DE112017007128B4

DE112017007128B4 - Elektromagnetisches-feld-sonde

Info

Publication number: DE112017007128B4
Application number: DE112017007128.3T
Authority: DE
Inventors: Yusuke Yamakaji; Hideyuki Ohashi; Chiharu Miyazaki
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2017-03-27
Filing date: 2017-03-27
Publication date: 2023-06-22
Anticipated expiration: 2037-03-28
Also published as: US20190361062A1; JPWO2018179045A1; WO2018179045A1; JP6257864B1; DE112017007128T5

Abstract

Elektromagnetisches-Feld-Sonde, umfassend:einen geschleiften Leiter (1) mit beiden Enden offen; undeine Leiterplatte (2), die parallel zu einer Schleifenoberfläche des geschleiften Leiters und nur auf einer Seite der Schleifenoberfläche angeordnet ist und eine Form aufweist, die den geschleiften Leiter (1) und einen Bereich innerhalb des geschleiften Leiters (1) bedeckt, wobeiein Ende der beiden Enden des geschleiften Leiters (1) mit der Leiterplatte (2) verbunden ist, ein anderes Ende mit einem Signalausgangsanschluss verbunden ist und eine Potentialdifferenz zwischen dem Signalausgangsanschluss und der Leiterplatte (2) als ein Messausgang angegeben ist, wobei ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters (1) in einem Bereich innerhalb einer Oberfläche positioniert ist, die eine Schleife ausbildet, und wobei ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters (1) mit einer anderen Leiterplatte (15, 17) verbunden ist, deren Leitungsbreite größer ist als eine Leitungsbreite des geschleiften Leiters (1) im Bereich innerhalb der Oberfläche, die die Schleife ausbildet.

Description

GEBIET DER TECHNIK
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Elektromagnetisches-Feld-Sonde, die in der Nähe des Prüflings den Strom misst, der durch den Prüfling fließt.
STAND DER TECHNIK
Im Allgemeinen wird eine Schleifensonde als Sonde verwendet, um in der Nähe des Prüflings den Strom zu messen, der durch den Prüfling fließt. Die Schleifensonde ist so angeordnet, dass der vom Prüfling erzeugte Magnetfluss durch die Schleifenoberfläche der Schleifensonde verläuft, und der zu diesem Zeitpunkt erzeugte induzierte Strom wird als Ausgangsspannung der Sonde detektiert.
Als eine derartige Sonde gab es herkömmlicherweise eine, bei der eine Schleifensonde auf einer gedruckten Leiterplatte ausgebildet ist und ein GND-Muster um die Schleifenverdrahtung herum angebracht ist (koplanare Struktur). Bei dieser Sonde wird davon ausgegangen, dass die Sonde parallel zum Prüfling angeordnet ist und das GND-Muster um das Antennenmuster herum angeordnet ist (siehe beispielsweise Patentliteratur 1).
Patentliteratur 2 beschreibt eine Mikrostreifenantenne, die in der Lage ist, elektrische Eigenschaften von Materialien zu messen, wobei die Eigenschaften einer relativen Permittivität und Leitfähigkeit genutzt werden, um Informationen hinsichtlich des untersuchten Materials, wie Qualität, Zusammensetzung zu bestimmen.
Patentliteratur 3 offenbart ein Drahtlos-Integrierte-Schaltung(IC)-Bauelement, welches einen drahtlosen integrierten Schaltkreis aufweist, welcher zur Radiofrequenzidentifikation (RFID) genutzt wird. Ferner ist das Drahtlos-IC-Bauelement in der Lage, eine Variation der Resonanzfrequenz in Abhängigkeit der Nutzungsbedingung zu reduzieren.
LISTE DER ANFÜHRUNGEN
PATENTLITERATUR

Patentliteratur 1: JP 2003-87044 A
Patentliteratur 2: US 2003/0117321 A1
Patentliteratur 3: EP 2280449 A1

KURZFASSUNG DER ERFINDUNG
TECHNISCHES PROBLEM
Bei der in der Patentliteratur 1 beschriebenen Technologie wird das GND-Muster jedoch angebracht, um eine koplanare Struktur auszubilden, die den Umfang des Antennenmusters bedeckt, und das GND-Muster existiert nicht an einem zentralen Abschnitt des Antennenmusters. Daher besteht in der Nähe der Mitte des Antennenmusters das Problem, dass sich induzierte Ströme, die auf jeder Seite des Antennenmusters erzeugt werden, gegenseitig aufheben, und es gibt einen Bereich, in dem keine Messung durchgeführt werden kann.
Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um ein derartiges Problem zu lösen, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Elektromagnetisches-Feld-Sonde bereitzustellen, die in der Lage ist, eine stabile Ausgangsspannung unabhängig von den Positionen und Richtungen des Prüflings und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde zu erhalten.
LÖSUNG DES PROBLEMS
Eine Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet einen geschleiften Leiter mit beiden Enden offen; und eine Leiterplatte, die parallel zu einer Schleifenoberfläche des geschleiften Leiters und nur auf einer Seite der Schleifenoberfläche angeordnet ist und eine Form aufweist, die den geschleiften Leiter und einen Bereich innerhalb des geschleiften Leiters bedeckt, wobei ein Ende der beiden Enden des geschleiften Leiters mit der Leiterplatte verbunden ist, das andere Ende mit einem Signalausgangsanschluss verbunden ist und eine Potentialdifferenz zwischen dem Signalausgangsanschluss und der Leiterplatte als ein Messausgang angegeben ist, wobei ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters in einem Bereich innerhalb einer Oberfläche positioniert ist, die eine Schleife ausbildet, und wobei ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters mit einer anderen Leiterplatte verbunden ist, deren Leitungsbreite größer ist als eine Leitungsbreite des geschleiften Leiters im Bereich innerhalb der Oberfläche, die die Schleife ausbildet.
VORTEILHAFTE WIRKUNG DER ERFINDUNG
In der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Leiterplatte parallel zur Schleifenoberfläche des geschleiften Leiters angeordnet und weist eine Größe auf, die den geschleiften Leiter bedeckt, und ein Ende von beiden Enden des geschleiften Leiters ist mit der Leiterplatte verbunden, das andere Ende ist mit einem Signalausgangsanschluss verbunden, und eine Potentialdifferenz zwischen dem Signalausgangsanschluss und der Leiterplatte ist als ein Messausgang angegeben. Dadurch kann eine stabile Ausgangsspannung unabhängig von den Positionen und Richtungen des Prüflings und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde erhalten werden.
Figurenliste

