DE112006003830T5 - Fluid-Qualitätssteuerverfahren, Fluid-Qualitätssteuervorrichtung und diese verwendende Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Fluidqualitätssteuerverfahren zum Ändern einer Fluidqualität eines gebrauchten Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids, das bei einer Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird, oder eine Fluidqualität eines unverdünnten Fluids, das ein Material für das bei der Elektroentladungsbearbeitung verwendete Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid ist, in eine Wasserqualität des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids für die Elektroentladungsbearbeitung, wobei das Fluidqualitätssteuerverfahren umfasst:
einen Fluidqualitätsmessschritt zum Messen einer Fluidqualität eines Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids; und
einen Fluidqualitätssteuerschritt, um, wenn die bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene Fluidqualität niedriger als ein erster Bedingungswert ist, in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltende Anionen durch vorbestimmte Anionen zu ersetzen und in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmte Kationen zu ersetzen, und das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in eine Elektrolytlösung umzuwandeln, und wenn die bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene Fluidqualität höher ist als ein zweiter Bedingungswert, der gleich oder höher als der erste Bedingungswert ist, das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid zu reinigen, wobei
der Fluidqualitätsmessschritt und der Fluidqualitätssteuerschritt wiederholt ausgeführt werden, hierdurch die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids festlegend, dass sie in...

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Fluid-Qualitätssteuerverfahren zum Steuern einer Fluid-Qualität eines bei einer Elektroentladungsbearbeitung verwendeten, gebrauchtes, Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids oder einer Fluidqualität eines unverdünnten Fluids, das ein Material für das in der Elektroentladungsbearbeitung verwendete, Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid ist, und um hierdurch das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid für die Elektroentladungsbearbeitung vorzubereiten, eine auf diesem Verfahren basierende Fluidqualitätssteuervorrichtung, und eine diese Fluidqualitätssteuervorrichtung verwendende Entladungsbearbeitungsvorrichtung.
  • STAND DER TECHNIK
  • In einer Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung wie einer Draht-Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung oder einer bei der Präzisionsbearbeitung wie z. B. der Formenbearbeitung verwendeten Gesenk-Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung, wird eine impulsförmige Hochfrequenzspannung an eine Bearbeitungselektrode und ein Werkstück angelegt während ein Bearbeitungsfluid zwischen der Bearbeitungselektrode und dem Werkstück eingefügt ist. Zudem erfährt das Werkstück durch eine sehr geringe durch Anwenden dieser Spannung erzeugte Elektroentladung eine sehr geringe Spanabhebung bzw. Einschneidung, hierdurch das Werkstück in eine gewünschte Form bringend.
  • Arten des in dieser Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung verwendeten Bearbeitungsfluids können grob gruppiert werden in ein isolierendes Öl enthaltendes Bearbeitungsfluid und ein Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid. Da das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid eine höhere Kühlfähigkeit hat als das isolierendes Öl enthaltende Bearbeitungsfluid neigt das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid dazu, eine Bearbeitungsgeschwindigkeit der Vorrichtung leicht zu beschleunigen. Gleich, ob das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid oder das isolierendes Öl enthaltende Bearbeitungsfluid, das Bearbeitungsfluid wird normalerweise recycelt ohne entsorgt zu werden. Wenn das Bearbeitungsfluid einmal verwendet worden ist, enthält das Bearbeitungsfluid jedoch metallische Ionen, die von der Bearbeitungselektrode und dem Werkstück erzeugt werden oder atmosphärische Komponenten. Als ein Ergebnis hiervon unterscheidet sich eine Fluidqualität zwischen dem unbenutzten Bearbeitungsfluid und dem benutzten Bearbeitungsfluid.
  • Es ist wünschenswert, die Entladungsbedingungen für die zwischen der Bearbeitungselektrode und dem Werkstück erzeugte Elektroentladung so sehr als möglich zu stabilisieren, um eine hohe Bearbeitungsgenauigkeit der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung aufrecht zu erhalten. Hierzu wird die Fluidqualität des Bearbeitungsfluids derart gesteuert, dass die Leitfähigkeit des Bearbeitungsfluids beim Recyceln des Bearbeitungsfluids in einen vorbestimmten Bereich fällt. Wenn das Bearbeitungsfluid das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid ist werden nicht nur die Leitfähigkeit (der spezifische Widerstand), sondern auch eine Wasserstoffionenkonzentration des Bearbeitungsfluids in Übereinstimmung mit einem Material für das Werkstück derart gesteuert, dass das Werkstück nicht korridiert.
  • Patentdokument 1 offenbart z. B. eine Elektroentladungsbearbeitungsfluid-Zirkulationszufuhrvorrichtung, die folgendermaßen konfiguriert ist. Wenn ein zur Elektroentladungsbearbeitung an aus Spezialstahl oder wärme- und korrosionsresistentem Stahl benutztes Bearbeitungsfluid einer Regenerationsbehandlung zu unterziehen ist, werden der pH-Wert und die Leitfähigkeit des Bearbeitungsfluids. durch einen pH-Wert-Detektor und einen Leitfähigkeitsdetektor jeweils gemessen. Basierend auf diesen Messergebnissen wird das Bearbeitungsfluid durch einen pH-Wert-Regulator (der speziell eine Ionentauscherbehandlungsvorrichtung ist), wenn erforderlich, behandelt, hierdurch den pH-Wert des Bearbeitungsfluids auf etwa Sechs bis Sieben regulierend.
  • Zudem offenbart Patentdokument 2 die folgende Bearbeitungsfluidqualitätssteuervorrichtung. Beim Steuern einer Fluidqualität eines benutzten Bearbeitungsfluids wird das Bearbeitungsfluid selektiv einer Kationentauschereinheit und einer Anionentauschereinheit in Übereinstimmung mit Messergebnissen der pH-Wert-Messeinheit und einer spezifischen Widerstandsmesseinheit zugeführt. Ein pH-Wert und ein spezifischer Widerstand (Leitfähigkeit) des Bearbeitungsfluids werden hierdurch innerhalb jeweils vorbestimmter Bereiche gesteuert.
  • Patentdokument 3 offenbart das folgende Verfahren zum Vermeiden von Korrosion eines Eisen enthaltenden Metalls obwohl sowohl der pH-Wert als auch die Leitfähigkeit eines Bearbeitungsfluids nicht durch das Verfahren gesteuert werden. Beim Unterziehen eines Eisen enthaltenden Metalls einer Draht-Elektroentladungsbearbeitung wird das Bearbeitungsfluid zirkulieren lassen und einer Kolonne zugeführt, die mit einem Kationentauscherharz gefüllt ist, an dem eine oder mehrere Arten von Ionen befestigt sind, die ausgewählt sind aus Kohlensäureionen, Hydrogenkarbonationen und Hydroxylionen sowie Nitridionen. Korrosive Ionen werden hierdurch aus dem Bearbeitungsfluid entfernt ohne Erhöhen der Leitfähigkeit des Bearbeitungsfluids. Zudem schlägt das Patentdokument 4 ein Verfahren zum Vermeiden von Korrosion eines Hartmetallmaterials oder eines Metallmaterials vor durch Hinzufügen von wasserlöslichem Metallantikorrosivum, das aus einer Tetrazolverbindung oder einem Tetrazol enthaltenden Salz besteht, zu Wasser, hierdurch eine Korrosion des Hartmetallmaterials oder des Metallmaterials vermeidend.
    • Patentdokument 1: Japanischen Patentanmeldungsoffenlegung Nr. S63-191514
    • Patentdokument 2: Japanischen Patentanmeldungsoffenlegung Nr. H4-141319
    • Patentdokument 3: Japanischen Patentanmeldungsoffenlegung Nr. 2002-301624
    • Patentdokument 4: Japanischen Patentanmeldungsoffenlegung Nr. H7-145491
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDES PROBLEM
  • Wie erläutert ist es beim Recyceln des in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung verwendeten Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids notwendig, den pH-Wert und die Leitfähigkeit des Fluids zu steuern. Da jedoch jede der Vorrichtungen, die in den Patentdokumenten 1 und 2 offenbart sind, den pH-Wert-Detektor (pH-Messeinheit) und den Leitfähigkeitsdetektor (Messeinheit des spezifischen Widerstandes) verwendet, steigen Herstellungskosten und Betriebskosten der Vorrichtung in unvorteilhafter Weise an.
  • Zudem wird bei dem in Patentdokument 3 offenbarten Verfahren die Leitfähigkeit (der Leitwert) des Fluids nicht geändert. Aus diesem Grund ist, wenn dieses Verfahren angewendet wird zum Recyceln des benutzten, Wasser enthaltenden Fluids, die Leitfähigkeit des erhaltenen Bearbeitungsfluids häufig außerhalb eines gewünschten Bereichs. Das im Patentdokument 3 offenbarte Verfahren ist wirksam zum Verhindern der Korrosion eines passivierten Metalls wie z. B. eines Eisen enthaltenden Metalls. Da jedoch die Nitridionen die Korrosion eines Hartmetallmaterials oder eines nicht passivierten Metallmaterials wie z. B. Kupfer (Cu) beschleunigen, kann dieses Verfahren nicht als einen antikorrosiven Effekt in Bezug auf Hartmetallmaterial oder nicht passiviertes Metallmaterial habend betrachtet werden.
  • Das in dem Patentdokument 4 offenbarte wasserlösliche Metallantikorrosivum wird von dem Ionentauscherharz, das normalerweise beim Recyceln des Bearbeitungsfluids in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung verwendet wird, gefangen. Als ein Ergebnis fällt selbst wenn das wasserlösliche Metallantikorrosivum zu dem Bearbeitungsfluid hinzugefügt worden ist, die Konzentration des Antikorrosivums in einem Recyclingprozess und kann keine ausreichende Antikorrosionswirkung zeigen.
  • Die vorliegende Erfindung wurde in Hinblick auf die konventionellen Probleme erreicht. Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Fluidqualitätssteuerverfahren, eine Fluidqualitätssteuervorrichtung und eine Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, die das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, das bei der Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird, aufbereiten kann, um eine gewünschte Fluidqualität bei niedrigeren Kosten zu haben.
  • MITTEL ZUM LÖSEN DES PROBLEMS
  • Ein Fluidqualitätssteuerverfahren gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung dient dem Ändern einer Fluidqualität eines gebrauchten, Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids, das in einer Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird, oder eine Fluidqualität eines unverdünnten Fluids, das ein Material für das in der Elektroentladungsbearbeitung verwendete, Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid ist, zu einer Fluidqualität von Wasser enthaltendem Bearbeitungsfluid für die Elektroentladungsbearbeitung. Das Fluidqualitätssteuerverfahren schließt einen Fluidqualitätsmessschritt des Messens einer Fluidqualität eines Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids ein; und einen Fluidqualitätssteuerschritt, um, wenn die beim Fluidqualitätmessschritt gemessene Fluidqualität geringer ist als ein erster Bedingungswert, in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungsionen durch vorbestimmte Anionen zu ersetzen und in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmten Kationen zu ersetzen, und das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in eine Elektrolytlösung zu transformieren, und, wenn die bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene Fluidqualität höher ist als ein zweiter Bedingungswert, der gleich oder höher als der erste Bedingungswert ist, das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid zu reinigen. Der Fluidqualitätsmessschritt und der Fluidqualitätssteuerschritt werden wiederholt ausgeführt, hierdurch die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids so einstellend, dass sie in einen vorbestimmten Bereich fällt, und das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in die Elektrolytlösung mit einer Korrelation zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit zu transformieren.
  • Eine Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung bereitet ein Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid für eine Elektroentladungsbearbeitung auf durch Steuern einer Fluidqualität eines benutzten Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids, das bei der Elektroentladungsbearbeitung benutzt worden ist, oder einer Fluidqualität eines unverdünnten Fluids, das ein Material für das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid ist, das in der Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird.
  • Die Fluidqualitätssteuervorrichtung schließt eine Fluidqualitätsmesseinheit ein, die eine Fluidqualität eines Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids misst; eine Elektrolytlösungsbehandlungseinheit, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungsanionen durch vorbestimmte Anionen ersetzt, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmte Kationen ersetzt und die hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in eine Elektrolytlösung umwandelt mit einer Korrelation zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit; eine Reinigungseinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid reinigt; eine erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit oder der Reinigungseinheit zuführt; und eine Steuereinheit, die einen Betriebsablauf der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit in Übereinstimmung mit der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen Fluidqualität zuführt. Die Steuereinheit schließt eine Speichereinheit ein, die einen ersten Bedingungswert und einen zweiten Bedingungswert, der größer oder gleich dem erste Bedingungswert ist für die Fluidqualität speichert; und eine Fluidqualitätssteuereinheit, die den Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit steuert in Übereinstimmung mit einem Größenzusammenhang zwischen sowohl dem ersten Bedingungswert als auch dem zweiten Bedingungswert und der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen Fluidqualität.
