DE112012002943T5 - Vorrichtung und Verfahren unter Verwendung eines räumlichen Lichtmodulators zum Ermitteln von 3D-Koordinaten eines Objekts - Google Patents
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Abstract
Verfahren zum Ermitteln von dreidimensionalen Koordinaten eines Objektpunkts auf einer Oberfläche eines Objekts, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Bereitstellen einer Quelle, eines Projektors und einer Kamera; in jedem von zwei Vorgängen: räumliches Modulieren von Quellenlicht; Senden eines Modulatorlichtmusters durch die Projektorlinse, um Lichtpunkte zu bilden; Filtern der Punkte mit einer Lochblendenplatte; Ausbreiten von Licht von den Lichtpunkten auf dem Objekt, um ein Streifenmuster zu erzeugen; Abbilden des Objektpunkts mit einer Kameralinse auf einem Anordnungspunkt der photosensitiven Anordnung, um einen ersten und zweiten elektrischen Datenwert von der photosensitiven Anordnung zu erhalten; und Ermitteln der dreidimensionalen Koordinaten des ersten Objektpunkts basierend zumindest teilweise auf dem ersten elektrischen Datenwert, dem zweiten elektrischen Datenwert und einer Basislinienlänge.
Description
- Querverweis auf verwandte Anmeldungen
- Die vorliegende Anmeldung beansprucht den Vorteil der am 13. Juli 2011 angemeldeten vorläufigen US-amerikanischen Patentanmeldung, Aktenzeichen 61/507,304, deren Inhalt hiermit durch Verweis in seiner Gesamtheit einbezogen wird.
- Hintergrund
- Die vorliegende Offenbarung betrifft allgemein Verfahren für die dreidimensionale (3D) Oberflächenkonturierung und insbesondere eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Verwendung eines räumlichen Lichtmodulators als dynamisches Beugungsgitter zum Reflektieren von strukturiertem Licht in einem von mehreren Mustertypen auf eine Oberfläche eines Objekts, um schließlich durch Triangulation die 3D-Kontur der Oberfläche des Objekts mittels der Interferenz von zwei Lichtstrahlen oder Lichtpunkten zu ermitteln.
- Es stehen im Gebiet der dreidimensionalen Oberflächenkonturierung für die genaue und schnelle Ermittlung der 3D-Koordinaten eines Objekts viele bekannte Verfahren zur Verfügung, von denen einige die Nutzung des Projizierens verschiedener strukturierter Lichtmuster auf das Objekt einbeziehen. Das strukturierte Lichtmuster wird normalerweise in Streifen (d. h. abwechselnd hellen und dunklen oder unterschiedliche Farben aufweisenden „Strichen” oder Bereichen) auf einer Oberfläche des Objekts gebildet. In einigen Fällen wird ein räumlicher Lichtmodulator in Form eines Beugungsgitters vom durchlässigen oder reflektierenden Typ verwendet, um Gittermuster zu bilden und die Phase dieser Muster zu ändern. Die daraus resultierenden Streifenmuster auf der Oberfläche des Objekts werden anschließend von einem Kameragerät wie beispielsweise einem ladungsgekoppelten Bauelement (CCD; charge coupled device) beobachtet und durch einen Computer bzw. Prozessor mit verschiedenen bekannten Triangulationsverfahren verarbeitet, um schließlich die 3D-Oberflächenkontur des Objekts zu ermitteln.
- Zu den Nachteilen bei dieser Vorgehensweise zählt jedoch die Tatsache, dass das Beugungsgitter vom „statischen” Typ ist, der durch irgendeine Art von einem manuellen Mittel bewegt werden muss, um eine Verschiebung der Phase der Gittermuster zu bewirken. Es ergibt sich daraus eine relativ langsame Geschwindigkeit bei der Phasenverschiebung, was zu einer nicht optimalen Leistung des Gesamtsystems führt. Außerdem benötigt ein solches System unter Umständen mehrere separate Beugungsgitter, die jeweils eine unterschiedliche Gitterperiode aufweisen, um ein Streifenmuster mit dem erforderlichen Zwischenraum zwischen den Streifenlinien (auch als „Abstand” der Streifenlinien bekannt) zu erzeugen. Es kann außer den mehreren Gittern auch erforderlich sein, zugeordnete Translationstische und Rückmeldungsmechanismen mit optischen Bauteilen bereitzustellen, die beide im Allgemeinen relativ teuer sind. Ein derartiges System benötigt möglicherweise auch ein relativ großes Maß an Prozessorkapazität, um die von der Kamera aufgenommenen Bilder zu verarbeiten.
- Andere bekannte 3D-Objektoberflächen-Konturierungssysteme des Stands der Technik beruhen auf der direkten Projektion von Laserlicht, wobei das projizierte Bild im Wesentlichen eine Kopie eines Musters ist, das in einem räumlichen Lichtmodulator wie beispielsweise in einer digitalen Mikrospiegelvorrichtung gebildet wird.
- Es besteht die Absicht, sehr reine sinusfömige Muster mit unbegrenzter Schärfentiefe zu erzeugen. Ein Weg zur Durchführung davon besteht darin, eine reflektierende oder durchlässige Vorrichtung wie beispielsweise eine dynamische Beugungsgittervorrichtung in einem relativ hochgenauen und preisgünstigeren Messsystem mit 3D-Objektoberflächen-Konturierung zu verwenden, um verschiedene Typen strukturierter Lichtmuster durch Reflexion des Lichts von dem Gitter zu bilden, welches dann das reflektierte Licht durch eine Lochblendenplatte bereitstellt, um durch Filtern zwei fokussierte Lichtpunkte, die den Moden der Ordnung +1 und –1 entsprechen, zu erzeugen und anschließend dem Licht von den zwei Lichtpunkten die Möglichkeit zu geben, an der Oberfläche eines Objekts zu interferieren. Die Interferenz erzeugt periodische Sinuswellen, die in ihrer Intensität variieren, wodurch Streifenmuster dargestellt werden, deren Bilder dann von einer Kamera aufgenommen und mit bekannten Triangulationsverfahren verarbeitet werden können, um die 3D-Oberflächenkontur des Objekts zu ermitteln. Das reflektierende dynamische Beugungsgitter kann eine digitale Mikrospiegelvorrichtung (DMD; digital micromirror device) umfassen, die eine zweidimensionale Anordnung von mehreren beweglichen reflektierenden Lichtschaltern bzw. Spiegeln umfasst, die unter Einsatz der Technik mikroelektromechanischer Systeme (MEMS; microelectromechanical systems) gebildet werden. Man kann das dynamische Beugungsgitter im Allgemeinen als einen „räumlichen Lichtmodulator” (SLM; spatial light modulator) bezeichnen, bei dem das Gitter ein besonderer SLM-Typ sein kann.
