DE1172783B - Verfahren und Vorrichtung zur Ablenkung und Leistungsmodulation eines Elektronenbuendels in einem mit Elektronenbeschuss arbeitenden Ofen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Ablenkung und Leistungsmodulation eines Elektronenbuendels in einem mit Elektronenbeschuss arbeitenden OfenInfo
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Internat. KL: H 05 b
Nummer:
Aktenzeichen:
Anmeldetag:
Auslegetag:
Aktenzeichen:
Anmeldetag:
Auslegetag:
Deutsche Kl.: 21h-16/60
S 75438 VIIId/21h
24. August 1961
25. Juni 1964
Öfen zum Erschmelzen von Metallblöcken mittels Elektronenbündeln sind bekannt. Bei einem derartigen
Ofen sind ein oder mehrere Elektronenbündel so gerichtet, daß sie entweder nur auf das Ende einer
Abschmelzelektrode oder gleichzeitig auf das Ende der Abschmelzelektrode und den gebildeten Schmelzsee
auftreffen. Die einzelnen Elektronenbündel haben dabei eine ortsfeste Lage und bilden somit ein
Büschel mit ortsfestem Schnittraum. Der zu schmelzende Körper wird als Abschmelzelektrode gleichmäßig
in der Weise fortbewegt, daß sein Ende stets in den Schnittraum des Elektronenstrahlbüschels zu
liegen kommt.
Bei einem weiteren mit Elektronenbeschuß arbeitenden Ofen ist man aber auch schon in der Weise
vorgegangen, daß ein Elektronenbündel mit Hilfe des magnetischen Feldes von Ablenkspulen, wie sie
in der Elektronenoptik bekannt sind, über den zu schmelzenden Körper hinweggeführt wird.
Diesen bekannten, mit Elektronenbeschuß arbeitenden Öfen haften in mehrfacher Hinsicht Mängel
an. Ortsfeste Elektronenbündel und Elektronenbüschel ergeben einen nur kleinen Raum maximaler
Energieentfaltung, so daß mit ihnen nur Körper entsprechend geringen Ausmaßes geschmolzen werden
können. Bei einem ortsveränderlichen Elektronenbündel bestehen zwar die genannten Einschränkungen
hinsichtlich der Gestalt der zu schmelzenden Körper nicht, jedoch sind die bisher bekannten
Mittel zur Führung des Elektronenbündels umständlich und nicht befriedigend.
Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, daß Elektronenbündel in einem mit Elektronenbeschuß
arbeitenden Ofen in der Weise zeitveränderlich abzulenken und in seiner Leistung zu modulieren, daß
das Bündel ohne Veränderungen des Steuer- und des Ablenksystem bei jeder Gestalt des zu schmelzenden
Körpers stets auf dessen Rand gerichtet ist und durch den Fortgang der Schmelzung selbsttätig gesteuert
wird.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ablenkung und Leistungsmodulation eines Elektronenbündels
in einem mit Elektronenbeschuß arbeitenden Ofen, bei dem ein Elektronenbündel derart abgelenkt
wird, daß es auf einen Randabschnitt eines zu schmelzenden Körpers trifft, woraufhin das Bündel
mit fortschreitender Schmelzung über diesen Abschnitt vorgerückt und nach Bestreichen des gesamten
Abschnittes in die Ruhestellung zurückgeführt wird, und wobei der zu schmelzende Körper gleichzeitig
um etwa die Breite des abgeschmolzenden Abschnittes vorgerückt wird, so daß das Arbeitsspiel erneut
Verfahren und Vorrichtung zur Ablenkung und
Leistungsmodulation eines Elektronenbündels
in einem mit Elektronenbeschuß arbeitenden Ofen
Leistungsmodulation eines Elektronenbündels
in einem mit Elektronenbeschuß arbeitenden Ofen
Anmelder:
Societe Anonyme Heurtey, Paris
Vertreter:
Dipl.-Phys. Dr. W. Andrejewski, Patentanwalt,
Essen, Kettwiger Str. 36
Als Erfinder benannt:
Yves Langlet,
Boulogne-Billancourt, Seine (Frankreich)
Beanspruchte Priorität:
Frankreich vom 6. September 1960 (837 858)
beginnen kann. Das Verfahren zeichnet sich gegenüber dem Bekannten erfindungsgemäß dadurch aus,
daß für den zu schmelzenden Körper eine seitliche Steuerplatte vorgesehen ist, auf die das nicht abgelenkte
Elektronenbündel fällt, sowie eine hintere Steuerplatte, die den zu schmelzenden Körper wenigstens
teilweise abdeckt, und daß die durch das Aufprallen des Elektronenbündels auf diese Steuerplatten erzeugten elektrischen Ströme zur Erregung
von Ablenkspulen benutzt werden. Zweckmäßig ist die seitliche Steuerplatte derart angeordnet, daß ihre
nahe dem Ende des zu schmelzenden Körpers liegende Kante parallel zu den aufeinanderfolgenden
Aufprallstellen des abgelenkten Elektronenbündels verläuft. Das Verfahren der Erfindung kann vorteilhaft
in der Weise durchgeführt werden, daß am Schluß der Ablenkung durch Löschung des Elektronenbündels
die aufgefangenen elektrischen Ströme aufgehoben werden und der zu schmelzende Körper
vorgerückt wird.
