DE112019005006T5

DE112019005006T5 - Fabry-Perot-Interferenzfilter

Info

Publication number: DE112019005006T5
Application number: DE112019005006.0T
Authority: DE
Inventors: Takashi Kasahara; Katsumi Shibayama; Masaki Hirose; Hiroki Oyama; Yumi KURAMOTO
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2018-10-03
Filing date: 2019-09-24
Publication date: 2021-06-24
Also published as: TW202026604A; FI20215359A1; CN112789541A; JP7374114B2; JPWO2020071181A1; WO2020071181A1; US20220050238A1; FI130816B1

Abstract

Ein Fabry-Perot-Interferenzfilter hat: ein Substrat mit einer ersten Oberfläche; einen ersten laminierten Körper mit einem ersten Spiegelabschnitt, der auf der ersten Oberfläche angeordnet ist; einen zweiten laminierten Körper mit einem zweiten Spiegelabschnitt, welcher an einer dem Substrat bezüglich des ersten Spiegelabschnitts entgegengesetzt Seite dem ersten Spiegelabschnitt mit einen dazwischen angeordneten Spalt gegenüberliegt; eine Zwischenschicht mit einem Definierungsabschnitt, welcher den Spalt zwischen dem ersten laminierten Körper und dem zweiten laminierten Körper definiert; eine erste Elektrode, welche in einer ersten Schicht gebildet ist, die den ersten laminierten Körper bildet; und eine zweite Elektrode, welche in einer den zweiten laminierten Körper bildenden zweiten Schicht gebildet ist und der ersten Elektrode gegenüberliegt. Die Zwischenschicht hat ferner einen Deckabschnitt, welcher äußere Ränder einer Vielzahl von Schichten inklusive der ersten Schicht unter Schichten, welche den ersten laminierten Körper bilden, bedeckt; und einen Erstreckungsabschnitt, welcher sich von dem Deckabschnitt entlang einer Richtung parallel zu der ersten Oberfläche nach außen erstreckt. Der zweite laminierte Körper erstreckt sich, um eine gestufte Oberfläche, die zwischen dem Definierungsabschnitt und der Erstreckungsabschnitt durch den Deckabschnitt gebildet ist, und eine äußere Endfläche des Erstreckungsabschnitts zu bedecken.

Description

Technisches Gebiet
Ein Aspekt der vorliegenden Offenbarung betrifft einen Fabry-Perot-Interferenzfilter.
Stand der Technik
Ein bekannter Fabry-Perot-Interferenzfilter hat ein Substrat, einen auf dem Substrat angeordneten ersten laminierten Körper mit einem ersten Spiegelabschnitt, einen zweiten laminierten Körper mit einem zweiten Spiegelabschnitt, welcher dem ersten Spiegelabschnitt mit einem dazwischen angeordneten Spalt gegenüberliegt, und eine Zwischenschicht, welche einen Spalt zwischen dem ersten laminierten Körper und dem zweiten laminierten Körper definiert (siehe zum Beispiel Patentliteratur 1). In dem in Patentliteratur 1 beschriebenen Fabry-Perot-Interferenzfilter passen die äußeren Ränder des ersten laminierten Körpers, des zweiten laminierten Körpers und der Zwischenschicht in der Stapelrichtung betrachtet zueinander.
Liste der Entgegenhaltungen
Patentliteratur
Patentliteratur 1: Ungeprüfte japanische Patentveröffentlichung Nr. 2013-257561
Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
In dem vorstehend beschriebenen Fabry-Perot-Interferenzfilter ist es denkbar, den zweiten laminierten Körper derart nach außen zu verlängern, dass die äußeren Ränder des ersten laminierten Körpers und die Zwischenschicht durch den zweiten laminierten Körper bedeckt sind, um zum Beispiel das Abschälen des ersten laminierten Körpers und der Zwischenschicht zu unterdrücken. Da der erste laminierte Körper und der zweite laminierte Körper einander an der Deckposition kontaktieren, kann in diesem Fall jedoch eine Stromleckage zwischen einer in dem ersten laminierten Körper gebildeten Antriebselektrode und einer in dem zweiten laminierten Körper gebildeten Antriebselektrode auftreten. Zudem soll der vorstehend beschriebene Fabry-Perot-Interferenzfilter eine verbesserte Fertigungsstabilität aufweisen.
Ein Aspekt der vorliegenden Offenbarung besteht darin, einen Fabry-Perot-Interferenzfilter bereitzustellen, welcher eine Strom leckage unterdrücken kann und eine Fertigungsstabilität verbessern kann, während das Abschälen jeder Schicht auf einem Substrat unterdrückt wird.
Lösung des Problems
Ein Fabry-Perot-Interferenzfilter nach einem Aspekt der vorliegenden Offenbarung hat: ein Substrat mit einer ersten Oberfläche; einen ersten laminierten Körper mit einem auf der ersten Oberfläche angeordneten ersten Spiegelabschnitt; einen zweiten laminierten Körper mit einem zweiten Spiegelabschnitt, welcher dem ersten Spiegelabschnitt an einer dem Substrat bezüglich des ersten Spiegelabschnitts entgegengesetzten Seite mit einen dazwischen angeordneten Spalt gegenüberliegt; eine Zwischenschicht mit einem Definierungsabschnitt, welcher den Spalt zwischen dem ersten laminierten Körper und dem zweiten laminierten Körper definiert; eine erste Elektrode, welche in einer den ersten laminierten Körper ausbildenden ersten Schicht gebildet ist; und eine zweite Elektrode, welche in einer den zweiten laminierten Körper ausbildenden zweiten Schicht gebildet ist und der ersten Elektrode gegenüberliegt. Die Zwischenschicht hat ferner: einen Deckabschnitt, welcher äußere Ränder einer Vielzahl von Schichten inklusive der ersten Schicht unter Schichten, die den ersten laminierten Körper ausbilden, bedeckt; und einen Erstreckungsabschnitt, welcher sich von dem Deckabschnitt entlang einer Richtung parallel zu der ersten Oberfläche nach außen erstreckt. Der zweite laminierte Körper erstreckt sich, um eine gestufte Oberfläche, die durch den Deckabschnitt zwischen dem Definierungsabschnitt und dem Erstreckungsabschnitt gebildet ist, und eine äußere Endfläche des Erstreckungsabschnitts zu bedecken.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter ist die äußere Endfläche der Zwischenschicht (genauer ausgedrückt, die äußere Endfläche des Erstreckungsabschnitts) durch den zweiten laminierten Körper bedeckt. Somit kann ein Abschälen der Zwischenschicht unterdrückt werden. Zudem sind die äußeren Ränder einer Vielzahl von Schichten inklusive der ersten Schicht, in welcher die erste Elektrode gebildet ist, unter den Schichten, welche den ersten laminierten Körper ausbilden, durch den Deckabschnitt der Zwischenschicht bedeckt. Da eine elektrische Isolierung zwischen der ersten Schicht in dem ersten laminierten Körper und der zweiten Schicht, in welcher die zweite Elektrode gebildet ist, in dem zweiten laminierten Körper verbessert werden kann, ist es somit möglich, eine Stromleckage zu unterdrücken, welche durch die erste Schicht und die zweite Schicht zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode auftritt. Insbesondere, da nicht nur die erste Schicht, sondern auch die äußeren Ränder der Vielzahl von Schichten inklusive der ersten Schicht durch den Deckabschnitt bedeckt sind, kann eine Stromleckage zuverlässiger unterdrückt werden. Zudem hat die Zwischenschicht einen Erstreckungsabschnitt, welcher sich von dem Deckabschnitt entlang der Richtung parallel zu der ersten Oberfläche des Substrats nach außen erstreckt, und erstreckt sich der zweite laminierte Körper, um die gestufte Oberfläche, welche durch den Deckabschnitt zwischen dem Definierungsabschnitt und dem Erstreckungsabschnitt gebildet ist, und die äußere Endfläche des Erstreckungsabschnitts zu bedecken. Somit kann die Stufe, welche in dem zweiten laminierten Körper gebildet ist, sanfter ausgebildet sein, als in einem Fall, in welchem die Zwischenschicht den Erstreckungsabschnitt nicht aufweist. Dadurch, dass die in dem zweiten laminierten Körper gebildete Stufe sanft ausgebildet ist, ist es zum Beispiel möglich, das Auftreten von Applikationsunebenheiten beim Applizieren des Resists zum Ätzen zu unterdrücken. Infolgedessen ist es möglich, die Fertigungsstabilität zu verbessern. Somit ist es gemäß dem Fabry-Perot-Interferenzfilter möglich, eine Stromleckage zu unterdrücken und die Fertigungsstabilität zu verbessern, während das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat unterdrückt wird.