1 ist eine perspektivische Ansicht einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß einer ersten Ausführungsform.
2 ist eine perspektivische Explosionsansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der ersten Ausführungsform.
3 ist eine Seitenansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der ersten Ausführungsform.
4 ist eine Draufsicht eines geschleiften Leiters der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der ersten Ausführungsform.
5 ist eine Seitenansicht, die die Beziehung zwischen der Elektromagnetisches-Feld-Sonde der ersten Ausführungsform und einer zu messenden Mikrostreifenleitung zeigt.
6 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel des geschleiften Leiters der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der ersten Ausführungsform zeigt.
7 ist ein erläuterndes Diagramm, das Eigenschaften der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der ersten Ausführungsform im Vergleich zum einschlägigen Stand der Technik zeigt.
8 ist eine perspektivische Ansicht einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß einer zweiten Ausführungsform.
9 ist eine perspektivische Explosionsansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der zweiten Ausführungsform.
10 ist eine Seitenansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der zweiten Ausführungsform.
11 ist eine Draufsicht eines geschleiften Leiters der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der zweiten Ausführungsform.
12 ist ein erläuterndes Diagramm von Messbedingungen der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der zweiten Ausführungsform.
13 ist eine Seitenansicht zum Zeitpunkt der Messung der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der zweiten Ausführungsform.
14 ist ein erläuterndes Diagramm, das Abmessungen des geschleiften Leiters der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt.
15 ist ein erläuterndes Diagramm, das Messergebnisse der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt.
16 ist eine perspektivische Explosionsansicht einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß einer dritten Ausführungsform.
17 ist eine Draufsicht eines geschleiften Leiters der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der dritten Ausführungsform.
18 ist ein erläuterndes Diagramm, das Abmessungen des geschleiften Leiters der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der dritten Ausführungsform zeigt.
19 ist eine Seitenansicht zum Zeitpunkt der Messung der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der dritten Ausführungsform.
20 ist ein erläuterndes Diagramm, das ein Ergebnis einer Berechnung unter Verwendung einer Elektromagnetfeldsimulation der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der dritten Ausführungsform zeigt.
21 ist eine perspektivische Explosionsansicht einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
22 ist eine Draufsicht, die einen geschleiften Leiter der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
23 ist eine Draufsicht, die ein anderes Beispiel des geschleiften Leiters der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
24 ist eine Draufsicht, die noch ein anderes Beispiel des geschleiften Leiters der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
25 ist eine perspektivische Explosionsansicht einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
26 ist eine Seitenansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
27Aund 27B sind Draufsichten, die geschleifte Leiter der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen.
28 ist eine perspektivische Explosionsansicht einer Konfiguration zum Zeitpunkt der Messung der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
29 ist eine Seitenansicht der Konfiguration zum Zeitpunkt der Messung der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
30A, 30B und 30C sind Draufsichten, die die geschleiften Leiter der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen.
31 ist ein erläuterndes Diagramm, das Messergebnisse der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Um diese Erfindung detaillierter zu erläutern, wird nachstehend eine Art und Weise zum Ausführen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Die erste Ausführungsform, die zweite Ausführungsform und die dritte Ausführungsform sind keine Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, werden aber als das Verständnis der Erfindung erleichternd angesehen.
Erste Ausführungsform.
1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Konfiguration einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde, 3 ist eine Seitenansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde, und 4 ist eine Draufsicht, die eine Form eines geschleiften Leiters zeigt. Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde der ersten Ausführungsform wird nachstehend unter Bezugnahme auf diese Zeichnungen beschrieben.
Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist eine zweischichtige gedruckte Leiterplatte, in der ein geschleifter Leiter 1 und eine Leiterplatte 2 über ein Dielektrikum 3 angeordnet sind, wie in diesen Figuren gezeigt. Der geschleifte Leiter 1 ist ein geschleifter Leiter, dessen beide Enden offen sind und der auf einer Oberfläche der gedruckten Leiterplatte angeordnet ist. Die Leiterplatte 2 ist auf der anderen Oberfläche der gedruckten Leiterplatte so angeordnet, dass sie parallel zu einer Schleifenoberfläche des geschleiften Leiters 1 ist und eine Größe aufweist, die den geschleiften Leiter 1 bedeckt. Ein Ende 1a des geschleiften Leiters 1 ist mit der Leiterplatte 2 über ein Via 4 durch ein Durchgangsloch 3a verbunden, das im Dielektrikum 3 bereitgestellt wird. Ferner ist das andere Ende 1b des geschleiften Leiters 1 mit einem Leitungsdraht 5b verbunden, um einen Signalausgangsanschluss zu bilden, und eine Potentialdifferenz mit dem Leitungsdraht 5a, der auf der Leiterplatte 2 bereitgestellt wird, wird als ein Messausgang von der Elektromagnetisches-Feld-Sonde angegeben.
In dieser Ausführungsform kann, obwohl davon ausgegangen wird, dass ein beschichteter Draht oder ein Koaxialkabel als der Leitungsdraht 5a und der Leitungsdraht 5b verwendet wird, ein beliebiger Draht verwendet werden, solange er eine Verbindung zwischen der Elektromagnetisches-Feld-Sonde und dem Messinstrument herstellen kann. Obwohl davon ausgegangen wird, dass ein Oszilloskop, ein Spektrumanalysator oder ein Netzanalysator als Messinstrument verwendet wird, kann ferner jedes Messinstrument verwendet werden, solange es eine beabsichtigte Ausgabe erhalten kann.
Der Grund, warum dieser Modus eine gewünschte Wirkung erzeugt, wird nun beschrieben. Die Gründe sind die folgenden zwei Punkte, und die Wirkung der Elektromagnetisches-Feld-Sonde in dieser Ausführungsform kann durch Überlagerung der jeweiligen Wirkung erzeugt werden.

