DE1157408B - Mit Zeigerwerk oder elektrischer Kontaktanordnung ausgeruestetes Druckmesssystem - Google Patents

Mit Zeigerwerk oder elektrischer Kontaktanordnung ausgeruestetes Druckmesssystem

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DE1157408B
DE1157408B DEL35346A DEL0035346A DE1157408B DE 1157408 B DE1157408 B DE 1157408B DE L35346 A DEL35346 A DE L35346A DE L0035346 A DEL0035346 A DE L0035346A DE 1157408 B DE1157408 B DE 1157408B
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DE
Germany
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spring element
pressure
measuring system
pressure measuring
vapor
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DEL35346A
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English (en)
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Dipl-Phys Dr Justus Moll
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Leybold Hochvakuum Anlagen GmbH
Original Assignee
Leybold Hochvakuum Anlagen GmbH
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • G01L7/02Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
    • G01L7/04Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges in the form of flexible, deformable tubes, e.g. Bourdon gauges
    • G01L7/041Construction or mounting of deformable tubes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements

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Description

  • Mit Zeigerwerk oder elektrischer Kontaktanordnung ausgerüstetes Druckmeßsystem Die Erfindung betrifft ein mit Zeigerwerk oder elektrischer Kontaktanordnung ausgerüstetes Druckmeßsystem, welches in einem mit dem Rezipienten in Verbindung stehenden Meßraum ein abgeschlossenes beheizbares Federelement aufweist.
  • Mechanische Druckmeßgeräte nach dem Bourdonprinzip haben in der Technik weite Verbreitung gefunden Die Verstellkräfte für das W+1eßsystem gehen dabei von einem hohlen Federelement aus, dessen äußerer Umfang größer ist als der innere Umfang und bei dem entweder der Federinnenraum oder die Umgebung der dann unmittelbar an die Außenluft angeschlossenen Bourdonfeder mit dem zu messenden Druck in Verbindung gebracht werden. Derartige Bourdonfedermeßinstrumente sind auch bereits zur Messung von Unterdrücken angewendet worden, dabei zeigt sich jedoch eine sehr ungünstige und mit den Ausbildungen des Zeigerwerkes nicht genügend beeinflußbare Skaleneinteilung, bei der niedrigere Druckwerte unterhalb etwa 1 Torr nicht mehr hinreichend aufgelöst werden können. Da ein solches Druckmeßgerät wegen seines einfachen Aufbaues und des relativ großen Meßbereiches für viele Betriebsmessungen gut verwendbar ist, bestand die Aufgabe, eine verbesserte Ausführungsform zu schaffen, welche auch nach dem Bereich niedriger Drücke hin eine ausreichende Skalenanzeige ermöglicht. ohne daß hierzu eine wesentlich kompliziertere Mechanik oder aufwendige Hilfsmittel erforderlich sind.
  • Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Beheizung des Federelementes zur Vergrößerung der Auslenkung im Unterdruckbereich mit wenigstens annähernd konstanter Heizleistung erfolgt und das Federelement eine an sich bekannte Füllung mit einer mindestens teilweise dampfförmigen Substanz von vorgegebenem Dampfdruck enthält.
  • Das neuartige Druckmeßsystem vereinigt die Vorteile der vorbekannten Federmeßsysteme mit denen der sogenannten Wärmeleitungsmanometer, welche in der Vakuumtechnik allgemein bekannt sind.
  • Bei einem Wärmeleitungsmanometer wird von der physikalischen Tatsache Gebrauch gemacht, daß sich die Wärmeabgabe eines beheizten Meßelementes in einem umgebenden Vakuumraum in einem mittleren Bereich, etwa zwischen 10 und 10-3 Torr, erheblich druckabhängig ändert. Dies kann beispielsweise in einer Widerstandsänderung des Meßelementes zum Ausdruck kommen, und die Druckmessung entspricht dann einer Bestimmung eines elektrischen Widerstandes, wie sie mit den bekannten Meßverfahren leicht und mit hoher Genauigkeit durchführbar ist.
  • Zur Erläuterung des beschriebenen Zusammenhanges wird auf Fig. 1 Bezug genommen, in der die Abhängigkeit der Wärmeleitzahl ? vom Druck p graphisch dargestellt ist. Man erkennt, daß bei höheren Drücken nur eine sehr geringe Abhängigkeit der Wärmeleitzahl vom Druck besteht, die dann im Bereich zwischen 10 und 1V-3 Torr wesentlich stärker in Erscheinung tritt, während bei noch höheren Vakua nur noch eine kaum merkliche Änderung in Abhängigkeit vom Druck auftritt.