Der Fabry-Perot-Interferenzfilter nach einem Aspekt der vorliegenden Offenbarung kann ferner Folgendes aufweisen: eine dritte Elektrode, welche in dem ersten laminierten Körper gebildet ist und der zweiten Elektrode gegenüberliegt; und einen Verdrahtungsabschnitt, welcher in einer den ersten laminierten Körper ausbildenden dritten Schicht gebildet ist und elektrisch an die zweite Elektrode und die dritte Elektrode angeschlossen ist, und der Deckabschnitt kann ferner einen äußeren Rand der dritten Schicht bedecken. Da die dritte Elektrode das gleiche Potential wie die zweite Elektrode hat, können in diesem Fall der erste Spiegelabschnitt und der zweite Spiegelabschnitt während des Antreibens flach gehalten werden. Da der äußere Rand der dritten Schicht durch den Deckabschnitt bedeckt ist, kann zudem eine Strom leckage noch zuverlässiger unterdrückt werden.
Der Deckabschnitt kann äußere Ränder aller Schichten bedecken, welche den ersten laminierten Körper ausbilden. In diesem Fall kann eine Stromleckage noch zuverlässiger unterdrückt werden. Da die äußeren Ränder all der Schichten, welche den ersten laminierten Körper ausbilden, durch die Zwischenschicht bedeckt sind und die äußeren Ränder der Zwischenschicht durch den zweiten laminierten Körper bedeckt sind, kann zudem das Abschälen des ersten laminierten Körpers angemessen unterdrückt werden.
Eine Breite des Erstreckungsabschnitts kann größer als eine Dicke des Definierungsabschnitts sein. In diesem Fall kann eine große Breite des Erstreckungsabschnitts sichergestellt werden. Infolgedessen ist es möglich, das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat angemessen zu unterdrücken und eine in dem zweiten laminierten Körper gebildete Stufe angemessen sanft auszubilden.
Die gestufte Oberfläche kann sich erstrecken, um bezüglich der ersten Oberfläche geneigt zu sein, und eine Breite des Erstreckungsabschnitts kann größer als eine Breite der gestuften Oberfläche sein. In diesem Fall ist es möglich, den Abstand zwischen einem Abschnitt des zweiten laminierten Körpers, welcher die gestufte Oberfläche bedeckt, und einem Abschnitt, welcher die äußere Endfläche des Erstreckungsabschnitts bedeckt, zu erhöhen. Infolgedessen kann die Stufe, welche in dem zweiten laminierten Körper gebildet ist, angemessener sanft ausgebildet sein und kann die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden. Zudem kann sichergestellt werden, dass die Breite des Erstreckungsabschnitts größer ist, und kann infolgedessen das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat angemessener unterdrückt werden.
Die gestufte Oberfläche kann eine gekrümmte Oberfläche sein. Da die Oberfläche des Abschnitts des zweiten laminierten Körpers, welcher die gestufte Oberfläche bedeckt, glatter wird, kann in diesem Fall die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden.
Die gestufte Oberfläche kann in einer konvexen Form gekrümmt sein. Da die Oberfläche des Abschnitts des zweiten laminierten Körpers, welcher die gestufte Oberfläche bedeckt, noch glatter wird, kann in diesem Fall die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden.
Eine äußere Endfläche des ersten laminierten Körpers kann in einer konvexen Form gekrümmt sein. Da die Oberfläche des Abschnitts des zweiten laminierten Körpers, welcher die gestufte Oberfläche bedeckt, noch glatter wird, kann in diesem Fall die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden.
Unter Schichten, welche den zweiten laminierten Körper ausbilden, kann die zweite Schicht eine Schicht in Kontakt mit der Zwischenschicht sein. Wenn die zweite Schicht eine Schicht in Kontakt mit der Zwischenschicht ist, ist der Abstand zwischen der ersten Schicht und der zweiten Schicht kurz. Gemäß dem Fabry-Perot-Interferenzfilter der vorliegenden Erfindung ist es selbst in solch einem Fall möglich, das Auftreten einer Stromleckage angemessen zu unterdrücken.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Nach einem Aspekt der vorliegenden Offenbarung ist es möglich, einen Fabry-Perot-Interferenzfilter bereitzustellen, der eine Stromleckage unterdrücken kann und eine Fertigungsstabilität verbessern kann, während das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat unterdrückt wird.
Figurenliste

1 ist eine Draufsicht eines Fabry-Perot-Interferenzfilters.
2 ist eine Unteransicht eines Fabry-Perot-Interferenzfilters.
3 ist eine entlang der Linie III-III der 1 geschnittene Querschnittsansicht.
4 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht, welche einen Teil des Fabry-Perot-Interferenzfilters veranschaulicht.
5 ist eine Querschnittsansicht eines Fabry-Perot-Interferenzfilters eines ersten Modifikationsbeispiels.
6 ist eine Querschnittsansicht eines Fabry-Perot-Interferenzfilters eines zweiten Modifikationsbeispiels.

Beschreibung der Ausführungsformen
Nachfolgend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung detailliert mit Verweis auf die Schaubilder beschrieben. Zudem werden in der nachfolgenden Beschreibung die gleichen oder äquivalenten Elemente mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet und wird eine Wiederholung der Beschreibung derselben ausgelassen.
[Konfiguration eines Fabry-Perot-Interferenzfilters]
Wie in 1 bis 3 dargestellt, weist ein Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 ein Substrat 11 auf. Das Substrat 11 hat eine erste Oberfläche 11a und an einer zu der ersten Oberfläche 11 a entgegengesetzten Seite eine zweite Oberfläche 11 b. Eine Antireflexschicht 21, ein erster laminierter Körper 22, eine Zwischenschicht 23 und ein zweiter laminierter Körper 24 sind in dieser Reihenfolge auf die erste Oberfläche 11a laminiert. Zwischen dem ersten laminierten Körper 22 und dem zweiten laminierten Körper 24 ist durch die rahmenförmige Zwischenschicht 23 ein Spalt (in anderen Worten ausgedrückt, ein Luftspalt) S definiert.
Die Form- und Positionsbeziehungen jedes Abschnitts, betrachtet aus einer Richtung, welche senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a ist, (in anderen Worten ausgedrückt, in einer Draufsicht) sind wie folgt. Der äußere Rand des Substrats 11 hat zum Beispiel eine rechteckige Form, welche eine Seitenlänge von etwa mehreren Hundert □m bis mehreren Zehn mm hat. Die äußeren Ränder des Substrats 11 und des zweiten laminierten Körpers 24 passen zueinander. Die äußeren Ränder der Antireflexschicht 21 und des ersten laminierten Körpers 22 passen zueinander. Der äußere Rand der Zwischenschicht 23 befindet sich weiter außen (in anderen Worten ausgedrückt, an einer zu der Mitte des Spalts S entgegengesetzten Seite) als die äußeren Ränder der Antireflexschicht 21 und des ersten laminierten Körpers 22 und weiter innen (in anderen Worten ausgedrückt, an der Mittenseite des Spalts S) als die äußeren Ränder des Substrats 11 und des zweiten laminierten Körpers 24. Das heißt, das Substrat 11 hat einen äußeren Randabschnitt 11c, welcher weiter außen als der äußere Rand der Zwischenschicht 23 angeordnet ist. Der äußere Randabschnitt 11c hat zum Beispiel eine Rahmenform und umgibt, betrachtet aus einer Richtung, welche senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a ist, die Zwischenschicht 23. Der Spalt S hat zum Beispiel eine kreisartige Form. Der äußere Rand der Antireflexschicht 21 kann weiter außen als der äußere Rand der Zwischenschicht 23 angeordnet sein oder der äußere Rand der Antireflexschicht 21 und der äußere Rand der Zwischenschicht 23 können zueinander passen. Die Antireflexschicht 21 und die Zwischenschicht 23 können integral ausgebildet sein.
Der Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 erlaubt es, dass Licht mit einer vorbestimmten Wellenlänge durch einen lichtdurchlässigen Bereich 1a durchgelassen wird, welcher in dessen Mittenabschnitt definiert ist. Der lichtdurchlässige Bereich 1a ist zum Beispiel ein säulenförmiger Bereich. Das Substrat 11 ist zum Beispiel aus Silizium, Quarz oder Glas gebildet. Wenn das Substrat 11 aus Silizium gebildet ist, sind die Antireflexschicht 21 und die Zwischenschicht 23 zum Beispiel aus Siliziumoxid gebildet. Die Zwischenschicht 23 hat eine Isoliereigenschaft. Die Dicke der Zwischenschicht 23 beträgt zum Beispiel mehrere Zehn nm bis mehrere Zehn □m.
Ein Abschnitt des ersten laminierten Körpers 22, welcher dem lichtdurchlässigen Bereich 1a entspricht (zum Beispiel ein Abschnitt, welcher den Spalt S in einer Draufsicht überlappt), fungiert als ein erster Spiegelabschnitt 31. Der erste Spiegelabschnitt 31 ist ein fester Spiegel. Der erste Spiegelabschnitt 31 ist auf der ersten Oberfläche 11a angeordnet, wobei dazwischen die Antireflexschicht 21 angeordnet ist. Der erste laminierte Körper 22 ist zum Beispiel durch abwechselndes Laminieren einer Vielzahl von Polysilizium-Schichten 25 und einer Vielzahl von Siliziumnitrid-Schichten 26, eine nach der anderen, gebildet. In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 sind eine Polysilizium-Schicht 25a, eine Siliziumnitrid-Schicht 26a, eine Polysilizium-Schicht 25b, eine Siliziumnitrid-Schicht 26b und eine Polysilizium-Schicht 25c in dieser Reihenfolge auf die Antireflexschicht 21 laminiert. Die optische Dicke von jeder der Polysilizium-Schichten 25 und der Siliziumnitrid-Schichten 26, welche den ersten Spiegelabschnitt 31 ausbilden, ist vorzugsweise eine integrale Mehrfache von 1/4 der mittleren Transmissionswellenlänge. Der erste Spiegelabschnitt 31 kann ohne die dazwischen angeordnete Antireflexschicht 21 direkt auf der ersten Oberfläche 11a angeordnet sein.
