DE112016002412B4

DE112016002412B4 - Anzeigevorrichtungen mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbarer Bildpunkte

Info

Publication number: DE112016002412B4
Application number: DE112016002412.6T
Authority: DE
Inventors: Alexander F. Pfeuffer; Dominik Scholz
Original assignee: Osram Opto Semiconductors GmbH
Current assignee: Ams Osram International GmbH
Priority date: 2015-05-29
Filing date: 2016-05-11
Publication date: 2021-09-09
Anticipated expiration: 2036-05-12
Also published as: KR20180013904A; DE102015108532A1; KR102531660B1; DE112016002412A5; TW201703246A; JP6688320B2; US10361249B2; US20180166499A1; WO2016192939A1; KR20230070068A; TWI590435B; CN107636832A; JP2018520504A

Abstract

Anzeigevorrichtung (1) mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbaren Bildpunkten (1a, 1b, 1c), umfassend:- eine Halbleiterschichtenfolge (3) zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung mit einer ersten Halbleiterschicht (31), einer aktiven Schicht (33) und einer zweiten Halbleiterschicht (35),- eine erste Kontaktstruktur (51) zur Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht (31) und eine zweite Kontaktstruktur (55) zur Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht (35), wobei- die erste Kontaktstruktur (51) getrennt voneinander betreibbare erste Kontakte (51a, 51b, 51c) aufweist, die sich jeweils lateral unterbrechungsfrei entlang der ersten Halbleiterschicht (31) erstrecken und jeweils mit ihrer Kontur einen Bildpunkt (1a, 1b, 1c) lateral begrenzen,- die Halbleiterschichtenfolge (3) und die erste Kontaktstruktur (51) mindestens eine bezüglich eines jeweiligen Bildpunkts (1a, 1b, 1c) lateral angrenzende Ausnehmung (7a, 7b) aufweisen, die sich durch die erste Kontaktstruktur (51), die erste Halbleiterschicht (31) und die aktive Schicht (33) hindurch in die zweite Halbleiterschicht (35) hinein erstreckt,- die zweite Kontaktstruktur (55) zweite Kontakte (55a, 55b) aufweist, die sich von einer der ersten Kontaktstruktur (51) zugewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge (3) durch die mindestens eine Ausnehmung (7a, 7b) erstrecken, und- die Bildpunkte (1a, 1b, 1c) lateral gitterförmig getrennt angeordnet sind, wobei wenigstens einer der zweiten Kontakte (55a, 55b) auf einem Knotenpunkt (100x) des Gitters (100) angeordnet ist.

Description

Es wird eine Anzeigevorrichtung angegeben.
Die Druckschrift DE 10 2013 102 667 A1 beschreibt eine Anzeigevorrichtung mit zumindest einem Halbleiterkörper, der eine Halbleiterschichtenfolge, die einen zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich aufweist und eine Mehrzahl von Bildpunkten bildet und einer Ansteuerschaltung.
Es ist eine Aufgabe, eine Anzeigevorrichtung anzugeben, die einen besonders zuverlässigen, effizienten Betrieb der Anzeigevorrichtung erlaubt.
Die Aufgabe wird durch die Anzeigevorrichtungen der unabhängigen Ansprüche 1 und 12 gelöst.
Es wird eine Anzeigevorrichtung angegeben. Insbesondere umfasst die Anzeigevorrichtung eine Mehrzahl getrennt voneinander betreibbarer Bildpunkte, welche eine Halbleiterschichtenfolge zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung umfasst. Die Halbleiterschichtenfolge weist zum Beispiel eine erste Halbleiterschicht, eine aktive Schicht und eine zweite Halbleiterschicht auf. Bei der Anzeigevorrichtung kann es sich beispielsweise um eine Leuchtdiode, insbesondere um eine Dünnfilm-Leuchtdiode handeln, welche frei von einem Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge ist.
Die Anzeigevorrichtung erstreckt sich in einer vertikalen Richtung zwischen einer ersten Hauptebene und einer zweiten Hauptebene, wobei die vertikale Richtung quer oder senkrecht zur ersten und/oder zweiten Hauptebene verlaufen kann. Bei den Hauptebenen kann es sich beispielsweise um die Haupterstreckungsebenen an der Deckfläche und der Bodenfläche der Anzeigevorrichtung handeln. Die Anzeigevorrichtung ist in lateraler Richtung, also zum Beispiel zumindest stellenweise parallel zu den Hauptebenen flächig ausgedehnt und weist in der vertikalen Richtung eine Dicke auf, die klein ist gegenüber einer maximalen Erstreckung der Anzeigevorrichtung in lateraler Richtung.
Beispielsweise enthält die Halbleiterschichtenfolge, insbesondere die aktive Schicht, ein III-V-Verbindungs-Halbleitermaterial. III-V-Verbindungs-Halbleitermaterialien sind zur Strahlungserzeugung im ultravioletten (Al_x In_y Ga_1-x-y N) über den sichtbaren (Al_x In_y Ga_1-x-y N, insbesondere für blaue bis grüne Strahlung, oder Al_x In_y Ga_1-x-y P, insbesondere für gelbe bis rote Strahlung) bis in den infraroten (Al_x In_y Ga_1-x-y As) Spektralbereich besonders geeignet. Hierbei gilt jeweils 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1 und x + y ≤ 1, insbesondere mit x ≠ 1, y ≠ 1, x ≠ 0 und/oder y ≠ 0. Mit III-V-Verbindungs-Halbleitermaterialien, insbesondere aus den genannten Materialsystemen, können weiterhin bei der Strahlungserzeugung hohe interne Quanteneffizienzen erzielt werden.
Die aktive Schicht ist zwischen der ersten Halbleiterschicht und der zweiten Halbleiterschicht angeordnet. Die erste Halbleiterschicht und die zweite Halbleiterschicht weisen zweckmäßigerweise voneinander verschiedene Leitungstypen auf. Insbesondere kann es sich bei der ersten Halbleiterschicht um eine p-dotierte Halbleiterschicht handeln und bei der zweiten Halbleiterschicht um eine n-dotierte Halbleiterschicht.
Bei der Herstellung der Anzeigevorrichtung gehen die Bildpunkte vorzugsweise aus einer gemeinsamen Halbleiterschichtenfolge hervor. Die einem jeweiligen Bildpunkt zugeordneten Halbleiterschichten, also ein lateraler Bereich der Halbleiterschichtenfolge, der den Bildpunkt bildet, können bezüglich ihrer Materialzusammensetzung und ihrer Schichtdicken abgesehen von herstellungsbedingten Schwankungen identisch zu Halbleiterschichten sein, die einem weiteren Bildpunkt der Anzeigevorrichtung zugeordnet sind.