  • Man erkennt zwar bereits bei der Hochdruckmessung die Hintereinanderschaltung mehrerer dampfgefüllter Membransysteme zur Erzeugung einer Druckkaskade7 wobei durch eine Druckuntersetzung die Belastung der auf der Hochdruckseite befindlichen verformbaren Federelemente vermindert werden soll.
  • Derartige Anordnungen sind jedoch für Unterdruckmessungen unbrauchbar, und zur Erzielung einer eichbaren Skalen anzeige im Unterdruckbereich fehlt vor allem das wesentliche Merkmal der Beheizung mit konstanter Heizleistung. Für die Druckmessung in Bohrlöchern sind bereits Druckmeßsysteme angegeben worden, bei denen ein durch eine Membranplatte abgeschIossener Innenraum eine nichtleitende Flüssigkeit enthält, welche durch ein elektrisches Heizelement beheizt werden kann. Bei der Druckverformung der Membran wird ein elektrischer Schaltkontakt ausgelöst, welcher die Heizvorrichtung einschaltet. Durch die Beheizung des abgeschlossenen Innenraumes entsteht ein solcher Überdruck, der die Verformung der Membran rückgängig macht und somit die elektrischen Kontaktteile wieder trennt. In diesem Betriebszustand entspricht der Innendruck dem zu messenden Außendruck und kann rechnerisch in einfacher Weise ermittelt werden. Auch hier fehlt im Vergleich mit der Erfindung jede Verwendbarkeit zur Unterdruckmessung; außerdem erfolgt die Beheizung keinesfalls mit wenigstens annähernd konstanter Heizleistung, sondern ist intermittierend ausgebildet.
  • Versucht man, die Wirkungsweise des erfindungsgemäßen Druckmeßgerätes zu erläutern, so kann man zunächst von den Eigenschaften eines normalen Federmeßelementes ausgehen und im Bereich zwischen 760 und 10 Torr annehmen, daß die zusätzlich vorhandene Beheizung der Bourdonfeder zunächst ohne wesentlichen Einfluß bleibt, und sich diese lediglich in bekannter Weise unter dem Einfluß der Druckkräfte verformt. Erreicht man bei steigendem Unterdruck schließlich Druckwerte, bei denen die Wärmeableitung der Bourdonfeder behindert ist, so wirkt sich dies in einer Temperatursteigerung des Innenraumes der Feder aus. In diesem Innenraum befindet sich jedoch eine Substanz, welche bei Zimmertemperatur einen Dampfdruck von einigen Torr oder je nach der Skalenteilung höheren Werten aufweisen soll. Bei einer Füllung mit Isobutylalkohol, die hier beispielsweise vorausgesetzt werden soll, beträgt der Dampfdruck bei Zimmertemperatur etwa 10 Torr. Erwärmt sich nunmehr infolge der durch die Evakuierung des Umgebungsraumes behindertem Wärmeableitung das Bourdonfederelement, so tritt abhängig von der Temperatursteigerung bei annähernd konstanter Heizleistung eine Drucksteigerung im Innenraum des Federelementes ein, welche eine weitere Verformung und damit zur Anzeige ausnutzbare Einstellkräfte liefert. In Fig. 2 ist der Druckverlauf im Inneren der Feder bei einer Temperatursteigerung zwischen 30 und 700 C, wie sie praktischen Ausführungsbeispielen entspricht, aufgetragen. Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung einer möglichen Skalenteilung des erfindungsgemäßen Druckmeßgerätes, wobei im Bereich zwischen 760 und 10 Torr ausschließlich die bekannten mechanischen Verformungskräfte an der Feder wirksam sind, während das Gebiet zwischen 10 und 10-3 Torr vor allem durch die Drucksteigerung im Inneren der Feder unter der Wirkung der eingetretenen Temperatursteigerung bestimmt wird. Durch die Wahl einer Feder mit bestimmten geometrischen Abmessungen und entsprechender Federungselastizität ist es zusammen mit einer demgemäß angepaßten Dampffüllung möglich, die verschiedensten Skalencharakteristika zu realisieren.
  • Eine günstige Beeinflussung des Skalenverlaufes kann auch durch eine Kombination von mindestens einem dampfgefüllten Federelement mit einem oder mehreren Elementen von an sich bekannter Konstruktion erreicht werden. Dabei kann es zweckmäßig sein, zur Bildung einer gemeinsamen Stellgröße, welche einen Zeiger oder einen Schaltkontakt betätigt, die Auslenkung aller Systeme mit gleicher Übersetzung wirksam werden zu lassen oder aber durch mechanische Zwischenglieder unterschiedliche Übersetzungen hinsichtlich der einzelnen Federelemente hervorzurufen.
