DE112009001219B4

DE112009001219B4 - Überprüfungsverfahren von Regeln von nicht-zu-untersuchenden Bereichen (DNIR), Computerprogramm und Vorrichtung für eine derartige Überprüfung

Info

Publication number: DE112009001219B4
Application number: DE112009001219.1T
Authority: DE
Inventors: Kiyoshi Kageyama
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Photomasks Inc
Priority date: 2008-05-22
Filing date: 2009-05-15
Publication date: 2018-05-30
Anticipated expiration: 2029-05-16
Also published as: TW201003300A; TWI454837B; DE112009001219T5; WO2009142152A1; JP5445452B2; JPWO2009142152A1; US20110071783A1; US9201296B2

Abstract

Überprüfungsverfahren von Regeln von nicht-zu-untersuchenden Bereichen-, wobei das Verfahren aufweist:einen Informationsspeicher-Verfahrensschritt, der ein Speichern von Informationen einer Anzahl von nicht-zu-untersuchenden Bereichen, die jeden von der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche bestimmt, und ein Speichern einer Bildpunktgröße aufweist, die die Länge eines einzelnen Bildpunktes bestimmt,(Schritt 1) einen Verfahrensschritt der Überprüfung einer minimalen Größe, der ein Berechnen einer Größe von jeweils der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche und ein Überprüfen aufweist, ob eine Regel der minimalen Größe befolgt wird, wobei die Regel der minimalen Größe erfordert, dass die Größe von jeder der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche gleich oder größer einer einzelnen Einheit der Pixelgröße unter Bezug auf die Pixelgröße ist,(Schritt 2) einen Verfahrensschritt zur Überprüfung des Abstandes, der ein Berechnen der Abstände zwischen jedem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, indem Bezug auf die Informationen der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche genommen wird, und ein Überprüfen aufweist, ob eine Abstandsregel befolgt wird, wenn ein Abstand zwischen einem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche größer als Null ist, wobei die Abstandsregel erfordert, dass der Abstand gleich oder größer als ein vorbestimmter Abstand ist, undeinen Abänderungsverfahrensschritt, der, wenn in dem Verfahrensschritt der Überprüfung des Abstandes festgestellt wird, dass die Abstandsregel verletzt wird, ein Abändern eines der Paare der nicht-zu-untersuchenden Bereiche aufweist, die die Abstandsregel verletzen, so dass die Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche sich miteinander berühren,wobei in dem Verfahrensschritt der Abänderung die Längen der beiden Seiten, die jeweils dem Paar der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, die die Abstandsregel verletzen, zugewandt sind, verglichen werden und eine kürzere von den Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche auf eine Position bewegt wird, bei der sie eine längere von den Seiten berührt.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Überprüfung von Regeln für nicht-zu-untersuchende Bereiche (Do-Not-Inspect-Regions (DNIRs)) bei einem Untersuchungssystem für Maskenfehler und zum Abändern der DNIRs, wenn die Regeln verletzt werden.
HINTERGRUND
Allgemein können während der Untersuchung auf Defekte bei Fotomasken für optische Lithografie in einem Untersuchungssystem auf Maskendefekte falsche Defekte als ein Ergebnis eines Kompromisses mit der Kalibrierung hervorgerufen werden (siehe z.B. Abs. [0018] der Patentschrift 1; s.u.). Hier bedeutet der Ausdruck „falscher Defekt“ ein nichtfehlerhaftes Bauteil, das irrtümlicherweise als defekt durch das Untersuchungssystem auf Maskenfehler bestimmt worden ist.
Normalerweise werden Schaltungen auf einer zur Herstellung geeigneten Ebene entworfen. Wichtige Bereiche, bei denen die Schaltungen auf einer zur Herstellung geeigneten Ebene entworfen sind, werden einer Kalibrierung bei einem Untersuchungssystem auf Maskenfehler unterworfen, um das Hervorrufen von falschen Defekten zu vermeiden.
Allerdings können in manchen Fällen Muster, die z.B. eine bestimmte Bearbeitungseinschränkung überschreiten, in einer Fotomaske enthalten sein, um solche Bearbeitungseinschränkungen zu beurteilen. Diese Muster würden eine außergewöhnlich schlechte Musterwiedergabetreue erfahren und werden nicht zufriedenstellend kalibriert. Demzufolge werden falsche Defekte bei ihnen hervorgerufen.