Ein Abschnitt des zweiten laminierten Körpers 24, welcher dem lichtdurchlässigen Bereich 1a entspricht (zum Beispiel ein Abschnitt, welcher den Spalt S in einer Draufsicht überlappt), fungiert als ein zweiter Spiegelabschnitt 32. Der zweite Spiegelabschnitt 32 ist ein beweglicher Spiegel. Der zweite Spiegelabschnitt 32 liegt dem ersten Spiegelabschnitt 31 an einer dem Substrat 11 bezüglich des ersten Spiegelabschnitts 31 entgegengesetzten Seite gegenüber, wobei dazwischen der Spalt S angeordnet ist. Die Richtung, in welcher der erste Spiegelabschnitt 31 und der zweite Spiegelabschnitt 32 einander gegenüberliegen, ist parallel zu der Richtung, welche senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a ist. Der zweite laminierte Körper 24 ist auf der ersten Oberfläche 11a angeordnet, wobei dazwischen die Antireflexschicht 21, der erste laminierte Körper 22 und die Zwischenschicht 23 angeordnet sind. Der zweite laminierte Körper 24 ist zum Beispiel durch abwechselndes Laminieren einer Vielzahl von Polysilizium-Schichten 27 und einer Vielzahl von Siliziumnitrid-Schichten 28, eine nach der anderen, gebildet. In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 sind eine Polysilizium-Schicht 27a, eine Siliziumnitrid-Schicht 28a, eine Polysilizium-Schicht 27b, eine Siliziumnitrid-Schicht 28b und eine Polysilizium-Schicht 27c in dieser Reihenfolge auf die Zwischenschicht 23 laminiert. Die optische Dicke von jeder der Polysilizium-Schichten 27 und der Siliziumnitrid-Schichten 28, welche den zweiten Spiegelabschnitt 32 ausbilden, ist vorzugsweise eine integrale Mehrfache von 1/4 der mittleren Transmissionswellenlänge.
In dem ersten laminierten Körper 22 und dem zweiten laminierten Körper 24 kann anstelle der Siliziumnitrid-Schicht eine Siliziumoxid-Schicht verwendet werden. Als Materialien jeder Schicht, welche den ersten laminierten Körper 22 und den zweiten laminierten Körper 24 ausbilden, können Titanoxid, Tantaloxid, Zirkonoxid, Magnesiumfluorid, Aluminiumoxid, Kalziumfluorid, Silizium, Germanium, Zinksulfid und dergleichen verwendet werden.
Eine Vielzahl von Durchgangslöchern (nicht dargestellt) sind in einem Abschnitt des zweiten laminierten Körpers 24 gebildet, welcher dem Spalt S entspricht (zum Beispiel einem Abschnitt, welcher den Spalt S in einer Draufsicht überlappt). Die Durchgangslöcher erstrecken sich von einer Oberfläche 24a des zweiten laminierten Körpers 24, welche der Zwischenschicht 23 nicht gegenüberliegt, zu dem Spalt S. Die Durchgangslöcher sind derart dimensioniert, dass die Durchgangslöcher die Funktion des zweiten Spiegelabschnitts 32 nicht wesentlich beeinflussen. Die Durchgangslöcher werden zum Beispiel verwendet, um den Spalt S zu bilden, indem ein Teil der Zwischenschicht 23 durch Ätzen entfernt wird.
Wie in 3 dargestellt, sind in dem ersten Spiegelabschnitt 31 eine Antriebselektrode (erste Elektrode) 12 und eine Kompensationselektrode (dritte Elektrode) 13 bereitgestellt. Die Antriebselektrode 12 hat zum Beispiel eine ringartige Form und umgibt in einer Draufsicht den lichtdurchlässigen Bereich 1a. Zum Beispiel ist die Antriebselektrode 12 in der Polysilizium-Schicht 25c (erste Schicht) gebildet, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbildet. Die Polysilizium-Schicht 25c ist unter den Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden, eine Schicht, die in Kontakt mit der Zwischenschicht 23 ist, in anderen Worten ausgedrückt, eine Schicht, welche an der am weitesten von dem Substrat 11 entfernten Seite angeordnet ist. Die Antriebselektrode 12 ist zum Beispiel durch ein Dotieren der Polysilizium-Schicht 25c mit Fremdstoffen gebildet, um den Widerstand zu reduzieren.
Die Kompensationselektrode 13 hat zum Beispiel eine kreisartige Form und überlappt in einer Draufsicht den lichtdurchlässigen Bereich 1a. Die Größe der Kompensationselektrode 13 kann eine Größe sein, welche den gesamten lichtdurchlässigen Bereich 1a aufweist, kann jedoch annähernd gleich wie die Größe des lichtdurchlässigen Bereichs 1a sein. Die Kompensationselektrode 13 ist in der Polysilizium-Schicht 25c gebildet, in welcher die Antriebselektrode 12 gebildet ist. Die Kompensationselektrode 13 ist zum Beispiel durch Dotieren der Polysilizium-Schicht 25c mit Fremdstoffen gebildet, um den Widerstand zu reduzieren.
Eine Antriebselektrode (zweite Elektrode) 14 ist in dem zweiten Spiegelabschnitt 32 bereitgestellt. Die Antriebselektrode 14 hat zum Beispiel in einer Draufsicht eine kreisartige Form und liegt mit dem dazwischen angeordneten Spalt S der Antriebselektrode 12 und der Kompensationselektrode 13 gegenüber. Zum Beispiel ist die Antriebselektrode 14 in der Polysilizium-Schicht 27a (der zweiten Schicht) gebildet, welche den zweiten laminierten Körper 24 ausbildet. Die Polysilizium-Schicht 27a ist unter den Schichten, welche den zweiten laminierten Körper 24 ausbilden, eine Schicht, die in Kontakt mit der Zwischenschicht 23 ist, in anderen Worten ausgedrückt, eine Schicht, die am nächsten zu dem Substrat 11 angeordnet ist. Die Antriebselektrode 14 ist zum Beispiel durch ein Dotieren der Polysilizium-Schicht 27a mit Fremdstoffen gebildet, um den Widerstand zu reduzieren.
Der Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 weist ferner ein Paar von Anschlüssen 15 und ein Paar von Anschlüssen 16 auf. Die Anschlüsse 15 und 16 sind in einer Draufsicht außerhalb des lichtdurchlässigen Bereichs 1a bereitgestellt. Die Anschlüsse 15 und 16 sind zum Beispiel aus einem Metallfilm wie Aluminium oder einer Legierung daraus gebildet. Die Anschlüsse 15 liegen einander gegenüber, wobei dazwischen der lichtdurchlässige Bereich 1a angeordnet ist, und die Anschlüsse 16 liegen einander gegenüber, wobei dazwischen der lichtdurchlässige Bereich 1a angeordnet ist. Die Richtung, in welcher die Anschlüsse 15 einander gegenüberliegen, ist senkrecht zu der Richtung, in welcher die Anschlüsse 16 einander gegenüberliegen (siehe 1).
Der Anschluss 15 ist in einem Durchgangsloch H1 angeordnet, welches sich von der Oberfläche 24a des zweiten laminierten Körpers 24 zu dem ersten laminierten Körper 22 erstreckt. Der Anschluss 15 ist über einen Verdrahtungsabschnitt 17 elektrisch an die Antriebselektrode 12 angeschlossen. Der Verdrahtungsabschnitt 17 ist in der Polysilizium-Schicht 25c gebildet. Der Verdrahtungsabschnitt 17 ist zum Beispiel durch Dotieren der Polysilizium-Schicht 25c mit Fremdstoffen, um den Widerstand zu reduzieren, gebildet. Der Anschluss 15 hat eine Öffnung 15a, welche an einer dem Substrat 11 entgegengesetzten Seite offen ist. Die Zwischenschicht 23 hat eine innenseitige Oberfläche 23a, welche das Durchgangsloch H1 definiert. Ein Öffnungsrand 15b der Öffnung 15a befindet sich über den gesamten Umfang (in anderen Worten ausgedrückt, an jeder Position an dem Öffnungsrand 15b) in einer Draufsicht weiter innen als die innenseitige Oberfläche 23a.