  • Eine zweckmäßige Ausführung zur Beheizung des Federelementes verwendet den direkten Stromdurchgang durch den Federkörper, wobei das Federelement als Heizelement ausgebildet ist. Grundsätzlich ist im Betrieb des Meßgerätes eine konstante Heizleistung anzustreben, da sich jedoch der elektrische Widerstand des Heizkörpers innerhalb der zugelassenen Temperatursteigerung nur relativ wenig erhöht, kann man durch Konstanthalten der Spannung z. B. mit Hilfe eines magnetischen Spannungskonstanthalters, eine ausreichende Genauigkeit in der Konstanthaltung des Produktes U² N = U # I = R erzielen.
  • Der Dampfdruck der im Innenraum des Federelementes vorhandenen dampfbildenden Substanz liegt bei Zimmertemperatur zweckmäßig zwischen 10 und 100 Torr. In Sonderfällen können aber auch abweichende Werte zweckmäßig sein. Bei den Substanzen, die zum Dampfbilden im Innenraum der Feder eingeschlossen werden, handelt es sich bevorzugt um organische Flüssigkeiten, z. B. auch halogenierte Kohlenwasserstoffe.
  • Bei der Herstellung eines für ein Druckmeßgerät nach der Erfindung geeigneten Federelementes geht man zweckmäßigerweise so vor, daß man zunächst den hohlen Innenraum evakuiert, und daran anschließend eine dosierte Menge der zur Dampfbildung vorgesehenen Substanz, vorzugsweise in flüssigem Zustand, einbringt. Danach wird der Innenraum vakuumdicht verschlossen. Die eingebrachte Menge der dampfbildenden Substanz kann vorteilhaft so groß bemessen werden, daß in jedem Temperaturzustand beim Betrieb des Druckmeßgerätes im Innenraum der Feder gesättigter Dampf vorhanden ist. Es sind ferner Ausführungen möglich, bei denen eine geringere Menge der dampfbildenden Substanz eingebracht wird, so daß von einer bestimmten Temperatur des Federelementes zu höheren Temperaturen hin ungesättigter Dampf vorliegt.
  • Man kann das erfindungsgemäße Druckmeßgerät auch für die Messung eines Druckbereiches zwischen einem über Atmosphärendruck gelegenen Druckwert und entsprechendem Unterdruck ausbilden. Hierbei ist es im wesentlichen erforderlich, ein steiferes Federelement zu benutzen. Ein Mittel zur Erweiterung des Druckmeßbereiches nach höheren Drücken über Atmosphärendruck hin ist eine Vergrößerung der Steifigkeit des Federelementes.
  • Die Zeichnung dient der Erläuterung des Erfindungsgegenstandes. Es zeigt Fig. 1 eine graphische Darstellung der Wärmeleitzahl, Fig. 2 eine graphische Darstellung des Druckverlaufes im Federelement, Fig. 3 eine Skalenteilung für ein Druckmeßgerät nach der Erfindung, Fig. 4 eine Vorderansicht eines Druckmeßgerätes, Fig. 5 eine Vorderansicht einer anderen Ausführungsform eines Druckmeßgerätes, Fig. 6 eine Kombination zweier Federelemente.
  • Auf den Inhalt der Fig. 1 bis 3 ist bereits bei der Erläuterung des Meßprinzips ausführlich Bezug genommen worden.
  • In Fig. 4 erkennt man in einem dosenförmigen Gehäuse, welches zum Anschluß an den Rezipienten eine Verbindungsleitung 11 mit Anschlußflansch 12 aufweist, ein kreisförmig gestaltetes Federelement 2, welches in einer Haltemuffe 3 an einem gehäusefesten Tragestück 4 gehalten ist, so daß das eine Ende des Federelementes 2 feststeht. Das andere freie Ende dieses Federelementes 2 ist unter dem Einfluß der Druckkräfte bewegbar und über einen Seilzug 5 an ein Rollenelement 6 angeschlossen. Dieses Rollenelement 6 erhält durch eine Spiralfeder 7, welche bei 8 am Gehäuse 1 befestigt ist, eine entsprechende Vorspannung, welche den Seilzug 5 spannt und je nach der Lage des freien Endes wles Federelementes 2 eine zugeordnete Gleichgewichtslage des Rollenelementes 6 herbeiführt. Die dabei vorliegende Drehstellung des Rollenelementes 6 wird über einen Zeiger 9 auf einer Skala 10 als Druckwert sichtbar gemacht. Zur Beheizung des Federelementes 2 durch direkten Stromdurchgang im Federkörper sind dessen beide Enden über Zuleitungen 29, 31 an eine Spannungsquelle 30 angeschlossen, welche als magnetischer Spannungskonstanthalter arbeitet, wodurch sich - wie bereits im vorangegangenen beschrieben - eine ausreichend konstante Heizleistung erzielen läßt.
