DE112013000846T5 - Adhesive method and adhesive clamping device of the detection plate group - Google Patents

Abstract

The present invention discloses an adhesive method and an adhesive clamp device of the detection plate group, the method including: ➀ setting up an ultra-clean study and an ultra-clean table; ➁ wiping the protective glass of the cover plate that meets the requirements on the ultra-clean table with an antistatic wipe of the optical glass dipped in alcohol; ➂ sticking the protective films on the coating surface of the reference plate for the coating detection; ➃ Glue the cover plate for the coating detection and the protective glass of the reference plate glued with the protective films to form a waterproof detection plate group. The present invention ensures that during the processing process the area of coating marks cannot touch the pollution source, so that the scrapping rate is reduced, and the processed detection plate fulfills the high quality requirement of the stepper with the projection in different steps.

Description

Technical area

The present invention relates to a stepper, and more particularly, to an adhesive method and an adhesive gripper of the detection plate group for steppers with projection in various steps, the detection plate being mainly for aligning the positions of detection marks of the stepper with the projection in various steps, and directly influencing success the automatic alignment of silicon phase gratings in the stepper with the projection in different steps.

State of the art

At present, the coating method of processing the detection plate in the West is set after the processing of the parts, the processing of the detection plates does not affect the fouling in the area of coating marks, and the adhesion of the detection plates does not affect the shape and position of the processing of parts. The requirements of the surface shape of the reference surfaces of 0.003 mm and the parallelism of the upper and lower surfaces of less than 0.006 mm can be easily met. However, for the plate bodies of the processed detection plates in China, the standard plate bodies must be purchased after the coating process in foreign countries, the processing process requires a very good treatment against the pollution, which means that the finished product rate is low and the risk is high, thereby the requirements 90 nm stepper can not be met.

Content of the invention

It is the object of the present invention to provide a sticking method and apparatus of the detection plate group for steppers with the projection in various steps, wherein an antifouling adhesive for the reference surface in the range of coating marks is carried out, and the surface shape of the reference surface is better than 0.003 mm and the parallelism of the upper and lower surfaces is less than 0.006 mm, so that the requirement for the automatic alignment of phase gratings of the stepper is met.

• ➀ Einrichtung eines ultrasauberen Arbeitszimmer und eines ultrasauberen Tisches, wobei die Innentemperatur 20°C–26°C ± 0,1°C und die Luftfeuchtigkeit 50% bis 70% beträgt, und wobei unter dem Standardluftdruck die Klebarbeiten von Schutzfilmen der Erfassungsplatten und Erfassungsplattengruppen auf dem ultrasauberen Tisch ausgeführt sind;
• ➁ Und wobei die Mitarbeiter antistatische Handschuhe und Mundschutz tragen und auf dem ultrasauberen Tisch mit einem im Alkohol getauchten antistatischen Wischtuch des optischen Glases das Schutzglas der Bezugsplatte wischen, und wobei während des Wischprozesses die Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung und das Schutzglas der Bezugsplatte unter das Licht von 100 w gelegt werden und der Staub auf ihren Oberflächen gut beobachtet wird, bis kein Staub sichtbar für die Augen ist, und wobei die Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung und das gewischte Schutzglas der Bezugsplatte in einen Glasbehälter gelegt werden, um die nochmalige Kontamination zu verhindern;
• ➂ Und wobei die Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung aus dem Glasbehälter herausgenommen und auf die Tischebene horizontal gelegt wird, und wobei die Beschichtungsfläche der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung sich nach oben richtet, und wobei die Schutzfilme an der Beschichtungsfläche der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung geklebt werden, und wobei die Beobachtung mit Augen dann erfolgt, und wobei die Schutzfilme geprüft sind, wenn kein Luftblase besteht, und wobei beim Vorhandensein der Luftblase die Schutzfilme nochmals geklebt werden, bis sie geprüft sind, und wobei in Übereinstimmung mit der Abmessung der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung die überschüssigen Schutzfilme mit einer Klinge weg geschnitten werden;
• ➃ Und wobei das Schutzglas der Bezugsplatte aus dem Glasbehälter herausgenommen und horizontal auf die Bezugsplatte der Klebklemmvorrichtung der Erfassungsplatte gelegt wird, so dass zwei Seitenkanten des Schutzglases der Bezugsplatte eng an zwei Seitenbezugskanten der Klebklemmvorrichtung der Erfassungsplattengruppe gelehnt werden, und wobei die anderen zwei Seitenkanten des Schutzglases der Bezugsplatte über einen elastischen Pressblock fest gepresst werden;
• ➄ Und wobei die im Schritt ➂ mit den Schutzfilmen fertig geklebte Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung horizontal an die mittlere Position des Schutzglases der Bezugsplatte gelegt, so dass die Seite mit den Schutzfilmen sich nach unten richtet, und wobei zwei Seiten der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung eng an einen oberen Anschlag der Klebklemmvorrichtung der Erfassungsplattengruppe gelehnt sind, und wobei die anderen zwei Seiten der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung über den elastischen Pressblock fest gepresst werden;
• ➅ Und wobei oberhalb der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung Gewichte horizontal platziert werden, und wobei eine Schwerkraft von 5 bis 8 kg gleichmäßig ausgeübt wird, und wobei vier einander berührende Umfangskanten der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung und des Schutzglases der Bezugsplatte mit dem Epoxidharzklebstoff beider Kombination klebend behandelt werden, so dass die Breite und die Höhe des Klebstoffs zwischen 1,5 mm und 3 mm gesteuert werden, und wobei die Platzierung 20 bis 24 Stunden kontinuierlich dauert, um die Erfassungsplattengruppe zu formen.