Beispielsweise weist die Anzeigevorrichtung einen Träger auf. Der Träger kann beispielsweise eine Mehrzahl von Schaltern aufweisen, die jeweils zur Steuerung von zumindest einem Bildpunkt dem jeweiligen Bildpunkt zugeordnet sind. Der Träger kann die Halbleiterschichtenfolge beispielsweise mechanisch stabilisieren.
Die erste Hauptebene befindet sich beispielhaft auf der dem Träger abgewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge. Entsprechend befindet sich die zweite Hauptebene beispielhaft auf der der Halbeiterschichtenfolge abgewandten Seite des Trägers.
In zumindest einer Ausführungsform umfasst die Anzeigevorrichtung eine erste Kontaktstruktur zur Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht. Ferner umfasst die Anzeigevorrichtung eine zweite Kontaktstruktur zur Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht.
Die erste Kontaktstruktur ist beispielsweise zwischen der Halbleiterschichtenfolge und dem Träger angeordnet. Die erste Kontaktstruktur ist insbesondere elektrisch leitend mit der ersten Halbleiterschicht verbunden. Mittels der ersten Kontaktstruktur ist die erste Halbleiterschicht von der zweiten Hauptebene her elektrisch kontaktierbar.
Beispielsweise besteht die erste Kontaktstruktur aus einer metallischen Schicht oder einem metallischen Schichtenstapel. Bevorzugt besitz die erste Kontaktstruktur eine optische Spiegelwirkung. Beispielhaft besteht die erste Kontaktstruktur aus einem Material wie Al, Ag, Au, oder Rh, oder weist ein solches Material auf. Insbesondere ist eine Schichtdicke der ersten Kontaktstruktur zwischen 50nm und 500nm.
Zusätzlich oder alternativ ist zwischen der Halbleiterschichtenfolge und der metallischen Schicht bzw. dem metallischen Schichtenstapel eine transparente leitfähige Oxid (TCO) Schicht eingebracht. Beispielhaft besteht diese aus einem Material wie ITO, SnO, ZnO, oder weist ein solches auf. Insbesondere ist eine Schichtdicke einer solchen Schicht kleiner als 100nm.
Zusätzlich kann zwischen der transparenten leitfähigen Oxid Schicht und der metallischen Schicht bzw. dem metallischen Schichtenstapel ein Dielektrikum oder ein dieleketrischer Schichtenstapel angeordnet sein. Beispielhaft besteht diese bzw. dieser aus SiO2 oder weist SiO2 auf. Insbesondere ist eine Schichtdicke hiervon zwischen 100nm und 1000nm. Das Dielektrikum bzw. der dielektrische Schichtenstapel kann beispielsweise Ausnehmungen aufweisen, insbesondere vereinzelt. Somit ist eine elektrisch leitende Verbindung zwischen der transparenten leitfähigen Oxid Schicht und der metallischen Schicht bzw. dem metallischen Schichtenstapel gegeben.
Die zweite Kontaktstruktur ist beispielsweise ebenfalls zwischen dem Träger und der Halbleiterschichtenfolge angeordnet. Die zweite Kontaktstruktur ist insbesondere elektrisch leitend mit der zweiten Halbleiterschicht verbunden. Mittels der zweiten Kontaktstruktur ist die zweite Halbleiterschicht von der zweiten Hauptebene her elektrisch kontaktierbar.
Die erste Kontaktstruktur und/oder die zweite Kontaktstruktur oder zumindest eine Teilschicht davon sind beispielsweise reflektierend ausgebildet, insbesondere im Hinblick auf die im Betrieb der Anzeigevorrichtung erzeugte Strahlung.
In zumindest einer Ausführungsform weist die erste Kontaktstruktur getrennt voneinander betreibbare erste Kontakte auf. Die ersten Kontakte erstrecken sich jeweils lateral unterbrechungsfrei entlang der ersten Halbleiterschicht. Mit ihrer Kontur begrenzen die ersten Kontakte jeweils einen Bildpunkt lateral.
Den ersten Kontakten kann in diesem Zusammenhang beispielsweise jeweils ein Schalter zugeordnet sein zur Steuerung von zumindest einem Bildpunkt. Insbesondere sind die ersten Kontakte elektrisch mit dem jeweiligen Schalter verbunden. Die ersten Kontakte kontaktieren die erste Halbleiterschicht jeweils getrennt voneinander elektrisch. In einer Draufsicht der Anzeigevorrichtung in vertikaler Richtung begrenzt die laterale Kontur jeweils eines der ersten Kontakte jeweils einen Bildpunkt. In anderen Worten ist eine laterale Erstreckung eines Bildpunkts durch eine laterale Erstreckung eines jeweiligen ersten Kontakts gebildet. Die ersten Kontakte sind insbesondere jeweils einem Bildpunkt zur Steuerung des Bildpunkts zugeordnet, insbesondere eineindeutig zugeordnet.
In zumindest einer Ausführungsform weisen die Halbleiterschichtenfolge und die erste Kontaktstruktur mindestens eine bezüglich eines jeweiligen Bildpunkts lateral angrenzende Ausnehmung auf. Die mindestens eine Ausnehmung erstreckt sich durch die erste Kontaktstruktur, die erste Halbleiterschicht und die aktive Schicht hindurch in die zweite Halbleiterschicht hinein.
Insbesondere erstreckt sich die mindestens eine Ausnehmung von der zweiten Hauptebene quer oder senkrecht hin zu der ersten Hauptebene. Die mindestens eine Ausnehmung unterbricht hierbei insbesondere die erste Kontaktstruktur. Beispielsweise sind mittels der mindestens einen Ausnehmung jeweils lateral aufeinanderfolgende erste Kontakte voneinander elektrisch getrennt. Die mindestens eine Ausnehmung erstreckt sich in lateraler Richtung insbesondere in einem Bereich einer optischen Trennung zwischen den einzelnen Bildpunkten in Draufsicht der Anzeigevorrichtung. Bei der optischen Trennung handelt es sich insbesondere um eine laterale Trennung der einzelnen Bildpunkte, die beispielsweise durch einen Betrachter in Draufsicht der Anzeigevorrichtung direkt wahrgenommen werden kann und/oder durch geeignete Vergrößerung messbar ist und/oder zumindest indirekt beispielsweise in Form eines erhöhten Schärfeeindrucks durch den Betrachter in Draufsicht wahrgenommen werden kann.
In zumindest einer Ausführungsform weist die zweite Kontaktstruktur zweite Kontakte auf. Die zweiten Kontakte erstrecken sich von einer der ersten Kontaktstruktur zugewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge durch die mindestens eine Ausnehmung.
Die zweiten Kontakte kontaktieren die zweite Halbleiterschicht jeweils elektrisch. Dabei können die zweiten Kontakte insbesondere miteinander elektrisch in Form einer gemeinsamen Elektrode der Anzeigevorrichtung verbunden sein.