Zu viele falsche Defekte unterbrechen den Betrieb des Untersuchungssystems auf Maskenfehler. Um dies zu vermeiden, bestimmt eine Maskenregelprüfung (MRC) Bereiche, bei denen eine große Anzahl von falschen Defekten erwartet werden. Um die Bereiche, die von der MRC bestimmt worden sind, aus dem Untersuchungsbereich auszuschließen, werden nicht-zu-untersuchende Bereiche (DNIRs) bestimmt. Die DNIRs sind von rechteckiger Gestalt.
Die Druckschrift US 2007 / 0 050 163 A1 offenbart Verfahren, Systeme, Programmspeichervorrichtungen und Computerprogrammprodukte zur Maskeninspektion, welche die Erkennung und die Anordnung von DNIRs für absichtlich induzierte Defekte auf Masken automatisieren. Ein Ort eines beabsichtigten Defekts wird auf einer Maske identifiziert, und dann wird eine Logik, die sich auf diesen Ort bezieht, in eine Form übersetzt, die ein DNIR für den beabsichtigten Defekt darstellt. Eine zweite Form, die ein anderes DNIR der Maske darstellt, wird bereitgestellt. Es wird dann bestimmt, ob die erste und die zweite Form für die DNIRs eine Verarbeitungsregel des Inspektionswerkzeugs verletzen, und wenn dies der Fall ist, wird die verletzte Regel korrigiert, indem ein einzelnes zusammenhängendes DNIR durch Überlappen der ersten und der zweiten Form erzeugt wird. Das Inspektionswerkzeug verwendet dann die erste und die zweite Form, welche die DNIRs darstellen, zusammen mit irgendwelchen einzelnen zusammenhängenden DNIRs, um die Maske auf unbeabsichtigte Defekte zu untersuchen, während absichtliche Defekte vermieden werden.
Wenn eine Anzahl von DNIRs zu bestimmen sind, müssen die DNIR-Anordnungsregeln 1 bis 5 beachtet werden (siehe das Nicht-Patent Dokument 1; s.u.).

1. Die minimale Größe eines DNIR ist ein einzelner Bildpunkt (Pixel). Der Bildpunkt ist eine Einheit, die bei einem Untersuchungssystem auf Maskenfehler verwendet wird. Die Länge des Bildpunktes beträgt 125 mm, 90 mm, 72 mm oder dergleichen, in Abhängigkeit von dem Gerät oder der Einstellung. Die Länge von jedem Bildpunkt wird auch als Bildpunktgröße bezeichnet.
2. Die Anzahl der DNIRs ist nicht beschränkt.
3. Manche DNIRs können miteinander überlappen und der überlappende Bereich kann so klein wie möglich sein.
4. Manche DNIRs können über ihre Kante miteinander in Kontakt sein.
5. Wenn ein DNIR-Paar sich weder überlappt noch miteinander in Kontakt ist, d.h. wenn der Abstand zwischen dem DNIR-Paar nicht Null ist, muss das DNIR-Paar voneinander um mindestens 128 Bildpunkte getrennt sein.

Wenn eine Anzahl von DNIRs bestimmt wird, wird der Betrieb des Untersuchungssystems auf Maskenfehler einen DNIR-Anordnungsregelfehler auslösen, wenn die DNIR-Anordnungsregeln verletzt werden.
Vorzugsweise ist die Größe des DNIR bei dem Untersuchungssystem auf Maskenfehler so klein wie möglich. Allerdings kann ein DNIR nur durch eine rechteckige Fläche dargestellt werden. Wenn DNIRs für eine Fotomaske, die in der 14 dargestellt ist, zu bestimmen sind, kann z.B. ein DNIR einfach bestimmt werden, wie in der 15 dargestellt ist. Allerdings sind Bereiche, die untersucht werden sollen, auch in dieser Anordnung der DNIR enthalten. Dieses Problem kann gelöst werden, indem die DNIRs bestimmt werden, wie in der 16 dargestellt ist, um die Größe der DNIRs zu verringern. Allerdings muss in diesem Fall die oben beschriebene DNIR-Anordnungsregel beachtet werden. Wenn eine Anzahl von DNIRs, wie in der 16 dargestellt, bei einer Fotomaske erfordert werden, war es nach dem Stand der Technik für eine Bedienperson nicht möglich, das Vorliegen einer Verletzung der DNIR-Anordnungsregel zu überprüfen, ohne das Untersuchungssystem auf Maskenfehler zu betreiben.
