JP7036396B1 - オートフォーカス装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 133
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 18
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 abstract description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 8
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 18
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 6
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 5
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 5
- 208000007578 phototoxic dermatitis Diseases 0.000 description 5
- 231100000018 phototoxicity Toxicity 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000007877 drug screening Methods 0.000 description 3
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000001575 pathological effect Effects 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 238000012106 screening analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000007619 statistical method Methods 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
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- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B13/00—Viewfinders; Focusing aids for cameras; Means for focusing for cameras; Autofocus systems for cameras
- G03B13/32—Means for focusing
- G03B13/34—Power focusing
- G03B13/36—Autofocus systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B15/00—Special procedures for taking photographs; Apparatus therefor
- G03B15/02—Illuminating scene
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/60—Control of cameras or camera modules
- H04N23/67—Focus control based on electronic image sensor signals
Abstract
Description
特許文献1のオートフォーカス装置では、複数枚の画像を時間差(数百ミリ秒)で撮影するため、一回目と二回目の撮影の間に光学系のずれ又は歪みが生じた場合、フォーカス移動機構を動作させるために演算した合焦位置までの差分値の精度が低下するが、本発明のオートフォーカス装置1によれば、差分を算出するための画像は、一回の撮影で得ることができるため、数百ミリ秒程度で光学系にずれや歪みが生じた場合であっても、合焦位置までの差分の演算精度に影響を及ぼすことはない。したがって、本発明のオートフォーカス装置1は、あらゆる時間スケールにおいて光学系のずれや歪みに非常に強い効果を奏する。
(式1) Δ(n)=(f0/f)nd
(式2) tanθ(n)=2nd/f0
(式3) DP(n)=D×f0/f
ここで、fとf0は各々レンズアレイ10とレンズB62の焦点距離であり、dはレンズアレイ10における隣接するレンズの間隔であり、Dは絞り30の直径である。式1より隣接する絞り像AI(n)と絞り像AI(n+1)との格子間隔Δ=(f0/f)dとなる。
(式4) dx=Δ(n)-Df
図4より、tanθ(n)=dx/dzである。式2より、dx/dz=2nd/f0となる。
(式5) dz={f0/(2nd)}×dx
したがって、a=f0/(2nd)とおくと、dz=a×dxとなる。
2 オートフォーカス装置(一の実施例)
3 オートフォーカス装置(他の実施例)
10 レンズアレイ
20 光源(又は、点光源)
30 絞り
40 ハーフミラー
42 偏向ビームスプリッタ
44 ダイクロイックミラー
50 オートフォーカス用カメラ(AF用カメラ)
60 レンズA
62 レンズB
64 レンズC
66 AF用結像レンズ
70 λ/4波長板
100 試料
102 ガラス
110 対物レンズ
120 観察用結像レンズ
130 観察用カメラ
D 絞り直径
d レンズアレイの間隔
f レンズアレイ焦点距離
f0 レンズB焦点距離
AI 絞り像
FV AF用カメラの撮影領域
P 仮想面
R 光線
RI 光像
Δ(n) 格子間隔
θ(n) 光線入射角度
DP(n) 絞り像の直径
Claims (4)
- 観察対象である試料と対物レンズとの距離を自動で調整して焦点を合わせるオートフォーカス装置において、
光学素子アレイが、
光源から前記試料までの光路上に配置されて、
前記光源から発せられた光が、
前記光学素子アレイによって分光され、前記試料に対して入射角度が異なる複数の光を入射させて、
オートフォーカス用撮像素子が、
前記試料からの反射光によって結像される複数の光像を取得して、
制御部が、
前記複数の光像の間隔を算出し、予め設定される合焦の際の基準値となる光像の格子間隔基準値との差分を取得して、距離調節機構に移動動作の指令信号を出力すること、
を特徴とするオートフォーカス装置。 - 前記光学素子アレイ及びオートフォーカス用撮像素子の間に配置された光学素子を前記光源から発せられる光の光軸方向に移動することによって、
又は、
前記格子間隔基準値を変更することによって、
光軸方向の焦点位置の変更又は補正を行うこと、
を特徴とする請求項1に記載するオートフォーカス装置。 - 観察光学系からオートフォーカス光を取り出す、又は分離する光学素子とオートフォーカス用撮像素子との間に、偏光子及び波長板を配置すること、
を特徴とする請求項1又は請求項2に記載するオートフォーカス装置。 - 請求項1又は請求項2に記載するオートフォーカス装置を有すること、
を特徴とする顕微鏡。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021215465A JP7036396B1 (ja) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | オートフォーカス装置 |
PCT/JP2022/039867 WO2023127261A1 (ja) | 2021-12-30 | 2022-10-26 | オートフォーカス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021215465A JP7036396B1 (ja) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | オートフォーカス装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7036396B1 true JP7036396B1 (ja) | 2022-03-15 |
JP2023099250A JP2023099250A (ja) | 2023-07-12 |
Family
ID=81213539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021215465A Active JP7036396B1 (ja) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | オートフォーカス装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7036396B1 (ja) |
WO (1) | WO2023127261A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002123953A (ja) | 2000-10-12 | 2002-04-26 | Hitachi Ltd | 高密度光記録装置 |
JP2013235110A (ja) | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Nikon Corp | オートフォーカス装置およびこれを有する顕微鏡 |
JP5626367B2 (ja) | 2011-01-21 | 2014-11-19 | 株式会社ニコン | 焦点位置維持装置及び顕微鏡 |
WO2019159627A1 (ja) | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 国立研究開発法人理化学研究所 | オートフォーカス装置ならびにそれを備える光学装置および顕微鏡 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011082756A1 (de) * | 2011-09-15 | 2013-03-21 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Autofokussierverfahren und -einrichtung für ein Mikroskop |
JP7414057B2 (ja) * | 2019-02-20 | 2024-01-16 | ソニーグループ株式会社 | 顕微鏡システム、焦点調整プログラム、および焦点調整システム |
-
2021
- 2021-12-30 JP JP2021215465A patent/JP7036396B1/ja active Active
-
2022
- 2022-10-26 WO PCT/JP2022/039867 patent/WO2023127261A1/ja unknown
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WO2019159627A1 (ja) | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 国立研究開発法人理化学研究所 | オートフォーカス装置ならびにそれを備える光学装置および顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2023127261A1 (ja) | 2023-07-06 |
JP2023099250A (ja) | 2023-07-12 |
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