409 627/292
Gegenstand der Erfindung ist auch eine Vorrichtung zur Durchführung des erörterten Verfahrens.
Sie zeichnet sich erfindungsgemäß dadurch aus, daß in einem mit Elektronenbeschuß arbeitenden Ofen
eine neben dem Kopf eines zu schmelzenden Körpers liegende seitliche Steuerplatte, eine in bezug auf eine
Elektronenkanone hinter dem zu schmelzenden Körper liegende hintere Steuerplatte, eine Vorrichtung
für den Vorschub des zu schmelzenden Körpers in Richtung auf die seitliche Steuerplatte, ferner mit den
Steuerplatten verbundene Verstärker und Ablenkspulen vorgesehen sind. Zur Weitergabe der von dem
Elektronenstrahl bewirkten elektrischen Erregung kann die seitliche Steuerplatte mit einem Belastungswiderstand,
einem Verstärker und einem eine Ablenkspule speisenden Leistungsverstärker verbunden
sein. Zum gleichen Zweck können an die hintere Steuerplatte ein Belastungswiderstand, ein Verstärker
und ein mit diesem verbundener Leistungsverstärker angeschlossen sein. Von diesem Leistungsverstärker
wird eine sich wirkungsmäßig mit der Ablenkspule der seitlichen Steuerplatte kreuzende zweite Ablenkspule
gespeist, wobei dieser Leistungsverstärker über ein Zeitkonstantenglied mit einem Kippkreis zur zeitweisen
Einschaltung eines Vorschubmotors für den zu schmelzenden Körper verbunden ist, der über ein
Relais an dem Motor liegt. Der Leistungsverstärker ist über das Zeitkonstantenglied auch noch mit einem
Kippkreis zur Kurzschließung der beiden Steuerplatten und Einschaltung eines Verstärkers für die
Löschung des Elektronenbündels verbunden.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert;
es zeigt
Fig. 1 die schematische Profilansicht der Lage eines zu schmelzenden Körpers, der Steuerplatten
und der verschiedenen Aufprallstellen des Elektronenbündels,
F i g. 2 die Einwirkung des Elektronenbündels auf den zu schmelzenden Körper,
F i g. 3 eine der F i g. 1 entsprechende Draufsicht,
Fig. 4 das Schaltbild der der seitlichen Steuerplatte zugeordneten Ablenkapparatur,
F i g. 5 die Schaltung der der hinteren Steuerplatte zugeordneten Ablenkapparatur.
In einem mit Elektronenbeschuß arbeitenden Ofen wird dem durch einen Barren gebildeten zu schmelzenden
Körper 1 eine Vorschubbewegung erteilt, wobei der Körper vor der hinteren Steuerplatte 5 vorbeiläuft
und in einer solchen Stellung angehalten wird, daß Barrenendfläche 2 in unmittelbare Nähe
der Kante 3 der seitlichen Steuerplatte 4 zu liegen kommt.
