DE202017002152U1 - Holding device for precision parts - Google Patents

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    • H01L2221/68318—Auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support

Abstract

Haltevorrichtung für Präzisionsteile mit einem Befestigungsteil (1), einer an dem Befestigungsteil (1) vorgesehenen Adhäsionsschicht (20) mit einer eingeschränkten Klebrigkeit zur abnehmbaren Befestigung eines Präzisionsteils, dadurch gekennzeichnet, dass die Adhäsionsschicht (20) dadurch ausgebildet ist, dass Silikon- oder Fluoroelastomer auf ein Teil mindestens einer Seite beider Seiten des Befestigungsteils (1) aufgebracht ist, und 1 bis 50% einer der Adhäsion zugewandten Seite des Präzisionsteils von der Adhäsionsschicht (20) gehalten wird.Holding device for precision parts with a fastening part (1), an adhesive layer (20) provided on the fastening part (1) with limited tackiness for detachable fastening of a precision part, characterized in that the adhesion layer (20) is formed by silicone or fluoroelastomer is applied to a part of at least one side of both sides of the fixing part (1), and 1 to 50% of an adhesion-facing side of the precision part is held by the adhesion layer (20).

Description

[Stand der Technik][State of the art]

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Haltevorrichtung für Präzisionsteile zur Verwendung im Transport, zum Testen, zur Inspektion und zu anderen Verwendungen von Präzisionsteilen, wie beispielsweise optische Linsen und andere Teile.The present invention relates to a precision part holding device for use in transportation, testing, inspection and other uses of precision parts such as optical lenses and other parts.

Präzisionsteile, wie beispielsweise optische Linsen, MEMs (Mikroelektronische mechanische Systeme), Peltierelemente, Messwertaufnehmer und andere Teile, sind klein und fragil und haben im Allgemeinen keine genügende Festigkeit, so dass es Fälle gibt, in denen der Transport, Umgebungstests, Operationen in Inspektionsschritten unter Verwendung von Inspektionskameras behindert werden, wenn derartige Teile so gehandhabt werden, wie sie sind. Hierfür werden die Präzisionsteile im Allgemeinen an einer Haltevorrichtung befestigt, die eine ausreichende Steifigkeit hat, um die Festigkeit und Sicherheit zu gewährleisten und die Handhabung beim Transport, bei Umgebungstests und Operationen wie Inspektionsschritte zu verbessern.Precision parts, such as optical lenses, MEMs (microelectronic mechanical systems), Peltier elements, transducers, and other parts, are small and fragile, and generally have insufficient strength, so there are cases where transportation, environmental testing, inspection operations are undermined Use of inspection cameras if such parts are handled as they are. To accomplish this, the precision parts are generally attached to a fixture which has sufficient rigidity to ensure strength and safety and to improve handling during transportation, environmental testing and operations such as inspection steps.

Als Haltevorrichtungen dieser Art sind einige Typen bekannt, obwohl sie nicht gezeigt sind: eine Haltevorrichtung (1), die über eine feste Basisplatte und eine Adhäsionsschicht verfügt, die auf die Oberfläche der Basisplatte laminiert ist, um die Präzisionsteile zu positionieren und zu halten, und derart ausgebildet ist, dass die Adhäsionsschicht durch das Aufbringen eines Adhäsionsmittels auf die gesamte Oberfläche des Basisteils laminiert und ausgehärtet ist; eine Haltevorrichtung (2), die über einen Träger und eine Adhäsionsfilmbeschichtung auf der Oberfläche des Trägers verfügt, und derart ausgebildet ist, dass der Adhäsionsfilm durch eine Laminierung eines Filmträgers sowie erste und zweite Adhäsionsschichten gebildet wird (siehe Patentdokument 1); und eine Haltevorrichtung (3), die über einen Mehrzahl von Abstandshaltern verfügt, die auf der Oberfläche eines Trägers angeordnet sind, während die Mehrzahl der Abstandshalter mit einem Adhäsionsfilm abgedeckt sind, der durch eine Laminierung eines Filmträgers sowie erste und zweite Adhäsionsschichten und einen Adhäsionsabschnitt gebildet wird (siehe Patentdokument 2).As holding devices of this kind, although not shown, some types are known: a holding device (1) having a fixed base plate and an adhesive layer laminated on the surface of the base plate to position and hold the precision parts, and is formed such that the adhesive layer is laminated and cured by the application of an adhesive on the entire surface of the base member; a holding device (2) having a support and an adhesive film coating on the surface of the support and formed such that the adhesive film is formed by lamination of a film support and first and second adhesion layers (see Patent Document 1); and a holding device (3) having a plurality of spacers disposed on the surface of a carrier while the plurality of spacers are covered with an adhesive film formed by lamination of a film carrier and first and second adhesion layers and an adhesion portion is (see Patent Document 2).

Bei Haltevorrichtungen (1), bei denen die Adhäsionsschicht durch das Aufbringen und Aushärten einer Adhäsion auf die gesamte Oberfläche der Basisplatte laminiert und geformt ist, lassen sich die Präzisionsteile nach einer Umgebungsprüfung bei Temperaturen von –40° bis 120° manchmal nicht von der Adhäsion der Adhäsionsschicht entfernen. In derartigen Fällen können die Basisplatte und/oder die Präzisionsteile bei dem Versuch, das Präzisionsteil durch Biegen der Basisplatte zu entfernen, beschädigt werden, weil die Basisplatte eine Festigkeit hat.In holding devices (1) in which the adhesion layer is laminated and formed by applying and curing an adhesion to the entire surface of the base plate, the precision parts sometimes can not be checked for adhesion at temperatures of -40 ° to 120 ° after environmental testing Remove adhesion layer. In such cases, the base plate and / or the precision parts may be damaged in an attempt to remove the precision part by bending the base plate because the base plate has strength.

Bei den Haltevorrichtungen (2) und (3) hingegen, obwohl es möglich ist, einen ausgezeichneten Effekt zu erwarten, schrumpft der Adhäsionsfilm, wenn die Haltevorrichtung einer Umgebungstemperatur von –40° bis 120°C ausgesetzt wird, so dass die mit hoher Präzision positionierten Präzisionsteile in die X- und Y-Richtung verschoben werden. Folglich wird eine Inspektion unter Verwendung eine Inspektionskamera und/oder die folgende Operation des Aufnehmens der Präzisionsteile behindert. Wenn die Präzisionstele daher mit einer großen Anzahl von Proben in einem Herstellungsprozess der Präzisionsteile untersucht werden, wird es schwierig, die Inspektion mit einigen Typen durchzuführen, wenn die Präzisionsteile um mehr als 5 bis 10 μm in die X- und Y-Richtung verschoben werden.On the other hand, in the holders (2) and (3), although it is possible to expect an excellent effect, the adhesive film shrinks when the holder is exposed to an ambient temperature of -40 ° to 120 ° C so that they are positioned with high precision Precision parts are moved in the X and Y direction. Consequently, an inspection using an inspection camera and / or the following operation of picking up the precision parts is hindered. Therefore, when the precision steels are inspected with a large number of samples in a manufacturing process of the precision parts, it becomes difficult to perform the inspection with some types when the precision parts are shifted more than 5 to 10 μm in the X and Y directions.

In Anbetracht der obigen Gesichtspunkte, ist im Stand der Technik eine Haltevorrichtung (4) vorgeschlagen worden, in der die Oberfläche des Trägersubstrates mit einer flexiblen Adhäsionshalteschicht bedeckt ist, die in Adhäsionsbereiche und Nicht-Adhäsionsbereiche aufgeteilt ist, und die Nicht-Adhäsionsbereiche eine Mehrzahl von Halteabschnitten bilden, die erste und zweite Halteabschnitte umfassen, die regulär angeordnet sind (siehe Patentdokument 3). Als eine ähnliche Haltevorrichtung ist eine Haltevorrichtung für Halbleiterwafer (5) vorgeschlagen worden, bei der eine Mehrzahl von Adhäsionsschichtabschnitten in einer Streifenform auf einem Trägersubstrat angeordnet sind (siehe Patentdokument 4)In view of the above aspects, the prior art has proposed a holding device (4) in which the surface of the supporting substrate is covered with a flexible adhesive holding layer divided into adhesion regions and non-adhesion regions, and the non-adhesion regions are a plurality of Form holding portions, the first and second holding portions, which are arranged regularly (see Patent Document 3). As a similar holding device, there has been proposed a semiconductor wafer holding apparatus (5) in which a plurality of adhesion layer portions are arranged in a stripe shape on a supporting substrate (see Patent Document 4).

[Dokumente nach dem Stand der Technik][Documents of the Prior Art]

[Patentdokumente][Patent Documents]

[Patentdokument 1][Patent Document 1]

  • Offengelegte Japanische Patentanmeldung Nr. 2014-216534 Laid-open Japanese Patent Application No. 2014-216534

[Patentdokument 2][Patent Document 2]

  • WO 2016/006058WO 2016/006058

[Patentdokument 3][Patent Document 3]

  • Offengelegte Japanische Patentanmeldung Nr. 2016-066653 Laid-open Japanese Patent Application No. 2016-066653

[Patentdokument 4][Patent Document 4]

  • Offengelegte Japanische Patentanmeldung Nr. 2016-021527 Laid-open Japanese Patent Application No. 2016-021527

Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung sollen die folgenden Aufgaben gelöst werden.With the device according to the invention, the following objects are to be achieved.

Die Haltevorrichtung (4) kann akkurat positionierte Präzisionsteile am Verschieben in X- und Y-Richtung hindern, aber es ist schwierig, in der Ebene eine hohe Genauigkeit sicherzustellen, da die Haltevorrichtung in der Z-Richtung eine Struktur mit mehreren Schichten hat. Folglich bewegen sich die Präzisionsteile in der Z-Richtung. Die Präzisionsteile bewegen sich in der Z-Richtung, was eine Inspektion von oben unter Verwendung einer Inspektionskamera und auch die folgende Operation des Aufnehmens der Präzisionsteile behindert.The holding device (4) can prevent accurately positioned precision parts from shifting in the X and Y directions, but it is difficult to ensure high accuracy in the plane because the holder has a multi-layered structure in the Z direction. Consequently, the precision parts move in the Z direction. The precision parts move in the Z direction, obstructing an inspection from above using an inspection camera and also the following operation of picking up the precision parts.