- Zusammenfassung der Erfindung
- Ein Verfahren zum Ermitteln von dreidimensionalen Koordinaten eines ersten Objektpunkts auf einer Oberfläche eines Objekts umfasst folgende Schritte: Bereitstellen einer Quelle, eines Projektors und einer Kamera, wobei der Projektor einen räumlichen Lichtmodulator, eine Projektorlinse und eine Lochblendenplatte umfasst, wobei die Kamera eine Kameralinse und eine photosensitive Anordnung umfasst, wobei der Projektor ein perspektivisches Zentrum des Projektors aufweist, wobei die Kamera ein perspektivisches Zentrum der Kamera aufweist, wobei das Liniensegment, das das perspektivische Zentrum des Projektors und das perspektivische Zentrum der Kamera verbindet, die Basislinie ist, wobei die Länge der Basislinie die Basislinienlänge ist; Projizieren eines ersten Lichts von der Quelle zu dem räumlichen Lichtmodulator. Das Verfahren umfasst ferner: in einem ersten Vorgang: räumliches Modulieren des ersten Lichts mit dem räumlichen Lichtmodulator, um ein erstes Modulatorlichtmuster mit einem ersten Abstand zu erzeugen; Senden des ersten Modulatorlichtmusters durch die Projektorlinse, um erste mehrere Lichtpunkte zu bilden; Filtern der ersten mehreren Punkte mit der Lochblendenplatte, um ein erstes Paar von Lichtpunkten durchzulassen, während andere Punkte unter den ersten mehreren Punkten blockiert werden; Ausbreiten von Licht von dem ersten Paar von Lichtpunkten auf dem Objekt, um ein erstes Streifenmuster auf dem Objekt zu erhalten, wobei der erste Objektpunkt durch das erste Streifenmuster beleuchtet wird; Abbilden des ersten Objektpunkts mit der Kameralinse auf einem ersten Anordnungspunkt der photosensitiven Anordnung, um einen ersten elektrischen Datenwert von der photosensitiven Anordnung zu erhalten. Das Verfahren umfasst ferner: in einem zweiten Vorgang: räumliches Modulieren des ersten Lichts mit dem räumlichen Lichtmodulator, um ein zweites Modulatorlichtmuster mit einem dem ersten Abstand gleichen Abstand zu erzeugen, wobei das zweite Modulatormuster relativ zu dem ersten Modulatormuster räumlich verschoben wird; Senden des zweiten Modulatorlichtmusters durch die Projektorlinse, um zweite mehrere Lichtpunkte zu bilden; Filtern der zweiten mehreren Punkte mit der Lochblendenplatte, um ein zweites Paar von Lichtpunkten durchzulassen, während andere Punkte unter den zweiten mehreren Punkten blockiert werden; Ausbreiten von Licht von dem zweiten Paar von Lichtpunkten auf dem Objekt, um ein zweites Streifenmuster auf dem Objekt zu erhalten, wobei der erste Objektpunkt durch das zweite Streifenmuster beleuchtet wird; Abbilden des ersten Objektpunkts mit der Kameralinse auf einem ersten Anordnungspunkt der photosensitiven Anordnung, um einen zweiten elektrischen Datenwert von der photosensitiven Anordnung zu erhalten. Das Verfahren umfasst ferner noch: Ermitteln der dreidimensionalen Koordinaten des ersten Objektpunkts basierend zumindest teilweise auf dem ersten elektrischen Datenwert, dem zweiten elektrischen Datenwert und der Basislinienlänge; und Speichern der dreidimensionalen Koordinaten des ersten Objektpunkts.
- Kurze Beschreibung der Zeichnungen
- Nun Bezug nehmend auf die Zeichnungen, sind dort beispielhafte Ausgestaltungen dargestellt, die in Bezug auf den gesamten Schutzbereich der Offenbarung nicht als einschränkend zu verstehen sind, und wobei die Elemente in mehreren Figuren gleich nummeriert sind:
-
1 zeigt einen Abschnitt eines bekannten Systems des Stands der Technik zum Ermitteln der 3D-Oberflächenkontur eines Objekts unter Verwendung eines statischen durchlässigen Beugungsgitters, das mit manuellen Mitteln bewegt werden kann und durch welches das daraus resultierende strukturierte Licht in einem von verschiedenen Gittermustertypen durchgeht und dann durch eine Lochblendenplatte durchgeht, wobei zwei fokussierte Lichtpunkte durchgelassen werden, die aus ebenen Wellen entstehen, die den Moden der Ordnung +1 und –1 des verwendeten bestimmten Gittermusters entsprechen, wobei die zwei Lichtpunkte dann an der Oberfläche des Objekts interferieren, wobei die Interferenz eine sinusförmig variierende Bestrahlungsstärke über der Objektoberfläche erzeugt. Das Streifenmuster auf der Objektoberfläche kann von einem Kameragerät aufgenommen und mit Triangulationsverfahren verarbeitet werden, um die 3D-Oberflächenkontur des Objekts zu ermitteln; -
2 zeigt ein System gemäß Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung zum Ermitteln der 3D-Oberflächenkontur eines Objekts mit einem dynamischen reflektierenden Beugungsgitter, das ein mittels mehrerer beweglicher Mikrospiegel gebildetes Lichtmuster umfasst. Die Mikrospiegel reflektieren das Licht durch eine Linse und eine Lochblendenplatte, wobei zwei fokussierte Lichtpunkte gebildet werden, die den Moden der Ordnung +1 und –1 eines verwendeten bestimmten Gittermusters entsprechen, wobei die zwei Lichtpunkte dann an der Oberfläche des Objekts interferieren, wobei die Interferenz ein Streifenmuster mit sinusförmig variierender Bestrahlungsstärke erzeugt. Das Streifenmuster kann anschließend von einem Kameragerät bildlich erfasst und mit Triangulationsverfahren verarbeitet werden, um die 3D-Oberflächenkontur des Objekts zu ermitteln; -
3 , die3A –3C umfasst, zeigt drei Beispiele von verschiedenen Gittermustern, die verschiedene Abstände aufweisen und innerhalb des Systems von2 gemäß Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung verwendet werden; und -
4 , die4A –4C umfasst, zeigt drei Beispiele von verschiedenen Gittermustern, die verschiedene Phasen aufweisen und innerhalb des Systems von2 gemäß Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung verwendet werden. - Detaillierte Beschreibung
- Bezug nehmend auf
1 , ist dort ein Abschnitt eines bekannten Systems100 des Stands der Technik zum Ermitteln der 3D-Oberflächenkontur eines Objekts dargestellt, wobei ein statisches durchlässiges 2D-Beugungsgitter104 verwendet wird. Ein von einer Lichtquelle (z. B. einem Laser, der nicht dargestellt ist) bereitgestellter Lichtstrahl108 geht durch einen Lichtwellenleiter112 durch. Der Lichtstrahl108 geht dann durch eine Sammellinse116 durch, die den Lichtstrahl108 bündelt und den gebündelten Lichtstrahl120 zum Beugungsgitter104 durchlässt. Das Gitter104 ist normalerweise von Natur aus statisch und kann durch eine beliebige Anzahl von Mitteln (nicht dargestellt) wie beispielsweise einen Motor bewegt werden (z. B. nach hinten und vorne). Das Gitter bildet den Lichtstrahl120 zu einem von verschiedenen Gittermustertypen strukturierten Lichts aus. Die Bewegung des statischen durchlässigen Beugungsgitters104 führt zu einer Verschiebung der Phasen der Gittermuster. Das System100 von1 kann gemäß dem bekannten Verfahren der Akkordeonstreifen-Interferometrie (AFI; accordion fringe interferometry) arbeiten. - Insbesondere kann bei der Ausgestaltung des Stands der Technik von
1 eine AFI-Projektor-Lichtquelle (z. B. der Diodenlaser, der nicht dargestellt ist) an einen Monomode-Lichtwellenleiter112 gekoppelt werden. Das aus dem Ende des Lichtwellenleiters112 emittierte Licht wird durch die Linse116 gebündelt und auf das Phasenbeugungsgitter104 projiziert. Das lichtdurchlässige Gitter104 teilt den gebündelten Strahl108 in zwei Lichtstrahlen124 ,128 . Beide Lichtstrahlen124 ,128 treten dann in eine Objektivlinse132 ein, die die zwei Lichtstrahlen124 ,128 auf dieselbe Brennebene fokussiert. Eine Lochblendenplatte136 hat zwei darin ausgebildete Lochblenden140 ,144 . Die Lochblendenplatte136 weist alles außer denjenigen Lichtpunkten ab, die durch die Beugungsordnungen +1 und –1 erzeugt werden, und projiziert das daraus resultierende Licht148 ,152 auf eine Oberfläche156 des Objekts. Die Interferenz des +1- und –1-Lichts148 ,152 erzeugt ein sinusförmiges Muster auf der Oberfläche156 des Objekts. - Das Beugungsgitter
104 kann eine Reihe von Linien umfassen, die in ein Stück Glas eingeätzt sind. Die Ätztiefe beträgt bei einer Ausgestaltung d = λ/2 (n – 1), wobei λ die Wellenlänge des Lasers und n der Brechungsindex des Glases sind. Dies erzeugt eine π/2-Phasenverschiebung zwischen den geätzten und ungeätzten Bereichen, wodurch die Beugung nullter Ordnung minimiert wird. Die Streifenverschiebung wird erzeugt, indem das Gitter senkrecht zu den Linien bewegt wird. Die Bewegung bewirkt eine Phasenverschiebung Δø bei dem +1-Strahl und –Δø bei dem –1-Strahl. Wenn die Strahlen hinter der Lochblendenplatte136 interferieren, führt dies zu einer 2Δø-Verschiebung des Streifenmusters. - Bei einer Ausgestaltung können drei Kanäle in dem Projektor vorhanden sein. Die Kanäle unterscheiden sich durch den Gitterlinienabstand und die Lochblendenposition. Beispielsweise kann Kanal 1 einen Gitterabstand von 228,6 Mikrometern aufweisen und kann die Bewegung für die 2π/3-Phasenverschiebung 38,1 Mikrometer betragen. Kanal 2 kann einen Gitterabstand von 200,0 Mikrometern aufweisen und die Bewegung für die 2π/3-Phasenverschiebung kann 33,3 Mikrometer betragen. Kanal 3 kann einen Gitterabstand von 180,0 Mikrometern aufweisen und die Bewegung für die 2π/3-Phasenverschiebung kann 30,0 Mikrometer betragen.