STAND DER TECHNIK
Patentschrift:
Patentschrift 1: JP 2004 - 191 297 A
Nicht-Patent-Literatur:
Nicht-Patent-Literatur 1: Wayne Ruch, „Rules for DNIR Placement in TERA Format Database SLF Series and 5XX Series" Application Note, USA, KLA-Tencor Corporation, August 2, 2002, AN4084, S. 2
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
Von der Erfindung zu lösende Aufgabe:
Die vorliegende Erfindung wurde unter Berücksichtigung der oben genannten Umstände durchgeführt und eine ihrer Aufgaben ist es, das Vorliegen einer Verletzung einer DNIR-Anordnungsregel zu überprüfen, ohne das Untersuchungssystem auf Maskenfehler zu betreiben, indem die DNIR-Informationen des Untersuchungssystems auf Maskenfehler analysiert werden, und bei dem Untersuchungssystem auf Maskenfehler geeignet ein Untersuchungsverfahren auf Fotomaskendefekte zu verwirklichen, indem abgeänderte DNIR-Informationen verwendet werden.
Mittel zum Lösen der Aufgabe:

(1) Um die oben genannte Aufgabe zu lösen, wird nach einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ein Überprüfungsverfahren der Regeln der nicht zu untersuchenden Bereiche verwendet, wobei das Verfahren aufweist: ein Informationsspeicherverfahren, das ein Speichern von Informationen von einer Anzahl von nicht-zu-untersuchenden Bereichen, die jeweils eine Anzahl von nicht-zu-untersuchenden Bereichen bestimmt, und ein Speichern einer Bildpunktgröße umfasst, die eine Länge eines einzelnen Bildpunktes bestimmt; ein Überprüfungsverfahren der minimalen Größe, das umfasst ein Berechnen der Größe von jedem der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche und ein Überprüfen, ob eine Regel der minimalen Größe beachtet wird, wobei die Regel der minimalen Größe erfordert, dass die Größe von jedem der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche gleich oder größer als eine einzelne Einheit der Bildpunktgröße ist, während Bezug auf die Bildpunktgröße genommen wird; und ein Abstandsüberprüfungsverfahren, das umfasst ein Berechnen der Abstände zwischen jedem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, indem Bezug genommen wird auf die Informationen der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, und ein Überprüfen, ob eine Abstandsregel beachtet wird, wenn ein Abstand zwischen einen Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche größer als Null ist, wobei die Abstandsregel erfordert, dass der Abstand größer oder gleich einem vorbestimmten Abstand ist.
(2) Das Überprüfungsverfahren der Regeln des nicht-zu-untersuchenden Bereichs wird auf die folgende Weise ausgeführt: Das Verfahren umfasst ferner ein Abänderungsverfahren, das, wenn bei dem Abstandsüberprüfungsverfahren bestimmt wird, dass die Abstandsregel verletzt wird, ein Abändern eines von dem Paar der nicht-zu-untersuchenden Bereiche umfasst, die die Abstandsregel verletzen, so dass Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche sich miteinander berühren.
(3) Das Überprüfungsverfahren der Regeln der nicht-zu-untersuchenden Bereiche wird auf die folgende Weise ausgeführt: Bei dem Abänderungsverfahren werden die Längen der beiden Seiten, die jeweils dem Paar der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, die die Abstandsregel verletzen, zugewandt sind, verglichen werden und es wird die kürzere der Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche auf eine Position bewegt, bei der sie eine längere der Seiten berührt.
(4) Um die oben genannte Aufgabe zu lösen, wird nach einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ein computerlesbares Medium verwendet, auf dem ein Überprüfungsprogramm der Regeln der nicht-zu-untersuchenden Bereiche gespeichert ist, wobei das Programm bewirkt, dass ein Computer ausführt: Eine Informationsspeicherroutine, die umfasst ein Speichern der Informationen einer Anzahl von nicht-zu-untersuchenden Bereichen, die jeden aus der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche bestimmt, und ein Speichern einer Bildpunktgröße, die eine Länge eines einzelnen Bildpunkes bestimmt; eine Überprüfungsroutine der minimalen Größe, die umfasst ein Berechnen einer Größe von jedem der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche und ein Überprüfen, ob eine Regel der minimalen Größe beachtet wird, wobei die Regel der minimalen Größe erfordert, dass die Größe von jedem der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche gleich oder größer als eine einzelne Einheit der Bildpunktgröße ist, während Bezug auf die Bildpunktgröße genommen wird; und eine Abstandsüberprüfungsroutine, die umfasst ein Berechnen der Abstände zwischen jedem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, während Bezug auf die Informationen der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche genommen wird, und ein Überprüfen, ob die Abstandsregel befolgt wird, wobei die Abstandsregel erfordert, dass, wenn ein Abstand zwischen einem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche größer als Null ist, der Abstand größer als ein vorbestimmter Abstand ist.