The present invention is realized by the following technical solution: An adhesive method of the detection plate group for steppers with the projection in different steps, characterized in that the method comprises the following steps:

• ➀ To set up an ultra-clean office and an ultra-clean table, where the inside temperature is 20 ° C-26 ° C ± 0.1 ° C and the humidity is 50% to 70%, and below the standard air pressure, the sticking of the detection film and detection plate group protective films the ultra-clean table are executed;
• Wobei And with the staff wearing anti-static gloves and mouthguard and wiping the protective glass of the reference plate on the ultra-clean table with an optical glass antistatic wipe dipped in alcohol, and during the wiping process the reference plate for the coating detection and the protective glass of the reference plate under the light of 100w, and the dust is well observed on its surfaces until no dust is visible to the eyes, and the reference plate for coating detection and the wiped protective glass of the reference plate are placed in a glass container to prevent re-contamination;
• Wobei and wherein the reference plate for coating detection is taken out of the glass container and placed horizontally on the tray plane, and the coating surface of the coating detection reference plate is oriented upward, and the protective films are adhered to the coating surface of the coating detection reference plate, and wherein the observation is then performed with eyes, and wherein the protective films are tested when there is no air bubble, and wherein the presence of the air bubble, the protective films are glued again until they are tested, and wherein in accordance with the dimension of the reference plate for the coating detection excess protective films are cut away with a blade;
• Wobei and the protective glass of the reference plate is taken out of the glass container and placed horizontally on the reference plate of the detection plate adhesive clamping device, so that two side edges of the reference plate protective glass are leaned close to two side reference edges of the detection plate group adhesive clamping device, and the other two side edges of the protective glass the reference plate are pressed firmly over an elastic compression block;
• Wobei and the coating coating reference plate glued to the protective films in the step ➂ is placed horizontally at the middle position of the reference plate protective glass so that the protective film side is directed downward, and two sides of the coating detection reference plate closely fit an upper stop of the adhesive clamp of the detection plate group are leaned, and wherein the other two sides of the coating detection reference plate are pressed firmly over the elastic compression block;
• Wobei And wherein weights are horizontally placed above the reference plate for coating detection, and a gravity of 5 to 8 kg is uniformly applied, and four contacting peripheral edges of the reference plate for the coating detection and the protective glass of the reference plate are adhesively treated with the epoxy resin adhesive of both combinations so that the width and height of the adhesive are controlled between 1.5 mm and 3 mm, and the placement takes 20 to 24 hours continuously to form the sensing plate group.

In the adhesive treatment, the epoxy resin adhesive of both combination is installed on a twin pipe glue gun, the protective cover of the adhesive pipe outlet is opened, and an adhesive mixing head is installed at the outlet of the adhesive pipe, the twin pipe glue gun is moved to continuously along four peripheral edges Adhesive rubs evenly, the adhesive flow rate of the adhesive mixing head is 2 g to 3 g.