- Der Gitterabstand kann derart ausgewählt werden, dass er die Entfaltung (Unwrapping) relativ einfacher macht. Für die Phasenentfaltung (Phase Unwrapping) kann bei einer Ausgestaltung die diophantische Methode verwendet werden. Dazu muss der Streifenabstand (und somit der Gitterabstand) Vielfache von teilerfremden Zahlen betragen: beispielsweise Abstand 1 = 8/7·Abstand 2 und Abstand 2 = 10/9·Abstand 3. Die relativen Verhältnisse von 8:7 bei den Kanälen 1 und 2 sowie 10:9 bei den Kanälen 2 und 3 können die Entfaltungsberechnungen relativ beschleunigen. Andere Verfahren zum Entfalten der Phase sind dem durchschnittlichen Fachmann weithin bekannt.
- In
1 nicht dargestellt, aber normalerweise als Teil eines solchen 3D-Oberflächen-Konturierungssystems100 ist eine Kamera enthalten, die Bilder der Oberfläche156 des Objekts aufnimmt, nachdem die Oberfläche156 mit den strukturierten Lichtgittermustern des Gitters104 und der Lochblenden140 ,144 beleuchtet wurde. Ebenfalls in1 nicht dargestellt ist ein Prozessor bzw. Computer, der verschiedene Teile des Systems100 steuert, das die Lichtquelle, das Mittel, welches das Gitter104 bewegt, und die Kamera umfasst. Der Prozessor bzw. Computer kann auch benutzt werden, um die Berechnungen durchzuführen, die Teil des Triangulationsverfahrens sind, das die 3D-Kontur der Oberfläche156 des Objekts basierend hauptsächlich auf den bekannten physischen Positionen der Kamera und der Lichtquelle in Bezug auf die Oberfläche156 des Objekts und ferner basierend auf den von der Kamera aufgenommenen Bildern ermittelt. - Bezug nehmend auf
2 , gemäß Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung, ist dort ein 3D-Oberflächenkonturierungssystem200 für das genaue und schnelle Messen der 3D-Kontur einer Oberfläche eines Objekts dargestellt. Das System200 von2 ist dem System100 von1 etwas ähnlich, außer dass in2 eine reflektierende digitale Mikrospiegelvorrichtung (DMD; digital micromirror device) allgemein als räumlicher Lichtmodulator und insbesondere als Beugungsgitter statt des durchlässigen Beugungsgitters104 von1 verwendet wird. Bei einer alternativen Ausgestaltung ist die reflektierende DMD durch eine durchlässige DMD ersetzt, wobei die durchlässigen und reflektierenden DMDs das gleiche Lichtmuster erzeugen. Bei einer weiteren alternativen Ausgestaltung ist die DMD durch eine Flüssigkristallanzeige (LCD; liquid crystal display) oder eine Flüssigkristall-auf-Silizium-Anzeige (LCOS; liquid crystal an silicon) ersetzt, um das Lichtmuster zu erzeugen. Die LCD- oder LCOS-Anzeige kann reflektierend oder durchlässig sein. - Das System
200 umfasst eine Quelle210 , einen Projektor230 , eine Kamera260 und einen Prozessor232 . Die Quelle210 umfasst bei einer Ausgestaltung einen Laser, ein Lichtwellenleiter-Zufuhrsystem212 und eine Sammellinse216 . Der Projektor230 umfasst einen räumlichen Lichtmodulator224 , eine Projektorlinse240 und eine Lochblendenplatte252 . Die Kamera umfasst eine Linse262 und eine photosensitive Anordnung265 . Der Prozessor232 kommuniziert mit dem räumlichen Lichtmodulator224 und der Kamera260 . - Das System
200 umfasst eine Laserlichtquelle204 , die einem Lichtwellenleiter212 einen Lichtstrahl208 bereitstellt. Es können anderte Lichtquellentypen verwendet werden. Der Lichtstrahl208 bewegt sich durch den Lichtwellenleiter212 und geht dann zu einer Sammellinse216 durch, die einer digitalen Mikrospiegelvorrichtung (DMD)224 einen gebündelten Lichtstrahl220 zur Verfügung stellt. Die DMD224 ist eine Anordnung von Spiegeln, die der Technik mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) zugeordnet sind und einzeln mit elektronischen (d. h. digitalen) Wörtern adressiert werden können. Die Anordnung umfasst normalerweise 800×600 oder 1024×768 einzeln adressierbare digitale Lichtschaltelemente bzw. „Pixel”. Im Handel sind andere 2D-Anordnungsgrößen erhältlich. Ein Beispiel für eine derartige im Handel erhältliche DMD224 ist ein bei Texas Instruments erhältlicher Mikrochip mit digitaler Lichtverarbeitung (DLP®; digital light processing). Eine solche DLP®-Vorrichtung224 basiert auf der MEMS-Technik und stellt eine volldigitale Implementierung zur Verfügung. Der Grundbestandteil der DLP®-Vorrichtung224 ist ein reflektierender digitaler Lichtschalter (d. h. Spiegel) bzw. Pixel. - Wie oben angegeben wurde, kann die DLP®-Vorrichtung
224 eine Anordnung mit tausenden derartiger Pixel umfassen. Jeder Spiegel misst bei einer Ausgestaltung 10–16 Mikrometer im Durchmesser und kann sich zwischen zwei Positionen von ±10° drehen, wobei +10° eine „An”-Position repräsentiert, bei der der Lichtstrahl220 , der auf den bestimmten Spiegel bzw. das bestimmte Pixel auftrifft, zu einem gewünschten Objekt hin reflektiert wird, und wobei –10° eine „Aus”-Position repräsentiert, bei der der Lichtstrahl220 , der auf den bestimmten Spiegel bzw. das bestimmte Pixel auftrifft, als Teil eines „Aus-Strahls”228 (2 ) „abgewiesen” oder von dem Objekt weggerichtet wird. Die Spiegel können bei einer solchen DLP®-Vorrichtung224 einzeln elektromechanisch bei Frequenzen von 30 kHz oder höher gedreht werden. Die Spiegel werden basierend auf einem digitalen elektronischen Wort gedreht, das der DLP®-Vorrichtung224 beispielsweise durch einen Prozessor232 bereitgestellt wird. Wenn sie auf die „An”-Position eingestellt sind, geben die Spiegel bzw. Pixel, die die DLP®-Vorrichtung224 umfassen, ein digitales optisches Bild an die Objektivlinse240 aus. - Durch die Auswahl eines geeigneten Lichtmusters auf der Oberfläche der DLP®-Vorrichtung
224 können zwei ebene Lichtwellen, die den durch das DLP®-Muster erzeugten Ordnungen +1, –1 entsprechen, erzeugt werden. Diese können durch eine Linse gesendet werden, die sie zu zwei kleinen Lichtpunkten248 fokussiert. Die zwei Lichtpunkte gehen durch Löcher in einer Lochblendenplatte durch. Anderes Licht ist nicht erwünscht und wird durch die Lochblendenplatte blockiert. Eine auf diese Weise benutzte Lochblendenplatte wirkt als räumlicher Filter. Das Licht, das aus der Lochblendenplatte252 austritt, wird zu der Oberfläche256 des Objekts hin gerichtet, dessen Oberflächenkontur genau und schnell gemessen werden soll. Das Licht von den Lochblenden überlappt sich in einem Interferenzbereich237 , der in2 durch Schraffurmarkierungen gekennzeichnet ist. Die Interferenz der zwei Lichtstrahlen an der Objektoberfläche256 erzeugt sinusförmige Schwankungen bei der Bestrahlungsstärke an der Objektoberfläche256 . Die Bestrahlungsstärke variiert in abwechselnd hellen Bereichen (Spitzen der Sinuswelle) und dunklen Bereichen (Täler der Sinuswelle), wodurch ein Streifenmuster an der Objektoberfläche erzeugt wird. - Eine Kamera