(5) Das oben beschriebene Überprüfungsprogramm der Regeln der nicht-zu-untersuchenden Bereiche ist wie folgt aufgebaut: Das Programm umfasst ferner eine Abänderungsroutine, die, wenn bei der Abstandsüberprüfungsroutine bestimmt wird, dass die Abstandsregel verletzt wird, ein Abändern von einem der Paare der nicht-zu-untersuchenden Bereiche umfasst, die die Abstandsregel verletzen, so dass die Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche einander berühren.
(6) Das oben beschriebene Überprüfungsprogramm der Regeln der nicht-zu-untersuchenden Bereiche ist wie folgt aufgebaut: Bei der Abänderungsroutine werden die Längen der beiden Seiten, die jeweils dem Paar der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, die die Abstandsregel verletzen, zugewandt sind, verglichen werden und es wird eine Seite, die unter den Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche kürzer ist, auf eine Position gebracht, um eine Seite zu berühren, die länger ist.
(7) Um die oben genannte Aufgabe zu lösen, wird nach einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung eine Überprüfungsvorrichtung der Regeln der nicht-zu-untersuchenden Bereiche verwendet, wobei die Vorrichtung aufweist: Ein Informationsspeicherteil, das Informationen von einer Anzahl von nicht-zu-untersuchenden Bereichen speichert, die jeweils die Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche bestimmen, und das eine Bildpunktgröße speichert, die eine Länge eines einzelnen Bildpunktes bestimmt; ein Überprüfungsteil der minimalen Größe, das eine Größe von jedem der Anzahl der nicht-zu-überprüfenden Bereiche berechnet und das überprüft, ob eine Regel der minimalen Größe beachtet wird, wobei die Regel der minimalen Größe erfordert, dass die Größe von jeweils der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche gleich oder größer als eine einzelne Einheit der Bildpunktgröße ist, während Bezug auf die Bildpunktgröße genommen wird, und ein Abstandsüberprüfungsteil, das die Abstände zwischen jedem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche berechnet, während Bezug auf die Informationen der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche genommen wird, und das überprüft, ob eine Abstandsregel befolgt wird, wobei die Abstandsregel erfordert, dass, wenn ein Abstand zwischen einem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche größer als Null ist, der Abstand größer als ein vorbestimmter Abstand ist.
(8) Die oben beschriebene Überprüfungsvorrichtung der Regeln der nicht-zu-untersuchenden Bereiche ist wie folgt aufgebaut: Die Vorrichtung enthält ferner ein Abänderungsteil, das, wenn bei dem Abstandsüberprüfungsteil bestimmt wird, dass die Abstandsregel verletzt wird, ein Abändern eines des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche umfasst, die die Abstandsregel verletzen, so dass die Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche sich einander berühren.
(9) Das oben beschriebene Überprüfungssystem für die Regeln der nicht-zu-untersuchenden Bereiche ist wie folgt aufgebaut: Bei dem Abänderungsteil werden die Längen der beiden Seiten, die jeweils dem Paar der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, die die Abstandsregel verletzen, zugewandt sind, verglichen werden und es wird eine Seite, die kürzer zwischen den Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche ist, auf eine Position gebracht, um eine Seite zu berühren, die länger ist.

Wirkung der Erfindung:
Die oben beschriebenen Mittel (1), (4) und (7) weisen die vorteilhafte Wirkung auf, dass das Vorliegen einer Verletzung der DNIR-Anordnungsregel überprüft werden kann, ohne das Untersuchungssystem auf Maskenfehler zu betreiben, indem die DNIR-Informationen des Untersuchungssystems auf Maskenfehler analysiert werden.
Die oben beschriebenen Erfindungen (2), (5) und (8) weisen die folgende vorteilhafte Wirkung auf: Da die DNIR-Informationen abgeändert werden, um die Verletzung der DNIR-Anordnungsregel zu beseitigen, kann ein Überprüfungsverfahren auf Defekte der Fotomaske geeignet in dem Überprüfungssystem auf Maskenfehler ausgeführt werden, indem die abgeänderten DNIR-Informationen verwendet werden.