• ➆ Abnahme der Gewichte, wobei es geprüft wird, dass der Epoxidharzklebstoff entlang dem Spalt der unteren Beschichtungsfläche der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung einen Eingriffsbetrag von 1 mm bis 3 mm hat, wobei eine Ergänzung des Klebstoffs bei einem Eingriffsbetrag von unter 1 mm ausgeführt wird, und wobei eine Entfernungsbehandlung bei einem Eingriffsbetrag von mehr als 3 mm ausgeführt wird und es dann zum Schritt ➁ zurückkehrt;
• ➇ Und wobei die Erfassungsplattengruppe im Wasser getaucht wird, um das Wasserleck der Klebverbindung zu überprüfen, und wobei beim Vorhandensein der Wasserleckstellen an der Klebfläche eine nochmalige Klebbehandlung an den Leckstellen ausgeführt wird;
• ➈ Zusätzliches Kleben der Erfassungsplattengruppe Mit einem im Alkohol getauchten antistatischen Wischtuch des optischen Glases werden die Klebstellen sauber gewischt, wobei der Klebstoffmischkopf auf die Klebstellen der Erfassungsplattengruppe ausgerichtet wird, und wobei die Klebepistole des Zwillingsrohrs bewegt wird, so dass sie entlang vier Umfangskanten kontinuierlich den Klebstoff zusätzlich gleichmäßig stricht, und wobei die Breite und die Höhe des Klebstoffs zwischen 2,5 mm und 3,5 mm gesteuert werden, und wobei die horizontale Platzierung 20 bis 24 Stunden dauert;
• ➉ Verstärktes Kleben der Erfassungsplattengruppe Der Klebstoffmischkopf wird auf die Klebstellen der Erfassungsplattengruppe ausgerichtet, wobei die Klebepistole des Zwillingsrohrs bewegt wird, so dass sie entlang vier Umfangskanten kontinuierlich den Klebstoff zusätzlich gleichmäßig stricht, so dass die Breite und die Höhe des Klebstoffs zwischen 4 mm und 5 mm gesteuert werden, und wobei die horizontale Platzierung 24 bis 26 Stunden dauert, um die verstärkte Erfassungsplattengruppe zu erzeugen;
• (11) Mit einem Messgerät mit drei Koordinaten wird es geprüft, ob die Parallelität der oberen und unteren Fläche der durch Schritt ➉ verstärkten Erfassungsplattengruppe und ihre Flächenform den Festlegungen entsprechen;
• (12) Die den Festlegungen entsprechende verstärkte Erfassungsplattengruppe wird verpackt und bleibt dann im Thermostatkasten über 5 Tage, und nach der völligen Aushärtung wird sie verfügbar.

The method further includes the following steps:

• ➆ decreasing the weights, checking that the epoxy resin adhesive has an engagement amount of 1 mm to 3 mm along the nip of the lower coating surface of the coating registration reference plate, completing the adhesive at an engagement amount of less than 1 mm, and wherein a removal treatment is carried out at an engagement amount of more than 3 mm and then returns to the step ➁;
• ➇ And wherein the detection plate group is immersed in the water to check the water leakage of the adhesive bond, and in the presence of the water leaks on the adhesive surface, a repeated adhesive treatment is carried out at the leaks;
• Er Additional Bonding of Sensing Plate Group With an optical glass antistatic wipe immersed in the alcohol, wipes are cleanly wiped, aligning the adhesive mixing head with the gauges of the gauging plate assembly, and moving the twin tube glue gun so as to continuously seal the adhesive along four peripheral edges in addition uniformly, and wherein the width and the height of the adhesive between 2.5 mm and 3.5 mm are controlled, and wherein the horizontal placement takes 20 to 24 hours;
• ➉ Reinforced bonding of the sensing plate group The adhesive mixing head is aligned with the gluing points of the sensing plate assembly, moving the glue gun of the twin tube so that it continuously strikes the adhesive uniformly along four peripheral edges so that the width and height of the glue is between 4 mm and 5 mm, and the horizontal placement takes 24 to 26 hours to produce the amplified sensing plate group;
• (11) It is checked with a three coordinate measuring machine whether the parallelism of the upper and lower surfaces of the detection plate group reinforced by step ➉ and their surface shape satisfy the specifications;
• (12) The reinforced detection plate group corresponding to the specifications is packaged and then remains in the thermostat box for more than 5 days, and after the complete cure, it becomes available.

The above point that the detecting plate group is dipped in the water for checking the water leakage of the adhesive bond is detailed as follows:
That is, the detection plate group is immersed in the water for 1 minute and then taken out to check for water leakage consist of the adhesive surface, wherein in the presence of water leaks a repeated adhesive treatment is carried out at the leaks;
that the detection plate group is immersed in the water for 10 minutes and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks;
that the detection plate group is immersed in the water for 1 hour and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks;
that the detection plate group is immersed in the water for 3 hours and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks;
that the detection plate group is immersed in the water for 10 hours and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks;
that the detection plate group is immersed in the water for 20 to 24 hours and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leakage, a re-adhesive treatment is performed on the leaks;
that the detection plate group is immersed in the water for 120 to 150 hours and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks;
The requirements for the parallelism of the upper and lower surfaces of the reinforced detection plate group and their surface shape are: that the surface shape is better than 0.003 mm and the parallelism of the upper and lower surface is less than 0.006 mm.

The area of water contamination of the adhesive surface of the adhesive group of detection plates after adhesion is less than 2 mm.

An adhesive clamp of the detection plate group for steppers, characterized in that the clamp comprises the reference plate, a reference back edge being disposed on two adjacent edges of the reference plate, and on the outside of each of the other two edges of the reference plate is disposed an elastic press block, and wherein on the upper inner side of the reference backrest edge an upper stop is arranged.

Form.The elastic pressing block has a

Shape.