Die zweiten Kontakte sind insbesondere von der ersten Halbleiterschicht elektrisch isoliert. In diesem Zusammenhang kann die Anzeigevorrichtung eine Trennstruktur aufweisen, die die zweiten Kontakte von den ersten Kontakten und/oder der ersten Halbleiterschicht elektrisch trennt. Beispielsweise begrenzt die Trennstruktur die mindestens eine Ausnehmung hierzu lateral. Beispielsweise füllen die zweiten Kontakte die durch die Trennstruktur lateral begrenzte mindestens eine Ausnehmung vollständig aus. Alternativ dazu bedecken die zweiten Kontakte die Trennstruktur und die zweite Halbleiterschicht an einer Stirnfläche der mindestens einen Ausnehmung, füllen die jeweilige Ausnehmung also insbesondere nicht vollständig aus.
Eine Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht mittels der zweiten Kontakte erstreckt sich insbesondere in dem Bereich der optischen Trennung zwischen den einzelnen Bildpunkten in Draufsicht der Anzeigevorrichtung. Die optische Trennung zwischen den Bildpunkten kann also insbesondere mit der Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht kombiniert werden. Beispielsweise kann die Trennstruktur in diesem Zusammenhang reflektierend ausgebildet sein, insbesondere im Hinblick auf die im Betrieb der Anzeigevorrichtung erzeugte Strahlung. Die Trennstruktur besteht beispielsweise aus einem teilweise oder vollständig transparenten Dielektrikum, beispielsweise aus Siliziumoxid und/oder Siliziumnitrid und/oder Aluminiumoxid. Beispielsweise kann so eine Reflexion winkelabhängig in Form von Totalreflexion an dem Dielektrikum direkt stattfinden, oder an der bezüglich eines Strahlengangs der im Betrieb erzeugten Strahlung dahinter liegenden Metallschicht der zweiten Kontaktstruktur statt. Die zweite Kontaktstruktur ist hierzu in vorteilhafterweise aus einem hochreflektierendem Material ausgebildet, wie beispielsweise Silber.
In zumindest einer Ausführungsform umfasst die Anzeigevorrichtung mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbarer Bildpunkte eine Halbleiterschichtenfolge zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung. Die Halbleiterschichtenfolge weist eine erste Halbleiterschicht, eine aktive Schicht und eine zweite Halbleiterschicht auf.
Die Anzeigevorrichtung umfasst ferner eine erste Kontaktstruktur zur Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht und eine zweite Kontaktstruktur zur Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht. Die erste Kontaktstruktur weist getrennt voneinander betreibbare erste Kontakte auf, die sich jeweils lateral unterbrechungsfrei entlang der ersten Halbleiterschicht erstrecken. Die ersten Kontakte begrenzen jeweils mit ihrer Kontur einen Bildpunkt lateral.
Die Halbleiterschichtenfolge und die erste Kontaktstruktur weisen mindestens eine bezüglich eines jeweiligen Bildpunkts lateral angrenzende Ausnehmung auf, die sich durch die erste Kontaktstruktur, die erste Halbleiterschicht und die aktive Schicht hindurch in die zweite Halbleiterschicht hinein erstreckt. Die zweite Kontaktstruktur weist zweite Kontakte auf, die sich von einer der ersten Kontaktstruktur zugewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge durch die mindestens eine Ausnehmung erstrecken.
Dies ermöglicht eine besonders vorteilhafte laterale Flächenausnutzung der Anzeigevorrichtung, bei der ein Trenngraben zwischen den einzelnen Bildpunkten der ersten Kontaktstruktur und der ersten Halbleiterschicht als Durchgangs-Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht genutzt wird. Ein Verhältnis von strahlender Fläche der Anzeigevorrichtung zu nicht-strahlender Fläche kann so besonders hoch gehalten werden, so dass zu einer hohen Effizienz der Anzeigevorrichtung beigetragen wird. Des Weiteren wird durch Kontaktierung in einem lateralen Randbereich bezüglich der einzelnen Bildpunkte ein unterbrechungsfreies Leuchtbild der jeweiligen Bildpunkte ermöglicht. Insbesondere kann dabei eine kontaktierungsbedingt dunkel wahrnehmbare Stelle innerhalb eines Bildpunkts vermieden werden. Ferner wird eine redundante Kontaktierung der Bildpunkte ermöglicht, so dass zu einer Zuverlässigkeit der Anzeigevorrichtung beigetragen wird.
In zumindest einer Ausführungsform sind die ersten und zweiten Kontakte jeweils in direktem Kontakt zu den ersten und zweiten Halbleiterschichten. Die ersten und zweiten Kontakte kontaktieren die jeweiligen Halbleiterschichten elektrisch insbesondere unmittelbar. Beispielsweise grenzen die ersten Kontakte und die erste Halbleiterschicht lateral flächig unmittelbar aneinander an. Beispielsweise erstrecken sich die zweiten Kontakte durch eine jeweilige Ausnehmung hindurch in die zweite Halbleiterschicht hinein.
In zumindest einer Ausführungsform sind wenigstens einem Bildpunkt mehrere zweite Kontakte zugeordnet, die den jeweiligen Bildpunkt redundant kontaktieren. Die mehreren zweiten Kontakte grenzen insbesondere an den wenigstens einen Bildpunkt lateral an. Ein Betrieb des wenigstens einen Bildpunkts erfolgt durch Bestromung der Halbleiterschichtenfolge über die mehreren, dem Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakte und den jeweiligen ersten Kontakt.
Durch Anordnung der zweiten Kontakte in einem lateralen Randbereich der Bildpunkte können einem einzigen Bildpunkt mehrere redundante zweite Kontakte zugeordnet sein. Ein Ausfall eines der mehreren zweiten Kontakte kann so besonders einfach kompensiert werden. Dies trägt zu einer hohen Ausbeute bei Herstellung der Anzeigevorrichtung sowie deren hohen Ausfallsicherheit bei.
In zumindest einer Ausführungsform ist zumindest einer der zweiten Kontakte an mehrere benachbarte Bildpunkte lateral angrenzend angeordnet und zur Kontaktierung der mehreren benachbarten Bildpunkte ausgebildet. In anderen Worten ist der zumindest eine zweite Kontakt jeweils den mehreren benachbarten Bildpunkten zugeordnet. In vorteilhafter Weise können mittels eines einzigen Kontakts so mehrere Bildpunkte betrieben werden. Ein Flächenbedarf zur Kontaktierung der Bildpunkte kann so gering gehalten werden, so dass zu einem hohen Verhältnis von strahlender Fläche der Anzeigevorrichtung zu nicht-strahlender Fläche beigetragen wird.