1. Durch Passieren der Leiterplatte 2 als ein Teil der Elektromagnetisches-Feld-Sonde wird ein elektrisches Feld, das vom Prüfling erzeugt wird, von jedem der Leiterplatte 2 und dem geschleiften Leiter 1 empfangen, um eine Potentialdifferenz zwischen den beiden zu erzeugen, und somit kann eine Ausgangsspannung von der Elektromagnetisches-Feld-Sonde selbst an einem zentralen Abschnitt der Schleife erzeugt werden.
2. Da durch die Leiterplatte 2 ein Wirbelstrom erzeugt wird, wird es für den Magnetfluss schwierig, durch die Schleifenoberfläche des geschleiften Leiters 1 zu passieren. Insbesondere, da der induzierte Strom an einer Position unterdrückt wird, an der die Ausgangsspannung der Elektromagnetisches-Feld-Sonde aufgrund der Nähe einer Leitung des geschleiften Leiters 1 (einer Seite des Leiters, der die Schleife im Fall eines rechteckigen geschleiften Leiters ausbildet) und einer zu messenden Verdrahtung erhöht ist, kann die Ausgangsspannung reduziert werden.

Wie oben beschrieben, wird die Ausgangsspannung (Kopplungsbetrag) im zentralen Abschnitt der Schleife durch die elektrische Feldkomponente erhöht, und die Magnetfeldkomponente am Punkt, an dem die Ausgangsspannung groß wird, wird unterdrückt, und dadurch kann eine Ausgangsspannung mit einer geringen Schwankung von der Elektromagnetisches-Feld-Sonde unabhängig von den Positionen (Positionseigenschaften und Winkeleigenschaften) des Prüflings und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde erhalten werden. Es sei zu beachten, dass, obwohl die Form des geschleiften Leiters 1 in 1 bis 4 ein Viereck ist, sie nicht auf diese Form beschränkt ist und ein Oval oder ein Polygon sein kann.
Als Nächstes wird die durch die Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Ausführungsform erhaltene Wirkung unter Bezugnahme auf 5 bis 7 beschrieben. 5 ist eine Seitenansicht, die die Beziehung zwischen einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde und einer zu messenden Mikrostreifenleitung zeigt, 6 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel eines geschleiften Leiters zeigt, und 7 ist ein erläuterndes Diagramm, das Eigenschaften der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Ausführungsform im Vergleich zum einschlägigen Stand der Technik zeigt.
Wie in 5 gezeigt, ist eine Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 in einem vorbestimmten Abstand von einer Mikrostreifenleitung 200 angeordnet. Im veranschaulichten Beispiel ist der Abstand zwischen diesen auf 1,0 mm festgelegt. Darüber hinaus beträgt die Dicke des Dielektrikums 3 0,8 mm. Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 verbindet ein Ende 11a eines geschleiften Leiters 11 über das Via 4 mit der Leiterplatte 2. Ein Koaxialverbinder 6 zum Verbinden eines Koaxialkabels ist auf der Leiterplatte 2 installiert und verbindet das andere Ende 11b des geschleiften Leiters 11 mit einem Kerndraht 6a des Koaxialverbinders 6. Der Koaxialverbinder 6 und der Kerndraht 6a haben eine Funktion als ein Signalausgangsanschluss vom geschleiften Leiter 11. Das heißt, in der in 5 gezeigten Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 wird der Signalausgangsanschluss auf der Oberfläche gegenüber dem geschleiften Leiter 11 in Bezug auf die Leiterplatte 2 bereitgestellt. Der geschleifte Leiter 11 verwendet einen quadratischen geschleiften Leiter mit einer Seite von 6,5 mm im Quadrat und ist mit dem Dielektrikum 3 zwischen der Leiterplatte 2 mit einer Seite von 8,0 mm im Quadrat und dem geschleiften Leiter 11 angeordnet.
7 zeigt den Betrag der Kopplung zwischen der Mikrostreifenleitung 200 und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 bei 1 GHz, wenn die Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 in der Richtung bewegt wird, die die Mikrostreifenleitung 200 kreuzt. Die durchgezogene Linie zeigt den Kopplungsbetrag der Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 der ersten Ausführungsform an, und die gestrichelte Linie zeigt den Kopplungsbetrag der herkömmlichen Sonde an, die nur aus schleifenartigen Sondenelementen besteht. Wie in 7 gezeigt, ist ersichtlich, dass an der Position (L = 0 mm), an der die Mittellinie der Mikrostreifenleitung 200 mit der Mitte der Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 zusammenfällt, der Kopplungsbetrag größer ist als derjenige der herkömmlichen Sonde, was wünschenswerter ist als die herkömmliche Sonde.
Als eine weitere Wirkung des Anbringens der Leiterplatte 2 ergibt sich eine Verbesserung der Herstellbarkeit und der Bedienfreundlichkeit. Da bei der herkömmlichen Schleifensonde ohne Leiterplatte der Verbinder selbst ein Teil der Sonde wird und die Eigenschaften stört, war es erforderlich, beim Design die Form des Verbinders und den Montageort zu berücksichtigen. Andererseits wird, wie im Fall der Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 gemäß der ersten Ausführungsform, die Leiterplatte 2 zwischen der zu messenden Mikrostreifenleitung 200 und dem Koaxialverbinder 6 bereitgestellt, so dass der Einfluss der elektrischen Feldkomponente und der Magnetfeldkomponente, die aus dem Prüfling austreten, auf den Koaxialverbinder 6 unterdrückt werden kann. Infolgedessen kann der Koaxialverbinder 6 unabhängig von der Form oder der Anbringungsposition an der Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100 angebracht werden. Daher ist ein Neudesign nicht erforderlich, selbst wenn die Form des Verbinders berücksichtigt wird.
Darüber hinaus kann, wenn der Koaxialverbinder 6 verwendet wird, die Struktur bruchsicher gemacht werden, da die Leiterplatte 2 und der Außenleiter des Koaxialverbinders 6 oberflächenverbunden sein können und fest fixiert werden können.