• 1. Die vorliegende Erfindung löst folgende Probleme: • Durch die Klebverbindung wird der Bereich von Beschichtungskennzeichen der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung isoliert und es wird gewährleistet, dass der Bereich von Beschichtungskennzeichen während des Verarbeitungsprozesses keine Verschmutzungsquelle berühren wird; • Unter der Voraussetzung, dass eine ausreichende Klebkraft gewährleistet wird, entspricht der Diffusionsbereich des Klebstoffs den Anforderungen; • Die Klebfläche der Erfassungsplatte ist weitestgehend ohne Verschmutzung oder Verunreinigungen; • Die Herstellungskosten werden reduziert und die Qualifikationsquote des Produkts wird erhöht, und die hohen Qualitätsanforderungen sind erfüllt.
• 2. Die im Verfahren der vorliegenden Erfindung geklebte Erfassungsplattengruppe kann es gewährleisten, dass die geklebte Erfassungsplattengruppe die Anforderungen an die automatische Ausrichtung von Siliziumphasengittern in dem Stepper mit verschiedenen Schritten völlig erfüllt.

Compared with the prior art, the present invention has advantages:
In conventional processing of the detection plate, the film protection method is usually used, the coating of the reference plate for the coating detection prevents the contamination only by means of the adhesive force of the films, and the protection area at the edge of the films is small, so the contamination isolation at the edge of the films is heavy and the qualification rate of processing is directly affected.

• 1. The present invention solves the following problems: The adhesive bond isolates the range of coating indicia of the coating registration reference plate and ensures that the area of coating indicia will not contact any contaminant source during the processing process; • Provided that adequate bond strength is ensured, the diffusion range of the adhesive meets the requirements; • The adhesive surface of the detection plate is largely free from contamination or contamination; • The manufacturing costs are reduced and the qualification rate of the product is increased, and the high quality requirements are met.
• 2. The detection plate group glued in the process of the present invention can ensure that the bonded detection plate group fully meets the requirements for automatic alignment of silicon phase gratings in the stepper with various steps.

Short description of the drawing

1 Fig. 10 is a main view of the clamp of the detection plate group according to the present invention.

2 Fig. 10 is a plan view of the clamp of the detection plate group according to the present invention.

3 is a main view of the sensing disk group.

LIST OF REFERENCE NUMBERS

1

Side reference edge

2

Upper stop

3

Weight

4

Elastic block

5

reference plate

6

Protective glass of the reference plate

7

Reference plate for coating detection

8th

protective film

Detailed embodiment

In the context of figures and embodiments, the present invention will be explained in more detail below, but the scope of the present invention is not limited thereby.