260 wird dann verwendet, um Bilder der Streifenmuster an der Oberfläche256 des Objekts aufzunehmen. Die Bilddaten der Kamera werden dem Prozessor232 zur Verfügung gestellt, der die DLP®-Vorrichtung224 steuert – insbesondere, um die Phase der von der DLP®-Vorrichtung224 erzeugten Gittermuster und schließlich die Phase der Streifenmuster auf der Oberfläche256 des Objekts zu steuern. Der Prozessor kann anschließend bekannte Triangulationsverfahren einsetzen, um die 3D-Kontur der Oberfläche256 des Objekts zu ermitteln oder zu berechnen. - Das Kameragerät
260 umfasst eine Linse262 und eine photosensitive Anordnung265 . Licht, das von einem bestimmten Punkt258 reflektiert oder gestreut wird, geht durch alle Punkte der Linse durch und wird auf einen Punkt267 auf der Oberfläche der photosensitiven Anordnung fokussiert. Die Linse262 hat eine optische Achse, die normalerweise eine Symmetrieachse ist, die durch die Mittelpunkte der Linsenelemente durchgeht. Es gibt einen Punkt in der Linse262 , der ein perspektivisches Zentrum263 ist. Dies ist ein Punkt, durch welchen ein Strahl von dem Objektpunkt258 zu dem Anordnungspunkt267 gezogen werden kann. Eine reale Linse hat Abbildungsfehler, die ihn geringfügig von dem geraden Linienweg durch das perspektivische Zentrum263 abweichen lassen. Es werden jedoch bei jeder Linse Messungen durchgeführt, um diese Abbildungsfehler zu charakterisieren und in den Messungen zu kompensieren. - Eine vom perspektivischen Zentrum
241 der Projektorlinse240 und vom perspektivischen Zentrum263 der Kameralinse262 gezogene Linie wird als „Basislinie”251 bezeichnet und die Länge der Basislinie251 wird als „Basislinienlänge” bezeichnet. Das Prinzip des Triangulationsverfahrens besteht darin, die Längen und Winkel eines Dreiecks mit den Ecken263 ,241 ,258 zu ermitteln. Die Länge der Basislinie251 und die Werte der zwei Winkel a1 und a2 werden zur Ermittlung der Länge der Seite vom Punkt258 zum Punkt263 benutzt. Die Pixelposition des Punkts267 wird dazu verwendet, die Winkel des Punkts258 in Relation zu der optischen Achse270 zu ermitteln. Auf diese Weise können die Koordinaten jedes Punkts auf der Oberfläche des Objekts ermittelt werden. - Bezug nehmend auf
3A –3C , können die Pixel der DMD224 derart eingestellt werden, dass sie eine Vielfalt an Beugungsgittern/holographischen Gittern auf der Oberfläche256 des Objekts erzeugen. Die DMD-Pixel können in einem relativ einfachen Beispiel in Spalten an- und ausgeschaltet werden, wobei ein Beugungsgitter erzeugt wird. Es können mehrere Gitter300 ,304 ,308 erzeugt werden, indem man die Anzahl benachbarter Spalten ändert, die an oder aus sind. In3A –3C sind die Spalten AN (weiße Spalten312 ) oder AUS (schwarze Spalten316 ). Der Abstand des Beugungsgitters kann geändert werden, indem man die Anzahl der Spalten in jedem Block verändert. Beispielsweise sind bei dem Abstand 1300 (3A ) 5 Spalten an und 5 Spalten aus. Bei dem Abstand 2304 (3B ) sind 4 Spalten an und 4 Spalten aus. Bei dem Abstand 3 (3C ) sind 3 Spalten an und 3 Spalten aus. - Bezug nehmend auf
4A –4C , können die DMD-Pixel auch derart adressiert werden, dass sie die Phase des Streifenmusters ändern. Bei dem Beugungsgitter-Beispiel kann die Phase durch Verschieben des Musters nach rechts oder links verändert werden. Bei den in4A –4C dargestellten Beispielen wird das Muster von AN- und AUS-Spalten nach rechts verschoben, und zwar beginnend mit dem Muster400 von4A , fortsetzend mit dem Muster404 von4B und endend mit dem Muster408 von4C .4A –4C zeigen einen zweispaltigen Schritt für ein Muster, das 12 Pixel breit ist (6 AN, 6 AUS). Dies würde eine Phasenverschiebung von 60° bei der Beugungsordnung +1 und eine Phasenverschiebung von –60° bei der Beugungsordnung –1 oder eine relative Phasenverschiebung von 120° bewirken. Die Veränderungen des Gitterabstands (3A –3C ) oder der Gitterphase (4A –4C ) können bei der maximal adressierbaren Frequenz der DLP®-Vorrichtung224 auftreten (d. h. bei 30 kHz oder höher). - Das Beugungsgitter/holographische Gitter wird wegen der diskreten Natur der DMD-Anordnung
224 gepixelt. Bei dem Beugungsgitter-Beispiel ist der Gitterabstand eine gerade ganze Zahl von Spalten. Dies begrenzt die möglichen Gitterabstände. Die Begrenzung kann Projektoren beeinträchtigen, die ein ganzzahliges Verhältnis von Gitterabständen benötigen. Es gibt auch eine durch die Phasenverschiebung auferlegte Begrenzung. Wenn eine Verschiebung von 120° gewünscht wird, dann muss der Abstand ein Vielfaches von 6 Spalten betragen. Wenn unterschiedliche (aber bekannte) Phasenverschiebungen annehmbar sind, dann erledigt sich diese Frage. - Gitterperioden werden bei einer Ausgestaltung so ausgewählt, dass sie Vielfache von 6, 12, 18, 24 usw. sind. Diese können alle um 1/6 des Musters verschoben werden, um eine Phasenverschiebung von 120° zu erzeugen. Bei einer anderen Ausgestaltung werden Gitterperioden ausgewählt, die keine Vielfache von 6 sind, und Phasen derart verschoben, dass sie einem Sechstel der Gitterperiode so nahe wie möglich kommen. Beispielsweise kann eine 13-Pixel-Periode um 2 und dann 4 Pixel verschoben werden, um Phasenverschiebungen von 0°, 111° und 222° zu erhalten. Die Berechnung der gefalteten Phase (wrapped phase) berücksichtigt diese spezifischen Phasenverschiebungswerte. Bei dieser Ausgestaltung kann die diophantische Methode verwendet werden. Wenn der Pixelabstand in der DLP®-Vorrichtung
224 beispielsweise 10 Mikrometer beträgt, können Gitterabstände von 23, 20 und 18 Pixeln so ausgewählt werden, dass sie den Verhältnissen 8:7 und 10:9 nahe kommen. Die Phasenverschiebungen betragen 125° bei Kanal 1 (4-Pixel-Verschiebung), 108° bei Kanal 2 (3-Pixel-Verschiebung) und 120° bei Kanal 3 (3-Pixel-Verschiebung). - Es ist ebenfalls möglich, mehr als drei Phasenverschiebungen zu verwenden – beispielsweise vier, fünf oder noch mehr Phasenverschiebungen. Zusätzliche Phasenverschiebungen gestatten, dass andere Muster verwendet werden können. Ein Gitter mit einer Periode von 8 Pixeln kann zum Beispiel Verschiebungen von 1, 2 und 3 Pixeln aufweisen, um Phasenverschiebungen von 90°, 180° und 270° zu erzeugen.