Wie oben beschrieben, beinhaltet die Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der Elektromagnetisches-Feld-Sonde der ersten Ausführungsform einen geschleiften Leiter mit beiden Enden offen und eine Leiterplatte, die parallel zu einer Schleifenoberfläche des geschleiften Leiters angeordnet ist und eine Form aufweist, die den geschleiften Leiter bedeckt, wobei ein Ende der beiden Enden des geschleiften Leiters mit der Leiterplatte verbunden ist, das andere Ende mit einem Signalausgangsanschluss verbunden ist und eine Potentialdifferenz zwischen dem Signalausgangsanschluss und der Leiterplatte als ein Messausgang angegeben ist, und daher kann eine stabile Ausgangsspannung unabhängig von den Positionen und Richtungen des Prüflings und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde erhalten werden.
Ferner wird gemäß der Elektromagnetisches-Feld-Sonde der ersten Ausführungsform der Signalausgangsanschluss an einer in Bezug auf die Leiterplatte gegenüberliegenden Seite des geschleiften Leiters bereitgestellt, und daher kann der Einfluss der elektrischen Feldkomponente und der Magnetfeldkomponente, die aus dem Prüfling austreten, auf den Signalausgangsanschluss unterdrückt werden.
Zweite Ausführungsform.
In einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß einer zweiten Ausführungsform ist ein Ende oder das andere Ende der beiden Enden eines geschleiften Leiters in einem Bereich innerhalb einer Oberfläche positioniert, die die Schleife ausbildet. Das heißt, wenn sich in der Nähe der Mitte der Elektromagnetisches-Feld-Sonde kein geschleifter Leiter befindet, kann es für den geschleiften Leiter schwierig sein, die elektrische Feldkomponente von der Mikrostreifenleitung zu erfassen. Um das Problem zu lösen, wird der geschleifte Leiter in der zweiten Ausführungsform in der Nähe der Mitte der Elektromagnetisches-Feld-Sonde positioniert.
Es kann davon ausgegangen werden, dass sich an beiden Enden des geschleiften Leiters sowohl die Seite, die nicht mit der Leiterplatte verbunden ist, als auch die Seite, die verbunden werden soll, innerhalb des geschleiften Leiters befinden, im Folgenden wird jedoch ein Beispiel beschrieben, bei dem die Seite, die nicht mit der Leiterplatte verbunden ist, innen positioniert ist. Es sei zu beachten, dass die gleiche Wirkung erzielt werden kann, indem die Seite, die mit der Leiterplatte am Ende des geschleiften Leiters verbunden werden soll, innen positioniert wird. Ferner kann die Form des geschleiften Leiters wie in der ersten Ausführungsform kreisförmig oder polygonal sein, wird jedoch als ein Viereck beschrieben.
8 ist eine perspektivische Ansicht, die die Konfiguration der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. 9 ist eine perspektivische Explosionsansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde, 10 ist eine Seitenansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde, und 11 ist eine Draufsicht, die die Form des geschleiften Leiters zeigt. Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der zweiten Ausführungsform wird nachstehend unter Bezugnahme auf diese Zeichnungen beschrieben.
Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Ausführungsform besteht aus einem zweischichtigen Substrat, wie in diesen Figuren gezeigt, und ein Ende 12a eines geschleiften Leiters 12 ist mit der Leiterplatte 2 über das Via 4 verbunden, und das andere Ende 12b erstreckt sich in der Einwärtsrichtung vom mittleren Abschnitt einer Seite bis in die Nähe des mittleren Abschnitts des quadratischen Bereichs. Das heißt, das andere Ende 12b ist so konfiguriert, dass es im Bereich innerhalb der Schleife im geschleiften Leiter 11 positioniert ist. Das andere Ende 12b ist über ein Durchgangsloch 3b, das im Dielektrikum 3 bereitgestellt wird, und einen Zwischenraum 2a, der in der Leiterplatte 2 bereitgestellt wird, mit dem Kerndraht 6a des Koaxialverbinders 6 verbunden. In diesem Beispiel wird der Koaxialverbinder 6 verwendet, aber solange er elektrisch von der Elektromagnetisches-Feld-Sonde zum Messinstrument verbunden werden kann, kann ein beliebiger Verbinder wie in der ersten Ausführungsform verwendet werden. Es sei zu beachten, dass bei Verwendung des Koaxialverbinders 6 der Außenleiter des Koaxialverbinders 6 mit der Leiterplatte 2 verbunden ist und der Kerndraht 6a mit dem anderen Ende 12b des geschleiften Leiters 11 verbunden ist.
In der zweiten Ausführungsform wird durch Anordnen des Endes innerhalb der Schleife des geschleiften Leiters 12 leicht eine Potentialdifferenz zwischen dem geschleiften Leiter 12 und der Leiterplatte 2 erzeugt, und das Signal kann selbst innerhalb der Schleife leicht detektiert werden.
Unter den Bedingungen der zweiten Ausführungsform wurde eine Sonde mit einem Anschluss, der nicht mit der Leiterplatte 2 verbunden war, die innerhalb der Schleife angeordnet war, unter Verwendung einer FR-4-Leiterplatte mit einer Dicke von 0,8 mm hergestellt. Dann wurde der Betrag der Kopplung zwischen der Mikrostreifenleitung und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde tatsächlich gemessen, als die Sonde in eine Richtung bewegt wurde, die die Mikrostreifenleitung kreuzt, und relativ zur Mikrostreifenleitung gedreht wurde. 12 ist eine erläuternde Ansicht von Messbedingungen, 13 ist eine Seitenansicht von 12, und 14 ist eine erläuternde Ansicht, die die Abmessungen des geschleiften Leiters 12 zeigt.
Ein Spektrumanalysator (eine Tracking-Generator-Funktion des Spektrumanalysators injiziert -10 dBm in die Mikrostreifenleitung 200, und der 50-Ω-Abschluss ist mit dem Ende der Mikrostreifenleitung 200 verbunden, das nicht mit dem Tracking-Generator verbunden ist) wurde an der Spitze einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100a angebracht und gemessen. In der Mikrostreifenleitung 200 sind eine Signalleitung 201 und ein Masseleiter 202 über ein Dielektrikum 203 angeordnet. Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100a dreht sich in einer Drehrichtung 102 um eine Drehachse 101 und bewegt sich in einer Bewegungsrichtung 103.