In dem Ofen liefert eine Elektronenkanone ein Elektronenbündel, das in Ruhestellung der zwei Ablenkspulen?,
9 eine auf die seitliche Steuerplatte 4 fallende Aufprallstelle 6 ergibt. Durch die Wirkung
der ersten Ablenkspule 7 wird die Aufprallstelle 6 so seitwärts verschoben, daß sie über die Kante 3 hinausgeht
und gemäß der Spur 8 außerhalb des Umrisses des Barrens 1 auf die hintere Steuerplatte 5
fällt. Durch die zweite Ablenkspule 9 wird das Bündel parallel zu der Kante 3 so abgelenkt, daß es
gemäß der Spur 10 auf die entsprechende Ecke des zu schmelzenden Barrens fällt, so daß die Steuerplatte 5 vom Elektronenbündel nicht mehr getroffen
wird. Das Bündel verbleibt daher auf dieser Spur 10, bis das beschossene Metall vollständig geschmolzen
und abgeflossen ist. Dabei entsteht eine Aussparung 11 in dem Barren 1, so daß das Bündel von neuem
die hintere Steuerplatte 5 erreicht. Dadurch verändert sich die Ablenkwirkung der Spule 9 derart, daß das
S Bündel eine in Nähe der Aussparung 11 liegende Spur 12 einnimmt, an welcher der Schmelzvorgang
wieder einsetzt. Diese Vorgänge verlaufen in der Weise fortschreitend, daß das Elektronenbündel die
Spur 13 am gegenüberliegenden Rand des Barrens 1
ίο überschreitet und auf die hintere Steuerplatte 5 fällt,
wobei es bis zu einer Spur 14 abgelenkt wird, die außerhalb des Umrisses der hinteren Steuerplatte 5
liegt. In diesem Augenblick wird in der weiter unten erläuterten Weise die Wirkung der Ablenkvorrichtungen
unterbrochen und das Bündel wenigstens teilweise abgeblendet oder ausgelöscht. Weiterhin kehren
die Ablenkspule 7, 9 in ihren Ruhestand zurück, wodurch das Bündel wieder auf die Spur 6 gerichtet
wird. Alsdann wird dem Barren ein Vorschub in Richtung des Pfeiles der F i g. 1 um eine Strecke erteilt,
die etwa gleich der Breite der Aufprallstelle ist, so daß die neue Endfläche 2 des elektrisch auf
Massepotential liegenden Barrens 1 in unmittelbarer Nähe der die seitliche Steuerplatte 4 begrenzenden
Kante 3 zu liegen kommt. Hierfür ist nach F i g. 4 die seitliche Steuerplatte 4 mit einem einseitig an
Masse liegenden Belastungswiderstand 15 und mit einem Verstärker 16 verbunden, der einen Leistungsverstärker
17 zur Speisung der Ablenkspule 7 steuert.
Die hintere Steuerplatte S ist nach F i g. 5 in analoger
Weise an einen Belastungswiderstand 18 angeschlossen und mit einem Verstärker 19 verbunden, dessen
Ausgang an einem die Ablenkspule 9 speisenden Leistungsverstärker 20 liegt. Der Ausgang des Verstärkers
19 ist ferner über ein Zeitkonstantenglied, das einen Widerstand 21 und einen an Masse gelegten
Kondensator 22 enthält, mit dem gemeinsamen Eingang von zwei Kippschaltungen 23 und 24 verbunden.
Die Kippschaltung 23 ist mit einem Relais 25 verbunden zur Steuerung eines Motors 26 für den
Vorschub des Barrens 1 in Richtung des Pfeiles der Fig. 1.
Die Kippschaltung 24 ist mit einem Relais 27 verbunden, dessen eine Kontaktzunge in Arbeitsstellung
die hintere Steuerplatte 5 unmittelbar an Masse legt, wobei gegebenenfalls eine andere Kontaktzunge vorgesehen
sein kann, um in gleicher Weise die seitliche Steuerplatte 4 an Masse zu legen. Die Kippschaltung
24 kann auch mit einem Verstärker 28 verbunden sein, dessen Ausgang 29 an eine Vorrichtung zur
Auslöschung des Elektronenbündels angeschlossen ist. Wenn die Elektronen des Bündels auf die seitliche
Steuerplatte 4 fallen, erscheint eine Spannung an den Klemmen des Widerstands 15. Der Verstärker
16 erhöht diese Spannung auf einen zweckmäßigen Wert und beaufschlagt so den Leistungsverstärker 17,
so daß die Ablenkspule 7 von einem zu der Eingangsspannung proportionalen Strom durchflossen
wird. Hierdurch wird das Elektronenbündel von der Aufprallstelle 6 auf die Aufprallstelle 8 abgelenkt.
Sobald die seitliche Steuerplatte 4 nicht mehr mit Elektronen beschossen wird, haben diese Spannungen
sowie der Strom in der Spule 7 den Wert Null. Da das System an sich so beschaffen ist. daß bei Fehlen
eines Stromes in der Ablenkspule die Aufprallstelle nach 6 zurückkehrt und mithin die Steuerplatte 4 von neuem beschossen wird, ist die Verstärkung
des Verstärkers 16, 17 nun so eingestellt, daß
eine Art Gleichgewicht auftritt, wodurch die Aufprallstelle bei 8 auf der in Fig. 1 eingezeichneten
Linie verbleibt.
