DE112005002384T5

DE112005002384T5 - Leistungszuführungsvorrichtung und Prüfvorrichtung

Info

Publication number: DE112005002384T5
Application number: DE112005002384T
Authority: DE
Inventors: Yoshihiro Hashimoto
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-09-30
Filing date: 2005-09-21
Publication date: 2007-08-23
Also published as: KR20070065900A; CN101031806A; WO2006035654A1; US20070241729A1; TW200622256A; JP2006105620A

Abstract

Leistungszuführungsvorrichtung zum Zuführen eines Leistungszuführungsstroms zu einer elektronischen Vorrichtung, welche Leistungszuführungsvorrichtung aufweist:
eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgangsleistungsstrom ausgibt, der zumindest
teilweise den Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom zu der elektrischen Vorrichtung liefert durch elektrischen Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektronischen Vorrichtung;
ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das einen Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht durch Reduzieren einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist;
eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel zu dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teilleistungsstrom, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ist, verbraucht, wenn ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal, das die Herabsetzung des Leistungszuführungsstroms bestimmt, empfangen wird, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung beendet, wenn ein...

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Leistungszuführungsvorrichtung und eine Prüfvorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Leistungszuführungsvorrichtung und eine Prüfvorrichtung zum stabilen Zuführen eines Leistungszuführungsstroms zu einer elektronischen Vorrichtung.
Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die Japanische Patentanmeldung Nr. 2004-288930, die am 30. September 2004 eingereicht wurde und deren Inhalt hier einbezogen wird, wenn es in dem bezeichneten Staat anwendbar ist.
STAND DER TECHNIK
Elektronische Vorrichtungen wie CMOS-Halbleiter sind einer großen Änderung der Leistungszuführung unterworfen, wenn ihre internen Schaltungen in Betrieb sind. Herkömmlich sind Spannungserzeugungsschaltungen bekannt, deren erzeugte Spannungsschwankung, die zu einer Last bei einer Operationscharakteristikprüfung für eine elektronische Vorrichtung gegeben wird, klein ist (sieh das folgende Patentdokument 1).
[Patentdokument 1]
Japanische Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. H7-333249 (Seiten 2-4, 1-5)
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
Kürzliche Verbesserungen in der Nanotechnologie haben eine Geschwindigkeitsbeschleunigung und eine Spannungsherabsetzung von elektronischen Vorrichtungen vorangetrieben, die einen zulässigen Bereich für eine Schwankung der Leistungszuführungsspannung für elektronische Vorrichtungen verringert hat. Demgemäß benötigten Prüfvorrichtungen zum Prüfen derartiger elektronischer Vorrichtungen Leistungszuführungsvorrichtungen mit höherer Genauigkeit.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Leistungszuführungsvorrichtung und eine Prüfvorrichtung anzugeben, die die vorgenannten Probleme lösen können. Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Kombination der in den unabhängigen Ansprüchen der vorliegenden Erfindung wiedergegebenen Merkmale. Darüber hinaus definieren die abhängigen Ansprüche weitere vorteilhafte konkrete Beispiele der vorlie genden Erfindung.
MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
Um die vorgenannten Probleme zu lösen, ist gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Leistungszuführungsvorrichtung zum Zuführen eines Leistungszuführungsstroms zu einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen, welche Leistungszuführungsvorrichtung enthält: eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgangsleistungsstrom ausgibt, der zumindest teilweise den Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom zu der elektronischen Vorrichtung liefert durch elektrisches Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektronischen Vorrichtung; ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das einen Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht durch Reduzieren einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist; eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel zu dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teil Leistungsstrom verbraucht, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ist, wenn sie ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal empfängt, das die Herabsetzung des Leistungszuführungsstroms bestimmt, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung anhält, wenn sie ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfängt, das die Er höhung des Leistungszuführungsstroms bestimmt; eine Versetzungsadditionsschaltung, die eine durch Addieren einer Versetzungsspannung zu der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters erhaltene Spannung ausgibt; und eine Differenzerfassungsschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, während ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands, das nahe der elektronischen Vorrichtung positioniert ist, kleiner als eine erste Bezugsspannung ist, die durch Subtrahieren einer ersten Bezugspotentialdifferenz von der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird, wobei die Versetzungsadditionsschaltung gemäß einer Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters a) die Versetzungsspannung erhöht, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz erhöht ist, und b) die Versetzungsspannung herabsetzt, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz herabgesetzt ist.
Es ist auch eine Anordnung möglich, bei der die Differenzerfassungsschaltung a) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, während das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als eine zweite Bezugsspannung ist, die durch Subtrahieren einer Bezugspotentialdifferenz von der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die zweite Bezugsspannung wird, und die Versetzungsadditionsschaltung gemäß einer Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters a) die Versetzungsspannung erhöht, wenn die zweite Bezugspotentialdifferenz erhöht ist, und b) die Versetzungsspannung herabsetzt, wenn die zweite Bezugspotentialdifferenz herabgesetzt ist.
Es ist auch eine Anordnung möglich, bei der die Differenzerfassungsschaltung enthält: eine Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung, die entweder die erste Bezugsspannung oder die zweite Bezugsspannung, die kleiner als die Bezugsspannung ist, ausgibt, durch Teilen der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung; einen ersten Komparator, der a) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu einer Ausgangssignalleitung ausgibt, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die Bezugsspannung ist, und b) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der Ausgangssignalleitung ausgibt, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die Bezugsspannung ist; und eine Bezugsspannungs-Einstellschaltung, die gemäß dem Ausgangssignal von dem ersten Komparator bewirkt, dass die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung a) die zweite Bezugsspannung ausgibt, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird, und b) die erste Bezugsspannung ausgibt, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die zweite Bezugsspannung wird, und die parallele Lastschaltung auf der Grundlage des Leistungsstroms-Erhöhungssignals und des Leistungsstroms-Herabsetzungssignals, die von der Ausgangssignalleitung des ersten Komparators geliefert werden, a) den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Teilleistungsstrom verbraucht durch Leiten des Teilleistungsstroms zu einem Pfad, der parallel zu dem Verbindungswiderstand ist, während einer Periode, nachdem das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugs spannung geworden ist, ist das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die zweite Bezugsspannung wird, und b) das Leiten des Teilleistungsstroms zu dem parallelen Pfad anhält während einer Periode, nachdem das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die zweite Bezugsspannung geworden ist, ist das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird.
Es ist auch eine Anordnung möglich, bei der die Versetzungsadditionsschaltung enthält: einen ersten Widerstand, der mit einer dritten Bezugsspannung verbunden ist, die höher als die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters ist, einen zweiten Widerstand, der zwischen einem Ausgang der Versetzungsadditionsschaltung und ein Ende des ersten Widerstands, mit dem die dritte Bezugsspannung nicht verbunden ist, geschaltet ist; und einen zweiten Komparator, der die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters und eine Spannung an einer Verbindung zwischen dem ersten Widerstand und dem zweiten Widerstand empfängt, wobei der zweite Komparator a) die Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung verringert, wenn die Spannung an der Verbindung größer als die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters ist, und b) die Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung anhebt, wenn die Spannung an der Verbindung kleiner als die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters ist.
