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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe und ein Verfahren zum Spülen der Turbomolekularvakuumpumpe.
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Das Erzeugen eines Hochvakuums in einer Kammer erfordert den Einsatz von Turbomolekularvakuumpumpen, die aus einem Stator bestehen, in dem ein Rotor in schneller Rotation, beispielsweise mit einer Drehzahl von über zwanzigtausend Umdrehungen pro Minute, angetrieben wird.
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Bei bestimmten Verfahren, in denen Turbomolekularvakuumpumpen eingesetzt werden, wie beispielsweise bei Verfahren zur Herstellung von Halbleitern oder von LEDs, kann sich in der Vakuumpumpe eine Ablagerungsschicht bilden. Diese Ablagerung kann zu einem eingeschränkten Abstand zwischen dem Stator und dem Rotor führen, was zum Stillstand des Rotors führen kann. Die Ablagerungsschicht erwärmt nämlich den Rotor durch Reibung, was zu einer Kriechverformung und möglicherweise zum Reißen des Rotors führen kann.
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Es ist eine bekannte Praxis, den Stator zu erwärmen, um zu verhindern, dass Reaktionsprodukte in der Pumpe kondensieren. Um die mechanische Integrität des Rotors zu erhalten, kann jedoch die Temperatur, auf die der Stator erwärmt wird, im Allgemeinen 90°C oder sogar 120°C nicht überschreiten. Durch das Erwärmen des Stators auf diese Temperaturen lässt sich die Bildung von Ablagerungen in der Pumpe zwar wirksam reduzieren, jedoch - insbesondere bei bestimmten Chemikalien, wie beispielsweise AlCl3 - nicht vollständig vermeiden.
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Für die häufige Reinigung der Vakuumpumpe müssen daher regelmäßige Wartungsvorgänge eingeplant werden.
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Eine der Aufgaben der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Turbomolekularvakuumpumpe vorzuschlagen, die mindestens einen Nachteil des Standes der Technik zumindest teilweise behebt.
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Hierzu ist ein Gegenstand der Erfindung eine Turbomolekularvakuumpumpe, die dazu eingerichtet ist, von einer Saugseite zu einer Förderseite zu pumpende Gase anzutreiben, wobei die Turbomolekularvakuumpumpe Folgendes aufweist:
- - einen Stator, aufweisend mindestens eine Leitschaufelstufe und einen Holweck-Stator, in dem Spiralnuten ausgebildet sind, und
- - einen Rotor, Folgendes aufweisend:
- ◯ mindestens zwei Laufschaufelstufen , wobei die Laufschaufelstufen und die Leitschaufelstufen in einer Turbomolekularstufe der Turbomolekularvakuumpumpe axial entlang einer Rotationsachse des Rotors aufeinander folgen, und
- ◯ eine Holweckhülse, die dazu eingerichtet ist, sich in einer Molekularstufe der Turbomolekularvakuumpumpe gegenüber den Spiralnuten des Stators zu drehen, wobei diese Stufe in Umlaufrichtung der gepumpten Gase stromabwärts der Turbomolekularstufe angeordnet ist,
dadurch gekennzeichnet, dass die Turbomolekularvakuumpumpe ferner eine Spülgas-Einleitungsvorrichtung aufweist, die mindestens einen in dem Stator ausgebildeten und zwischen dem Rotor und dem Stator beispielsweise über mindestens eine Bohrung nach außen mündenden Kanal aufweist, um stromabwärts von mindestens einer Laufschaufelstufe des Rotors ein Spülgas in den Strömungsweg, dem die gepumpten Gase folgen, einzuleiten, wobei die Spülgas-Einleitungsvorrichtung so eingerichtet ist, dass die Durchflussrate an eingeleitetem Spülgas unter einem Schwellenwert liegt, der so bestimmt ist, dass die Differenz zwischen dem Druck auf der Saugseite ohne die Einleitung von Spülgas und mit der Einleitung eines Spülgases weniger als 0,066 Pa (im Wesentlichen etwa 0,5 mTorr) beträgt.
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Die gepumpten Gase werden somit ohne Änderung oder mit nur geringer Änderung der Pumpleistung auf der Saugseite der Turbomolekularvakuumpumpe verdünnt.
