinderförmigen koaxialen Elektroden und Gitterflächen aus rohrförmigen Maschengittern mit derart gestalteten und angeordneten Maschenöffnungen, daß sich die Gitterelemente vom Steuer- und Schirmgitter decken, wobei diese Elektroden Stromzuführungen besitzen, die sich an die Gitterflächen entweder in rohrförmiger oderscheibenförmiger Ausbildung anschließen.
  • Röhren der beschriebenen Art sind z. B. als Senderöhren bekannt, bei denen die rohrförmigen Maschengitter aus zwei Lagen paralleler Drähte aus z. B. Tantal, Molybdän od. dgl. derart bestehen, daß die Drähte verschiedener Lagen sich jeweils kreuzen und an ihren Kreuzungspunkten verschweißt oder verlötet sind. Besonders bewährt haben sich Maschengitter, bei denen jede Drahtlage aus einer Vielzahl von parallel unter 45° zur Längsachse verlaufenden Drähten derart bestehen, daß die Drähte verschiedener Lagen gegenläufig gewickelt sind. Damit wird in der Hauptsache bezweckt, daß jedes Gitterelement, d. h. jedes frei tragende Drahtteil, eine mechanische Biegevorspannung solcher Art hat, daß bei thermischer Belastung im Betrieb ein eventuelles Ausbiegen oder Auswölben immer nur in einer Richtung nach außen erfolgen kann. Dadurch werden im Betrieb eintretende Schlüsse sowohl zwischen Steuergitter und Kathode als auch zwischen Steuer- und Schirmgitter weitgehend vermieden. Benutzt werden solche Maschengitterelektroden durchwegs mit ähnlich aufgebauten sogenannten Maschenkathoden, weil die Maschenöffnungen eine gewisse Größe nicht unterschreiten können und deshalb bei einer geschlossenen Flächenkathode bereits eine gewisse störende Inselbildung eintreten würde. Obwohl die beschriebenen Maschengitter eine gute Stabilität haben, besitzen sie doch für manche Zwecke gewisse Nachteile. Dadurch, daß die beiden Drahtlagen übereinander angeordnet sind, liegen die Steuerelemente nicht in einer gemeinsamen Fläche, sondern sozusagen in zwei räumlich distanzierten Flächen, wodurch sich einmal ein wesentlicher Nachteil hinsichtlich der Ausbildung der für den Steuervorgang maßgeblichen Potentialflächen und zum anderen hinsichtlich der Einhaltung kleinster Elektrodenabstände ergibt. Hinzu kommt, daß durch das Verschweißen bzw. Verlöten der Drähte an den Kreuzungspunkten unkontrollierbare Spannungen entstehen können, die im Betrieb, z. B. durch thermische Belastung ausgelöst, zu Störungen führen können.
  • Es ist deshalb ein Verfahren bekanntgeworden, bei dem die Gitterelemente eines Maschengitters durch elektrolytische Abscheidung von z. B. Nickel auf einer entsprechend präparierten (perforierten) Matrize erfolgt. Die wesentlichen Nachteile derart hergestellter Maschengitter bestehen vor allem darin, daß für sie keine hochschmelzenden Metalle hoher Festigkeit, wie Tantal, Molybdän od. dgl. verwendet werden können und daß außerdem die Festigkeit elektrolytisch abgeschiedener Gitterelemente erheblich niedriger ist als von nach üblichen oder besonderen technologischen Verfahren hergestellten Drähten oder Bändern. Hinzu kommt, daß die Exaktheit der Gitterelemente, insbesondere der Ränder der Maschenöffnungen, ohne mechanische und dadurch kostspielige Nacharbeiten nicht besonders gut ist. Mit Rücksicht auf die erforderliche Stabilität können nach diesem Verfahren nur Gitter mit kleinen Maschenöffnungen hergestellt werden. Bei kleinen Maschenöffnungen nimmt jedoch das Bedeckungsverhältnis ein untragbares Maß an, und es kann außerdem nicht mehr die erforderliche geometrische Exaktheit erreicht werden.