Die Leistungszuführungsvorrichtung kann weiterhin enthalten: eine Verzögerungsschaltung, die stärker einen Zeitpunkt des Startens des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals zu der parallelen Lastschaltung verzögert, wenn eine Periode von dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zum Beginn der Zu führung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung länger ist.
Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Leistungszuführungsvorrichtung zum Zuführen eines Leistungszuführungsstroms zu einer elektrischen Vorrichtung vorgesehen, welche Leistungszuführungsvorrichtung enthält: eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgangsleistungsstrom ausgibt, der zumindest teilweise einen Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom zu der elektronischen Vorrichtung liefert durch elektrisches Verbindung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektronischen Vorrichtung; ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das den Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht durch Herabsetzen einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist; eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel zu dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teilleistungsstrom verbraucht, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ist, wenn ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal empfangen wird, das die Herabsetzung des Leistungszuführungsstroms bestimmt, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung anhält, wenn ein die Erhöhung des Leistungszuführungsstroms bestimmendes Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfangen wird; eine Differenzerfassungsschaltung, die a) das Leistungs strom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands, das sich nahe der elektronischen Vorrichtung befindet, kleiner als eine erste Bezugsspannung ist, die durch Subtrahieren eines vorbestimmten Wertes von der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird; und eine Verzögerungsschaltung, die einen Zeitpunkt des Startens der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals zu der parallelen Lastschaltung stärker verzögert, wenn eine Periode von dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zu dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung länger ist.
Es ist auch eine Anordnung möglich, bei der, wenn die Periode seit dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zum Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung länger ist, die Verzögerungsschaltung eine Zeitverzögerung von der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zu der Zuführung des Leistungsstrom-Erfassungssignals zu der parallelen Lastschaltung länger einstellt als eine Zeitverzögerung von der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals von der Differenzerfassungsschaltung bis zu der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals zu der parallelen Lastschaltung.
Die Verzögerungsschaltung kann enthalten: eine Basisleistungsstrom-Zuführungsschaltung, die a) einen ersten Basisleistungsstrom liefert, wenn das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal von der Differenzerfassungsschaltung zugeführt wird, und b) einen zweiten Basisleistungsstrom liefert, der größer als der erste Basisleistungsstrom ist, wenn das Leistungsstrom-Erhöhungssignal von der Differenzerfassungsschaltung zugeführt wird; einen Transistor, der an einer Basis den von der Leistungsstrom-Zuführungsschaltung gelieferten Basisleistungsstrom empfängt und gesättigt wird, wenn er den zweiten Basisleistungsstrom empfängt; und eine Steuersignal-Ausgabeschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, währen einer EIN-Periode des Transistors, die zusammengesetzt ist aus einer Periode, während der der Transistor den zweiten Basisleistungsstrom empfängt, und einer Periode, während der der Transistor gesättigt ist; und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert während einer AUS-Periode, während der der Transistor den ersten Leistungsstrom empfängt und der Transistor nicht gesättigt ist.
Die Basisleistungsstrom-Zuführungsschaltung kann enthalten: ein erstes Tor, das a) ein Signal mit dem Pegel H ausgibt, wenn ihm das Leistungsstrom-Erhöhungssignal von der Differenzerfassungsschaltung zugeführt wird, und b) ein Signal mit dem Pegel l ausgibt, wenn ihm das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal von der Differenzerfassungsschaltung zugeführt wird; einen dritten Widerstand, der zwischen einem Ausgang des ersten Tors und der Basis des Transistors vorgesehen ist; und eine Diode, die parallel zu dem dritten Widerstand vorgesehen ist, wobei der Ausgang des ersten Tors und die Kathode jeweils mit der Basis des Tran sistors und der Anode verbunden sind.
Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen, welche Prüfvorrichtung enthält: eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgangsleistungsstrom ausgibt, der zumindest teilweise einen von der elektronischen Vorrichtung zu empfangenden Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der zu der elektronischen Vorrichtung den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom liefert durch elektrisches Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektronischen Vorrichtung; ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das den Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht durch Herabsetzen einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist; eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel mit dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teilleistungsstrom verbraucht, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ist, wenn ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal, das die Herabsetzung des Leistungszuführungsstroms bestimmt, empfangen wird, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung anhält, wenn ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal, das die Erhöhung des Leistungszuführungsstroms bestimmt, empfangen wird; eine Versetzungsadditionsschaltung, die eine Spannung ausgibt, die durch Addieren einer Versetzungsspannung zu der Ausgangsspan nung des Tiefpassfilters erhalten wurde; und eine Differenzerfassungsschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, während ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands, das sich nahe der elektronischen Vorrichtung befindet, kleiner ist als eine erste Bezugsspannung, die erhalten wurde durch Subtrahieren einer ersten Bezugspotentialdifferenz von dem Ausgangssignal der Versetzungsadditionsschaltung, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird; eine Mustererzeugungsschaltung, die ein in die ein in die elektronische Vorrichtung einzugebendes Prüfmuster erzeugt; eine Signaleingabeschaltung, die das Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung liefert, die den Leistungszuführungsstrom empfängt; und eine Beurteilungsschaltung, die beurteilt, ob die elektronische Vorrichtung fehlerhaft oder fehlerfrei ist, auf der Grundlage eines Signals, das die elektronische Vorrichtung gemäß dem Prüfmuster ausgibt, wobei die Versetzungsadditionsschaltung a) die Versetzungsspannung erhöht, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz erhöht ist, und b) die Versetzungsspannung herabsetzt, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz herabgesetzt ist, entsprechend einer Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters.
Gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen, welche Prüfvorrichtung enthält: eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgabeleistungsstrom ausgibt, der zumindest teilweise den Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der den von der Leistungs strom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom zu der elektronischen Vorrichtung liefert durch elektrisches Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektronischen Vorrichtung; ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das einen Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht durch Herabsetzen einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist; eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel zu dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teilleistungsstrom verbraucht, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ist, wenn ein die Herabsetzung des Leistungszuführungsstroms bestimmendes Leistungsstrom-Herabsetzungssignal empfangen wird, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung anhält, wenn ein die Erhöhung des Leistungszuführungsstroms bestimmendes Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfangen wird; eine Differenzerfassungsschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands, das sich nahe der elektronischen Vorrichtung befindet, kleiner als eine erste Bezugsspannung ist, die durch Subtrahieren eines vorbestimmten Wertes von der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer wird als die erste Bezugsspannung; eine Verzögerungsschaltung, die einen Zeit punkt des Startens der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals zu der parallelen Lastschaltung stärker verzögert, wenn eine Periode von dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zu dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung länger ist; eine Mustererzeugungsschaltung, die ein in die elektronische Vorrichtung einzugebendes Prüfmuster erzeugt; eine Signaleingabeschaltung, die das Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung liefert, die den Leistungszuführungsstrom empfängt; und eine Beurteilungsschaltung, die beurteilt, ob die elektronische Vorrichtung fehlerhaft oder fehlerfrei ist, auf der Grundlage eines Signals, das die elektronische Vorrichtung gemäß dem Prüfmuster ausgibt.