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Dadurch können die Partialdrücke der kondensierbaren Gase abgesenkt werden, um sie unterhalb der Kondensationswerte zu halten. Hierdurch wird es möglich, die Risiken von Ablagerungen in der Turbomolekularvakuumpumpe zu begrenzen und die Zeit zwischen zwei Wartungsvorgängen zu verlängern.
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Das Einleiten eines Spülgases stromabwärts von wenigstens einer Laufschaufelstufe ermöglicht es außerdem, einen Rückfluss von Spülgas in die zu evakuierende Kammer zu vermeiden.
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Ein weiterer wesentlicher Vorteil besteht darin, dass das Absenken des Partialdrucks der Gase, die zu Ablagerungen in der Turbomolekularvakuumpumpe führen können, es ermöglicht, den bei derselben Soll-Erwärmungstemperatur des Stators zu pumpenden Gasstrom zu erhöhen. Aufgrund der Absenkung der Partialdrücke wird es also möglich, ohne zusätzliche Ablagerungsrisiken und ohne mechanisches Risiko für den Rotor den Durchfluss der gepumpten Gase zu erhöhen.
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Die Turbomolekularvakuumpumpe kann - einzeln oder in Kombination - eines oder mehrere der folgenden Merkmale aufweisen:
- Mindestens ein Kanal mündet beispielsweise an der Molekularstufe, beispielsweise über mindestens eine Bohrung.
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Es ist beispielsweise vorgesehen, dass der Kanal am Einlass der Molekularstufe in einen oberen Teil des Holweck-Stators mündet. Die Achse des Kanals mündet aus dem Holweck-Stator in einem Abstand von der Turbomolekularstufe, der beispielsweise kürzer ist als ein Viertel der Höhe des Holweck-Stators. So kann die Molekularstufe fast vollständig gespült werden.
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Der Kanal kann insbesondere bei Anwendungen, bei denen Ablagerungen in der unteren Hälfte des Holweck-Stators zu sehen sind auch in einen unteren Teil des Holweck-Stators, am Ausgang der Molekularstufe, münden - beispielsweise in einem Abstand von der Turbomolekularstufe, der größer ist als die Hälfte der Höhe des Holweck-Stators.
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Die Durchflussrate des eingeleiteten Spülgases ist beispielsweise größer oder gleich 0,1689 Pa.m3/s (oder 100 sccm).
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Die Turbomolekularvakuumpumpe kann ferner eine zusätzliche Spülgas-Einleitungsvorrichtung aufweisen, die dazu eingerichtet ist, ein zusätzliches Spülgas in die unterhalb der Holweck-Hülse befindlichen Lager der Turbomolekularvakuumpumpe einzuleiten. Die zusätzliche Spülgas-Einleitungsvorrichtung ermöglicht es, den Motor zu kühlen und Gas über die Drehelemente der Turbomolekularvakuumpumpe, insbesondere die Lager, die elektrischen Verbinder, die Schweißverbindungen und die Stützwälzlager streichen zu lassen. Zusätzliches Spülgas über diese Elemente streichen zu lassen, schützt vor den potentiell aggressiven Gasen, die gepumpt werden.
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Beispielsweise weist die zusätzliche Spülgas-Einleitungsvorrichtung einen oder mehrere Einlässe auf, die dazu eingerichtet sind, ein zusätzliches Spülgas in einen Hohlraum zu fördern, der ein Ende einer Welle, die zum Antreiben der Drehung des Rotors eingerichtet ist, aufnimmt.
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Die Durchflussrate des zusätzlichen Spülgases ist beispielsweise geringer als die Durchflussrate der Spülgas-Einleitungsvorrichtung, beispielsweise kleiner oder gleich 0,08446 Pa.m3/s (oder 50 sccm).
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Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform weist die Turbomolekularvakuumpumpe eine gemeinsame Rohrleitung für den Einlass der zusätzlichen Spülgas-Einleitungsvorrichtung und den Kanal der Spülgas-Einleitungsvorrichtung auf. Hierdurch wird dann ermöglicht, an der Turbomolekularvakuumpumpe die Anzahl der Verbindungen zu der Spülgasquelle zu begrenzen.
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Der Rotor weist beispielsweise mehr als vier Laufschaufelstufen, beispielsweise etwa zwischen vier und acht Laufschaufelstufen auf.
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Mindestens ein Kanal mündet - beispielsweise über mindestens eine Bohrung - beispielsweise zu der Turbomolekularstufe.