  • Eine Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung schließt einen Bearbeitungsvorrichtungshauptteil ein, der eine impulsförmige Hochfrequenzspannung an eine Bearbeitungselektrode und ein Werkstück anlegt während ein Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid zwischen der Bearbeitungselektrode und dem Werkstück eingefügt ist, und der das Werkstück durch eine zwischen der Bearbeitungselektrode und dem Werkstück erzeugte elektrische Entladung bearbeitet; eine Steuervorrichtung, die einen Betrieb des Bearbeitungsvorrichtungshauptteils steuert; einen Gebrauchtfluidtank, der ein benutztes, Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid speichert; und eine Fluidqualitätssteuervorrichtung, die eine Fluidqualität des benutzten, Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids oder eine Fluidqualität eines unverdünnten Fluids, das ein Material für ein Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid ist, regelt. die Fluidqualitätssteuervorrichtung schließt eine Fluidqualitätsmesseinheit ein, die eine Fluidqualität eines ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids misst; eine Elektrolytlösungsbehandlungseinheit, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungsanionen durch vorbestimmte Anionen ersetzt, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmte Kationen ersetzt, und die hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in eine Elektrolytlösung mit einem Zusammenhang zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit umwandelt; eine Reinigungseinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid reinigt; eine erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit oder der Reinigungseinheit zuführt; und eine Steuereinheit, die den Betriebsablauf der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit in Übereinstimmung mit der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen Fluidqualität steuert. Die Steuereinheit schließt eine Speichereinheit ein, die einen ersten Bedingungswert und einen zweiten Bedingungswert, der gleich oder größer als der erste Bedingungswert ist, für die Fluidqualität, speichert; und eine Fluidqualitätssteuereinheit, die den Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit in Übereinstimmung mit einem Größenzusammenhang zwischen jedem von dem ersten Bedingungswert und dem zweiten Bedingungswert und der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen Fluidqualität steuert.
  • WIRKUNG DER ERFINDUNG
  • Bei dem Fluidqualitätssteuerverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung wird der Fluidqualitätsmessschritt und der Fluidqualitätssteuerschritt in wiederholter Weise ausgeführt zum Festlegen der Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids, damit sie in den vorbestimmten Bereich fällt. Zudem wird das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in die Elektrolytlösung umgewandelt mit dem Zusammenhang zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit. Daher kann durch alleiniges Steuern des pH-Wertes des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids die Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids geregelt werden. Alternativ kann durch alleiniges Steuern der Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids geregelt werden. Als eine Folge hiervon kann beim Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids mit der gewünschten Fluidqualität, das bei der Elektroentladungsbearbeitung zu verwenden ist, eines von der Leitfähigkeitsmesseinheit und der pH-Wert-Messeinheit entbehrt werden.
  • Zudem bereitet jede von der Fluidqualitätssteuervorrichtung und der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid basierend auf dem Fluidqualitätssteuerverfahren auf. Daher kann beim Aufbereiten des Wasser enthaltendem Bearbeitungsfluids mit der gewünschten Fluidqualität, das bei der Elektroentladungsbearbeitung zu verwenden ist, auf eines von der Leitfähigkeitsmesseinheit und der pH-Wert-Messeinheit verzichtet werden.
  • Demnach kann gemäß dieser Erfindung auf eines von der Leitfähigkeitsmesseinheit und der pH-Wert-Messeinheit verzichtet werden. Demgemäß können die zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids erforderlichen Kosten und Herstellungskosten oder Betriebskosten der Fluidqualitätssteuervorrichtung oder der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung leicht reduziert werden.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Es zeigt:
  • 1 eine Graphik des Zusammenhangs zwischen pH-Wert und Leitfähigkeit eines wässrigen Natriumhydroxidfluids (NaOH);
  • 2 ein schematisches Blockdiagramm eines Beispiels einer Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 3 eine Graphik eines Beispiels temporärer Änderungen im pH-Wert und der Leitfähigkeit wenn ein Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid aus fließendem Wasser aufbereitet wird durch die in 2 gezeigte Fluidqualitätssteuervorrichtung;
  • 4 ein schematisches Blockdiagramm eines Beispiels der Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, in welcher eine Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und eine Reinigungseinheit jeweils konfiguriert sind durch Anordnen einer vorbestimmten Kationentauscherharzkolonne und einer vorbestimmten Anionentauscherharzkolonne parallel zueinander in der Fluidqualitätssteuervorrichtung;
  • 5 ein schematisches Blockdiagramm eines Beispiels der Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, das eine elektrolytische Wassererzeugungseinheit einschließt;
  • 6 ein schematisches Blockdiagramm einer Konfiguration einer Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 7 ein schematisches Blockdiagramm eines Beispiels der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 8 ein Ablaufdiagramm eines Betriebsablaufs der Fluidqualitätssteuervorrichtung in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung, wie sie in 7 gezeigt wird;
  • 9 eine Tabelle einer Korrespondenzliste zwischen durch eine Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen pH-Werten, Betriebszuständen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und jenen der Reinigungseinheit, wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung in Übereinstimmung mit dem in 8 gezeigten Ablaufdiagramm arbeitet;
  • 10 ein schematisches Blockdiagramm eines anderen Beispiels der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 11 ein Ablaufdiagramm eines Betriebsablaufs der Fluidqualitätssteuerverfahren in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung, die in 10 gezeigt ist;
  • 12 eine Tabelle einer Korrespondenzliste zwischen durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen pH-Werten, Betriebszuständen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit, jenen der Reinigungseinheit und jenen der OH–-Bildungseinheit, wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung in Übereinstimmung mit dem in 11 gezeigten Ablaufdiagramm arbeitet;
  • 13 ein schematisches Blockdiagramm noch eines anderen Beispiels der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 14 ein Ablaufdiagramm eines Betriebsablaufs der Fluidqualitätssteuervorrichtung in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung, wie in 13 gezeigt; und
  • 15 eine Tabelle einer Korrespondenzliste zwischen durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen pH-Werten, Betriebszuständen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit, jenen der Reinigungseinheit und jenen einer elektrolytischen Wassererzeugungseinheit, wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung arbeitet, wie in dem in 14 gezeigten Ablaufdiagramm gezeigt.
  • BESTE ART(EN) ZUM AUSFÜHREN DER ERFINDUNG
  • Beispielhafte Ausführungsformen eines Fluidqualitätssteuerverfahrens, einer Fluidqualitätssteuervorrichtung und einer Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung werden nachstehend detailliert unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben. Beachte, dass die Erfindung nicht auf die Ausführungsformen beschränkt ist.
  • ERSTE AUSFÜHRUNGSFORM
  • Ein Fluidqualitätssteuerverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Fluidqualitätssteuerverfahren zum Ändern einer Fluidqualität eines benutzten, Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids, das in der Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird, oder der eines unverdünnten Fluids, das ein Grundmaterial ist für das in der Elektroentladungsbearbeitung verwendete, Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, zu dem von Wasser enthaltendem Bearbeitungsfluid für die Elektroentladungsbearbeitung. Die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids wird gesteuert zum Umwandeln des Fluidqualitäts-gesteuerten Fluids in eine vorbestimmte Elektrolytlösung, es hierdurch ermöglichend, die zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids erforderlichen Kosten zu reduzieren. Hierzu schließt dieses Fluidqualitätssteuerverfahren einen Fluidqualitätsmessschritt des Messers der Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids und einen Fluidqualitätssteuerschritt zum Steuern der Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids ein. Die jeweiligen Schritte werden detailliert erläutert während ein Fall als Beispiel genommen wird, bei dem die Fluidqualität ein pH-Wert ist.
  • (FLUIDQUALITÄTSMESSSCHRITT)
  • Bei dem Fluidqualitätsmessschritt wird der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids gemessen. Dieser pH-Wert kann durch ein gewöhnliches Verfahren unter Verwendung eines pH-Wert-Messers oder Ähnlichem gemessen werden. Im Hinblick auf die automatische Fluidqualitätssteuerung wird der pH-Wert vorzugsweise automatisch durch ein elektrisches Verfahren gemessen. Es wird darauf hingewiesen, dass der pH-Wert entweder direkt gemessen werden kann oder nach dem Messen einer Hydroxyl-Ionenkonzentration berechnet werden kann.
  • (FLUIDQUALITÄTSSTEUERSCHRITT)
  • Beim Fluidqualitätssteuerschritt werden, wenn der bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessen pH-Wert niedriger als ein erster Bedingungswert ist, in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungsanionen durch vorbestimmte Anionen ersetzt. Zudem werden in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmte Kationen ersetzt. Das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid wird in eine vorbestimmte Elektrolytlösung umgewandelt, d. h., eine Elektrolytlösung, die eine Korrelation zwischen pH-Wert und Leitfähigkeit des Fluids hat. Wenn der bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene pH-Wert höher ist als ein zweiter Bedingungswert wird das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in Rein-Wasser (destilliertem Wasser) aufbereitet. Der Fluidqualitätssteuerschritt und der Fluidqualitätsmessschritt werden entweder periodisch oder sequentiell parallel ausgeführt.
  • Der erste Bedingungswert und der zweite Bedingungswert können in geeigneter Weise in Übereinstimmung mit einem zulässigen pH-Wert-Bereich für das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid festgelegt werden, das von dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid zu erhalten ist, mit einer Performance eines zum Steuern der Fluidqualität des Fluidqualitäts-Zielfluids, einer Fluidmenge des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids und Ähnlichem. Die ersten und zweiten Bedingungswerte können entweder gleich zueinander oder, voneinander abweichend festgelegt werden.
  • Wenn beispielsweise ein Werkstück aus einem Hartmetallmaterial wie z. B. einem Wolframkarbid-Kobalt-enthaltendem Material oder einem nicht passivierten Metallmaterial wie Kupfer (Cu), Eisen (Fe) oder Zink (Zn) besteht, neigt das Werkstück dazu, durch das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid zu korridieren, wenn der pH-Wert des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluid niedriger als 8,5 ist. Zudem wird die Leitfähigkeit des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluid erhöht (z. B. überschreitet sie 70 μS/cm) und die Elektroentladungsstabilität neigt dazu, verschlechtert zu werden, wenn der pH-Wert höher als 10,5 ist. Es ist demnach vorzuziehen, die ersten und zweiten Bedingungswerte derart festzulegen, dass der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in einen Bereich von 8,5 bis 10,5 fällt in Übereinstimmung mit der Performance des Instruments, das zum Steuern der Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids verwendet wird, mit der Fluidmenge des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids und Ähnlichem, wenn das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid verwendet wird, um ein aus Hartmetallmaterial oder nicht passiviertem Metallmaterial bestehendes Werkstück einer Elektroentladungsbearbeitung zu unterziehen. Wenn das Hartmetallmaterial oder das nicht passivierte Metallmaterial beispielsweise einer Draht-Elektroentladungsbearbeitung unterzogen werden, wird die Leitfähigkeit des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids vorzugsweise etwa 3 μS/cm bis 63 μS/cm.
  • Die Umwandlung des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in die Elektrolytlösung, das ausgeführt wird wenn der bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene pH-Wert niedriger als der erste Bedingungswert ist, kann folgendermaßen ausgeführt werden. Das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid wird einer mit beispielsweise einer Mischung aus Kationentauscherharz und einem Anionentauscherharz gefüllten Ionentauscherharzkolonne oder einer Ionentauscherharzkolonne, in der ein mit dem Kationentauscherharz gefüllter Bereich und ein mit dem Anionentauscherharz gefüllter Bereich entweder seriell oder parallel angeordnet sind, zugeführt.
  • Als das Kationentauscherharz kann beispielsweise Alkalimetallionen-Kationentauscherharz (z. B. Na+ oder K+), oder ein Erdalkalimetallionen-Kationentauscherharz (z. B. Ca2+) verwendet werden. Als Anionentauscherharz kann beispielsweise ein OH–Anionentauscherharz verwendet werden. Wenn das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in die Elektrolytlösung unter Verwendung dieses Ionentauscherharzes umgewandelt wird, wird aus dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid ein Hydroxidfluid gebildet.
  • Die Aufbereitung, die durchgeführt wird wenn der bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene pH-Wert höher als der zweite Bedingungswert ist, kann ausgeführt werden durch Verwenden von z. B. eines Ionentauscherharzes in folgender Weise. Das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid wird der mit beispielsweise einer Mischung aus H+-Kationentauscherharz und OH–-Anionentauscherharz gefüllten Ionentauscherharzkolonne oder der Ionentauscherharzkolonne, in die der mit dem Kationentauscherharz gefüllte Bereich und der mit dem Anionentauscherharz gefüllte Bereich entweder seriell oder parallel angeordnet sind, zugeführt.
  • Zu diesem Zeitpunkt kann die Aufbereitung derart vorgenommen werden, dass Verunreinigungsionen nach der Aufbereitung (Ionentauscherwasser) im Wesentlichen nicht in einem Fluid verbleiben. Vorzugsweise sind die Menge und eine Leistungsfähigkeit der zu verwendenden Ionentauscherharzkolonne in geeigneter Weise derart gesteuert, dass Verunreinigungsionen in dem Fluid nach der Aufbereitung (Ionentauscherwasser) in einem vorbestimmten Umfang verbleiben. Dieser Grund wird später erläutert.
  • In Fluidqualitätssteuerverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung werden der Fluidqualitätsmessschritt und der Fluidqualitätssteuerschritt in wiederholter Weise ausgeführt zum Festelegen des pH-Werts des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids derart, dass er in den vorbestimmten Bereich fällt, und zum Umwandeln des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in die Elektrolytlösung mit dem Zusammenhang zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit. Hierdurch wird das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid aufbereitet. Ein pH-Wert und die Leitfähigkeit des derart aufbereiteten, Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids korrelieren zueinander. Hierdurch kann, wenn diese Korrelation experimentell im Voraus erhalten worden ist, das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid mit einem geregelten pH-Wert und einer geregelten Leitfähigkeit erhalten werden durch alleiniges Regeln des pH-Werts des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids.
  • Wenn die Elektrolytlösung ein Hydroxidfluid ist, wird die Leitfähigkeit des Hydroxidfluids spezifiziert durch einen OH–-Konzentration. Daher kann nur durch Regeln des pH-Wertes des Hydroxidfluids ein alkalisches Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid mit der gesteuerten Leitfähigkeit aufbereitet werden.