In zumindest einer Ausführungsform sind die Bildpunkte lateral gitterförmig getrennt angeordnet. Die Bildpunkte sind hierbei beispielsweise in Zeilen und quer oder senkrecht dazu angeordneten Spalten angeordnet, wobei die Zeilen und Spalten jeweils von Trennstegen getrennt werden. Die Trennstege der lateralen Trennung verlaufen dabei ebenfalls entlang der Zeilen und quer oder senkrecht dazu angeordneten Spalten. Die Laterale Trennung bildet dabei ein Gitter, welches beispielsweise an Kreuzungspunkten der Trennstege Gitterpunkte bzw. Knotenpunkte des Gitters umschließt. Die Bildpunkte sind in anderen Worten bezüglich des Gitters insbesondere in durch die Trennstege gebildeten Zwischenräumen des Gitters angeordnet. Das heißt, die Bildpunkte sind in Draufsicht der Anzeigevorrichtung optisch getrennt angeordnet. Wenigstens einer der zweiten Kontakte ist auf einem Knotenpunkt des Gitters angeordnet.
Beispielsweise können die Bildpunkte nach Art eines regelmäßigen mehreckigen Gitters getrennt angeordnet sein. Eine laterale Trennung der Bildpunkte muss dabei nicht notwendigerweise entlang gerade verlaufender Linien erfolgen. Vielmehr können durch die laterale Trennung auch Bildpunkte mit zumindest bereichsweise gekrümmt oder geknickten Seiten entstehen. Beispielsweise können die Bildpunkte als kreisförmige Punkte wahrgenommen werden. In vorteilhafter Weise ist eine Ansteuerung gitterförmig getrennt angeordneter Bildpunkte vereinfacht. Ferner kann eine Darstellung von Formen, Figuren oder Zeichen mittels der Anzeigevorrichtung präzise und flexibel erfolgen.
In zumindest einer Ausführungsform ist auf jedem Knotenpunkt des Gitters einer der zweiten Kontakte angeordnet. In vorteilhafter Weise ist der jeweilige zweite Kontakt somit in einem optischen Trennsteg zwischen den Bildpunkten angeordnet, so dass eine strahlende Fläche der Anzeigevorrichtung unterbrechungsfrei und mit maximaler Größe gehalten werden kann. Insbesondere kann der jeweilige zweite Kontakt bei Anordnung korrespondierend zu einem Knotenpunkt des Gitters lateral an mehrere Bildpunkte angrenzen, beispielsweise an vier Bildpunkte bei einem regelmäßigen rechteckigen Gitter. Dies ermöglicht es, eine besonders hohe Anzahl an benachbarten Bildpunkten mit dem lediglich einen jeweiligen zweiten Kontakt zu betreiben.
In zumindest einer Ausführungsform ist jeweils ein zweiter Kontakt zwischen zwei bezüglich jeweils einer Spalte und/oder bezüglich jeweils einer Zeile benachbarten Knotenpunkten angeordnet. Somit ist der jeweilige zweite Kontakt beispielsweise jeweils zwei Bildpunkten zugeordnet.
In zumindest einer Ausführungsform ist auf jedem zweiten lateral aufeinanderfolgenden Knotenpunkt des Gitters einer der zweiten Kontakte angeordnet. In vorteilhafter Weise kann die Anzeigevorrichtung so frei von redundanten zweiten Kontakten betrieben werden, so dass eine besonders hohe Flächenausnutzung der Anzeigevorrichtung ermöglicht ist. Abweichend hiervon ist es ebenfalls denkbar, dass auf jedem x. lateral aufeinanderfolgenden Knotenpunkt des Gitters einer der zweiten Kontakte angeordnet ist, wobei x eine beliebige natürliche Zahl sein kann. In anderen Worten können auch Bruchteile der Knotenpunkte, die von 1 und 0.5 verschieden sind, mit zweiten Kontakten belegt werden.
In zumindest einer Ausführungsform ist wenigstens einer der zweiten Kontakte, der einem Bildpunkt zugeordnet ist welcher an einen lateralen Randbereich der Anzeigevorrichtung angrenzt, sich parallel entlang des Randbereichs erstreckend ausgebildet. Dies trägt zu einer gleichmäßigen Kontur der Anzeigevorrichtung und einer Prozesssicherheit bei Herstellung der Anzeigevorrichtung bei. Beispielsweise können dabei mechanische Schwachstellen der Anzeigevorrichtung, insbesondere im Hinblick auf einen Vereinzelungsprozess, vermieden werden. Beispielhaft schließt der jeweilige zweite Kontakt derart bündig mit dem lateralen Randbereich der Anzeigevorrichtung ab, dass in einem Übergangsbereich um den jeweiligen zweiten Kontakt entlang eines Randes der Anzeigevorrichtung eine im Wesentlichen ebene Fläche entsteht, in der sich die Struktur des jeweiligen zweiten Kontakts nicht abzeichnet. Abweichend hiervon ist der jeweilige zweite Kontakt zumindest derart angeordnet, dass zumindest eine kantenfreie Fläche in besagtem Übergangsbereich entsteht.
In zumindest einer Ausführungsform ist eine laterale Erstreckung von einem Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakten jeweils abhängig von einer Anzahl von dem jeweiligen Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakten. Die laterale Erstreckung der zweiten Kontakte kann dabei sowohl in Form als auch in Größe variieren. Ein einem jeweiligen Bildpunkt zugeordneter zweiter Kontakt grenzt insbesondere an den jeweiligen Bildpunkt lateral an. Ein Betreiben des jeweiligen Bildpunkts erfolgt durch eine Bestromung über die dem Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakte sowie dem jeweiligen ersten Kontakt.
Eine Anpassung der lateralen Erstreckung der zweiten Kontakte ermöglicht ein besonders gleichmäßiges Leuchtbild der Anzeigevorrichtung. Beispielsweise wird eine Helligkeit der einzelnen Bildpunkte durch einen Stromfluss durch die jeweils zugeordneten ersten und zweiten Kontakte beeinflusst. Der Stromfluss durch die Kontakte hängt dabei insbesondere ab von einer Querschnittsfläche der jeweiligen Kontakte.
Beispielhaft kann eine Anzahl von einem Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakten reduziert sein im Vergleich zu weiteren Bildpunkten der Anzeigevorrichtung, so dass durch gleichzeitige Vergrößerung der dem Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakte im Vergleich zu den weiteren Bildpunkten der Anzeigevorrichtung zugeordneten zweiten Kontakten ein kumulierter Stromfluss zum Betreiben der Bildpunkte im Wesentlichen gleich ist, und eine einheitliche Helligkeit der Bildpunkte erreicht wird.