Der Anschluss 16 ist in einem Durchgangsloch H2 angeordnet, welches sich von der Oberfläche 24a des zweiten laminierten Körpers 24 zum Inneren der Zwischenschicht 23 erstreckt. Der Anschluss 16 ist über einen Verdrahtungsabschnitt 18 elektrisch an die Kompensationselektrode 13 und die Antriebselektrode 14 angeschlossen. Wenn der Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 angetrieben wird, hat somit die Kompensationselektrode 13 das gleiche Potential wie die Antriebselektrode 14. Der Verdrahtungsabschnitt 18 hat zum Beispiel einen in der Polysilizium-Schicht 25b (dritte Schicht) gebildeten Verdrahtungsabschnitt 18a, einen in der Polysilizium-Schicht 25c gebildeten Verdrahtungsabschnitt 18b und einen in der Polysilizium-Schicht 27a gebildeten Verdrahtungsabschnitt 18c. Der Verdrahtungsabschnitt 18a ist elektrisch an die Kompensationselektrode 13 angeschlossen und der Verdrahtungsabschnitt 18c ist elektrisch an die Antriebselektrode 14 angeschlossen. Der Verdrahtungsabschnitt 18b ist in Kontakt mit den Verdrahtungsabschnitten 18a und 18c und die Verdrahtungsabschnitte 18a bis 18c sind elektrisch miteinander verbunden. Jeder der Verdrahtungsabschnitte 18a bis 18c ist zum Beispiel durch Dotieren der Polysilizium-Schicht 25b, 25c, oder 27a mit Fremdstoffen, um den Widerstand zu reduzieren, gebildet. Der Anschluss 16 hat eine Öffnung 16a, die an einer dem Substrat 11 entgegengesetzten Seite offen ist. Die Zwischenschicht 23 hat eine innenseitige Oberfläche 23b, welche das Durchgangsloch H2 definiert. Ein Öffnungsrand 16b der Öffnung 16a befindet sich über den gesamten Umfang (in anderen Worten ausgedrückt, an jeder Position an dem Öffnungsrand 16b) in einer Draufsicht weiter innen als die innenseitige Oberfläche 23b. Der äußere Rand 16c des Anschlusses 16 befindet sich über den gesamten Umfang in einer Draufsicht weiter außen als die innenseitige Oberfläche 23b.
Ein Schlitz T1 und ein Schlitz T2 sind in dem ersten laminierten Körper 22 bereitgestellt. Der Schlitz T1 ist in der Polysilizium-Schicht 25c gebildet und erstreckt sich in einer ringartigen Form, um einen Abschnitt des Verdrahtungsabschnitts 18 zu umgeben, welcher mit dem Anschluss 16 verbunden ist. Der Schlitz T1 isoliert die Antriebselektrode 12 und den Verdrahtungsabschnitt 18 elektrisch voneinander. Der Schlitz T2 ist in der Polysilizium-Schicht 25c gebildet und erstreckt sich in einer ringartigen Form entlang der Grenze zwischen der Antriebselektrode 12 und der Kompensationselektrode 13. Der Schlitz T2 isoliert die Antriebselektrode 12 elektrisch von einem Bereich (das heißt, der Kompensationselektrode 13), welcher weiter innen als die Antriebselektrode 12 angeordnet ist. Die Antriebselektrode 12 und die Kompensationselektrode 13 sind durch die Schlitze T1 und T2 elektrisch voneinander isoliert. Der Bereich in jedem der Schlitze T1 und T2 kann ein Isoliermaterial sein oder kann ein Luftspalt sein.
Ein Schlitz T3 ist in dem zweiten laminierten Körper 24 bereitgestellt. Der Schlitz T3 hat einen ersten Abschnitt T3a und einen zweiten Abschnitt T3b. Der erste Abschnitt T3a ist durchgehend in den Polysilizium-Schichten 27b und 27c und den Siliziumnitrid-Schichten 28a und 28b gebildet und erstreckt sich in einer ringartigen Form, um den Anschluss 15 zu umgeben. Der zweite Abschnitt T3b ist in der Polysilizium-Schicht 27a gebildet und erstreckt sich in einer ringartigen Form, um den Anschluss 15 zu umgeben. Der zweite Abschnitt T3b ist von dem ersten Abschnitt T3a getrennt. Der zweite Abschnitt T3b befindet sich über den gesamten Umfang in einer Draufsicht weiter außen als der erste Abschnitt T3a. Der Schlitz T3 isoliert den Anschluss 15 elektrisch von der Antriebselektrode 14. Der Bereich in dem Schlitz T3 kann ein Isoliermaterial sein oder kann ein Spalt sein.
Eine Antireflexschicht 41, ein dritter laminierter Körper 42, eine Zwischenschicht 43 und ein vierter laminierter Körper 44 sind in dieser Reihenfolge auf die zweite Oberfläche 11b des Substrats 11 laminiert. Die Antireflexschicht 41 und die Zwischenschicht 43 haben die gleichen Konfigurationen wie entsprechend die Antireflexschicht 21 und die Zwischenschicht 23. Der dritte laminierte Körper 42 und der vierte laminierte Körper 44 haben jeweils eine laminierte Struktur, welche bezüglich des ersten laminierten Körpers 22 und des zweiten laminierten Körpers 24 symmetrisch ist, wobei das Substrat 11 als Referenz dient. Die Antireflexschicht 41, der dritte laminierte Körper 42, die Zwischenschicht 43 und der vierte laminierte Körper 44 haben eine Funktion, den Verzug des Substrats 11 zu unterdrücken.
Der dritte laminierte Körper 42, die Zwischenschicht 43 und der vierte laminierte Körper 44 sind entlang des äußeren Rands des äußeren Randabschnitts 11c dünn gefertigt. Das heißt, Abschnitte des dritten laminierten Körpers 42, der Zwischenschicht 43 und des vierten laminierten Körpers 44 entlang des äußeren Rands des äußeren Randabschnitts 11c sind dünner als die anderen Abschnitte des dritten laminierten Körpers 42, der Zwischenschicht 43 und des vierten laminierten Körpers 44 außer den Abschnitten entlang des äußeren Rands. In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 werden der dritte laminierte Körper 42, die Zwischenschicht 43 und der vierte laminierte Körper 44 dünn gefertigt, indem an einem Abschnitt, welcher einen später beschriebenen ausgedünnten Abschnitt 62b in einer Draufsicht überlappt, der gesamte dritte laminierte Körper 42, die gesamte Zwischenschicht 43 und der gesamte vierte laminierte Körper 44 entfernt werden.
Eine Öffnung 40a ist in dem dritten laminierten Körper 42, der Zwischenschicht 43 und dem vierten laminierten Körper 44 bereitgestellt, um den lichtdurchlässigen Bereich 1a in einer Draufsicht zu überlappen. Die Öffnung 40a hat einen Durchmesser, welcher annähernd der Größe des lichtdurchlässigen Bereichs 1a entspricht. Die Öffnung 40a ist an der Licht emittierenden Seite offen. Die Bodenfläche der Öffnung 40a erreicht die Antireflexschicht 41.
Eine Licht abschirmende Schicht 45 ist auf der Oberfläche des vierten laminierten Körpers 44 an der Licht emittierenden Seite gebildet. Die Licht abschirmende Schicht 45 ist aus einem Metallfilm, wie Aluminium oder einer Legierung daraus, gebildet. Eine Schutzschicht 46 ist auf der Oberfläche der Licht abschirmenden Schicht 45 und der Innenfläche der Öffnung 40a gebildet. Die Schutzschicht 46 bedeckt die äußeren Ränder des dritten laminierten Körpers 42, der Zwischenschicht 43, des vierten laminierten Körpers 44 und der Licht abschirmenden Schicht 45 und bedeckt zudem die Antireflexschicht 41 auf dem äußeren Randabschnitt 11c. Die Schutzschicht 46 ist zum Beispiel aus Aluminiumoxid gebildet. Indem die Dicke der Schutzschicht 46 auf 1 nm bis 100 nm (vorzugsweise ungefähr 30 nm) eingestellt wird, kann zudem der optische Einfluss der Schutzschicht 46 außer Acht gelassen werden.
In dem wie vorstehend beschrieben konfigurierten Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 wird zwischen den Antriebselektroden 12 und 14 eine der Spannung entsprechende elektrostatische Kraft erzeugt, wenn über die Anschlüsse 15 und 16 zwischen den Antriebselektroden 12 und 14 eine Spannung angelegt wird. Der zweite Spiegelabschnitt 32 wird durch die elektrostatische Kraft zu der Seite des am Substrat 11 befestigten ersten Spiegelabschnitts 31 derart angezogen, dass der Abstand zwischen dem ersten Spiegelabschnitt 31 und dem zweiten Spiegelabschnitt 32 angepasst wird. Wie vorstehend beschrieben, ist in dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 der Abstand zwischen dem ersten Spiegelabschnitt 31 und dem zweiten Spiegelabschnitt 32 variabel.