  • Bei einem anderen bekannten Herstellungsverfahren werden diese Schwierigkeiten nur zum Teil dadurch vermieden, daß bei Maschengittern zunächst von Blechzylindern ausgegangen wird, in die nachträglich durch Erosion mittels "Ultravibration oder elektrischer Funken die betreffenden Maschenöffnungen eingebracht werden. Um eine zuverlässige Deckung der Gitterelemente hintereinander angeordneter Gitterelektroden zu erreichen, werden die betreffenden Blechmäntel zunächst in ihre endgültige räumliche Systemanordnung gebracht, d. h. mit den übrigen Teilen, wie die zugehörigen Stromzuführungen und die meist keramischen, einen Teil der Vakuumgefäßwand bildenden Distanzringe vakuumdicht verbunden und dann in einer Vorrichtung dem eigentlichen Erosionsvorgang gemeinsam unterworfen. Ein flüssiges Medium aus z. B. Öl im Falle der Funkenerosion oder aus einem suspendierten Erosionsmittel im Falle der Ultravibration umspült beim Erosionsvorgang selber sowohl Werkzeug als auch Werkstück, indem es als Kopplungsmedium dient. Der Vorschub des betreffenden Erosionswerkzeugs erfolgt entweder in Systemachsrichtung zum gleichzeitigen Herstellen durchgehender Längsschlitze oder aber in radialer Richtung zum Herstellen einzelner nicht durchgehender Schlitze. Ein sehr wesentlicher Nachteil dieses bekannten Verfahrens besteht darin, daß es für hochschmelzende Metalle hoher Festigkeit nur unter großen Schwierigkeiten anwendbar ist und außerdem lange Bearbeitungszeiten erfordert und daß außerdem dabei die System- und Wandungsteile, insbesondere aus Keramik, mit Flüssigkeiten benetzt werden, die sich nur sehr schwer von diesen restlos entfernen lassen und deren eventuelle Rückstände im Entladungsgefäß im Betrieb zu Störungen führen können. Hinzu kommt, daß das betreffende Werkzeug selber beim Herstellungsvorgang einen erheblichen Abrieb erfährt, so daß eine stetige Konturänderung der Maschenöffnungen eintritt, die nicht zu vernachlässigen ist, so daß das Werkzeug häufig erneuert werden muß. Außerdem sind die dafür erforderlichen Werkzeuge technisch recht kompliziert und in ihrer Herstellung kostspielig. Die Ränder der so hergestellten Maschenöffnungen sind durchweg wenig exakt, sozusagen angefressen.
  • Bei einem älteren ähnlichen Verfahren zur Herstellung von Dipolgittern werden die betreffenden beiden Hohlzylinder durch eine dünne isolierende Zwischenschicht aufeinandergefügt und dann die Gitteröffnungen gemeinsam gebohrt und gegebenenfalls noch nachgeätzt. Da dieses Verfahren auf kreisförmige Gitteröffnungen beschränkt ist, liefert es nur Dipolgitter; deren Gitterstegbreite infolge der kreisförmigen Öffnungen nicht konstant ist.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Herstellungsverfahren für eine Schirmgitterröhre mit rohrförmigen Maschengittern zu schaffen, bei dem die Gitterelektroden eine sehr genaue Gitterstruktur (Teilung) mit geometrisch sehr exakten Maschenöffnungen erhalten und deren Gitterelemente ohne besondere Justierarbeit exakt ih Deckung gebracht werden können. Dabei sollen die die Maschenöffnungen bildenden Gitterelemente gleiche oder geringere Querschnitte als von entsprechenden dünndrähtigen Gittern haben, so daß ihre jeweilige der Emissionsquelle zugewandte Breite (wirksame Fläche) noch geringer als von entsprechenden Drahtgittern ist. Außerdem soll ihre Stabilität bei Verwendung von hochschmelzenden Metallblechen aus z. B. Tantal, Molybdän od. dgl. noch höher und die wirksame Fläche vor allem homogener als von Drahtgittern sein.
