DE112017003160B4 - Elektronische Vorrichtung - Google Patents

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Abstract

Elektronische Vorrichtung (100), die Folgendes umfasst:eine Schutzschaltung, die eine in der elektronischen Vorrichtung (100) vorgesehene interne Schaltung schützt,eine Anschlussfläche (1), die ein externes Signal elektrisch verbindet;einen Schutzwiderstand (4), der zwischen der Anschlussfläche (1) und der internen Schaltung vorgesehen ist;ein erstes Verdrahtungselement (3), das an einer Endseite in einer Längsrichtung des Schutzwiderstands (4) angeordnet ist und mit der Anschlussfläche (1) elektrisch verbunden ist;ein zweites Verdrahtungselement (6), das an einer anderen Endseite in der Längsrichtung des Schutzwiderstands (4) angeordnet ist und mit der internen Schaltung elektrisch verbunden ist;mehrere erste Kontakte (2, 19, 26), die das erste Verdrahtungselement (3) und den Schutzwiderstand (4) elektrisch verbinden; undmehrere zweite Kontakte (5, 22, 27), die das zweite Verdrahtungselement (6) und den Schutzwiderstand (4) elektrisch verbinden,wobei das erste Verdrahtungselement (3) an der einen Endseite in Längsrichtung des Schutzwiderstands (4) angeordnet ist,das zweite Verdrahtungselement (6) an der anderen Endseite in der Längsrichtung des Schutzwiderstands (4) angeordnet ist,wobei die mehreren ersten Kontakte (2, 19, 26) so angeordnet sind, dass sie entlang der Längsrichtung des ersten Verdrahtungselements (3) aufgereiht sind,wobei die mehreren zweiten Kontakte (5, 22, 27) so angeordnet sind, dass sie entlang der Längsrichtung des zweiten Verdrahtungselements (6) aufgereiht sind,das erste Verdrahtungselement (3) und das zweite Verdrahtungselement (6) so angeordnet sind, dass sie über den Schutzwiderstand (4) einander zugewandt sind,die Anschlussfläche (1) mit einem Ende in der Längsrichtung des ersten Verdrahtungselements (3) elektrisch verbunden ist, unddie interne Schaltung mit einem Ende des zweiten Verdrahtungselements (6), das einem Ende, das einem Ende, mit dem die Anschlussfläche (1) des ersten Verdrahtungselements (3) verbunden ist, gegenüberliegt, zugewandt ist, elektrisch verbunden ist, wobei die elektronische Vorrichtung (100) dadurch gekennzeichnet ist, dasseine Widerstandsbreite (W4) des Schutzwiderstands (4) größer als eine Widerstandlänge (L4) des Schutzwiderstands (4) ist.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine elektronische Vorrichtung, die einen Schutzwiderstand, der auf einem Feldoxidfilm angeordnet ist, und Verdrahtungsschichten, die über Kontakte mit beiden Seiten des Schutzwiderstands verbunden sind, enthält.
  • Stand der Technik
  • Als das verwandte Gebiet der elektronischen Vorrichtung gibt es eine Sensorvorrichtung, die in WO 2013 / 018 134 A1 (PTL 1) offenbart ist. Die Sensorvorrichtung aus PTL 1 enthält einen Außenanschluss, mit dem eine äußere Vorrichtung verbunden ist, einen Masseanschluss, der mit der Masse verbunden ist, eine interne Schaltung, die ein Sensorausgangssignal erzeugt, und eine Schutzschaltung, die durch ein Widerstandselement und durch ein kapazitives Element, die zwischen dem äußeren Abschluss und der internen Schaltung vorgesehen sind, konfiguriert ist (siehe ZUSAMMENFASSUNG). In der Sensorvorrichtung ist das Widerstandselement z. B. unter Verwendung von Metallsilicid gebildet und ist eine Verdrahtung, die das Widerstandselement und das kapazitive Element elektrisch verbindet, z. B. unter Verwendung von Aluminium (AI) gebildet. Daraufhin sind in Verbindungsabschnitten zwischen der Verdrahtung und dem Widerstandselement und dem kapazitiven Element mehrere Kontakte vorgesehen, um eine herkömmliche Verbindung sicherzustellen (siehe Absatz 0038).
  • Darüber hinaus offenbart PTL 2 eine Halbleitervorrichtung mit dem Widerstandselement, einem ersten Kontakt zum Verbinden einer ersten Verdrahtung mit dem Widerstandselements und einem zweiten Kontakt zum Verbinden der zweiten Verdrahtung und dem Widerstandselements, wobei der erste Kontakt und der zweite Kontakts größer sind als die auf der Mindestregel basierenden Kontakte, die bei gewöhnlichen Elementen verwendet werden. Weiterhin offenbart PTL 3 ein dünnschichtiges Widerstandselement, wobei eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode, die mit dem dünnschichtiges Widerstandselement verbunden sind, eine dreigabige Spitze ausbilden und die erste und zweite Elektrode so angeordnet sind, dass ihre Spitzen einander gegenüberliegen. PTL 4 und PTL 6 offenbaren jeweils ein ESD-Schutzelement, das einen MOS-Transistor mit einer hohen ESD-Schutzcharakteristik umfasst. Darüber hinaus offenbart PTL 5 ein Halbleiterbauelement, das einen MOS-Transistor (Metalloxid-Halbleiter) mit mehreren Fingern (kammförmig) als Schutzelement gegen elektrostatische Entladungen (ESD) bereitstellt.
  • Liste der Entgegenhaltungen
  • Patentliteratur
    • PTL 1: WO 2013 / 018 134 A1
    • PTL 2: JP H03 - 175 637 A
    • PTL 3: JP 2002 - 8 901 A
    • PTL 4: US 2012 / 0 326 235 A1
    • PTL 5: US 2011 / 0 233 677 A1
    • PTL 6: US 2016 / 0 020 200 A1
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Technisches Problem
  • In dem in PTL 1 offenbarten verwandten Gebiet fehlt die Betrachtung eines zulässigen Stroms des Kontakts, der die Verdrahtung (im Folgenden als eine Verdrahtungsschicht bezeichnet) und das Widerstandselement (im Folgenden als ein Schutzwiderstand bezeichnet) verbindet.
  • In der elektronischen Vorrichtung besteht die Notwendigkeit, eine an eine Anschlussfläche angelegte Stoßspannung in der Weise zu unterbinden, dass sie gleich oder kleiner einer Substratdurchschlagsspannung ist. Somit besteht die Notwendigkeit, den Widerstandswert des Schutzwiderstands der elektronischen Vorrichtung zu verringern, so dass eine an die Anschlussfläche angelegte Spannung verringert wird, wenn eine Stoßspannung angelegt wird. Die Substratdurchschlagspannung in der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung, die einen feinen Prozess verwendet, ist niedrig, wobei ein niedriger Widerstandswert des Schutzwiderstands dringend erforderlich ist. Allerdings weist der Schutzwiderstand, der in der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung in dem verwandten Gebiet verwendet wird, einen kleinen zulässigen Strom des Schutzwiderstands auf und verringert er seinen Schutzwiderstandswert kaum.
  • Im Folgenden wird anhand von 17 bis 20 der Grund beschrieben, weshalb der zulässige Strom des Schutzwiderstands klein ist.
  • Eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung wird anhand von 17 beschrieben. 17 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung in einem Vergleichsbeispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
  • Eine Schutzschaltung 105X der elektronischen Vorrichtung aus 17 ist durch eine Anschlussfläche 10, die ein externes Signal verbindet, durch eine Verdrahtungsschicht 11, die die Anschlussfläche 10 und Kontakte 12, 13 und 14 verbindet, durch die Kontakte 12, 13 und 14, die die Verdrahtungsschicht 11 und einen Schutzwiderstand 15 verbinden, durch den Schutzwiderstand 15, der eine interne Schaltung vor Überspannungen und Rauschen, die von der Anschlussfläche 10 eintreten, schützt, und durch einen Kontakt 16 und eine Verdrahtungsschicht 17, die den Schutzwiderstand 15 mit der internen Schaltung verbinden, konfiguriert.
  • Anhand von 18 wird eine Verbindungsstruktur der Verdrahtungsschicht 11 und des Schutzwiderstands 15 beschrieben. 18 ist eine schematische Darstellung, die einen Querschnitt entlang der Linie A-A' aus 17 darstellt.
  • Die Verdrahtungsschicht 11 und der Schutzwiderstand 15 sind in unterschiedlichen Schichten gebildet. Die Verdrahtungsschicht 11, die in einer oberen Schicht gebildet ist, und der Schutzwiderstand 15, der in einer unteren Schicht gebildet ist, sind über die zwischen den Schichten gebildeten Kontakte 12, 13 und 14 elektrisch verbunden. Allgemein ist gegenwärtig in der Verdrahtungsschicht 11 eine Aluminiumverdrahtung verwendet und ist in den Kontakten 12, 13 und 14 eine Wolframverdrahtung verwendet. Außerdem sind in dem Schutzwiderstand 15 in vielen Fällen Polysilicium und Silicid verwendet.
  • Nachfolgend wird anhand von 19 eine Ersatzschaltung eines Kontaktabschnitts in der Schutzschaltung aus 17 beschrieben. 19 ist ein Stromlaufplan, der die Ersatzschaltung des Kontaktabschnitts der Schutzschaltung in 17 darstellt.