15 zeigt die Messergebnisse in der in 12 gezeigten Konfiguration. In der Figur kann, wie in A gezeigt, obgleich der Maximalwert des Kopplungsbetrags -28 dB ist, der Minimalwert des Kopplungsbetrags in der Nähe der Mitte der Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100a -37 dB ist und die Änderung des Kopplungsbetrags etwa 10 dB ist, eine Verbesserung im Vergleich zur herkömmlichen Schleifensonde und der ersten Ausführungsform bestätigt werden. Ferner zeigen eine Vielzahl von Linien jeweils Messergebnisse unterschiedlicher Drehwinkel, wenn die Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100a gedreht wird, und es ist ersichtlich, dass die Änderung in Reaktion auf den Winkel klein ist, wie durch B in der Figur gezeigt. Zusätzlich wurde bestätigt, dass ähnliche Ergebnisse auch durch eine Elektromagnetfeldsimulation erhalten werden können.
Wie oben beschrieben, kann gemäß der Elektromagnetisches-Feld-Sonde der zweiten Ausführungsform, da ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters im Bereich innerhalb der Oberfläche positioniert ist, die die Schleife ausbildet, eine stabilere Ausgangsspannung unabhängig von den Positionen und Richtungen des Prüflings und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde erhalten werden.
Dritte Ausführungsform.
In einer dritten Ausführungsform ist das andere Ende, das innerhalb der Schleife des geschleiften Leiters positioniert ist, spiralförmig.
16 ist eine perspektivische Explosionsansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Ausführungsform, und 17 ist eine Draufsicht, die die Form des geschleiften Leiters zeigt. Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der dritten Ausführungsform wird nachstehend unter Bezugnahme auf diese Zeichnungen beschrieben.
Die Grundkonfiguration der Elektromagnetisches-Feld-Sonde der dritten Ausführungsform ist die gleiche wie die der zweiten Ausführungsform, aber wie in 16 und 17 gezeigt ist, ist das andere Ende 13b eines geschleiften Leiters 13 spiralförmig bis in die Nähe der Mitte eines quadratischen Bereichs erweitert. Das andere Ende 13b ist wie in der zweiten Ausführungsform über das Durchgangsloch 3b, das im Dielektrikum 3 bereitgestellt wird, und den Zwischenraum 2a, der in der Leiterplatte 2 bereitgestellt wird, mit dem Kerndraht 6a des Koaxialverbinders 6 verbunden. Ferner ist ein Ende 13a des geschleiften Leiters 13 wie in der ersten und zweiten Ausführungsform mit der Leiterplatte 2 über das Via 4 verbunden. Da die andere Konfiguration in 16 die gleiche wie die der in 9 gezeigten zweiten Ausführungsform ist, sind die entsprechenden Abschnitte mit denselben Bezugszeichen versehen, und auf ihre Beschreibung wird verzichtet.
Wenn die Seite des anderen Endes 13b des geschleiften Leiters 13 spiralförmig ausgebildet wird, ist es schwierig zu verhindern, dass die Magnetfeldkomponente die Schleifenoberfläche durchdringt, und somit ist es möglich, die elektrische Feldkomponente erfolgreich zu detektieren, während verhindert wird, dass die Magnetfeldkomponente schwierig zu detektieren ist.
Als Beispiel zur Bestätigung dieser Wirkung beschreibt 18 die Abmessungen des geschleiften Leiters der dritten Ausführungsform. Wie gezeigt, weist er eine Struktur auf, in der eine quadratische Schleife von 4,5 mm in einer quadratischen Schleife von 6,5 mm enthalten ist. Die Leitungsbreite beträgt 0,5 mm. 19 zeigt die positionale Beziehung zur Mikrostreifenleitung 200, wenn eine Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100b von der Seite betrachtet wird. Der Abstand zwischen der Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100b und der Mikrostreifenleitung 200 beträgt 1,0 mm, und die Dicke des Dielektrikums 3 in der Elektromagnetisches-Feld-Sonde 100b beträgt 0,8 mm. 20 zeigt die Ergebnisse, die unter Verwendung einer Elektromagnetfeldsimulation unter dieser Bedingung berechnet wurden. Verglichen mit der ersten Ausführungsform, die durch die gestrichelte Linie gezeigt ist, versteht es sich, dass in der dritten Ausführungsform, die durch die durchgezogene Linie gezeigt ist, obwohl der Maximalwert des Kopplungsbetrags kleiner ist, die Verringerung des Kopplungsbetrags in der Mitte des geschleiften Leiters 12 unterdrückt wird.
Wie oben beschrieben, ist gemäß der Elektromagnetisches-Feld-Sonde der dritten Ausführungsform ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters spiralförmig zum Bereich innerhalb der Oberfläche erweitert, die die Schleife ausbildet, und somit kann eine stabilere Ausgangsspannung unabhängig von den Positionen und Richtungen des Prüflings und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde erhalten werden.
Vierte Ausführungsform.
Die vierte Ausführungsform ist ein Beispiel, bei dem eine Leiterplatte mit einer Leitungsbreite, die größer als die Leitungsbreite des geschleiften Leiters ist, mit einem Ende oder dem anderen Ende des geschleiften Leiters in einem Bereich innerhalb der Oberfläche verbunden ist, die die Schleife ausbildet. In der vierten Ausführungsform wird das Ende, das die Leiterplatte verbindet, als das andere Ende beschrieben, aber die gleiche Wirkung kann mit einem Ende erzielt werden.
21 ist eine perspektivische Explosionsansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Ausführungsform, und 22 ist eine Draufsicht, die die Form des geschleiften Leiters zeigt. Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde der vierten Ausführungsform wird nachstehend unter Bezugnahme auf diese Zeichnungen beschrieben.