Da in der Haltevorrichtung (5) eine Mehrzahl von Adhäsionsschichtabschnitten diskret ausgebildet sind, um den gesamten Adhäsionsbereich zu verkleinern, ist es möglich, die Halbleiterwafer sicher und leicht zu entfernen, während es schwierig ist, eine große Genauigkeit in der Ebene zu erzielen, da die aus glasfaserverstärktem Epoxidharz oder dergleichen als das Trägersubstrat gefertigte Kunststoffplatte eine Toleranz in der Dicke so viel wie 100 μm hat. Wenn diese Haltevorrichtung daher zum Halten von Präzisionsteilen verwendet wird, besteht das Risiko, dass sich die Präzisionsteile in die Z-Richtung verschieben, wodurch die Inspektion unter Verwendung einer Inspektionskamera behindert wird. Da das Trägersubstrat aus einer Kunststoffplatte gefertigt ist, ist die thermische Beständigkeit niedriger als des Metallsubstrats, so dass diese Haltevorrichtung nicht für die Durchführung wiederholter Umgebungstests bei hohen Temperaturen geeignet ist.Since a plurality of adhesion layer portions are discretely formed in the holding device (5) to reduce the entire adhesion area, it is possible to surely and easily remove the semiconductor wafers, while it is difficult to achieve high in-plane accuracy because the made of glass fiber reinforced epoxy resin or the like as the carrier substrate made of plastic sheet has a tolerance in thickness as much as 100 microns. Therefore, when this holder is used for holding precision parts, there is a risk that the precision parts shift in the Z direction, thereby hindering the inspection using an inspection camera. Since the carrier substrate is made of a plastic plate, the thermal resistance is lower than the metal substrate, so that this holding device is not suitable for performing repeated environmental tests at high temperatures.

Die vorliegende Vorrichtung ist angesichts der oben genannten Probleme geschaffen worden. Folglich ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Haltevorrichtung für Präzisionsteile zu schaffen, die den Präzisionsteilen ermöglicht, von der Adhäsionsschicht selbst nach dem Umgebungstest leicht entfernt werden zu können, und eine Verbesserung der Positionsgenauigkeit erzielen zu können und die Präzisionsteile daran zu hindern, in X-, Y- und Z-Richtung und in der Θ-Richtung verschoben zu werden.The present device has been made in view of the above-mentioned problems. Accordingly, an object of the present invention is to provide a precision part holding device which enables the precision parts to be easily removed from the adhesion layer even after the environmental test, and to be able to improve the positional accuracy and prevent the precision parts from occurring in X , Y and Z direction and to be shifted in the Θ direction.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt mit den Merkmalen des Schutzanspruchs 1. Die abhängigen Ansprüche betreffen vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung.The solution of this object is achieved with the features of claim 1. The dependent claims relate to advantageous embodiments of the invention.

Zur Lösung der obigen Aufgabe weist die Haltevorrichtung für Präzisionsteile auf:
ein Befestigungsteil; und eine an dem Befestigungsteil vorgesehene Adhäsionsschicht mit einer eingeschränkten Klebrigkeit, so dass daran ein Präzisionsteil abnehmbar befestigt werden kann, wobei die Adhäsionsschicht dadurch ausgebildet ist, dass Silikon- oder Fluoroelastomer auf einen Teil mindestens einer Seite von beiden Seiten des Befestigungsteils aufgebracht ist, und von der Adhäsionsschicht 0.1 bis 50% einer der Adhäsion zugewandten Seite des Präzisionsteils gehalten wird.To achieve the above object, the precision parts holding device has:
a fastening part; and an adhesion layer provided with limited tackiness to the attachment member so that a precision member can be detachably attached thereto, wherein the adhesion layer is formed by applying silicone or fluoroelastomer to a part of at least one side from both sides of the attachment member, and the adhesion layer is kept 0.1 to 50% of an adhesion-facing side of the precision part.

Das Befestigungsteil besteht vorzugsweise aus einer transparenten Platte, die größer als das Präzisionsteil ist.The fastening part preferably consists of a transparent plate which is larger than the precision part.

Eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht kann in der Form einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand auf einem Teil der einen Oberfläche des Befestigungsteils angeordnet sein, und jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht kann in der Draufsicht rechteckförmig ausgebildet sein.A plurality of portions of the adhesion layer may be arranged in the form of a matrix at a predetermined interval on a part of the one surface of the attachment part, and each portion of the adhesion layer may be formed rectangular in plan.

Darüber hinaus kann eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht in der Form einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand auf einem Teil der einen Oberfläche des Befestigungsteils angeordnet sein, jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht kann als eine Gruppe von vertikalen dünnen Linien ausgebildet sein, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und als eine Gruppe von horizontalen dünnen Linien ausgebildet sein, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und die Gruppe von vertikalen dünnen Linien und die Gruppe von horizontalen dünnen Linien kann in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sein.Moreover, a plurality of portions of the adhesive layer in the form of a matrix may be arranged at a predetermined distance on a part of the one surface of the fixing part, each portion of the adhesion layer may be formed as a group of vertical thin lines juxtaposed at a predetermined distance and arranged as a group of horizontal thin lines juxtaposed at a predetermined distance, and the group of vertical thin lines and the group of horizontal thin lines may be arranged side by side at a predetermined interval.

Darüber hinaus kann eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht in Form einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand auf einem Teil der einen Oberfläche des Befestigungsteils angeordnet sein, jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht kann als eine Gruppe von Kreisen ausgebildet sein, die in der Draufsicht im Wesentlichen rechteckförmig angeordnet sind, und als eine Gruppe von dünnen Linien ausgebildet sein, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und die Gruppe von Kreisen und die Gruppe von dünnen Linien kann in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sein.In addition, a plurality of portions of the adhesive layer in the form of a matrix may be arranged at a predetermined distance on a part of the one surface of the fixing part, each portion of the adhesion layer may be formed as a group of circles which are arranged substantially rectangular in plan view , and may be formed as a group of thin lines juxtaposed at a predetermined distance, and the group of circles and the group of thin lines may be juxtaposed at a predetermined interval.

Des weiteren kann eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht in Form einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand auf einem Teil der einen Oberfläche des Befestigungsteils angeordnet sein, jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht kann als eine Gruppe von vertikalen dünnen Linien ausgebildet sein, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und als eine Gruppe von horizontalen dünnen Linien ausgebildet ist, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und die Gruppe von vertikalen dünnen Linien und die Gruppe von horizontalen dünnen Linien kann derart angeordnet sein, dass sie in der Draufsicht eine rechteckförmige Form bilden.Further, a plurality of portions of the adhesive layer in the form of a matrix may be arranged at a predetermined interval on a part of the one surface of the fixing part, each portion of the adhesion layer may be formed as a group of vertical thin lines juxtaposed at a predetermined distance and formed as a group of horizontal thin lines juxtaposed at a predetermined distance, and the group of vertical thin lines and the group of horizontal thin lines may be arranged such that they form a rectangular shape in plan view.

Schließlich ist die Abweichung der Dicke der Adhäsionsschicht vorzugsweise gleich oder kleiner als 30 μm und die Klebrigkeit der Adhäsionsschicht liegt vorzugsweise in einem Bereich von 0,4 bis 0,7 N/cm2.Finally, the deviation of the thickness of the adhesion layer is preferably equal to or smaller than 30 μm, and the adhesiveness of the adhesion layer is preferably in a range of 0.4 to 0.7 N / cm 2 .

Das Befestigungsteil in den Ansprüchen des Gebrauchsmusters kann in der Draufsicht die Form eines Rechtecks, Polygons, Kreises oder eine elliptische Form haben, soweit das Befestigungsteil nicht größer als das daran zu befestigende Präzisionsteil ist. Es ist unerheblich, ob das Befestigungsteil transparent, opak oder transluzent ist. Die Präzisionsteile können wenigstens MEM's, optische Linsen, Messwertaufnehmer, Halbleiterchips, Halbleiterbauelemente, und deren Zwischenerzeugnisse, Peltierelemente, Mikrolinsenarrays, Vorrichtungen mit einer zentralen Ausnehmung, gerahmte Vorrichtungen und dergleichen sein.The fixing member in the claims of the utility model may have the shape of a rectangle, polygon, circle or an elliptical shape in plan view, as far as the fixing member is not larger than the precision part to be attached thereto. It does not matter if the attachment is transparent, opaque or translucent. The precision parts may be at least MEM's, optical lenses, transducers, semiconductor chips, semiconductor devices, and their intermediate products, Peltier elements, microlens arrays, central recess devices, framed devices, and the like.

Die Adhäsionsschicht kann transparent, opak oder transluzent sein und kann auch antistatische Eigenschaften und/oder leitende Eigenschaften haben. Die Silikon- und Fluoroelestomermaterialien, die die Adhäsionsschicht bilden, können Silikon- oder Fluorogummi und Kunstharz umfassen. Wenn die Adhäsionsschicht aus einem elastomeren Material aus Silikon besteht, kann die Adhäsionsschicht aus einem flüssigen Silikongummi, das bei Raumtemperatur aushärtet, Silikongummi eines Additionstyps, Silikongummi eines Kondensationstyps, einer Silikongummimischung eines Additionstyps und eines Kondensationstyps und dergleichen, gebildet werden.The adhesion layer may be transparent, opaque or translucent and may also have antistatic and / or conductive properties. The silicone and fluoroelastomer materials that form the adhesion layer may include silicone or fluoro rubber and synthetic resin. When the adhesive layer is made of an elastomeric material of silicone, the adhesive layer may be formed of a liquid silicone rubber curing at room temperature, an addition type silicone rubber, a condensation type silicone rubber, an addition type and a condensation type silicone rubber mixture, and the like.