In zumindest einer Ausführungsform weist wenigstens einer der zweiten Kontakte, der einem Bildpunkt zugeordnet ist, welcher an einen lateralen Randbereich der Anzeigevorrichtung angrenzt, einen vorgegebenen Abstand auf, mit dem der jeweilige zweite Kontakt hin zu einem lateralen Inneren der Anzeigevorrichtung versetzt angeordnet ist. Beispielsweise ist der jeweilige zweite Kontakt derart hin zu dem Inneren der Anzeigevorrichtung lateral versetzt angeordnet, dass der jeweilige zweite Kontakt bündig mit dem Rand abschließt, oder zumindest ein laterales Überstehen des jeweiligen zweiten Kontakts im Hinblick auf den Übergangsbereich um den jeweiligen zweiten Kontakt entlang des Randes der Anzeigevorrichtung verringert oder vermieden wird. Der jeweilige zweite Kontakt kann hierbei beispielsweise auf dem vorgenannten Gitter angeordnet sein, bezüglich eines Knotenpunktes des Gitters jedoch lateral versetzt sein. In vorteilhafter Weise wird so zu einer hohen Prozesssicherheit bei Herstellung der Anzeigevorrichtung beigetragen.
In zumindest einer Ausführungsform ist eine laterale Erstreckung wenigstens einer der zweiten Kontakte kreisförmig ausgebildet. In vorteilhafter Weise wird so eine besonders gleichmäßige Bestromung der dem wenigstens einen kreisförmig ausgebildeten zweiten Kontakt zugeordneten Bildpunkten ermöglicht.
In zumindest einer Ausführungsform kann die laterale Erstreckung eines jeweiligen zweiten Kontakts in vertikaler Richtung variieren. Insbesondere können der jeweilige zweite Kontakt und/oder die jeweilige Ausnehmung kegelförmig oder kegelartig ausgebildet sein. Beispielsweise ist die laterale Erstreckung der jeweiligen Ausnehmung und/oder des jeweiligen zweiten Kontakts hin zu der zweiten Hauptebene vergrößert. Eine laterale Begrenzung eines dem jeweiligen zweiten Kontakt zugeordneten Bildpunkts ist dann beispielsweise trichterförmig, so dass zu einer besonders vorteilhaften Abstrahlcharakteristik von im Bereich des jeweiligen Bildpunkts erzeugter Strahlung beigetragen wird.
In zumindest einer Ausführungsform umschließt wenigstens einer der zweiten Kontakte einen Bildpunkt lateral. In vorteilhafter Weise wird ein besonders gleichmäßiger Stromfluss hin zu dem lateral umschlossenen Bildpunkt ermöglicht. Dies trägt zu einer gleichmäßigen erzeugten Strahlung im Bereich des Bildpunkts bei, insbesondere im Hinblick auf eine wahrnehmbare Helligkeit des Bildpunkts.
In zumindest einer Ausführungsform ist die zweite Kontaktstruktur gitterförmig ausgebildet. In vorteilhafter Weise ermöglicht dies eine besonders einfache, redundante Kontaktierung sowie eine gleichmäßige Bestromung der Bildpunkte.
Weitere Merkmale, Ausgestaltungen und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren.
Es zeigen:

1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer Anzeigevorrichtung mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbaren Bildpunkten in schematisch dargestellter lateraler Schnittansicht,
2 ein zweites Ausführungsbeispiel der Anzeigevorrichtung gemäß 1 in schematisch dargestellter lateraler Schnittansicht, und
3 bis 10 ein drittes bis zehntes Ausführungsbeispiel der Anzeigevorrichtung gemäß 1 in schematisch dargestellter Draufsicht.

Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit denselben Bezugszeichen versehen. Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren dargestellten Elemente untereinander sind nicht als maßstäblich zu betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente und insbesondere Schichtdicken zur besseren Darstellbarkeit und/oder zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein.
Ein erstes Ausführungsbeispiel einer Anzeigevorrichtung 1 mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbaren Bildpunkten 1a, 1b, 1c ist in 1 gezeigt. Die Anzeigevorrichtung 1 erstreckt sich in lateraler Richtung beispielsweise über den dargestellten Ausschnitt hinaus, wie durch die gestrichelten Linien der Bildpunkte 1a, 1c angedeutet.
Die Anzeigevorrichtung 1 umfasst eine Halbleiterschichtenfolge 3, die eine erste Halbleiterschicht 31, eine zur Erzeugung von Strahlung vorgesehene aktive Schicht 33 sowie eine zweite Halbleiterschicht 35 aufweist. Die Anzeigevorrichtung 1 erstreckt sich in vertikaler Richtung zwischen einer ersten Hauptebene 10a und einer zweiten Hauptebene 10b. Die erste Hauptebene 10a kann dabei insbesondere eine Strahlungsaustrittsfläche der Anzeigevorrichtung 1 bilden.
Die aktive Schicht 33 ist dabei zwischen der ersten Halbleiterschicht 31 und der zweiten Halbleiterschicht 35 angeordnet, wobei die beiden Halbleiterschichten 31, 35 unterschiedlichen Leitungstyps sind. Die erste Halbleiterschicht 31 ist insbesondere p-leitend, und die zweite Halbleiterschicht 35 n-leitend ausgebildet.
Unmittelbar flächig angrenzend an die erste Halbleiterschicht 31 erstreckt sich eine erste Kontaktstruktur 51, die eine elektrische Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht 31 ermöglicht. Die erste Kontaktstruktur 51 ist dabei von einer Mehrzahl sich vertikal durch die Anzeigevorrichtung 1 erstreckender Ausnehmungen 7a, 7b unterbrochen. Insbesondere ist die erste Kontaktstruktur 51 in eine Mehrzahl von ersten Kontakten 51a, 51b, 51c unterteilt, die elektrisch voneinander getrennt sind. Eine laterale Erstreckung der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c korrespondiert zu einer lateralen Erstreckung der Bildpunkte 1a, 1b, 1c.
Die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c kontaktieren die erste Halbleiterschicht 31 elektrisch von der zweiten Hauptebene 10b der Anzeigevorrichtung 1 her und ermöglichen eine Bestromung der Bildpunkte 1a, 1b, 1c getrennt voneinander. In anderen Worten ist jeweils einer der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c jeweils einem der Bildpunkte 1a, 1b, 1c zugeordnet zum separaten Betreiben des jeweiligen Bildpunkts 1a, 1b, 1c.
Die Ausnehmungen 7a, 7b sind dabei in einem Bereich eines jeweiligen optischen Trennstegs 7x zwischen den Bildpunkten 1a, 1b, 1c angeordnet, insbesondere innerhalb der Trennstege 7x. Die einem jeweiligen Bildpunkt 1a, 1b, 1c zugeordneten ersten Kontakte 51a, 51b, 51c sind somit flächig unterbrechungsfrei ausgebildet.