In einem geschleiften Leiter 14 der vorliegenden Ausführungsform ist eine Leiterplatte 15, die breiter als die Leitungsbreite des geschleiften Leiters 14 ist, mit dem anderen Ende 14b verbunden. Die Form der Leiterplatte 15 ist nicht besonders beschränkt, solange sie einen Abschnitt aufweist, der breiter als die Leitungsbreite des geschleiften Leiters 14 ist, es ist jedoch wünschenswert, dass sie symmetrisch ist, wenn die Elektromagnetisches-Feld-Sonde relativ zum Prüfling gedreht wird, und daher wird eine kreisförmige Form oder ein regelmäßiges Polygon bevorzugt, und eine Anordnung in der Nähe der Mitte der Schleife des geschleiften Leiters 14 ist wünschenswert. Die Leiterplatte 15 ist über das Durchgangsloch 3b, das im Dielektrikum 3 bereitgestellt wird, und den Zwischenraum 2a, der in der Leiterplatte 2 bereitgestellt wird, mit dem Kerndraht 6a des Koaxialverbinders 6 verbunden. Ferner ist ein Ende 14a des geschleiften Leiters 14 wie in der ersten und zweiten Ausführungsform mit der Leiterplatte 2 über das Via 4 verbunden. Da die andere Konfiguration in 21 die gleiche wie die der in 9 gezeigten zweiten Ausführungsform ist, sind die entsprechenden Abschnitte mit denselben Bezugszeichen versehen, und auf ihre Beschreibung wird verzichtet.
Das Beispiel, das sich vom geschleiften Leiter 14 aus 21 und 22 unterscheidet, ist in 23 und 24 gezeigt. Ein geschleifter Leiter 16 aus 23 ist in einer kreisförmigen Form ausgebildet, und eine kreisförmige Leiterplatte 17 ist mit dem anderen Ende 16b verbunden. Ein geschleifter Leiter 18 aus 24 ist in einer quadratischen Form ausgebildet, und eine kreisförmige Leiterplatte 17 ist mit dem anderen Ende 18b verbunden. Es sei zu beachten, dass jedes der einen Enden 16a und 18a über das Via 4 mit der Leiterplatte 2 verbunden ist und die Leiterplatte 17 mit dem Kerndraht 6a des Koaxialverbinders 6 verbunden ist, wie bei dem in 22 gezeigten geschleiften Leiter 14. Wie in 23 und 24 gezeigt, kann die Form der Leiterplatte 17 mit dem geschleiften Leiter 16 (18) übereinstimmen oder nicht.
Wie oben beschrieben, können die Leiterplatten 15 und 17 in der vierten Ausführungsform das Empfangen der elektrischen Feldkomponente in einem Bereich erleichtern, in dem die empfangene Spannung in der Nähe der Mitte der Schleife dazu neigt, schwach zu sein. Der Grund, warum die elektrische Feldkomponente leicht empfangen werden kann, besteht darin, dass infolge einer Vergrößerung der Fläche der Elektromagnetisches-Feld-Sonde, die der Signalleitung der zu messenden Mikrostreifenleitung zugewandt ist, die elektrische Feldkomponente durch die elektrostatische Kapazität leicht detektiert werden kann. Andererseits, obwohl die Leiterplatte 2 auch die elektrische Feldkomponente empfängt, da der Abstand von der Mikrostreifenleitung groß ist und die Leiterplatten 15 und 17 und die geschleiften Leiter 14, 16, 18 zwischen der Mikrostreifenleitung und der Leiterplatte 2 liegen, ist es schwierig, durch das elektrische Feld von der Mikrostreifenleitung beeinflusst zu werden, und es wird leicht eine Potentialdifferenz zwischen der Leiterplatte 2 und den Leiterplatten 15, 17 erzeugt. Infolgedessen kann die empfangene Spannung im zentralen Bereich der Schleife erhöht werden.
Wie oben beschrieben kann gemäß der Elektromagnetisches-Feld-Sonde der vierten Ausführungsform, da ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters konfiguriert ist, um mit der Leiterplatte verbunden zu werden, deren Leitungsbreite größer ist als die Leitungsbreite des geschleiften Leiters in einem Bereich innerhalb der Oberfläche, die die Schleife ausbildet, eine stabilere Ausgangsspannung unabhängig von den Positionen und Richtungen des Prüflings und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde erhalten werden.
Fünfte Ausführungsform.
In einer fünften Ausführungsform werden eine Vielzahl von geschleiften Leitern bereitgestellt, und die Vielzahl von geschleiften Leitern sind verbunden, um einen kontinuierlichen geschleiften Leiter auszubilden. 25 ist eine perspektivische Explosionsansicht einer Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der fünften Ausführungsform, 26 ist eine Seitenansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde, und 27Aund 27B sind Draufsichten, die die Form eines geschleiften Leiters zeigen. Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde der fünften Ausführungsform wird nachstehend unter Bezugnahme auf diese Zeichnungen beschrieben.
Die Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der fünften Ausführungsform besteht aus einem dreischichtigen Substrat, wie in diesen Figuren gezeigt, und der geschleifte Leiter 12 der ersten Schicht und der geschleifte Leiter 19 der zweiten Schicht werden mit einem dazwischen liegenden Dielektrikum 31 bereitgestellt, und der geschleifte Leiter 19 der zweiten Schicht und die Leiterplatte 2 werden mit einem dazwischen liegenden Dielektrikum 32 bereitgestellt. Hier ist der geschleifte Leiter 12 der gleiche wie der geschleifte Leiter 12 der zweiten Ausführungsform. Der geschleifte Leiter 19 ist ein quadratischer geschleifter Leiter, und das Ende einer Seite ist das andere Ende 19b, und das Ende einer Seite in der Nähe des anderen Endes 19b ist das eine Ende 19a.
Ein Ende 12a des geschleiften Leiters 12 ist mit dem anderen Ende 19b des geschleiften Leiters 19 über ein Via 41 in einem Durchgangsloch 31a verbunden, das im Dielektrikum 31 bereitgestellt wird. Ferner ist der Kerndraht 6a des Koaxialverbinders 6 durch das im Dielektrikum 31 bereitgestellte Durchgangsloch 31b, das im Dielektrikum 32 bereitgestellte Durchgangsloch 32b und den in der Leiterplatte 2 bereitgestellten Zwischenraum 2a mit dem anderen Ende 12b des geschleiften Leiters 12 verbunden. Ferner ist ein Ende 19a des geschleiften Leiters 19 mit der Leiterplatte 2 über das Via 42 im Durchgangsloch 32a verbunden, das im Dielektrikum 32 bereitgestellt wird. Somit sind der geschleifte Leiter 12 und der geschleifte Leiter 19 mit der Leiterplatte 2 und dem Koaxialverbinder 6 als ein kontinuierlicher geschleifter Leiter verbunden. Es sei zu beachten, dass, obwohl die Außenabmessungen der geschleiften Leiter 12 und 19 in diesen Zeichnungen gleich sind, sie nicht besonders auf die gleichen Abmessungen beschränkt sind.