• 1. Es wird möglichst erreicht, dass die Beschichtungsfläche der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung und das Schutzglas der Bezugsplatte ohne Verschmutzung oder Verunreinigungen sind; Lösung: Beim Wischen der geöffneten Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung im sauberen Tisch im sauberen Raum von mindestens Zehntausend-Klasse müssen die antistatischen Handschuhe und Mundschutz getragen werden, und die Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung und das Schutzglas der Bezugsplatte werden unter das Licht von 100 w gelegt und der Staub auf ihren Oberflächen wird gut beobachtet, bis der Staub schwer zu sehen ist, dann werden die Schutzfilme an der Beschichtungsfläche der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung geklebt und die mit den Schutzfilmen geklebte Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung wird in einen bestimmten Glasbehälter gelegt, um die nochmalige Kontamination zu verhindern.
• 2. Gewährleistung der Form- und Positionsgenauigkeit der Erfassungsplattengruppe während des Klebprozesses Das Schutzglas der Bezugsplatte wird horizontal auf die Bezugsplatte 5 gelegt, seine zwei Seitenkanten werden eng an zwei Seitenbezugskanten 1 gelehnt, und sie werden mit einem elastischen Pressblock 4 fest gepresst werden; die mit den Schutzfilmen geklebte Bezugsplatte 7 für die Beschichtungserfassung wird horizontal auf das Schutzglas 6 der Bezugsplatte gelegt, und die Fläche mit den Schutzfilmen richtet sich nach unten; die Seitenkanten des Schutzglases 6 der Bezugsplatte sind eng an zwei obere Anschläge 2 gelehnt, gleichzeitig wird ein elastischer Pressblock zum festen Pressen verwendet; oberhalb der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung werden Gewichte horizontal platziert, und eine Schwerkraft von 5 bis 8 kg wird gleichmäßig ausgeübt, mit dem Epoxidharzklebstoff beider Kombination werden die vier Umfangskanten der unteren Beschichtungsfläche der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung und die Kontaktkanten des Schutzglases der Bezugsplatte mit umlaufender Positionierung geklebt. Mit einem Messgerät mit drei Koordinaten wird die Parallelität der oberen und unteren Fläche der Klebgruppe der verstärkten Erfassungsplatten gemessen. Es wird gemessen und geprüft, ob die Parallelität und die Flächenform die Gestaltungsanforderungen erfüllen.
• 3. Gewährleistung eines festen Klebbereichs ohne Leckage, Sicherstellung der Qualifikationsquote der Produktsverarbeitung Die Erfassungsplattengruppe wird geklebt, die Breite und die Höhe des Klebstoffs werden zwischen 1,5 mm und 3 mm gesteuert werden, nach der horizontalen Platzierung von 20 bis 24 Stunden werden folgende Maßnahmen nacheinander ausgeführt: • dass die Erfassungsplattengruppe im Wasser für 1 Minute getaucht und dann herausgenommen wird, um es zu überprüfen, ob Wasserleckstellen an der Klebfläche bestehen, wobei beim Vorhandensein der Wasserleckstellen eine nochmalige Klebbehandlung an den Leckstellen ausgeführt wird, und wobei eine horizontale Platzierung 20 bis 24 Stunden dauert; • dass die Erfassungsplattengruppe im Wasser für 10 Minute getaucht und dann herausgenommen wird, um es zu überprüfen, ob Wasserleckstellen an der Klebfläche bestehen, wobei beim Vorhandensein der Wasserleckstellen eine nochmalige Klebbehandlung an den Leckstellen ausgeführt wird, und wobei eine horizontale Platzierung 20 bis 24 Stunden dauert; • dass die Erfassungsplattengruppe im Wasser für 1 Stunde getaucht und dann herausgenommen wird, um es zu überprüfen, ob Wasserleckstellen an der Klebfläche bestehen, wobei beim Vorhandensein der Wasserleckstellen eine nochmalige Klebbehandlung an den Leckstellen ausgeführt wird, und wobei eine horizontale Platzierung 20 bis 24 Stunden dauert; • dass die Erfassungsplattengruppe im Wasser für 3 Stunden getaucht und dann herausgenommen wird, um es zu überprüfen, ob Wasserleckstellen an der Klebfläche bestehen, wobei beim Vorhandensein der Wasserleckstellen eine nochmalige Klebbehandlung an den Leckstellen ausgeführt wird, und wobei eine horizontale Platzierung 20 bis 24 Stunden dauert; • dass die Erfassungsplattengruppe im Wasser für 10 Stunden getaucht und dann herausgenommen wird, um es zu überprüfen, ob Wasserleckstellen an der Klebfläche bestehen, wobei beim Vorhandensein der Wasserleckstellen eine nochmalige Klebbehandlung an den Leckstellen ausgeführt wird, und wobei eine horizontale Platzierung 20 bis 24 Stunden dauert; • dass die Erfassungsplattengruppe im Wasser für 20 bis 24 Stunden getaucht und dann herausgenommen wird, um es zu überprüfen, ob Wasserleckstellen an der Klebfläche bestehen, wobei beim Vorhandensein der Wasserleckstellen eine nochmalige Klebbehandlung an den Leckstellen ausgeführt wird, und wobei eine horizontale Platzierung 20 bis 24 Stunden dauert; • dass die Erfassungsplattengruppe im Wasser für 120 bis 150 Stunden getaucht und dann herausgenommen wird, um es zu überprüfen, ob Wasserleckstellen an der Klebfläche bestehen, wobei beim Vorhandensein der Wasserleckstellen eine nochmalige Klebbehandlung an den Leckstellen ausgeführt wird, und wobei eine horizontale Platzierung 20 bis 24 Stunden dauert.
• 4. Gewährleistung eines festen Klebbereichs ohne Leckage, Erhöhung der Qualifikationsquote des Produkts Um es sicherzustellen, dass der Klebbereich im nachfolgenden Verarbeitungsprozess von der Außenumgebung isoliert wird, die Klebqualität zu gewährleisten und die Qualifikationsquote des Produkts zu erhöhen, werden die Klebmaßnahmen in verschiedenen Schritten getroffen: • Der Epoxidharzklebstoff beider Kombination wird an einer Klebepistole des Zwillingsrohrs installiert und ein Klebstoffmischkopf wird zum Kleben installiert; • Die vier Umfangskanten der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung werden gleichmäßig kontinuierlich geklebt, und die Breite und die Höhe des Klebstoffs werden zwischen 1,5 mm und 3 mm gesteuert, und die horizontale Platzierung dauert 20 bis 24 Stunden; • Überprüfen, dass der Epoxidharzklebstoff entlang dem Spalt zwischen der unteren Beschichtungsfläche der Bezugsplatte für die Beschichtungserfassung und dem Schutzglas der Bezugsplatte einen Eingriffsbetrag von 1 mm bis 3 mm hat, und eine Ergänzung des Klebstoffs wird bei einem Eingriffsbetrag von unter 1 mm ausgeführt, wenn der Eingriffsbetrag mehr als 3 mm ist, wird die Erfassungsplattengruppe in einen sauberen Behälter gelegt, und die Klebstoff wird mit Entfernungsmittel für Klebstoff entfernt, dann kehrt es zum Schritt ➁ zurück; • Mit einem im Alkohol getauchten antistatischen Wischtuch des optischen Glases werden die Klebstellen sauber gewischt, der Klebstoffmischkopf wird auf die Klebstellen der Erfassungsplattengruppe ausgerichtet, und die Klebepistole wird bewegt, so dass sie entlang vier Umfangskanten kontinuierlich den Klebstoff zusätzlich gleichmäßig stricht, die Breite und die Höhe des Klebstoffs werden zwischen 2,5 mm und 3,5 mm gesteuert werden, und die horizontale Platzierung dauert 20 bis 24 Stunden; • Der Klebstoffmischkopf wird auf die Klebstellen der Erfassungsplattengruppe ausgerichtet, wobei die Klebepistole bewegt wird, so dass sie entlang vier Umfangskanten kontinuierlich den Klebstoff zusätzlich gleichmäßig stricht, so dass die Breite und die Höhe des Klebstoffs zwischen 4 mm und 5 mm gesteuert werden, und wobei die horizontale Platzierung 24 bis 26 Stunden dauert, um die verstärkte Erfassungsplattengruppe zu erzeugen.