  • Erreicht wird dies bei einem im ersten Absatz beschriebenen Verfahren zur Herstellung einer Schirmgitterröhre, insbesondere Leistungstetrode mit zylinderförmigen koaxialen Elektroden und Gitterflächen aus rohrförmigen Maschengittern nach der Erfindung dadurch, daß beide Maschengitter jeweils nach einem üblichen Zieh- und Druckverfahren zu massiven nahtlosen Folienzylindern aus hochschmelzendem Metall, wie Molybdän, Tantal od. dgl., mit verstärkten profilierten Rändern geformt und gegebenenfalls anschließend noch mechanisch bearbeitet werden und daß dann in die geformten Folienzylinder durch Stanzen für Steuer- und Schirmgitter in gleicher Anzahl und Teilung Maschenöffnungen der-, art viereckiger Form eingebracht werden, daß deren sonst gleiche Abmessungen nur in Umfangsrichtung vom Schirmgitter entsprechend dem Verhältnis der zugehörigen Gitterzylinder-Durchmesser größer als vom Steuergitter, dagegen Breite und Dicke der Stege zwischen jeweils benachbarten Maschenöffnungen einander gleich, etwa 50 [, stark, sind und daß dann in oder an die maschenfreien Teile der Gitter, z. B. an die der Befestigung dienenden Ränder, jeweils zu der Maschenstruktur in definierter Lage Aussparungen, Löcher, Nasen, Warzen od. dgl. als Markierung (Bezugspunkt) angeordnet werden, die entweder zur Befestigung oder zur Arretierung bei der Montage der einzelnen Gitter derart verwendet werden, daß sich die Gitterstruktur (Maschenteilung) von Steuer- und Schirmgitter nach Beendigung des Systemaufbaus ohne besondere Justierung deckt.
  • Es ist an sich seit langem bekannt, Gitter für elektrische Entladungsgefäße durch Stanzen aus Blech herzustellen. Soweit es sich jedoch um Gitter - mit nichtebenen Gitterflächen handelt, werden dabei die in der Ebene gestanzten Bleche zu den gewünschten Profilgittern, z. B. zu rohrförmigen Gittern, geformt. Da derartige Gitter mit mindestens einer Naht versehen werden müssen, müssen solche rohrförmigen Gitter in Längsrichtung relativ erhebliche von Maschenöffnungen freie Teile aufweisen, so daß ein zylindersymmetrisches Entladungssystem nicht möglich ist. Ein ordnungsgemäßes Indeckungbringen der Gitterelemente bei einem derart hergestellten Schirmgittersystem ist technisch unmöglich. Hinzu kommt, daß die Exaktheit der Maschenöffnungen bei der Formarbeit leidet und daß außerdem Längsnähte durch ihr abweichendes Wärmeausdehnungsverhalten gegenüber dem übrigen Teil im Betrieb zum Verziehen der betreffenden Gitterelektroden führen.
  • Weiterhin ist ein Justierverfahren bekannt, bei dem die jeweilige aus Paralleldrähten bestehende Gitterelektrode auf einem Träger angeordnet ist, dessen mit einem markierten Bezugspunkt versehener Teil sich durch die Röhrenhülle derart hindurcherstreckt, daß beim Zusammenbau nur noch die genaue Lage der jeweiligen Bezugspunkte zueinander eingestellt werden muß. Dieses Verfahren hat den Nachteil, daß die Markierung nicht am Gitter selber, sondern an dessen Träger angebracht wird und ihre relative Lage beim. Zusammenbau von außen noch eingestellt werden muß.