Im Allgemeinen ändert sich in der Schleifensonde die Stärke der Ausgangsspannung mit dem Betrag des Magnetflusses, der die Schleifenoberfläche durchdringt, und je größer die Menge des durchdringenden Magnetflusses ist, desto größer kann die Spannung ausgegeben werden. Da die Elektromagnetisches-Feld-Sonde der vorliegenden Erfindung auch ein Merkmal als Schleifensonde aufweist, kann die Ausgangsspannung durch Erhöhen der Windungszahl erhöht werden.
Um die Wirkung der fünften Ausführungsform zu bestätigen, wurde ein Prototyp hergestellt. 28 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines Prototyps der Elektromagnetisches-Feld-Sonde, 29 ist eine Seitenansicht der Elektromagnetisches-Feld-Sonde, und 30A, 30B und 30C sind Draufsichten, die die Form eines geschleiften Leiters zeigen. Die in diesen Figuren gezeigte Elektromagnetisches-Feld-Sonde besteht aus einem vierschichtigen Substrat, eine der vier Schichten wird mit der Leiterplatte 2 bereitgestellt, und die verbleibenden drei Schichten werden mit den geschleiften Leitern 18, 19, 11 bereitgestellt. Von den geschleiften Leitern 18, 19, 11 ist der geschleifte Leiter 18 der ersten Schicht der gleiche wie der in 24 gezeigte geschleifte Leiter 18 der vierten Ausführungsform, wie in 30C gezeigt. Wie in 30B gezeigt, ist der geschleifte Leiter 19 der zweiten Schicht dem in 25 bis 27A gezeigten geschleiften Leiter 19 ähnlich. Der geschleifte Leiter 11 der dritten Schicht ist der gleiche wie der in 5 und 6 der ersten Ausführungsform gezeigte geschleifte Leiter 11, wie in 30A gezeigt.
Die Dicke jedes der Dielektrika 33, 34, 35 beträgt 0,6 mm, und die Leiterplatte 2 weist 8 mm im Quadrat auf. Zusätzlich weisen die geschleiften Leiter 18, 19, 11 jeweils eine Leitungsbreite von 0,5 mm und ein Quadrat von 6,5 mm auf einer Seite auf, und die Leiterplatte 17 weist eine kreisförmige Form mit einem Durchmesser von 3 mm auf. Ein Ende 18a des geschleiften Leiters 18 ist mit dem anderen Ende 19b des geschleiften Leiters 19 über ein Via 43 in einem Durchgangsloch 33a verbunden, das im Dielektrikum 33 bereitgestellt wird. Ein Ende 19a des geschleiften Leiters 19 ist mit dem anderen Ende 11b des geschleiften Leiters 11 über ein Via 44 in einem Durchgangsloch 34a verbunden, das im Dielektrikum 34 bereitgestellt wird. Ein Ende 11a des geschleiften Leiters 11 ist mit der Leiterplatte 2 über ein Via 45 in einem Durchgangsloch 35a verbunden, das im Dielektrikum 35 bereitgestellt wird. Der Kerndraht 6a des Koaxialverbinders 6 ist mit der Leiterplatte 17 des geschleiften Leiters 18 durch den Zwischenraum 2a der Leiterplatte 2 und die Durchgangslöcher 35b, 34b und 33b verbunden.
31 zeigt den Betrag der Kopplung zwischen der Mikrostreifenleitung und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde bei 1 GHz, wenn die Elektromagnetisches-Feld-Sonde in der Richtung bewegt wird, die die Mikrostreifenleitung kreuzt, unter Verwendung der in 28 bis 30 gezeigten Elektromagnetisches-Feld-Sonde.
Wie durch C in der Figur gezeigt, ist der Abfall in der Mitte der Elektromagnetisches-Feld-Sonde bis zu etwa 2 dB klein, was eine ideale Eigenschaft ist. Ferner ist, wie in D gezeigt, die Wirkung, dass die Änderung in Reaktion auf den Winkel reduziert werden kann, die gleiche wie bei der ersten bis vierten Ausführungsform. In Bezug auf den Wert des Ausgangs (Kopplungsbetrag) behindert das Hinzufügen der Leiterplatte 17 den Magnetfluss durch die Schleife und wirkt somit in der Richtung der Reduzierung des Werts am Ende der Sonde (L = ± 4 mm), wo der Kopplungsbetrag maximal ist, verglichen mit dem Fall, wo die Leiterplatte 17 nicht vorhanden ist. Andererseits wird, da der Kopplungsbetrag durch Erhöhen der Windungszahl erhöht werden kann, der Maximalwert des Kopplungsbetrags nicht geändert, selbst wenn die Leiterplatte 17 hinzugefügt wird, und nur der Kopplungsbetrag am mittleren Abschnitt der Schleife kann durch die Wirkung der Leiterplatte 17 weiter erhöht werden.
Wie oben beschrieben, werden gemäß der Elektromagnetisches-Feld-Sonde der fünften Ausführungsform eine Vielzahl der geschleiften Leiter jeweils in unterschiedlichen Schichten bereitgestellt, ein Ende von jedem der geschleiften Leiter ist mit dem anderen Ende des geschleiften Leiters einer anderen Schicht verbunden und das andere Ende ist mit einem Ende des geschleiften Leiters einer anderen Schicht verbunden, um die Vielzahl von geschleiften Leitern in einen kontinuierlichen geschleiften Leiter umzuwandeln, und ein Ende des geschleiften Leiters, das nicht mit einem anderen geschleiften Leiter verbunden ist, ist mit der Leiterplatte verbunden und das andere Ende des geschleiften Leiters, das nicht mit einem anderen geschleiften Leiter verbunden ist, ist als der Signalausgangsanschluss angegeben, und daher kann eine stabilere Ausgangsspannung unabhängig von den Positionen und Richtungen des Prüflings und der Elektromagnetisches-Feld-Sonde erhalten werden.
INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
Wie oben beschrieben, betrifft die Elektromagnetisches-Feld-Sonde gemäß der vorliegenden Erfindung die Konfiguration einer Schleifensonde, die in der Nähe des Prüflings den durch den Prüfling fließenden Strom misst und zum Detektieren des auf der Verdrahtung der gedruckten Leiterplatte erzeugten Stroms geeignet ist.
Bezugszeichenliste