Da bei der vorliegenden Vorrichtung als Haltevorrichtung nicht ein Adhäsionsfilm, sondern eine Adhäsionsschicht aus einem silikon- oder fluoroelestomeren Material verwendet wird, kann die Adhäsionsschicht während eines Umgebungstests infolge einer Erwärmung oder in anderen Fällen nicht wie ein Film schrumpfen. Folglich kann sich das auf der Adhäsionsschicht positionierte Präzisionsteil nicht in der X-, Y-, und Z-Richtung und in der Θ-Richtung verschieben.In the present apparatus, as the holding device, not an adhesive film but an adhesion layer of a silicone or fluoroelastomeric material is used, the adhesive layer can not shrink like a film during an environmental test due to heating or other cases. Consequently, the precision part positioned on the adhesion layer can not shift in the X, Y, and Z directions and in the Θ direction.

[Vorteile der Vorrichtung][Advantages of the device]

Die vorliegende Vorrichtung ist insofern vorteilhaft, als die Präzisionsteile in Prozessen mit hohen und niedrigen Temperaturen verwendet werden können, wobei sie an der Adhäsionsschicht des Befestigungsteils haften bleiben. Nach dem Umgebungstest können die Präzisionsteile durch Aufbringen einer kleinen Kraft von der Adhäsionsschicht ohne die Verwendung eines Lösungsmittels und dergleichen bei Raumtemperatur abgenommen werden. Ferner ist es möglich, die Präzisionsteile mit einer verbesserten Positionsgenauigkeit zu positionieren und die Präzisionsteile daran zu hindern, sich in der X-, Y-, und Z-Richtung und in der Θ-Richtung zu verschieben.The present device is advantageous in that the precision parts can be used in high and low temperature processes while adhering to the adhesive layer of the attachment part. After the environmental test, the precision parts can be removed by applying a small force from the adhesion layer without the use of a solvent and the like at room temperature. Further, it is possible to position the precision parts with improved positional accuracy and prevent the precision parts from shifting in the X, Y, and Z directions and in the Θ direction.

Bei der Vorrichtung gemäß Anspruch 2 ist die Positionierung und Inspektion des Präzisionsteils von unten möglich, da das Befestigungsteil transparent ist. Es ist auch möglich, von unten durch das Befestigungsteil eine Lasergravur vorzunehmen.In the apparatus according to claim 2, the positioning and inspection of the precision part from below is possible because the fastening part is transparent. It is also possible to make a laser engraving from below through the fastening part.

Bei der Vorrichtung gemäß Anspruch 3 ist es möglich, die Adhäsionsschicht kontinuierlich durch Drucken auszubilden, da die Abschnitte der Adhäsionsschicht mit einer einfachen rechteckförmigen Kontur in der Draufsicht, wie beispielsweise Quadrate und Rechtecke, ausgebildet sind, wodurch sich der Druckprozess vereinfacht.In the apparatus according to claim 3, since the portions of the adhesion layer are formed with a simple rectangular contour in plan, such as squares and rectangles, it is possible to form the adhesion layer continuously by printing, thereby simplifying the printing process.

Bei der Vorrichtung gemäß Anspruch 4 ist eine Positionierung der Präzisionsteile mit großer Genauigkeit ohne ein Verschieben der Präzisionsteile in der X- und Y-Richtung selbst dann zu erzielen, wenn die Präzisionsteile vibrieren, da eine Mehrzahl von Gruppen von vertikalen dünnen Linien und Gruppen von horizontalen dünnen Linien nebeneinander angeordnet sind. Da sich vertikale dünne Linien und horizontale dünne Linien wechselnd drucken lassen, ist es ferner unwahrscheinlich, dass Luft zwischen die Adhäsionsschicht gelangt, so dass sich die Adhäsionsschicht mit einer sehr präzisen Kontrolle in der Z-Richtung herstellen lässt.In the apparatus according to claim 4, positioning of the precision parts with high accuracy without displacing the precision parts in the X and Y directions can be achieved even when the precision parts vibrate because a plurality of groups of vertical thin lines and groups of horizontal ones thin lines are arranged side by side. Furthermore, since vertical thin lines and horizontal thin lines can be alternately printed, air is unlikely to get between the adhesion layer, so that the adhesion layer can be produced with a very precise control in the Z direction.

Da bei der Vorrichtung gemäß Anspruch 5 die Fläche des Kreises der Gruppe von Kreisen kleiner als die dünne Linie in der Gruppe von dünnen Linien ist, kann das Präzisionsteil wegen die Reduzierung der Adhäsionsfläche leicht abgenommen werden. Da sich die Kreise und dünnen Linien wechselnd drucken lassen, ist es ferner unwahrscheinlich, dass Luft zwischen die Adhäsionsschicht gelangt, so dass sich die Adhäsionsschicht mit einer sehr präzisen Kontrolle in der Z-Richtung herstellen lässt.In the apparatus according to claim 5, since the area of the circle of the group of circles is smaller than the thin line in the group of thin lines, the precision part can be easily removed because of the reduction of the adhesion area. Furthermore, since the circles and thin lines can be alternately printed, air is unlikely to get between the adhesion layer, so that the adhesion layer can be produced with a very precise control in the Z direction.

Da sich bei der Vorrichtung gemäß Anspruch 6 zwischen den benachbarten Gruppen von vertikalen dünnen Linien und von horizontalen dünnen Linien keine Adhäsionsflächen befinden, kann die Adhäsionsfläche reduziert werden, so dass das an der Adhäsionsschicht anhaftende Präzisionsteil leicht abgenommen werden kann.In the apparatus according to claim 6, since there are no adhesion surfaces between the adjacent groups of vertical thin lines and horizontal thin lines, the adhesion area can be reduced, so that the precision part attached to the adhesion layer can be easily removed.

Da bei der Vorrichtung gemäß Anspruch 7 die Abweichungen der Dicke der Adhäsionsschicht auf 30 μm oder kleiner eingestellt ist, kann sich das anhaftende Präzisionsteil in Bezug auf die X-, Y- und Z-Richtung und die Θ-Richtung weniger schrägstellen, so dass zu erwarten ist, dass eine Verringerung der Positionsgenauigkeit insbesondere in Bezug auf die Z-Richtung verhindert wird. Da die Klebrigkeit der Adhäsionsschicht in einem Bereich von 0,4 bis 0,7 N/cm2 eingestellt ist, kann durch die Verwendung der Adhäsionsschicht das Risiko verringert werden, dass die Präzisionsteile abfallen oder sich verschieben, weil sie nicht gehalten werden, während es möglich ist, das Problem zu lösen, dass die Präzisionsteile sich nicht lösen lassen.In the apparatus according to claim 7, since the variation of the thickness of the adhesion layer is set to 30 μm or less, the adhered precision part can be less inclined with respect to the X, Y and Z directions and the Θ direction, so that It is expected that a reduction of the positional accuracy, especially with respect to the Z-direction, will be prevented. Because the stickiness of the Adhesion layer is set in a range of 0.4 to 0.7 N / cm 2 , the use of the adhesive layer can reduce the risk that the precision parts fall off or shift because they are not held while it is possible to do so Problem to solve that the precision parts can not be solved.

Nachfolgend werden mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert. Es zeigen:Hereinafter, several embodiments of the invention will be explained in more detail with reference to the figures. Show it:

1 ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für Präzisionsteile in perspektivischer schematischer Darstellung, 1 An embodiment of a holding device according to the invention for precision parts in a perspective schematic representation,

2 eine veranschaulichende Ansicht, die TTV bei der Ausführungsform der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für Präzisionsteile zeigt, 2 an illustrative view showing TTV in the embodiment of the precision parts holding apparatus according to the invention,

3 eine plane Abbildung, die schematisch eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für Präzisionsteile in der Draufsicht zeigt, 3 a planar illustration, which schematically shows a second embodiment of the precision parts holding device according to the invention in plan view,

4 eine perspektivische schematische Darstellung einer dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für Präzisionsteile, 4 a perspective schematic representation of a third embodiment of the holding device according to the invention for precision parts,

5 eine plane Abbildung, die schematisch eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für Präzisionsteile in der Draufsicht zeigt, 5 a planar illustration, which schematically shows a third embodiment of the precision parts holding device according to the invention in plan view,

6 eine plane Abbildung, die schematisch eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für Präzisionsteile in der Draufsicht zeigt, 6 a planar illustration, which schematically shows a fourth embodiment of the precision parts holding device according to the invention in plan view,

7 eine perspektivische schematische Darstellung einer fünften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für Präzisionsteile, 7 a perspective schematic representation of a fifth embodiment of the precision parts holding device according to the invention,

8 eine plane Abbildung, die schematisch eine fünfte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung für Präzisionsteile in der Draufsicht zeigt. 8th a planar image showing schematically a fifth embodiment of the precision parts holding device according to the invention in plan view.

Im Folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung beschrieben. Eine Haltevorrichtung für Präzisionsteile ist bei der vorliegenden Ausführungsform ein Werkzeug, das ein Befestigungsteil 1 in einer leicht zu handhabenden Größe, die größer ist als die Größe optischer Linsen 10 als Präzisionsteile, und eine Adhäsionsschicht 20 umfasst, die eine Klebrigkeit hat, um optische Linsen 10 als auf dem Befestigungsteil 1 angeordnete Präzisionsteile zu halten, und die Haltevorrichtung kann in einem Temperaturbereich von –50°C bis 300°C verwendet werden. Eine Mehrzahl von Abschnitten einer Adhäsionsschicht 20 werden auf dem Befestigungsteil 1 durch das Aufbringen eines elastomeren Materials und Vernetzen des elastomeren Materials durch Erhitzen ausgebildet, und werden derart angeordnet, dass die optischen Linsen 10 an der Adhäsionsschicht dadurch gehalten werden, dass 0,1 bis 50% der Seite der Linsen, die der Adhäsion zugewandt ist, an der Adhäsionsschicht 20 haften.In the following, a preferred embodiment of the device according to the invention will be described. A precision part holder in the present embodiment is a tool which is a fixing part 1 in an easy-to-handle size larger than the size of optical lenses 10 as precision parts, and an adhesion layer 20 which has stickiness to optical lenses 10 as on the fastening part 1 To hold arranged precision parts, and the holding device can be used in a temperature range of -50 ° C to 300 ° C. A plurality of sections of an adhesion layer 20 be on the mounting part 1 formed by the application of an elastomeric material and crosslinking of the elastomeric material by heating, and are arranged such that the optical lenses 10 at the adhesion layer are held by 0.1 to 50% of the side of the lens facing the adhesion at the adhesion layer 20 be liable.