A solution to prevent the influence of temperature and humidity in the workspace on the gluing
Net internal temperature at 20 ° C-26 ° C ± 0.1 ° C, humidity at 50% -70%,
Carrying out under the standard air pressure.

• 1. It is achieved, if possible, that the coating surface of the reference plate for the coating detection and the protective glass of the reference plate are free from contamination or contamination; Solution: When wiping the open cover plate for coating detection in the clean table in the clean room of at least ten thousand-grade, the antistatic gloves and mouthguard must be worn, and the reference plate for the coating detection and the protective glass of the reference plate is placed under the light of 100 w and the dust on its surfaces is well observed until the dust is hard to see, then the protective films are adhered to the coating surface of the reference plate for coating detection and the reference plate glued to the protective films for coating detection is placed in a specific glass container to prevent re-contamination.
• 2. Ensuring the shape and position accuracy of the detecting plate group during the gluing process The protective glass of the reference plate is horizontally placed on the reference plate 5 placed, its two side edges are close to two side reference edges 1 leaning, and they are using an elastic pressing block 4 be pressed firmly; the reference plate glued to the protective films 7 for coating detection, place horizontally on the protective glass 6 the reference plate is placed, and the surface with the protective films is directed downwards; the side edges of the protective glass 6 the reference plate are close to two upper stops 2 leaning, at the same time an elastic compression block is used for firm pressing; above the reference plate for coating detection, weights are placed horizontally, and a gravity of 5 to 8 kg is uniformly applied, with the epoxy resin adhesive of the combination being the four peripheral edges of the lower coating surface of the coating detection reference plate and the contact edges of the protective glass of the circumferential positioning reference plate glued. With a three-coordinate measuring device, the parallelism of the upper and lower surfaces of the adhesive group of the reinforced detection plates is measured. It is measured and checked whether the parallelism and the surface shape meet the design requirements.
• 3. Ensuring a firm adhesion area without leakage, ensuring the qualification rate of the product processing The detection plate group is adhered, the width and the height of the adhesive are controlled between 1.5 mm and 3 mm, after the horizontal placement of 20 to 24 hours, the following measures in sequence: • submerge the sensing plate assembly in the water for 1 minute and then remove it to check for water leaks at the adherend surface, re-adhering to the leaks in the presence of water leaks, with a horizontal placement 20 takes up to 24 hours; • Submerge the sensing plate assembly in the water for 10 minutes and then remove it to check for water leaks on the bonding surface, re-adhering to the leaks in the presence of water leaks, and a horizontal placement for 20 to 24 hours lasts; • submerge the sensing plate assembly in the water for 1 hour and then remove it to check for water leaks at the adherend, re-adhering to the leaks in the presence of water leaks, and placing it horizontally for 20 to 24 hours lasts; • submerge the sensing plate assembly in the water for 3 hours and then remove it to check for water leaks at the adherend, re-adhering to the leaks in the presence of water leaks, and placing it horizontally for 20 to 24 hours lasts; • submerge the sensing plate assembly in the water for 10 hours and then remove it to check for water leaks at the adherend, re-adhering to the leaks in the presence of water leaks, and a horizontal placement for 20 to 24 hours lasts; • submerge the sensing plate assembly in the water for 20 to 24 hours and then remove it to check for water leaks at the bonding surface, re-adhering to the leaks in the presence of water leaks, and a horizontal placement of 20 to Takes 24 hours; • submerge the sensing plate assembly in the water for 120 to 150 hours and then remove it to check for water leaks at the adhesive surface, re-adhering to the leaks in the presence of water leaks, and having a horizontal placement of 20 to 24 hours lasts.
• 4. Ensuring a firm bond area without leakage, increasing the qualification rate of the product In order to ensure that the adhesive area is isolated from the outside environment in subsequent processing, to ensure the quality of the bond and to increase the qualification rate of the product, the bonding measures are taken in different steps: The epoxy resin adhesive of both combination is installed on a twin tube glue gun and an adhesive mixing head is installed for gluing; • The four peripheral edges of the coating detection reference plate are evenly glued continuously, and the width and height of the adhesive are controlled between 1.5 mm and 3 mm, and the horizontal placement takes 20 to 24 hours; Check that the epoxy resin adhesive has an engagement amount of 1 mm to 3 mm along the gap between the lower coating surface of the coating detection reference plate and the protective glass of the reference plate, and addition of the adhesive is carried out at an interference amount of less than 1 mm when the Engagement amount is more than 3 mm, the detection plate group is placed in a clean container, and the adhesive is removed with adhesive removing agent, then it returns to the step ➁; • With an optical glass antistatic wipe dipped in alcohol, clean the splices, align the Adhesive Mixing Head with the splices of the Sensing Plate Group, and move the Glue Gun so that it continues to evenly coat the adhesive along four peripheral edges, width and width The height of the adhesive will be controlled between 2.5mm and 3.5mm, and the horizontal placement will take 20 to 24 hours; • The adhesive mixing head is aligned with the splices of the detection plate group, with the glue gun is moved so that it continuously uniformly along four peripheral edges continuously the adhesive, so that the width and the height of the adhesive between 4 mm and 5 mm are controlled, and the horizontal placement takes 24 to 26 hours to produce the reinforced sensing plate group.