1, 11, 12, 13, 14, 16, 18, 19: geschleifter Leiter,
1a, 11a, 12a, 13a, 14a, 16a, 18a, 19a: eine Ende,
1b, 11b, 12b, 13b, 14b, 16b, 18b, 19b: das andere Ende,
2, 15, 17: Leiterplatte,
2a: Zwischenraum,
3, 31, 32, 33, 34, 35: Dielektrikum,
3a, 3b, 31a, 31b,32a, 32b, 33a, 33b, 34a, 34b, 35a, 35b: Durchgangsloch,
4, 7, 41, 42, 43, 44, 45: Via,
5a,5b: Leitungsdraht,
6: Koaxialverbinder,
6a: Kerndraht,
100, 100a, 100b: Elektromagnetisches-Feld-Sonde,
101: Drehachse,
102: Drehrichtung,
103: Bewegungsrichtung,
200: Mikrostreifenleitung,
201: Signalleitung,
202: Masseleiter,
203: Dielektrikum.

Claims

Elektromagnetisches-Feld-Sonde, umfassend: einen geschleiften Leiter (1) mit beiden Enden offen; und eine Leiterplatte (2), die parallel zu einer Schleifenoberfläche des geschleiften Leiters und nur auf einer Seite der Schleifenoberfläche angeordnet ist und eine Form aufweist, die den geschleiften Leiter (1) und einen Bereich innerhalb des geschleiften Leiters (1) bedeckt, wobei ein Ende der beiden Enden des geschleiften Leiters (1) mit der Leiterplatte (2) verbunden ist, ein anderes Ende mit einem Signalausgangsanschluss verbunden ist und eine Potentialdifferenz zwischen dem Signalausgangsanschluss und der Leiterplatte (2) als ein Messausgang angegeben ist, wobei ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters (1) in einem Bereich innerhalb einer Oberfläche positioniert ist, die eine Schleife ausbildet, und wobei ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters (1) mit einer anderen Leiterplatte (15, 17) verbunden ist, deren Leitungsbreite größer ist als eine Leitungsbreite des geschleiften Leiters (1) im Bereich innerhalb der Oberfläche, die die Schleife ausbildet.
Elektromagnetisches-Feld-Sonde nach Anspruch 1, wobei der Signalausgangsanschluss an einer in Bezug auf die Leiterplatte (2) gegenüberliegenden Seite des geschleiften Leiters (1) bereitgestellt ist.
Elektromagnetisches-Feld-Sonde nach Anspruch 1, wobei ein Ende oder das andere Ende des geschleiften Leiters (1) spiralförmig zum Bereich innerhalb der Oberfläche erweitert ist, die die Schleife ausbildet.
Elektromagnetisches-Feld-Sonde nach Anspruch 1, wobei eine Vielzahl der geschleiften Leiter (12, 19) jeweils in verschiedenen Schichten bereitgestellt werden, ein Ende von jedem der geschleiften Leiter mit dem anderen Ende des geschleiften Leiters einer anderen Schicht verbunden ist und das andere Ende mit einem Ende des geschleiften Leiters einer anderen Schicht verbunden ist, um die Vielzahl von geschleiften Leitern in einen kontinuierlichen geschleiften Leiter umzuwandeln, und ein Ende des geschleiften Leiters, das nicht mit einem anderen geschleiften Leiter verbunden ist, mit der Leiterplatte verbunden ist und das andere Ende des geschleiften Leiters, das nicht mit einem anderen geschleiften Leiter verbunden ist, als der Signalausgangsanschluss angegeben ist.