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Der Kanal mündet beispielsweise auf eine der drei letzten Laufschaufelstufen in Umlaufrichtung der gepumpten Gase. Hierdurch werden dann auch mögliche Ablagerungen in den letzten Verdichtungsstufen der Turbomolekularstufe vermieden.
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Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Spülen einer Turbomolekularvakuumpumpe, wie oben beschrieben, wobei die Durchflussrate von Spülgas, das stromabwärts von mindestens einer Laufschaufelstufe des Rotors in den Strömungsweg, dem die gepumpten Gase folgen, eingeleitet wird, unter einem Schwellenwert liegt, der so bestimmt ist, dass die Differenz zwischen dem Druck auf der Saugseite ohne die Einleitung von Spülgas und mit der Einleitung eines Spülgases weniger als 0,066 Pa (nämlich etwa 0,5 mTorr) beträgt.
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Das Spülgas ist beispielsweise Stickstoff.
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Der für die Durchflussrate des eingeleiteten Spülgases bestimmte Schwellenwert beträgt beispielsweise 0,76 Pa.m3/s (nämlich etwa 450 sccm).
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Figurenliste
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Weitere Vorteile und Merkmale ergeben sich aus der Lektüre der nachfolgenden Beschreibung einer besonderen, aber keinesfalls einschränkenden Ausführungsform der Erfindung, und aus dem Studium der beigefügten Zeichnungen, in denen:
- die 1 eine schematische Darstellung einer Turbomolekularvakuumpumpe gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel zeigt;
- die 2 eine Ansicht der Turbomolekularvakuumpumpe der 1 im Axialschnitt zeigt;
- die 3 eine Teilansicht eines Holweck-Stators der Turbomolekularvakuumpumpe der 2 zeigt;
- die 4 eine ähnliche Ansicht wie die 2 für ein zweites Ausführungsbeispiel zeigt.
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In diesen Abbildungen tragen identische Elemente die gleichen Bezugszeichen und Namen.
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Die folgenden Ausführungsformen sind Beispiele. Obgleich die Beschreibung auf eine oder mehrere Ausführungsformen Bezug nimmt, bedeutet dies nicht unbedingt, dass sich jede Bezugnahme auf dieselbe Ausführungsform bezieht oder dass die Merkmale ausschließlich für eine einzige Ausführungsform gelten. Einzelne Merkmale verschiedener Ausführungsformen können gleichermaßen auch kombiniert oder gegeneinander ausgetauscht werden, um weitere Ausführungsformen zu bilden.
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Unter „stromaufwärts“ ist ein Element zu verstehen, das bezogen auf die Umlaufrichtung des Gases vor einem anderen angeordnet ist. Im Gegensatz dazu ist mit „stromabwärts“ ein Element gemeint, das bezogen auf die Umlaufrichtung des zu pumpenden Gases hinter einem anderen liegt, wobei das stromaufwärts gelegene Element einen niedrigeren Druck aufweist als das stromabwärts gelegene Element.
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In den 1 und 2 ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer Turbomolekularvakuumpumpe 1 dargestellt.
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Die Turbomolekularvakuumpumpe 1 weist einen Stator 2 auf, in dem ein Rotor 3 dazu eingerichtet ist, mit hoher Drehzahl, beispielsweise mit über zwanzigtausend Umdrehungen pro Minute, in axiale Rotation versetzt zu werden.
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Die Turbomolekularvakuumpumpe 1 weist eine Turbomolekularstufe 4 und eine Molekularstufe 5 auf, die sich - in Umlaufrichtung der gepumpten Gase, die von einer Saugseite 6 der Turbomolekularvakuumpumpe 1 kommen (in der 2 durch die Pfeile F1 angedeutet) - stromabwärts der Turbomolekularstufe 4 befindet. Die gepumpten Gase treten über die Saugseite 6 ein, durchströmen zunächst die Turbomolekularstufe 4 und dann die Molekularstufe 5, um dann zu einer Förderseite 8 der Turbomolekularvakuumpumpe 1 geleitet zu werden. Die Förderseite 8 ist mit einer Primärpumpe verbunden.
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Ein ringförmiger Einlassflansch 7 umschließt beispielsweise die Saugseite 6, um die Vakuumpumpe 1 mit einer Kammer zu verbinden, deren Druck abgesenkt werden soll.