  • Nähere Einzelheiten der Erfindung sollen an Hand der Figuren, die rein schematisch gehalten sind, erläutert werden. In den Figuren sind Teile, die nicht unbedingt zum Verständnis der Erfindung beitragen, entweder fortgelassen oder unbezeichnet geblieben. In F i g. 1 ist teils im Querschnitt der Gesamtaufbau einer in Keramik nach dem beschriebenen Herstellungsverfahren ausgeführten Schirmgitterröhre, in F i g. 2 bis 5 die Maschenöffnungen im Teilausschnitt von den verschiedenartigen Ausführungsformen der Gitterelektroden dargestellt.
  • In dem in F i g. 1 im Querschnitt dargestellten Systemaufbau eines Ausführungsbeispieles in Keramikausführung nach der Erfindung sind mit 1 die topfförmige Anode, mit 2 die zylindrische Kathode, mit 3 und 4 jeweils das rohrförmige Steuer- bzw. Schirmgitter als die vier das Elektrodensystem ausmachenden Elektroden bezeichnet. Jede dieser Elektroden ist zur äußerlichen Kontaktierung sowie zur Halterung im Systemaufbau an einer etwa scheibenförmigen Zuführung befestigt. Zwischen zwei benachbarten Zuführungsscheiben ist jeweils ein keramischer Distanzring eingefügt, der mit den benachbarten Durchführungsscheiben durch Hartlötung nach entsprechender Metallisierung nach einem der gebräuchlichen Verfahren vakuumdicht verbunden ist und somit ein Teil der Entladungswandung bildet.
  • Die Gitterelektroden bestehen aus nach einem Zieh- oder Druckverfahren hergestellten topfförmigen Blechzylindern, in die im geformten Zustand nachträglich durch Stanzen die Maschenöffnungen eingebracht worden sind und die so angeordnet sind, daß sich die Gitterelemente von Steuer- und Schirmgitter exakt decken, ohne daß die bisher beim Zusammenbau mit Drahtgittern sonst übliche umfangreiche und schwierige Justierarbeit erforderlich ist. Dies setzt allerdings voraus, daß die einzelnen Gittereinheiten sowohl hinsichtlich ihrer Gitterstruktur, d. h. hinsichtlich ihrer Maschenform und -teilung, als auch hinsichtlich ihrer sonstigen geometrischen Abmessungen sehr präzise gearbeitet sind, so daß bei der Montage praktisch lediglich nur noch ein Zusammenstecken der Teile mit anschließendem Verbinden durch einen Lötvorgang, insbesondere durch eine Kurzzeitlötung, erforderlich ist. Entsprechend dieser Forderung wird in besonders vorteilhafter Weise der sogenannte Gitterrohling in Form eines gezogenen topfförmigen Blechzylinders zunächst mit der betreffenden Durchführungsscheibe und weiteren benachbarten Systemteilen zu einem Montageteil vereinigt und hinterher erst nach entsprechender mechanischer Bearbeitung die entsprechende Gitterstruktur eingebracht. So werden z. B. der gezogene topfartige Folienzylinder des Schirmgitters 4 mit seinem kegelförmigen Rand 41, die aus dem ebenen Teil 42 und dem zylindrischen Rand 43 bestehende zugehörige Durchführungsscheibe, der keramische Distanzring 44 und der an dessen abgewandter Seite der bereits zur Scheibendurchführung des Steuergitters 3 gehörige Teilring (Winkelring 35) in einem Arbeitsgang befestigt. Dann werden die die inneren und äußeren Gitterflächen bildenden Teile des Blechzylinders sowie die übrigen Sitz- und Paßflächen des Montageteiles maßgerecht spanabhebend bearbeitet. In gleicher Weise werden das Steuergitter 3 und etwa sinngemäß die Kathode 2 vorbereitet und jeweils zu einem Montagezusammensteckteil ergänzt. In die entsprechende, zu einem Montageteil ergänzte Anode 1, an der nämlich die zugehörige Durchführungsscheibe 12, 13, der