Die Wellenlänge von Licht, welches durch den Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 durchgelassen wird, hängt von dem Abstand zwischen dem ersten Spiegelabschnitt 31 und dem zweiten Spiegelabschnitt 32 in dem lichtdurchlässigen Bereich 1a ab. Somit kann die Wellenlänge von durchgelassenem Licht angemessen gewählt werden, indem die Spannung angepasst wird, welche zwischen den Antriebselektroden 12 und 14 angelegt wird. In diesem Fall hat die Kompensationselektrode 13 das gleiche Potential wie die Antriebselektrode 14. Somit fungiert die Kompensationselektrode 13, um den ersten Spiegelabschnitt 31 und den zweiten Spiegelabschnitt 32 in dem lichtdurchlässigen Bereich 1a flach zu halten.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 kann ein spektroskopisches Spektrum erreicht werden, indem zum Beispiel durch den lichtdurchlässigen Bereich 1a des Fabry-Perot-Interferenzfilters 1 durchgelassenes Licht mittels eines Fotodetektors gemessen wird, während die an den Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 angelegte Spannung geändert wird (das heißt, der Abstand zwischen dem ersten Spiegelabschnitt 31 und dem zweiten Spiegelabschnitt 32 geändert wird).
[Detaillierte Konfiguration jedes Abschnitts]
4 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht, welche einen Teil des Fabry-Perot-Interferenzfilters 1 darstellt. Die Form jedes Abschnitts ist in 3 schematisch dargestellt, tatsächlich hat jedoch jeder Abschnitt eine in 4 dargestellte Form. Wie in 4 dargestellt, ist eine äußere Endfläche 22a des ersten laminierten Körpers 22 eine gekrümmte Oberfläche, welche in einer konvexen Form gekrümmt ist. Die äußere Endfläche 22a erstreckt sich, um bezüglich der ersten Oberfläche 11a geneigt zu sein, um sich von dem Spalt S in der Richtung parallel zu der ersten Oberfläche 11a zu entfernen, während sie sich dem Substrat 11 in der Richtung senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a nähert. Die äußere Endfläche 22a muss nicht unbedingt eine glatt gekrümmte Oberfläche sein und kann eine feine Stufe haben, die durch die äußeren Ränder der Polysilizium-Schichten 25a, 25b und 25c und der Siliziumnitrid-Schichten 26a und 26b gebildet ist. Selbst in diesem Fall kann die äußere Endfläche 22a als Ganzes in einer konvex gekrümmten Form ausgebildet sein.
Die Zwischenschicht 23 hat einen Definierungsabschnitt 51, einen Deckabschnitt 52 und einen Erstreckungsabschnitt 53. Der Definierungsabschnitt 51, der Deckabschnitt 52 und der Erstreckungsabschnitt 53 sind integral ausgebildet, um durchgängig miteinander verbunden zu sein. Der Definierungsabschnitt 51 definiert den Spalt S zwischen dem ersten laminierten Körper 22 und dem zweiten laminierten Körper 24. Der Definierungsabschnitt 51 überlappt in einer Draufsicht den ersten laminierten Körper 22 und den zweiten laminierten Körper 24.
Der Deckabschnitt 52 umgibt in einer Draufsicht den Definierungsabschnitt 51. Der Deckabschnitt 52 hat zum Beispiel in einer Draufsicht eine rechteckige Rahmenform. Der Deckabschnitt 52 bedeckt die äußere Endfläche 21a der Antireflexschicht 21 und die äußere Endfläche 22a des ersten laminierten Körpers 22 und erstreckt sich zu der ersten Oberfläche 11a. Das heißt, der Deckabschnitt 52 bedeckt die äußeren Ränder aller Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden, das heißt, die äußeren Ränder der Polysilizium-Schichten 25a, 25b und 25c und der Siliziumnitrid-Schichten 26a und 26b.
Der Erstreckungsabschnitt 53 umgibt in einer Draufsicht den Deckabschnitt 52. Der Erstreckungsabschnitt 53 hat zum Beispiel in einer Draufsicht eine rechteckige Rahmenform. Der Erstreckungsabschnitt 53 erstreckt sich von dem Deckabschnitt 52 entlang der Richtung parallel zu der ersten Oberfläche 11a nach außen (in anderen Worten ausgedrückt, zu einer Seite entgegengesetzt zu der Mitte des Spalts S). Zwischen dem Definierungsabschnitt 51 und dem Erstreckungsabschnitt 53 ist durch den Deckabschnitt 52 eine gestufte Oberfläche 54 gebildet. Die gestufte Oberfläche 54 ist mit einer Oberfläche 51a des Definierungsabschnitts 51 an einer dem Substrat 11 entgegengesetzten Seite und einer Oberfläche 53a des Erstreckungsabschnitts 53 an einer dem Substrat 11 entgegengesetzten Seite verbunden. Die Oberflächen 51a und 53a sind zum Beispiel parallel zueinander und erstrecken sich entlang einer Richtung parallel zu der ersten Oberfläche 11a. Der Abstand von der Oberfläche 51a zu der ersten Oberfläche 11a ist größer als der Abstand von der Oberfläche 53a zu der ersten Oberfläche 11a.
Die gestufte Oberfläche 54 ist entlang der äußeren Endfläche 22a des ersten laminierten Körpers 22 geformt und ist eine gekrümmte Oberfläche, welche in einer konvexen Form gekrümmt ist. Die gestufte Oberfläche 54 erstreckt sich, um bezüglich der ersten Oberfläche 11a geneigt zu sein, um sich von dem Spalt S in der Richtung parallel zu der ersten Oberfläche 11a zu entfernen, während sie sich dem Substrat 11 in der Richtung senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a nähert. Eine äußere Endfläche 53b des Erstreckungsabschnitts 53 ist eine gekrümmte Oberfläche, welche in einer konkaven Form gekrümmt ist. Die äußere Endfläche 53b erstreckt sich, um bezüglich der ersten Oberfläche 11a geneigt zu sein, um sich von dem Spalt S in der Richtung parallel zu der ersten Oberfläche 11a zu entfernen, während sie sich dem Substrat 11 in der Richtung senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a nähert.
Die Breite L1 des Erstreckungsabschnitts 53 ist größer als die Dicke L2 des Definierungsabschnitts 51. Die Breite L1 des Erstreckungsabschnitts 53 ist größer als die Breite L3 der gestuften Oberfläche 54. Die Breite L1 des Erstreckungsabschnitts 53 ist die Länge des Erstreckungsabschnitts 53 entlang der Erstreckungsrichtung des Erstreckungsabschnitts 53 (im vorliegenden Beispiel eine Richtung von der Mitte des Substrats 11 hin zu dem äußeren Rand). Die Dicke L2 des Definierungsabschnitts 51 ist die Länge des Definierungsabschnitts 51 entlang der Richtung senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a. Die Breite L3 der gestuften Oberfläche 54 ist die Länge der gestuften Oberfläche 54 entlang der Erstreckungsrichtung des Erstreckungsabschnitts 53.
Der zweite laminierte Körper 24 hat zusätzlich zu dem zweiten Spiegelabschnitt 32 einen Deckabschnitt 61 und einen Umfangsrandabschnitt 62. Der zweite Spiegelabschnitt 32, der Deckabschnitt 61 und der Umfangsrandabschnitt 62 sind integral ausgebildet, um einen Teil der gleichen laminierten Struktur zu haben und um durchgängig miteinander verbunden zu sein. Der zweite laminierte Körper 24 erstreckt sich zu dem äußeren Rand des Substrats 11, um die gestufte Oberfläche 54, welche durch den Deckabschnitt 52 zwischen dem Definierungsabschnitt 51 und dem Erstreckungsabschnitt 53 gebildet ist, und die äußere Endfläche 53b des Erstreckungsabschnitts 53 zu bedecken.
Der Deckabschnitt 61 umgibt in einer Draufsicht den zweiten Spiegelabschnitt 32. Der Deckabschnitt 61 hat zum Beispiel in einer Draufsicht eine rechteckige Rahmenform. Der Deckabschnitt 61 weist einen ersten Abschnitt 63, welcher die gestufte Oberfläche 54 bedeckt, einen zweiten Abschnitt 64, welcher die Oberfläche 53a des Erstreckungsabschnitts 53 bedeckt, und einen dritten Abschnitt 65 auf, welcher die äußere Endfläche 53b des Erstreckungsabschnitts 53 bedeckt. Der erste Abschnitt 63, der zweite Abschnitt 64 und der dritte Abschnitt 65 sind integral ausgebildet, um durchgängig miteinander verbunden zu sein.
Eine Oberfläche 63a des ersten Abschnitts 63 an einer dem Substrat 11 entgegengesetzten Seite ist entlang der gestuften Oberfläche 54 geformt und ist eine gekrümmte Oberfläche, welche in einer konvexen Form gekrümmt ist. Eine Oberfläche 64a des zweiten Abschnitts 64 an einer dem Substrat 11 entgegengesetzten Seite ist entlang der Oberfläche 53a geformt und ist eine flache Oberfläche parallel zu der ersten Oberfläche 11a. Eine Oberfläche 65a des dritten Abschnitts 65 an einer dem Substrat 11 entgegengesetzten Seite ist entlang der äußeren Endfläche 53b geformt und ist eine gekrümmte Oberfläche, welche in einer konkaven Form gekrümmt ist.
