DE112019000783T5 - Autofokusvorrichtung und optische Apparatur und Mikroskop mit derselben - Google Patents

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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020171173A1 (ja) * 2019-02-20 2020-08-27 ソニー株式会社 顕微鏡システム、焦点調整プログラム、および焦点調整システム
US12301990B2 (en) 2020-08-07 2025-05-13 Nanotronics Imaging, Inc. Deep learning model for auto-focusing microscope systems
CN113267884B (zh) * 2021-05-24 2022-06-28 凌云光技术股份有限公司 一种多层自动对焦的方法及系统
WO2022265097A1 (ja) * 2021-06-18 2022-12-22 国立研究開発法人理化学研究所 放射線イメージング装置、および放射線イメージング方法
CN114858764B (zh) * 2021-12-29 2024-12-03 郑州思昆生物工程有限公司 一种可自动聚焦的荧光检测系统和自动聚焦方法
JP7036396B1 (ja) * 2021-12-30 2022-03-15 株式会社 Zido オートフォーカス装置
KR20230139684A (ko) * 2022-03-28 2023-10-05 주식회사 스타노스 광학현미경을 위한 자동 초점 장치 및 자동 초점 유지 방법
US20240151937A1 (en) * 2022-11-03 2024-05-09 10X Genomics, Inc. Systems and methods for autofocus
WO2024181542A1 (ja) 2023-03-01 2024-09-06 国立大学法人大阪大学 受容体型チロシンキナーゼの活性評価方法
WO2025224938A1 (ja) * 2024-04-25 2025-10-30 株式会社Zido オートフォーカス装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1089953A (ja) * 1996-09-12 1998-04-10 Olympus Optical Co Ltd 焦点検出装置
EP1008884B1 (en) 1997-08-29 2006-09-27 Olympus Optical Co., Ltd. Transmission illuminator for microscopes
JP3260712B2 (ja) * 1998-11-30 2002-02-25 日本電気株式会社 フォトマスク修正装置及び方法
JP2003029130A (ja) * 2001-07-11 2003-01-29 Sony Corp 光学式顕微鏡
US20030184856A1 (en) * 2002-04-02 2003-10-02 Nikon Corporation Focus point detection device and microscope using the same
JP2004004634A (ja) * 2002-04-02 2004-01-08 Nikon Corp 焦点位置検出装置およびそれを備えた蛍光顕微鏡
CN1296742C (zh) * 2004-02-13 2007-01-24 中国科学院力学研究所 一种光学成像系统的角度自动调焦系统及方法
WO2009031477A1 (ja) 2007-09-03 2009-03-12 Nikon Corporation オートフォーカス装置および顕微鏡
JP5189472B2 (ja) * 2008-12-03 2013-04-24 株式会社ミツトヨ レーザ加工装置及びレーザ加工装置における光路調整方法
EP3151052B1 (en) * 2010-02-01 2025-03-26 Illumina, Inc. Focusing methods and optical systems and assemblies using the same
CN103292690B (zh) * 2013-05-29 2016-01-20 浙江大学 一种基于光场选择的合成孔径显微装置
JP6395251B2 (ja) * 2014-05-30 2018-09-26 国立研究開発法人理化学研究所 光学顕微鏡システムおよびスクリーニング装置

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