Form hat. Das Unterteil des elastischen Pressblocks dient zum festen Pressen des Schutzglases 6 der Bezugsplatte, und das Oberteil des elastischen Pressblocks dient zum festen Pressen der Bezugsplatte 7 für die Beschichtungserfassung. 1 FIG. 14 is a main view of the clamp of the detection plate group according to the present invention; FIG. 2 Fig. 10 is a plan view of the clamp of the detection plate group according to the present invention. As shown in figures, an adhesive-clamping device of the detection plate group for steppers, comprising the reference plate 5 , wherein at two adjacent edges of the reference plate 5 one reference back edge each 1 is arranged, and being on the outside of the other two edges of the reference plate 5 in each case an elastic compression block is arranged, and on the upper inner side of the reference backrest edge 1 an upper stop 2 is arranged, and wherein the elastic pressing block 4 a

Has shape. The lower part of the elastic pressing block is used for firmly pressing the protective glass 6 the reference plate, and the top of the elastic pressing block is used for firmly pressing the reference plate 7 for coating detection.

Claims (8)

Adhesive method of the detection plate group for steppers with the projection in different steps, characterized in that the method comprises the following steps: ➀ establishment of an ultra-clean office and an ultra-clean table, the internal temperature 20 ° C-26 ° C ± 0.100 and the humidity 50% to 70%, and under the standard air pressure, the sticking work of protective films of the detecting plates and detecting plate groups on the ultra-clean table are carried out; Wobei And where the employees are wearing anti-static gloves and mouthguards and on the ultra-clean table with an anti-static wiping cloth of optical glass immersed in alcohol, the protective glass ( 6 ) of the reference plate, and wherein during the wiping process the reference plate ( 7 ) for the coating detection and the protective glass of the reference plate ( 6 ) are placed under the light of 100W and the dust is well observed on their surfaces until no dust is visible to the eyes, and with the reference plate ( 7 ) for the coating detection and the wiped protective glass ( 6 ) of the reference plate are placed in a glass container to prevent re-contamination; ➂ and where the reference plate ( 7 ) is taken out of the glass container for coating detection and placed horizontally on the table plane, and wherein the coating surface of the reference plate ( 7 ) for the coating detection is directed upward, and wherein protective films ( 8th ) on the coating surface of the reference plate ( 7 ) and wherein the observation with eyes are then made, and wherein the protective films are tested when no air bubble, and wherein the presence of the air bubble, the protective films are glued again until they are tested, and wherein in accordance with the dimension of the reference plate ( 7 ) for the coating detection, the excess protective films are cut away with a blade; Wobei and where the protective glass ( 6 ) of the reference plate removed from the glass container and horizontally on the reference plate ( 5 ) is placed the Klebklemmvorrichtung the detection plate, so that two side edges of the protective glass ( 6 ) of the reference plate closely to two side reference edges ( 1 ) of the adhesive clamping device of the detection plate group are leaned, and wherein the other two side edges of the protective glass ( 6 ) of the reference plate via an elastic compression block ( 4 ) are pressed firmly; Wobei and wherein the reference plate glued in step ➂ with the protective films ( 7 ) for the coating detection horizontally to the middle position of the protective glass ( 6 ) of the reference plate, so that the side with the protective films is directed downwards, and wherein two sides of the reference plate ( 7 ) for the Coating detection close to an upper stop ( 2 ) of the adhesive clamping device of the detection plate group are leaned, and wherein the other two sides of the reference plate ( 7 ) for the coating detection via the elastic compression block ( 4 ) are pressed firmly; ➅ And where above the reference plate ( 7 ) for the coating detection weights ( 3 ) are placed horizontally, and wherein a gravity of 5 to 8 kg is applied uniformly, and wherein four mutually contacting peripheral edges of the reference plate ( 7 ) for the coating detection and the protective glass ( 6 ) of the reference plate are adhesively treated with the epoxy resin adhesive of both combinations so that the width and height of the adhesive are controlled between 1.5 mm and 3 mm, and the placement takes 20 to 24 hours continuously to form the detection plate group. Adhesive method of the detection plate group for steppers with the projection in various steps according to claim 1, characterized in that the adhesive treatment of the epoxy resin adhesive of both combination is installed on a glue gun of the twin tube, wherein the protective cover of the outlet opening of the adhesive tube is opened, and wherein at the outlet opening of the Adhesive tube, an adhesive mixing head is installed, and wherein the glue gun of the