Der Umfangsrandabschnitt 62 umgibt den Deckabschnitt 61 in einer Draufsicht. Der Umfangsrandabschnitt 62 hat zum Beispiel in einer Draufsicht eine rechteckige Rahmenform. Der Umfangsrandabschnitt 62 befindet sich auf der ersten Oberfläche 11a an dem äußeren Randabschnitt 11c. Der äußere Rand des Umfangsrandabschnitts 62 passt in einer Draufsicht zu dem äußeren Rand des Substrats 11. Der Umfangsrandabschnitt 62 ist entlang des äußeren Rands des äußeren Randabschnitts 11c dünn gefertigt. Das heißt, ein Abschnitt des Umfangsrandabschnitts 62 entlang des äußeren Rands des äußeren Randabschnitts 11c ist dünner als der andere Abschnitt des Umfangsrandabschnitts 62 außer dem Abschnitt entlang des äußeren Rands. Im vorliegenden Beispiel wird der Umfangsrandabschnitt 62 dünn gefertigt, indem Teile der Polysilizium-Schicht 27 und der Siliziumnitrid-Schicht 28 entfernt werden, welche den zweiten laminierten Körper 24 ausbilden. Der Umfangsrandabschnitt 62 hat einen unausgedünnten Abschnitt 62a, welcher mit dem Deckabschnitt 61 und dem den unausgedünnten Abschnitt 62a umgebenden ausgedünnten Abschnitt 62b durchgängig verbunden ist (siehe 1). In dem ausgedünnten Abschnitt 62b sind die Polysilizium-Schicht 27 und die Siliziumnitrid-Schicht 28 mit Ausnahme der Polysilizium-Schicht 27a, welche direkt auf der ersten Oberfläche 11 a bereitgestellt ist, entfernt.
[Funktionen und Effekte]
Wie vorstehend beschrieben, ist in dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 die äußere Endfläche der Zwischenschicht 23 (genauer ausgedrückt, die äußere Endfläche 53b des Erstreckungsabschnitts 53) durch den zweiten laminierten Körper 24 bedeckt. Somit kann ein Abschälen der Zwischenschicht 23 unterdrückt werden. Zudem sind die äußeren Ränder einer Vielzahl von Schichten inklusive der Polysilizium-Schicht 25c, in welcher die Antriebselektrode 12 gebildet ist, unter den Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden, durch den Deckabschnitt 52 der Zwischenschicht 23 bedeckt. Da eine elektrische Isolierung zwischen der Polysilizium-Schicht 25c in dem ersten laminierten Körper 22 und der Polysilizium-Schicht 27a, in welcher die Antriebselektrode 14 gebildet ist, in dem zweiten laminierten Körper 24 verbessert werden kann, ist es somit möglich, eine Stromleckage zu unterdrücken, welche zwischen der Antriebselektrode 12 und der Antriebselektrode 14 durch die Polysilizium-Schicht 25c und die Polysilizium-Schicht 27a auftritt. Insbesondere, da nicht nur die Polysilizium-Schicht 25c, sondern auch die äußeren Ränder der Vielzahl von Schichten inklusive der Polysilizium-Schicht 25c durch den Deckabschnitt 52 bedeckt sind, kann eine Stromleckage zuverlässiger unterdrückt werden. Das heißt, der äußere Rand der Polysilizium-Schicht 25c kann zuverlässiger bedeckt sein als in einem Fall, in welchem nur der äußere Rand der Polysilizium-Schicht 25c bedeckt ist. Indem die Stromleckage unterdrückt wird, ist es möglich, eine Situation, in welcher eine hohe Spannung benötigt wird, um den Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 anzutreiben, und es entsprechend schwierig ist, den Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 zu verwenden, eine Situation, in welcher der Abstand zwischen dem ersten Spiegelabschnitt 31 und dem zweiten Spiegelabschnitt 32 nicht auf den Sollwert vergrößert wird, selbst wenn eine vorbestimmte Spannung angelegt wird, und entsprechend Licht mit einer Sollwellenlänge nicht durchgelassen werden kann, und dergleichen zu vermeiden. Zudem hat die Zwischenschicht 23 den Erstreckungsabschnitt 53, welcher sich von dem Deckabschnitt 52 entlang der Richtung parallel zu der ersten Oberfläche 11 a des Substrats 11 nach außen erstreckt, und erstreckt sich der zweite laminierte Körper 24, um die gestufte Oberfläche 54, welche zwischen dem Definierungsabschnitt 51 und dem Erstreckungsabschnitt 53 durch den Deckabschnitt 52 gebildet ist, und die äußere Endfläche 53b des Erstreckungsabschnitts 53 zu bedecken. Somit kann die in dem zweiten laminierten Körper 24 gebildete Stufe sanfter ausgebildet sein, als in einem Fall, in welchem die Zwischenschicht 23 nicht den Erstreckungsabschnitt 53 aufweist. Das heißt, wenn die Zwischenschicht 23 den Erstreckungsabschnitt 53 nicht aufweist, ist zwischen dem zweiten Spiegelabschnitt 32 und dem Umfangsrandabschnitt 62 in dem zweiten laminierten Körper 24 eine relative große Stufe gebildet. Andererseits ist in dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 die in dem zweiten laminierten Körper 24 gebildete Stufe aufgeteilt in eine Stufe, welche zwischen dem zweiten Spiegelabschnitt 32 und dem zweiten Abschnitt 64 durch den ersten Abschnitt 63 gebildet ist, und eine Stufe, welche zwischen dem zweiten Abschnitt 64 und dem Umfangsrandabschnitt 62 durch den dritten Abschnitt 65 gebildet ist. Indem die Stufe auf diese Weise stufenweise ausgebildet ist, kann die in dem zweiten laminierten Körper 24 gebildete Stufe sanft ausgebildet sein. Indem die in dem zweiten laminierten Körper 24 gebildete Stufe sanft ausgebildet ist, ist es zum Beispiel möglich, das Auftreten von Applikationsunebenheiten zu unterdrücken, wenn der Resist für einen Ätzvorgang appliziert wird. Infolgedessen ist es möglich, die Fertigungsstabilität zu verbessern. Genauer ausgedrückt, ist es zum Beispiel dadurch, dass eine dünne Ausbildung des Resists aufgrund einer ungleichmäßigen Applikation verhindert wird, möglich, eine große Spanne einer Ätzzeit am Randabschnitt sicherzustellen, selbst wenn Trockenätzen verwendet wird. Das heißt, es ist möglich, eine Situation zu verhindern, in welcher ein Abschnitt, dessen Ätzen ursprünglich durch den Resist verhindert werden sollte, aufgrund des dünn ausgebildeten Resists geätzt wird. Infolgedessen ist es möglich, die Fertigungsstabilität zu verbessern. Somit ist es gemäß dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 möglich, eine Stromleckage zu unterdrücken und die Fertigungsstabilität zu verbessern, während das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat 11 unterdrückt wird.