- Die DMD
224 kann bei einer anderen Ausgestaltung durch einen anderen Typ eines räumlichen Lichtmodulators (SLM) ersetzt werden, für welchen die DMD224 ein Beispiel ist. Der SLM kann derart benutzt werden, dass er die oben bei der DMD beschriebene Intensität variiert. Einige SLM-Typen können in einem „Nur-Phase”-Modus verwendet werden, bei welchem die Phase – statt der Intensität – des reflektierten Lichts verändert wird. Ein SLM, der in dem „Nur-Phase”-Modus benutzt wird, wirkt als ein Phasengitter, das es ermöglicht, dass 100% des auf das Objekt projizierten Lichts statt der 50% des Lichts wie im Falle einer DMD-Vorrichtung gemessen werden. Ein Nachteil eines SLM, der keine DMD ist, ist die relativ langsame Schreibzeit. Die Wiederholfrequenz beträgt 10–30 Hz im Vergleich zu den 30 kHz bei der DMD224 . - Bei einer anderen Ausgestaltung wird ein SLM, der kein DMD-Typ ist, im Transmissionsmodus statt im Reflexionsmodus verwendet. Zu den Beispielen für Unternehmen, die Nicht-DMD-SLMs vertreiben, zählen Hamamatsu (http://sales.hamamatsu.com/en/products/solid-state-division/Icosslm.php); Boulder (http://www.bnonlinear.com/products/index.htm); und Meadowlark (http://www.meadowlark.com/products/slmLanding.php).
- Die Lichtquelle kann bei einer anderen Ausgestaltung gestrobt (in definierten Intervallen an- und ausblinken gelassen) werden. Dies ist unter Umständen erforderlich, wenn für die DMD bzw. den SLM ein Bild wiederholt werden muss. Wenn der SLM beispielsweise Zeit benötigt, um das Flüssigkristall von einem Zustand in einen anderen umzuändern, kann die Lichtquelle abgeschaltet werden, während der SLM die Änderung durchführt, und dann wieder eingeschaltet werden, wenn er fertig ist. SLMs benötigen normalerweise 10–100 msec für das Umschalten.
- Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung stellen gegenüber Konstruktionen des Stands der Technik wie beispielsweise denen von
1 mehrere Vorteile bereit, die folgende umfassen: den Wegfall von relativ teuren Translationstischen und mehrfachen optischen Systemen, das relativ schnellere Umschalten der Gittermusterphase sowie die Erzeugung von relativ komplizierteren Beugungsmustern, die auf das Objekt zu projizieren sind, dessen 3D-Kontur zu messen ist. - Obwohl bevorzugte Ausgestaltungen gezeigt und beschrieben wurden, können verschiedene Modifikationen und Ersetzungen daran vorgenommen werden, ohne dabei von dem Gedanken und Schutzbereich der Erfindung abzuweichen. Es versteht sich demgemäß, dass die vorliegende Erfindung anhand von Veranschaulichungen und nicht als Einschränkung beschrieben wurde.
- Die vorliegend offenbarten Ausgestaltungen sind daher in jeder Hinsicht als veranschaulichend und nicht als einschränkend aufzufassen, wobei der Schutzbereich der Erfindung durch die beigefügten Ansprüche und nicht durch die vorangehende Beschreibung angegeben ist und alle Änderungen, welche innerhalb der Bedeutung und des Äquivalenzbereichs der Ansprüche liegen, demnach darin umfasst sein sollen.
Claims (5)
- Verfahren zum Ermitteln von dreidimensionalen Koordinaten eines ersten Objektpunkts (
258 ) auf einer Oberfläche eines Objekts (256 ), wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Bereitstellen einer Quelle (210 ), eines Projektors (230 ) und einer Kamera (260 ), wobei der Projektor einen räumlichen Lichtmodulator (224 ), eine Projektorlinse (240 ) und eine Lochblendenplatte (252 ) umfasst, wobei die Kamera (260 ) eine Kameralinse (262 ) und eine photosensitive Anordnung (265 ) umfasst, wobei der Projektor ein perspektivisches Zentrum (241 ) des Projektors aufweist, wobei die Kamera ein perspektivisches Zentrum (263 ) der Kamera aufweist, wobei das Liniensegment, das das perspektivische Zentrum des Projektors und das perspektivische Zentrum der Kamera verbindet, die Basislinie (251 ) ist, wobei die Länge der Basislinie die Basislinienlänge ist; Projizieren eines ersten Lichts von der Quelle zu dem räumlichen Lichtmodulator; in einem ersten Vorgang: räumliches Modulieren des ersten Lichts mit dem räumlichen Lichtmodulator, um ein erstes Modulatorlichtmuster mit einem ersten Abstand zu erzeugen; Senden des ersten Modulatorlichtmusters durch die Projektorlinse, um erste mehrere Lichtpunkte zu bilden; Filtern der ersten mehreren Punkte mit der Lochblendenplatte (252 ), um ein erstes Paar von Lichtpunkten durchzulassen, während andere Punkte unter den ersten mehreren Punkten blockiert werden; Ausbreiten von Licht von dem ersten Paar von Lichtpunkten auf dem Objekt, um ein erstes Streifenmuster auf dem Objekt zu erhalten, wobei der erste Objektpunkt durch das erste Streifenmuster beleuchtet wird; Abbilden des ersten Objektpunkts mit der Kameralinse auf einem ersten Anordnungspunkt (267 ) der photosensitiven Anordnung, um einen ersten elektrischen Datenwert von der photosensitiven Anordnung zu erhalten; in einem zweiten Vorgang: räumliches Modulieren des ersten Lichts mit dem räumlichen Lichtmodulator, um ein zweites Modulatorlichtmuster mit einem dem ersten Abstand gleichen Abstand zu erzeugen, wobei das zweite Modulatormuster relativ zu dem ersten Modulatormuster räumlich verschoben wird; Senden des zweiten Modulatorlichtmusters durch die Projektorlinse, um zweite mehrere Lichtpunkte zu bilden; Filtern der zweiten mehreren Punkte mit der Lochblendenplatte, um ein zweites Paar von Lichtpunkten durchzulassen, während andere Punkte unter den zweiten mehreren Punkten blockiert werden; Ausbreiten von Licht von dem zweiten Paar von Lichtpunkten auf dem Objekt, um ein zweites Streifenmuster auf dem Objekt zu erhalten, wobei der erste Objektpunkt durch das zweite Streifenmuster beleuchtet wird; Abbilden des ersten Objektpunkts mit der Kameralinse auf einem ersten Anordnungspunkt der photosensitiven Anordnung, um einen zweiten elektrischen Datenwert von der photosensitiven Anordnung zu erhalten; Ermitteln der dreidimensionalen Koordinaten des ersten Objektpunkts basierend zumindest teilweise auf dem ersten elektrischen Datenwert, dem zweiten elektrischen Datenwert und der Basislinienlänge; und Speichern der dreidimensionalen Koordinaten des ersten Objektpunkts. - Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend folgende Schritte: in einem dritten Vorgang: räumliches Modulieren des ersten Lichts mit dem räumlichen Lichtmodulator, um ein drittes Modulatorlichtmuster zu erzeugen, wobei das dritte Modulatorlichtmuster einen dem ersten Abstand gleichen Abstand aufweist, wobei das dritte Modulatorlichtmuster relativ zu dem ersten Modulatorlichtmuster und dem zweiten Modulatorlichtmuster räumlich verschoben wird; Senden des dritten Modulatorlichtmusters durch die Projektorlinse, um dritte mehrere Lichtpunkte zu bilden; Filtern der dritten mehreren Punkte mit der Lochblendenplatte, um ein drittes Paar von Lichtpunkten durchzulassen, während andere Punkte unter den dritten mehreren Punkten blockiert werden; Ausbreiten von Licht von dem dritten Paar von Lichtpunkten auf dem Objekt, um ein drittes Streifenmuster auf dem Objekt zu erhalten, wobei der erste Objektpunkt durch das dritte Streifenmuster beleuchtet wird; Abbilden des ersten Objektpunkts mit der Kameralinse auf einem ersten Anordnungspunkt der photosensitiven Anordnung, um einen dritten elektrischen Datenwert von der photosensitiven Anordnung zu erhalten; und Ermitteln der dreidimensionalen Koordinaten des ersten Objektpunkts, ferner basierend auf dem dritten elektrischen Datenwert.