Die vorstehende Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
Die vorliegende Erfindung sieht eine Leistungszuführungsvorrichtung, die eine stabile Leistungszuführungsspannung zu einer elektronischen Vorrichtung liefert, und eine Prüfvorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung mit hoher Genauigkeit unter Verwendung der Leistungszuführungsvorrichtung prüft, vor.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
2 zeigt eine Konfiguration einer Leistungszuführungsschaltung 106 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
3 zeigt eine Konfiguration einer Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 106 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
4 zeigt ein Beispiel für eine von der Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung durchgeführte Operation.
5 zeigt ein Beispiel für eine von der Leistungszuführungs-Verbrauchsschaltung 306 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung durchgeführte detaillierte Operation.
6 zeigt eine Konfiguration einer Versetzungsadditionsschaltung 450 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
7 zeigt ein Beispiel für eine Bezugspotentialdifferenz in einer Prüfvorrichtung 100, die nicht mit der Versetzungsadditionsschaltung 450 versehen ist.
8 zeigt ein Beispiel für eine Bezugspotentialdifferenz in einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
9 zeigt eine Konfiguration einer Verzögerungsschaltung 452 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
10 zeigt ein Beispiel für eine von der Verzögerungsschaltung 452 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung durchgeführte Operation.
11 zeigt eine Beziehung zwischen einer von der Prüfvorrichtung 100 durchgeführten Operation und einem Ausgangsleistungsstrom von einer Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
12(a) und 12(b) zeigen jeweils ein Beispiel für eine detaillierte Operation, die von der Prüfvorrichtung 100 mittels der Verzögerungsschaltung 452 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung durchgeführt wird.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nachfolgend wird ein Aspekt der vorliegenden Erfindung durch ein oder mehrere Ausführungsbeispiele beschrieben. Die Ausführungsbeispiele sollen die Erfindung in den Ansprüchen nicht beschränken, und nicht alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen erläuterten Merkmale sind immer notwendig für die Mittel zum Lösen der vorliegenden Erfindung.
1 zeigt eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel zusammen mit einer elektronischen Vorrichtung 50. Die elektronische Vorrichtung 50 ist eine Vorrichtung, die einer Prüfung zu unterziehen ist (DUT), wie eine LSI. Die Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Beispiel hat das Ziel, die elektronische Vorrichtung 50 mit hoher Genauigkeit zu prüfen. Die Prüfvorrichtung 100 enthält eine Steuerschaltung 110, eine Leistungszuführungsschaltung 106, eine Mustererzeugungsschaltung 102, eine Signaleingabeschaltung 104 und eine Beurteilungsschaltung 108. Die Steuerschaltung 110 steuert die Leistungszuführungsschaltung 106, die Mustererzeugungsschaltung 102, die Signaleingabeschaltung 104 und die Beurteilungsschaltung 108.
Die Leistungszuführungsschaltung 106 ist eine Leistungszuführungsvorrichtung zum Zuführen eines Leistungszuführungsstroms zu der elektronischen Vorrichtung 50. Die Mustererzeugungsschaltung 102 erzeugt ein in die elektronische Vorrichtung 50 einzugebendes Prüfmuster und liefert das erzeugte Prüfmuster zu der Signaleingabeschaltung 104. Die Signaleingabeschaltung 104 liefert das Prüfmuster zu der den Leistungszuführungsstrom von der Leistungszuführungsschaltung 106 empfangenden elektronischen Vorrichtung 50 zu einem voreingestellten Zeitpunkt durch Verzögern des Prüfmusters um beispielsweise eine vorbestimmte Zeitverzögerung. Die Beurteilungsschaltung 108 beurteilt, ob die elektronische Vorrichtung 50 fehlerhaft oder fehlerfrei ist, auf der Grundlage eines Signals, das die elektronische Vorrichtung 50 gemäß dem Prüfmuster ausgibt.
2 zeigt eine Konfiguration der Leistungszuführungsschaltung 106 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, zusammen mit der elektronischen Vor richtung 50. Die Leistungszuführungsschaltung 106 enthält eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302, eine Verbindungsleitung 106, mehrere Kondensatoren (214, 216) und einen Widerstand 212. Bei dem vorliegenden Beispiel empfängt die elektronische Vorrichtung 50 eine Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 als eine Leistungszuführungsspannung.
Bei dem vorliegenden Beispiel sind eine Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306, der Kondensator 214, der Kondensator 216 und der Widerstand 212 in einer Benutzerschnittstelle 150 vorgesehen. Die Benutzerschnittstelle 150 ist ein Beispiel für ein Drucksubstrat, auf dem die Verdrahtung zum elektrischen Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 und der elektronischen Vorrichtung 50 vorgesehen ist. Ein Beispiel für die Benutzerschnittstelle 150 ist eine Funktionsplatte zum Befestigen der elektronischen Vorrichtung 50. Es ist festzustellen, dass die Prüfvorrichtung 100 die elektronische Vorrichtung 50 beispielsweise in dem Zustand einer Halbleiterscheibe prüfen kann. In einem derartigen Fall ist die elektronische Vorrichtung 50 beispielsweise über eine Sondenkarte mit der Benutzerschnittstelle 150 verbunden.
Die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 ist eine Vorrichtungsleistungsquelle, die Leistung zu der elektronischen Vorrichtung 50 liefert. Die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 liefert einen Leistungszuführungsstrom iR1, der zumindest ein Teil eines Ausgangsleistungsstroms ist, über die Verbindungsleitung 206 und den Widerstand 212 zu der elektronischen Vorrichtung 50 durch Ausgeben einer Spannung auf der Grundlage beispielsweise eines Befehls der Steuerschaltung 110. Bei dem vorliegenden Beispiel bildet der Leistungszuführungsstrom iR1 zumindest einen Teil des von der elektronischen Vorrichtung zu empfangenden Leistungszuführungsstroms Io.
Wenn der Betrieb der Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 durch die Steuerschaltung 110 angeordnet ist, verbraucht die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 einen Teilleistungsstrom IL, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 ist, durch Leiten desselben zu einem Pfad, der parallel zu der elektronischen Vorrichtung 50 ist. In diesem Fall liefern die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 und die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 eine Größe des Leistungsstroms, die erhalten ist durch Subtrahieren des Teilleistungsstroms IL von dem Ausgangsleistungsstrom, als den Leistungszuführungsstrom iR1 zu der elektronischen Vorrichtung 50.
Zusätzlich erfasst die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 die Herabsetzung der Anschlussspannung Vo des Kondensators 2016 auf der Grundlage der an dem Widerstand 212 erzeugten Spannung. Wenn die Herabsetzung der Anschlussspannung Vo erfasst wurde, beendet die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 den Verbrauch des Teilleistungsstroms IL. In diesem Fall erhöhen die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 und die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 den Leistungszuführungsstrom iR1 durch Liefern im Wesentlichen des gesamten Ausgangsleistungsstroms zu der elektronischen Vorrichtung 50 als den Leistungszuführungsstrom iR1, wodurch die Anschlussspannung Vo angehoben wird. Als eine Folge ermöglicht das vorliegende Beispiel, die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 stabil zu halten, wodurch ermöglicht wird, dass die elektronische Vorrichtung 50 mit hoher Genauigkeit geprüft wird.