Die oben beschriebenen Mittel (3), (6) und (9) weisen die Wirkung auf, dass ein Anstieg in der Fläche der DNIRs während der Abänderung minimiert wird.
Figurenliste

1 zeigt eine beispielhafte Anordnung einer Anzahl von nicht-zu-untersuchenden Bereichen (DNIRs).
2 zeigt beispielhaft DNIR-Informationen bei den beispielhaften Anordnungen der Anzahl von DNIRs, die in der 1 gezeigt sind.
3 ist ein Ablaufdiagramm, das den gesamten Ablauf des Überprüfungs- und Abänderungsverfahrens der DNIRs bei einem Untersuchungssystem auf Maskenfehler nach der vorliegenden Erfindung zeigt.
4 ist ein Ablaufdiagramm, das einen detaillierten Ablauf von „Überprüfung der minimalen Größe“ von Schritt 1 zeigt.
5 ist ein Ablaufdiagramm, das einen detaillierten Ablauf von „Überprüfung des Abstandes“ von Schritt 2 zeigt.
6 zeigt eine Form, die erhalten wird, indem der aktuelle DNIR auf jeder Seite um 128 Bildpunkte verlängert wird.
7 zeigt eine Form, die einen Bereich innerhalb der verlängerten Form darstellt, der unter der unteren Seite der verlängerten Form und über der oberen Seite des aktuellen DNIR angeordnet ist.
8 zeigt eine Form, die einen Bereich innerhalb der verlängerten Form darstellt, der über der unteren Seite der verlängerten Form und unter der unteren Seite des aktuellen DNIR angeordnet ist.
9 zeigt eine Form, die einen Bereich innerhalb der verlängerten Form darstellt, der rechts einer linken Seite von der verlängerten Form und links von einer linken Seite des aktuellen DNIR angeordnet ist.
10 zeigt eine Form, die einen Bereich innerhalb der verlängerten Form darstellt, der links zu einer rechten Seite der verlängerten Form und rechts zu einer rechten Seite des aktuellen DNIR angeordnet ist.
11 zeigt eine Form, die erhalten wird, indem ein DNIR A, der in der 1 dargestellt ist, bei jeder Seite um 128 Bildpunkte verlängert wird.
12 zeigt eine beispielhafte Abänderung der DNIRs, die in der 1 dargestellt sind. 13 zeigt aktualisierte Informationen der DNIR-Informationen der 2, die über die Modifikation der DNIRs aktualisiert wurden, die in der 12 dargestellt sind.
14 zeigt eine beispielhafte Fotomaske.
15 zeigt eine beispielhafte Anordnung eines DNIR.
16 zeigt eine beispielhafte Anordnung der DNIRs.

VERFAHRENSWEISEN ZUR DURCHFÜHRUNG DER ERFINDUNG:
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Informationen der nicht-zu-untersuchenden Bereiche (DNIR) Datenbereiche, die als Bestandteile XY-Koordinaten der unteren linken Ecke und XY-Koordinaten der oberen rechten Ecke von jedem DNIR aufweisen. Da ein DNIR eine rechteckige Form aufweist, kann der DNIR durch die XY-Koordinaten der unteren linken Ecke und die XY-Koordinaten der oberen rechten Ecke bestimmt werden.
Wenn z.B. die DNIR A bis C, wie in der 1 dargestellt, angeordnet sind, können die DNIR-Informationen ein Datenbereich werden, wie er in der 2 gezeigt ist. In der 2 stellen die X-Koordinate der unteren linken Ecke, die Y-Koordinate der unteren linken Ecke, die X-Koordinate der oberen rechten Ecke und die Y-Koordinate der oberen rechten Ecke, die durch die Kennziffern 1 bis 3 gekennzeichnet sind, jeweils die X-Koordinate der unteren linken Ecke, die Y-Koordinate der unteren linken Ecke, die X-Koordinate der oberen rechten Ecke und die Y-Koordinate der oberen rechten Ecke der DNIRs A bis C dar.
Diese DNIR-Informationen und die Bildpunktgröße, die bei dem Untersuchungssystem auf Maskenfehler verwendet werden, werden in einem Speicher im Voraus gespeichert.
Mit diesen DNIR-Informationen und der Bildpunktgröße, die bei dem Untersuchungssystem auf Maskenfehler verwendet wird, wird in dem Schritt 1 eine Überprüfung der minimalen Größe durchgeführt und wird in einem Schritt 2 eine Überprüfung des Abstandes durchgeführt, wie in dem Ablaufdiagramm der 3 dargestellt ist.