Die Ausnehmungen 7a, 7b erstrecken sich in der vertikalen Richtung von der ersten Kontaktstruktur 51 weiter durch die erste Halbleiterschicht 31 sowie die aktive Schicht 33. Wie in 1 dargestellt können sich die Ausnehmungen 7a, 7b ferner in die zweite Halbleiterschicht 35 hinein erstrecken. Die Ausnehmungen 7a, 7b sind dabei durch eine elektrisch isolierende Trennstruktur 53 lateral zu der Halbleiterschichtenfolge 3 sowie der ersten Kontaktstruktur 51 begrenzt. Die Trennstruktur 53 erstreckt sich ferner in lateraler Richtung auf einer der zweiten Hauptebene 10b zugewandten Seite entlang der ersten Kontaktstruktur 51.
Eine zweite Kontaktstruktur 55 erstreckt sich ebenfalls in lateraler Richtung auf einer der zweiten Hauptebene 10b zugewandten Seite entlang der Trennstruktur 53. Die zweite Kontaktstruktur 55 ist dabei beispielsweise mittels der Trennstruktur 53 elektrisch von der ersten Kontaktstruktur 51 getrennt. Die zweite Kontaktstruktur 55 bildet dabei zweite Kontakte 55a, 55b, welche sich in die Ausnehmungen 7a, 7b hin zu der zweiten Halbleiterschicht 35 erstrecken.
Die zweiten Kontakte 55a, 55b kontaktieren die zweite Halbleiterschicht 35 elektrisch von der zweiten Hauptebene 10b der Anzeigevorrichtung 1 her und ermöglichen eine Bestromung der Bildpunkte 1a, 1b, 1c. Die zweiten Kontakte 55a, 55b können dabei insbesondere elektrisch miteinander verbunden sein. Beispielsweise bildet die zweite Kontaktstruktur 55 dann eine gemeinsame Elektrode der Bildpunkte 1a, 1b, 1c der Anzeigevorrichtung 1.
Jeweils einer der zweiten Kontakte 55a, 55b kann dabei jeweils einem der Bildpunkte 1a, 1b, 1c zugeordnet sein zum Betreiben des jeweiligen Bildpunkts 1a, 1b, 1c. Des Weiteren kann jeweils einer der zweiten Kontakte 55a, 55b auch jeweils mehr als einem der Bildpunkte 1a, 1b, 1c zugeordnet sein zum Betreiben der jeweiligen Bildpunkte 1a, 1b, 1c. Ferner kann auch jeweils mehr als einer der zweiten Kontakte 55a, 55b jeweils einem und/oder jeweils mehr als einem der Bildpunkte 1a, 1b, 1c zugeordnet sein zum Betreiben des jeweiligen Bildpunkts 1a, 1b, 1c beziehungsweise der jeweiligen Bildpunkte 1a, 1b, 1c. Abweichend von der in 1 dargestellten lateralen Schnittansicht erfolgt eine Trennung der zweiten Kontaktstruktur 55 durch die Trennstruktur 53 beispielhaft in der Papierebene. In weiteren lateralen Schnitten der Anzeigevorrichtung 1 senkrecht zu der Papierebene ist die zweite Kontaktstruktur 55 beispielsweise durchgehend verbunden. In anderen Worten existiert die in 1 gezeigte laterale Trennung der zweiten Kontaktstruktur 55 beispielsweise nur in einem Bereich der Papierebene, in einer Draufsicht ist diese Stelle aber keine Trennung, sondern nur eine lokale Aussparung, die zur Durchführung des jeweiligen Kontakts 55a, 55b des jeweiligen Bildpunkts 1a, 1b, 1c in Richtung eines Trägers dient.
Ein zweites Ausführungsbeispiel der Anzeigevorrichtung 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel ist in 2 gezeigt. Im Gegensatz zu dem ersten Ausführungsbeispiel weist die Anzeigevorrichtung 1 zusätzlich einen Träger 9 auf. Der Träger 9 kann beispielsweise einer mechanischen Stabilisierung der Anzeigevorrichtung 1 dienen. Alternativ oder zusätzlich kann der Träger 9 einer elektrischen Kontaktierung der Anzeigevorrichtung 1 dienen.
Beispielsweise umfasst der Träger 9 hierzu eine weitere Trennstruktur 91, die die erste Kontaktstruktur 51 und zweite Kontaktstruktur 55 voneinander elektrisch trennt. Der Träger umfasst ferner getrennt voneinander betreibbare Schalter 93a, 93b, 93c, die jeweils mit einem der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c elektrisch verbunden sind.
Anhand der 3 bis 10 sind ein drittes bis zehntes Ausführungsbeispiel der Anzeigevorrichtung 1 gemäß einem der vorigen Ausführungsbeispiele in schematischer Draufsicht gezeigt. Zur vereinfachten Darstellung sind mehrere vertikale Schnittebenen in der Papierebene dargestellt. Insbesondere ist eine Anordnung der ersten Kontaktstruktur 51 und zweiten Kontaktstruktur 55 dargestellt, wobei sich eine Anzahl, Form, Größe sowie Position der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c und der zweiten Kontakte 55a, 55b in den folgenden Ausführungsbeispielen unterscheiden können.
In dem dritten Ausführungsbeispiel (vergleiche 3) sind die Bildpunkte 1a, 1b, 1c gitterförmig getrennt voneinander angeordnet. Die Bildpunkte 1a, 1b, 1c korrespondieren in ihrer lateralen Erstreckung dabei im Wesentlichen zu den ersten Kontakten 51a, 51b, 51c. Bei dem Gitter 100 handelt es sich beispielhaft um ein gleichmäßiges Gitter, insbesondere ein gleichmäßig rechteckiges Gitter.
Das Gitter umfasst Knotenpunkte 100x, in denen sich jeweils eine Spalte und eine Zeile des Gitters 100 kreuzen. Die Zeilen und Spalten des Gitters bilden dabei insbesondere die optischen Trennstege 7x zwischen den einzelnen Bildpunkten 1a, 1b, 1c. Auf den Knotenpunkten 100x ist jeweils einer der zweiten Kontakte 55a, 55b angeordnet. Zum Betreiben eines jeweiligen Bildpunkts 1a, 1b, 1c sind jedem Bildpunkt 1a, 1b, 1c vier angrenzende zweite Kontakte 55a, 55b zugeordnet, die eine redundante Bestromung der zweiten Halbleiterschicht 35 (vergleiche 1) im Bereich des jeweiligen Bildpunkts 1a, 1b, 1c ermöglichen. Die Bestromung erfolgt bezüglich des jeweiligen Bildpunkts 1a, 1b, 1c von allen vier Seiten gleichmäßig, so dass eine gleichmäßige Leuchtdichteverteilung der Bildpunkte 1a, 1b, 1c ermöglicht wird.