Das Befestigungsteil 1 ist beispielsweise eine flache rechteckförmige Glasplatte, die eine Festigkeit, Toleranz und optische Transparenz für die Verwendung in einem großen Temperaturbereich von –50° bis 300°C hat. Die Glasplatte ist derart bearbeitet, dass sie an beiden Seiten flach ist und keine Unebenheiten aufweist. Diese Ebenheit an beiden Seiten der Glasplatte erleichtert die Ausbildung der Adhäsionsschicht 20. Die Größe dieses Befestigungsteils 1 wird durch die Größe und Anzahl der zu haltenden optischen Linsen 10 und die Einfachheit der Operation des Entfernens bestimmt. Die Größe kann beispielsweise auf 25 mm × 75 mm, 26 mm × 76 mm, 48 mm × 28 mm, 51 mm × 53 mm und andere Größen festlegt werden.The fastening part 1 For example, a flat rectangular glass plate that has strength, tolerance and optical transparency for use in a wide temperature range of -50 ° to 300 ° C. The glass plate is processed so that it is flat on both sides and has no bumps. This flatness on both sides of the glass plate facilitates the formation of the adhesion layer 20 , The size of this attachment part 1 is determined by the size and number of optical lenses to be held 10 and the simplicity of the removal operation is determined. The size can be set to, for example, 25 mm × 75 mm, 26 mm × 76 mm, 48 mm × 28 mm, 51 mm × 53 mm, and other sizes.

Als Befestigungsteil 1 können nicht nur Glasplatten, sondern auch Quarzglaswafer mit einem Durchmesser von 200 mm, 300 mm, etc. verwendet werden. Die Quarzglaswafer können auch in dem Halbleiterfabrikationsprozess benutzt werden. Da der Quarzglaswafer ein TTV von nicht mehr als 2 μm hat, woraus sich eine große Ebenheit und geringe Oberflächenrauigkeit ergibt, kann mit dem Quarzglaswafer eine Haltevorrichtung mit einer hohen Positionsgenauigkeit geschaffen werden.As a fastening part 1 not only glass plates, but also quartz glass wafers with a diameter of 200 mm, 300 mm, etc. can be used. The quartz glass wafers may also be used in the semiconductor fabrication process. Since the quartz glass wafer has a TTV of not more than 2 μm, resulting in a large flatness and a small surface roughness, the quartz glass wafer can provide a holding device with a high positional accuracy.

TTV (Total Thickness Variation), auf die hier Bezug genommen wird, ist ein Index für die Ebenheit eines Wafers W, in Bezug auf den Abstand von der höchsten und niedrigsten Position in der Waferoberfläche auf der Grundlage der Bodenunterseite b des Wafers W, wie in 2 gezeigt ist. In diesem Fall wird die Neigung des Wafers nicht korrigiert.TTV (Total Thickness Variation) referred to here is an index for the flatness of a wafer W with respect to the distance from the highest and lowest position in the wafer surface based on the bottom bottom b of the wafer W, as in FIG 2 is shown. In this case, the tilt of the wafer is not corrected.

Die optische Linse 10 ist beispielsweise eine konvexe Glaslinse in einer im Wesentlichen rechteckförmigen Form in der Draufsicht. Um die Lichteintritts- und -austrittsoberflächen der optischen Linse an einer Verschmutzung infolge der Adhäsion der Adhäsionsschicht zu hindern, wird die Umfangseite 11, durch die kein eintretendes oder austretendes Licht durchtritt, derart an die Adhäsionsschicht angeheftet, dass die Linse stehend an der Adhäsionsschicht 20 hält. Diese optische Linse 10 kann jede Art von den verschiedenen Typen von Linsen sein, umfassend sphärisch Linsen, asphärische Linsen, Gradientenindex-Linsen, diffraktive Linsen und andere Linsen.The optical lens 10 is, for example, a convex glass lens in a substantially rectangular shape in plan view. In order to prevent the light entrance and exit surfaces of the optical lens from being stained due to the adhesion of the adhesion layer, the peripheral side becomes 11 through which no incoming or outgoing light passes, adhered to the adhesion layer such that the lens stands upright at the adhesion layer 20 holds. This optical lens 10 can be any type of the various types of lenses, including spherical lenses, aspheric lenses, gradient index lenses, diffractive lenses, and other lenses.

Eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht 20 ist aus einem bestimmten elastomeren Material ausgebildet und die Abschnitte sind über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 mit Ausnahme des Umfangsteils in einem vorgegebenen Abstand zueinander angeordnet und dienen dazu, optische Linsen 10 daran abnehmbar bei einer normalen Temperatur zu halten. Als das bestimmte elastomere Material der Adhäsionsschicht 20 können Silikongummi und Fluorgummi verwendet werden. Alternativ können einige Füllmaterialien etc. mit ausgezeichneter Hitzebeständigkeit verwendet werden. A plurality of sections of the adhesion layer 20 is formed of a particular elastomeric material and the sections are over most of the surface 2 of the fastening part 1 with the exception of the peripheral part arranged at a predetermined distance from each other and serve optical lenses 10 detachable at a normal temperature. As the particular elastomeric material of the adhesion layer 20 For example, silicone rubber and fluororubber can be used. Alternatively, some filler materials etc. having excellent heat resistance may be used.

Von diesen elastomeren Materialien ist Silkongummi am besten geeignet, das eine ausgezeichnete Wetterbeständigkeit, Flammenbeständigkeit, Lichtbogenbeständigkeit, Koronabeständigkeit, elektrische Isolation, Klebrigkeit, Kältebeständigkeit, Viskositätsstabilität und optische Transparenz hat. Silikongummi kann eine ausgezeichnete abgeschwächte Klebrigkeit über einen langen Zeitraum selbst nach mehr als einer 100 maligen wiederholten Adhäsion und Entnahme der optischen Linsen 10 aufrechterhalten und kann wiederholt verwendet werden, wobei Silikongummi gegenüber Fluorgummi Vorteile bietet.Of these elastomeric materials, the most suitable is silicone rubber having excellent weather resistance, flame resistance, arc resistance, corona resistance, electrical insulation, tackiness, cold resistance, viscosity stability and optical transparency. Silicone rubber can have excellent attenuated tackiness over a long period of time even after more than 100 times repeated adhesion and removal of the optical lenses 10 and can be used repeatedly, with silicone rubber offering advantages over fluoro rubber.

Um eine einfache Entnahme der optischen Linsen 10 zu ermöglichen, wird die Adhäsionsschicht 20 nicht über die gesamte Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 aufgebracht, sondern eine Mehrzahl von Abschnitten einer Adhäsionsschicht 20 wird in der Art einer Matrix (z. B. 2 × 3, 3 × 3, 5 × 4, etc.) in X- und Y-Richtung über den größten Teil der Oberfläche 2 mit Ausnahme der Umfangsfläche des Befestigungsteils 1 aufgebracht. Jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 hat in der Draufsicht eine rechteckförmige, streifenförmige Form, ist in Längsrichtung des Befestigungsteils 1 ausgerichtet und hat eine Lichtdurchlässigkeit, die transparent ist. Die untere Umfangsfläche 11 der optischen Linse 10 wird entlang eines Paars von benachbarten Abschnitten der Adhäsionsschicht 20, die in Bezug auf die X- und Y-Richtung nebeneinander angeordnet sind, abnehmbar aufgesetzt, oder kann abnehmbar an einen einzigen Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 angeheftet werden. Der Querschnitt jedes Abschnitts der Adhäsionsschicht 20 ist vorzugsweise domförmig, domförmig mit einer abgeflachten Oberseite oder rechteckförmig.To easily remove the optical lenses 10 to make the adhesion layer 20 not over the entire surface 2 of the fastening part 1 but a plurality of portions of an adhesion layer 20 becomes in the manner of a matrix (eg 2 × 3, 3 × 3, 5 × 4, etc.) in the X- and Y-direction over most of the surface 2 with the exception of the peripheral surface of the fastening part 1 applied. Each section of the adhesion layer 20 has a rectangular, strip-like shape in the plan view, is in the longitudinal direction of the fastening part 1 aligned and has a translucency that is transparent. The lower peripheral surface 11 the optical lens 10 is along a pair of adjacent portions of the adhesion layer 20 , which are arranged side by side with respect to the X and Y directions, removably attached, or can be detachably attached to a single portion of the adhesion layer 20 be attached. The cross section of each section of the adhesion layer 20 is preferably dome-shaped, dome-shaped with a flattened top or rectangular.