Der Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 weist die in der Polysilizium-Schicht 25c gebildete Kompensationselektrode 13 auf. Da die Kompensationselektrode 13 das gleiche Potential wie die Antriebselektrode 14 hat, können somit der erste Spiegelabschnitt und der zweite Spiegelabschnitt während des Antreibens flach gehalten werden. Zudem ist der Verdrahtungsabschnitt 18, welcher an die Antriebselektrode 14 und die Kompensationselektrode 13 elektrisch angeschlossen ist, in der Polysilizium-Schicht 25c gebildet und ist der äußere Rand der Polysilizium-Schicht 25c durch den Deckabschnitt 52 bedeckt. Somit kann eine Strom leckage noch zuverlässiger unterdrückt werden.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 bedeckt der Deckabschnitt 52 die äußeren Ränder all der Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden. Somit kann eine Stromleckage noch zuverlässiger unterdrückt werden. Da die äußeren Ränder all der Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden, durch die Zwischenschicht 23 bedeckt sind und der äußere Rand (äußere Endfläche 53b) der Zwischenschicht 23 durch den zweiten laminierten Körper 24 bedeckt ist, kann zudem das Abschälen des ersten laminierten Körpers 22 angemessen unterdrückt werden.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 ist die Breite L1 des Erstreckungsabschnitts 53 größer als die Dicke L2 des Definierungsabschnitts 51. Somit kann die große Breite L1 des Erstreckungsabschnitts 53 sichergestellt werden. Infolgedessen ist es möglich, das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat 11 angemessen zu unterdrücken und eine Stufe, welche in dem zweiten laminierten Körper 24 gebildet ist, angemessen sanft auszubilden.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 ist die Breite L1 des Erstreckungsabschnitts 53 größer als die Breite L3 der gestuften Oberfläche 54. Somit ist es möglich, den Abstand zwischen dem ersten Abschnitt 63 (das heißt, einem Abschnitt, welcher die gestufte Oberfläche 54 bedeckt) und dem dritten Abschnitt 65 (das heißt, einem Abschnitt, welcher die äußere Endfläche 53b des Erstreckungsabschnitts 53 bedeckt) des zweiten laminierten Körpers 24 zu erhöhen. Infolgedessen kann die Stufe, welche in dem zweiten laminierten Körper gebildet ist, sanft ausgebildet sein und kann die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden. Zudem kann sichergestellt werden, dass die Breite L1 des Erstreckungsabschnitts 53 größer ist, und kann infolgedessen das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat 11 angemessener unterdrückt werden.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 ist die gestufte Oberfläche 54 eine gekrümmte Oberfläche. Da die Oberfläche 63a des ersten Abschnitts 63 des zweiten laminierten Körpers 24 somit glatter wird, kann die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden. Zudem ist in dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 die gestufte Oberfläche 54 in einer konvexen Form gekrümmt. Da die Oberfläche 63a des ersten Abschnitts 63 des zweiten laminierten Körpers 24 noch glatter wird, kann somit die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden. Zudem ist in dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 die äußere Endfläche 22a des ersten laminierten Körpers 22 in einer konvexen Form gekrümmt. Da die Oberfläche 63a des ersten Abschnitts 63 des zweiten laminierten Körpers 24 noch glatter wird, kann somit die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 ist die Antriebselektrode 14 unter den Schichten, welche den zweiten laminierten Körper 24 ausbilden, in der Polysilizium-Schicht 27a gebildet, welche in Kontakt mit der Zwischenschicht 23 ist. Wenn die Antriebselektrode 14 in der Polysilizium-Schicht 27a gebildet ist, ist der Abstand zwischen der Schicht (Polysilizium-Schicht 25c), in welcher die Antriebselektrode 12 gebildet ist, und der Schicht (Polysilizium-Schicht 27a), in welcher die Antriebselektrode 14 gebildet ist, verringert. Gemäß dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 ist es selbst in solch einem Fall möglich, das Auftreten einer Stromleckage angemessen zu unterdrücken.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 ist der Anschluss 16 in dem Durchgangsloch H2 angeordnet, welches sich von der Oberfläche 24a des zweiten laminierten Körpers 24 zu der Zwischenschicht 23 erstreckt, und hat die Zwischenschicht 23 die innenseitige Oberfläche 23b, welche das Durchgangsloch H2 definiert. Dann befindet sich der Öffnungsrand 16b der Öffnung 16a, welche in dem Anschluss 16 gebildet ist, in einer Draufsicht weiter innen als die innenseitige Oberfläche 23b (in anderen Worten ausgedrückt, die Mittenseite des Spalts S). Ein Kontaktloch 19, welches sich durch die Polysilizium-Schichten 27b und 27c und die Siliziumnitrid-Schichten 28a und 28b erstreckt, ist in dem zweiten laminierten Körper 24 gebildet. Der Anschluss 16 ist durch das Kontaktloch 19 elektrisch an den Verdrahtungsabschnitt 18c angeschlossen, welcher in der Polysilizium-Schicht 27a gebildet ist. Ein Rand 19a des Kontaktlochs 19 befindet sich in einer Draufsicht über den gesamten Umfang weiter innen als die innenseitige Oberfläche 23b der Zwischenschicht 23. Somit kann die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden. Nachfolgend wird der Grund mit Verweis auf 5 beschrieben.
In einen Fabry-Perot-Interferenzfilter 1A eines in 5 dargestellten ersten Modifikationsbeispiels befindet sich der Öffnungsrand 16b der Öffnung 16a in einer Draufsicht über den gesamten Umfang weiter außen als die innenseitige Oberfläche 23b. Der Rand 19a des Kontaktlochs 19 befindet sich in einer Draufsicht über den gesamten Umfang weiter außen als die innenseitige Oberfläche 23b der Zwischenschicht 23. In dem Fertigungsprozess eines solchen Fabry-Perot-Interferenzfilters 1A können Ätzrückstände erzeugt werden, wenn die Öffnung 16a und das Kontaktloch 19 durch Trockenätzen gebildet werden. Andererseits kann in dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 der vorstehend beschriebenen Ausführungsform die Erzeugung von Ätzrückständen unterdrückt werden, selbst wenn die Öffnung 16a und das Kontaktloch 19 durch Trockenätzen gebildet werden. Somit kann die Fertigungsstabilität weiter verbessert werden. Zudem ist es auch durch den Fabry-Perot-Interferenzfilter 1A des ersten Modifikationsbeispiels möglich, eine Stromleckage zu unterdrücken und die Fertigungsstabilität zu verbessern, während das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat 11 unterdrückt wird, wie in dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 der vorstehend beschriebenen Ausführungsform.
In dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 hat der Schlitz T3, welcher in dem zweiten laminierten Körper 24 gebildet ist und sich erstreckt, um den Anschluss 15 zu umgeben, den ersten Abschnitt T3a, welcher durchgehend in den Polysilizium-Schichten 27b und 27c und den Siliziumnitrid-Schichten 28a und 28b gebildet ist, und den zweiten Abschnitt T3b, welcher in der Polysilizium-Schicht 27a gebildet ist und von dem ersten Abschnitt T3a getrennt ist. Somit kann die Stabilität der Zwischenschicht 23 verbessert werden. Nachfolgend wird der Grund mit Verweis auf 6 beschrieben.
In einen Fabry-Perot-Interferenzfilter 1C eines in 6 dargestellten zweiten Modifikationsbeispiels ist der Schlitz T3 durch einen Abschnitt konfiguriert, welcher durchgehend in den Polysilizium-Schichten 27a, 27b und 27c und den Siliziumnitrid-Schichten 28a und 28b gebildet ist. Ein mit dem Schlitz T3 durchgängiges Loch 23c ist in der Zwischenschicht 23 gebildet. Das Loch 23c erstreckt sich durch die Zwischenschicht 23. Das Loch 23c wird gebildet, wenn ein Teil der Zwischenschicht 23 durch Ätzen unter Verwendung eines in dem zweiten laminierten Körper 24 gebildeten Durchgangslochs entfernt wird, um den Spalt S zu bilden. Wenn solch ein Loch 23c gebildet ist, ist die Stabilität der Zwischenschicht 23 verringert und ein Auftreten einer Beschädigung ist wahrscheinlich. Zum Beispiel, wenn eine Beschädigung auftritt und Trümmer oder dergleichen verstreut sind, können die optischen Eigenschaften verschlechtert sein oder kann die Ausbeute verringert sein. Andererseits ist in dem vorstehend beschriebenen Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 der Schlitz T3 in den ersten Abschnitt T3a, welcher durchgehend in den Polysilizium-Schichten 27b und 27c und den Siliziumnitrid-Schichten 28a und 28b gebildet ist, und den zweiten Abschnitt T3b aufgeteilt, welcher in der Polysilizium-Schicht 27a gebildet ist und von dem ersten Abschnitt T3a getrennt ist. Da es möglich ist, zu verhindern, dass das Loch 23c in der Zwischenschicht 23 gebildet wird, wenn der Spalt S ausgebildet wird, kann somit die Stabilität der Zwischenschicht 23 verbessert werden. Infolgedessen ist es möglich, die Verschlechterung der optischen Eigenschaften oder eine Verringerung der Ausbeute aufgrund von Trümmern zu unterdrücken. Zudem ist es auch durch den Fabry-Perot-Interferenzfilter 1B des zweiten Modifikationsbeispiels möglich, eine Stromleckage zu unterdrücken und die Fertigungsstabilität zu verbessern, während das Abschälen jeder Schicht auf dem Substrat 11 unterdrückt wird, wie in dem Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 der vorstehend beschriebenen Ausführungsform.
Obwohl eine Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung vorstehend beschrieben wurde, ist die vorliegende Offenbarung nicht auf die vorstehende Ausführungsform beschränkt. In der Ausführungsform, dem ersten Modifikationsbeispiel und dem zweiten Modifikationsbeispiel, welche vorstehend beschrieben wurden, bedeckt der Deckabschnitt 52 die äußeren Ränder all der Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden. Der Deckabschnitt 52 kann jedoch unter den Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden, die äußeren Ränder einer Vielzahl von Schichten inklusive der Polysilizium-Schicht 25c bedecken, in welcher die Antriebselektrode 12 gebildet ist. Zum Beispiel kann der Deckabschnitt 52 nur die äußeren Ränder der Polysilizium-Schicht 25c und der Siliziumnitrid-Schicht 26b bedecken und kann die äußeren Ränder der Polysilizium-Schichten 25a und 25b und der Siliziumnitrid-Schicht 26a nicht bedecken. In diesem Fall können sich die Polysilizium-Schichten 25a und 25b und die Siliziumnitrid-Schicht 26a zwischen der ersten Oberfläche 11a und dem Erstreckungsabschnitt 53 erstrecken. Der Deckabschnitt 52 kann nur die äußeren Ränder der Polysilizium-Schichten 25c und 25b und der Siliziumnitrid-Schicht 26b bedecken.