twin tube is moved so that it continuously uniformly along four peripheral edges of the adhesive, and wherein the adhesive flow rate of the adhesive mixing head is 2 g to 3 g. Adhesive method of the detection plate group for steppers with the projection in various steps according to claim 1 or 2, characterized in that the method further comprises the following steps: ➆ decrease of the weights ( 3 It is checked that the epoxy resin adhesive along the gap of the lower coating surface of the reference plate ( 7 ) for the coating detection has an engagement amount of 1 mm to 3 mm, wherein an addition of the adhesive is carried out at an engagement amount of less than 1 mm, and wherein a removal treatment is carried out at an engagement amount of more than 3 mm, and then returns to the step ➁ ; ➇ And wherein the detection plate group is immersed in the water to check the water leakage of the adhesive bond, and in the presence of the water leaks on the adhesive surface, a repeated adhesive treatment is carried out at the leaks; Er Additional Bonding of Sensing Plate Group With an optical glass antistatic wipe immersed in the alcohol, wipes are cleanly wiped, aligning the adhesive mixing head with the gauges of the gauging plate assembly, and moving the twin tube glue gun so as to continuously seal the adhesive along four peripheral edges in addition uniformly, and wherein the width and the height of the adhesive between 2.5 mm and 3.5 mm are controlled, and wherein the horizontal placement takes 20 to 24 hours; ➉ Reinforced bonding of the sensing plate group The adhesive mixing head is aligned with the gluing points of the sensing plate assembly, moving the glue gun of the twin tube so that it continuously strikes the adhesive uniformly along four peripheral edges so that the width and height of the glue is between 4 mm and 5 mm, and the horizontal placement takes 24 to 26 hours to produce the amplified sensing plate group; (11) With a three-coordinate measuring apparatus, it is checked whether the parallelism of the upper and lower surfaces of the detection plate group reinforced by step □ and their surface shape satisfy the specifications; (12) The reinforced detection plate group corresponding to the specifications is packaged and then remains in the thermostat box for more than 5 days, and after the complete cure, it becomes available. A method of sticking the detection plate group for stepper with the projection in various steps according to claim 3, characterized in that immersion of the detection plate group in the water for checking the water leakage of the adhesive bond is as follows: the detection plate group is immersed in the water for 1 minute and then taken out, to check whether there are water leaks on the adhesive surface, wherein in the presence of water leaks, a repeated adhesive treatment is carried out at the leaks; that the detection plate group is immersed in the water for 10 minutes and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks; that the detection plate group is immersed in the water for 1 hour and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks; that the detection plate group is immersed in the water for 3 hours and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks; that the detection plate group is immersed in the water for 10 hours and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend, and in the presence of the water leaks, a re-adhesive treatment is performed on the leaks; that the detection plate group is immersed in the water for 20 to 24 hours and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leakage, a re-adhesive treatment is performed on the leaks; That is, the detection plate group is immersed in the water for 120 to 150 hours and then taken out to check whether water leaks exist on the adherend surface, and in the presence of the water leaks, a re-adhesion treatment is performed on the leaks. Adhesive method of the detection plate group for steppers with the projection in various steps according to claim 3, characterized in that the requirements for the parallelism of the upper and lower surfaces of the reinforced detection plate group and their surface shape are that the surface shape better than 0.003 mm and the parallelism of the upper and lower surface is less than 0.006 mm. Adhesive method of the detection plate group according to claim 3, characterized in that the range of water contamination of the adhesive surface of the adhesive group of the adhesive plate of detection plates after adhesion is less than 2 mm. Adhesive clamping device of the detection plate group for steppers, characterized in that the clamping device, the reference plate ( 5 ), wherein at two adjacent edges of the reference plate ( 5 ) each have a reference back edge ( 1 ) and on the outside of the other two edges of the reference plate ( 5 ) in each case an elastic compression block ( 4 ) is arranged, and wherein on the upper inner side of the reference backrest edge ( 1 ) an upper stop ( 2 ) is arranged. Adhesive clamping device of the detection plate group for steppers, characterized in that the elastic pressing block ( 4 ) one

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