Jeweils einer der zweiten Kontakte 55a, 55b ist dabei ferner vier angrenzenden Bildpunkten 1a, 1b, 1c zugeordnet, sodass trotz redundanter Bestromung der zweiten Halbleiterschicht 35 im Bereich der jeweiligen Bildpunkte 1a, 1b, 1c keine zusätzlichen zweiten Kontakte 55a, 55b erforderlich sind. In vorteilhafter Weise wird ein lateraler Flächenbedarf der zweiten Kontakte 55a, 55b somit gering gehalten. Durch Anordnung der zweiten Kontakte 55a, 55b im Bereich der optischen Trennstege 7x zwischen den Bildpunkten 1a, 1b, 1c wird ferner zu einer besonders hohen strahlenden Fläche der Anzeigevorrichtung 1 beigetragen.
Die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c sind beispielsweise reflektierend ausgebildet. Die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c können dann auch als „Kontaktspiegel“, oder „Spiegelfläche“ bezeichnet werden. In diesem Ausführungsbeispiel sind die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c beispielhaft rechteckig ausgebildet.
Die zweiten Kontakte 55a, 55b sind beispielsweise in lateraler Erstreckung kreisförmig ausgebildet, sodass die zweite Halbleiterschicht 35 im Bereich der jeweils angrenzenden Bildpunkte 1a, 1b, 1c gleichmäßig bestromt wird.
In dem vierten Ausführungsbeispiel (vergleiche 4) sind die Bildpunkte 1a, 1b, 1c ebenfalls gitterförmig getrennt voneinander angeordnet. Eine laterale Erstreckung der Ausnehmungen 7a, 7b ist im Bereich der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c derart groß dimensioniert, dass eine laterale Erstreckung der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c im Vergleich zu dem dritten Ausführungsbeispiel verringert ist. Dies ermöglicht eine besonders große laterale Erstreckung der zweiten Kontakte 55a, 55b, so dass eine Stromdichte beim Betreiben der zweiten Kontakte 55a, 55b gering gehalten werden kann. Ein Verlust strahlender Fläche durch die verringerte laterale Erstreckung der ersten Kontakte 55a, 55b ist dabei in vorteilhafter Weise gering im Vergleich zu einer mittig in Bezug auf die jeweiligen Bildpunkte 1a, 1b, 1c angeordneten Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht 35.
Die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c können in diesem Zusammenhang Aussparungen an ihrem lateralen Randbereich aufweisen, insbesondere kreissegmentförmige Aussparungen.
Das fünfte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den vorigen Ausführungsbeispielen drei und vier durch eine Anzahl der zweiten Kontakte 55a, 55b. In diesem Ausführungsbeispiel sind jedem Bildpunkt 1a, 1b, 1c lediglich zwei zweite Kontakte 55a, 55b zugeordnet. Abweichend hiervon kann sich eine Anzahl der einem jedem Bildpunkt 1a, 1b, 1c zugeordneten zweiten Kontakte 55a, 55b weiter unterscheiden. Beispielsweise könnte jedem Bildpunkt 1a, 1b, 1c lediglich ein zweiter Kontakt 55a, 55b zugeordnet sein. Hierzu könnte beispielsweise lediglich auf einem Knotenpunkt jeder zweiten Zeile und jeder zweiten Spalte ein zweiter Kontakt 55a, 55b angeordnet sein. Vorteilhafterweise entfallen bei den jeweiligen ersten Kontakten 51a, 51b, 51c, die den nicht mit zweiten Kontakten 55a, 55b belegten Knotenpunkten 100x zugeordnet sind, die kreissegmentförmigen Aussparungen (vergleiche viertes Ausführungsbeispiel), so dass die einem jeweiligen Bildpunkt 1a, 1b, 1c zugeordnete Emissionsfläche maximiert wird.
In dem sechsten Ausführungsbeispiel (vergleiche 6) bilden die Ausnehmungen 7a, 7b beispielsweise eine gemeinsame Ausnehmung, die sich durchgehend in die Halbleiterschichtenfolge 3 erstreckt. Beispielhaft ist diese Ausnehmung in die Halbleiterschichtenfolge 3 hineingeätzt. Die zweiten Kontakte 55a, 55b bilden in dieser Ausnehmung beispielsweise eine durchgehende zweite Kontaktstruktur 55, die die jeweiligen Bildpunkte 1a, 1b, 1c lateral umschließt.
In dem siebten Ausführungsbeispiel (vergleiche 7) ist ein lateraler Randbereich 10c der Anzeigevorrichtung 1 dargestellt. Im Gegensatz zu den vorigen Ausführungsbeispielen drei bis sechs sind den Bildpunkten 1a, 1b, 1c, die an den lateralen Randbereich 10c angrenzen, lediglich zwei der zweiten Kontakte 55a, 55b zugeordnet, beziehungsweise in einem lateralen Eck der Anzeigevorrichtung 1a lediglich einer der zweiten Kontakte 55a, 55b zugeordnet. Aufgrund einer mechanischen Empfindlichkeit der zweiten Kontakte 55a, 55b ermöglicht diese Anordnung ein vereinfachtes Durchtrennen der Anzeigevorrichtung 1 im Randbereich 10c mit reduziertem Ausfallrisiko.
In dem achten Ausführungsbeispiel (vergleiche 8) sind im Gegensatz zu dem siebten Ausführungsbeispiel im lateralen Randbereich 10c der Anzeigevorrichtung 1 die zweiten Kontakte 55a, 55b parallel zu dem lateralen Randbereich 10c ausgebildet. Beispielsweise können die zweiten Kontakte 55a, 55b auch einen zusammenhängenden Rahmen der Anzeigevorrichtung 1 bilden. Dies ermöglicht ein vereinfachtes Durchtrennen der Anzeigevorrichtung 1 im Randbereich 10c, sowie eine gleichmäßige Bestromung sowie homogene Helligkeit auch der Bildpunkte 1a, 1b, 1c im lateralen Randbereich 10c.
In dem neunten Ausführungsbeispiel (vergleiche 9) sind im Gegensatz zu den vorigen Ausführungsbeispielen sieben und acht im lateralen Randbereich 10c der Anzeigevorrichtung 1 die zweiten Kontakte 55a, 55b hin zu einem Inneren der Anzeigevorrichtung 1 lateral versetzt angeordnet. In vorteilhafter Weise kann so unter Aufrechterhaltung einer möglichst homogenen Bestromung der jeweiligen Bildpunkte 1a, 1b, 1c eine Ausfallsicherheit bei einem Trennprozess erhöht werden, beispielsweise indem die zweiten Kontakte 55a, 55b von der Trennkante entfernt werden.