Die Dicke (Höhe) jedes Abschnitts der Adhäsionsschicht 20 ist 5 bis 50 μm, vorzugsweise 7 bis 30 μm, besonders bevorzugt 10 bis 15 μm. Der Grund ist, dass es schwierig ist, eine Adhäsionsschicht 20 zu schaffen, wenn die Dicke der Adhäsionsschicht 20 kleiner als 5 μm ist. Wenn die Dicke hingegen größer als 50 μm ist, wird für die Adhäsionsschicht 20 eine größere Menge an elastomerem Material benötigt als notwendig ist. Hinzu kommt die Schwierigkeit die Adhäsionsschicht 20 auszubilden. Die Dicke des Abschnitts der Adhäsionsschicht 20 wird von der Oberfläche 2 des Befestigungsteils als eine Referenzfläche bis zu der höchsten Position gemessen, oder der dickste Teil der Adhäsionsschicht 20.The thickness (height) of each section of the adhesion layer 20 is 5 to 50 microns, preferably 7 to 30 microns, more preferably 10 to 15 microns. The reason is that it is difficult to have an adhesion layer 20 to create when the thickness of the adhesive layer 20 smaller than 5 μm. On the other hand, if the thickness is larger than 50 μm, the adhesion layer becomes 20 a larger amount of elastomeric material is needed than necessary. Added to this is the difficulty of the adhesion layer 20 train. The thickness of the portion of the adhesion layer 20 gets off the surface 2 of the attachment part as a reference surface measured to the highest position, or the thickest part of the adhesion layer 20 ,

Der anhaftende Bereich jedes Abschnitts der Adhäsionsschicht 20 zum Halten einer optischen Linse 10 durch Adhäsion ist 0,1 bis 50% des der Adhäsionsseite zugewandten Oberflächenbereichs der optischen Linse 10, vorzugsweise 10 bis 20%, besonders bevorzugt 15 bis 20%. Der Grund ist, dass die optischen Linsen 10 sich lösen und abfallen können, wenn der anhaftende Bereich der Adhäsionsschicht 20 kleiner als 0,1% des der Adhäsionsseite zugewandten Oberflächenbereichs der optischen Linse 10 ist. Wenn der anhaftende Bereich hingegen 50% des der Adhäsionsseite zugewandten Oberflächenbereichs der optischen Linse 10 ist, wird es schwierig, die optischen Linsen 10 abzunehmen, wobei die optischen Linsen möglichweise beschädigt werden, wenn die optischen Linsen 10 gewaltsam abgenommen werden.The adherent area of each section of the adhesion layer 20 for holding an optical lens 10 by adhesion is 0.1 to 50% of the adhesion-side surface area of the optical lens 10 , preferably 10 to 20%, more preferably 15 to 20%. The reason is that the optical lenses 10 can dissolve and fall off when the adherent portion of the adhesive layer 20 less than 0.1% of the adhesion-side surface area of the optical lens 10 is. On the other hand, when the adhered area is 50% of the adhesion-side surface area of the optical lens 10 is, it becomes difficult to use the optical lenses 10 with the optical lenses possibly being damaged when the optical lenses 10 be removed by force.

Die Abweichungen der Dicke der Adhäsionsschicht 20 ist vorzugsweise 30 μm oder weniger. Der Grund ist, dass die anhaftenden optischen Linsen 10 in Bezug auf die X-, Y- Z-Richtung und die Θ-Richtung gekippt werden können, wobei insbesondere die Genauigkeit der Position in Z-Richtung verringert wird, wenn die Abweichungen der Dicke 30 μm überschreiten. In Bezug auf das Halten und Abnehmen der optischen Linsen 10 liegt die Klebrigkeit der Adhäsionsschicht 20 vorzugsweise in einem Bereich von 0.4 bis 0.7 N/cm2, besonders bevorzugt in einem Bereich von 0.5 bis 0.6 N/cm2. Der Grund ist, dass die Adhäsionsschicht die optischen Linsen 10 nicht halten kann, wodurch Störungen verursacht werden, wie das Abfallen oder das Verschieben, wenn die Dicke der Adhäsionsschicht 20 kleiner als 0.4 N/cm2 ist. Ein Überschreiten von 0.7 N/cm2 erschwert hingegen das Abnehmen der optischen Linsen 10.The deviations of the thickness of the adhesion layer 20 is preferably 30 μm or less. The reason is that the adhesive optical lenses 10 In particular, the accuracy of the position in the Z-direction is reduced when the variations of the thickness exceed 30 .mu.m with respect to the X, Y-Z direction and the Θ-direction. In terms of holding and removing the optical lenses 10 is the stickiness of the adhesive layer 20 preferably in a range from 0.4 to 0.7 N / cm 2 , particularly preferably in a range from 0.5 to 0.6 N / cm 2 . The reason is that the adhesion layer is the optical lenses 10 can not hold, causing interference, such as falling or shifting when the thickness of the adhesive layer 20 is less than 0.4 N / cm 2 . On the other hand, exceeding 0.7 N / cm 2 makes it difficult to remove the optical lenses 10 ,

Bei der obigen Ausführungsform wird zur Herstellung der Haltevorrichtung für Präzisionsteile zuerst ein Befestigungsteil in einer vorgegebenen Größe, die größer als die optischen Linsen sind, geschaffen. Anschließend wird flüssiges Silikongummi oder Fluorogummi in einem vorgegebenen Muster auf die Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 aufgebracht und durch Erhitzen vernetzt. Nachdem man das Befestigungsteil 1 sich für eine bestimmte Zeitdauer hat abkühlen lassen, ist es möglich, eine Haltevorrichtung für Präzisionsteile herzustellen, die eine Mehrzahl von Abschnitten einer Adhäsionsschicht 20 mit einer abgeschwächten Klebrigkeit hat, wobei die Abschnitte in vorgegebenen Abständen angeordnet sind.In the above embodiment, to produce the precision part holder, first, a fixing member of a predetermined size larger than the optical lenses is provided. Subsequently, liquid silicone rubber or fluoro rubber is applied to the surface in a predetermined pattern 2 of the fastening part 1 applied and crosslinked by heating. After getting the attachment part 1 has been allowed to cool for a certain period of time, it is possible to produce a precision parts holding device comprising a plurality of portions of an adhesion layer 20 with an attenuated stickiness, the portions being arranged at predetermined intervals.

Obwohl das Verfahren des Aufbringens von Silikon- oder Fluorogummi grundsätzlich nicht beschränkt ist, können die folgenden Verfahren zum Aufbringen in Erwägung gezogen werden: (1) ein Siebdruckverfahren zum Aufbringen von Gummipaste auf die Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1; (2) ein Verfahren zum Aufbringen einer Gummipaste auf die maskierte Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 durch Rotationsbeschichtung; und (3) ein Verfahren zum Aufbringen einer Gummipaste auf die Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 durch einen XY automatisierten Dispenser. Von diesen Verfahren ist das Siebdruckverfahren (19 am vorteilhaftesten, da die Schaffung einer Adhäsionsschicht 20 mit einer großen Genauigkeit in Bezug auf die Dicke zu erwarten ist. Wenn Silkon- oder Fluorogummi im Siebdruckverfahren aufgebracht wird, kann das Drucken leicht durchgeführt werden, da die Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 flach ist. Although the method of applying silicone or fluoro rubber is basically not limited, the following methods of application may be considered: (1) a screen printing method of applying rubber paste to the surface 2 of the fastening part 1 ; (2) a method for applying a rubber paste to the masked surface 2 of the fastening part 1 by spin coating; and (3) a method of applying a rubber paste to the surface 2 of the fastening part 1 through an XY automated dispenser. Of these methods, the screen printing method (19) is most advantageous because the creation of an adhesion layer 20 with a high accuracy in terms of thickness is expected. When silicone or fluoro rubber is screen printed, printing can be done easily because the surface 2 of the fastening part 1 is flat.

Wenn die Adhäsionsschicht 20 aus Silikongummi geschaffen wird, ist es vorteilhaft, auf die Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 aufgebrachtes nicht vernetzte Silkongummi so oft wie erforderlich einer thermischen Vernetzung bei unterschiedlichen Temperaturen von wenigstens 100°C oder höher für 10 Minuten oder länger auszusetzen. Es ist beispielsweise vorteilhaft, dass eine nicht vernetzte Silkongummimischung eines Zusatztyps und eines Kondensationstyps auf die Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 aufgebracht wird, daraufhin der nicht vernetzte Silkongummi einem ersten Vernetzungsprozess unter vorgegebenen Bedingungen (z. B. 180°C für eine Stunde) ausgesetzt wird, und anschließend einem zweiten Vernetzungsprozess unter vorgegebenen Bedingungen (z. B. 270°C für eine Stunde) ausgesetzt wird, um die in dem Silkongummi verbleibenden Siloxane mit einem niedrigen Molekulargewicht zu eliminieren. Die Heiztemperatur und Vernetzungstemperatur, die Zeitdauer der Vernetzung und andere Bedingungen für den Gummi können in Abhängigkeit von der für die Adhäsionsschicht 20 gewünschten Klebrigkeit verändert werden.If the adhesion layer 20 Made of silicone rubber, it is beneficial to the surface 2 of the fastening part 1 As often as necessary, applied uncrosslinked silicone rubber should be subjected to thermal crosslinking at different temperatures of at least 100 ° C or higher for 10 minutes or longer. For example, it is preferable that a non-crosslinked silicone rubber mixture of an additive type and a condensation type be applied to the surface 2 of the fastening part 1 then the uncrosslinked silicone gum is subjected to a first crosslinking process under predetermined conditions (eg 180 ° C for one hour) and then subjected to a second crosslinking process under predetermined conditions (eg 270 ° C for one hour) to eliminate the low molecular weight siloxanes remaining in the silicone gum. The heating temperature and crosslinking temperature, the period of crosslinking, and other conditions for the rubber may vary depending on the adhesion layer 20 desired stickiness can be changed.

Beim Formen der Adhäsionsschicht 20 ist es vorteilhaft, aufeinanderfolgende Prozesse eines ersten Prozesses zum thermischen Vernetzen des aufgebrachten Silkongummis, eines zweiten Prozesses, der nach dem Vernetzen des Silikongummis durchgeführt wird, um die nicht vernetzten Komponenten durch Erhitzen zu eliminieren, und eines dritten Prozesses zum Erhitzen bei einer bestimmten Temperatur durchzuführen, um auch die verbliebenen Komponenten mit einem niedrigen Molekulargewicht zu vernetzen. Wenn dieser erste, zweite und dritte Prozess durchgeführt wird, wobei die Heiztemperatur sukzessive erhöht wird und die Temperatur und Zeitdauer des Erhitzens in dem dritten Prozess eingestellt wird, ist es möglich, die nicht vernetzten Komponenten des Silkongummis durch Erhitzen zu eliminieren, so dass die Klebrigkeit der Adhäsionsschicht 20 einfach eingestellt werden kann und die Klebrigkeit der Adhäsionsschicht 20 verbessert werden kann.When forming the adhesive layer 20 For example, it is advantageous to carry out successive processes of a first process of thermally crosslinking the applied silicone rubber, a second process performed after crosslinking the silicone rubber to eliminate the non-crosslinked components by heating, and a third process of heating at a certain temperature to also crosslink the remaining low molecular weight components. When this first, second, and third process is performed, wherein the heating temperature is successively increased and the temperature and time of heating in the third process is adjusted, it is possible to eliminate the non-crosslinked components of the silicone rubber by heating, so that the stickiness the adhesion layer 20 can be easily adjusted and the stickiness of the adhesive layer 20 can be improved.