Die Verbindungsleitung 206 ist beispielsweise ein Koaxialkabel und verbindet elektrisch die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 und die Benutzerschnittstelle 150. Der Kondensator 214 ist ein Beispiel für einen Glättungskondensator, dessen eines Ende über die Verbindungsleitung 206 mit der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 verbunden ist, und dessen anderes Ende mit Erde verbunden ist. Das eine Ende des Kondensators 214 ist elektrisch mit dem Widerstand 212 verbunden. Demgemäß ist der Kondensator 214 in der Lage, den Leistungszuführungsstrom Io der elektronischen Vorrichtung 50 stromaufwärts des Widerstands 212 in der Leistungsstromrichtung zu glätten, durch Glätten von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 ausgegebenen Leistungszuführungsstrom iR1.
Der Kondensator 216 ist ein Beispiel für einen vorrichtungsseitigen Kondensator, und er hat eine kleinere Kapazität als die des Kondensators 214. Zusätzlich ist ein Ende des Kondensators 216 mit der elektronischen Vorrichtung 50 verbunden, und das andere Ende ist mit Erde verbunden. Weiterhin ist das eine Ende des Kondensators 216 über den Widerstand 212 elektrisch mit den Kondensator 214 verbunden. Demgemäß glättet der Kondensator 216 den Leistungszuführungsstrom iR1 weiter stromabwärts des Widerstands 212 in der Leistungsstromrichtung. Der Kondensator 216 kann den Leistungszuführungsstrom Io, den der Widerstand 212 zu der elektronischen Vorrichtung 50 liefert, glätten.
Der Widerstand 212 ist ein Beispiel für einen Verbindungswiderstand, und er ist zwischen jeweiligen Enden des Kondensators 214 und des Kondensators 216, die nicht mit Erde verbunden sind, vorgesehen. Demgemäß verbindet der Widerstand 212 die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 und die elektronische Vorrichtung 50 elektrisch und liefert den Leistungszuführungsstrom iR1 zu der elektronischen Vorrichtung 50.
Zusätzlich liefert der Widerstand 212 die an seinen beiden Enden gemäß dem Leistungszuführungsstrom iR1 bewirkte Spannung zu der Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306. Während dieses Vorgangs wird der Widerstand 212 verwendet, um die Herabsetzung der Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 zu erfassen, anstelle des Absolutwertes des fließenden Leistungsstroms. Aus diesem Grund kann der Widerstand 212 ein Musterwiderstand sein, der in der Benutzerschnittstelle 150 gebildet ist. Der elektrische Widerstand des Widerstands 212 kann beispielsweise angenähert 5 mΩ sein. Beispielsweise kann der Widerstand 212 ein Musterwiderstand sein, dessen Dicke der Kupferverdrahtung etwa 35 μm, die Musterbreite etwa 10 mm und die Musterlänge etwa 10 cm betragen.
Es wird der Fall angenommen, in welchem der Kondensator 214 und der Kondensator 216 beispielsweise durch einen einzigen Kondensator ersetzt sind zu dem Zweck des Glättens des Leistungszuführungsstroms Io. Wenn der einzige Kondensator eine kleine Kapazität hat, wird die Schwankung der Anschlussspannung des Kondensators, die mit der Änderung des Leistungszuführungsstroms Io verbunden ist, groß, was zu einer instabilen Leistungszuführungsspannung für die elektronische Vorrichtung 50 führt. Demgegenüber benötigt, wenn der einzige Kondensator eine große Kapazität hat, die erforderliche Wiedererholung, wenn sich die Anschlussspannung des Kondensators geändert hat, Zeit, wodurch es schwierig wird, eine angemessene Leistungszuführungsspannung für die elektronische Vorrichtung 50 aufrechtzuerhalten.
Andererseits sieht das vorliegende Ausführungsbeispiel einen Kondensator 216 zum Glätten des Leistungszuführungsstroms Io in der unmittelbaren Nähe der elektronischen Vorrichtung 50 sowie den Kondensator 214 zum Glätten eines großen Leistungszuführungsstroms iR1 bei der Durchführung einer Funktionsprüfung der elektronischen Vorrichtung 50 oder dergleichen vor. Die festgestellt Anordnung betreffend das Vorsehen der Kondensatoren 214 und 216 ermöglicht die Herabsetzung von Schwankungen der Leistungszuführungsspannung, die durch die Schwankung des Leistungszuführungsstroms Io bei der Durchführung beispielsweise einer Funktionsprüfung verursacht werden.
Es wird hier angenommen, dass die Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50 gleich 2 V ist, und der zulässige Schwankungsbereich der Leistungszuführungsspannung beträgt 5%. Dann sollte die Schwankung der Leistungszuführungsspannung nicht mehr als angenähert 50 mV sein, wobei weiterhin die Toleranz von 0,5 berücksichtigt wird. In diesem Fall kann die Kapazität des Kondensators 214 beispielsweise (0,4 A × 5 μ Sekunden)/50 mV = 40 μF sein, unter der Annahme, dass bei einer Funktionsprüfung die Funktionsrate 10 n Sekunden, der Spitzenleistungsstrom 1A, die Periode, während der der Spitzenleistungsstrom fließt 4 n Sekunden und die zum Ändern des Ausgangsleitungsstroms mittels der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 und der Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 erforderliche Ansprechzeit 5 μ Sekunden betragen. Weiterhin kann der Kondensator 216 beispielsweise eine Kapazität haben, deren Größe nicht mehr als etwa 1/10 der Kapazität des Kondensators 214 entspricht.
3 zeigt eine Konfiguration der Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 enthält ein Tiefpassfilter 402, eine Versetzungsadditionsschaltung 450, eine Differenzerfassungsschaltung 412, eine Verzögerungsschaltung 452, eine Lasttreiberschaltung 410 und deine parallele Lastschaltung 304. Das Tiefpassfilter, die Versetzungsadditionsschaltung 450, die Differenzerfassungsschaltung 412, die Verzögerungsschaltung 452, die Lasttreiberschaltung 410 und die parallele Lastschaltung 304 können in der Benutzerschnittstelle 150 vorgesehen sein (siehe 2). Das Tiefpassfilter 402 enthält einen Widerstand und einen Kondensator, wobei der Widerstand ein leistungsquellenseitiges Ende des Widerstands 212, das nahe der Verbindungsleitung 206 positioniert ist, mit einem Ende des Kondensators verbindet. Das andere des Kondensators des Tiefpassfilters 402 ist mit Erde verbunden. Demgemäß empfängt das Tiefpassfilter 402 die Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 (siehe 2), setzt die Hochfrequenzkomponente von dieser herab und liefert das Ergebnis über die Versetzungsadditionsschaltung 450 zu der Differenzerfassungsschaltung 412.
Es ist wünschenswert, dass das Tiefpassfilter 402 eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als die Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung 50 empfangenen Leistungszuführungsstrom Io ist. In diesem Fall reduziert das Tiefpassfilter 402 eine Frequenzkomponente, die höher als diese Grenzfrequenz ist, um den Durchgang der Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 zu ermöglichen. Zusätzlich empfängt bei diesem Beispiel das Tiefpassfilter 402 die Spannung Vi an dem leis tungsquellenseitigen Ende des Widerstands 212 als eine Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 und liefert die durch Reduzieren des Hochfrequenzkomponente der Spannung Vi erhaltene Spannung Vref über die Versetzungsadditionsschaltung 450 zu der Differenzerfassungsschaltung 412.