  • In 19 ist die Verdrahtungsschicht 11 durch einen Widerstand Rm dargestellt und ist als ein repräsentativer Aluminiumwiderstandswert ein Flächenwiderstandswert von 0,1 Ω/□ verwendet. Die Kontakte 12, 13 und 14 sind durch Widerstände Rc repräsentiert, wobei als ein Widerstandswert 0,3 Ω/EA verwendet ist. Außerdem ist der Schutzwiderstand 15 durch einen Widerstand Rp repräsentiert und ist als ein repräsentativer Polysiliciumwiderstandswert ein Flächenwiderstandswert von 20 Ω/□ verwendet.
  • Unter Verwendung der Ersatzschaltung aus 19 werden die Ströme 11, 12, 13 berechnet, die durch die Kontakte 12, 13 und 14 fließen. In 20 ist ein Berechnungsergebnis dargestellt. 20 stellt ein Berechnungsergebnis des Stroms jedes Kontakts der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung in 11 dar.
  • Im Ergebnis ist der durch den Kontakt 14 fließende Strom I3 am höchsten und fließt der meiste Strom durch den Kontakt 14. Die Ströme I1 und 12, die durch die Kontakte 12 und 13 fließen, sind im Vergleich zu dem Strom I3 erheblich kleiner, wobei durch die Kontakte 12 und 13 weniger Strom fließt. Mit anderen Worten, der Strom fließt durch den Kontakt 14, der in einer Flussrichtung des Stroms auf einer Mittelseite des Schutzwiderstands 15 angeordnet ist (d. h. durch den Kontakt 14, der dem Kontakt 16 und der mit der internen Schaltung verbundenen Verdrahtungsschicht 17 am nächsten ist), während der Strom durch die Kontakte 12 und 13, die von dem Schutzwiderstand 15 beabstandet sind, kaum fließt.
  • Das Berechnungsergebnis zeigt, dass zu einem zulässigen Stromwert (im Folgenden als ein zulässiger Strom bezeichnet) des Schutzwiderstands 15 nur der Kontakt 14 beiträgt, der die Länge (die Schutzwiderstandslänge) des Schutzwiderstands 15 am kürzesten macht. Dagegen tragen die Kontakte 12 und 13, die die Länge (die Schutzwiderstandslänge) des Schutzwiderstands 15 größer machen als im Fall des Kontakts 14, zu dem zulässigen Strom nicht bei.
  • Es wird hier eine Beschränkung des durch jeden Kontakt fließenden Stroms und des zulässigen Stromwerts (im Folgenden als ein zulässiger Strom bezeichnet) für jeden Kontakt bestimmt. Außerdem wird eine Widerstandsbreite des Schutzwiderstands 15 durch einen zulässigen Verlust und durch einen Widerstandswert des Schutzwiderstands 15 bestimmt. Der zulässige Verlust des Schutzwiderstands 15 wird nahezu durch eine Widerstandsfläche bestimmt. Außerdem wird der Widerstandswert des Schutzwiderstands 15 durch einen Schaltungsentwurf bestimmt. Außerdem wird die Größe des Kontakts aus einem Herstellungsprozess bestimmt. Mit diesen Konfigurationen wird die Anzahl der Kontakte (der Kontakte, die die Länge des Schutzwiderstands verkürzen können), die in dem Schutzwiderstand 15 angeordnet sein können und die zu dem zulässigen Strom beitragen, falls die Widerstandsbreite des Schutzwiderstands 15 zur Zeit des Entwurfs der Schaltung bestimmt wird, bestimmt. Im Ergebnis wird der zulässige Strom des Schutzwiderstands 15 bestimmt.
  • Mit anderen Worten, falls die Widerstandsbreite des Schutzwiderstands 15 bestimmt wird, wird der zulässige Strom bestimmt. Mit anderen Worten, der zulässige Strom ist durch die Widerstandsbreite des Schutzwiderstands 15 beschränkt. Das heißt, dass der Kontakt zerstört wird, bevor der Schutzwiderstand 15 zerstört wird, falls an die Schutzschaltung eine Stoßspannung angelegt wird, wobei der Kontakt den zulässigen Strom der Schutzschaltung beschränkt. Dies tritt nicht nur in der Verdrahtungsschicht 11, sondern auch in der Verdrahtungsschicht 17 auf.
  • Die Erfindung wurde angesichts der obigen Probleme gemacht und es ist ihre Aufgabe, eine elektronische Vorrichtung zu schaffen, die einen Schutzwiderstand mit einem hohen zulässigen Strom enthält.
  • Lösung des Problems
  • Zur Lösung der obigen Aufgabe enthält eine elektronische Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung: in einer Schutzschaltung, die eine in der elektronischen Vorrichtung vorgesehene interne Schaltung schützt, eine Anschlussfläche, die ein externes Signal elektrisch verbindet; einen Schutzwiderstand, der zwischen der Anschlussfläche und der internen Schaltung vorgesehen ist; eine erste Verdrahtungsschicht, die an einer Endseite in einer Längsrichtung des Schutzwiderstands angeordnet ist und mit der Anschlussfläche elektrisch verbunden ist; eine zweite Verdrahtungsschicht, die an einer anderen Endseite in der Längsrichtung des Schutzwiderstands angeordnet ist und mit der internen Schaltung elektrisch verbunden ist; mehrere erste Kontakte, die die erste Verdrahtungsschicht und den Schutzwiderstand elektrisch verbinden; und mehrere zweite Kontakte, die die zweite Verdrahtungsschicht und den Schutzwiderstand elektrisch verbinden,
    wobei die erste Verdrahtungsschicht an der einen Endseite in Längsrichtung des Schutzwiderstands angeordnet ist und in der Weise verlängert ist, dass eine Längsrichtung entlang einer Breitenrichtung vertikal zu der Längsrichtung ist,
    die zweite Verdrahtungsschicht an der anderen Endseite in der Längsrichtung des Schutzwiderstands angeordnet ist und in der Weise verlängert ist, dass eine Längsrichtung entlang der Breitenrichtung ist,
    die mehreren ersten Kontakte so angeordnet sind, dass sie entlang der Längsrichtung der ersten Verdrahtungsschicht aufgereiht sind,
    die mehreren zweiten Kontakte so angeordnet sind, dass sie entlang der Längsrichtung der zweiten Verdrahtungsschicht aufgereiht sind,
    die erste Verdrahtungsschicht und die zweite Verdrahtungsschicht so angeordnet sind, dass sie über den Schutzwiderstand einander zugewandt sind,
    die Anschlussfläche mit einem Ende in der Längsrichtung der ersten Verdrahtungsschicht elektrisch verbunden ist, und
    die interne Schaltung mit einem Ende der zweiten Verdrahtungsschicht, das einem Ende, das einem Ende, mit dem die Anschlussfläche der ersten Verdrahtungsschicht verbunden ist, gegenüberliegt, zugewandt ist, elektrisch verbunden ist.
  • Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine elektronische Vorrichtung zu schaffen, die einen zulässigen Strom eines Kontakts, der eine Verdrahtungsschicht und einen Schutzwiderstand elektrisch verbindet, erhöhen kann und die einen Schutzwiderstand mit einem hohen zulässigen Strom enthält. Andere Aufgaben, Konfigurationen und Wirkungen als die oben beschriebenen werden durch die Erläuterung der folgenden Ausführungsformen klar.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration einer Schutzschaltung einer elektronischen Vorrichtung einer ersten Ausführungsform darstellt.
    • 2 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschichten 3 und 6 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der ersten Ausführungsform beseitigt sind.
    • 3 ist eine schematische Darstellung entlang der Linie A-A' aus 1.
    • 4 ist ein Diagramm, das eine Beziehung zwischen einem Flächenwiderstandswert und einer Widerstandsbreite eines Schutzwiderstands darstellt.
    • 5 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Anordnung einer Anschlussfläche 1 der Schutzschaltung der elektronischen der elektronischen Vorrichtung der ersten Ausführungsform geändert ist.
    • 6 ist ein Stromlaufplan, der eine Ersatzschaltung der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der ersten Ausführungsform darstellt.
    • 7 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer zweiten Ausführungsform darstellt.
    • 8 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschichten 20 und 23 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der zweiten Ausführungsform beseitigt sind.
    • 9 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer dritten Ausführungsform darstellt.
    • 10 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschicht 25 und 32 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der dritten Ausführungsform beseitigt sind.
    • 11 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer vierten Ausführungsform darstellt.
    • 12 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschichten 37 und 41 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der vierten Ausführungsform beseitigt sind.
    • 13 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer fünften Ausführungsform darstellt.
    • 14 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschichten 45 und 53 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der fünften Ausführungsform beseitigt sind.
    • 15 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer sechsten Ausführungsform darstellt.
    • 16 ist ein Stromlaufplan, der eine Konfiguration der elektronischen Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
    • 17 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung in einem Vergleichsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt.
    • 18 ist eine schematische Darstellung, die einen Querschnitt entlang der Linie A-A' aus 11 darstellt.
    • 19 ist ein Stromlaufplan, der eine Ersatzschaltung eines Kontaktabschnitts der Schutzschaltung aus 11 darstellt.
    • 20 sind Berechnungsergebnisse von Strömen von Kontakten der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung aus 11.
  • Beschreibung von Ausführungsformen
  • Im Folgenden werden anhand der Zeichnungen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beschrieben.