Wenn die hergestellte optische Linse 10 anschließend durch den Produktionsabschnitt transportiert wird und dem Umgebungstest und/oder Inspektion unterzogen wird, wird die optische Linse 10 positioniert, indem sie an und zwischen einem Paar von Abschnitten der Adhäsionsschicht 20 auf dem Befestigungsteil 1 anhaftend gehalten wird. Anschließend wird das Befestigungsteil 1 befördert, so dass die optische Linse 10 einem Umgebungstest und/oder Inspektion unter Verwendung einer Inspektionskamera unterzogen wird.When the manufactured optical lens 10 subsequently transported through the production section and subjected to the environmental test and / or inspection, the optical lens becomes 10 positioned by placing it on and between a pair of portions of the adhesion layer 20 on the fastening part 1 is held attached. Subsequently, the fastening part 1 conveyed, so that the optical lens 10 an environmental test and / or inspection using an inspection camera is subjected.

Die optische Linse 10 wird daher nicht anhaftend an einen einzigen Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 gehalten, sondern überbrückend zwischen einem Paar von Abschnitten der Adhäsionsschicht 20 anhaftend gehalten, wobei der anhaftende Bereich der optischen Linse begrenzt wird. Selbst wenn die optische Linse leicht verdreht oder gebogen wird, ist es möglich, die optische Linse 10 in einer geeigneten Position zu halten, so dass verhindert wird, dass die optische Linse sich löst und abfällt.The optical lens 10 therefore, does not adhere to a single portion of the adhesion layer 20 but bridged between a pair of portions of the adhesion layer 20 held adhered, wherein the adhered portion of the optical lens is limited. Even if the optical lens is slightly twisted or bent, it is possible to use the optical lens 10 in an appropriate position, so that the optical lens is prevented from coming off and falling off.

Da die Adhäsionsschicht 20 nicht über der gesamten Oberfläche 2 des Befestigungsteils 2 ausgebildet ist, sondern eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht über den größten Teil der Oberfläche 2 verteilt ist, während der Adhäsionsbereich von jedem Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 auf 0,1 bis 50% der anhaftenden Oberfläche der optischen Linse 10 eingestellt ist, selbst wenn die optische Linse 10 in einer Umgebung von –40 bis 120°C getestet wird, kann die optische Linse leicht von der Mehrzahl der Abschnitte der Adhäsionsschicht 20 mit einem Vakuumapparat abgenommen werden, wenn die Halteeinrichtung und ihre Adhäsionsschicht 20 nach dem Umgebungstest wieder auf eine normale Temperatur gebracht wird. Folglich ist es nicht länger notwendig, die optische Linse 10 durch Biegen des Befestigungsteils 1 zu lösen, so dass nicht das Risiko der Beschädigung des Befestigungsteils 1 und der optischen Linse besteht.As the adhesion layer 20 not over the entire surface 2 of the fastening part 2 is formed, but a plurality of portions of the adhesive layer over most of the surface 2 is distributed while the adhesion area of each section of the adhesion layer 20 to 0.1 to 50% of the adherent surface of the optical lens 10 is set even if the optical lens 10 is tested in an environment of -40 to 120 ° C, the optical lens easily from the plurality of portions of the adhesion layer 20 be removed with a vacuum apparatus when the holding device and its adhesion layer 20 after the environment test is brought back to a normal temperature. Consequently, it is no longer necessary to use the optical lens 10 by bending the fastening part 1 to solve, so do not risk the damage of the fixing part 1 and the optical lens.

Da die Adhäsionsschicht 20 eine ausgezeichnete Hitzebeständigkeit hat, ist es möglich, die Adhäsionsschicht 20 effizient an einer Verringerung der Hitzebeständigkeit, der Klebrigkeit etc. selbst dann zu hindern, wenn die Temperatur während der Inspektion zu hoch ansteigt. Da nicht ein Adhäsionsfilm, sondern die Adhäsionsschicht 20 aus Silkon- oder Fluorogummi verwendet wird, kann die Adhäsionsschicht 20 nicht wie ein Film beim Erhitzen während des Umgebungstests schrumpfen. Folglich kann sich die mit hoher Genauigkeit positionierte optische Linse nicht in der X-, Y- und Z-Richtung und in der Θ-Richtung verschieben. Daher besteht nicht das Risiko, eine Inspektion mit hoher Präzision unter Verwendung einer Inspektionskamera und die Arbeit des nachfolgenden Aufnehmens mit einem Vakuumapparat zu behindern.As the adhesion layer 20 has excellent heat resistance, it is possible the adhesion layer 20 to effectively prevent a reduction in heat resistance, stickiness, etc. even if the temperature rises too high during inspection. Not an adhesive film, but the adhesive layer 20 is used from silicone rubber or fluoro rubber, the adhesion layer 20 do not shrink like a film when heated during the environmental test. As a result, the optical lens positioned with high accuracy can not shift in the X, Y and Z directions and in the Θ direction. Therefore, there is no risk of one To obstruct inspection with high precision using an inspection camera and the work of subsequent picking with a vacuum apparatus.

Wenn die optische Linse 10 von oben durch eine Inspektionskamera inspiziert wird, muss die Dicke von jedem Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 mit einer hohen Präzision kontrolliert werden, um die Brennweite der Inspektionskamera exakt einzustellen. Da es möglich ist, die Dicke der Adhäsionsschicht 20 mit hoher Präzision einzustellen, wenn die Adhäsionsschicht 20 im Siebdruck ausgebildet wird, ist es möglich, fotografische Fehler zu verhindern, die sich aus Abweichungen der Brennweite der Inspektionskamera ergeben.If the optical lens 10 Inspected from above by an inspection camera, the thickness of each section of the adhesive layer must be 20 be controlled with high precision to precisely adjust the focal length of the inspection camera. As it is possible, the thickness of the adhesion layer 20 adjust with high precision when the adhesive layer 20 is formed by screen printing, it is possible to prevent photographic errors resulting from deviations of the focal length of the inspection camera.

Da die Adhäsionsschicht 20 nicht von der Art ist, dass sich deren Klebrigkeit sich infolge einer Bestrahlung mit UV-Strahlung oder des Erhitzens verringert, ist es möglich, die optische Linse 10 ohne den Einsatz einer Einrichtung zur UV-Bestrahlung oder einer Einrichtung zum Aufheizen leicht zu lösen. Das Befestigungsteil 1 und die Adhäsionsschicht 20 sind ferner transparent, wodurch die anhaftende Seite der optischen Linse sichtbar wird, so dass sich die optische Linse 10 positionieren und von unten inspizieren lässt.As the adhesion layer 20 is not such that its tack decreases due to exposure to UV radiation or heating, it is possible to use the optical lens 10 without the use of a device for UV irradiation or a device for heating easy to solve. The fastening part 1 and the adhesion layer 20 are also transparent, whereby the adherent side of the optical lens is visible, so that the optical lens 10 position and inspect from below.

3 zeigt eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Vorrichtung. In diesem Fall sind viele Abschnitte einer Adhäsionsschicht 20 ausgebildet und in der Form einer Matrix über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 angeordnet, wobei jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 nicht in Form eines Streifens, sondern in der Draufsicht rechteckförmig ausgebildet ist. Die anderen Konfigurationen sind dieselben wie bei der obigen Ausführungsform, so dass sich eine detaillierte Beschreibung erübrigt. 3 shows a second embodiment of the present device. In this case, many sections are an adhesion layer 20 formed and in the form of a matrix over most of the surface 2 of the fastening part 1 arranged, each section of the adhesive layer 20 not in the form of a strip, but is rectangular in plan view. The other configurations are the same as in the above embodiment, so that a detailed description is unnecessary.

Bei dieser Ausführungsform können auch dieselbe Betriebsweise und dieselben Effekte erwartet werden. Darüber hinaus ist es möglich, das Muster der Adhäsionsschicht 20 in Abhängigkeit von der Veränderung des Bereichs der Oberfläche der Adhäsionsschicht des Präzisionsteils als das optische Teil 10 zu verändern.In this embodiment, the same operation and the same effects can be expected. In addition, it is possible the pattern of the adhesive layer 20 depending on the change of the area of the surface of the adhesion layer of the precision part as the optical part 10 to change.

Die 4 und 5 zeigen eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Vorrichtung. In diesem Fall wird angenommen, dass das Präzisionsteil ein Mikrolinsenarray 12 ist, wobei eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht 20, auf denen das Mikrolinsenarray 12 angeheftet wird, in der Art einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand zueinander über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 angeordnet sind. Jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 weist eine Gruppe 21 von einer Mehrzahl von dünnen vertikalen Linien auf, die in einem vorgegebenen Abstand zueinander nebeneinander angeordnet sind, und eine Gruppe 23 von einer Mehrzahl von dünnen horizontalen Linien auf, die in einem vorgegebenen Abstand zueinander nebeneinander angeordnet sind.The 4 and 5 show a third embodiment of the present device. In this case, it is assumed that the precision part is a microlens array 12 is, wherein a plurality of portions of the adhesion layer 20 on which the microlens array 12 is attached, in the manner of a matrix at a predetermined distance from each other over most of the surface 2 of the fastening part 1 are arranged. Each section of the adhesion layer 20 has a group 21 of a plurality of thin vertical lines juxtaposed at a predetermined distance from each other, and a group 23 of a plurality of thin horizontal lines juxtaposed at a predetermined distance from one another.