Keramikdistanzring 14 und der zur Schirmgitterdurchführungsscheibe gehörige Winkelring 45 befestigt sind, können dann nacheinander die weiteren entsprechenden Montagezusammensteckteile von Schirmgitter, Steuergitter und der Kathode mit ihren zylindrischen Paßflächen eingesetzt werden. Das endgültige Befestigen bzw. Verbinden miteinander zu einer Einheit, d. h. zum fertigen Entladungsgefäß, erfolgt dann, nachdem vorher die beiden Gitterelektroden in Deckung gebracht worden sind, durch Verlöten, insbesondere durch Kurzzeitlötung, an den einzelnen Löträndern 47, 37 und 27. Das Indeckungbringen der Gitterelektrode erfolgt besonders vorteilhaft durch die zu diesem Zweck an den Gitterelektroden angebrachten Aussparungen, Löcher, Nasen, Warzen od. dgl., im Darstellungsfall durch mindestens zwei zugehörige Löcher 36 und 46 in Verbindung mit den konzentrischen stirnseitigen öffnungen im Gitter 3 und 4 oder durch jeweils mindestens drei Löcher, durch die z. B. ein passender Stift zumindest bis zum gegenseitigen Anheften der beiden Gitterelektrodeneinheiten gesteckt wird. Dadurch wird automatisch eine Deckung der Gitter-Strukturen der beiden Gitter erreicht, weil die Löcher jeweils eine definierte Lage zur Gitterstruktur besitzen. In besonders vorteilhafter Weise wird dies dadurch erreicht, daß z. B. die betreffenden Löcher erst beim Stanzvorgang der Maschen selber, insbesondere durch Stanzen, eingebracht werden. Selbstverständlich können diese auch schon vorher angebracht worden sein, d. h. unmittelbar nach dem betreffenden Ziehbearbeitungsvorgang für den Blechzylinder, so daß sie dann als Markierung für den Stanzvorgang dienen und damit eine exakte Zuordnung von Markierung und Gitterstruktur schaffen.
  • Unabhängig davon, ob die Markierungen vor oder während des Stanzvorganges angebracht worden sind, wird der Folienzylinder, z. B. für das Schirmgitter 4, mit seinem zylindrischen Rand oder statt dessen im Fall des entsprechenden Zusammensteckteiles 41, 42, 43, 44, 45 und 35 mit seinem bearbeiteten Zylinder 35 oder 45 in einem Ringfutter einer Teilkopfvorrichtung derart aufgenommen, daß sich im Inneren des Folienzylinders ein Hohldorn befindet, der an seinem Umfang eine der jeweiligen Maschenöffnung entsprechende Matrize aufweist. Der Matrize gegenüber ist außen ein eingepaßter Schneidstempel beweglich angeordnet. Durch eine geeignete Einrichtung z. B. nach Art eines Teilkopfes ist der Folienzylinder sowohl in Achs- als auch in Umfangsrichtung über der Matrize verschiebbar. Das Einbringen der Löcher 48, 38 erfolgt jeweils auf einem Umfangskreis durch Stanzen von Loch neben Loch und anschließend in gleicher Weise auf dem unmittelbar benachbarten Umfangskreis gegebenenfalls bei Versatz jeweils um eine halbe Teilung. Der Vorschub erfolgt so genau, daß die geringe Stegbreite 39, 49, 40, 50 von etwa 50 bis 150 #t stets in gleicher Weise exakt ausfällt. Im Bedarfsfall kann man auch in Achsrichtung hintereinander anzuordnende Löcher jeweils unmittelbar nacheinander stanzen und gegebenenfalls mehrere in Achsrichtung hintereinander angeordnete Matrizen und Schneidstempel verwenden. Der erforderliche Teilungs- oder Vorschubvorgang läßt sich mit bekannten Mitteln entsprechend mechanisieren.
  • In der beschriebenen Weise gestanzte Gitter haben eine sehr exakte Gitterstruktur und zeigen an den Maschenöffnungen keinerlei Grat. Ihre Standfestigkeit ist wesentlich größer als die von entsprechendem Draht gewickelten Gitter.