In dem zehnten Ausführungsbeispiel (vergleiche 10) unterscheidet sich im Gegensatz zu dem siebten Ausführungsbeispiel eine Form und Größe der lateralen Erstreckung der zweiten Kontakte 55a, 55b, welche den an den lateralen Randbereich 10c angrenzenden Bildpunkten 1a, 1b, 1c zugeordnet sind. Eine laterale Erstreckung der zweiten Kontakte 55a, 55b ist insbesondere hin zu dem Randbereich 10c vergrößert im Vergleich zu den zweiten Kontakten 55a, 55b im lateralen Inneren der Anzeigevorrichtung 1. In vorteilhafter Weise ist eine Stromdichte der zweiten Kontakte 55a, 55b sowie ein kumulierter Strom, der der zweiten Halbleiterschicht 35 in einem jeweiligen Bereich korrespondierend zu einem jeweiligen Bildpunkt 1a, 1b, 1c zugeführt wird, somit homogen.

Claims

Anzeigevorrichtung (1) mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbaren Bildpunkten (1a, 1b, 1c), umfassend: - eine Halbleiterschichtenfolge (3) zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung mit einer ersten Halbleiterschicht (31), einer aktiven Schicht (33) und einer zweiten Halbleiterschicht (35), - eine erste Kontaktstruktur (51) zur Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht (31) und eine zweite Kontaktstruktur (55) zur Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht (35), wobei - die erste Kontaktstruktur (51) getrennt voneinander betreibbare erste Kontakte (51a, 51b, 51c) aufweist, die sich jeweils lateral unterbrechungsfrei entlang der ersten Halbleiterschicht (31) erstrecken und jeweils mit ihrer Kontur einen Bildpunkt (1a, 1b, 1c) lateral begrenzen, - die Halbleiterschichtenfolge (3) und die erste Kontaktstruktur (51) mindestens eine bezüglich eines jeweiligen Bildpunkts (1a, 1b, 1c) lateral angrenzende Ausnehmung (7a, 7b) aufweisen, die sich durch die erste Kontaktstruktur (51), die erste Halbleiterschicht (31) und die aktive Schicht (33) hindurch in die zweite Halbleiterschicht (35) hinein erstreckt, - die zweite Kontaktstruktur (55) zweite Kontakte (55a, 55b) aufweist, die sich von einer der ersten Kontaktstruktur (51) zugewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge (3) durch die mindestens eine Ausnehmung (7a, 7b) erstrecken, und - die Bildpunkte (1a, 1b, 1c) lateral gitterförmig getrennt angeordnet sind, wobei wenigstens einer der zweiten Kontakte (55a, 55b) auf einem Knotenpunkt (100x) des Gitters (100) angeordnet ist.
Anzeigevorrichtung (1) nach Anspruch 1, bei der die ersten und zweiten Kontakte (51a, 51b, 51c, 55a, 55b) jeweils in direktem Kontakt zu den ersten und zweiten Halbleiterschichten (31, 35) sind.
Anzeigevorrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der wenigstens einem Bildpunkt (1a, 1b, 1c) mehrere zweite Kontakte (55a, 55b) zugeordnet sind, die den jeweiligen Bildpunkt (1a, 1b, 1c) redundant kontaktieren.
Anzeigevorrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der zumindest einer der zweiten Kontakte (55a, 55b) an mehrere benachbarte Bildpunkte (1a, 1b, 1c) lateral angrenzend angeordnet ist und zur Kontaktierung der mehreren benachbarten Bildpunkte (1a, 1b, 1c) ausgebildet ist.
Anzeigevorrichtung (1) nach Anspruch 1, bei der auf jedem Knotenpunkt (100x) des Gitters (100) einer der zweiten Kontakte (55a, 55b) angeordnet ist.
Anzeigevorrichtung (1) nach Anspruch 1, bei der auf jedem zweiten lateral aufeinanderfolgenden Knotenpunkt (100x) des Gitters (100) einer der zweiten Kontakte (55a, 55b) angeordnet ist.
Anzeigevorrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der wenigstens einer der zweiten Kontakte (55a, 55b), der einem Bildpunkt (1a, 1b, 1c) zugeordnet ist welcher an einen lateralen Randbereich (10c) der Anzeigevorrichtung (1) angrenzt, sich parallel entlang des Randbereichs (10c) erstreckend ausgebildet ist.
Anzeigevorrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der eine laterale Erstreckung von einem Bildpunkt (1a, 1b, 1c) zugeordneten zweiten Kontakten (55a, 55b) jeweils abhängig ist von einer Anzahl von dem jeweiligen Bildpunkt (1a, 1b, 1c) zugeordneten zweiten Kontakten (55a, 55b) .
Anzeigevorrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der wenigstens einer der zweiten Kontakte (55a, 55b), der einem Bildpunkt (1a, 1b, 1c) zugeordnet ist welcher an einen lateralen Randbereich (10c) der Anzeigevorrichtung (1) angrenzt, einen vorgegebenen Abstand aufweist, mit dem der jeweilige zweite Kontakt (55a, 55b) hin zu einem lateralen Inneren der Anzeigevorrichtung (1) versetzt angeordnet ist.
Anzeigevorrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der eine laterale Erstreckung wenigstens einer der zweiten Kontakte (55a, 55b) kreisförmig ausgebildet ist.
Anzeigevorrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der die zweite Kontaktstruktur (55) gitterförmig ausgebildet ist.
Anzeigevorrichtung (1) mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbaren Bildpunkten (1a, 1b, 1c), umfassend: - eine Halbleiterschichtenfolge (3) zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung mit einer ersten Halbleiterschicht (31), einer aktiven Schicht (33) und einer zweiten Halbleiterschicht (35), - eine erste Kontaktstruktur (51) zur Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht (31) und eine zweite Kontaktstruktur (55) zur Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht (35), wobei - die erste Kontaktstruktur (51) getrennt voneinander betreibbare erste Kontakte (51a, 51b, 51c) aufweist, die sich jeweils lateral unterbrechungsfrei entlang der ersten Halbleiterschicht (31) erstrecken und jeweils mit ihrer Kontur einen Bildpunkt (1a, 1b, 1c) lateral begrenzen, - die Halbleiterschichtenfolge (3) und die erste Kontaktstruktur (51) mindestens eine bezüglich eines jeweiligen Bildpunkts (1a, 1b, 1c) lateral angrenzende Ausnehmung (7a, 7b) aufweisen, die sich durch die erste Kontaktstruktur (51), die erste Halbleiterschicht (31) und die aktive Schicht (33) hindurch in die zweite Halbleiterschicht (35) hinein erstreckt, - die zweite Kontaktstruktur (55) zweite Kontakte (55a, 55b) aufweist, die sich von einer der ersten Kontaktstruktur (51) zugewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge (3) durch die mindestens eine Ausnehmung (7a, 7b) erstrecken, und - wenigstens einer der zweiten Kontakte (55a, 55b) einen Bildpunkt (1a, 1b, 1c) lateral umschließt.