- Verfahren nach Anspruch 2, ferner umfassend folgende Schritte: in jedem von einem vierten, fünften und sechsten Vorgang: räumliches Modulieren des ersten Lichts mit dem räumlichen Lichtmodulator, um ein viertes Modulatorlichtmuster, ein fünftes Modulatorlichtmuster bzw. ein sechstes Modulatorlichtmuster zu erzeugen, wobei das vierte Modulatorlichtmuster, das fünfte Modulatorlichtmuster und das sechste Modulatorlichtmuster einen dem ersten Abstand nicht gleichen zweiten Abstand aufweisen, wobei das vierte Modulatorlichtmuster relativ zu dem fünften Modulatorlichtmuster und dem sechsten Modulatorlichtmuster verschoben wird und das fünfte Modulatorlichtmuster relativ zu dem sechsten Modulatorlichtmuster verschoben wird; Abbilden des vierten Modulatorlichtmusters, eines fünften Modulatorlichtmusters bzw. eines sechsten Modulatorlichtmusters mit der Projektorlinse, um vierte mehrere Lichtpunkte, fünfte mehrere Lichtpunkte bzw. sechste mehrere Lichtpunkte zu erhalten; Filtern der vierten mehreren Punkte, der fünften mehreren Punkte bzw. der sechsten mehreren Punkte mit der Lochblendenplatte, um ein viertes Paar von Lichtpunkten, ein fünftes Paar von Lichtpunkten bzw. ein sechstes Paar von Lichtpunkten zu erhalten, während andere Punkte unter den vierten mehreren Punkten, den fünften mehreren Punkten bzw. den sechsten mehreren Punkten blockiert werden; Ausbreiten des vierten Paars von Lichtpunkten, des fünften Paars von Lichtpunkten bzw. des sechsten Paars von Lichtpunkten auf dem Objekt, um ein viertes Streifenmuster, das fünfte Streifenmuster bzw. das sechste Streifenmuster auf dem Objekt zu erhalten, wobei der erste Objektpunkt durch das vierte Streifenmuster, das fünfte Streifenmuster bzw. das sechste Streifenmuster beleuchtet wird; Abbilden des ersten Objektpunkts mit der Kameralinse auf einem ersten Anordnungspunkt der photosensitiven Anordnung, um einen vierten elektrischen Datenwert, einen fünften elektrischen Datenwert bzw. einen sechsten elektrischen Datenwert von der photosensitiven Anordnung zu erhalten; und Ermitteln der dreidimensionalen Koordinaten des ersten Objektpunkts, ferner basierend auf dem vierten elektrischen Datenwert, dem fünften elektrischen Datenwert und dem sechsten elektrischen Datenwert.
- Verfahren nach Anspruch 1, wobei in dem Schritt zum Bereitstellen einer Quelle, eines Projektors und einer Kamera der Projektor eine digitale Mikrospiegelvorrichtung ist.
- Verfahren nach Anspruch 4, wobei in dem Schritt zum Bereitstellen einer Quelle, eines Projektors und einer Kamera die Quelle ein Laser ist.
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE112012002943T5 true DE112012002943T5 (de) | 2014-04-30 |
Family
ID=46508455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE112012002943.7T Withdrawn DE112012002943T5 (de) | 2011-07-13 | 2012-07-09 | Vorrichtung und Verfahren unter Verwendung eines räumlichen Lichtmodulators zum Ermitteln von 3D-Koordinaten eines Objekts |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9170098B2 (de) |
JP (1) | JP2014522981A (de) |
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GB (1) | GB2507020A (de) |
WO (1) | WO2013009676A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016208049A1 (de) * | 2015-07-09 | 2017-01-12 | Inb Vision Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Bilderfassung einer vorzugsweise strukturierten Oberfläche eines Objekts |
Families Citing this family (72)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0718706D0 (en) | 2007-09-25 | 2007-11-07 | Creative Physics Ltd | Method and apparatus for reducing laser speckle |
US9335604B2 (en) | 2013-12-11 | 2016-05-10 | Milan Momcilo Popovich | Holographic waveguide display |
US11726332B2 (en) | 2009-04-27 | 2023-08-15 | Digilens Inc. | Diffractive projection apparatus |
WO2012136970A1 (en) | 2011-04-07 | 2012-10-11 | Milan Momcilo Popovich | Laser despeckler based on angular diversity |
WO2016020630A2 (en) | 2014-08-08 | 2016-02-11 | Milan Momcilo Popovich | Waveguide laser illuminator incorporating a despeckler |
WO2013027004A1 (en) | 2011-08-24 | 2013-02-28 | Milan Momcilo Popovich | Wearable data display |
WO2013102759A2 (en) | 2012-01-06 | 2013-07-11 | Milan Momcilo Popovich | Contact image sensor using switchable bragg gratings |
US20140085426A1 (en) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | Alces Technology, Inc. | Structured light systems with static spatial light modulators |
WO2014074003A1 (ru) * | 2012-11-07 | 2014-05-15 | Артек Европа С.А.Р.Л. | Способ контроля линейных размеров трехмерных объектов |
US9151881B2 (en) * | 2012-11-12 | 2015-10-06 | Kla-Tencor Corporation | Phase grating for mask inspection system |
US9933684B2 (en) * | 2012-11-16 | 2018-04-03 | Rockwell Collins, Inc. | Transparent waveguide display providing upper and lower fields of view having a specific light output aperture configuration |
US9389315B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-07-12 | Basf Se | Detector comprising a transversal optical sensor for detecting a transversal position of a light beam from an object and a longitudinal optical sensor sensing a beam cross-section of the light beam in a sensor region |
US10353049B2 (en) | 2013-06-13 | 2019-07-16 | Basf Se | Detector for optically detecting an orientation of at least one object |
CN109521397B (zh) | 2013-06-13 | 2023-03-28 | 巴斯夫欧洲公司 | 用于光学地检测至少一个对象的检测器 |
DE102013212613B4 (de) * | 2013-06-28 | 2015-07-23 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Beleuchtungsoptik für ein Metrologiesystem sowie Metrologiesystem mit einer derartigen Beleuchtungsoptik |
US9727772B2 (en) | 2013-07-31 | 2017-08-08 | Digilens, Inc. | Method and apparatus for contact image sensing |
WO2015024871A1 (en) | 2013-08-19 | 2015-02-26 | Basf Se | Optical detector |
KR20160044009A (ko) | 2013-08-19 | 2016-04-22 | 바스프 에스이 | 하나 이상의 물체의 위치를 결정하기 위한 검출기 |
WO2015148604A1 (en) | 2014-03-25 | 2015-10-01 | Massachusetts Institute Of Technology | Space-time modulated active 3d imager |
WO2015153982A1 (en) * | 2014-04-04 | 2015-10-08 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for controlling propagation and/or transmission of electromagnetic radiation in flexible waveguide(s) |