  • In Anlehnung an die bisher bei Senderöhren üblichen Maschengitter wählt man für die Maschenöffnungen z. B. eine quadratische bzw. beim Schirmgitter eine rhombische Form derart, daß gemäß F i g. 2 die durchgehenden Stege 39, 49 eine äquatoriale Ebene unter 45° kreuzen. Diese Form hat sich bei drahtgewickelten Gittern aus Stabilitätsgründen besonders bewährt. Die Standfestigkeit der beschriebenen Maschengitter ist jedoch wesentlich größer. Ein teilweiser Nachteil derartiger Gitter mit quadratischer Maschenform besteht darin, daß die bei Verwendung einer Flächen-Oxydkathode erforderliche Feinheit der Maschen zur Vermeidung eines Inseleffektes bereits ein zu ungünstiges Bedeckungsverhältnis ergibt. Bei nicht genügend kleinen Maschenöffnungen tritt nämlich im Betrieb auf der dahinter angeordneten Flächenkathode, z. B. einer Oxydkathode, eine störende Inselbildung auf. Diese Art der Gitter werden aus diesem Grund in der Hauptsache mit entsprechenden Maschenkathoden benutzt. Den Vorteil hinsichtlich der Standfestigkeit dadurch, daß beide Stegpaare gewölbt sind, kann man wenigstens zum Teil ausnutzen, ohne den Nachteil der Inselbildung in Kauf nehmen zu müssen, wenn man für die Maschenform längserstreckte Rechtecke 38, 43 wählt, die mit ihren Längsstegen 39, 49 um einen geringen spitzen Winkel gegen die Längsachse geneigt sind, wie dies in dem Ausführungsbeispiel der F i g. 3 dargestellt ist. Da die Steifigkeit der gestanzten Gitter sehr beachtlich ist, kann man aber auch äüf diese Schrägstellung der Rechtecke verzichten und jeweils die Längsseiten in Achsrichtung verlaufen lassen.-Dabei können entweder die Längsstege 39, 49 von in' Akhsrichtung benachbarten Maschen einen durchgehenden Verlauf haben, wie dies beim Ausführungsbeispiel der F i g. 4 dargestellt ist, oder sie werden, wie in F i g. 5 dargestellt, um eine halbe Maschenbreite - (einen halben Schritt) gegeneinander versetzt. Man nennt solche Maschengitter allgemein Reusengitter.
  • .- =Für die Abmessung derartiger Rechteckmaschen wird--mit Vorteil ein Seitenverhältnis von 1:8 bis 1 :10 gewählt. Bei den beschriebenen und dargestellten Maschengittern mit achsparallelem Verlauf der Längskanten kann man grundsätzlich wie in allen anderen Fällen, z. B. bei in Achsrichtung verlaufender Diagonale, Stegbreite gleich der Stegdicke machen; dabei kann der Querschnitt geringer als bei einem entsprechenden aus Draht gewickelten Gitter gewählt werden. Man kann aber auch zur Erhöhung der Stabilität bei den zuletzt beschriebenen Maschengittern mit Rechteckform und in Achsrichtung verlaufender Längsseite in Anbetracht dessen, daß ein sehr exakter Elektronenschatten erreicht werden kann, die in Umfangsrichtung verlaufenden Quer-oder Kurzstege breiter als die Längsstege ausführen, ohne daß dadurch irgendwelche Nachteile hinsichtlich der Funktion der betreffenden Röhre entstehen. ES ist aber auch ohne weiteres möglich, in Anbetracht der großen Stabilität solcher Gitter im Bedarfsfalle die Stege des Steuergitters breiter als die des Schirmgitters zu machen, nämlich dann, wenn es darauf ankommt, den Schirmgitterstrom extrem klein zu machen. Die wesentlichen Vorteile der beschriebenen Maschengitter bei Verwendung in entsprechenden Mehrgitterröhren sind sehr vielseitig. Die beschriebenen gestanzten Maschengitter besitzen im Vergleich zu entsprechenden drahtgewickelten Gittern bei gleichem Stegquerschnitt eine sehr viel größere Standfestigkeit. In Elektronendurchtrittsrichtung gesehen, weisen die gestanzten Gitter bei gleicher