Die Versetzungsadditionsschaltung 450 stellt die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ein durch Ausgabe der Spannung, die durch Addieren einer Versetzungsspannung zu der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402 erhalten wurde. Hier ändert sich, wenn eine Prüfung der Änderung der Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50 durchgeführt wird oder wenn elektronische Vorrichtungen 50 miteinander unterschiedlichen Leistungszuführungs-Spannungsspezifikationen geprüft werden, die Differenz zwischen der Leistungszuführungsspannung und der Vergleichsspannung der Differenzerfassungsschaltung 412 gemäß der Änderung der Leistungszuführungsspannung. Angesichts dieses Umstands addiert die Versetzungsadditionsschaltung 450 eine Versetzungsspannung zu der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402 gemäß der Änderung der Leistungszuführungsspannung, wodurch die Schwankung der Differenz zwischen der Leistungszuführungsspannung und der Vergleichsspannung der Differenzerfassungsschaltung 412 gedrosselt wird.
Die Differenzerfassungsschaltung 412 vergleicht die Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung 450 (d.h., die Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung 450 wird erhalten durch Einstellen der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 durch die Versetzungsadditionsschaltung 450) und das Potential Vo an einem vorrichtungsseitigen Ende des Wider stands 212, das nah der elektronischen Vorrichtung 50 positioniert ist. Dann steuert auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses die Differenzerfassungsschaltung 412 mittels der parallelen Lastschaltung 304, ob zumindest ein Teil des Ausgangsleistungsstroms der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 verbraucht werden soll. Genauer gesagt, die Differenzerfassungsschaltung 412 liefert ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung 304, wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die erste Bezugsspannung VH, die durch Subtrahieren eines vorbestimmten Wertes von Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 erhalten wurde, ist. Demgegenüber liefert, wenn die Anschlussspannung Vo größer als die erste Bezugsspannung VH wird, die Differenzerfassungsschaltung 412 ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung 304. Das Leistungsstrom-Erhöhungssignal dient zur Anweisung der parallelen Lastschaltung 304, den Leistungszuführungsstrom zu erhöhen.
Zusätzlich liefert, wenn die Anschlussspannung Vo größer als eine zweite Bezugsspannung VL, die durch Subtrahieren eines vorbestimmten Wertes von der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 erhalten wurde, ist, die Differenzerfassungsschaltung 412 ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung 304. Demgegenüber liefert, wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die zweite Bezugsspannung VL wird, die Differenzerfassungsschaltung 412 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung 304. Das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal dient zur Anweisung der parallelen Lastschaltung 304, den Leistungszuführungszuführungsstrom herabzusetzen. Wenn eine Hysterese vorgesehen ist, wird die zweite Bezugsspannung VL auf einen kleineren Wert als die erste Bezugsspannung VH gesetzt. Bei einer Konfiguration, die die Versetzungsadditionsschaltung 450 nicht verwendet, ist der Ausgang des Tiefpassfilters 402 mit der Differenzerfassungsschaltung 412 verbunden.
Die Differenzerfassungsschaltung 412 enthält eine Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406, einen Komparator 414, und eine Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408.
Die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 hat mehrere Widerstände 502, 504 und 506, die in Reihe verbunden sind und zwischen dem Ausgang der Versetzungsadditionsschaltung 450 und Erdpotential vorgesehen sind. Die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 gibt ein Potential eines Knotens zwischen dem Widerstand 502 und dem Widerstand 504 als eine zu dem Komparator 414 zu liefernde Bezugsspannung aus. Demgemäß gibt die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 eine Bezugsspannung aus, die erhalten wurde durch Teilen der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402 auf der Grundlage des elektrischen Widerstandsverhältnisses der mehreren Widerstände 502, 504 und 506.
Zusätzlich empfängt die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 das Ausgangssignal von der Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 an dem Knoten zwischen dem Widerstand 504 und dem Widerstand 506. Demgemäß gibt die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 entweder die erste Bezugsspannung oder die zweite Bezugsspannung gemäß dem Ausgangssignal der Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 aus.
Der Komparator 414 empfängt die von der Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 ausgegebene Bezugsspannung an dem positiven Eingang, und er empfängt das Poten tial an dem vorrichtungsseitigen Ende des Widerstands 212, das nahe der elektronischen Vorrichtung 50 positioniert ist, an dem negativen Eingang. Dann vergleicht der Komparator 414 die Bezugsspannung und die Potential an dem vorrichtungsseitigen Ende. Durch Empfangen einer Ausgangsspannung von dem Tiefpassfilter 402 über die Versetzungsadditionsschaltung 450 und die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 kann die Differenzerfassungsschaltung 412 eine Potentialdifferenz zwischen der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402, die durch die Versetzungsadditionsschaltung 450 eingestellt wurde, und dem Potential an dem vorrichtungsseitigen Ende des Widerstands 212 erfassen. Dann liefert der Komparator 414 das Ergebnis des Vergleichs von diesem zu der Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 beispielsweise mittels eines geöffneten Kollektorausgangs. Beispielsweise öffnet der Komparator 414 den Ausgang, wenn das Potential des positiven Eingangs größer als das Potential des negativen Eingangs ist, und erdet den Ausgang, wenn das Potential des positiven Eingangs kleiner als das Potential des negativen Eingangs ist.
Es ist festzustellen, dass das vorrichtungsseitige Ende des Widerstands 212 bei dem vorliegenden Beispiel mit einem Ende des Kondensators 216 verbunden ist. Demgemäß ist das Potential des vorrichtungsseitigen Endes gleich der Anschlussspannung Vo des Kondensators 216. Wenn die Funktion des Drosselns der Schwankung der Breite der Hysterese nicht verwendet wird, kann der Komparator 414 eine Konfiguration des Vergleichens der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402 und der Anschlussspannung Vo annehmen.
Die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 enthält eine Konstantspannungsquelle 508 und mehrere Widerstän de 510 und 518. Die Konstantspannungsquelle 508 gibt eine vorbestimmte Spannung VCC1 aus. Der Widerstand 510 verbindet den positiven Pol der Konstantspannungsquelle 508 mit dem Ausgangsende des Komparators 414. Der Widerstand 518 verbindet das Ausgangsende des Komparators 414 mit dem stromaufwärtsseitigen Ende des Widerstands 506 in der Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406.
Wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die Bezugsspannung ist, öffnet der Komparator 414 den Ausgang. In diesem Fall liefert die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 die Ausgangsspannung VCC1 der Konstantstromquelle 508 zu dem stromaufwärtsseitigen Ende des Widerstands 506 über die Widerstände 510 und 518.
Demgemäß gibt die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 eine erste Bezugsspannung VH zu dem positiven Eingang des Komparators 414 aus, wo die erste Bezugsspannung VH auf der Grundlage des Ausgangssignals der Versetzungsadditionsschaltung 450, des elektrischen Widerstandsverhältnis der Widerstände 502, 504, 506, 510 und 518 und der Ausgangsspannung VCC1 der Konstantstromquelle 508 bestimmt wird. In diesem Fall entspricht, wenn angenommen wird, dass der durch den Widerstand 502 bewirkte Spannungsabfall eine erste Bezugspotentialdifferenz V(R11)H ist, dann die erste Bezugsspannung VH einer Spannung, die durch Subtrahieren der ersten Bezugspotentialdifferenz V(R11)H von der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung 450 erhalten wurde.