KR102397527B1 (ko) | 2014-07-08 | 2022-05-13 | 바스프 에스이 | 하나 이상의 물체의 위치를 결정하기 위한 검출기 |
WO2016020632A1 (en) | 2014-08-08 | 2016-02-11 | Milan Momcilo Popovich | Method for holographic mastering and replication |
US10241330B2 (en) | 2014-09-19 | 2019-03-26 | Digilens, Inc. | Method and apparatus for generating input images for holographic waveguide displays |
US10036627B2 (en) | 2014-09-19 | 2018-07-31 | Hexagon Metrology, Inc. | Multi-mode portable coordinate measuring machine |
KR102452393B1 (ko) | 2014-09-29 | 2022-10-11 | 바스프 에스이 | 적어도 하나의 물체의 포지션을 광학적으로 결정하기 위한 방법 및 검출기 및 이를 이용한 휴먼 머신 인터페이스, 엔터테인먼트 장치, 추적 시스템, 스캐닝 시스템, 입체 시스템 및 카메라 |
WO2016092451A1 (en) * | 2014-12-09 | 2016-06-16 | Basf Se | Optical detector |
EP3032241B1 (de) * | 2014-12-11 | 2023-03-01 | X-Rite Europe GmbH | Verfahren und vorrichtung zur digitalisierung des aussehens eines echten materials |
FR3030066B1 (fr) * | 2014-12-16 | 2017-12-22 | Commissariat Energie Atomique | Projecteur de lumiere structuree et scanner tridimensionnel comportant un tel projecteur |
EP3234685B1 (de) | 2014-12-18 | 2021-02-03 | Facebook Technologies, LLC | System, vorrichtung und verfahren zur bereitstellung einer benutzerschnittstelle für eine virtuelle realität |
CN107873086B (zh) | 2015-01-12 | 2020-03-20 | 迪吉伦斯公司 | 环境隔离的波导显示器 |
US10775505B2 (en) | 2015-01-30 | 2020-09-15 | Trinamix Gmbh | Detector for an optical detection of at least one object |
US9632226B2 (en) | 2015-02-12 | 2017-04-25 | Digilens Inc. | Waveguide grating device |
JP6877418B2 (ja) | 2015-07-17 | 2021-05-26 | トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 少なくとも1個の対象物を光学的に検出するための検出器 |
US10094774B2 (en) | 2015-08-12 | 2018-10-09 | Industrial Technology Research Institute | Scattering measurement system and method |
CN108141579B (zh) | 2015-09-14 | 2020-06-12 | 特里纳米克斯股份有限公司 | 3d相机 |
CN108474945B (zh) | 2015-10-05 | 2021-10-01 | 迪吉伦斯公司 | 波导显示器 |
US10254112B1 (en) * | 2015-10-29 | 2019-04-09 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Full-field surface roughness |
US10859768B2 (en) | 2016-03-24 | 2020-12-08 | Digilens Inc. | Method and apparatus for providing a polarization selective holographic waveguide device |
US10890707B2 (en) | 2016-04-11 | 2021-01-12 | Digilens Inc. | Holographic waveguide apparatus for structured light projection |
WO2018019921A1 (en) | 2016-07-29 | 2018-02-01 | Trinamix Gmbh | Optical sensor and detector for optical detection |
CN109923372B (zh) | 2016-10-25 | 2021-12-21 | 特里纳米克斯股份有限公司 | 采用集成滤波器的红外光学检测器 |
KR102431355B1 (ko) | 2016-10-25 | 2022-08-10 | 트리나미엑스 게엠베하 | 적어도 하나의 대상체의 광학적 검출을 위한 검출기 |
US11860292B2 (en) | 2016-11-17 | 2024-01-02 | Trinamix Gmbh | Detector and methods for authenticating at least one object |
US10948567B2 (en) | 2016-11-17 | 2021-03-16 | Trinamix Gmbh | Detector for optically detecting at least one object |
US11513350B2 (en) | 2016-12-02 | 2022-11-29 | Digilens Inc. | Waveguide device with uniform output illumination |
US10545346B2 (en) | 2017-01-05 | 2020-01-28 | Digilens Inc. | Wearable heads up displays |
CN108658033B (zh) * | 2017-03-29 | 2020-06-26 | 北京大学 | 一种能够实时记录人体臀部动态形变的马鞍 |
CN110770555A (zh) | 2017-04-20 | 2020-02-07 | 特里纳米克斯股份有限公司 | 光学检测器 |
US11067692B2 (en) | 2017-06-26 | 2021-07-20 | Trinamix Gmbh | Detector for determining a position of at least one object |
US10551614B2 (en) * | 2017-08-14 | 2020-02-04 | Facebook Technologies, Llc | Camera assembly with programmable diffractive optical element for depth sensing |
US10586342B2 (en) | 2017-08-31 | 2020-03-10 | Facebook Technologies, Llc | Shifting diffractive optical element for adjustable depth sensing resolution |
CN107748475A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-03-02 | 深圳奥比中光科技有限公司 | 结构光投影模组、深度相机及制造结构光投影模组的方法 |
US11022434B2 (en) | 2017-11-13 | 2021-06-01 | Hexagon Metrology, Inc. | Thermal management of an optical scanning device |
CN108303392A (zh) * | 2018-01-05 | 2018-07-20 | 厦门理工学院 | 一种红外水分仪及光谱采集方法 |
US10732569B2 (en) | 2018-01-08 | 2020-08-04 | Digilens Inc. | Systems and methods for high-throughput recording of holographic gratings in waveguide cells |
US10914950B2 (en) | 2018-01-08 | 2021-02-09 | Digilens Inc. | Waveguide architectures and related methods of manufacturing |
JP2019158488A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | アズビル株式会社 | 距離測定装置および方法 |
US10986328B2 (en) * | 2018-06-08 | 2021-04-20 | Dentsply Sirona Inc. | Device, method and system for generating dynamic projection patterns in a camera |
CN108895986B (zh) * | 2018-07-17 | 2020-11-13 | 广西师范大学 | 基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置 |
WO2020023779A1 (en) | 2018-07-25 | 2020-01-30 | Digilens Inc. | Systems and methods for fabricating a multilayer optical structure |
CN109084679B (zh) * | 2018-09-05 | 2019-08-06 | 天目爱视(北京)科技有限公司 | 一种基于空间光调制器的3d测量及获取装置 |
USD875573S1 (en) | 2018-09-26 | 2020-02-18 | Hexagon Metrology, Inc. | Scanning device |
CN109059787B (zh) * | 2018-10-09 | 2019-12-24 | 北京航空航天大学 | 一种基于横向剪切干涉的玻璃板厚度分布测量方法及系统 |
CN109443253A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-03-08 | 北京国泰蓝盾科技有限公司 | 一种激光同轴度检测装置及其方法 |
WO2020168348A1 (en) | 2019-02-15 | 2020-08-20 | Digilens Inc. | Methods and apparatuses for providing a holographic waveguide display using integrated gratings |
CN113728258A (zh) | 2019-03-12 | 2021-11-30 | 迪吉伦斯公司 | 全息波导背光及相关制造方法 |
CN110230994B (zh) * | 2019-04-30 | 2020-08-14 | 浙江大学 | 像点溯源的物体光栅图像相移法相位测量误差校正方法 |
US11287626B2 (en) | 2019-05-17 | 2022-03-29 | Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Comoanv Limited | Chromatic confocal system and a method for inspecting an object |
CN114207492A (zh) | 2019-06-07 | 2022-03-18 | 迪吉伦斯公司 | 带透射光栅和反射光栅的波导及其生产方法 |
US20220252392A1 (en) * | 2019-07-02 | 2022-08-11 | Nikon Corporation | Metrology for additive manufacturing |
EP4004646A4 (de) | 2019-07-29 | 2023-09-06 | Digilens Inc. | Verfahren und vorrichtung zum multiplizieren der bildauflösung und des sichtfeldes einer pixelierten anzeige |
KR20220054386A (ko) | 2019-08-29 | 2022-05-02 | 디지렌즈 인코포레이티드. | 진공 브래그 격자 및 이의 제조 방법 |
Family Cites Families (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3762809A (en) | 1970-01-07 | 1973-10-02 | Ricoh Kk | Original mount or holder for optical projection system |