In der Ausführungsform, dem ersten Modifikationsbeispiel oder dem zweiten Modifikationsbeispiel, welche vorstehend beschrieben wurden, kann die gestufte Oberfläche 54 in einer konkaven Form gekrümmt sein. Die gestufte Oberfläche 54 kann nicht gekrümmt sein oder kann eine flache Oberfläche sein. Die gestufte Oberfläche 54 kann sich nicht erstrecken, um bezüglich der ersten Oberfläche 11a geneigt zu sein, oder kann eine flache Oberfläche senkrecht zu der ersten Oberfläche 11 a sein. Die äußere Endfläche 22a des ersten laminierten Körpers 22 kann in einer konkaven Form gekrümmt sein. Die äußere Endfläche 22a kann nicht gekrümmt sein oder kann eine flache Oberfläche sein. Die äußere Endfläche 22a kann sich nicht erstrecken, um bezüglich der ersten Oberfläche 11a geneigt zu sein, oder kann eine flache Oberfläche senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a sein. Die äußere Endfläche 53b des Erstreckungsabschnitts 53 kann in einer konvexen Form gekrümmt sein. Die äußere Endfläche 53b kann nicht gekrümmt sein oder kann eine flache Oberfläche sein. Die äußere Endfläche 53b kann sich nicht erstrecken, um bezüglich der ersten Oberfläche 11a geneigt zu sein, oder kann eine flache Oberfläche senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a sein.
In der Ausführungsform, dem ersten Modifikationsbeispiel oder dem zweiten Modifikationsbeispiel, welche vorstehend beschrieben wurden, kann die Antriebselektrode 12 unter den Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden, in einer anderen Schicht als der Polysilizium-Schicht 25c gebildet sein. Das heißt, die Antriebselektrode 12 kann in einer anderen Schicht gebildet sein als einer Schicht in Kontakt mit der Zwischenschicht 23 (einer Schicht, welche dem Spalt S gegenüberliegt). In diesem Fall liegt die Antriebselektrode 12 der Antriebselektrode 14 gegenüber, wobei eine andere Schicht, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbildet, dazwischen angeordnet ist. Die Antriebselektrode 14 kann unter den Schichten, welche den zweiten laminierten Körper 24 ausbilden, in einer anderen Schicht als der Polysilizium-Schicht 27a gebildet sein. Das heißt, die Antriebselektrode 14 kann in einer anderen Schicht gebildet sein als einer Schicht in Kontakt mit der Zwischenschicht 23 (einer Schicht, welche dem Spalt S gegenüberliegt). In diesem Fall liegt die Antriebselektrode 14 der Antriebselektrode 12 gegenüber, wobei eine andere Schicht, welche den zweiten laminierten Körper 24 ausbildet, dazwischen angeordnet ist. Die Kompensationselektrode 13 kann unter den Schichten, welche den ersten laminierten Körper 22 ausbilden, in einer anderen Schicht als der Polysilizium-Schicht 25c gebildet sein. Die dritte Elektrode kann nicht als eine Kompensationselektrode, sondern als eine Überwachungselektrode zum Überwachen des Zustands des Fabry-Perot-Interferenzfilters 1 verwendet werden. In diesem Fall muss die dritte Elektrode nicht elektrisch an die Antriebselektrode 14 angeschlossen sein.
In der Ausführungsform, dem ersten Modifikationsbeispiel oder dem zweiten Modifikationsbeispiel, welche vorstehend beschrieben wurden, kann der Umfangsrandabschnitt 62 dünn gefertigt sein, indem an dem ausgedünnten Abschnitt 62b alles der Polysilizium-Schicht 27 und der Siliziumnitrid-Schicht 28 entfernt wird. Der Umfangsrandabschnitt 62 kann entlang des äußeren Rands des äußeren Randabschnitts 11c nicht dünn gefertigt sein. Der dritte laminierte Körper 42, die Zwischenschicht 43 und der vierte laminierte Körper 44 können dünn gefertigt sein, indem ein Teil von jeder Schicht in einem Bereich entfernt wird, welcher betrachtet aus einer Richtung, welche senkrecht zu der ersten Oberfläche 11a ist, den ausgedünnten Abschnitt 62b überlappt. Der dritte laminierte Körper 42, die Zwischenschicht 43 und der vierte laminierte Körper 44 können entlang des äußeren Rands des äußeren Randabschnitts 11c nicht dünn gefertigt sein. Der Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 kann die Kompensationselektrode 13 nicht aufweisen. Der Fabry-Perot-Interferenzfilter 1 kann eine auf der zweiten Oberfläche 11b des Substrats 11 bereitgestellte laminierte Struktur (Antireflexschicht 41, dritter laminierter Körper 42, Zwischenschicht 43, vierter laminierter Körper 44, Licht abschirmende Schicht 45 und Schutzschicht 46) nicht aufweisen. Zum Beispiel sind das Material und die Form von jeder Komponente nicht auf die vorstehend beschriebenen Materialien und Formen beschränkt und können verschiedene Materialien und Formen angepasst werden.
Bezugszeichenliste

1:: Fabry-Perot-Interferenzfilter,
11:: Substrat,
11a:: erste Oberfläche,
12:: Antriebselektrode
13:: Kompensationselektrode (dritte Elektrode),
14:: Antriebselektrode (zweite Elektrode),
18:: Verdrahtungsabschnitt,
22:: erster laminierter
22a:: äußere Endfläche,
23:: Zwischenschicht,
24:: zweiter laminierter Körper, Körper, (erste Elektrode),
25b:: Polysilizium-Schicht (dritte Schicht),
25c:: Polysilizium-Schicht (erste Schicht),
27a:: Polysilizium-Schicht (erste Schicht),
31:: erster Spiegelabschnitt,
32:: zweiter Spiegelabschnitt,
51:: Definierungsabschnitt,
52:: Deckabschnitt,
53:: Erstreckungsabschnitt,
53b:: äußere Endfläche,
54:: gestufte Oberfläche,
S:: Spalt.

Claims

Fabry-Perot-Interferenzfilter mit: einem Substrat, welches eine erste Oberfläche aufweist; einem ersten laminierten Körper, welcher einen ersten Spiegelabschnitt aufweist, der auf der ersten Oberfläche angeordnet ist; einem zweiten laminierten Körper, welcher einen zweiten Spiegelabschnitt aufweist, der dem ersten Spiegelabschnitt mit einem dazwischen angeordneten Spalt an einer Seite gegenüberliegt, welche dem Substrat bezüglich des ersten Spiegelabschnitts entgegengesetzt ist; einer Zwischenschicht, welche einen Definierungsabschnitt aufweist, der den Spalt zwischen dem ersten laminierten Körper und dem zweiten laminierten Körper definiert; einer ersten Elektrode, welche in einer ersten Schicht gebildet ist, die den ersten laminierten Körper ausbildet; und einer zweiten Elektrode, welche in einer den zweiten laminierten Körper ausbildenden zweiten Schicht gebildet ist und der ersten Elektrode gegenüberliegt, wobei die Zwischenschicht ferner Folgendes aufweist: einen Deckabschnitt, welcher äußere Ränder einer Vielzahl von Schichten inklusive der ersten Schicht unter Schichten, welche den ersten laminierten Körper ausbilden, bedeckt; und einen Erstreckungsabschnitt, welcher sich von dem Deckabschnitt entlang einer Richtung parallel zu der ersten Oberfläche nach außen erstreckt, und wobei der zweite laminierte Körper sich erstreckt, um eine gestufte Oberfläche, welche durch den Deckabschnitt zwischen dem Definierungsabschnitt und der Erstreckungsabschnitt gebildet ist, und eine äußere Endfläche des Erstreckungsabschnitts zu bedecken.
Fabry-Perot-Interferenzfilter nach Anspruch 1, ferner mit: einer dritten Elektrode, welche in dem ersten laminierten Körper gebildet ist und der zweiten Elektrode gegenüberliegt; und einem Verdrahtungsabschnitt, welcher zumindest in einer den ersten laminierten Körper ausbildenden dritten Schicht gebildet ist und elektrisch an die zweite Elektrode und die dritte Elektrode angeschlossen ist, wobei der Deckabschnitt ferner einen äußeren Rand der dritten Schicht bedeckt.
Fabry-Perot-Interferenzfilter nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Deckabschnitt äußere Ränder aller Schichten bedeckt, welche den ersten laminierten Körper ausbilden.
Fabry-Perot-Interferenzfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei eine Breite des Erstreckungsabschnitts größer als eine Dicke des Definierungsabschnitts ist.
Fabry-Perot-Interferenzfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die gestufte Oberfläche sich erstreckt, um bezüglich der ersten Oberfläche geneigt zu sein, und eine Breite des Erstreckungsabschnitts größer als eine Breite der gestuften Oberfläche ist.
Fabry-Perot-Interferenzfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die gestufte Oberfläche eine gekrümmte Oberfläche ist.
Fabry-Perot-Interferenzfilter nach Anspruch 6, wobei die gestufte Oberfläche in einer konvexen Form gekrümmt ist.
Fabry-Perot-Interferenzfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei eine äußere Endfläche des ersten laminierten Körpers in einer konvexen Form gekrümmt ist.
Fabry-Perot-Interferenzfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei unter Schichten, welche den zweiten laminierten Körper ausbilden, die zweite Schicht eine Schicht in Kontakt mit der Zwischenschicht ist.