Wenn sich die Aufprallstelle bei 8 befindet, erscheint eine Spannung an den Klemmen des Wider-Standes
18, die über die Verstärker 19 und 20 einen Strom in der Ablenkspule 9 hervorruft, deren Wirkung
zu der der Ablenkspule 7 senkrecht gerichtet ist, so daß die Aufprallstelle nach 10 kommt, wobei
der Barren 1 das Elektronenbündel abfängt und daher nur noch sehr wenige Elektronen auf die Steuerplatte 4 und 5 fallen läßt.
Nach Maßgabe des Schmelzverlaufes wandert die Aufprallstelle von 10 nach 12 und über 13 nach 14
außerhalb der Steuerplatten 4 und 5. Das Bündel bleibt jedoch auf der erwähnten Linie der Fig. 1.
Die Vorrichtung ist so ausgebildet, daß der Ablenkstrom in den Spulen 7 und 9 bei beliebigen Eingangsspannungen
einen vorbestimmten Wert nicht überschreiten kann, so daß die Aufprallstelle des
Bündels nicht weiter als die Spur 14 gehen kann, bei der eine verhältnismäßig große Zahl von Elektronen
auf die hintere Steuerplatte 5 fällt. Es tritt dann eine
ziemlich hohe Spannung am Ausgangsverstärker 19 auf, so daß sich der Kondensator 22 über den Widerstand
21 gemäß einer Exponentialkurve auflädt. Die Zeitkonstante der Glieder 21, 22 ist verhältnismäßig
groß. Wenn daher die hintere Steuerplatte 5 nur während derjenigen kurzen Zeiten beschossen wird,
die erforderlich sind, damit die Aufprallstelle ihr Ziel wiederfindet oder sich von einer beliebigen Stelle
bis zu der Spur 13 verschiebt, kann die Spannung an den Klemmen des Kondensators 22 nur wenig ansteigen.
Im stationären Zustand jedoch liefert die Aufprallstelle 14 der Steuerplatte 5 so viel Elektronen,
daß die Spannung an dem Kondensator 22 erheblich ansteigt.
In diesem letzten Falle wird die durch eine geeignete Vorspannung gesperrte Kippschaltung 23 entsperrt
und liefert dem Relais 25 Strom, welches die Drehung des Motors 26 und dem Vorschub des Barrens
1 während der Anzugszeit des Relais bewirkt. Die Anzugszeit ist so eingestellt, daß der Barren um
eine Strecke vorrückt, die gleich dem Durchmesser der Aufprallstelle ist.
Die Kippschaltung 24 wird ebenfalls entsperrt und betätigt das Relais 27, das die Eingänge der Verstärker
16 und 19 kurzschließt. Das Elektronenbündel kehrt dann in seine Ausgangsstellung an der
Aufprallstelle 6 zurück. Nach einer gewissen Zeit, die etwas größer ist als die für den Vorschub des
Barrens erforderliche Zeit, öffnet sich das Relais 27. Das Arbeitsspiel beginnt dann von neuem.
Um eine Erwärmung der seitlichen Steuerplatte 4 während des Verweilens der Aufprallstelle bei 6 zu
verhindern, speist die Kippschaltung 24 das Relais 28 mit der von ihr erzeugten impulsförmigen Spannung,
die umgewandelt und verstärkt wird zu einem Strom, der durch den Leiter 29 weitergeleitet wird und das
Signal zur Sperrung der Elektronenkanone liefert. Solange ist mithin das Elektronenbündel gelöscht.
Diese Löschdauer ist etwas größer als die für den Vorschub des Barrens 1 erforderliche Zeit.
Das obige Verfahren und die obige Vorrichtung sind für völlig beliebige Abmessungen von Barren
benutzbar, soweit sie nur kleiner sind als die Ablenkamplitude zwischen den Aufprallstellen 6 und
14. Die Zeitkonstanten können sehr kurz ge
wählt werden, so daß die Schmelzleistung sehr hoch ist.