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In der Turbomolekularstufe 4 weist der Rotor 3 mindestens zwei Laufschaufelstufen 9 auf und der Stator 2 weist mindestens eine Leitschaufelstufe 10 auf. In der Turbomolekularstufe 4 folgen die Laufschaufelstufen 9 und die Leitschaufelstufen 10 axial entlang der Drehachse I-I des Rotors 3 aufeinander. Der Rotor 3 weist beispielsweise mehr als vier Stufen von Laufschaufeln 9, wie beispielsweise zwischen vier und acht Stufen von Laufschaufeln 9 (sechs in dem in der 2 dargestellten Beispiel) auf.
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Jede Laufschaufelstufe 9 des Rotors 3 weist geneigte Laufschaufeln auf, die in einer im Wesentlichen radialen Richtung von einer Nabe 11 des Rotors 3, die an einer Welle 12 der Turbomolekularvakuumpumpe 1 befestigt ist, ausgehen. Die Schaufeln sind gleichmäßig am Umfang der Nabe 11 verteilt.
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Jede Stufe von Leitschaufeln 10 des Stators 2 weist einen Ring auf, von dem in einer im Wesentlichen radialen Richtung geneigte Schaufeln ausgehen, die gleichmäßig um den Innenumfang des Rings verteilt sind. Die Leitschaufeln einer Stufe von Leitschaufeln 10 des Stators 2 greifen zwischen die Laufschaufeln von zwei aufeinanderfolgenden Laufschaufelstufen 9 des Rotors 3. Die Laufschaufeln des Rotors 3 und die Leitschaufeln des Stators 2 sind geneigt, um die gepumpten Gasmoleküle zur Molekularstufe 5 zu führen.
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In der Molekularstufe 5 weist der Rotor 3 eine aus einem glatten Zylinder gebildete Holweckhülse 13 auf, die sich gegenüber Spiralnuten 14 eines Holweckstators 15 des Stators 2 dreht (3). Die Spiralnuten 14 des Stators 2 ermöglichen, dass die gepumpten Gase komprimiert und zur Druckseite 8 ( 2) geführt werden.
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Der Rotor 3 kann einstückig („Monoblock“) oder als Baugruppe aus mehreren Teilen gefertigt sein. Er ist beispielsweise aus Aluminium gefertigt. Er ist an der Welle 12 befestigt, die in dem Stator 2 durch einen internen Motor 16 der Turbomolekularvakuumpumpe 1 in Drehung versetzt wird. Der Motor 16 ist beispielsweise unter einer Gehäuseglocke 17 des Stators 2 angeordnet, die ihrerseits unter der Holweckhülse 13 des Rotors 3 angeordnet ist. Der Rotor 3 wird seitlich und axial durch magnetische oder mechanische Lager 18 geführt. Die Vakuumpumpe 1 kann auch Stützwälzlager 19 aufweisen.
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Der Stator 2 ist beispielsweise aus Aluminium gefertigt und wird durch Zusammenbau mehrerer Teile hergestellt.
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Die Turbomolekularvakuumpumpe 1 kann auch Mittel zur Steuerung der Temperatur des Stators 2 aufweisen, um den Stator 2 auf eine Solltemperatur, insbesondere auf unterhalb von 120°C, beispielsweise auf etwa 90°C, zu erwärmen.
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Die Turbomolekularvakuumpumpe 1 weist ferner eine Spülgas-Einleitungsvorrichtung 21 auf, die mindestens einen in dem Stator 2 ausgebildeten und zwischen dem Rotor 3 und dem Stator 2 nach außen mündenden Kanal 20 aufweist, um stromabwärts von mindestens einer Laufschaufelstufe 9 (2 und 3) ein Spülgas in den Strömungsweg, dem die von der Saugseite 6 kommenden gepumpten Gase folgen, einzuleiten.
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Dadurch können die Partialdrücke der kondensierbaren Gase so abgesenkt werden, dass sie unterhalb der Kondensationswerte bleiben. Hierdurch wird es möglich, die Risiken von Ablagerungen in der Turbomolekularvakuumpumpe 1 zu begrenzen und die Zeit zwischen zwei Wartungsvorgängen zu verlängern.
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Das Einleiten eines Spülgases stromabwärts von wenigstens einer Laufschaufelstufe 9 ermöglicht es außerdem einen Rückfluss von Spülgas in die zu evakuierende Kammer zu vermeiden.