Nachfolgend wird ein detaillierter Ablauf der „Überprüfung der minimalen Größe“ des Schrittes 1 unter Bezug auf das Ablaufdiagramm von 4 beschrieben.
Schritt 11:
Zuerst werden aus den DNIR-Informationen die XY-Koordinaten der unteren linken Ecke und die XY-Koordinaten der oberen rechten Ecke des Untersuchungsbereiches von jedem DNIR ausgelesen und die vertikale Abmessung und die Breiten-Abmessung wird für jeden DNIR berechnet.
Schritt 12:
Als nächstes wird bestimmt, ob die Breiten-Abmessung und die vertikale Abmessung von jedem DNIR gleich oder größer als ein einzelner Bildpunkt ist, der bei dem Untersuchungssystem auf Maskenfehler verwendet wird.
Anschließend wird ein detaillierter Ablauf der „Überprüfung des Abstandes“ des Schrittes 2 unter Bezug auf ein Ablaufdiagramm in der 5 beschrieben.
Schritt 21:
Die aktuelle Kennziffer wird als die erste Kennziffer gesetzt und der DNIR, dessen XY-Koordinaten der unteren linken Ecke und dessen XY-Koordinaten der oberen rechten Ecke durch die aktuelle Kennziffer gekennzeichnet werden, wird als der aktuelle DNIR gesetzt.
Schritt 22:
Mit der aktuellen Kennziffer werden aus den DNIR-Informationen die XY-Koordinaten der unteren linken Ecke und die XY-Koordinaten der oberen rechten Ecke des aktuellen DNIR erhalten. Unter Bezug auf die Bildpunktgröße werden von den XY-Koordinaten der unteren linken Ecke 128 Bildpunkte abgezogen und werden zu den XY-Koordinaten der oberen rechten Ecke des aktuellen DNIR 1 128 Bildpunkte hinzuaddiert, wie in der 6 dargestellt ist. Auf diese Weise wird eine Form 2 erzeugt, die zu dem aktuellen DNIR 1 bei jeder Seite um 128 Bildpunkte vergrößert ist.
Schritt 23:
Unter Bezug auf die DNIR-Informationen wird, wie in der 7 dargestellt ist, bestimmt, ob eine Regel befolgt wird, die erfordert, dass die untere Seite von jedem DNIR, außer dem aktuellen DNIR 1, nicht in den Bereich 3 innerhalb der erweiterten Form 2 enthalten ist, wobei der Bereich 3 sich unter der oberen Seite der erweiterten Form 2 und über der oberen Seite des aktuellen DNIR 1 befindet.
Schritt 24:
Unter Bezug auf die DNIR-Informationen wird, wie in der 8 dargestellt ist, bestimmt, ob eine Regel befolgt wird, die erfordert, dass die obere Seite von jedem DNIR, außer dem aktuellen DNIR 1, nicht in den Bereich 4 innerhalb der erweiterten Form 2 enthalten ist, wobei der Bereich 4 sich über einer unteren Seite der erweiterten Form 2 und unter der unteren Seite des aktuellen DNIR 1 befindet.
Schritt 25:
Unter Bezug auf die DNIR-Informationen wird, wie in der 9 dargestellt ist, bestimmt, ob eine Regel befolgt wird, die erfordert, dass die rechte Seite von jedem DNIR, außer dem aktuellen DNIR 1, nicht in einem Bereich 5 innerhalb der erweiterten Form 2 enthalten ist, wobei der Bereich 5 rechts auf einer linken Seite des erweiterten Bereiches 2 und links auf der linken Seite des aktuellen DNIR 1 anfängt.
Schritt 26:
Unter Bezug auf die DNIR-Informationen wird, wie in der 10 dargestellt ist, bestimmt, ob eine Regel befolgt wird, die erfordert, dass die linke Seite von jedem DNIR, außer dem aktuellen DNIR 1, nicht in einem Bereich 6 der erweiterten Form 2 enthalten ist, wobei der Bereich 6 sich links zu einer rechten Seite der erweiterten Form 2 befindet und rechts zu der rechten Seite des aktuellen DNIR 1 befindet.
Schritt 27:
Wenn in den Schritten 23 bis 26 bestimmt wird, dass mindestens eine der Regeln verletzt wird, fährt das Verfahren mit dem Schritt 28 fort. Wenn andererseits in den Schritten 23 bis 26 bestimmt wird, dass alle Regeln befolgt werden, fährt das Verfahren mit dem Schritt 30 fort.