  • Im Folgenden wird als eine Ausführungsform einer elektronischen Vorrichtung ein Beispiel beschrieben, das auf eine Strömungssensorvorrichtung 100 für Fahrzeuge angewendet ist. Allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht auf die Strömungssensorvorrichtung 100 im Fahrzeug beschränkt und kann sie umfassend auf eine elektronische Vorrichtung 100, die eine Sensorvorrichtung zum Detektieren einer physikalischen Größe wie etwa einen Drucksensor, einen Beschleunigungssensor oder einen Winkelgeschwindigkeitssensor enthält, angewendet werden.
  • Die Strömungssensorvorrichtung 100 gemäß dieser Ausführungsform wird unter Verwendung von 16 beschrieben. 16 ist ein Stromlaufplan, der eine Konfiguration der elektronischen Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • Die Strömungssensorvorrichtung 100 ist durch eine LSI 120, durch ein Sensorelement 121 und durch einen Temperatursensor 122 konfiguriert. Die LSI 120 ist über einen Leistungsanschluss 102a, über einen Sensorausgangsanschluss 102b und über einen Massenanschluss 103 mit einer externen Vorrichtung verbunden. Der Leistungsanschluss 102a und der Sensorausgangsanschluss 102b entsprechen Anschlussflächen einer im Folgenden beschriebenen Schutzschaltung.
  • Außerdem enthält die LSI 120 eine interne Schaltung 104, die von dem Sensorelement 121 und von dem Temperatursensor 122 erfasste Signale verarbeitet und ein Sensorausgangssignal ausgibt, und eine Schutzschaltung 105 (105a bis 105d), die die interne Schaltung 104 vor Rauschen schützt, das von außen eintritt. Die Schutzschaltung 105a ist zwischen dem Leistungsanschluss 102a und der internen Schaltung 104, die Schutzschaltung 105b ist zwischen dem Sensorausgangsanschluss 102b und der internen Schaltung 104 und die Schutzschaltungen 105c und 105d sind zwischen einer Kontaktierungsanschlussfläche 130c und der internen Schaltung 104 angeordnet.
  • Die Schutzschaltung 105 (105a bis 105d) enthält einen Widerstand 106 und einen Kondensator (ein kapazitives Element) 107. Der Widerstand 106 ist zwischen den Anschlussflächen (Anschlüssen) 102a, 102b und 130c und der internen Schaltung 104 elektrisch in Reihe geschaltet. Eine Elektrode des Kondensators 107 ist mit einer Verdrahtung zwischen dem Widerstand 106 und der internen Schaltung 104 elektrisch verbunden und die andere Elektrode ist mit dem Massepotential elektrisch verbunden. Mit dieser Konfiguration ist die Verdrahtung zwischen dem Widerstand 106 und der internen Schaltung 104 über den Kondensator 107 mit dem Massepotential elektrisch verbunden.
  • Das Sensorelement 121 enthält eine Detektionseinheit 123 und eine Kontaktierungsanschlussfläche 130b und ist über einen Kontaktierungsdraht 131 von der Kontaktierungsanschlussfläche 130b mit einer Kontaktierungsanschlussfläche 130a der LSI120 elektrisch verbunden.
  • Der Temperatursensor 122 enthält einen Thermistor 124 und eine Kontaktierungsanschlussfläche 130d und ist über den Kontaktierungsdraht 131 von der Kontaktierungsanschlussfläche 130d mit der Kontaktierungsanschlussfläche 130c der LSI 120 elektrisch verbunden.
  • Die oben beschriebene elektronische Vorrichtung 100 ist auf jede im Folgenden beschriebene Ausführungsform gemeinsam anwendbar.
  • Nachfolgend wird die Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.
  • [Erste Ausführungsform]
  • Die elektronische Vorrichtung einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird anhand von 1 bis 6 beschrieben. 1 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der ersten Ausführungsform darstellt. 2 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschichten 3 und 6 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der ersten Ausführungsform beseitigt sind. 3 ist eine schematische Darstellung, die einen Querschnitt entlang der Linie A-A' aus 1 darstellt. 4 ist ein Diagramm, das eine Beziehung zwischen einem Flächenwiderstandswert und einer Widerstandsbreite eines Schutzwiderstands darstellt. 5 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Anordnung einer Anschlussfläche 1 der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der ersten Ausführungsform geändert ist. 6 ist ein Stromlaufplan, der eine Ersatzschaltung der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der ersten Ausführungsform darstellt.
  • Die Schutzschaltung 105A der elektronischen Vorrichtung 100 dieser Ausführungsform ist so konfiguriert, dass sie die Anschlussfläche 1, die Verdrahtungsschicht (die erste Verdrahtungsschicht) 3, einen Kontakt (einen ersten Kontakt) 2, einen Schutzwiderstand 4, einen Kontakt (einen zweiten Kontakt) 5 und die Verdrahtungsschicht (die zweite Verdrahtungsschicht) 6 enthält. Die Anschlussfläche 1 ist ein Anschlussabschnitt zum Verbinden eines externen Signals mit einer Schutzschaltung 105A. Die Verdrahtungsschicht 3 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Anschlussfläche 1 und des Kontakts 2. Der Kontakt 2 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Verdrahtungsschicht 3 und des Schutzwiderstands 4. Der Schutzwiderstand 4 ist eine Schaltungskomponente (ein Schaltungselement) zum Schützen der internen Schaltung vor Überspannungen und Rauschen, die von der Anschlussfläche 1 eintreten. Der Kontakt 5 und die Verdrahtungsschicht 6 sind in Bezug auf den Schutzwiderstand 4 in einer Stromflussrichtung i (1) auf einer gegenüberliegenden Seite des Kontakts 2 und der Verdrahtungsschicht 3 vorgesehen und verbinden den Schutzwiderstand 4 mit der internen Schaltung.
  • Ferner sind die Verdrahtungsschichten 3 und 6 und der Schutzwiderstand 4 auf dem Substrat in verschiedenen Schichten gebildet. Die Verdrahtungsschichten 3 und 6 sind in Bezug auf den Schutzwiderstand 4 auf der oberen Schicht angeordnet und der Schutzwiderstand 4 ist in Bezug auf die Verdrahtungsschichten 3 und 6 in der unteren Schicht angeordnet. Die in der oberen Schicht gebildete Verdrahtungsschicht 3 und der in der unteren Schicht gebildete Schutzwiderstand 4 sind über den Kontakt 2, der zwischen der Schicht, wo die Verdrahtungsschicht 3 gebildet ist, und der Schicht, wo der Schutzwiderstand 4 gebildet ist, gebildet ist, elektrisch verbunden. Außerdem sind die in der oberen Schicht gebildete Verdrahtungsschicht 6 und der in der unteren Schicht gebildete Schutzwiderstand 4 über den Kontakt 5, der zwischen der Schicht, wo die Verdrahtungsschicht 6 gebildet ist, und der Schicht, wo der Schutzwiderstand 4 gebildet ist, gebildet ist, elektrisch verbunden.
  • Außerdem ist der Schutzwiderstand 4 auf einem Feldoxidfilm 8 angeordnet, der auf einem Siliciumsubstrat 9 angeordnet ist, und ist in dem oberen Abschnitt ein Zwischenschichtoxidfilm 7 angeordnet. Mit dem Schutzwiderstand 4, der auf dem Feldoxidfilm 8 angeordnet ist, kann eine Stehspannung des Schutzwiderstands 4 zu der Masse (eine Stehspannung in Bezug auf das Siliciumsubstrat 9) verbessert sein und ist es möglich, eine hohe Stehspannung gegen von der Anschlussfläche 1 angelegte Überspannungen und Rauschen zu haben.
  • Der Schutzwiderstand 4 ist für einen hohen zulässigen Verlust, für eine hohe Stehspannung zu der Masse und für einen hohen zulässigen Strom erforderlich. Der zulässige Verlust des Schutzwiderstands 4 ist gemäß einer Fläche des Schutzwiderstands 4 bestimmt und die Stehspannung des Schutzwiderstands 4 zu der Masse ist durch eine Dicke des Feldoxidfilms 8 bestimmt. Außerdem ist der zulässige Strom des Schutzwiderstands 4 wie oben beschrieben durch eine Breite W4 (siehe 2) des Schutzwiderstands 4 bestimmt. Falls hier die Breite W4 des Schutzwiderstands 4 erhöht wird, während die Fläche (der zulässige Verlust) des Schutzwiderstands 4 und ein Widerstandswert des Schutzwiderstands 4 konstant gehalten werden, kann, wie in 4 dargestellt ist, ein hoher Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 4 verwirklicht werden. Mit anderen Worten, in dieser Ausführungsform ist der Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 4 hoch eingestellt und ist eine Widerstandsbreite W4 in Bezug auf eine Widerstandslänge L4 lang eingestellt (siehe 2). Somit ist die Anzahl der Kontakte, die auf beiden Seiten des Schutzwiderstands 4 angeordnet sind, erhöht und ist der zulässige Strom erhöht. Außerdem sind die Breiten W3 und W6 der Verdrahtungsschichten 3 und 6 (1) ebenfalls hoch und wird somit unterbunden, dass der zulässige Strom durch den Einfluss der Verdrahtungsschichten 3 und 6 beschränkt ist.