US4017727A (en) | 1975-11-12 | 1977-04-12 | Yamamoto David J | Light projecting apparatus |
US5166508A (en) * | 1991-09-20 | 1992-11-24 | United Technologies Corporation | Optical processor for controlling a deformable mirror |
US6690474B1 (en) * | 1996-02-12 | 2004-02-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and methods for surface contour measurement |
US5870191A (en) | 1996-02-12 | 1999-02-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and methods for surface contour measurement |
US6438272B1 (en) * | 1997-12-31 | 2002-08-20 | The Research Foundation Of State University Of Ny | Method and apparatus for three dimensional surface contouring using a digital video projection system |
US6040910A (en) | 1998-05-20 | 2000-03-21 | The Penn State Research Foundation | Optical phase-shift triangulation technique (PST) for non-contact surface profiling |
DE19908883A1 (de) * | 1999-03-02 | 2000-09-07 | Rainer Heintzmann | Verfahren zur Erhöhung der Auflösung optischer Abbildung |
JP3893809B2 (ja) * | 1999-09-29 | 2007-03-14 | コニカミノルタフォトイメージング株式会社 | 焦点位置を変更できる空間変調ユニット、光束偏向装置、焦点検出装置、およびカメラ |
JP2001127852A (ja) | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Seiko Epson Corp | カバーガラス及び光学部品 |
JP3714853B2 (ja) | 2000-06-30 | 2005-11-09 | 株式会社ミツトヨ | 位相シフト干渉縞同時撮像装置における平面形状計測方法 |
JP3554816B2 (ja) | 2000-09-14 | 2004-08-18 | 和歌山大学長 | 矩形波格子投影によるリアルタイム形状変形計測方法 |
US20020163573A1 (en) | 2001-04-11 | 2002-11-07 | Bieman Leonard H. | Imaging system |
US20030058455A1 (en) * | 2001-09-14 | 2003-03-27 | Akimitsu Ebihara | Three-dimensional shape measuring apparatus |
US6578970B2 (en) * | 2001-09-19 | 2003-06-17 | Advanced Radiation Corporation | Point-like lamp with anode chimney |
WO2003032252A2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Dimensional Photonics, Inc. | Device for imaging a three-dimensional object |
US7046410B2 (en) | 2001-10-11 | 2006-05-16 | Polychromix, Inc. | Actuatable diffractive optical processor |
US6768589B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-07-27 | Polychromix Corporation | Method and apparatus providing reduced polarization-dependent loss |
US6810207B2 (en) | 2002-05-13 | 2004-10-26 | Olympus Corporation | Camera |
US6985308B1 (en) | 2002-05-28 | 2006-01-10 | Polychromix Corporation | Telecommunications optical processor |
US20040125205A1 (en) | 2002-12-05 | 2004-07-01 | Geng Z. Jason | System and a method for high speed three-dimensional imaging |
WO2004079410A1 (en) | 2003-01-06 | 2004-09-16 | Polychromix Corporation | Diffraction grating having high throughput effiency |
DE10321888A1 (de) | 2003-05-07 | 2004-12-02 | Universität Stuttgart | Messverfahren und Sensor, insbesondere zur optischen Abtastung bewegter Objekte |
US20050002677A1 (en) | 2003-07-03 | 2005-01-06 | Polychromix, Inc. | Methods and apparatus for monitoring the strength of carriers in an optical communication system |
WO2005047834A1 (en) | 2003-10-15 | 2005-05-26 | Polychromix Corporation | Light processor providing wavelength control and method for same |
US7379241B2 (en) | 2004-12-15 | 2008-05-27 | Polychromix Corporation | High efficiency phase grating having a planar reflector |
JP4427632B2 (ja) | 2005-03-15 | 2010-03-10 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 高精度三次元形状測定装置 |
EP2657761A3 (de) * | 2005-04-06 | 2013-12-25 | Dimensional Photonics International, Inc. | Mehrkanaliges System zur interferometrischen Messung von Oberflächenkonturen |
US7505641B1 (en) | 2005-08-17 | 2009-03-17 | Polychromix Corporation | Optical biosensor incorporating wavelength encoding of multiple unlabeled analytes |
DE102005054337A1 (de) * | 2005-11-11 | 2007-05-16 | Opto Control Elektronik Pruefs | Dreidimensionales Objektvermessungssystem |
US20070194239A1 (en) | 2006-01-31 | 2007-08-23 | Mcallister Abraham | Apparatus and method providing a hand-held spectrometer |
DE102007002880B4 (de) * | 2007-01-15 | 2011-08-25 | DMG Microset GmbH, 33689 | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Ausmessen eines Objekts, insbesondere eines Werkstücks oder Werkzeugs |
US8081319B2 (en) | 2008-06-12 | 2011-12-20 | Ahura Scientific Inc. | Adjustable two dimensional lamellar grating |
WO2010006081A1 (en) * | 2008-07-08 | 2010-01-14 | Chiaro Technologies, Inc. | Multiple channel locating |
WO2010021972A1 (en) | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Brown University | Surround structured lighting for recovering 3d object shape and appearance |
KR101530930B1 (ko) | 2008-08-19 | 2015-06-24 | 삼성전자주식회사 | 패턴투영장치, 이를 구비한 3차원 이미지 형성장치, 및 이에 사용되는 초점 가변 액체렌즈 |
KR20100084718A (ko) | 2009-01-19 | 2010-07-28 | 삼성전자주식회사 | 3차원 이미지를 생성하는 휴대 단말기 |
US8699111B2 (en) * | 2009-02-23 | 2014-04-15 | Dimensional Photonics International, Inc. | Apparatus and method for high-speed phase shifting for interferometric measurement systems |
JP2012518791A (ja) | 2009-02-23 | 2012-08-16 | ディメンジョナル フォトニクス インターナショナル,インコーポレイテッド | コヒーレント照明イメージング・システムにおけるスペックル雑音の低減 |
WO2010132802A2 (en) | 2009-05-14 | 2010-11-18 | Andover Photonics, Inc. | Shape measurement using microchip based fringe projection |
US7763841B1 (en) | 2009-05-27 | 2010-07-27 | Microsoft Corporation | Optical component for a depth sensor |
CN101608908B (zh) * | 2009-07-20 | 2011-08-10 | 杭州先临三维科技股份有限公司 | 数字散斑投影和相位测量轮廓术相结合的三维数字成像方法 |
JP5402393B2 (ja) * | 2009-08-20 | 2014-01-29 | 大日本印刷株式会社 | 投射型映像表示装置および映像表示方法 |
WO2012141868A1 (en) | 2011-04-15 | 2012-10-18 | Faro Technologies, Inc. | Enhanced position detector in laser tracker |
-
2012
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016208049A1 (de) * | 2015-07-09 | 2017-01-12 | Inb Vision Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Bilderfassung einer vorzugsweise strukturierten Oberfläche eines Objekts |
US10228241B2 (en) | 2015-07-09 | 2019-03-12 | Inb Vision Ag | Device and method for detecting an image of a preferably structured surface of an object |
EP3158287B1 (de) * | 2015-07-09 | 2020-03-04 | INB Vision AG | Verfahren zur bilderfassung einer vorzugsweise strukturierten oberfläche eines objekts |
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