Schritt 28:
Für eine Kombination des aktuellen DNIR und eines anderen DNIR, die nicht den Regeln folgen, werden eine Seite des aktuellen DNIR und eine Seite des anderen DNIR miteinander verbunden, um den aktuellen DNIR oder den anderen DNIR abzuändern. Zu dieser Zeit wird die kürzere der Seiten bewegt, um sich mit der längeren der Seiten zu verbinden, um die Fläche des abgeänderten DNIR zu minimieren.
Als ein Beispiel wird nachfolgend ein Fall betrachtet, bei dem ein DNIR A in 1 als der aktuelle DNIR gesetzt wird, der an seinen Seiten um 128 Bildpunkte verlängert wird, um die Form zu erhalten, wie sie in 11 dargestellt ist (nachfolgend als Bereich A‘ bezeichnet).
In diesem Fall ist die untere Seite eines DNIR C in dem Bereich innerhalb des Bereiches A‘ enthalten, der sich unter der oberen Seite des Bereiches A‘ und über der oberen Seite des DNIR A befindet. Da in diesem Fall die obere Seite des DNIR A kürzer als die untere Seite des DNIR C ist, wird der DNIR A von der oberen Seite des DNIR A nach oben verlängert, bis er sich mit der unteren Seite des DNIR C verbindet, wie in der 12 dargestellt ist. Mit diesem Verfahren ist der Flächenanstieg des DNIR A geringer als ein Anstieg in der Fläche des DNIR C für einen Fall, bei dem die untere Seite des DNIR C nach unten verlängert wird und sich mit der oberen Seite des DNIR A verbindet. Somit wird die Vergrößerung der Fläche des abgeänderten DNIR minimiert.
Schritt 29:
In den DNIR-Informationen werden dir ursprünglichen XY-Koordinaten der unteren linken Ecke und der oberen rechten Ecke des DNIR, der abzuändern ist, mit den abgeänderten XY-Koordinaten der unteren linken Ecke und der oberen rechten Ecke überschrieben.
Als ein Beispiel werden in der 13 die aktualisierten Informationen der DNIR-Informationen der 2 durch die Abänderungen der DNIRs, wie sie in der 12 dargestellt sind, gezeigt.
Schritt 30:
Wenn die aktuelle Kennziffer die letzte Kennziffer ist, fährt das Verfahren mit dem Ende fort. Wenn andererseits die aktuelle Kennziffer nicht die letzte Kennziffer ist, fährt das Verfahren mit dem Schritt 31 fort.
Schritt 31:
Als neue aktuelle Kennziffer wird die Kennziffer gesetzt, die der aktuellen Kennziffer nachfolgt. Als neuer aktueller DNIR wird der DNIR gesetzt, dessen XY-Koordinaten der unteren linken Ecke und dessen XY-Koordinaten der oberen rechten Ecke von der neuen aktuellen Kennziffer bezeichnet werden. Das Verfahren kehrt dann zu dem Schritt 22 zurück.
INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
Die Erfindung der vorliegenden Anwendung weist die Wirkung auf, dass das Vorliegen einer Verletzung einer DNIR-Anordnungsregel überprüft werden kann, indem die DNIR-Informationen des Untersuchungssystems auf Maskenfehler analysiert werden, ohne dass das Untersuchungssystem auf Maskenfehler betrieben wird.