Die Gruppen 21 von dünnen vertikalen Linien und die Gruppen 23 von horizontalen dünnen Linien sind abwechselnd und nebeneinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet. Die Gruppe 21 von dünnen vertikalen Linien besteht aus einer Mehrzahl von dünnen Linien 22, die parallel in der X-Richtung oder der Y-Richtung nebeneinander angeordnet sind. Die dünnen Linien 22 haben eine Breite von 0.1 bis 1 mm und sind im Siebdruck über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 ausgebildet. Die Gruppe 23 von dünnen horizontalen Linien besteht aus einer Mehrzahl von dünnen Linien 24, die parallel in der X-Richtung oder der Y-Richtung nebeneinander angeordnet sind. Die dünnen Linien 24 haben eine Breite von 0.1 bis 1 mm und sind im Siebdruck über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 ausgebildet. Die anderen Konfigurationen sind dieselben wie bei der obigen Ausführungsform, so dass sich eine detaillierte Beschreibung erübrigt.The groups 21 of thin vertical lines and the groups 23 of horizontal thin lines are arranged alternately and next to each other at a predetermined distance. The group 21 of thin vertical lines consists of a plurality of thin lines 22 which are arranged side by side in parallel in the X direction or the Y direction. The thin lines 22 have a width of 0.1 to 1 mm and are screen printed over most of the surface 2 of the fastening part 1 educated. The group 23 of thin horizontal lines consists of a plurality of thin lines 24 which are arranged side by side in parallel in the X direction or the Y direction. The thin lines 24 have a width of 0.1 to 1 mm and are screen printed over most of the surface 2 of the fastening part 1 educated. The other configurations are the same as in the above embodiment, so that a detailed description is unnecessary.

Auch bei dieser Ausführungsform sind dieselbe Betriebsweise und dieselben Effekte zu erwarten. Da die Abschnitte der unterschiedlichen Muster, d. h. die Mehrzahl der Gruppen 21 mit vertikalen dünnen Linien und Gruppen 23 mit horizontalen dünnen Linien abwechselnd zueinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet sind, ist es offensichtlich, dass das Mikrolinsenarray 12 sich selbst dann nicht in X- und Y-Richtung verschieben kann, wenn das Mikrolinsenarray Vibrationen ausgesetzt ist, so dass es mit hoher Präzision positioniert werden kann. Da vertikale dünne Linien 22 und horizontale dünne Linien 23 im Siebdruck unterbrechend ausgebildet sind, ist es unwahrscheinlich, dass während des Siebdrucks Luft in die Adhäsionsschicht gelangt, so dass die Herstellung der Adhäsionsschicht 20 mit einer großen Genauigkeit in der Z-Richtung möglich ist.Also in this embodiment, the same operation and effects are expected. Since the sections of the different patterns, ie the majority of groups 21 with vertical thin lines and groups 23 With horizontal thin lines arranged alternately to each other at a predetermined distance, it is obvious that the microlens array 12 can not shift in the X and Y directions even when the microlens array is subjected to vibration so that it can be positioned with high precision. Because vertical thin lines 22 and horizontal thin lines 23 formed screen-interrupting, it is unlikely that air enters the adhesion layer during the screen printing, so that the production of the adhesive layer 20 with a high accuracy in the Z direction is possible.

6 zeigt eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Vorrichtung. In diesem Fall wird angenommen, dass das Präzisionsteil ein Mikrolinsenarray 12 ist, wobei eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht 20, auf denen das Mikrolinsenarray 12 angeheftet wird, in der Art einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand zueinander über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 angeordnet sind. Jeder Abschnitt der Mikrolinsenarray 12 umfasst eine kreisförmige Gruppe 25, die in der Draufsicht jeweils Kreise in einem Rechteck aufweist, und eine Gruppe 27 dünner Linien, die jeweils eine Mehrzahl von dünnen Linien aufweist, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind. 6 shows a fourth embodiment of the present device. In this case, it is assumed that the precision part is a microlens array 12 is, wherein a plurality of portions of the adhesion layer 20 on which the microlens array 12 is attached, in the manner of a matrix at a predetermined distance from each other over most of the surface 2 of the fastening part 1 are arranged. Each section of the microlens array 12 includes a circular group 25 which has circles in a rectangle in plan view, respectively, and a group 27 thin lines, each having a plurality of thin lines, which are arranged side by side at a predetermined distance.

Eine Mehrzahl von kreisförmigen Gruppen 25 und Gruppen 27 dünner Linien sind abwechselnd nebeneinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet. Die kreisförmige Gruppe 25 umfasst mehrere Kreise 26 in einem Durchmesser von 0,1 bis 1 mmm, und die Kreise 26 sind im Siebdruck über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteil 1 aufgebracht. Die Gruppe 27 von dünnen Linien besteht aus einer Mehrzahl von dünnen Linien 28, die in der X-Richtung oder Y-Richtung nebeneinander angeordnet sind. Die dünnen Linien 28 haben eine Breite von 0,1 bis 1 mm und sind im Siebdruck über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteil 1 aufgebracht. Die anderen Konfigurationen sind dieselben wie die obige Ausführungsform, so dass sich eine detaillierte Beschreibung erübrigt. A plurality of circular groups 25 and groups 27 thin lines are alternately arranged side by side at a predetermined distance. The circular group 25 includes several circles 26 in a diameter of 0.1 to 1 mmm, and the circles 26 are screen printed over most of the surface 2 of the fastening part 1 applied. The group 27 of thin lines consists of a plurality of thin lines 28 which are juxtaposed in the X direction or Y direction. The thin lines 28 have a width of 0.1 to 1 mm and are screen printed over most of the surface 2 of the fastening part 1 applied. The other configurations are the same as the above embodiment, so that a detailed description is unnecessary.

Bei dieser Ausführungsform sind auch dieselbe Betriebsweise und dieselben Effekte zu erwarten. Da die Größe der den Adhäsionsbereich bildenden Kreise 26 klein ist, kann das an der Adhäsionsschicht 20 anhaftende Mikrolinsenarray 12 leicht abgenommen werden. Da die Kreise 26 und die dünnen Linien 28 im Siebdruck unterbrechend ausgebildet sind, ist es unwahrscheinlich, dass während des Siebdrucks Luft in die Adhäsionsschicht gelangt, so dass die Herstellung der Adhäsionsschicht 20 mit einer großen Genauigkeit in der Z-Richtung möglich ist.In this embodiment, the same operation and the same effects are expected. Since the size of the adhesion area forming circles 26 small, that may be at the adhesion layer 20 adherent microlens array 12 be easily removed. Because the circles 26 and the thin lines 28 formed screen-interrupting, it is unlikely that air enters the adhesion layer during the screen printing, so that the production of the adhesive layer 20 with a high accuracy in the Z direction is possible.

Die 7 und 8 zeigen eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Vorrichtung. In diesem Fall wird angenommen, dass das Präzisionsteil eine rahmenförmige Vorrichtung 13 ist, wobei eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht 20, auf denen die rahmenförmige Vorrichtung 13 angeheftet wird, in der Art einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand zueinander über den größten Teil der Oberfläche 2 des Befestigungsteils 1 angeordnet sind. Jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 umfasst eine Gruppe 21 von einer Mehrzahl von vertikalen dünnen Linien, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind oder eine Gruppe 23 von einer Mehrzahl von horizontalen dünnen Linien, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, wobei diese Mehrzahl von Gruppen 21, 23 von vertikalen dünnen Linien und horizontalen dünnen Linien so verteilt angeordnet sind, dass sie in der Draufsicht ein Rechteck bilden.The 7 and 8th show a fifth embodiment of the present device. In this case, it is assumed that the precision part is a frame-shaped device 13 is, wherein a plurality of portions of the adhesion layer 20 on which the frame-shaped device 13 is attached, in the manner of a matrix at a predetermined distance from each other over most of the surface 2 of the fastening part 1 are arranged. Each section of the adhesion layer 20 includes a group 21 of a plurality of vertical thin lines juxtaposed at a predetermined distance or a group 23 of a plurality of horizontal thin lines juxtaposed at a predetermined distance, these pluralities of groups 21 . 23 of vertical thin lines and horizontal thin lines are distributed so as to form a rectangle in plan view.

Die Mehrzahl von Gruppen 21, 23 von vertikalen dünnen Linien und horizontalen dünnen Linien sind derart angeordnet, dass sie in der Draufsicht ein Rechteck einschließen, während ein in der Draufsicht ein Rechteck bildender nicht haftender Bereich 29 an der Ecke, die von jedem benachbarten Paar einer Gruppen 21 von vertikalen dünnen Linien und einer Gruppe 23 von horizontalen dünnen Linien gebildet wird, derart ausgebildet ist, dass ein nicht haftender Bereich ausgebildet ist. Die anderen Konfigurationen sind dieselben wie bei der obigen Ausführungsform, so dass sich eine detaillierte Beschreibung erübrigt.The majority of groups 21 . 23 of vertical thin lines and horizontal thin lines are arranged so as to include a rectangle in plan view, while a non-sticking area forming a rectangle in plan view 29 on the corner of each adjacent pair of groups 21 of vertical thin lines and a group 23 is formed by horizontal thin lines, is formed such that a non-adhesive area is formed. The other configurations are the same as in the above embodiment, so that a detailed description is unnecessary.

Bei dieser Ausführungsform sind auch dieselbe Betriebsweise und dieselben Effekte zu erwarten. Da ein nicht haftender Bereich 29 ohne jegliche Adhäsion an der Ecke zwischen benachbarten Gruppen 21, 23 von vertikalen dünnen Linien und von horizontalen dünnen Linien existiert, kann die rahmenförmige Vorrichtung 13 leicht von der Adhäsionsschicht 20 abgenommen werden, indem die Ecke oder dergleichen der rahmenförmigen Vorrichtung 13 um den nicht haftenden Bereich 29 angehoben wird.In this embodiment, the same operation and the same effects are expected. As a non-adhesive area 29 without any adhesion at the corner between adjacent groups 21 . 23 of vertical thin lines and horizontal thin lines, the frame-shaped device can 13 slightly from the adhesion layer 20 be removed by the corner or the like of the frame-shaped device 13 around the non-stick area 29 is raised.