  • In Bezug auf ein wässriges Natriumhydroxidfluid (NaOH), welches ein Beispiel für das Hydroxidfluid ist, hat das Fluid den Zusammenhang zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit, wie in 1 gezeigt. Hierdurch bedingt kann seine Leitfähigkeit nur durch Messen des pH-Werts des wässrigen NaOH-Fluids aus dem pH-Wert erhalten werden. 1 ist eine Graphik des Zusammenhangs zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit des wässrigen NaOH-Fluids. In 1 gibt eine horizontale Achse des pH-Wert des wässrigen NaOH-Fluids an und eine vertikale Achse gibt seine Leitfähigkeit an.
  • Wie zu sehen ist kann mit dem Bearbeitungsfluidqualitätssteuerverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid mit der gesteuerten Leitfähigkeit sowie dem gesteuerten pH-Wert nur durch Steuern des pH-Werts des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids aufbereitet werden. Es ist daher möglich, das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, das eine hohe Elektroentladungsstabilität während der Elektroentladungsbearbeitung hat, aufzubereiten und dies erschwert die Korrosion des Werkstücks ohne das Messen der Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in dem Prozess der Fluidqualitätssteuerung. Dies kann eine Vorrichtung zum Messen der Leitfähigkeit wie z. B. den Leitfähigkeitsmesser entbehrlich machen und das Reduzieren der Herstellungskosten oder der Betriebskosten des für die Fluidqualitätssteuerung verwendeten Instruments oder der das Instrument einschließenden Vorrichtung erleichtern.
  • Wie bereits erläutert wird der Reinigungsprozess beim Fluidqualitätsregelschritt vorzugsweise derart durchgeführt, dass die Verunreinigungsionen nach der Reinigung (Ionentauscherwasser) mit der vorbestimmten Menge in dem Fluid verbleiben. Durch dieses Ausführen der Reinigung kann ein nicht-recyceltes unbenutztes Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid durch ein Instrument aufbereitet werden, das für die Reinigung verwendet wird und ein Instrument, das zum Erzeugen der Elektrolytlösung verwendet wird.
  • Das nicht recycelte unbenutzte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid wird nämlich normalerweise durch Regeln von Komponenten eines Süßwassers wie fließendem Wasser, eines Industriewassers oder eines Grundwassers aufbereitet. Wenn das Süßwasser derart gereinigt wird, dass Verunreinigungsionen in einem vorbestimmten Umfang verbleiben, kann das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid mit dem gewünschten pH-Wert und der gewünschten Leitfähigkeit durch Umwandeln des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in die Elektrolytlösung nach der Reinigung aufbereitet werden. Da dies zu einem Weglassen eines dedizierten Instruments zum Aufbereiten des nicht recycelten, unbenutzten, Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids führt, können Kosten zum Erstellen der Elektroentladungsbearbeitungsausrüstung leicht reduziert werden. Der Umfang der Verunreinigungsionen, die nach der Reinigung (Ionentauscherwasser) im Fluid verbleiben, ist näherungsweise in Übereinstimmung mit einem Ziel-pH-Wert festgelegt, um die Elektrolytlösung mit dem gewünschten pH-Wert zu erhalten durch nachfolgendes Umwandeln des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in die Elektrolytlösung.
  • Wenn das aus Hydroxidfluid bestehende, Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid durch das Fluidqualitätssteuerverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung aufzubereiten ist, kann zusätzlich ein Unterschritt der Elektrolysebearbeitung des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids und des Hinzufügens von durch die elektrisch leitenden Elektrolyse erzeugten alkalischen Wassers zu dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid bedarfsweise ausgeführt werden. Durch Hinzufügen dieses Unter-Schrittes können die folgenden technischen Vorteile zusätzlich erzielt werden.
  • Der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids oder des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids wird graduell geringer, wenn in der Luft enthaltendes Kohlendioxid in dem Fluid gelöst ist, selbst ohne das Ausführen der Elektroentladungsbearbeitung. Eine solche Änderung in der Fluidqualität kann nicht durch Ausführen des Fluidqualitätssteuerschrittes, sondern durch Ausführen des Unter-Schrittes gehandhabt werden. Folglich können Kosten, die zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids mit der gewünschten Fluidqualität erforderlich sind, leicht reduziert werden. Zudem ist es, wenn der Unter-Schritt parallel zu dem Fluidqualitätssteuerschritt ausgeführt wird, möglich, eine zum Einstellen des pH-Wertes des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids gleich oder höher als den ersten Bedingungswert, wenn der pH-Wert niedriger als der erste Bedingungswert ist, erforderliche Zeit zu reduzieren. Dies gilt, weil der pH-Wert des alkalinen Wassers relativ hoch ist. Ein Bedingungswert (ein dritter Bedingungswert), auf dem basierend bestimmt wird, ob eine Elektrolyse des Fluidqualitätsregelsollwertfluids vorzunehmen ist, kann entweder gleich dem ersten Bedingungswert festgelegt werden oder von diesem unterschiedlich in Übereinstimmung mit einer Leistungsfähigkeit eines für die Elektrolyse verwendeten Instruments und Ähnlichem.
  • ZWEITE AUSFÜHRUNGSFORM
  • Eine Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung basiert auf dem Fluidqualitätsregelverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Fluidqualitätssteuervorrichtung steuert nämlich die Fluidqualität des benutzten, Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids, das bei der Elektroentladungsbearbeitung benutzt wird, oder die des unverdünnten Fluids, das das Grundmaterial für die Elektroentladungsbearbeitung verwendete Bearbeitungsfluid ist, und bereitet hierdurch das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid auf. Die Vorrichtung schließt eine Fluidqualitätsmesseinheit ein, eine Elektrolytlösungsbehandlungseinheit, eine Reinigungseinheit, eine erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit und eine Steuereinheit. Die Fluidqualitätssteuervorrichtung, die auf dem in der ersten Ausführungsform erläuterten Fluidqualitätssteuerverfahren basiert und derart konfiguriert ist, dass die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit durch eine erste Zufuhreinheit und eine zweite Zufuhreinheit gebildet wird, wird detailliert erläutert.
  • 2 ist ein schematisches Blockdiagramm eines Beispiels der Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Eine Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A, die in 2 gezeigt wird, schließt einen Bearbeitungsfluidtank 3 ein, eine Fluidqualitätsmesseinheit 5, eine Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A, eine erste Zufuhreinheit 15, eine Reinigungseinheit 20A und eine zweite Zufuhreinheit 25. Der Bearbeitungsfluidtank 3 speichert ein Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1. Die Fluidqualitätsmesseinheit 5 misst die Fluidqualität (die speziell der pH-Wert ist) des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1, das in dem Bearbeitungsfluidtank 3 gespeichert ist. Die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A transformiert das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 in die Elektrolytlösung mit der Korrelation zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit. Die erste Zufuhreinheit 15 führt das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A zu. Die Reinigungseinheit 20A reinigt das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 in Rein-Wasser. Die zweite Zufuhreinheit 25 führt das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 der Reinigungseinheit 20A zu. Die erste Zufuhreinheit 15 und die zweite Zufuhreinheit 25 bilden die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit.
  • Die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A schließt auch eine Steuereinheit 70A ein, die Betriebsabläufe der ersten Zufuhreinheit 15 und der zweiten Zufuhreinheit 25 jeweils in Übereinstimmung mit dem durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessenen pH-Wert steuert, und eine Betriebseinheit 75, die ein Aktivieren, Stoppen und Ähnliches des Steuereinheit 70A angibt.
  • Die Fluidqualitätsmesseinheit 5 misst den pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 entweder periodisch oder kontinuierlich und übermittelt ein Messergebnis zur Steuereinheit 70A über drahtgebundene oder drahtlose Kommunikation.
  • Wenn die erste Zufuhreinheit 15 das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A zuführt, ersetzt die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmte Metallionen. Zudem transformiert die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 in die Elektrolytlösung, d. h., das Hydroxidfluid mit der Korrelation zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit. Die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A wird beispielsweise durch die mit der Mischung aus Kationentauscherharz und Anionentauscherharz gefüllten Ionentauscherharzkolonne oder der Ionentauscherharzkolonne, in der der mit Kationentauscherharz gefüllte Bereich und der mit Anionentauscherharz entweder seriell oder parallel zueinander angeordnet sind, gebildet.
  • Als das Kationentauscherharz kann ein Alkalimetallionen-Kationentauscherharz (z. B. Na+ oder K+) oder ein Erdalkalimetallionen-Kationentauscherharz (beispielsweise Ca2+) verwendet werden. Ein spezifisches Beispiel des Na+-Kationentauscherharzes schließt AMBERLITETMIR120B Na (Produktname) ein, das von der Firma Rohm and Haas gergestellt wird, und DIAIONTM series (Produktname), hergestellt von Mitsubishi Chemical Corporation. Jedes dieser Harze schließt ein Styren-Divinylbenzen-Copolymer-, ein Phenonformalin-Harz oder Ähnliches als ein Substrat ein und eine Sulfonsäuregruppe als eine Ionentauschergruppe.
  • Als das Anionentauscherharz kann beispielsweise eine OH–-Anionentauscherharz verwendet werden. spezifische Beispiele des OH–-Anionentauscherharzes schließen ein Harz ein, das durch Transformieren von AMBERLITETMIRA400J Cl (Produktname), hergestellt von der Firma Rohm and Haas, in ein OH–-Anionentauscherharz ein und ein Harz, das erhalten wird durch Transformieren von DIAIONTMSA10A (Produktname), hergestellt von Mitsubishi Chemical Corporation, in ein OH–-Anionentauscherharz. Jedes dieser Harze schließt ein Styren-Divinylbenzen-Copolymer als ein Substrat ein und eine Trimethyl-Ammoniumgruppe, eine β-Hydroxyethyl-Dimethyl-Ammoniumgruppe oder Ähnliches als eine Ionentauschergruppe. Ein Ablaufrohr 10a ist mit einem Ende der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A verbunden und das Hydroxidfluid, das durch die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A erzeugt wird, wird dem Bearbeitungsfluidtank 3 über das Ablaufrohr 10a zugeführt.
  • Die erste Zufuhreinheit 10 schließt eine Pumpe ein, ein Wasseraufnahmerohr 12 und ein Wasserzufuhrrohr 13. Ein Betrieb der Pumpe 11 wird durch die Steuereinheit 70A gesteuert. Das Wasseraufnahme- bzw. -ansaugrohr 12 hat ein Ende innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 angeordnet und das andere Ende mit der Pumpe 11 verbunden. Das Wasserzufuhrrohr 13 hat ein Ende mit der Pumpe 11 und das andere Ende mit der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A verbunden. Die erste Zufuhreinheit 15 führt das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 zu der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A während ein Betrieb der ersten Zufuhreinheit 15 durch die Steuereinheit 70A gesteuert wird.
  • Die Reinigungseinheit 20A reinigt das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1, wenn das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 der Reinigungseinheit 20A durch die zweite Zufuhreinheit 25 zugeführt wird. Ein Ablaufrohr 20a ist mit einem Ende der Reinigungseinheit 20A verbunden und destilliertes Wasser (ein Ionentauscherwasser), das durch die Reinigungseinheit 20a gereinigt wird, wird dem Bearbeitungsfluidtank 3 durch das Ablaufrohr 20a zugeführt.
  • Die Reinigungseinheit 20A wird beispielsweise durch die Ionentauscherharzkolonne gebildet, die mit der Mischung aus dem H+-Kationentauscherharz und dem OH–-Anionentauscherharz gebildet wird, oder durch Ionentauscherharzkolonne, der der mit H+-Kationentauscherharz gefüllte Bereich und der mit OH–-Anionentauscherharz gefüllte Bereich entweder seriell oder parallel angeordnet sind.
  • Als das H+-Kationentauscherharz kann beispielsweise ein H+-Kationentauscherharz verwendet werden, das ein Styren-Divinylbenzen-Copolymer-, ein Phenolformalin-Harz oder Ähnliches als Substrat einschließt und eine Sulfonsäurengruppe als Ionentauschergruppe. Spezifische Beispiele des H+-Kationenharzes schließen ein Harz ein, das durch Transformieren von AMBERLITETMIR120B Na (Produktname), hergestellt von der Firma Rohm and Haas, in ein H+-Kationentauscherharz erhalten wird und ein Harz, das durch Transformieren von DIAIONTMSK1B (Produktname), hergestellt von Mitsubishi Chemical Corporation, in ein H+-Kationentauscherharz erhalten wird. Als das OH–-Anionentauscherharz kann eines von jenen im Zusammenhang mit der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A erläuterten Harze verwendet werden.
  • Die zweite Zufuhreinheit 25 schließt eine Pumpe 21 ein, ein Wasseransaugrohr 22 und ein erstes Wasserzufuhrrohr 23. Ein Betriebsablauf der Pumpe 21 wird durch die Steuereinheit 70A gesteuert. Das Wasseransaugrohr 22 hat ein Ende innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 angeordnet und das andere Ende mit der Pumpe 21 verbunden. Das Wasserzufuhrrohr 23 hat ein Ende mit der Pumpe 21 verbunden und das andere Ende mit der Reinigungseinheit 20A verbunden. Die zweite Zufuhreinheit 25 führt das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 zu der Reinigungseinheit 20A, während ein Betriebsablauf der zweiten Zufuhreinheit 25 durch die Steuereinheit 70A gesteuert wird.