Wenn die Anschlussspannung Vo größer als die Bezugsspannung ist, erdet der Komparator 414 den Ausgang. In diesem Fall erdet die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 das stromaufwärtsseitige Ende des Widerstands 506 über den Widerstand 518. Folglich gibt aufgrund der Abnahme des Potentials des stromaufwärtsseitigen Endes des Widerstands 506 die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 die zweite Bezugsspannung VL zu dem positiven Eingang des Komparators 414 aus, wo die zweite Bezugsspannung VL kleiner als die erste Bezugsspannung VH ist, und bestimmt ist auf der Grundlage des Ausgangssignals der Versetzungsadditionsschaltung 450 sowie des elektrischen Widerstandsverhältnisses der elektrischen Widerstände 502, 504, 506 und 518. In diesem Fall entspricht, wenn angenommen wird, dass der durch den Widerstand 502 bewirkte Spannungsabfall eine zweite Bezugspotentialdifferenz V(R11)L ist, die zweite Bezugsspannung VL einer Spannung, die durch Subtrahieren der zweiten Bezugspotentialdifferenz V(R11)L von der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung 450 erhalten wurde.
Folglich steuert die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406, um die zweite Bezugsspannung VL auszugeben, wenn die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 größer wird als die erste Bezugsspannung VH, auf der Grundlage des Ausgangssignals des Komparators 414. Demgegenüber steuert, wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die zweite Bezugsspannung VL wird, die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406, um die erste Bezugsspannung VH auszugeben. Demgemäß gibt die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 die Bezugsspannung aus, die sich durch eine Hysterese ändert, auf der Grundlage des Ausgangssignals der Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408.
Die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 liefert das Potential Va eines Knotens zwischen dem Widerstand 510 und dem Widerstand 518 über die Verzögerungsschaltung 452 zu der Lasttreiberschaltung 410. Demgemäß liefert die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408, wenn die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 kleiner als die von der Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 ausgegebene Bezugsspannung ist, ein Signal mit dem Pegel H zu der Lasttreiberschaltung 410 in Übereinstimmung mit dem Ausgangssignal des Komparators 414. Als eine Folge ist der Komparator 414 in der Lage, das Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H zu der Ausgangssignalleitung auszugeben, wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die Bezugsspannung ist.
Andererseits liefert, wenn die Anschlussspannung Vo größer als die Bezugsspannung ist, die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 ein Signal mit dem Pegel L zu der Lasttreiberschaltung 410. Als eine Folge ist der Komparator 414 in der Lage, ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel L zu der Ausgangssignalleitung auszugeben, wenn die Anschlussspannung Vo größer als die Bezugsspannung ist.
Die Verzögerungsschaltung 452 verhindert ein Überschießen der Anschlussspannung Vo durch Verzögern zumindest eines Teils des über die Lasttreiberschaltung 410 zu der parallelen Lastschaltung 304 gelieferten Signals. Wenn die Verzögerungsschaltung 452 nicht verwendet wird, kann der Ausgang der Differenzerfassungsschaltung 412 direkt mit der Lasttreiberschaltung 410 verbunden sein.
Die Lasttreiberschaltung 410 ist beispielsweise eine Umkehrschaltung und kehrt ein über die Bezugsspannungs-Einstellschaltung 408 empfangenes Ausgangssignal des Komparators 414 um und liefert das Ergebnis zu der parallelen Lastschaltung 304. Demgemäß liefert die Lasttreiberschaltung 410 ein Signal gemäß dem Ergebnis des Vergleichs der Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 und der Bezugsspannung zu der parallelen Lastschaltung 304. Bei dem vorliegenden Beispiel gibt, wenn die Anschlussspannung Vo größer als die Bezugsspannung ist, die Lasttreiberschaltung 410 ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel H aus, das durch Umkehren des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals des Komparators 414 erhalten wurde. Wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die Bezugsspannung ist, gibt die Lasttreiberschaltung 410 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel L, das durch Umkehren des Leistungsstrom-Erhöhungssignals des Komparators 414 erhalten wurde, aus. Demgemäß erfasst die Differenzerfassungsschaltung 412 eine Potentialdifferenz zwischen der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402, nachdem sie durch die Versetzungsadditionsschaltung 450 eingestellt wurde und der Anschlussspannung Vo des Kondensators 216, und teilt der parallelen Lastschaltung 304 das Erfassungsergebnis entweder als Leistungsstrom-Erhöhungssignal oder als Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit.
Die parallele Lastschaltung 304 ist mit dem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 so verbunden, dass sie parallel zu dem Widerstand 212 ist. Die parallele Lastschaltung 304 verbraucht einen Teilleistungsstrom, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 ist, wenn sie ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal empfängt, und wenn sie ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfängt, beendet sie den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302. Die parallele Lastschaltung 304 enthält einen Niedriggeschwindigkeitsschalter 512, einen Wider stand 514 und einen Hochgeschwindigkeitsschalter 516.
Der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 öffnet und schließt mit niedrigerer Geschwindigkeit als der Ansprechgeschwindigkeit der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302. Da ein Ende des Niedriggeschwindigkeitsschalters 512 mit der Verbindungsleistung 206 verbunden ist, ist der Niedriggeschwindigkeitsschaler 512 zu dem Widerstand 212 parallel geschaltet. Der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 öffnet und schließt gemäß einem Befehl beispielsweise von der Steuerschaltung 110. Als eine Folge ist die Steuerschaltung 110 in der Lage, zwischen EIN/AUS einer Operation zum Stabilisieren der Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50 in der Lage.
Hier ist Ansprechgeschwindigkeit der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 beispielsweise eine Geschwindigkeit, mit der die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 den Ausgangsleistungsstrom relativ zu der Änderung des von der elektronischen Vorrichtung 50 empfangenen Leistungszuführungsstroms Io ändert. Der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 kann ein Halbleiterschalter wie ein MOSFET sein. In diesem Fall kann der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 beispielsweise ein Ausgangssignal SW von der Steuerschaltung 110 über einen Widerstand empfangen.
Der Widerstand 514 ist in Reihe mit dem Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 stromabwärts des Niedriggeschwindigkeitsschalters 512 verbunden. Der Widerstand 514 verbraucht einen von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 über den Hochgeschwindigkeitsschalter 516 empfangenen Leistungsstrom.
Der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 ist stromabwärts des Widerstands 514 in Reihe mit dem Widerstand 514 verbunden. Der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 ist ein MOSFET vom N-Typ, der an einem Gateanschluss ein Ausgangssignal der Lasttreiberschaltung 410 empfängt. Der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 öffnet und schließt entsprechend einem Ausgangssignal von der Differenzerfassungsschaltung 412. Hier öffnet und schließt der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 mit höherer Geschwindigkeit als der Ansprechgeschwindigkeit der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302. Wenn die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 größer als die Bezugsspannung ist, wird der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 durch Empfang eines Leistungsstrom-Herabsetzungssignals in den EIN-Zustand gebracht. Demgegenüber wird, wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die Bezugsspannung ist, der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 durch Empfang eines Leistungsstrom-Herabsetzungssignals in den AUS-Zustand gebracht. Der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 kann sowohl parallel zu dem Widerstand 212 als auch in Reihe mit dem Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 geschaltet sein.
