DE112019004823B4 - Röntgenstrahlung-erzeugungsvorrichtung und röntgenanalyseeinrichtung - Google Patents

Röntgenstrahlung-erzeugungsvorrichtung und röntgenanalyseeinrichtung

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106132551B (zh) 2014-03-31 2019-08-27 巴斯夫欧洲公司 用于输送磁化材料的磁体装置
AU2015352482B2 (en) 2014-11-27 2021-02-25 Basf Se Improvement of concentrate quality
WO2016083575A1 (en) 2014-11-27 2016-06-02 Basf Se Energy input during agglomeration for magnetic separation
WO2023188337A1 (ja) * 2022-03-31 2023-10-05 キヤノンアネルバ株式会社 Ｘ線発生装置、ｘ線撮像装置、および、ｘ線発生装置の調整方法
KR20240167050A (ko) * 2022-03-31 2024-11-26 캐논 아네르바 가부시키가이샤 X선 발생 장치, x선 촬상 장치, 및 x선 발생 장치의 조정 방법

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3229089A (en) 1962-10-25 1966-01-11 Hayakawa Denki Kogyo Kabushiki An x-ray system for producing a specimen image in color
DE3117726A1 (de) 1981-05-05 1982-12-02 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Drehanoden-roentgenroehre
JP2007323964A (ja) 2006-06-01 2007-12-13 Rigaku Corp Ｘ線管
JP2008269933A (ja) 2007-04-19 2008-11-06 Rigaku Corp Ｘ線発生装置及びｘ線分析装置
JP2010198778A (ja) 2009-02-23 2010-09-09 Shimadzu Corp Ｘ線管装置
US20110133094A1 (en) 2003-10-15 2011-06-09 Varian Medical Systems, Inc. Multi-energy radiation detector
WO2016039091A1 (ja) 2014-09-12 2016-03-17 株式会社リガク Ｘ線発生装置及びｘ線分析装置
WO2016039092A1 (ja) 2014-09-12 2016-03-17 株式会社リガク Ｘ線発生装置及びｘ線分析装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3646379A (en) * 1970-05-18 1972-02-29 Machlett Lab Inc X-ray tube having controllable focal spot size
US7012989B2 (en) * 2002-09-03 2006-03-14 Parker Medical, Inc. Multiple grooved x-ray generator
US7289603B2 (en) * 2004-09-03 2007-10-30 Varian Medical Systems Technologies, Inc. Shield structure and focal spot control assembly for x-ray device
JP5511020B2 (ja) * 2011-11-24 2014-06-04 株式会社リガク Ｘ線分析装置
US9184020B2 (en) * 2013-03-04 2015-11-10 Moxtek, Inc. Tiltable or deflectable anode x-ray tube
JP6281229B2 (ja) * 2013-10-07 2018-02-21 株式会社ニコン Ｘ線源、ｘ線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム
WO2017073109A1 (ja) * 2015-10-28 2017-05-04 東芝電子管デバイス株式会社 回転陽極型ｘ線管

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3229089A (en) 1962-10-25 1966-01-11 Hayakawa Denki Kogyo Kabushiki An x-ray system for producing a specimen image in color
DE3117726A1 (de) 1981-05-05 1982-12-02 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Drehanoden-roentgenroehre
US20110133094A1 (en) 2003-10-15 2011-06-09 Varian Medical Systems, Inc. Multi-energy radiation detector
JP2007323964A (ja) 2006-06-01 2007-12-13 Rigaku Corp Ｘ線管
JP2008269933A (ja) 2007-04-19 2008-11-06 Rigaku Corp Ｘ線発生装置及びｘ線分析装置
JP2010198778A (ja) 2009-02-23 2010-09-09 Shimadzu Corp Ｘ線管装置
WO2016039091A1 (ja) 2014-09-12 2016-03-17 株式会社リガク Ｘ線発生装置及びｘ線分析装置
WO2016039092A1 (ja) 2014-09-12 2016-03-17 株式会社リガク Ｘ線発生装置及びｘ線分析装置

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