DE1215813B - Verfahren zum AEtzen eines Halbleiterbauelements zum Verkleinern der pn-UEbergangsflaeche - Google Patents
Verfahren zum AEtzen eines Halbleiterbauelements zum Verkleinern der pn-UEbergangsflaecheInfo
- Publication number
- DE1215813B DE1215813B DEN22341A DEN0022341A DE1215813B DE 1215813 B DE1215813 B DE 1215813B DE N22341 A DEN22341 A DE N22341A DE N0022341 A DEN0022341 A DE N0022341A DE 1215813 B DE1215813 B DE 1215813B
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- etching
- junction
- current
- semiconductor component
- tunnel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H10P50/613—
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/02—Local etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/02—Etching
- C25F3/12—Etching of semiconducting materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Weting (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL271429 | 1961-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1215813B true DE1215813B (de) | 1966-05-05 |
Family
ID=19753412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEN22341A Pending DE1215813B (de) | 1961-11-15 | 1962-11-12 | Verfahren zum AEtzen eines Halbleiterbauelements zum Verkleinern der pn-UEbergangsflaeche |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| BE (1) | BE624780A (enExample) |
| CH (1) | CH417776A (enExample) |
| DE (1) | DE1215813B (enExample) |
| DK (1) | DK106101C (enExample) |
| GB (1) | GB1023666A (enExample) |
| NL (1) | NL271429A (enExample) |
| SE (1) | SE301190B (enExample) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1255899A (fr) * | 1959-08-05 | 1961-03-10 | Ibm | Oscillateur et son procédé de fabrication |
-
0
- NL NL271429D patent/NL271429A/xx unknown
- BE BE624780D patent/BE624780A/xx unknown
-
1962
- 1962-11-12 CH CH1318962A patent/CH417776A/de unknown
- 1962-11-12 SE SE12110/62A patent/SE301190B/xx unknown
- 1962-11-12 DE DEN22341A patent/DE1215813B/de active Pending
- 1962-11-12 DK DK486162AA patent/DK106101C/da active
- 1962-11-12 GB GB42656/62A patent/GB1023666A/en not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1255899A (fr) * | 1959-08-05 | 1961-03-10 | Ibm | Oscillateur et son procédé de fabrication |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL271429A (enExample) | |
| BE624780A (enExample) | |
| SE301190B (enExample) | 1968-05-27 |
| CH417776A (de) | 1966-07-31 |
| DK106101C (da) | 1966-12-19 |
| GB1023666A (en) | 1966-03-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE949512C (de) | Verfahren zur Herstellung von Halbleiterkoerpern | |
| DE966492C (de) | Elektrisch steuerbares Schaltelement aus Halbleitermaterial | |
| DE1146982B (de) | Verfahren zur Herstellung von Halbleiterzonen mit genauer Dicke zwischen flaechenhaften PN-UEbergaengen in einkristallinen Halbleiterkoerpern von Halbleiterbauelementen,insbesondere von Dreizonentransistoren | |
| DE1032404B (de) | Verfahren zur Herstellung von Flaechenhalbleiterelementen mit p-n-Schichten | |
| DE1092131B (de) | Transistor und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| DE2142146A1 (de) | Halbleiteranordnung und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung | |
| DE1246890B (de) | Diffusionsverfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements | |
| DE1521093A1 (de) | Verfahren zur Ausbildung einer Oxydschicht auf einem Halbleiterkoerper | |
| DE1024640B (de) | Verfahren zur Herstellung von Kristalloden | |
| DE2259829B2 (de) | Verfahren zur anodischen Bildung einer Oxidschicht auf mindestens 5% Gallium enthaltenden Verbindungshalbleitern, insbesondere GaP.GaAs, AIGaP, InGaP und InGaAs in einem wässrigen Elektrolyten | |
| DE2162445C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung | |
| DE1083938B (de) | Halbleiteranordnung mit einem Halbleiter-koerper aus Halbleitermaterial eines Leitungstyps | |
| DE2158681C3 (de) | Verfahren zur Behandlung eines lichtemittierenden Halbleiter-Bauelements mit PN-Übergang | |
| DE1215813B (de) | Verfahren zum AEtzen eines Halbleiterbauelements zum Verkleinern der pn-UEbergangsflaeche | |
| DE1126513B (de) | Verfahren zur Bearbeitung von Halbleiteranordnungen | |
| AT238257B (de) | Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung | |
| DE1194064B (de) | Verfahren zum elektrolytischen AEtzen der Ober-flaeche eines mit Legierungselektroden aus einer Bleilegierung versehenen npn-Transistors mit einem Halbleiterkoerper aus Germanium | |
| DE1464319C3 (de) | H albleite rvorrichtung | |
| DE2924702A1 (de) | Verfahren zur herstellung von halbleitervorrichtungen und vorrichtung hierfuer | |
| DE1954443C3 (de) | Halbleiterbauelement mit einem Schottky-Übergang und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE1104617B (de) | Verfahren zum elektrolytischen AEtzen einer Halbleiteranordnung mit einem Halbleiterkoerper aus im wesentlichen einkristallinem Halbleitermaterial | |
| DE1253825B (de) | Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements mit einem Halbleiterkoerper aus Galliumarsenid durch AEtzen | |
| AT234152B (de) | Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung | |
| AT206937B (de) | Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung | |
| DE1121224B (de) | Transistor mit dicht nebeneinander einlegierten Emitter- und Basiselektroden und Verfahren zu dessen Herstellung |