Wenn der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 und der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 beide EIN sind, fließt ein Teilleistungsstrom IL, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 ist, durch den Widerstand 514, und die parallele Lastschaltung 304 verbraucht diesen Teilleistungsstrom IL. Folglich verringert, wenn die Anschlussspannung Vo angehoben ist, die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 den durch den Widerstand 212 fließenden Leistungsstrom, wodurch die Anschlussspannung Vo herabgesetzt wird. Wenn der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 in den AUS-Zustand gebracht ist, beendet die parallele Lastschaltung 304 den Verbrauch des Teilleistungsstroms IL. Als eine Folge, erhöht, wenn die Anschlussspannung Vo verringert wird, die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 den durch den Widerstand 212 fließenden Leistungsstrom, wodurch die Anschlussspannung Vo erhöht wird. Auf diese Weise ist die Prüfvorrichtung 100 in der Lage, die Leistungszuführungsspannung für die elektronische Vorrichtung 50 stabil zu halten.
Es ist festzustellen, dass, wenn beispielsweise ein Ausgangsleistungsstrom der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 ohne Verwendung der Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 zu der elektronischen Vorrichtung 50 geliefert wird, es Fälle gibt, in denen sich die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 stark in Abhängigkeit von einer Änderung des Leistungszuführungsstroms Io für die elektronische Vorrichtung 50 ändert. Wenn beispielsweise der Leistungszuführungsstrom Io vorübergehend erhöht wird, kann die Anschlussspannung Vo vorübergehend stark abgesenkt werden, aufgrund eines Unterschießens. Demgegenüber kann, wenn der Leistungszuführungsstrom Io vorübergehend abgesenkt wird, die Anschlussspannung Vo vorübergehend stark angehoben werden aufgrund eines Überschießens. In solchen Fällen wird die Leistungszuführungsspannung für die elektronische Vorrichtung 50 instabil, wodurch es schwierig wird, eine Prüfung von dieser angemessen durchzuführen. Zusätzlich hat eine kürzliche Entwicklung in der Nanotechnologie beispielsweise den Gatewiderstand des MOSFET reduziert, so dass es möglich ist, dass die elektronische Vorrichtung 50 aufgrund eines Überschießens der Leistungszuführungsspannung ausfällt.
Jedoch ist durch Verwendung der Leistungsstrom- Verbrauchsschaltung 306 das vorliegende Beispiel in der Lage, den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 zu dem Kondensator 216 fließenden Leistungsstrom angemessen zu ändern entsprechend der Änderung des Leistungszuführungsstroms Io der elektronischen Vorrichtung 50. Demgemäß kann die Leistungszuführungsspannung zu der elektronischen Vorrichtung 50 bei dem Vorliegenden Beispiel stabil gehalten werden.
Darüber hinaus erfordert eine Prüfvorrichtung eine Vielzahl von Verbindungsleitungen 206, und daher ist es gelegentlich schwierig die Verdrahtungsbreite der Verbindungslinien 206 beispielsweise aus dem Grund der Implementierungsbeschränkung zu vergrößern. In gleicher Weise ist es gelegentlich schwierig, die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 in der unmittelbaren Nähe der elektronischen Vorrichtung 50 anzuordnen. In derartigen Fällen hat, selbst wenn die Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 durch Rückführen der Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 zu korrigieren ist, die Ansprechgeschwindigkeit der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 eine Beschränkung derart, dass sie beispielsweise auf der Induktivität der Verbindungsleitung 206 beruht. Jedoch wird bei dem vorliegenden Beispiel der Hochgeschwindigkeitsschalter EIN/AUS geschaltet, wodurch es möglich wird, den von dem Kondensator 216 empfangenen Leistungsstrom angemessen und schnell zu ändern.
Weiterhin gibt es Fälle, in denen die Leistungszuführungsspannung einer elektronischen Vorrichtung 50 unterschiedlich ist beispielsweise in Abhängigkeit von Prüfgegenständen und entsprechend den Typen der elektronischen Vorrichtung 50. Demgemäß ist es erforderlich, die zu dem Komparator 414 zu liefernde Bezugsspannung gemäß der Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50 zu ändern. Wenn hier die Bezugsspannung zu einer Vorrichtungsleistungsquelle auszugeben ist, die eine andere als die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 ist, können Fälle auftreten, in denen eine ausreichende Genauigkeit nicht erhalten werden kann aufgrund eines Fehlers, der beispielsweise zwischen Prüfvorrichtungen und zwischen Benutzerschnittstellen bewirkt wird. Wenn eine Korrekturschaltung unabhängig für den Zweck der Korrektur eines derartigen Fehlers vorgesehen ist, nimmt die Schaltungsgröße entsprechend zu.
Jedoch erzeugt gemäß dem vorliegenden Beispiel die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 die Bezugsspannung auf der Grundlage der Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302. Folglich wird bei dem vorliegenden Beispiel die Bezugsspannung angemessen erzeugt, selbst wenn die Leistungszuführungsspannung für die elektronische Vorrichtung 50 geändert wird.
Weiterhin empfängt bei dem vorliegenden Beispiel die Differenzerfassungsschaltung 412 eine Ausgangsspannung von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 über die Versetzungsadditionsschaltung 450 und das Tiefpassfilter 402. Hierdurch wird, wenn beispielsweise das Potential Vi an dem leistungsquellenseitigen Ende des Widerstands 212 vorübergehend geändert wird als Antwort auf die Änderung des Leistungszuführungsstroms Io, die Bezugsspannung stabil erzeugt. Es wird hier angenommen, dass das Tiefpassfilter 402 eine Grenzfrequenz von etwa 2 kHz hat und das Potential Vi an dem leistungsquellenseitigen Ende um etwa 100 mV geändert wird. In diesem Fall muss, um eine Ausgangsschwankung von etwa 1 mV zu erzeugen, das Tiefpassfilter 402 eine Charakteristik von beispielsweise et wa –40 db haben.
In diesem Fall ist für das Tiefpassfilter 402 mit einer Einzelstufenkonfiguration für RC wie in dem vorliegenden Beispiel die Frequenz zum Erzeilen von –3 d gleich 20 Hz, und die Zeitkonstante τ für RC ist etwa 8 m Sekunden. Wenn beispielsweise die zu der elektronischen Vorrichtung 50 zu gebende Leistungszuführungsspannung geändert wird, beträgt die Einstellzeit, die zum Stabilisieren der Bezugsspannung mit der Genauigkeit von 0,1% erforderlich ist, beispielsweise etwa 6,9xτ = 55 m Sekunden, was nur einen geringen Einfluss auf die Prüfzeit bedeutet.
Wenn der Leistungszuführungsstrom Io der elektronischen Vorrichtung 50 gleich 1 A ist und die Kapazität des Kondensators 216 gleich 30 μf sind, nimmt die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 beispielsweise um etwa 3 mV für 100 n Sekunden ab. In diesem Fall ist es möglich, beispielsweise einen kostengünstigen Universalkomparator als den Komparator 414 zu verwenden.
Bei verschiedenen Beispielen kann die parallele Lastschaltung 304 mehrere Widerstände 514 enthalten, die beispielsweise durch Schalten zwischen diesen oder dergleichen auswählbar sind. In diesem Fall kann die Steuerschaltung 110 einen Widerstand 514 in Abhängigkeit von Typ der elektronischen Vorrichtung 50 oder dergleichen auswählen, oder der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 und der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 können mit dem ausgewählten Widerstand 514 verbunden werden. Noch weiterhin kann die parallele Lastschaltung 304 eine Konstantleistungsstromschaltung anstelle des Widerstands 514 verwenden.