Claims (6)
1. Verfahren zur Ablenkung und Leistungsmodulation eines Elektronenbündels in einem
mit Elektronenbeschuß arbeitenden Ofen, bei welchem ein Elektronenbündel derart abgelenkt
wird, daß es auf einen Randabschnitt eines zu schmelzenden Körpers trifft, woraufhin es bei
fortschreitender Schmelzung über diesen Abschnitt vorgerückt und nach Bestreichung des gesamten
Abschnittes in die Ruhestellung zurückgeführt wird, wobei der zu schmelzende Körper
gleichzeitig um etwa die Breite des abgeschmolzenen Abschnittes vorgerückt wird, so daß das
Arbeitsspiel erneut beginnen kann, dadurch gekennzeichnet, daß für den zu schmelzenden
Körper (1) eine seitliche Steuerplatte (4), auf welche das nicht abgelenkte Elektronenbündel
fällt, sowie eine hintere Steuerplatte (5), welche den zu schmelzenden Körper (1) wenigstens
teilweise abdeckt, vorgesehen und die durch das Aufprallen des Elektronenbündels auf
diese Steuerplatten (4, 5) erzeugten elektrischen Ströme zur Erregung von Ablenkspulen benutzt
werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die seitliche Steuerplatte (4)
derart angeordnet wird, daß ihre nahe dem Ende
(2) des zu schmelzenden Körpers liegende Kante
(3) parallel zu den aufeinanderfolgenden Aufprallstellen des abgelenkten Elektronenbündels
verläuft.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am Schluß der Ablenkung
durch Löschung des Elektronenbündels die aufgefangenen elektrischen Ströme aufgehoben werden
und der zu schmelzende Körper (1) vorgerückt wird.
4. Anlage zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß in einem mit Elektronenbeschuß arbeitenden Ofen eine neben dem Kopf eines zu schmelzenden
Körpers (1) liegende seitliche Steuerplatte (4), eine in bezug auf eine Elektronenkanone
hinter dem zu schmelzenden Körper liegende hintere Steuerplatte (5), eine Vorrichtung für den
Vorschub des zu schmelzenden Körpers in Richtung auf die seitliche Steuerplatte (4), ferner mit
den Steuerplatten (4 und 5) verbundene Verstärker (16, 17, 19, 20) und Ablenkspulen (7, 9) vorgesehen
sind.
5. Anlage nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die seitliche Steuerplatte (4) mit
einem Belastungswiderstand (15), einem Verstärker (16) und einem eine Ablenkspule (7) speisenden
Leistungsverstärker (17) verbunden ist.
6. Anlage nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß an die hintere Steuerplatte (5) ein
Belastungswiderstand (18), ein Verstärker (19) und ein mit diesem verbundener Leistungsverstärker
(20) eine wirkungsmäßig sich mit der Ablenkspule (7) der seitlichen Steuerplatte (4)
kreuzende Ablenkspule (9) speisbar ist, wobei dieser Leistungsverstärker (20) über eine Anord-
nung mit Zeitkonstante (21, 22) mit einem Kippkreis (23) zur zeitweisen Einschaltung eines Vorschubmotors
(26) für den zu schmelzenden Körper (1) über ein Relais (25) sowie mit einem Kippkreis (24) zur Kurzschließung der Steuerplatten (4, 5) und gegebenenfalls zur Einschal-
tung eines Verstärkers (28) zur Löschung des Elektronenbündels verbunden ist.
In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Auslegeschrift Nr. 1110 877;
USA.-Patentschrift Nr. 2 423 729.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
409 627/292 6.64 © Bundesdruckerei Berlin
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR837858A FR1273925A (fr) | 1960-09-06 | 1960-09-06 | Procédé de déviation et de modulation en puissance d'un faisceau d'électrons dans un four à bombardement et appareillages de mise en oeuvre d'un tel procédé |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1172783B true DE1172783B (de) | 1964-06-25 |
Family
ID=8738524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DES75438A Pending DE1172783B (de) | 1960-09-06 | 1961-08-24 | Verfahren und Vorrichtung zur Ablenkung und Leistungsmodulation eines Elektronenbuendels in einem mit Elektronenbeschuss arbeitenden Ofen |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1172783B (de) |
FR (1) | FR1273925A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE2515094A1 (de) | 1975-04-07 | 1976-10-14 | Joens & Co Gmbh W H | Programmgeber fuer steuer- und regelzwecke |
DE2831602A1 (de) * | 1978-07-19 | 1980-02-07 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zur erfassung von strahlparametern eines periodisch ueber eine zielflaeche gefuehrten, fokussierten ladungstraegerstrahls und messverfahren unter verwendung der vorrichtung |
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-
1960
- 1960-09-06 FR FR837858A patent/FR1273925A/fr not_active Expired
-
1961
- 1961-08-24 DE DES75438A patent/DE1172783B/de active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR1273925A (fr) | 1961-10-20 |
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