  • Die Steuereinheit 70A schließt eine Speichereinheit 67 und eine Fluidqualitätssteuereinheit 68A ein. Die Speichereinheit 67 speichert Bedingungswerte für den durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 zu messenden pH-Wert. Die Fluidqualitätssteuereinheit 68A steuert jeweils die Betriebsabläufe der ersten Zufuhreinheit 15 und der zweiten Zufuhreinheit 25 in Übereinstimmung mit einem Größenzusammenhang zwischen dem durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessenen pH-Wert und jeweiligen der Bedingungswerte. Als die Bedingungswerte werden der erste Bedingungswert und der zweite Bedingungswert, die in der ersten Ausführungsform erläutert worden sind, in der Speichereinheit 67 gespeichert. Wenn jedoch der erste Bedingungswert und der zweite Bedingungswert zueinander gleich festgelegt worden sind, wird ein Wert als der erste und zweite Bedingungswert gespeichert.
  • Die Fluidqualitätssteuereinheit 68A vergleicht den durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessenen pH-Wert mit dem in der Speichereinheit 67 gespeicherten ersten Bedingungswert. Wenn der von der Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert niedriger als der erste Bedingungswert ist, steuert die Fluidqualitätssteuereinheit 68A die erste Zufuhreinheit 15, um die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A zu betreiben zum Umwandeln des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 in die Elektrolytlösung. Wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert höher ist als der zweite Bedingungswert, steuert die Fluidqualitätssteuereinheit 68A die zweite Zufuhreinheit 25, um die Reinigungseinheit 20A zu betreiben zum Reinigen des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1.
  • In der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A, die derart konfiguriert ist, misst die Fluidqualitätsmesseinheit 5 den pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 entweder periodisch oder kontinuierlich. Zudem wird das Transformieren des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 in die Elektrolytlösung und das Reinigen jeweils entweder periodisch oder kontinuierlich ausgeführt. Als ein Ergebnis wird, wenn der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1, das in dem Bearbeitungsfluidtank 3 gespeichert ist, höher ist als der erste Bedingungswert oder höher als der zweite Bedingungswert, der pH-Wert automatisch geregelt, um in den vorbestimmten Bereich zu fallen.
  • Die durch die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A erzeugte Elektrolytlösung hat die Korrelation zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit wie erläutert. Demnach ist es durch alleiniges Regeln des pH-Werts des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 in dem Bearbeitungsfluidtank 3 möglich, das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, das eine hohe Elektroentladungsstabilität während der Elektroentladungsbearbeitung hat, aufzubereiten und dies erschwert das Korrodieren des Werkstücks von dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1.
  • Wie zu sehen ist, ist es für die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A nicht erforderlich, die Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 unter Verwendung des Leitfähigkeitsmessers oder Ähnlichem in dem Prozess des Steuerns der Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 zu messen. Dies kann zu einem Weglassen der Vorrichtung zum Messen der Leitfähigkeit führen. Demgemäß können zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids erforderliche Kosten und Herstellungskosten oder Betriebskosten der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A selbst leicht reduziert werden.
  • Wie in der ersten Ausführungsform erläutert, reinigt die Reinigungseinheit 20A vorzugsweise das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 derart, dass die Verunreinigungsionen mit einem vorbestimmten Umfang nach dem Reinigen (Ionentauscherwasser) in dem Fluid verbleiben. Wenn die Reinigungseinheit 20A derart das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 reinigt, ist vorzusehen, dass ein Ende eines zweiten Wasserzufuhrrohrs 24 zum Zuführen eines Süßwassers wie Fließ-Wasser, Industriewasser oder Grundwasser zu der Reinigungseinheit 20A mit der Pumpe 21 verbunden ist. Das andere Ende des zweiten Wasserzufuhrrohrs 24 ist mit einer Süßwasserzufuhrquelle (nicht gezeigt) verbunden.
  • Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A derart konfiguriert ist, kann ein nicht aufbereitetes unbenutztes, Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid durch die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A aufbereitet werden. Beim Aufbereiten des nicht recycelten unbenutzten Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids wird Süßwasser wie z. B. Fließwasser, Industriewasser oder Grundwasser durch die zweite Zufuhreinheit 25 zu der Reinigungseinheit 20 über das zweite Wasserzufuhrrohr 24, die Pumpe 21 und das erste Wasserzufuhrrohr 23 zugeführt. Die Reinigungseinheit 20A reinigt das Süßwasser, so dass die Verunreinigungsionen in einem vorbestimmten Umfang in dem Süßwasser verbleiben, und erzeugt das Ionentauscherwasser. Dieses Ionentauscherwasser wird in dem Bearbeitungsfluidtank 3 gespeichert. Zu diesem Zeitpunkt bedient ein Benutzer der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A die Betriebseinheit 75 derart, dass die Steuereinheit 70A die Pumpe 21 steuert, um vor der Zufuhr von Süßwasser betrieben zu werden.
  • Wenn beispielsweise jeweils Pottascheionen (K+) und Chlorinionen (CL–) in dem Süßwasser als Verunreinigungskationen und Verunreinigungsanionen vorliegen, läuft eine durch die folgende Gleichung (1) repräsentierte Reaktion in dem H+-Kationentauscherharz ab, das die Reinigungseinheit 20A bildet, hierdurch K+ durch Hydrogenionen (H+) ersetzend. Zudem läuft eine durch die folgende Gleichung (2) dargestellte Reaktion in dem OH– Anionentauscherharz ab, das die Reinigungseinheit 20A bildet, hierdurch Cl– durch OH– ersetzend. Als ein Ergebnis werden während die Verunreinigungen in dem Süßwasser reduziert werden, Wasser (H2O) erneut erzeugt und das Ionentauscherwasser wird erhalten. In den Formeln (1) und (2) kennzeichnet das Symbol "R" das Substrat des Ionentauscherharzes. R-SO3H+ + K+ → R-SO3K+ + H+ (1) R≡N-OH– + Cl– → R≡N-Cl–+OH– (2)
  • Da das derart durch die Reinigungseinheit 22A erzeugte Ionentauscherwasser im Wesentlichen neutral ist, ist der pH-Wert des in dem Bearbeitungsfluidtank 3 gespeicherten Ionentauscherwasser niedriger als der erste Bedingungswert. Der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert ist nämlich niedriger als der erste Bedingungswert. Als ein Ergebnis steuert die Steuereinheit 70A die erste Zufuhreinheit 15, um zu arbeiten und die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A, um das Ionentauscherwasser in die Elektrolytlösung umzuwandeln. Zu diesem Zeitpunkt enthält das gereinigte Süßwasser Verunreinigungen, z. B. K+ und Schwefelsäureionen (SO4 2–) der vorbestimmten Menge. Daher schreitet eine beispielsweise durch die folgende Formel (3) dargestellte Reaktion in dem Kationentauscherharz, das die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A bildet voran, hierdurch K+ durch Natriumionen (Na+) ersetzend. Zudem schreitet eine beispielsweise durch die folgende Formel (4) dargestellte Reaktion in dem Anionentauscherharz voran, das die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A bildet, hierdurch SO4 2– durch OH– ersetzend. In den Formeln (3) und (4) kennzeichnet das Symbol "R" das Substrat des Ionentauscherharzes. R-SO3Na+ + K+ → R-SO3K+ + Na+ (3) R≡N-OH– + SO4 2– → R≡N-SO4 2– + OH– (4)
  • Als ein Ergebnis des Voranschreitens des Erzeugens der Elektrolytlösung (Hydroxidfluid) durch die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A wird während die Verunreinigungen in dem Ionentauscherwasser reduziert werden ein neues wässriges Natriumhydroxidfluid (NaOH-Fluid) erzeugt und das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, das aus dem wässrigen Natriumhydroxidfluid besteht, wird aufbereitet. Das nicht recycelte unbenutzte, Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid wird nämlich aus dem Süßwasser recycelt.
  • 3 ist eine Graphik eines Beispiels der temporären Änderungen in dem pH-Wert und der Leitfähigkeit, wenn das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid von dem Süßwasser durch die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A aufbereitet wird. In 3 gibt eine horizontale Achse die Zeit an seit einem Zeitpunkt (= t0), zu dem das Süßwasser eingeführt wird, eine linke vertikale Achse gibt die Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 an, und eine rechte vertikale Achse gibt den pH-Wert des Fluids innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 an.
  • In 3 gezeigte Daten sind welche in der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A, wenn die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A und die Reinigungseinheit 20A folgendermaßen gebildet werden. Die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A wird unter Verwendung einer Mischung von AMBERLITETMIR120B Na (Produktname), hergestellt von der Firma Rohm and Haas, und einem durch Umwandeln von AMBERLITETMIRA400J (Produktname), hergestellt durch dieselbe Firma, in das OH–-Anionentauscherharz gebildet. Die Reinigungseinheit 120A wird unter Verwendung einer Mischung eines durch Tansformieren von AMBERLITETMIRA120B Na (Produktname), hergestellt von der Firma Rohm and Haas, in das H+-Kationentauscherharz und das durch Transformieren von AMBERLITETMIRA400J (Produktname), hergestellt durch dieselbe Firma), in das OH–-Anionentauscherharz erhalten. Das Süßwasser, das hier verwendet wird, hat den pH-Wert von 6,5 und die Leitfähigkeit von 147 μS/cm. Zudem wird nur ein Bedingungswert von 9,5 als die ersten und zweiten Bedingungswerte in der Speichereinheit 67 gespeichert, die die Steuereinheit 70A bildet. Diese ersten und zweiten Bedingungswerte werden nachstehend einfach als "der Bedingungswert" bezeichnet.
  • Die Zeit t0, die in 3 gezeigt ist, ist eine Zeit, zu der begonnen wird, das Süßwasser der Reinigungseinheit 20A zuzuführen. Von diesem Zeitpunkt t0 zu einem Zeitpunkt t1 arbeitet nur die Reinigungseinheit 20A während die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A außer Betrieb bleibt. Während dieser Dauer werden im Süßwasser enthaltene Verunreinigungsionen entfernt und ein Ionentauscherwasser mit einem pH-Wert von 6,2 wird erzeugt. Wenn eine Menge erzeugten Ionentauscherwassers zunimmt, wird die Leitfähigkeit des Ionentauscherwassers im Bearbeitungsfluidtank 3 stark reduziert. Der pH-Wert ändert sich jedoch nicht stark.
  • Zur Zeit t1 arbeitet die Fluidqualitätsmesseinheit 5 zum Messen des pH-Werts des Ionentauscherwassers in dem Bearbeitungsfluidtank 3. Da dieser gemessene pH-Wert niedriger ist als der Bedingungswert, steuert die Steuereinheit 70A die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A, um zu arbeiten. Als ein Ergebnis beginnt der Ablauf der Transformation des Ionentauscherwassers im Bearbeitungsfluidtank 3 in die Elektrolytlösung (Hydroxidfluid), und der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert nimmt zu. Wenn dieser gemessene pH-Wert den Bedingungswert von 9,5 übersteigt, stoppt die Steuereinheit 70A die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A und steuert die Reinigungseinheit 20A, damit sie arbeitet. Der pH-Wert des Ionentauscherwassers nimmt demgemäß ab. Wenn der pH-Wert niedriger als 9,5 ist, dann wird die Reinigungseinheit 20A gestoppt und die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A arbeitet wieder. Der pH-Wert beginnt wieder anzusteigen. Nach der Zeit t2 wird zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit eine gute Korrelation erkannt und das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid mit dem pH-Wert innerhalb eines Bereichs von 8,5 bis 10,5 und einer Leitfähigkeit von etwa 14 μS/cm wird erhalten. Es wird darauf hingewiesen, dass das Zuführen des Süßwassers zu der Reinigungseinheit 20A fortgesetzt wird bis eine vorbestimmte Menge von Wasser enthaltendem Bearbeitungsfluid erhalten wird unabhängig von dem durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessenen pH-Wert.
  • Ein WC-Co-enthaltendes Hartmetallmaterial, Kupfer (Cu) und Eisen (Fe) werden in das derart aufbereitete Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid für einen Tag eingetaucht und es wird bestätigt, ob sie korrodieren. Als ein Ergebnis sind sowohl das WC-Co-enthaltende Hartmetallmaterial, als auch Kupfer (Cu) und Eisen (Fe) nur geringfügig korrodiert und nur geringfügig verfärbt. Im Vergleich hierzu wird ein Ionentauscherwasser mit pH-Wert von 6,2 und einer Leitfähigkeit von 7,8 μS/cm durch Zuführen von Süßwasser zu der Reinigungseinheit 20A aufbereitet. Zudem werden dasselbe WC-Co-enthaltende Hartmetallmaterial, Kupfer (Cu), und Eisen (Fe) in dieses Ionentauscherwasser für einen Tag eingetaucht, und es wird bestätigt, ob das WC-Co-enthaltende Hartmetallmaterial, Kupfer (Cu) und Eisen (Fe) korrodieren. Als ein Ergebnis ist es möglich, visuell zu bestätigen, dass sie mehr als jene korrodieren, die in das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid eingetaucht worden sind.
  • DRITTE AUSFÜHRUNGSFORM
  • In der Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit durch eine Kanalumschalteinheit und eine Pumpe zum Zuführen des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids zu der Kanalumschalteinheit gebildet werden. Die Kanalumschalteinheit schaltet einen Kanal des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids selektiv zwischen einer Elektrolytlösungsbehandlungseinheitsseite und einer Reinigungseinheitsseite um. Zudem kann sowohl die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit als auch die Reinigungseinheit durch anordnen einer vorbestimmten Kationentauscherharzkolonne und einer vorbestimmten Anionentauscherharzkolonne parallel zueinander gebildet werden. In diesem Fall kann eine Anionentauscherharzkolonne von der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und der Reinigungseinheit geteilt werden.