Standfestigkeit gegenüber entsprechenden Drahtgittern etwa nur die halbe Dicke der betreffenden Gitterelemente auf. Da sämtliche Gitterelemente alle in einer Fläche liegen, sind die den Nachbarelektroden zugewandten Flächen sehr viel homogener als bei Verwendung der bisher üblichen Drahtmaschengitter. Da durch die homogene Gitterfläche gleichzeitig die sich im Betrieb ausbildenden Potentialflächen homogenisiert werden, wird letzten Endes die Steuerfähigkeit der betreffenden Röhre erheblich verbessert. Hinzu kommt, daß die Gitter sich sehr viel leichter und exakter zur Erzielung eines Elektronenschattens in Deckung bringen lassen; dies ist unter anderem deshalb möglich, weil nicht nur die Form der Maschen, sondern vor allen Dingen auch die zugehörige Teilung, d. h. die Gitterstruktur, sich sehr exakt nach dem Stanzverfahren herstellen läßt.

Claims (12)

  1. _, Patentansprüche: 1. Verfahren zur Herstellung einer Schirmgitterröhre, insbesondere einer Leistungstetrode, mit zylinderförmigen koaxialen Elektroden und Gitterflächen aus rohrförmigen Maschengittern mit derart gestalteten und angeordneten Maschenöffnungen, daß sich die Gitterelemente von Steuer- und Schirmgitter decken, wobei diese Elektroden Stromzuführungen besitzen, die sich an die Gitterflächen entweder in rohrförmiger oder scheibenförmiger Ausbildung anschließen, dadurch gekennzeichnet, daß beide Maschengitter jeweils nach einem üblichen Zieh-und Druckverfahren zu massiven -nahtlosen Folienzylindern aus hochschmelzendem Metall, wie Molybdän, Tantal od. dgl., mit verstärkten profilierten Rändern geformt und gegebenenfalls anschließend noch mechanisch bearbeitet werden und daß dann in die geformten Folienzylinder durch Stanzen für Steuer- und Schirmgitter in gleicher Anzahl und Teilung Maschenöffnungen derart viereckiger Form eingebracht werden, daß deren sonst gleiche Abmessungen nur in Umfangsrichtung vom Schirmgitter entsprechend dem Verhältnis der zugehörigen Gitterzylinder-Durchmesser größer als vom Steuergitter, dagegen Breite und Dicke der .Stege zwischen jeweils benachbarten Maschenöffnungen einander gleich, etwa 50 #t stark, sind, und daß dann in oder an die maschenfreien Teile der Gitter, z. B. an die der Befestigung dienenden Ränder, jeweils zu der Maschenstruktur in definierter Lage Aussparungen, Löcher, Nasen, Warzen od. dgl. als Markierung (Bezugspunkt) angeordnet werden, die entweder zur Befestigung oder zur Arretierung bei der Montage der einzelnen Gitter derart verwendet werden, daß sich die Gitterstruktur (Maschenteilung) von Steuer- und Schirmgitter nach B-eendigung des Systemaufbaus ohne besondere Justierung deckt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der rohrförmigen Maschengitter der jeweils gezogene und mit Aussparungen, Nasen, Warzen, Löchern od. dgl. versehene massive Blechzylinder mit verstärktem profiliertem Rand nach entsprechender maßhaltiger Bearbeitung in einem Ringfutter einer besonderen Teilkopfvorrichtung mit mindestens einer Aussparung, Nase, Warze, Loch od. dgl. eingespannt wird, daß er sowohl in Achs- als auch in Umfangsrichtung gesteuert, schrittweise über einen Hohldorn, in dem eine Matrize oder in Achsrichtung hintereinander deren mehrere angeordnet ist (sind), bewegt werden kann, und daß dann nacheinander die Löcher einer Reihe entweder in Achsrichtung schrittweise einzeln oder zu mehreren oder in Umfangsrichtung nur einzeln und dann parallel dazu oder mit einem halben Schritt (Teilung) versetzt die Löcher der jeweils benachbarten Reihe gestanzt werden.