  • Außerdem ist die Anschlussfläche 1 auf der linken Seite des Schutzwiderstands 4 angeordnet, um den durch jeden der Kontakte 2 und 5 fließenden Strom anzugleichen. Falls die Anschlussfläche 1, wie in 5 dargestellt ist, auf der Oberseite des Schutzwiderstands 4 angeordnet ist, ist ein von der Anschlussfläche 1 fließender Stoßstrom in dem Mittelabschnitt des Schutzwiderstands 4 (wo der Stromweg zu dem Mittelabschnitt am kürzesten ist) konzentriert und sind der zulässige Verlust des Schutzwiderstands 4 und der zulässige Strom verringert. Im Gegensatz dazu ist die Anschlussfläche 1, wie in 1 dargestellt ist, auf der linken Seite des Schutzwiderstands 4 angeordnet, so dass der Stoßstrom gleich verteilt werden und durch alle Kontakte 2 und 5 fließen kann.
  • Mit anderen Worten, in dieser Ausführungsform sind die Verdrahtungsschichten 3 und 6 in der Weise gebildet, dass eine Längsrichtung der Breite W4 des Schutzwiderstands 4 lang ist, und sind die Kontakte 2 und 5 entlang der Richtung der Breite W4 verteilt. In diesem Fall sind zwei Verdrahtungsschichten 3 und 6 in der Weise angeordnet, dass sich ein Ende 6A der Verdrahtungsschicht 6 auf der Seite eines Endes 3A der Verdrahtungsschicht 3 befindet und das andere Ende 6B der Verdrahtungsschicht 6 auf der Seite eines anderen Endes 3B der Verdrahtungsschicht 3 befindet. Ferner sind die zwei Verdrahtungsschichten 3 und 6 in dieser Ausführungsform parallel angeordnet, so dass die Längsrichtungen entlang der Richtungen der Breiten W3 und W6 sind.
  • Daraufhin ist die Anschlussfläche 1 mit dem einen Ende 3A in Richtung der Breite W3 der Verdrahtungsschicht 3 (derselben Richtung wie der der Breite W4) elektrisch verbunden. Andererseits ist in der Verdrahtungsschicht 6 das Ende 6B, das dem Ende 3B auf der gegenüberliegenden Seite des mit der Anschlussfläche 1 der Verdrahtungsschicht 3 verbundenen Endes 3A entspricht, in Richtung der Breite W6 der Verdrahtungsschicht 6 (derselben Richtung wie der der Breite W4) mit der internen Schaltung elektrisch verbunden. Mit anderen Worten, das mit der Anschlussfläche 1 in der Verdrahtungsschicht 3 verbundene Ende 3A und das mit der internen Schaltung in der Verdrahtungsschicht 6 verbundene Ende 6B sind so angeordnet, dass sie sich in Richtung der Breite W4 in Bezug auf den Schutzwiderstand 4 auf gegenüberliegenden Seiten befinden.
  • Nachfolgend wird anhand von 6 eine Betriebswirkung der Schutzschaltung 105A dieser Ausführungsform beschrieben. 6 ist ein Stromlaufplan, der eine Ersatzschaltung der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der ersten Ausführungsform darstellt.
  • In 6 sind die Verdrahtungsschichten 3 und 6 durch den Widerstandswert Rm repräsentiert und ist ein repräsentativer Flächenwiderstandswert von 0,1 Ω/□ von Aluminium verwendet. Der Widerstandswert jedes der Kontakte 2 und 5 ist durch den Widerstandswert Rc repräsentiert, wobei als ein Widerstandswert 0,3 Ω/EA verwendet ist. Außerdem ist der Schutzwiderstand 4 durch den Widerstandswert Rp repräsentiert, wobei ein repräsentativer Flächenwiderstandswert von 20 Q/□ von Polysilicium verwendet ist. In der Ersatzschaltung ist eine Summe des Widerstandswerts jedes Stromwegs gleich, wobei galvanisch der gleiche Strom fließt. Somit ist der Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 4 hoch eingestellt und ist die Widerstandsbreite W4 in Bezug auf die Widerstandsbreite L4 hoch eingestellt, so dass eine Ähnlichkeit der in 6 dargestellten Ersatzschaltung hoch wird und so dass der Strom gleichförmiger zu jedem der Kontakte 2 und 5 fließt. Mit diesen Konfigurationen wird der Strom weniger in einen spezifischen Kontakt konzentriert und kann eine Verringerung des zulässigen Stroms der Schutzschaltung 105A verhindert werden.
  • Außerdem sind ebenfalls hinsichtlich des Stoßstroms alle Kontakte 2 und 5 auf einem geraden Stromweg von der Anschlussfläche 1 oder auf einem geraden Stromweg in Richtung der internen Schaltung. Ferner ist die Richtung des Stroms bei dem Kontakt 2 in der Weise gebogen, dass der in der Rechtsrichtung (der Richtung einer Widerstandsbreite W3) der Verdrahtungsschicht 3 in der Zeichnung fließende Strom in Richtung der unteren Richtung des Schutzwiderstands 4 in der Zeichnung (der Richtung der Widerstandslänge L4) fließt, wobei aber die Biegung bei allen Kontakten 2 gleich eingestellt ist. Somit fließt der Strom im Vergleich zu der Schaltungskonfiguration aus 5 zu allen Kontakten 2 gleich, selbst wenn der Strom wie der Stoßstrom eine starke Geradlinigkeit aufweist. Außerdem ist der Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 4 hoch eingestellt, so dass ein Temperaturkoeffizient des Widerstandswerts ebenfalls hoch wird. Somit wird eine Stromverteilungswirkung ebenfalls durch Strahlung des Stroms erhöht. Ferner wird die Stromkonzentration verringert und kann eine Verringerung des zulässigen Stroms verhindert werden.
  • Um die obige Betriebswirkung zu erhöhen, sind die in den Verdrahtungsschichten 3 und 6 angeordneten Kontakte 2 und 5 in der Schutzschaltung 15A dieser Ausführungsform entlang der Längsrichtung der Verdrahtungsschichten 3 und 6 (der Richtung der Breiten W3,W4 und W5) auf einer Linie angeordnet. Mit dieser Konfiguration kann die Widerstandslänge des mit den Kontakten 2 und 5 verbundenen Schutzwiderstands 4 angeglichen werden und kann der Widerstandswert des mit den Kontakten 2 und 5 verbundenen Schutzwiderstands 4 angeglichen werden.
  • Mit anderen Worten, in dieser Ausführungsform ist der Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 4 hoch eingestellt, um die Widerstandsbreite W4 in Bezug auf die Widerstandslänge L4 lang zu machen. Somit ist die Anzahl der auf beiden Seiten des Schutzwiderstands 4 angeordneten Kontakte erhöht, so dass der zulässige Strom erhöht sein kann. Außerdem ist die Richtung des durch die Verdrahtungsschichten 3 und 6 fließenden Stroms verschieden von der Richtung des durch den Schutzwiderstand 4 fließenden Stroms eingestellt. Somit wird die Biegung des Stroms bei allen Kontakten 2 angeglichen, so dass es möglich ist, eine Stromkonzentration an einen spezifischen Kontakt zu verringern und den zulässigen Strom zu verringern, wenn die Richtung des in der Verdrahtungsschicht 3 fließenden Stroms bei dem Kontakt 2 geändert wird.
  • Außerdem ist in dieser Ausführungsform ein Abstand der Kontakte 2 und 5 auf das 3-fache der Größe der Kontakte 2 und 5 eingestellt. Wie oben beschrieben wurde, ist der Kontakt aus Wolfram konfiguriert und weist er einen hohen spezifischen Widerstand wie Metall auf und strahlt er somit durch den Strom viel Wärme ab. Außerdem ist Wolfram ein Metall mit einem hohen Elastizitätsmodul und starr. Somit können die Kontakte 2 und 5 wegen der durch den Stoßstrom verursachten Strahlung und der durch Wärmeausdehnung von Wolfram selbst verursachten Belastung zerstört werden, falls, wie im verwandten Gebiet beschrieben ist, eine Anzahl von Kontakten 2 und 5 mit einer minimalen Dimension ausgerichtet sind. Um das Problem zu vermeiden, sind in dieser Ausführungsform die Anzahl der Reihen der Kontakte 2 und 5 auf eine Linie eingestellt und ist ein Abstand zwischen den Kontakten verbreitert, um viel thermische Belastung zu verhindern. Mit einer solchen Konfiguration wird eine Verringerung des zulässigen Stroms der Kontakte 2 und 5 unterbunden und wird in der Schutzschaltung 105A ein hoher zulässiger Strom erhalten.
  • Außerdem sind in dieser Ausführungsform die Widerstandsbreite W4 groß und die Widerstandslänge L4 klein, so dass eine Entfernung von dem Kontakt 2 des Schutzwiderstands 4 zu dem Kontakt 5 kurz ist und die breiten Verdrahtungsschichten 3 und 6 mit den Kontakten 2 und 5 verbunden sind. Somit wird die Strahlung von dem Schutzwiderstand 4 durch den Feldoxidfilm 8 zu dem Siliciumsubstrat 9 abgeleitet und ist somit die Strahlung von den Kontakten 2 und 5 durch die Verdrahtungsschichten 3 und 6 ebenfalls erhöht. Im Ergebnis kann der zulässige Verlust des Schutzwiderstands 4 erhöht sein.
  • [Zweite Ausführungsform]
  • Nachfolgend wird anhand von 7 und 8 die Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 7 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der zweiten Ausführungsform darstellt. 8 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschichten 20 und 23 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der zweiten Ausführungsform beseitigt sind.