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Ein weiterer wesentlicher Vorteil besteht darin, dass das Absenken des Partialdrucks der Gase, die zu Ablagerungen in der Turbomolekularvakuumpumpe führen können, es ermöglicht, den bei derselben Solltemperatur, auf die der Stator 2 erwärmt wird, zu pumpenden Gasstrom zu erhöhen. Es ist daher möglich, den Durchfluss von gepumpten Gasen ohne ein zusätzliches Risiko von Ablagerungen infolge der Absenkung der Partialdrücke und ohne mechanisches Risiko für den Rotor 3 zu erhöhen.
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Das Spülgas ist beispielsweise Luft oder Stickstoff. Die Durchflussrate des eingeleiteten Spülgases ist beispielsweise größer oder gleich 0,1689 Pa.m3/s (oder 100 sccm).
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Die Spülgas-Einleitungsvorrichtung 21 ist so eingerichtet, dass die Durchflussrate des eingeleiteten Spülgases unterhalb einer Schwelle liegt, die so bestimmt ist, dass im Betrieb die Differenz zwischen dem Druck auf der Saugseite 6 der Turbomolekularvakuumpumpe 1 ohne die Einleitung von Spülgas und mit der Einleitung eines Spülgases weniger als 0,066 Pa (nämlich etwa 0,5 mTorr) beträgt. Das Einleiten von Spülgas in den Strömungsweg, dem die gepumpten Gase folgen, führt somit zu keiner oder nur zu einer sehr geringen Änderung der Pumpleistung auf der Saugseite 6 der Turbomolekularvakuumpumpe 1.
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Für das Pumpen von Gasen mit mittlerem Gewicht, wie beispielsweise Stickstoff, beträgt der für die Durchflussrate des eingeleiteten Spülgases bestimmte Schwellenwert beispielsweise 0,76 Pa.m3/s (nämlich etwa 450 sccm).
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Für das Pumpen schwererer Gase, wie beispielsweise Argon, beträgt der für die Durchflussrate des eingeleiteten Spülgases bestimmte Schwellenwert beispielsweise 1,3512 Pa.m3/s (nämlich etwa 800 sccm).
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Für das Pumpen leichterer Gase, wie beispielsweise Helium, beträgt der für die Durchflussrate des eingeleiteten Spülgases bestimmte Schwellenwert beispielsweise 0.06756 Pa.m3/s (nämlich etwa 40 sccm).
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Die für die Durchflussrate des eingeleiteten Spülgases bestimmten Schwellenwerte ermöglichen es somit, die Pumpleistung auf der Saugseite 6 der Turbomolekularvakuumpumpe 1 nicht zu verändern.
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Es können mehrere in dem Stator 2 ausgebildete Kanäle 20 vorgesehen sein, die über eine oder mehrere Bohrungen, beispielsweise Kreisbohrungen, um den Rotor 3 herum münden.
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Die Spülgas-Einleitungsvorrichtung 21 kann ferner mindestens einen Verbinder 25 aufweisen, der am Einlass des mindestens einen Kanals 20 und an der Außenseite des Stators 2 angeordnet ist, um den mindestens einen Kanal 20 mit einer externen Spülgasquelle zu verbinden. Die Spülgas-Einleitungsvorrichtung 21 kann auch eine Düse (oder eine kalibrierte Blende) oder einen Durchflussregler aufweisen, um die Durchflussrate des Spülgases zu regulieren.
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Gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel, das in den 1 bis 3 dargestellt ist, mündet der Kanal 20 an der Molekularstufe 5.
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Beispielsweise ist vorgesehen, dass der Kanal in einen oberen Teil des Holweck-Stators 15, am Einlass der Molekularstufe 5 mündet (3). Beispielsweise mündet die Achse des Kanals 20 aus dem Holweck-Stator 15 in einem Abstand d von der Turbomolekularstufe 4, der kleiner ist als ein Viertel der Höhe des Holweck-Stators 15 (2).
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Auf diese Weise kann die Molekularstufe 5 fast vollständig gespült werden.