Obwohl bei der obigen Ausführungsform das Befestigungsteil 1 eine Glasplatte verwendet, ist diese nicht darauf beschränkt. Beispielsweise können Halbleiterwafer, die einen Silikonwafer aufweisen, Aluminiumsubstrate, Edelstahlplatten oder andere Stahlplatten, Kunststoffplatten und dergleichen, die eine Durchmesser von 200 mm oder 300 haben oder dergleichen soweit verwendet werden, wie sie in einem weiten Temperaturbereich von –50°C bis 300°C eingesetzt werden können. Wenn die Präzisionsteile aus Silikon sind, kann der Einsatz eines Silikonwafers als Befestigungsteil 1 die Präzisionsteile daran hindern, sich von dem Befestigungsteil 1 zu lösen, da die beiden Teile im Wesentlichen den gleichen Längenänderungskoeffizienten haben.Although in the above embodiment, the attachment part 1 used a glass plate, this is not limited thereto. For example, semiconductor wafers having a silicon wafer may be used aluminum substrates, stainless steel plates or other steel plates, plastic plates and the like having diameters of 200 mm or 300 or so, as far as they are in a wide temperature range of -50 ° C to 300 ° C can be used. If the precision parts are made of silicone, the use of a silicon wafer as a fastening part 1 preventing the precision parts from moving away from the fastener 1 to solve, since the two parts have substantially the same coefficient of change in length.

Die Konfigurationen der Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht 20 kann dadurch verändert werden, dass ihre Länge teilweise länger oder kürzer gemacht wird. Jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht 20 kann mit einem kreisförmigen Muster, gewölbten Muster, elliptischen Mister, Gittermuster, Linienmuster, Polygonmuster, E-förmigem Muster, L-förmigem Muster oder dergleichen ausgebildet werden, die anders als die oben beschriebenen Muster sind. Wenn jeder Bereich der Adhäsionsschicht 20 mit Linien ausgebildet ist, können die Linien als dicke Linien, dünne Linien, zickzackförmige Linien, gestrichelte Linien, strichpunktierte Linien, gestrichelte und doppelt gepunktete Linien oder Kombinationen davon ausgebildet sein. Es ist auch möglich, eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht 20 in einem vorgegebenen Abstand an beiden Seiten des Befestigungsteils 1 anzuordnen.The configurations of the plurality of portions of the adhesion layer 20 can be changed by making its length sometimes longer or shorter. Each section of the adhesion layer 20 may be formed with a circular pattern, dome pattern, elliptic mister, lattice pattern, line pattern, polygon pattern, E-shaped pattern, L-shaped pattern, or the like other than the above-described patterns. If any area of the adhesive layer 20 is formed with lines, the lines may be formed as thick lines, thin lines, zigzag lines, dashed lines, dot-dash lines, dashed and double-dotted lines, or combinations thereof. It is also possible to have a plurality of sections of the adhesion layer 20 at a predetermined distance on both sides of the attachment part 1 to arrange.

[Gewerbliche Anwendbarkeit][Industrial Applicability]

Die erfindungsgemäße Haltevorrichtung für Präzisionsteile kann in den Produktionsbereichen von optischen Linsen, MEM's, Peltierelementen, Messwertaufnehmern, Halbleiterchips, Halbleiterbauteilen und dergleichen verwendet werden.The precision parts holding apparatus according to the present invention can be used in the production fields of optical lenses, MEMs, Peltier elements, transducers, semiconductor chips, semiconductor devices, and the like.

Bezugszeichenliste LIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Befestigungsteilattachment portion
22
Oberfläche (einer der Seiten)Surface (one of the sides)
1010
optische Linse (Präzisionsteil)optical lens (precision part)
1111
Umfangsseiteperipheral side
1212
Mikrolinsenarray (Präzisionsteil)Microlens array (precision part)
1313
rahmenförmige Vorrichtung (Präzisionsteil)Frame-shaped device (precision part)
2020
Adhäsionsschichtadhesion
2121
Gruppe von vertikalen dünnen LinienGroup of vertical thin lines
2222
dünne Liniethin line
2323
Gruppe von horizontalen dünnen LinienGroup of horizontal thin lines
2424
dünne Liniethin line
2525
kreisförmige Gruppecircular group
2626
Kreiscircle
2727
Gruppe dünner LinienGroup of thin lines
2828
dünne Liniethin line
2929
nicht anhaftender Bereichnon-adherent area

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Claims (7)

Haltevorrichtung für Präzisionsteile mit einem Befestigungsteil (1), einer an dem Befestigungsteil (1) vorgesehenen Adhäsionsschicht (20) mit einer eingeschränkten Klebrigkeit zur abnehmbaren Befestigung eines Präzisionsteils, dadurch gekennzeichnet, dass die Adhäsionsschicht (20) dadurch ausgebildet ist, dass Silikon- oder Fluoroelastomer auf ein Teil mindestens einer Seite beider Seiten des Befestigungsteils (1) aufgebracht ist, und 1 bis 50% einer der Adhäsion zugewandten Seite des Präzisionsteils von der Adhäsionsschicht (20) gehalten wird.Holding device for precision parts with a fastening part ( 1 ), one on the fastening part ( 1 ) provided adhesion layer ( 20 ) with limited tack for detachable attachment of a precision part, characterized in that the adhesion layer ( 20 in that silicone or fluoroelastomer is formed on a part of at least one side of both sides of the fastening part ( 1 ), and 1 to 50% of an adhesion-facing side of the precision part of the adhesion layer (FIG. 20 ) is held. Haltevorrichtung für Präzisionsteile nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Befestigungsteil (1) aus einer transparenten Platte besteht, die größer als das Präzisionsteil ist.Holding device for precision parts according to claim 1, characterized in that the fastening part ( 1 ) consists of a transparent plate which is larger than the precision part. Haltevorrichtung für Präzisionsteile nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht (20) in Form einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand auf einem Teil der einen Oberfläche (2) des Befestigungsteils (1) angeordnet ist, und jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht (20) in der Draufsicht rechteckförmig ausgebildet ist.Precision parts holding device according to claim 1 or 2, characterized in that a plurality of portions of the adhesion layer ( 20 ) in the form of a matrix at a predetermined distance on a part of the one surface ( 2 ) of the fastening part ( 1 ), and each section of the adhesion layer ( 20 ) is rectangular in plan view. Haltevorrichtung für Präzisionsteile nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht (20) in Form einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand auf einem Teil der einen Oberfläche (2) des Befestigungsteils (1) angeordnet ist, jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht (20) als eine Gruppe (21) von vertikalen dünnen Linien (22) ausgebildet ist, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und als eine Gruppe (23) von horizontalen dünnen Linien (24) ausgebildet ist, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und die Gruppe (21) von vertikalen dünnen Linien (22) und die Gruppe (23) von horizontalen dünnen Linien (24) in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind.Precision parts holding device according to claim 1 or 2, characterized in that a plurality of portions of the adhesion layer ( 20 ) in the form of a matrix at a predetermined distance on a part of the one surface ( 2 ) of the fastening part ( 1 ), each section of the adhesion layer ( 20 ) as a group ( 21 ) of vertical thin lines ( 22 ) arranged at a predetermined distance next to each other, and as a group ( 23 ) of horizontal thin lines ( 24 ) are arranged side by side at a predetermined distance, and the group ( 21 ) of vertical thin lines ( 22 ) and the group ( 23 ) of horizontal thin lines ( 24 ) are arranged side by side at a predetermined distance. Haltevorrichtung für Präzisionsteile nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht (20) in Form einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand auf einem Teil der einen Oberfläche (2) des Befestigungsteils (1) angeordnet ist, jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht (20) als eine Gruppe (25) von Kreisen (26) ausgebildet ist, die in der Draufsicht im Wesentlichen rechteckförmig angeordnet sind, und einer Gruppe (27) von dünnen Linien (28), die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und die Gruppe (25) von Kreisen (26) und die Gruppe (27) von dünnen Linien (28) in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind.Precision parts holding device according to claim 1 or 2, characterized in that a plurality of portions of the adhesion layer ( 20 ) in the form of a matrix at a predetermined distance on a part of the one surface ( 2 ) of the fastening part ( 1 ), each section of the adhesion layer ( 20 ) as a group ( 25 ) of circles ( 26 ) is formed, which are arranged substantially rectangular in plan view, and a group ( 27 ) of thin lines ( 28 ) juxtaposed at a given distance, and the group ( 25 ) of circles ( 26 ) and the group ( 27 ) of thin lines ( 28 ) are arranged side by side at a predetermined distance. Haltevorrichtung für Präzisionsteile nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von Abschnitten der Adhäsionsschicht (20) in Form einer Matrix in einem vorgegebenen Abstand auf einem Teil der einen Oberfläche (2) des Befestigungsteils (1) angeordnet ist, jeder Abschnitt der Adhäsionsschicht (20) als eine Gruppe (21) von vertikalen dünnen Linien (22) ausgebildet ist, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und als eine Gruppe (23) von horizontalen dünnen Linien (24) ausgebildet ist, die in einem vorgegebenen Abstand nebeneinander angeordnet sind, und die Gruppe (21) von vertikalen dünnen Linien (22) und die Gruppe (23) von horizontalen dünnen Linien (24) derart angeordnet sind, dass sie in der Draufsicht rechteckförmige Formen bilden.Precision parts holding device according to claim 1 or 2, characterized in that a plurality of portions of the adhesion layer ( 20 ) in the form of a matrix at a predetermined distance on a part of the one surface ( 2 ) of the fastening part ( 1 ), each section of the adhesion layer ( 20 ) as a group ( 21 ) of vertical thin lines ( 22 ) arranged at a predetermined distance next to each other, and as a group ( 23 ) of horizontal thin lines ( 24 ) are arranged side by side at a predetermined distance, and the group ( 21 ) of vertical thin lines ( 22 ) and the group ( 23 ) of horizontal thin lines ( 24 ) are arranged such that they form rectangular shapes in plan view. Haltevorrichtung für Präzisionsteile nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abweichung der Dicke der Adhäsionsschicht (20) gleich oder kleiner als 30 μm ist und die Klebrigkeit der Adhäsionsschicht (20) in einem Bereich von 0,4 bis 0,7 N/cm2 liegt.Holding device for precision parts according to one of the preceding claims, characterized in that the deviation of the thickness of the adhesion layer ( 20 ) is equal to or less than 30 microns and the stickiness of the adhesive layer ( 20 ) is in a range of 0.4 to 0.7 N / cm 2 .
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