  • 4 ist ein schematisches Blockdiagramm eines Beispiels der Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, in welcher die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und die Reinigungseinheit jeweils durch Anordnen der vorbestimmten Kationentauscherharzkolonne und der vorbestimmt Anionentauscherharzkolonne parallel zueinander in der Fluidqualitätssteuervorrichtung gebildet wird. Unter den Bestandteilen, die in 4 gezeigt sind, sind jene, die mit den in 2 gezeigten Bestandteilen gleich sind, jeweils mit denselben Bezugszeichen versehen und werden hier nicht erläutert.
  • In einer Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B, die in 4 gezeigt ist, besteht eine Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B aus einer Na+-Kationentauscherharzkolonne 7 und einer OH–-Anionentauscherharzkolonne 8, die parallel zueinander angeordnet sind. Ein Ablaufrohr 7a ist mit einem Ende der Na+-Kationentauscherharzkolonne 7 verbunden und ein Ablaufrohr 8a ist mit einem Ende der OH–- Anionentauscherharzkolonne 8 verbunden. Zudem bildet die OH–-Anionentauscherharzkolonne 7 und eine parallel zu der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 angeordnete H+-Kationentauscherharzkolonne 17 eine Reinigungseinheit 20B. Ein Ablaufrohr 17a ist mit einem Ende der H+-Kationentauscherharzkolonne 17 verbunden, die OH–-Anionentauscherharzkolonne funktioniert als ein Bestandteil der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B und funktioniert auch als ein Bestandteil der Reinigungseinheit 20B. Die OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 wird nämlich zwischen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B und der Reinigungseinheit 20B geteilt.
  • Es reicht aus, dass die Kationentauscherharzkolonne, die die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B bildet, Verunreinigungskationen, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 enthalten sind, durch Metallionen ersetzt, die beispielsweise ein Hydroxid bilden. Die Na+-Kationentauscherharzkolonne 7 kann durch eine Alkalimetallionen-Kationentauscherharzkolonne oder eine Erdalkalimetallionen-Kationentauscherharzkolonne ersetzt werden.
  • Das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 wird der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B und der Reinigungseinheit 20B durch eine erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 40 zugeführt. Die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 40 schließt eine Pumpe 31 und eine Kanalumschalteinheit 35 ein. Betriebsabläufe der Pumpe 31 und der Kanalumschalteinheit 35 werden durch eine Fluidqualitätssteuereinheit 68B gesteuert, die eine Steuereinheit 70B bildet. Ein Wasseraufnahmerohr 32, ein erstes Wasserzufuhrrohr 33 und ein zweites Wasserzufuhrrohr 34 sind mit der Pumpe 31 verbunden und drei Rohre 36, 37 und 38 sind mit der Kanalumschalteinheit 35 verbunden. Das Wasseraufnahmerohr 32 hat ein Ende innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 angeordnet. Das erste Wasserzufuhrrohr 33 hat ein Ende mit der Kanalumschalteinheit 35 verbunden. Das zweite Wasserzufuhrrohr 34 hat ein Ende mit einer Süßwasserzufuhrquelle (nicht gezeigt) verbunden.
  • Die Pumpe 31 führt das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 innerhalb des Bearbeitungstanks 3 oder das Süßwasser der Kanalumschalteinheit 35 zu. Die Kanalumschalteinheit 35, deren Betrieb durch die Fluidqualitätssteuereinheit 68B gesteuert wird, schaltet einen Kanal von entweder dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 oder dem von der Pumpe 31 zugeführten Süßwasser unter den Rohren 36, 37 und 38 um. Eine solche Kanalumschalteinheit 35 kann beispielsweise durch ein Drei-Magnetspulenventil gebildet werden. Ein Ende des Rohrs 36 ist mit der Na+-Kationentauscherharzkolonne 7 verbunden, ein Ende des Rohrs 37 ist mit der OH–Anionentauscherharzkolonne 8 verbunden und ein Ende des Rohrs 38 ist mit der H+-Kationentauscherharzkolonne 17 verbunden.
  • Wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert niedriger ist als der erste Bedingungswert (welcher der in der Speichereinheit 67 gespeicherte erste Bedingungswert ist), führt die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 40 das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 innerhalb des Bearbeitungstanks 3, oder das Süßwasser der Na+-Kationentauscherharzkolonne 7 und der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 zu. Die Na+-Kationentauscherharzkolonne 7 erzeugt ein Ionentauscherwasser, das Na+ enthält, und führt das erzeugte Ionentauscherwasser dem Bearbeitungsfluidtank 3 zu. Die OH– Anionentauscherharzkolonne 8 erzeugt OH– enthaltendes Ionentauscherwasser. Als ein Ergebnis erzeugt die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B ein wässriges Natriumhydroxidfluid (NaOH) und eine Transformation des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 in die Elektrolytlösung (Hydroxidfluid) schreitet voran.
  • Wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert höher ist als der zweite Bedingungswert (welcher der zweite Bedingungswert ist, der in der Speichereinheit 67 gespeichert ist), führt die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 40 das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3, oder das Süßwasser der H+-Kationentauscherharzkolonne 17 und der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 zu. Die H+-Kationentauscherharzkolonne 17 erzeugt ein H+ enthaltendes Ionentauscherwasser und führt das erzeugte Ionentauscherwasser dem Bearbeitungsfluidtank 3 zu. Die OH– Anionentauscherharzkolonne 8 erzeugt ein Ionentauscherwasser, das OH– enthält, und führt das erzeugte Ionentauscherwasser dem Bearbeitungsfluidtank 3 zu. Als ein Ergebnis erzeugt die Reinigungseinheit 20B Reinwasser (destilliertes Wasser), ein Ionentauscherwasser, und die Reinigung des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 schreitet voran.
  • Wie zu sehen ist, steuert die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 in dem Bearbeitungsfluidtank 3 in ähnlicher Weise wie die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A, die in 2 gezeigt wird, mit der Ausnahme der folgenden Punkte. Die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B unterscheidet sich von der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A in den Konfigurationen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und der Reinigungseinheit und einer Konfiguration der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit, die das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und der Reinigungseinheit zuführt.
  • Wenn daher der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1, das in dem Bearbeitungsfluidtank 3 gespeichert ist, niedriger ist als der erste Bedingungswert oder höher als der zweite Bedingungswert, wird der pH-Wert automatisch gesteuert um in den vorbestimmten Bereich zu fallen in ähnlicher Weise wie bei der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A, die in 2 gezeigt ist. Zudem ist es nur durch Steuern der pH-Werts des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 in dem Bearbeitungsfluidtank 3 möglich, das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid aufzubereiten, das eine höhere elektrische Entladungsstabilität während der Elektroentladungsbearbeitung hat und eine Korrosion des Werkstücks durch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 erschwert. Es ist unnötig, dass die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B die Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids unter Verwendung des Leitfähigkeitsmessers oder Ähnlichem in dem Prozess des Steuerns der Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 misst. Dies kann zu einem Weglassen einer Vorrichtung zum Messen der Leitfähigkeit führen. Demgemäß können die zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids und Herstellungskosten oder Betriebskosten der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B selbst leicht reduziert werden.
  • Wenn das nicht recycelte unbenutzte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid aus dem Süßwasser wie z. B. dem Trinkwasser, Industriewasser oder Grundwasser aufzubereiten ist, kann das Süßwasser, dessen Kationen hauptsächlich Na+ sind wie beim Trinkwasser, nur zu der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 geführt werden ohne der H+-Kationentauscherharzkolonne 17 zugeführt zu werden.
  • Zudem kann durch Zulassen, dass die Steuereinheit 70B (Fluidqualitätssteuereinheit 68B) den Betrieb der Pumpe 31 und der Kanalumschalteinheit 35 steuert, das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 nur der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 zugeführt werden. Dem ist zu verdanken, dass die folgenden technischen Vorteile erzielt werden können.
  • Wie bereits erläutert, ist der pH-Wert des im Bearbeitungsfluidtank 3 gespeicherten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids graduell niedriger, wenn in der Luft enthaltendes Kohlendioxid in dem Fluid gelöst ist, selbst ohne das Vornehmen der Elektroentladungsbearbeitung. Eine solche Änderung in der Fluidqualität kann durch Zuführen des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 nur zu der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 gehandhabt werden. Folglich können zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids mit der gewünschten Fluidqualität erforderliche Kosten leicht reduziert werden. Der Bedingungswert (der dritte Bedingungswert), auf dem basierend bestimmt wird, ob das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 nur der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 zuzuführen ist, wenn die Elektroentladungsbearbeitung nicht vorgenommen wird, kann entweder gleich dem ersten Bedingungswert oder von diesem abweichend in Übereinstimmung mit einer Performance der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 und Ähnlichem festgelegt werden. Der dritte Bedingungswert wird in der Speichereinheit 67 ähnlich den ersten und zweiten Bedingungswerten gespeichert.
  • VIERTE AUSFÜHRUNGSFORM
  • Die Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann neben der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und der Reinigungseinheit eine elektrolytische Wassererzeugungseinheit einschließen.
  • 5 ist ein schematisches Blockdiagramm eines Beispiels der Fluidqualitätssteuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, dass die elektrolytische Wassererzeugungseinheit einschließt. Wie aus dem Vergleich der 5 mit 2 ersichtlich ist, ist die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C derart konfiguriert, dass eine elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 und eine zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60 zu der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A, die in 2 gezeigt ist, hinzugefügt worden sind. Unter den in 5 gezeigten Bestandteilen sind die mit der in 2 gezeigten Bestandteilen gleichen jeweils durch dieselben Bezugszeichen gekennzeichnet und werden hier nicht erläutert.
  • Die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 führt eine Elektrolyse von Wasser durch und erzeugt alkalisches Wasser und ein saures Wasser. Auf einer Anodenseite schreitet eine Reaktion, die durch die folgende Formel (5) dargestellt wird, fort zum Erzeugen des sauren Wassers. Auf einer Kathodenseite schreitet eine Reaktion, die durch die folgende Formel (6) dargestellt wird, fort zum Erzeugen des alkalischen Wassers. Eine solche elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 kann durch eine kommerziell verfügbare elektrolytische Wassererzeugungsvorrichtung, z. B. ein alkalischer und saurer Wasserionisierer, der von AQUA SYSTEM Co., Ltd., hergestellt worden ist, oder einen alkalischen und sauren Wasserionisierer, der von Matsushita Electric Works, Ltd., hergestellt worden ist, gebildet werden. 2H2O → O2 + 4H+ + 4e– (5) 2H2O + 2e → H2OH– (6)
  • Zwei Ablaufrohre 52 und 53 sind mit der elektrolytischen Wassererzeugungseinheit 50 verbunden. Das durch die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 erzeugte alkalische Wasser wird die Bearbeitungsfluidtank 3 durch das Ablaufrohr 52 zugeführt. Das durch die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 erzeugte saure Wasser kann entweder durch das Ablaufrohr 53 entsorgt werden oder in einem gewünschten Speichertank gespeichert werden. Das saure Wasser kann zum Neutralisieren des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 oder Ähnlichem verwendet werden, wenn das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 ersetzt wird.
  • Die zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60 schließt eine Pumpe 56 ein, ein Wasseraufnahmerohr 57 und eine Wasserzuführrohr 58. Ein Betriebsablauf der Pumpe 56 wird durch eine Fluidqualitätssteuereinheit 68C, die eine Steuereinheit 70 bildet, gesteuert. Das Wasseraufnahmerohr 57 hat ein Ende innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 angeordnet und das andere Ende mit der Pumpe 56 verbunden. Das Wasserzufuhrrohr 58 hat ein Ende mit der Pumpe 56 verbunden und das andere Ende mit der elektrolytischen Wassererzeugungseinheit 50. Die zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60 führt das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 der elektrolytischen Wassererzeugungseinheit 50 zu, die durch die Fluidqualitätssteuereinheit 68C gesteuert wird.
  • In der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C, die zusätzlich die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 und die zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60 einschließt, steuert die Steuereinheit 70C (Fluidqualitätssteuereinheit 68C), wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert niedriger ist als der erste Bedingungswert (welcher der in der Speichereinheit 67 gespeicherte erste Bedingungswert ist), die erste Zufuhreinheit 15 und die zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60, um sie zu betreiben, um die Transformation des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 in die elektrolytische Lösung voranschreiten zu lassen. Wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert höher als der zweite Bedingungswert ist (welches in der Speichereinheit 67 gespeicherte zweite Bedingungswert ist), steuert die Steuereinheit 70C (Fluidqualitätssteuereinheit 68C) die zweite Zufuhreinheit 25, um zu arbeiten zum Veranlassen der Reinigung des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1.
  • In der ersten Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C, die derart konfiguriert ist, wird der pH-Wert, wenn der pH- Wert des in dem Bearbeitungsfluidtank 3 gespeicherten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 niedriger ist als der erste Bedingungswert oder höher als der zweite Bedingungswert, automatisch gesteuert um in den vorbestimmten Bereich zu fallen in ähnlicher Weise wie bei der in 2 bezeigten Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A. Zudem ist es nur durch Steuern des pH-Werts des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 in dem Bearbeitungsfluidtank 3 möglich, das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, das eine hohe elektrische Entladungsstabilität während der Elektroentladungsbearbeitung hat, aufzubereiten und dies erschwert die Korrosion des Werkstücks durch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1. Es ist nicht erforderlich, dass die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C die Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 unter Verwendung eines Leitfähigkeitsmessers oder Ähnlichem während des Prozesses des Steuerns der Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 durchführt. Dies kann zu einem Weglassen der Vorrichtung zum Messen der Leitfähigkeit führen. Demgemäß können zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids erforderliche Kosten und Herstellungskosten oder Betriebskosten der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C selbst leicht reduziert werden.