  • In Fig.S findet ein dosenförmiges Federelement 13 Anwendung, welches in dem Gehäuse 1 unter Zwischenschaltung eines Haltestiftes 14 an dem Tragestück 4 befestigt ist. Das Federelement 13 trägt im Bereich seines Mittelpunktes einen Teil 15 eines elektrischen Schaltkontaktes, dessen anderer Teil 16 an einem isolierten, gleichfalls gehäusefesten Haltestück 17 angebracht ist. Der Kontaktteil 17 steht über eine Verbindungsleitung 18 mit einem in das Gerätegehäuse 1 unter Zwischenschaltung eines Isolierstückes 19 eingesetzten Anschlußelement20 in Verbindung.
  • Im Bereich der Umfangfläche des dosenförmigen Federelemetes 13 sind Heizwindungen 21 eines elektrischen Heizelementes aufgebracht, die über entsprechende Zuleitungen29, 31 an eine hier nicht gezeichnete Spannungsquelle analog Teil 30 in Fig. 4 angeschlossen werden. In dieser Anordnung arbeitet das Druckmeßsystem als Vakuumschalter und bei einem entsprechenden Druckwert wird der aus den Kontaktteilen 15 und 16 bestehende elektrische Schaltkontakt betätigt und dadurch das Anschlußelement 20 an Masse gelegt oder hiervon getrennt.
  • In der schematischen Darstellung nach Fig. 6 ist ein dosenförmiges Federelement 22 üblicher Ausführung, d. h. ohne Dampffüllung, über eine Zahnstange 23 direkt mit einer gezahnten Drehrolle 24 eines Meßwerkes gekuppelt. Auf die gleiche Drehrolle 24 wirkt über einen weiteren Zahnstangenantrieb 25 ein dampfgefülltes dosenförmiges Federelement 26 ein, wobei jedoch durch die Zwischenschaltung von Übersetzungszahnrädern 27, 28, 32 ein anteilmäßig ungleiche Zusammensetzung der von beiden Federelmenten 22, 26 hervorgerufenen Verschiebebewegungungen in dem einen Summenwert bildenden Rollen- element 24 erreicht wird. Eine solche Anordnung kann unter Umständen wesentliche Vorteile hinsichtlich einer angestrebten speziellen Skalenteilung erreichen.

Claims (6)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Mit Zeigerwerk oder elektrischer Kontaktanordnung ausgerüstetes Druckmeßsystem, welches in einem mit dem Rezipienten in Verbindung stehenden Meßraum ein abgeschlossenes, beheizbares Federelement aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Beheizung des Federelementes zur Vergrößerung der Auslenkung im Unterdruckbereich mit wenigstens annähernd konstanter Heizleistung erfolgt und das Federelement eine an sich bekannte Füllung mit einer mindestens teilweise dampfförmigen Substanz von vorgegebenem Dampfdruck enthält.
  2. 2. Druckmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Federelement als Heizelement für direkten Stromdurchgang ausgebildet ist.
  3. 3. Druckmeßsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Meßraum mindestens ein dampfgefülltes Federelement mit einem oder mehreren Federelementen von an sich bekannter Konstruktion angeordnet sind und daß deren Auslenkung gegebenenfalls mit unterschiedlicher Übersetzung zur Bildung einer Stellgröße über Kopplungsglieder auf das Zeigerwerk oder auf die Kontaktanordnung übertragen werden.
  4. 4. Druckmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Dampfdruck der im Innenraum des Federelementes vorhandenen dampfbildenden Substanz bei Zimmertemperatur zwischen 10 und 100 Torr liegt.
  5. 5. Druckmeßsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die dampfbildende Substanz ein halogenierter Kohlenwasserstoff ist.
  6. 6. Druckmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die in das Federelement eingebrachte Menge der dampfbildenden Substanz so groß bemessen ist, daß in jedem Betriebszustand im Innenraum des Federelementes gesättigter Dampf vorhanden ist.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 228 314, 379 548, 835 532; deutsche Auslegeschrift Nr. 1 045 686; USA.-Patentschriften Nr. 2243 398, 2 370 678, 2459268.
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Citations (7)

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