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beim Lochstanzen der beiden Gitterelektroden die Maschenöffnungen so gestaltet und angeordnet werden, daß jeweils eine Diagonale etwa achsparallel verläuft.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß beim Stanzen der Maschengitteröffnungen der Gitterelektroden jeweils der Verlauf der anderen Diagonale senkrecht zur Achsrichtung gewählt wird und daß die Maschenöffnungen mit einem Stempel gestanzt werden, dessen Querschnitt für das Steuergitter quadratisch und für das Schirmgitter rhombisch ist, und daß die Seitenlänge der Maschenöffnungen des Steuergitters bis zu einem noch tragbaren Bedeckungsverhältnis genügend klein, z. B. 0,3 mm und größer, gewählt werden.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß beim Stanzen der Maschenöffnungen in die Gitterelektroden Rechtecke mit einem Seitenverhältnis 1 : 8 bis 1 : 10 gewählt und so angeordnet werden, daß entsprechende Punkte der Maschenöffnungen auf gleicher Zylinderhöhe liegen und die Längsseiten nur wenig (< 45°) zur Achsrichtung geneigt sind.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß beim Stanzen der Maschenöffnungen in die Gitterelektroden Rechtecke gewählt werden, von denen jeweils die Längsseiten (Kanten) achsparallel verlaufen und die die schmalen Kanten (Seiten) bildenden Stege in durchgehenden äquidistanten Kreisen verlaufen.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Maschenöffnungen in die Gitterelektroden so eingestanzt werden, daß die die Längsseiten bildenden Stege in durchgehenden achsparallelen Geraden verlaufen. B.
  8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Maschenöffnungen unmittelbar benachbarter Reihen in die Gitterelektroden um einen halben Schritt (Teilung) gegeneinander versetzt eingestanzt werden.
  9. 9. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Stanzen der Maschenöffnungen derart erfolgt, daß die Stege des Steuergitters breiter als die des Schirmgitters sind.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Herstellung des rohrförmigen Maschengitters die der Markierung (als Bezugspunkt) dienenden Aussparungen, Löcher, Nasen, Warzen od. dgl. in von Maschenöffnungen freie Teile, insbesondere Ränder, erst unmittelbar beim Stanzen der Maschenöffnungen eingebracht werden.
  11. 11. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß beim Aufbau der Röhre die scheibenförmigen Zuführungen der einzelnen Elektroden durch an diese befestigte, einen Teil der Gefäßwand bildende Keramikringe gegeneinander distanziert und isoliert werden.
  12. 12. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem kegelförmigen Ansatz des durch Ziehen hergestellten Blechzylinders zunächst in einem Arbeitsgang die zugehörige Durchführungsscheibe mit ihrem ebenen Teil, daran ein Keramikdistanzring und wiederum daran der äußere Winkelring (Kontaktring) der Durchführungsscheibe für die nächstfolgende Elektrode durch Löten verbunden werden, und anschließend die Gitterelemente bildenden Flächen und die für das Zusammensetzen maßgebenden Flächen maßhaltig mechanisch bearbeitet werden und daß dann nach Aufnahme des entstandenen Folienzylinders mit seinem äußeren Rand in einem Ringfutter einer Teilkopfvorrichtung die Maschenlöcher und die der Markierung dienenden Aussparungen, Löcher, Nasen, Warzen od. dgl. eingebracht werden. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 874 340, 887 681; USA.-Patentschrift Nr. 2 935 783.
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