  • Eine Änderung in der Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1, die von dem Lösen von in der Luft enthaltendem Kohlendioxid in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 herrührt, kann dadurch gehandhabt werden, dass die Steuereinheit 70C veranlasst wird, die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 150 und die zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60 zu betreiben ohne die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A und die Reinigungseinheit 20A zu betreiben. Folglich können Kosten, die erforderlich sind zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids mit der gewünschten Fluidqualität leicht reduziert werden. Der Bedingungswert (der dritte Bedingungswert), basierend auf dem bestimmt wird, ob das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 einer Elektrolyse unterzogen werden soll wenn die Elektroentladungsbearbeitung nicht durchgeführt wird, kann entweder gleich dem ersten Bedingungswert oder unterschiedlich davon in Übereinstimmung mit einer Performance eines zur Elektrolyse verwendeten Instruments und Ähnlichem festgelegt werden. Zudem ist der pH-Wert des durch die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 erzeugten alkalischen Wassers relativ hoch. Bedingt hierdurch steuert die Steuereinheit 70C, wenn der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 niedriger ist als der erste Bedingungswert, nicht nur die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A, sondern auch die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 in den betriebenen Zustand. Es ist hierdurch möglich, eine Zeit zu reduzieren, die erforderlich ist, um den pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 gleich oder größer als den Bedingungswert einzustellen. Der dritte Bedingungswert wird in ähnlicher Weise wie der erste und der zweite Bedingungswert in der Speichereinheit 67 gespeichert.
  • FÜNFTE AUSFÜHRUNGSFORM
  • Eine Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schließt die Fluidqualitätssteuervorrichtung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ein. Wenn die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung die Fluidqualitätssteuervorrichtung benötigt, sind die von der Fluidqualitätssteuervorrichtung verschiedenen Bestandteile der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung nicht auf spezielle beschränkt.
  • 6 ist ein schematisches Blockdiagramm einer Konfiguration der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Wie in 6 gezeigt, schließt eine Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160 gemäß der vorliegenden Erfindung einen Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 ein, der ein Werkstück einer Elektroentladungsbearbeitung unterzieht, eine Steuervorrichtung 130, die einen Betrieb des Bearbeitungsvorrichtungshauptteils 120 steuert, und einen Gebrauchtfluid-Tank 140, der das benutzte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, nachdem es in dem Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 verwendet worden ist, speichert.
  • Der Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 ist ein Bearbeitungsvorrichtungshauptteil, der beispielsweise in einer Drahtelektroentladungsbearbeitungsvorrichtung oder einer Gesenkelektroentladungsbearbeitungsvorrichtung eingeschlossen ist. Der Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 schließt einen Bearbeitungstank 101 ein, der das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid speichert. Das benutzte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, das in dem Bearbeitungstank 101 gespeichert ist, wird dem Gebrauchtfluid-Tank 140 zugeführt, in welchem feste Fremdstoffe aus dem Fluid entfernt werden und das resultierende Fluid einer Fluidqualitätssteuervorrichtung 80 zugeführt wird. Eine Fluidqualität des benutzten Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids das der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80 zugeführt wird, wird durch die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80 wie bereits erläutert gesteuert. Draufhin wird das resultierende Bearbeitungsfluid wieder dem Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 zugeführt, um während der Elektroentladungsbearbeitung verwendet zu werden. Wenn das nicht recycelte unbenutzte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid durch die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80 aufzubereiten ist, wird eine Zufuhrquelle 165 des Süßwassers wie z. B. des Laufwassers, des Industriewassers oder des Grundwassers ist mit der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80 verbunden.
  • 7 ist ein schematisches Blockdiagramm eines Beispiels der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Eine in 7 gezeigte Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A ist eine Drahtelektroentladungsbearbeitungsvorrichtung, die die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A, die in der zweiten Ausführungsform erläutert worden ist, einschließt.
  • Der Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A schließt den Bearbeitungstank 101 ein, der das benutzte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid temporär speichert, einen Tisch 103, der innerhalb des Bearbeitungstanks 101 angeordnet ist, und ein Paar von Düsen 105a und 105b, die in fester Weise oberhalb und unterhalb des Tischs 103 innerhalb des Bearbeitungstanks 101 jeweils angeordnet sind. Der Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 schließt eine oberhalb des Tischs 103 angeordnete Drahttrommel 107 ein, eine Aufnehmerrolle 109, die außerhalb des Bearbeitungstanks 101 angeordnet ist, und einen Wiedergewinnungsbehälter 111, der außerhalb des Bearbeitungstanks 101 angeordnet ist. Zudem schließt der Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 eine Bearbeitungsfluidzufuhrvorrichtung 113 ein, die das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid den jeweiligen Düsen 105a und 105b zuführt, ein Bearbeitungsfluidzufuhrrohr 113a, das mit den jeweiligen Düsen 105a und 105b verbunden ist, einen Tischantrieb (nicht gezeigt), eine Energieversorgungsvorrichtung (nicht gezeigt), und Ähnliches.
  • Der Tisch 103 wird durch den Tischantrieb angetrieben, um auf einer X-Y-Ebene (Horizontalebene) bewegt zu werden, und ein Werkstück 170 ist auf dem Tisch 103 angeordnet. Jede der paarweisen Düsen 105a und 105b führt eine Drahtelektrode 107a, die von der Drahttrommel 107 herausgezogen wird, in eine vorbestimmte Position. Zudem injiziert jede der Düsen 105a und 105b das von der Bearbeitungsfluidzufuhrvorrichtung 130 durch das Bearbeitungsfluidzufuhrrohr 113a zugeführte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid in Richtung des Werkstücks 170 während der Elektroentladungsbearbeitung, und fügt eine Zwischenlage des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids zwischen die Drahtelektrode 107a und das Werkstück 170 ein.
  • Während der Elektroentladungsbearbeitung wird eine hochfrequenzpulsierte Spannung an die Drahtelektrode 107a und das Werkstück 170 von der Energieversorgungsvorrichtung angelegt, hierdurch eine Elektroentladung zwischen der Drahtelektrode 107a und dem Werkstück 170 erzeugend. Der Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120 schneidet in das Werkstück 170 in kleinen Schritten in einem infinitesimalen Umfang durch die Elektroentladung ein, hierdurch das Werkstück 170 in eine gewünschte Form bearbeitend.
  • Die Steuervorrichtung 130 schließt eine Speichereinheit (nicht gezeigt) ein, die numerische Steuerdaten, die für die Elektroentladungsbearbeitung an dem Werkstück 170 verwendet werden, speichert, und eine Steuereinheit (nicht gezeigt), die die Betriebsabläufe der Bearbeitungsfluidzufuhrvorrichtung 113, des Tischantriebs und der Energieversorgung jeweils steuert. Die Steuervorrichtung 130 steuert einen Betriebsablauf eines Betriebsablaufs eines Bearbeitungsvorrichtungshauptteils 120 basierend auf den numerischen Daten aus.
  • Ein Benutztwasser enthaltendes Bearbeitungsfluid 138, das benutzt wird zum Entladungsbearbeiten des Werkstücks 170 durch den Bearbeitungsvorrichtungshauptteil 120, enthält Bearbeitungsabfall, der durch die Elektroentladungsbearbeitung erzeugt worden ist, und Metallionen, die von der Drahtelektrode 107a oder dem Werkstück 170 während der Elektroentladungsbearbeitung erzeugt worden sind. Hierdurch bedingt wird das Benutztwasser enthaltendes Bearbeitungsfluid 138 von dem Bearbeitungstank 101 zu dem Gebrauchtfluid-Tank 140 durch ein Ablaufrohr 135 zugeführt und temporär in dem Gebrauchtfluid-Tank 140 gespeichert. Der Gebrauchtfluid-Tank 140 ist mit einer Wasserzufuhreinheit 145 versehen, die das Gebrauchtwasser enthaltende Bearbeitungsfluid 138 zu der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80a zuführt. Die Wasserzufuhreinheit 145 schließt eine Pumpe 141 ein, ein Wasseraufnahmerohr 142 und ein Wasserzufuhrrohr 143. Das Wasseraufnahmerohr 142 hat ein Ende innerhalb des Gebrauchtfluid-Tanks 140 angeordnet und das andere Ende mit der Pumpe 141 verbunden. Das Wasserzufuhrrohr 143 hat ein Ende mit der Pumpe 141 verbunden und das andere Ende innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A angeordnet. Ein Filter 150, das die Fremdfeststoffe aus dem Benutztwasser enthaltenden Bearbeitungsfluid 138 entfernt, ist auf halber Strecke entlang des Wasserzufuhrrohrs 143 angeordnet.
  • Wenn ein Umfang an Benutztwasser enthaltendem Bearbeitungsfluid 138, das in dem Gebrauchtfluid-Tank 140 gespeichert ist, einen vorbestimmten Umfang übersteigt, dann arbeitet die Wasserzufuhreinheit 145, um dieses benutzte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid in den Bearbeitungsfluidtank 3 der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A zu führen. Das dem Bearbeitungsfluidtank 3 zugeführte benutzte Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid entspricht dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid. In 7 ist daher der Bearbeitungsfluidtank 3 mit dem Bezugszeichen 1 versehen. Das Fluid in dem Bearbeitungsfluidtank 3 wird nachstehend als "Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1" bezeichnet.
  • Die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A steuert die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 und bereitet das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid, das eine hohe elektrische Entladungsstabilität während der Elektroentladungsbearbeitung hat, auf und erschwert das Korrodieren des Werkstücks. Da der detaillierte Betriebsablauf der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A bereits in der zweiten Ausführungsform erläutert worden ist, wird er hier nicht erläutert.
  • Das aus dem Benutztwasser enthaltenden Bearbeitungsfluid 138 von der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A aufbereitete Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid wird der Bearbeitungsfluidzufuhrvorrichtung 113 des Bearbeitungsvorrichtungshauptkörpers durch eine Wasserzufuhreinheit 155 zugeführt, um während der Elektroentladungsbearbeitung recycelt zu werden. Die Wasserzufuhreinheit 155 schließt eine Pumpe 151, ein Wasseraufnahmerohr 152 mit einem Ende innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 und dem anderen Ende mit der Pumpe verbunden, und ein Wasserzufuhrrohr 153 mit einem Ende mit der Pumpe 151 verbunden und dem anderen Ende mit der Bearbeitungsfluidzufuhrvorrichtung 113 verbunden. Die Pumpe 151 arbeitet entweder regelmäßig oder ansprechend auf eine Angabe von der Steuervorrichtung 130, und führt das innerhalb des Bearbeitungsfluidtanks 3 aufbereitete Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid der Bearbeitungsfluidzufuhrvorrichtung 113 zu.
  • Die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A in der derart konfigurierten Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A wird folgendermaßen aktiviert oder gestoppt. Ein Benutzer der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A betreibt die Betriebseinheit 75 der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A, oder die Steuervorrichtung 130 der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A steuert den Betrieb der Steuereinheit 70A der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A.
  • 8 ist ein Ablaufdiagramm eines Betriebs der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A. 8 zeigt den Betrieb der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80a, wenn der erste Bedingungswert und der zweite Bedingungswert (siehe die zweite Ausführungsform) auf einen gleichen Wert (nachstehend als "Bedingungswert" bezeichnet) festgelegt sind. Wie in 8 gezeigt, führt die aktivierte Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A einen Schritt S201 durch, um die Fluidqualitätssteuereinheit 68A (siehe 2) zu veranlassen, zu bestimmen, ob der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 (siehe 7) gemessene pH-Wert höher als der Bedingungswert ist. Wenn bestimmt wird, dass der pH-Wert höher als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S203, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A die zweite Zufuhreinheit 25 (siehe 7) veranlasst, zu arbeiten während des Anhaltens der ersten Zufuhreinheit 15. Dem Betrieb der zweiten Zufuhreinheit 25 folgend reinigt die Reinigungeinheit 20A (siehe 7) das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1.
  • Wenn bei Schritt S201 bestimmt wird, dass der pH-Wert nicht höher als ein Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S205, bei dem bestimmt wird, ob der pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist. Wenn bestimmt wird, dass der pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zum Schritt S207, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A die erste Zufuhreinheit 15A veranlasst, betrieben zu sein während sie die zweite Zufuhreinheit 25 anhält. Dem Betrieb der ersten Zufuhreinheit 15 folgend transformiert die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 (siehe 7) in die Elektrolytlösung. Wenn bei Schritt S205 bestimmt wird, dass der pH-Wert nicht niedriger als der Bedingungswert ist, kehrt die Verarbeitung zu Schritt S201 zurück.
  • 9 ist eine Tabelle einer Korrespondenzliste zwischen durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen pH-Werten und Betriebszuständen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A, und jene der Reinigungseinheit 20A (siehe 7), wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A in Übereinstimmung mit dem in 8 gezeigten Ablaufdiagramm arbeitet. Wie in 9 gezeigt, veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A die Reinigungseinheit 20A, zu arbeiten, während die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A gestoppt wird, wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert höher als der Bedingungswert ist. Wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A, betrieben zu werden während des Anhaltens der Reinigungseinheit 20A. Demnach steuert die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 und bereitet das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid auf.