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Die Turbomolekularvakuumpumpe 1 kann ferner eine zusätzliche Spülgas-Einleitungsvorrichtung 22 aufweisen, die dazu eingerichtet ist, ein zusätzliches Spülgas in die unterhalb der Holweck-Hülse 13 befindlichen Lager 18 der Turbomolekularvakuumpumpe 1 einzuleiten.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die zusätzliche Spülgas-Einleitungsvorrichtung 22 einen oder mehrere Einlässe 23 auf, die dazu eingerichtet sind, ein zusätzliches Spülgas in einen Hohlraum 24 einzulassen, der ein Ende einer Welle 12, die zum Antreiben der Drehung des Rotors 3 eingerichtet ist, aufnimmt. Das Spülgas strömt entlang der Welle 12, tritt gegebenenfalls durch die Stützwälzlager 19, die Lager 18, den Motor 16 und tritt aus der Gehäuseglocke 17 des Stators 2 aus, um unter der Holweckhülse 13 zwischen dem Gehäuseglocke 17 und der Holweckhülse 13 bis zur Förderseite 8 (Pfeile F2 in der 2) zu zirkulieren.
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Die zusätzliche Spülgas-Einleitungsvorrichtung 22 ermöglicht die Kühlung des Motors 16 und die Bespülung der Drehelemente der Turbomolekularvakuumpumpe 1, insbesondere der Lager 18, der elektrischen Verbinder, der Schweißverbindungen und der Stützwälzlager 19 mit Gas. Durch das Bespülen dieser Elemente mit dem zusätzlichen Spülgas können diese vor den potentiell aggressiven Gasen, die gepumpt werden, geschützt werden.
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Die zusätzliche Spülgas-Durchflussrate ist gering. Die ist beispielsweise geringer als die Spülgas-Durchflussrate der Spülgas-Einleitungsvorrichtung, beispielsweise kleiner oder gleich 0,08448 Pa.m3/s (oder 50 sccm). Die zusätzliche Spülgas-Einleitungsvorrichtung 22 kann ferner eine Düse oder einen Durchflussratenregler aufweisen, um den Spülgasdurchfluss zu regulieren.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die Turbomolekularvakuumpumpe 1 eine gemeinsame Rohrleitung für den Einlass 23 der zusätzlichen Spülgas-Einleitungsvorrichtung 22 und den Kanal 20 der Spülgas-Einleitungsvorrichtung 21 auf, um an der Turbomolekularvakuumpumpe 1 die Anzahl der Verbindungen zur Spülgasquelle zu begrenzen. Eine oder mehrere Düsen und/oder ein oder mehrere Ventile, die an dem Einlass 23 und/oder dem Kanal 20 angeordnet sind, können es ermöglichen, die Spülflussrate von der zusätzlichen Spülflussrate zu unterscheiden.
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Im Betrieb können die Spülgase kontinuierlich in den Strömungsweg der gepumpten Gase und an den Lagern 18 eingeleitet werden.
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Sie können auch voneinander unabhängig eingeleitet werden. Insbesondere kann die Spülgas-Einleitungsvorrichtung 21 ein Ventil zum Stoppen/Zulassen der Einleitung eines Spülgases aufweisen. So ist es beispielsweise möglich, die Einleitung von Spülgas in den Strömungsweg der gepumpten Gase zu unterbrechen, wenn die gepumpten Gase kein Risiko für die Turbomolekularvakuumpumpe 1 darstellen, während gleichzeitig eine Einleitung von Spülgas durch die zusätzliche Spülgas-Einleitungsvorrichtung 22 in die Lager 18 ermöglicht wird, um diese zu schützen.
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Die 4 veranschaulicht ein zweites Ausführungsbeispiel.
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In diesem Beispiel mündet der Kanal 20 an der Turbomolekularstufe 4 stromabwärts von mindestens einer Laufschaufelstufe 9.
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Wenn der Rotor 3 mehr als vier Laufschaufelstufen 9 aufweist, mündet der Kanal 20 beispielsweise auf eine der drei letzten Laufschaufelstufen 9 in Umlaufrichtung der gepumpten Gase F1. Beispielsweise - und wie in der 4 dargestellt - mündet der Kanal 20 in der Turbomolekularstufe 4 gegenüber der fünften Schaufelstufe 9 des Rotors 3 auf den Stator 2, nämlich im Bereich der vorletzten Laufschaufelstufe 9 der sechs Laufschaufelstufen 9.
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Hierdurch werden dann auch mögliche Ablagerungen in den letzten Verdichtungsstufen der Turbomolekularstufe 4 vermieden.