  • Eine Schutzschaltung 105B der elektronischen Vorrichtung 100 dieser Ausführungsform ist so konfiguriert, dass sie eine Anschlussfläche 18, die Verdrahtungsschicht (die erste Verdrahtungsschicht) 20, einen Kontakt (einen ersten Kontakt) 19, einen Schutzwiderstand 21, einen Kontakt (einen zweiten Kontakt) 22 und die Verdrahtungsschicht (die zweite Verdrahtungsschicht) 23 enthält. Die Anschlussfläche 18 ist ein Anschlussabschnitt zum Verbinden eines externen Signals mit der Schutzschaltung 105B. Die Verdrahtungsschicht 20 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Anschlussfläche 18 mit dem Kontakt 19. Der Kontakt 19 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Verdrahtungsschicht 20 und des Schutzwiderstands 21. Der Schutzwiderstand 21 ist eine Schaltungskomponente (ein Schaltungselement) zum Schützen der internen Schaltung vor Überspannungen und Rauschen, die von der Anschlussfläche 18 eintreten. Der Kontakt 22 und die Verdrahtungsschicht 23 sind in Bezug auf den Schutzwiderstand 21 in einer Stromflussrichtung i (siehe 7) auf einer gegenüberliegenden Seite des Kontakts 19 und der Verdrahtungsschicht 20 vorgesehen und verbinden den Schutzwiderstand 21 mit der internen Schaltung.
  • Grundsätzlich ist diese Ausführungsform dieselbe wie die erste Ausführungsform, wobei der Schutzwiderstand 21 aber so geformt ist, dass eine Widerstandslänge L4A auf einer Seite der Anschlussfläche 18 größer als eine Widerstandslänge L4B auf der gegenüberliegenden Seite ist. Mit anderen Worten, der Schutzwiderstand 21 ist in der Weise gebildet, dass die Längsdimension L4A in einer Längsrichtung an einer Endseite, die mit der Anschlussfläche 18 in der Verdrahtungsschicht 20 verbunden ist, größer als die Längsdimension L4B in der Längsrichtung auf einer anderen Endseite der Verdrahtungsschicht 20 ist.
  • Somit ist der ungleiche Strom zwischen den Kontakten 19 und 22, der durch einen Einfluss der Induktivität der Verdrahtungsschicht 20 verursacht ist, verringert und fließt der von der Anschlussfläche 18 zu jedem Kontakt 19 fließende Strom gleichmäßiger. Somit kann eine Verringerung des zulässigen Stroms der Schutzschaltung 105B verhindert werden, da es möglich ist zu verringern, dass der Strom an den spezifischen Kontakten 19 und 22 konzentriert wird.
  • In dieser Ausführungsform sind die Verdrahtungsschicht 20 und die Verdrahtungsschicht 23 entlang der Richtung der Breite W21 des Schutzwiderstands 21 in einem nicht parallelen Zustand (geneigten Zustand) angeordnet. Obgleich die Verdrahtungsschicht 20 und die Verdrahtungsschicht 23 nicht parallel sind, sind die Längsrichtungen der zwei Verdrahtungsschichten 20 und 23 entlang der Richtung der Breite W21 des Schutzwiderstands 21 angeordnet.
  • Außer den oben beschriebenen sind die Konfigurationen ähnlich jenen der ersten Ausführungsform und auch in dieser Ausführungsform können die Betriebswirkungen der ersten Ausführungsform erhalten werden.
  • [Dritte Ausführungsform]
  • Nachfolgend wird anhand von 9 und 10 die Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 9 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der dritten Ausführungsform darstellt. 10 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der Verdrahtungsschichten 25 und 32 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der dritten Ausführungsform beseitigt sind.
  • Eine Schutzschaltung 105C der elektronischen Vorrichtung 100 dieser Ausführungsform ist so konfiguriert, dass sie eine Anschlussfläche 24, die Verdrahtungsschichten 25 und 32, Kontakte 26, 17, 18 und 30 und Schutzwiderstände 29 und 31 enthält. Ferner enthält die Verdrahtungsschicht (die erste Verdrahtungsschicht) 25 in dieser Ausführungsform einen ersten Verdrahtungsabschnitt 25A, der entlang einer Richtung einer Breite W31 des Schutzwiderstands 31 verläuft, und einen zweiten Verdrahtungsabschnitt 25B, der entlang einer Richtung einer Breite W29 des Schutzwiderstands 29 verläuft. Der erste Verdrahtungsabschnitt 25A und der zweite Verdrahtungsabschnitt 25B bilden eine Kammzinkenstruktur. Außerdem enthält die Verdrahtungsschicht (die zweite Verdrahtungsschicht) 32 einen ersten Verdrahtungsabschnitt 32A, der entlang einer Richtung der Breite W31 des Schutzwiderstands 31 verläuft, und einen zweiten Verdrahtungsabschnitt 32B, der entlang einer Richtung der Breite W29 des Schutzwiderstands 29 verläuft. Der erste Verdrahtungsabschnitt 32A und der zweite Verdrahtungsabschnitt 32B bilden eine Kammzinkenstruktur.
  • Die Anschlussfläche 24 ist ein Anschlussabschnitt zum Verbinden eines externen Signals mit der Schutzschaltung 105C. Die Verdrahtungsschicht 25, die durch den ersten Verdrahtungsabschnitt 25A und durch den zweiten Verdrahtungsabschnitt 25B konfiguriert ist, ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Anschlussfläche 24 und der Kontakte (des ersten Kontakts) 26 und 28. Der Kontakt 26 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Verdrahtungsschicht 25 und des Schutzwiderstands 31 und ist in dem ersten Verdrahtungsabschnitt 25A vorgesehen. Der Kontakt 28 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Verdrahtungsschicht 25 und der Schutzwiderstände 29 und ist in dem zweiten Verdrahtungsabschnitt 25B vorgesehen. Die Schutzwiderstände 29 und 31 sind Schaltungskomponenten (Schaltungselemente) zum Schützen der internen Schaltung vor Überspannungen und Rauschen, die von der Anschlussfläche 24 eintreten. Ein Kontakt (zweiter Kontakt) 27 und der erste Verdrahtungsabschnitt 32A der Verdrahtungsschicht 32 sind in Bezug auf den Schutzwiderstand 31 in der Richtung i, in der der Strom fließt, oder in einer Richtung der Widerstandslänge L29 (siehe 9) auf der gegenüberliegenden Seite der Seite, wo der Kontakt 26 und der erste Verdrahtungsabschnitt 25A der Verdrahtungsschicht 25 vorgesehen sind, vorgesehen. Der Schutzwiderstand 31 ist mit der internen Schaltung verbunden. Außerdem sind der Kontakt (der zweite Kontakt) 30 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 32B der Verdrahtungsschicht 32 in Bezug auf den Schutzwiderstand 29 in der Richtung i, in der der Strom fließt, oder in einer Richtung der Widerstandslänge L29 (siehe 9) auf der gegenüberliegenden Seite einer Seite, wo der Kontakt 28 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 25B der Verdrahtungsschicht 25 vorgesehen sind, vorgesehen. Der Schutzwiderstand 29 ist mit der internen Schaltung verbunden.
  • Ferner sind die Verdrahtungsschicht 25 und die Verdrahtungsschicht 32 so angeordnet, dass die ersten Verdrahtungsabschnitte 25A und 32A oder die zweiten Verdrahtungsabschnitte 25B und 32B in einer Verdrahtungsschicht eingefügt sind, die zwischen den ersten Verdrahtungsabschnitten 25A und 32A und den zweiten Verdrahtungsabschnitten 25B und 32B in der anderen Verdrahtungsschicht in einer Kammzinkenform gebildet ist.
  • Grundsätzlich ist diese Ausführungsform dieselbe wie die erste Ausführungsform, wobei aber zwei Schutzwiderstände 29 und 31 vorgesehen sind und die in Bezug auf die Schutzwiderstände vorgesehenen Verdrahtungsschichten 25 und 32 in einer Kammzinkenstruktur gebildet sind. Mit dieser Konfiguration können die Widerstandsbreiten W29 und W31 der Schutzwiderstände 29 und 31 in Bezug auf die erste Ausführungsform auf 1/2 verkürzt werden. Im Ergebnis kann ein Einfluss der Induktivität der Verdrahtungsschicht 25 verringert werden und kann der durch jeden Kontakt fließende Strom angeglichen werden. Mit dieser Konfiguration kann der von der Anschlussfläche 24 zu jedem Kontakt fließende Strom angeglichen werden und kann eine Verringerung des zulässigen Stroms verhindert werden.
  • Außerdem sind in dieser Ausführungsform die Widerstandslänge L29 des Schutzwiderstands 29 und eine Widerstandslänge L31 des Schutzwiderstands 31 so eingestellt, dass sie dieselbe Länge aufweisen, um den Widerstandswert des Schutzwiderstands 29 und den Widerstandswert des Schutzwiderstands 31 anzugleichen. Falls ein Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 29 und ein Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 31 verschieden sind, werden die Widerstandslänge L29 des Schutzwiderstands 29 und die Widerstandslänge L31 des Schutzwiderstands 31 unterschiedlich eingestellt, um den Widerstandswert des Schutzwiderstands 29 und den Widerstandswert des Schutzwiderstands 31 anzugleichen.