  • Wie in der zweiten Ausführungsform erläutert, ist die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A eine Vorrichtung, die die Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 nicht durch den Leitfähigkeitsmesser oder Ähnliches messen muss beim Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids aus dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1. Daher braucht die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A, die die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A einschließt, nicht die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A mit einem Mittel zum Messen der Leitfähigkeit auszustatten. Demgemäß können für das Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids und Herstellungskosten oder Betriebskosten sowohl der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80A als auch der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A leicht reduziert werden.
  • SECHSTE AUSFÜHRUNGSFORM
  • 10 ist ein schematisches Blockdiagramm eines anderen Beispiels der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Eine in 10 gezeigte Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160B ist eine Drahtelektroentladungsbearbeitungsvorrichtung, die die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B, die in der dritten Ausführungsform erwähnt worden ist, einschließt. Die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160B ist in der Konfiguration gleich der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160A, die in 7 gezeigt wird, mit Ausnahme der folgenden Punkte sowie der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B. Information, die angibt, ob die Elektroentladungsbearbeitung ausgeführt wird, wird von der Steuervorrichtung 130 zu der Steuereinheit 70B übermittelt. Alle in 10 gezeigten Bestandteile sind bereits unter Bezugnahme auf 4 oder 7 erläutert worden. Daher werden diese Bestandteile durch dieselben Bezugszeichen versehen wie jene in 7 oder 8 verwendeten und werden hier nicht erläutert.
  • 11 ist ein Ablaufdiagramm eines Betriebsablaufs der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160B. 11 zeigt den Betrieb der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B, wenn der erste Bedingungswert und der zweite Bedingungswert (siehe die dritte Ausführungsform) auf einen gleichen Wert (nachstehend "Bedingungswert") festgelegt sind. Wie in 11 gezeigt führt die aktivierte Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B den Schritt S211 zum Bestimmen, ob die Elektroentladungsbearbeitung basierend auf der Information von der Steuervorrichtung 130 ausgeführt wird (siehe 10). Wenn die Elektroentladungsbearbeitung nicht ausgeführt wird, geht die Verarbeitung zu Schritt S213 (bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bestimmt, ob der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 (siehe 10) gemessene pH-Wert höher als der Bedingungswert ist. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bestimmt, dass der pH-Wert höher ist als der Bedingungswert, geht die Verarbeitung zum Schritt S215, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 der H+-Kationentauscherharzkolonne 17 zuführt und der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 (siehe 10). Die Reinigungseinheit 20B (siehe 10) reinigt hierbei das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1.
  • Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bei Schritt S213 bestimmt, dass der pH-Wert nicht höher als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S217, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bestimmt, ob der pH-Wert niedriger ist als der Bedingungswert. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bei Schritt S217 bestimmt, dass der pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung weiter zu Schritt S219, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80b das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 der Na+-Kationentauscherharzkolonne 7 (siehe 10) zuführt und der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8. Die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B (siehe 10) transformiert hierbei das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 in die Elektrolytlösung. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bei Schritt S217 bestimmt, dass der pH-Wert nicht niedriger als der Bedingungswert ist, kehrt die Verarbeitung zurück zu Schritt S211.
  • Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bei Schritt S211 bestimmt, dass die Elektroentladungsbearbeitung nicht vorgenommen wird, geht die Verarbeitung zu Schritt S221, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bestimmt, ob der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert höher als der Bedingungswert ist. Die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bei Schritt S221 bestimmt, dass der pH-Wert höher ist als der Bedingungswert, geht die Verarbeitung zu Schritt S215. Bei Schritt S215 führt die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 der H+-Kationentauscherharzkolonne 17 und der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 zu. Die Reinigungseinheit 20B reinigt hierbei das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1.
  • Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bei Schritt S221 bestimmt, dass der pH-Wert nicht höher als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S223, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bestimmt, ob der pH-Wert niedriger ist als der Bedingungswert. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bei Schritt S223 bestimmt, dass der pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung weiter zu Schritt S225, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8 zuführt. Der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 wird hierbei zu einer alkalischen Seite hin geregelt. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B bei Schritt S223 bestimmt, dass der pH-Wert nicht niedriger als der Bedingungswert ist, kehrt die Verarbeitung zurück zu Schritt S211.
  • 12 ist eine Tabelle einer Liste der Korrespondenz zwischen durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen pH-Werten, Betriebszuständen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B, jener der Reinigungseinheit 20B (siehe 7) und jener der OH–-Bildungseinheit, wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B in Übereinstimmung mit dem in 11 gezeigten Ablaufdiagramm betrieben wird. Die "OH–-Bildungseinheit" bedeutet die OH–-Anionentauscherharzkolonne 8, wenn das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 nicht der Na+-Kationentauscherharzkolonne 7 und der H+-Kationentauscherharzkolonne 17, die in 10 gezeigt ist, zugeführt wird, sondern nur der OH–-Anionentauscherharzkolonne 8.
  • Wie in 12 gezeigt, verursacht die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B die Reinigungseinheit 20B, wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert höher als der Bedingungswert ist unabhängig davon, ob die Elektroentladungsbearbeitung durchgeführt wird, zu arbeiten, während die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B und die OH–-Bildungseinheit gestoppt werden. Wenn die Elektroentladungsbearbeitung ausgeführt wird und der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B, zu arbeiten während die Reinigungseinheit 20B und die OH–Bildungseinheit gestoppt werden. Wenn die Elektroentladungsbearbeitung nicht durchgeführt wird und der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, verursacht die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B, dass die OH–Bildungseinheit arbeitet während die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10B und die Reinigungseinheit 20B gestoppt werden. Demnach steuert die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 und bereiter das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid auf.
  • Wie in der dritten Ausführungsform erläutert, ist die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B eine Vorrichtung, die nicht die Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 durch den Leitfähigkeitsmesser oder Ähnliches messen muss beim Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids aus dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1. Daher braucht die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160B, die die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B einschließt, nicht die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B mit einer Einrichtung zum Messen der Leitfähigkeit auszurüsten. Demgemäß können für das Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids erforderliche Kosten und Herstellungskosten oder Betriebskosten von jedem von der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B und der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160B leicht reduziert werden.
  • SIEBTE AUSFÜHRUNGSFORM
  • 13 ist ein schematisches Blockdiagramm noch eines anderen Beispiels der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Eine in 13 gezeigte Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160C ist eine Drahtelektroentladungsbearbeitungsvorrichtung, die die in der vierten Ausführungsform erläuterte Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C einschließt. Die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160C ist in ihrer Konfiguration gleich der in 10 gezeigten Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160B mit der Ausnahme der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C. Alle in 13 gezeigten Bestandteile sind bereits unter Bezugnahme auf 5 oder 7 erläutert worden. Daher werden jene Bestandteile durch dieselben Bezugszeichen versehen wie jene in 7 oder 8 gezeigten und werden hier nicht erläutert. Obwohl in 13 nicht gezeigt, wird das saure Wasser durch die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 erzeugt wird, dem Gebrauchtfluid-Tank 140 durch das Ablaufrohr 53 zugeführt.
  • 14 ist ein Ablaufdiagramm eines Betriebsablaufs der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C in der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160C. 14 zeigt den Betrieb der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C, wenn die ersten, zweiten und dritten Bedingungswerte (siehe die vierte Ausführungsform) auf einen gleichen Wert (nachstehend "Bedingungswert" genannt) festgelegt werden. Wie in 14 gezeigt, führt die aktivierte Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C den Schritt S231 durch um zu bestimmen, ob die Elektroentladungsbearbeitung basierend auf Information von der Steuervorrichtung 130 vorgenommen worden ist (siehe 13). Wenn die Elektroentladungsbearbeitung ausgeführt worden ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S233, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bestimmt, ob der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 (siehe 13) gemessene pH-Wert höher als der Bedingungswert ist. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 180C bestimmt, dass der pH-Wert höher als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S235. Bei Schritt S235 veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C die zweite Zufuhr 25 (siehe 13), zu arbeiten während sie die erste Zufuhreinheit 15 und die dritte Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60 stoppt. Die Reinigungseinheit 20A (siehe 13) reinigt hierbei das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1.
  • Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bei Schritt S233 bestimmt, dass der pH-Wert nicht höher als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S237, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bestimmt, ob der pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bei Schritt S237 bestimmt, dass der pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S239. Bei Schritt S239 veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80B die erste Zufuhreinheit 15 und die dritte Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60, zu arbeiten während die zweite Zufuhreinheit 25 gestoppt wird. Die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A (siehe 13) transformiert hierbei das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 in die Elektrolytlösung. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bei Schritt S237 bestimmt, dass der pH-Wert nicht niedriger als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zurück zu Schritt S31.
  • Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bei Schritt S241 bestimmt, dass die Elektroentladungsbearbeitung nicht durchgeführt wird, geht die Verarbeitung zu Schritt S231, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bestimmt, ob der durch die Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert höher als der Bedingungswert ist. Die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bei Schritt S241 bestimmt, dass der pH-Wert höher als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S235. Bei Schritt S235 veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C die zweite Zufuhreinheit 25, zu arbeiten, während sie die erste Zufuhreinheit 15 und die dritte Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60 stoppt. Die Reinigungseinheit 20A reinigt hierbei das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1.
  • Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bei Schritt S241 bestimmt, dass der pH-Wert nicht höher als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S243, bei dem die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bestimmt, ob der pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 800 bei Schritt S243 bestimmt, dass der pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, geht die Verarbeitung zu Schritt S245. Bei Schritt S245 veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C die dritte Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit 60 zu arbeiten während die erste Zufuhreinheit 15 und die zweite Zufuhreinheit 25 gestoppt werden. Der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 wird hierdurch zu einer alkalischen Seite hin reguliert. Wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C bei Schritt S243 bestimmt, dass der pH-Wert nicht niedriger als der Bedingungswert ist, kehrt die Verarbeitung zurück zu Schritt S231.
  • 15 ist eine Tabelle einer Korrespondenzliste zwischen durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen pH-Werten, Betriebszuständen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A, jener der Reinigungseinheit 20A und jener der elektrolytischen Wassererzeugungseinheit 50 (siehe 13), wenn die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C in Übereinstimmung mit dem in 14 gezeigten Ablaufdiagramm arbeitet. Wie in 15 gezeigt, veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C, wenn der von der Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert höher als der Bedingungswert ist unabhängig davon, ob die Elektroentladungsbearbeitung durchgeführt wird, die Reinigungseinheit 20A, zu arbeiten während die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A und die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50 gestoppt werden. Wenn die Elektroentladungsbearbeitung durchgeführt wird und der von der Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A und die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50, zu arbeiten, während die Reinigungseinheit 20A gestoppt wird. Wenn die Elektroentladungsbearbeitung nicht durchgeführt wird und der von der Fluidqualitätsmesseinheit 5 gemessene pH-Wert niedriger als der Bedingungswert ist, veranlasst die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C die elektrolytische Wassererzeugungseinheit 50, zu arbeiten, während die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit 10A und die Reinigungseinheit 20A gestoppt werden. Demnach steuert die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 und bereitet das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid auf.
  • Wie in der vierten Ausführungsform erläutert, ist die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C eine Vorrichtung, die nicht die Leitfähigkeit des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids 1 durch den Leitfähigkeitsmesser oder Ähnliches beim Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids aus dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid 1 messen muss. Daher braucht die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160C, die die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C einschließt, die Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C nicht mit einer Einrichtung zum Messen der Leitfähigkeit zu versehen. Demgemäß können zum Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids erforderliche Kosten und Herstellungskosten oder Betriebskosten sowohl der Fluidqualitätssteuervorrichtung 80C als auch der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung 160C leicht reduziert werden.
  • Das Fluidqualitätssteuerverfahren, die Fluidqualitätssteuervorrichtung und die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung sind soweit erläutert worden unter Bezugnahme auf die Ausführungsformen. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf die Ausführungsformen beschränkt und verschiedene Änderungen, Modifikationen, Kombinationen und Ähnliches können bei der Erfindung vorgenommen werden. Beispielsweise können die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid zu der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und der Reinigungseinheit führt, durch einen Pumpe und eine Kanalumschalteinheit gebildet werden, selbst wenn die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und die Reinigungseinheit jeweils durch getrennte Ionentauscherharzkolonnen gebildet werden.
  • Zudem ist in den ersten bis siebten Ausführungsformen das Fluidqualitätssteuerverfahren, die Fluidqualitätssteuervorrichtung oder die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung zum Messen des pH-Wertes des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids als Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids, und das Steuern der Fluidqualität (pH-Wert) des Fluidqualitätssollgrößenfluids in Übereinstimmung mit dem pH-Wert erläutert worden. Alternativ kann erfindungsgemäß die Leitfähigkeit (der spezifische Widerstand) des Fluidqualitätssollgrößenfluids als die Fluidqualität verwendet werden. In dieser Alternative ist die Fluidqualitätsmesseinheit in der Fluidqualitätssteuervorrichtung oder der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung beispielsweise der Leitfähigkeitsmesser. In diesem Fall werden die ersten, zweiten und dritten Bedingungswerte in geeigneter Weise in Übereinstimmung mit einem zulässigen Leitfähigkeitsbereich für das Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid festgelegt, um aus dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid die Performance des zum Regeln der Fluidqualität des Fluidqualitätssollgrößenfluids, die Fluidmenge des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids und Ähnliches zu erhalten. Wenn die Leitfähigkeit (spezifischer Widerstand) des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids als die Fluidqualität verwendet wird, kann die pH-Wert-Messeinheit beim Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids mit der geeigneten Fluidqualität, das bei der Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird, weggelassen werden.
  • GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
  • Wie bislang erläutert, können das Fluidqualitätssteuerverfahren, die Fluidqualitätssteuervorrichtung und die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung leicht die für das Aufbereiten des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids, das bei der Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird, erforderlichen Kosten reduzieren und die Herstellungskosten oder Betriebskosten sowohl der Fluidqualitätssteuervorrichtung als auch der Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung. Daher haben das Fluidqualitätssteuerverfahren, die Fluidqualitätssteuervorrichtung und die Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung die Wirkung, die Herstellungskosten verschiedener durch die Elektroentladungsbearbeitung hergestellter Produkte oder speziell verschiedener unter Verwendung des Hartmetallmaterials oder nicht passivierten Metallmaterials hergestellter Produkte zu reduzieren.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • FLUID-QUALITÄTSTEUERVERFAHREN; FLUID-QUALITÄTSTEUERVORRICHTUNG UND DIESE VERWENDENDE ELEKTROENTLADUNGSBEARBEITUNGSVORRICHTUNG
  • Wenn eine Fluidqualität eines Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid niedriger ist als ein erster Bedingungswert wird das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in eine Elektrolytlösung umgewandelt. Wenn die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid höher ist als ein zweiter Bedingungswert, wird das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid gereinigt. Die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid wird hierbei festgelegt um in einen vorbestimmten Bereich zu fallen, und das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid wird in die Elektrolytlösung mit einer Korrelation zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit umgewandelt. Daher kann beim Aufbereiten von Wasser enthaltendem Bearbeitungsfluid mit einer gewünschten Fluidqualität, das in einer Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird, entweder die Leitfähigkeitsmesseinheit oder pH-Wert-Messeinheit weggelassen werden.
    • 1
    Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid
    5
    Fluidqualitätsmesseinheit
    7
    Na+-Kationentauscherharzkolonne
    8
    OH–-Anionentauscherharzkolonne
    10A, 10B
    Elektrolytlösungsbehandlungseinheit
    15
    Erste Zufuhreinheit
    17
    H+-Kationentauscherharzkolonne
    20A, 20B
    Reinigungseinheit
    25
    Zweite Zufuhreinheit
    31
    Pumpe
    35
    Kanalumschalteinheit
    40
    Erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit
    50
    elektrolytische Wassererzeugungseinheit
    60
    Zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit
    67
    Speichereinheit
    68A, 68B, 68C
    Fluidqualitätssteuereinheit
    70A, 70B, 70C
    Steuereinheit
    80, 80A, 80B, 80C
    Fluidqualitätssteuervorrichtung
    120
    Bearbeitungsvorrichtungshauptteil
    130
    Steuervorrichtung
    140
    Gebraucht-Fluidtank
    160, 160A, 160B, 160C
    Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 63-191514 [0007]
    • - JP 4-141319 [0007]
    • - JP 2002-301624 [0007]
    • - JP 7-145491 [0007]

Claims (23)

  1. Fluidqualitätssteuerverfahren zum Ändern einer Fluidqualität eines gebrauchten Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids, das bei einer Elektroentladungsbearbeitung verwendet wird, oder eine Fluidqualität eines unverdünnten Fluids, das ein Material für das bei der Elektroentladungsbearbeitung verwendete Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid ist, in eine Wasserqualität des Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids für die Elektroentladungsbearbeitung, wobei das Fluidqualitätssteuerverfahren umfasst: einen Fluidqualitätsmessschritt zum Messen einer Fluidqualität eines Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids; und einen Fluidqualitätssteuerschritt, um, wenn die bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene Fluidqualität niedriger als ein erster Bedingungswert ist, in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltende Anionen durch vorbestimmte Anionen zu ersetzen und in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmte Kationen zu ersetzen, und das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in eine Elektrolytlösung umzuwandeln, und wenn die bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene Fluidqualität höher ist als ein zweiter Bedingungswert, der gleich oder höher als der erste Bedingungswert ist, das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid zu reinigen, wobei der Fluidqualitätsmessschritt und der Fluidqualitätssteuerschritt wiederholt ausgeführt werden, hierdurch die Fluidqualität des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids festlegend, dass sie in einen vorbestimmten Bereich fällt, und das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in die Elektrolytlösung mit einer Korrelation zwischen pH-Wert und Leitfähigkeit umwandelnd.
  2. Fluidqualitätssteuerverfahren nach Anspruch 1, wobei die Fluidqualität der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids ist.
  3. Fluidqualitätssteuerverfahren nach Anspruch 2, wobei das Umwandeln des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in eine Elektrolytlösung durch Ersetzen der in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungsanionen durch Hydroxyl-Ionen (OH–) und Ersetzen der in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungskationen durch Alkalimetallionen oder alkaline Erdemetallionen, hierdurch das Fluidqualitätszielfluid in die Elektrolytlösung umwandelnd.
  4. Fluidqualitätssteuerverfahren nach Anspruch 3, ferner umfassend: einen Unterschritt, um, wenn der bei dem Fluidqualitätsmessschritt gemessene pH-Wert niedriger ist als ein dritter Bedingungswert, eine Elektrolyse des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids auszuführen und durch eine Elektrolyse erzeugtes alkalisches Wasser zu dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid hinzuzufügen.
  5. Fluidqualitätssteuerverfahren nach Anspruch 2, wobei die Reinigung des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids durchgeführt wird durch Ersetzen der in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungsanionen durch Hydroxyl-Ionen (OH–) und durch Ersetzen der in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungskationen durch Wasserstoffionen (H+), hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid reinigend.
  6. Fluidqualitätssteuerverfahren nach Anspruch 2, wobei der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in einen Bereich von 8,5 bis 10,5 fällt.
  7. Fluidqualitätssteuervorrichtung, die ein Wasser enthaltendes Fluid für eine Elektroentladungsbearbeitung aufbereitet durch Steuern einer Fluidqualität eines gebrauchten bei der Elektroentladungsbearbeitung verwendeten Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids oder eines unverdünnten Fluids, das ein Material für das bei der Elektroentladungsbearbeitung verwendete Wasser enthaltende Bearbeitungsfluid ist, wobei die Fluidqualitätssteuervorrichtung umfasst: eine Fluidqualitätsmesseinheit, die eine Fluidqualität eines Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids misst; eine Elektrolytlösungsbehandlungseinheit, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungsanionen durch vorbestimmte Anionen ersetzt, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmte Kationen ersetzt, und die hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in eine elektrolytische Lösung mit einer Korrelation zwischen dem pH-Wert und der Leitfähigkeit umwandelt; eine Reinigungseinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid reinigt; eine erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid zu der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit oder der Reinigungseinheit zuführt; und eine Steuereinheit, die einen Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit in Übereinstimmung mit der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen Fluidqualität steuert, wobei die Steuereinheit einschließt: eine Speichereinheit, die einen ersten Bedingungswert und einen zweiten Bedingungswert, der gleich oder höher als der erste Bedingungswert ist, für die Fluidqualität speichert; und eine Fluidqualitätssteuereinheit, die den Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit in Übereinstimmung mit einem Größenzusammenhang zwischen sowohl dem ersten Bedingungswert als auch dem zweiten Bedingungswert und der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen Fluidqualität steuert.
  8. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Fluidqualität ein pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids ist.
  9. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungsanionen durch Hydroxylionen (OH–) ersetzt und die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungskationen durch Alkalimetallionen oder alkaline Erdemetallionen ersetzt, hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in die Elektrolytlösung umwandelnd.
  10. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Reinigungseinheit die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungsanionen durch Hydroxylionen (OH–) ersetzt und die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungskationen durch Wasserstoffionen (H+) ersetzt, hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid reinigend.
  11. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit eine OH–-Anionentauscherharzkolonne einschließt, die die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungsanionen durch Hydroxylionen (OH–) ersetzt, und eine Kationentauscherharzkolonne, die die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungskationen durch Alkalimetallionen oder Erdalkalimetallionen ersetzt, und die Reinigungseinheit eine OH–-Anionentauscherharzkolonne einschließt, die die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungsanionen durch Hydroxylionen (OH–) ersetzt und eine H+-Kationentauscherharzkolonne, die die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch Wasserstoffionen (H+) ersetzt.
  12. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 11, wobei die OH–-Anionentauscherharzkolonne, die die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit bildet, und die OH–-Anionentauscherharzkolonne, die die Reinigungseinheit bildet, eine OH–-Anionentauscherharzkolonne sind, die zwischen der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und der Reinigungseinheit geteilt wird.
  13. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 8, wobei die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit eine erste Zufuhreinheit einschließt, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit zuführt, und eine zweite Zufuhreinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Reinigungseinheit zuführt.
  14. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 8, wobei die erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit eine Kanalumschalteinheit einschließt, die selektiv einen Kanal des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids zwischen einer Seite der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit und einer Seite der Reinigungseinheit umschaltet, und eine Pumpe, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Kanalumschalteinheit zuführt.
  15. Fluidqualitätsregelungsvorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Fluidqualitätsregelungseinheit den Betrieb der Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit derart steuert, dass der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in einem Bereich von 8,5 bis 10,5 fällt.
  16. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 15, wobei die Fluidqualitätssteuereinheit den Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit steuert, um das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit zuzuführen, wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessene pH-Wert niedriger als der erste Bedingungswert ist, und den Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit steuert, um das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Reinigungseinheit zuzuführen, wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessene pH-Wert höher als der zweite Bedingungswert ist.
  17. Fluidqualitätssteuervorrichtung nach Anspruch 15, ferner umfassend: eine elektrolytische Wassererzeugungseinheit, die eine Elektrolyse des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids vornimmt und die alkalisches Wasser und ein saures Wasser erzeugt; und eine zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der elektrolytischen Wassererzeugungseinheit zuführt, wobei die Speichereinheit zudem einen dritten Bedingungswert für den pH-Wert speichert, und die Steuereinheit die Betriebsabläufe der Fluidqualitätsmesseinheit und der zweiten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit jeweils steuert und, wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessene pH-Wert niedriger ist als der dritte Bedingungswert, die Steuereinheit die elektrolytische Wassererzeugungseinheit und die zweite Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit steuert, um betrieben zu werden.
  18. Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung, umfassend: einen Bearbeitungsvorrichtungshauptteil, der eine impulsförmige Hochfrequenzspannung an eine Bearbeitungselektrode und ein Werkstück anlegt während Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid zwischen der Bearbeitungselektrode und dem Werkstück eingefügt ist, und der das Werkstück durch eine zwischen der Bearbeitungselektrode und dem Werkstück erzeugte Elektroentladung bearbeitet; eine Steuervorrichtung, die einen Betrieb des Bearbeitungsvorrichtungshauptteils steuert; einen Gebrauchtfluid-Tank, der ein benutztes Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid speichert; und eine Fluidqualitätssteuervorrichtung, die eine Fluidqualität des benutzten Wasser enthaltenden Bearbeitungsfluids oder eine Fluidqualität eines unverdünnten Fluids, das ein Material für ein Wasser enthaltendes Bearbeitungsfluid ist, steuert, wobei die Fluidqualitätssteuervorrichtung einschließt: eine Fluidqualitätsmesseinheit, die eine Fluidqualität eines Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids misst; eine Elektrolytlösungsbehandlungseinheit, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungsanionen durch vorbestimmte Anionen ersetzt, die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltene Verunreinigungskationen durch vorbestimmte Kationen ersetzt, und die hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in eine Elektrolytlösung mit einer Korrelation zwischen pH-Wert und Leitfähigkeit umwandelt; eine Reinigungseinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid reinigt; eine erste Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit, die das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der elektrolytischen Lösungsbehandlungseinheit oder der Reinigungseinheit zuführt; und eine Steuereinheit, die einen Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit in Übereinstimmung mit der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen Fluidqualität steuert, wobei die Steuereinheit einschließt: eine Speichereinheit, die einen ersten Bedingungswert, einen zweiten Bedingungswert, der gleich oder höher als der erste Bedingungswert ist, für die Fluidqualität speichert; und eine Fluidqualitätssteuereinheit, die den Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit in Übereinstimmung mit einem Größenzusammenhang zwischen sowohl dem ersten Bedingungswert als auch dem zweiten Bedingungswert und der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessenen Fluidqualität steuert.
  19. Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 18, wobei die Fluidqualitätsmesseinheit eine pH-Wert-Messeinheit ist, die den pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids misst.
  20. Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 19, wobei die Elektrolytlösungsbehandlungseinheit die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungsanionen durch Hydroxyl-Ionen (OH–) ersetzt und die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungskationen durch Alkalimetallionen oder Erdalkalimetallionen ersetzt, hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid in die Elektrolytlösung umwandelnd.
  21. Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 19, wobei die Reinigungseinheit die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungsanionen durch Hydroxyl-Ionen (OH–) ersetzt und die in dem Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid enthaltenen Verunreinigungskationen durch Wasserstoffionen (H+) ersetzt, hierdurch das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid reinigend.
  22. Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 19, wobei die Fluidqualitätssteuereinheit den Betrieb der Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit derart steuert, dass der pH-Wert des Fluidqualitätsregelungs-Zielfluids in einem Bereich von 8,5 bis 10,5 fällt.
  23. Elektroentladungsbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 22, wobei die Fluidqualitätssteuereinheit den Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit steuert, um das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Elektrolytlösungsbehandlungseinheit zuzuführen, wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessene pH-Wert niedriger als der erste Bedingungswert ist, und den Betrieb der ersten Fluidqualitätsregelungs-Zielfluidzufuhreinheit steuert, um das Fluidqualitätsregelungs-Zielfluid der Reinigungseinheit zuzuführen, wenn der durch die Fluidqualitätsmesseinheit gemessene pH-Wert höher als der zweite Bedingungswert ist.
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