Bezugszeichenliste

A:: Nicht-zu-untersuchender Bereich
B:: Nicht-zu-untersuchender Bereich
C:: Nicht-zu-untersuchender Bereich
1:: Aktueller nicht-zu-untersuchender Bereich
2:: Die Form, die durch Erweitern des aktuellen nicht-zu-untersuchenden Bereiches bei jeder Seite um 128 Bildpunkte erhalten wird
3:: Bereich innerhalb der verlängerten Form, der unter der oberen Seite der verlängerten Form und über der oberen Seite des aktuellen nicht-zu-untersuchenden Bereiches 1 angeordnet ist
4:: Bereich innerhalb der verlängerten Form, der über der unteren Seite der verlängerten Form und unter der unteren Seite des aktuellen nicht-zu-untersuchenden Bereiches angeordnet ist
5:: Bereich innerhalb der verlängerten Form, der rechts von der linken Seite der verlängerten Form und links von der linken Seite des aktuellen nicht-zu-untersuchenden Bereiches angeordnet ist
6:: Bereich innerhalb der verlängerten Form, der links von der rechten Seite der verlängerten Form und rechts von der rechten Seite des aktuellen nicht-zu-untersuchenden Bereiches angeordnet ist

Claims

Überprüfungsverfahren von Regeln von nicht-zu-untersuchenden Bereichen-, wobei das Verfahren aufweist: einen Informationsspeicher-Verfahrensschritt, der ein Speichern von Informationen einer Anzahl von nicht-zu-untersuchenden Bereichen, die jeden von der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche bestimmt, und ein Speichern einer Bildpunktgröße aufweist, die die Länge eines einzelnen Bildpunktes bestimmt, (Schritt 1) einen Verfahrensschritt der Überprüfung einer minimalen Größe, der ein Berechnen einer Größe von jeweils der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche und ein Überprüfen aufweist, ob eine Regel der minimalen Größe befolgt wird, wobei die Regel der minimalen Größe erfordert, dass die Größe von jeder der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche gleich oder größer einer einzelnen Einheit der Pixelgröße unter Bezug auf die Pixelgröße ist, (Schritt 2) einen Verfahrensschritt zur Überprüfung des Abstandes, der ein Berechnen der Abstände zwischen jedem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, indem Bezug auf die Informationen der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche genommen wird, und ein Überprüfen aufweist, ob eine Abstandsregel befolgt wird, wenn ein Abstand zwischen einem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche größer als Null ist, wobei die Abstandsregel erfordert, dass der Abstand gleich oder größer als ein vorbestimmter Abstand ist, und einen Abänderungsverfahrensschritt, der, wenn in dem Verfahrensschritt der Überprüfung des Abstandes festgestellt wird, dass die Abstandsregel verletzt wird, ein Abändern eines der Paare der nicht-zu-untersuchenden Bereiche aufweist, die die Abstandsregel verletzen, so dass die Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche sich miteinander berühren, wobei in dem Verfahrensschritt der Abänderung die Längen der beiden Seiten, die jeweils dem Paar der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, die die Abstandsregel verletzen, zugewandt sind, verglichen werden und eine kürzere von den Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche auf eine Position bewegt wird, bei der sie eine längere von den Seiten berührt.
Computerlesbares Medium, auf dem ein Überprüfungsprogramm von Regeln von nicht-zu-untersuchenden-Bereichen gespeichert ist, wobei das Programm bewirkt, dass ein Computer ein Überprüfungsverfahren nach Anspruch 1 ausführt.
Überprüfungsvorrichtung von Regeln von nicht-zu-untersuchenden-Bereichen-, wobei die Vorrichtung aufweist: ein Informationsspeicherteil, das Informationen von einer Anzahl von nicht-zu-untersuchenden Bereichen speichert, die jeden von der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche bestimmen, und das eine Bildpunktgröße speichert, die eine Länge eines einzelnen Bildpunktes bestimmt, ein Überprüfungsteil der minimalen Größe, das eine Größe von jedem der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche berechnet und das überprüft, ob eine Regel der minimalen Größe befolgt wird, wobei die Regel der minimalen Größe erfordert, dass die Größe von jedem von der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche gleich oder größer als eine einzelne Einheit von der Bildpunktgröße ist, während Bezug auf die Bildpunktgröße genommen wird, ein Überprüfungsteil des Abstandes, das Abstände zwischen jedem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche berechnet, während Bezug auf die Informationen der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche genommen wird, und das überprüft, ob eine Abstandsregel befolgt wird, wobei die Abstandsregel erfordert, dass, wenn ein Abstand zwischen einem Paar unter der Anzahl der nicht-zu-untersuchenden Bereiche größer als Null ist, der Abstand größer als ein vorbestimmter Abstand ist, und ein Abänderungsteil aufweist, das, wenn in dem Überprüfungsteil des Abstandes bestimmt wird, dass die Abstandsregel verletzt wird, eine Abänderung von jedem der Paare der nicht-zu-untersuchenden Bereiche umfasst, die die Abstandsregel verletzen, so dass Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche einander berühren, wobei in dem Abänderungsteil die Längen der beiden Seiten, die jeweils dem Paar der nicht-zu-untersuchenden Bereiche, die die Abstandsregel verletzen, zugewandt sind, verglichen werden und eine Seite, die kürzer ist, zwischen die Seiten des Paares der nicht-zu-untersuchenden Bereiche auf eine Position angeordnet wird, um eine Seite zu berühren, die länger ist.