  • In dieser Ausführungsform sind der erste Verdrahtungsabschnitt 25A der Verdrahtungsschicht 25 und der erste Verdrahtungsabschnitt 32A der Verdrahtungsschicht 32 nicht notwendig parallel und können sie wie in der zweiten Ausführungsform geneigt angeordnet sein. Außerdem sind der zweite Verdrahtungsabschnitt 25B der Verdrahtungsschicht 25 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 32B der Verdrahtungsschicht 32 nicht notwendig parallel und können sie wie in der zweiten Ausführungsform geneigt angeordnet sein. Außerdem können die Anzahl der Verdrahtungsabschnitte 25A und 25B in der Verdrahtungsschicht 25 und die Anzahl der Verdrahtungsabschnitte 32A und 32B in der Verdrahtungsschicht 32 drei oder mehr sein.
  • Außer den oben beschriebenen sind die Konfigurationen ähnlich denen der ersten Ausführungsform und auch in dieser Ausführungsform können die Betriebswirkungen der ersten Ausführungsform erhalten werden. Außerdem werden mit einer Kombination mit der Konfiguration der zweiten Ausführungsform die Betriebswirkungen der zweiten Ausführungsform erhalten.
  • [Vierte Ausführungsform]
  • Nachfolgend wird anhand von 11 und 12 die Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 11 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der vierten Ausführungsform darstellt. 12 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschichten 37 und 41 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der vierten Ausführungsform beseitigt sind.
  • Eine Schutzschaltung 105D der elektronischen Vorrichtung 100 dieser Ausführungsform ist so konfiguriert, dass sie eine Anschlussfläche 33, die Verdrahtungsschichten 37 und 41, Kontakte 34, 36, 38 und 40 und Schutzwiderstände 35 und 39 enthält. Ferner ist in dieser Ausführungsform die Verdrahtungsschicht (die erste Verdrahtungsschicht) 37 entlang einer Richtung der Breiten W35 und W39 der Schutzwiderstände 35 und 39 verlängert. Außerdem enthält die Verdrahtungsschicht (die zweite Verdrahtungsschicht) 41 einen ersten Verdrahtungsabschnitt 41A, der entlang einer Richtung der Breite W35 des Schutzwiderstands 35 verläuft, und einen zweiten Verdrahtungsabschnitt 41B, der entlang einer Richtung der Breite W39 des Schutzwiderstands 39 verläuft. Der erste Verdrahtungsabschnitt 41A und der zweite Verdrahtungsabschnitt 42B bilden eine Kammzinkenstruktur. Die Verdrahtungsschicht 37 ist dann innerhalb der durch den ersten Verdrahtungsabschnitt 41A und durch den zweiten Verdrahtungsabschnitt 42B gebildeten Kammzinken angeordnet.
  • Die Anschlussfläche 24 ist ein Anschlussabschnitt zum Verbinden eines externen Signals mit der Schutzschaltung 105D. Die Verdrahtungsschicht 37 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Anschlussfläche 33 und der Kontakte (des ersten Kontakts) 36 und 38. Der Kontakt 36 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Verdrahtungsschicht 37 und des Schutzwiderstands 35. Der Kontakt 38 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Verdrahtungsschicht 27 und des Schutzwiderstands 39. Die Schutzwiderstände 35 und 39 sind Schaltungskomponenten (Schaltungselemente) zum Schützen der internen Schaltung vor Überspannungen und Rauschen, die von der Anschlussfläche 33 eintreten. Ein Kontakt (ein zweiter Kontakt) 34 und der erste Verdrahtungsabschnitt 41A der Verdrahtungsschicht 41 sind in Bezug auf den Schutzwiderstand 35 in der Richtung i, in der der Strom fließt, oder in einer Richtung einer Widerstandslänge L35 (siehe 11) auf der gegenüberliegenden Seite einer Seite, wo der Kontakt 36 und die Verdrahtungsschicht 37 vorgesehen sind, vorgesehen. Der Schutzwiderstand 35 ist mit der internen Schaltung verbunden. Außerdem sind der Kontakt (der zweite Kontakt) 40 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 41B der Verdrahtungsschicht 41 zu dem Schutzwiderstand 39 in der Richtung i, in der der Strom fließt, oder in einer Richtung der Widerstandslänge L39 (siehe 11) auf der gegenüberliegenden Seite einer Seite, wo der Kontakt 38 und die Verdrahtungsschicht 25 vorgesehen sind, vorgesehen. Der Schutzwiderstand 39 ist mit der internen Schaltung verbunden.
  • Ferner sind in der Verdrahtungsschicht 37 der mit dem Schutzwiderstand 35 verbundene Kontakt 36 und der mit dem Schutzwiderstand 39 verbundene Kontakt 38 entlang der Längsrichtung der Verdrahtungsschicht 37 in Reihe angeordnet. Die Verdrahtungsschicht 37 ist zwischen dem ersten Verdrahtungsabschnitt 41A und dem zweiten Verdrahtungsabschnitt 41B der in einer Kammzinkenform gebildeten Verdrahtungsschicht 41 angeordnet.
  • Grundsätzlich ist diese Ausführungsform dieselbe wie die erste Ausführungsform, wobei aber zwei Schutzwiderstände 35 und 39 vorgesehen sind und wobei die in Bezug auf die Schutzwiderstände vorgesehene Verdrahtungsschicht 41 in einer Kammzinkenstruktur gebildet ist. Mit dieser Konfiguration können die Widerstandsbreiten W35 und W39 der Schutzwiderstände 35 und 39 in Bezug auf die erste Ausführungsform auf 1/2 verkürzt werden. Im Ergebnis kann ein Einfluss der Induktivität der Verdrahtungsschicht 37 verringert werden und kann der durch jeden Kontakt fließende Strom angeglichen werden. Mit dieser Konfiguration kann der von der Anschlussfläche 33 zu jedem Kontakt fließende Strom angeglichen werden und kann eine Verringerung des zulässigen Stroms verhindert werden.
  • Außerdem sind in dieser Ausführungsform die Schutzwiderstände 35 und 39 auf beiden Seiten der Verdrahtungsschicht 37 angeordnet. Somit kann im Vergleich zu der Schutzschaltung 105C der dritten Ausführungsform eine Montageeffizienz des Schutzwiderstands verbessert werden und kann eine kompaktere Chipgröße verwirklicht werden.
  • In dieser Ausführungsform ist die mit der internen Schaltung verbundene Verdrahtungsschicht 41 in einer Kammzinkenform konfiguriert. Allerdings kann die mit der Anschlussfläche 33 verbundene Verdrahtungsschicht 37 in einer Kammzinkenform konfiguriert sein und kann die Verdrahtungsschicht 41 zwischen zwei Verdrahtungsabschnitten der Verdrahtungsschicht 37 angeordnete sein, die in einer Kammzinkenform konfiguriert sind.
  • Außerdem sind in dieser Ausführungsform die Widerstandslänge L35 des Schutzwiderstands 35 und eine Widerstandslänge L39 des Schutzwiderstands 39 so eingestellt, dass sie dieselbe Länge aufweisen, um den Widerstandswert des Schutzwiderstands 35 und den Widerstandswert des Schutzwiderstands 31 anzugleichen. Falls ein Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 35 und ein Flächenwiderstandswert des Schutzwiderstands 39 verschieden sind, werden die Widerstandslänge L35 des Schutzwiderstands 35 und die Widerstandslänge L39 des Schutzwiderstands 39 unterschiedlich eingestellt, um den Widerstandswert des Schutzwiderstands 35 und den Widerstandswert des Schutzwiderstands 35 anzugleichen.
  • In dieser Ausführungsform sind die Verdrahtungsschicht 37 und der erste Verdrahtungsabschnitt 41A der Verdrahtungsschicht 41 nicht notwendig parallel und können sie wie in der zweiten Ausführungsform geneigt angeordnet sein. Außerdem sind die Verdrahtungsschicht 37 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 41B der Verdrahtungsschicht 41 nicht notwendig parallel und können sie wie in der zweiten Ausführungsform geneigt angeordnet sein. Außerdem kann die Verdrahtungsschicht 37 in der Weise gebildet sein, dass die Breitendimension in einer Richtung vertikal zu der Längsrichtung entlang der Längsrichtung variiert.
  • Abgesehen von den oben beschriebenen sind die Konfigurationen ähnlich jenen der ersten Ausführungsform und können auch in dieser Ausführungsform die Betriebswirkungen der ersten Ausführungsform erhalten werden. Außerdem können mit einer Kombination mit der Konfiguration der zweiten Ausführungsform die Betriebswirkungen der zweiten Ausführungsform erhalten werden.
  • [Fünfte Ausführungsform]
  • Nachfolgend wird anhand von 13 und 14 die Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 13 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der fünften Ausführungsform darstellt. 14 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration darstellt, in der die Verdrahtungsschichten 45 und 53 von der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der fünften Ausführungsform beseitigt sind.
  • Eine Schutzschaltung 105E der elektronischen Vorrichtung 100 dieser Ausführungsform ist so konfiguriert, dass sie eine Anschlussfläche 47, die Verdrahtungsschichten 45 und 53, die Kontakte 42, 44, 48, 50 und 52 und die Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 enthält. Ferner enthält die Verdrahtungsschicht (die erste Verdrahtungsschicht) 45 in dieser Ausführungsform einen ersten Verdrahtungsabschnitt 45A und einen zweiten Verdrahtungsabschnitt 45B, die entlang einer Richtung der Breite We der Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 verlängert sind. Der erste Verdrahtungsabschnitt 45A und der zweite Verdrahtungsabschnitt 45B bilden eine Kammzinkenstruktur. Außerdem enthält die Verdrahtungsschicht (die zweite Verdrahtungsschicht) 53 einen ersten Verdrahtungsabschnitt 53A, einen zweiten Verdrahtungsabschnitt 53B und einen dritten Verdrahtungsabschnitt 53C, die entlang der Richtung der Breite We der Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 verlängert sind. Der erste Verdrahtungsabschnitt 32A, der zweite Verdrahtungsabschnitt 32B und der dritte Verdrahtungsabschnitt 53C bilden die Kammzinkenstruktur.
