JP5626367B2 - 焦点位置維持装置及び顕微鏡 - Google Patents
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Description
このような焦点位置維持装置は、対物レンズの光軸に対して直交する標本のずれを補正した後、対物レンズの光軸に沿った標本のずれを補正することが好ましい。
6 フォーカス用撮像素子 7 制御部 8 フォーカスアクチュエータ
10 顕微鏡 20 焦点位置維持装置 30 投影部 51 結像光学系
52 絞り 52a 開口部
Claims (6)
- 標本と対物レンズとの相対位置を変化させるフォーカスアクチュエータの作動を制御することにより、前記対物レンズの焦点を前記標本に対する所望の位置に維持させる焦点位置維持装置であって、
前記対物レンズを介して前記標本からの光を受光する位置に配置され、前記光の波面を分割するとともに前記標本の像を形成する複数の単位レンズで構成されるマイクロ光学素子アレイと、
前記マイクロ光学素子アレイからの光を受光する位置に配置された撮像素子と、
前記マイクロ光学素子アレイを介して、前記撮像素子により検出された前記標本の像の結像位置に基づいて、前記フォーカスアクチュエータの作動を制御するための信号を出力する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記対物レンズの焦点が標本上の所望の位置にあるときに、前記単位レンズで結像される像の位置を記憶し、
前記単位レンズで結像される前記像の位置が、前記記憶された位置からずれた場合、
前記対物レンズの光軸上に位置する前記単位レンズで結像される像の位置が、前記記憶された位置になるように補正することにより、前記対物レンズの光軸に対して直交する前記標本のずれを補正し、
前記対物レンズの光軸上以外に位置する前記単位レンズで結像される像の位置が、前記記憶された位置になるように補正することにより、前記対物レンズの光軸に沿った前記標本のずれを補正することを特徴とする焦点位置維持装置。 - 前記対物レンズの光軸に対して直交する前記標本のずれを補正した後、前記対物レンズの光軸に沿った前記標本のずれを補正することを特徴とする請求項1に記載の焦点位置維持装置。
- 前記マイクロ光学素子アレイは、前記対物レンズの射出瞳と略共役な位置に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載の焦点位置維持装置。
- 前記撮像素子は、前記マイクロ光学素子アレイを構成する複数の前記単位レンズの焦点位置に配置されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の焦点位置維持装置。
- 前記対物レンズを介して前記標本にパターンを投影する投影部をさらに有し、
前記制御部は、前記パターンの像を用いて前記標本のずれを補正することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の焦点位置維持装置。 - 対物レンズと、
標本と前記対物レンズとの相対位置を変化させるフォーカスアクチュエータと、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の焦点位置維持装置と、を有することを特徴とする顕微鏡。
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