  • Die Anschlussfläche 47 ist ein Anschlussabschnitt zum Verbinden eines externen Signals mit der Schutzschaltung 105C. Die Verdrahtungsschicht 45 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Anschlussfläche 47 und der Kontakte (der ersten Kontakte) 44 und 50. Der Kontakt 44 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Verdrahtungsschicht 45 und der Schutzwiderstände 43 und 46 und ist in dem ersten Verdrahtungsabschnitt 45A vorgesehen. Der Kontakt 50 ist ein Verdrahtungsabschnitt zum Verbinden der Verdrahtungsschicht 45 und der Schutzwiderstände 49 und 51 und ist in dem zweiten Verdrahtungsabschnitt 25B vorgesehen. Die Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 sind Schaltungskomponenten (Schaltungselemente) zum Schützen der internen Schaltung vor Überspannungen und Rauschen, die von der Anschlussfläche 47 eintreten.
  • Ein Kontakt (ein zweiter Kontakt) 42 und der erste Verdrahtungsabschnitt 53A der Verdrahtungsschicht 53 sind in Bezug auf den Schutzwiderstand 43 in der Richtung i, in der der Strom fließt, oder in einer Richtung einer Widerstandslänge L43 (siehe 13) auf der gegenüberliegenden Seite einer Seite, wo der Kontakt 44 und der erste Verdrahtungsabschnitt 45A der Verdrahtungsschicht 45 vorgesehen sind, vorgesehen. Der Schutzwiderstand 43 ist mit der internen Schaltung verbunden.
  • Außerdem sind der Kontakt (der zweite Kontakt) 48 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 53B der Verdrahtungsschicht 53 in Bezug auf den Schutzwiderstand 46 in der Richtung i, in der der Strom fließt, oder in einer Richtung der Widerstandslänge L46 (siehe 13) auf der gegenüberliegenden Seite einer Seite, wo der Kontakt 44 und der erste Verdrahtungsabschnitt 45A der Verdrahtungsschicht 45 vorgesehen sind, vorgesehen. Der Schutzwiderstand 46 ist mit der internen Schaltung verbunden. Außerdem sind der Kontakt 48 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 53B der Verdrahtungsschicht 53 in Bezug auf den Schutzwiderstand 49 in der Richtung i, in der der Strom fließt, oder in einer Richtung einer Widerstandslänge L49 (siehe 13) auf der gegenüberliegenden Seite einer Seite, wo der Kontakt 50 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 45B der Verdrahtungsschicht 45 vorgesehen sind, vorgesehen. Der Schutzwiderstand 49 ist mit der internen Schaltung verbunden.
  • Der Kontakt (der zweite Kontakt) 52 und der dritte Verdrahtungsabschnitt 53C der Verdrahtungsschicht 53 sind in Bezug auf den Schutzwiderstand 51 in der Richtung i, in der der Strom fließt, oder in einer Richtung der Widerstandslänge L51 (siehe 13) auf der gegenüberliegenden Seite einer Seite, wo der Kontakt 50 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 45B der Verdrahtungsschicht 45 vorgesehen sind, vorgesehen. Der Schutzwiderstand 51 ist mit der internen Schaltung verbunden.
  • Ferner sind die Verdrahtungsschicht 45 und die Verdrahtungsschicht 53 so angeordnet, dass die Verdrahtungsschichten in einer Verdrahtungsschicht eingefügt sind, die in einer Kammzinkenform zwischen den Verdrahtungsabschnitten in der anderen Verdrahtungsschicht gebildet ist.
  • Grundsätzlich ist diese Ausführungsform dieselbe wie die erste Ausführungsform, wobei aber vier Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 vorgesehen sind und wobei die in Bezug auf die Schutzwiderstände vorgesehenen Verdrahtungsschichten 45 und 53 in einer Kammzinkenstruktur gebildet sind. Mit dieser Konfiguration können die Widerstandsbreiten W43, W46, W49 und W51 der Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 in Bezug auf die erste Ausführungsform auf 1/4 verkürzt werden. Im Ergebnis kann ein Einfluss der Induktivität der Verdrahtungsschicht 45 verringert werden und kann der durch jeden Kontakt fließende Strom angeglichen werden. Mit dieser Konfiguration kann der durch jeden Kontakt fließende Strom angeglichen werden und kann eine Verringerung des zulässigen Stroms verhindert werden.
  • Die Verdrahtungsschicht 45 oder die Verdrahtungsschicht 53 sind jeweils in einer Kammzinkenform gebildet. Der Verdrahtungsabschnitt einer Verdrahtungsschicht ist zwischen zwei Verdrahtungsabschnitten einer anderen in einer Kammzinkenform gebildeten Verdrahtungsschicht angeordnet. Die Schutzwiderstände sind dann auf beiden Seiten des Verdrahtungsabschnitts der anderen Verdrahtungsschicht angeordnet.
  • Außerdem sind die Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 in dieser Ausführungsform einteilig konfiguriert und brauchen zwischen den Schutzwiderständen 43, 46, 49 und 51 keine Zwischenräume vorgesehen zu sein. Somit kann eine Montageeffizienz verbessert werden und kann eine kompaktere Chipgröße verwirklicht werden.
  • In dieser Ausführungsform sind der erste Verdrahtungsabschnitt 45A der Verdrahtungsschicht 45 und der erste Verdrahtungsabschnitt 53A und der zweite Verdrahtungsabschnitt 53B der Verdrahtungsschicht 53 nicht notwendig parallel und können sie wie in der zweiten Ausführungsform geneigt angeordnet sein. Außerdem sind der zweite Verdrahtungsabschnitt 45B der Verdrahtungsschicht 45 und der zweite Verdrahtungsabschnitt 53B und der dritte Verdrahtungsabschnitt 53C der Verdrahtungsschicht 53 nicht notwendig parallel und können sie wie in der zweiten Ausführungsform geneigt angeordnet sein. Außerdem kann die Anzahl der Verdrahtungsabschnitte 45A und 45B in der Verdrahtungsschicht 45 drei oder mehr sein und kann die Anzahl der Verdrahtungsabschnitte 53A, 53B und 53C in der Verdrahtungsschicht 53 vier oder mehr sein.
  • Außer den oben beschriebenen sind die Konfigurationen ähnlich jenen der ersten Ausführungsform und können auch in dieser Ausführungsform die Betriebswirkungen der ersten Ausführungsform erhalten werden. Außerdem können mit einer Kombination mit der Konfiguration der zweiten Ausführungsform die Betriebswirkungen der zweiten Ausführungsform erhalten werden.
  • [Sechste Ausführungsform]
  • Nachfolgend wird anhand von 15 die Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 15 ist eine schematische Darstellung, die eine Konfiguration der Schutzschaltung der elektronischen Vorrichtung der sechsten Ausführungsform darstellt.
  • Eine Schutzschaltung 105F der elektronischen Vorrichtung 100 dieser Ausführungsform ist grundsätzlich dieselbe wie die der fünften Ausführungsform. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der fünften Ausführungsform dadurch, dass in Austrittsports der Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 MOS-Transistoren angeordnet sind. Die MOS-Transistoren sind durch Drain-Elektroden, die mit Verdrahtungsschichten (zweiten Verdrahtungsschichten) 54, 58 und 62 verbunden sind, durch Gate-Elektroden 55, 57, 59 und 61, durch Source-Elektroden, die mit Verdrahtungsschichten 56 und 60 verbunden sind, konfiguriert. Die Drain-Elektroden der MOS-Transistoren sind jeweils über die Verdrahtungsschichten 54, 58 und 62 mit den Schutzwiderständen 43, 46, 49 und 51 verbunden.
  • Ähnlich dieser Ausführungsform sind der Schutzwiderstand, der mit der Verdrahtungsschicht mit einer Kammzinkenform verbunden ist, und der MOS-Transistor mit einer Kammzinkenform ausgerichtet, so dass der Schutzwiderstand und der MOS-Transistor leicht verdrahtet werden können. Mit dieser Konfiguration kann eine Montageeffizienz der Schutzschaltung 105F verbessert werden und kann eine kompaktere Chipgröße verwirklicht werden. Da ein Kammzinkenabstand der Verdrahtungsschicht und des MOS-Transistors angepasst sind (wobei ein ganzzahliges Vielfaches ebenfalls möglich ist), können der Schutzwiderstand und der MOS-Transistor außerdem leichter verdrahtet werden. Mit dieser Konfiguration kann die Montageeffizienz der Schutzschaltung 105F noch weiter verbessert werden und noch mehr Chipgröße verwirklicht werden.
  • Außerdem verursacht der MOS-Transistor eine Rückschnapp-Erscheinung, falls an die Anschlussfläche 47 eine Stoßspannung angelegt wird. Wenn der an dem MOS-Transistor konzentrierte Strom die Rückschnapp-Erscheinung veranlasst, wird der MOS-Transistor zerstört. Allerdings sind in dieser Ausführungsform mit jedem Transistor die Schutzwiderstände 43, 46, 49 und 51 verbunden, wobei die Stromkonzentration an dem zurückgeschnappten MOS-Transistor unterbunden werden kann und ein höherer zulässiger Strom verwirklicht werden kann.
  • Gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform kann der zulässige Strom des Schutzwiderstands hoch hergestellt werden und kann der Schutzwiderstand klein hergestellt werden. Dadurch, dass der Schutzwiderstand klein hergestellt wird, kann die an die Anschlussfläche angelegte Spannung verringert werden, wenn eine Stoßspannung angelegt wird. Somit kann in der elektronischen Vorrichtung, die den feinen Prozess verwendet, die Schutzschaltung mit einer niedrigen Substratdurchschlagspannung effektiv verwendet werden.
  • Ferner ist die vorliegende Erfindung nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt und können verschiedene Änderungen vorgenommen werden. Zum Beispiel sind die Ausführungsformen in einer für die vorliegende Erfindung klar verständlichen Weise beschrieben, so dass die vorliegende Erfindung nicht notwendig alle Konfigurationen bereitstellt. Außerdem können einige Konfigurationen einer bestimmten Ausführungsform durch die Konfigurationen einer anderen Ausführungsform ersetzt werden und kann die Konfiguration der anderen Ausführungsform ebenfalls zu der Konfiguration einer bestimmten Ausführungsform hinzugefügt werden. Darüber hinaus können an einigen Konfigurationen jeder Ausführungsform unter Verwendung anderer Konfigurationen Hinzufügungen, Weglassungen und Ersetzungen vorgenommen werden.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Anschlussfläche
    2
    Kontakt (erster Kontakt)
    3
    Verdrahtungsschicht (erste Verdrahtungsschicht)
    4
    Schutzwiderstand
    5
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    6
    Verdrahtungsschicht (zweite Verdrahtungsschicht)
    7
    Zwischenschichtoxidfilm
    8
    Feldoxidfilm
    9
    Siliciumsubstrat
    10
    Anschlussfläche
    11
    Verdrahtungsschicht
    12
    Kontakt
    13
    Kontakt
    14
    Kontakt
    15
    Schutzwiderstand
    16
    Kontakt
    17
    Verdrahtungsschicht
    18
    Anschlussfläche
    19
    Kontakt (erster Kontakt)
    20
    Verdrahtungsschicht (erste Verdrahtungsschicht)
    21
    Schutzwiderstand
    22
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    23
    Verdrahtungsschicht (zweite Verdrahtungsschicht)
    24
    Anschlussfläche
    25
    Verdrahtungsschicht (erste Verdrahtungsschicht)
    26
    Kontakt (erster Kontakt)
    27
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    28
    Kontakt (erster Kontakt)
    29
    Schutzwiderstand
    30
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    31
    Schutzwiderstand
    32
    Verdrahtungsschicht (zweite Verdrahtungsschicht)
    33
    Anschlussfläche
    34
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    35
    Schutzwiderstand
    36
    Kontakt (erster Kontakt)
    37
    Verdrahtungsschicht (erste Verdrahtungsschicht)
    38
    Kontakt (erster Kontakt)
    39
    Schutzwiderstand
    40
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    41
    Verdrahtungsschicht (zweite Verdrahtungsschicht)
    42
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    43
    Schutzwiderstand
    44
    Kontakt (erster Kontakt)
    45
    Verdrahtungsschicht (erste Verdrahtungsschicht)
    46
    Schutzwiderstand
    47
    Anschlussfläche
    48
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    49
    Schutzwiderstand
    50
    Kontakt (erster Kontakt)
    51
    Schutzwiderstand
    52
    Kontakt (zweiter Kontakt)
    53
    Verdrahtungsschicht (zweite Verdrahtungsschicht)
    54
    Verdrahtungsschicht (zweite Verdrahtungsschicht)
    55
    Gate-Elektrode
    56
    Verdrahtungsschicht (dritte Verdrahtungsschicht)
    57
    Gate-Elektrode
    58
    Verdrahtungsschicht (zweite Verdrahtungsschicht)
    59
    Gate-Elektrode
    60
    Verdrahtungsschicht (dritte Verdrahtungsschicht)
    61
    Gate-Elektrode
    62
    Verdrahtungsschicht (zweite Verdrahtungsschicht)
    100
    elektronische Vorrichtung
    105A bis 105F
    Schutzschaltung

Claims (9)

  1. Elektronische Vorrichtung (100), die Folgendes umfasst: eine Schutzschaltung, die eine in der elektronischen Vorrichtung (100) vorgesehene interne Schaltung schützt, eine Anschlussfläche (1), die ein externes Signal elektrisch verbindet; einen Schutzwiderstand (4), der zwischen der Anschlussfläche (1) und der internen Schaltung vorgesehen ist; ein erstes Verdrahtungselement (3), das an einer Endseite in einer Längsrichtung des Schutzwiderstands (4) angeordnet ist und mit der Anschlussfläche (1) elektrisch verbunden ist; ein zweites Verdrahtungselement (6), das an einer anderen Endseite in der Längsrichtung des Schutzwiderstands (4) angeordnet ist und mit der internen Schaltung elektrisch verbunden ist; mehrere erste Kontakte (2, 19, 26), die das erste Verdrahtungselement (3) und den Schutzwiderstand (4) elektrisch verbinden; und mehrere zweite Kontakte (5, 22, 27), die das zweite Verdrahtungselement (6) und den Schutzwiderstand (4) elektrisch verbinden, wobei das erste Verdrahtungselement (3) an der einen Endseite in Längsrichtung des Schutzwiderstands (4) angeordnet ist, das zweite Verdrahtungselement (6) an der anderen Endseite in der Längsrichtung des Schutzwiderstands (4) angeordnet ist, wobei die mehreren ersten Kontakte (2, 19, 26) so angeordnet sind, dass sie entlang der Längsrichtung des ersten Verdrahtungselements (3) aufgereiht sind, wobei die mehreren zweiten Kontakte (5, 22, 27) so angeordnet sind, dass sie entlang der Längsrichtung des zweiten Verdrahtungselements (6) aufgereiht sind, das erste Verdrahtungselement (3) und das zweite Verdrahtungselement (6) so angeordnet sind, dass sie über den Schutzwiderstand (4) einander zugewandt sind, die Anschlussfläche (1) mit einem Ende in der Längsrichtung des ersten Verdrahtungselements (3) elektrisch verbunden ist, und die interne Schaltung mit einem Ende des zweiten Verdrahtungselements (6), das einem Ende, das einem Ende, mit dem die Anschlussfläche (1) des ersten Verdrahtungselements (3) verbunden ist, gegenüberliegt, zugewandt ist, elektrisch verbunden ist, wobei die elektronische Vorrichtung (100) dadurch gekennzeichnet ist, dass eine Widerstandsbreite (W4) des Schutzwiderstands (4) größer als eine Widerstandlänge (L4) des Schutzwiderstands (4) ist.
  2. Elektronische Vorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die mehreren ersten Kontakte (2, 19, 26) auf einer Linie in dem ersten Verdrahtungselement (3) angeordnet sind und die mehreren zweiten Kontakte (5, 22, 27) auf einer Linie in dem zweiten Verdrahtungselement (6) angeordnet sind.
  3. Elektronische Vorrichtung (100) nach Anspruch 2, wobei eine Richtung eines Stroms, der durch das erste Verdrahtungselement (3) fließt, und eine Richtung eines Stroms, der durch den Schutzwiderstand (4) fließt, im Wesentlichen einen rechten Winkel bilden.
  4. Elektronische Vorrichtung (100) nach Anspruch 2, wobei das erste Verdrahtungselement (3) und/oder das zweite Verdrahtungselement (6) in einer Kammzinkenform gebildet sind.
  5. Elektronische Vorrichtung (100) nach Anspruch 4, wobei sowohl das erste Verdrahtungselement (3) als auch das zweite Verdrahtungselement (6) in einer Kammzinkenform gebildet sind, wobei ein Verdrahtungsabschnitt eines Verdrahtungselements zwischen zwei Verdrahtungsabschnitten eines anderen Verdrahtungselements mit der Kammzinkenform angeordnet ist.
  6. Elektronische Vorrichtung (100) nach Anspruch 4, wobei ein MOS-Transistor mit einer Kammzinkenstruktur vorgesehen ist, der mit dem Schutzwiderstand (4) verbunden ist.
  7. Elektronische Vorrichtung (100) nach Anspruch 6, wobei ein Kammzinkenabstand der Kammzinkenstruktur des MOS-Transistors auf ein ganzzahliges Vielfaches der Abstände der Kammzinkenstrukturen des ersten Verdrahtungselements (3) und des zweiten Verdrahtungselements (6) eingestellt ist.
  8. Elektronische Vorrichtung (100) nach Anspruch 2, wobei die Abstände der mehreren ersten Kontakte (2, 19, 26) und der mehreren zweiten Kontakte (5, 22, 27) auf das Dreifache der Größen des ersten Kontakts und des zweiten Kontakts eingestellt sind.
  9. Elektronische Vorrichtung (100) nach Anspruch 2, wobei eine Längsdimension des Schutzwiderstands (4) in der Längsrichtung an der einen Endseite, mit der die Anschlussfläche (1) in dem ersten Verdrahtungselement (3) verbunden ist, größer als eine Längsdimension in der Längsrichtung an der anderen Endseite des ersten Verdrahtungselements (3) ist, und wobei das erste Verdrahtungselement (3) und das zweite Verdrahtungselement (6) entlang der Breitenrichtung des Schutzwiderstands (4) in einem nicht parallelen Zustand angeordnet sind.
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