4 ist ein Zeitdiagramm, das ein Beispiel für die von der Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel durchgeführte Operation. Bei dem vorliegenden Beispiel wird eine zu der elektronischen Vorrichtung 50 zu liefernde Leistungszuführungsspannung zu der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 gesetzt. Die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 beginnt ihren Betrieb zu der Zeit T1, um die Ausgabe der Leistungszuführungsspannung zu starten. Als Antwort hierauf beginnt auch die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 ihren Betrieb. Nachdem die Ausgangsspannung Vp des Tiefpassfilters 402 zu der Zeit T2 stabil geworden ist, schaltet die Steuerschaltung 110 das Signal SW, um den Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 in den EIN-Zustand zu bringen. Als Antwort beginnt die parallele Lastschaltung 304 mit dem Verbrauch des Teilleistungsstroms IL. Die Steuerschaltung 110 kann den Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 in den EIN-Zustand bringen, nachdem die Ausgangsspannung Vref von dem Tiefpassfilter 402 im Wesentlichen gleich der Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 wird.
Es ist festzustellen, der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 allmählich in den EIN-Zustand gebracht werden kann, beispielsweise durch Empfang des Signals SW über einen Widerstand, wie beispielsweise durch die strichlierte Linie in der Zeichnung gezeigt ist. Die parallele Lastschaltung 304 kann allmählich den Teilleistungsstrom IL während einer Periode von T2 bis T3 erhöhen.
Nachdem bis zu der zeit T4 gewartet wurde, zu der der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 stabilisiert wurde, beginnt eine Prüfung der elektronischen Vorrichtung 50. Während dieser Prüfung ändert sich die An schlussspannung Vo des Kondensators 216 gemäß der Operation durch die elektronische Vorrichtung 50. Als Antwort gibt die Differenzerfassungsschaltung 412 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal und ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zum Stabilisieren der Anschlussspannung Vo aus. Gemäß diesen Signalen wird der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 entweder in den EIN- oder den AUS-Zustand gebracht in Abhängigkeit von der Änderung der Anschlussspannung Vo, so dass die parallele Lastschaltung 304 den Teilleistungsstrom IL entsprechend verbraucht. Auf diese Weise stabilisiert die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 die Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50.
Nachdem die Prüfung der elektronischen Vorrichtung 50 zu der Zeit T5 geendet hat, wird der Niedriggeschwindigkeitsschalter 512 während einer Periode von T6 bis T7 in den AUS-Zustand gebracht. Danach senkt, nachdem bis zur Zeit T8 für die Stabilisierung des Niedriggeschwindigkeitsschalters 512 gewartet wurde, die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 die Ausgangsspannung auf 0. Danach beendet, nachdem die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 als Antwort herabgesetzt wurde, zu der Zeit T9 die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 ihren Betrieb. ES ist festzustellen, dass, nachdem die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 angehalten wurde, die Prüfvorrichtung 100 die nächste Prüfung starten kann, nachdem die Stabilisierung des Tiefpassfilters 402 abgewartet wurde. Gemäß dem vorliegenden Beispiel wird es möglich, die Leistungszuführungsspannung Vo der elektronischen Vorrichtung 50 stabil zu halten.
5 ist ein Zeitdiagramm, das ein Beispiel für eine detaillierte Operation zeigt, die von der Leis tungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 während einer Periode von T4 bis T5 durchgeführt wird. Während dieser Periode wiederholt die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 die Zunahme/Abnahme gemäß der Operation der elektronischen Vorrichtung 50.
Hier gibt die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 entweder die erste Bezugsspannung VH oder die zweite Bezugsspannung VL aus in Abhängigkeit von dem Ausgangssignal Va des Komparators 414. Beispielsweise liefert in einer Periode von T4 bis T41, während der die Anschlussspannung Vo größer als die zweite Bezugsspannung VL ist, der Komparator 414 ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel L zu der parallelen Lastschaltung 304. Da die parallele Lastschaltung 304 den Teilleistungsstrom IL als Antwort auf den Empfang des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals verbraucht, nimmt die Anschlussspannung Vo allmählich ab.
Andererseits kehrt beispielsweise zu der Zeit T41, wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die zweite Bezugsspannung VL wird, der Komparator 414 das Ausgangssignal Va in den Pegel H um, wodurch ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal zugeführt wird. Dann beendet zu der Zeit T42, die geringfügig später als die Zeit T41 ist, die parallele Lastschaltung 304 den Verbrauch des Teilleistungsstroms IL gemäß dem Ausgangssignal der Lasttreiberschaltung 410.
In einem derartigen Fall kann in einer Periode, bis die Anschlussspannung Vo größer als die erste Bezugsspannung VH wird, nachdem sie kleiner als die zweite Bezugsspannung VL geworden ist, die parallele Lastschaltung 304 das Fließen des Teilleistungsstroms IL zu einem Pfad, der parallel zu dem Widerstand 212 ist, beenden. Die parallele Lastschaltung 304 kann den Empfang des Teilleistungsstroms IL von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 für den Fall beenden, dass die von der Differenzerfassungsschaltung 412 erfasste Potentialdifferenz größer als ein vorbestimmter Wert wird.
Als Nächstes liefert, während die Anschlussspannung Vo kleiner als die erste Bezugsspannung VH ist (beispielsweise während einer Periode von T42 bis T43), der Komparator 414 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H zu der parallelen Lastschaltung 304. Bei dieser Gelegenheit nimmt der von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 zu dem Kondensator 216 fließende Leistungsstrom zu, wodurch die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 ansteigt.
Dann kehrt beispielsweise zu der Zeit T43, zu der die Anschlussspannung Vo größer als die erste Bezugsspannung VH wird, der Komparator 414 das Ausgangssignal Va in den Pegel L um, wodurch ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal geliefert wird. Zu der Zeit T44, die später als die Zeit T43 ist, beginnt die Parallele Lastschaltung 304 den Verbrauch des Teilleistungsstroms IL als Antwort auf den Empfang des durch die Verzögerungsschaltung 452 verzögerten Leistungsstrom-Herabsetzungssignals. Bei dieser Gelegenheit nimmt der von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 zu dem Kondensator 216 fließende Leistungsstrom ab, wodurch die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 verringert wird.
Während einer Periode, bis die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 kleiner als die zweite Bezugsspannung VL wird, nachdem sie größer als die erste Bezugsspannung VH geworden ist aufgrund des Ausgangs signals des Komparators 414 kann die parallele Lastschaltung 304 den Teilleistungsstrom IL verbrauchen durch Leiten von diesem zu einem Pfad, der parallel zu dem Widerstand 212 ist. Die parallele Lastschaltung 304 kann den Teilleistungsstrom IL verbrauchen, wenn die von der Differenzerfassungsschaltung 412 erfasste Potentialdifferenz kleiner als ein vorbestimmter Wert ist.
Als eine Folge stabilisiert die Leistungsstrom-Verbrauchsschaltung 306 die Anschlussspannung Vo des Kondensators 21 innerhalb eines angemessenen Bereichs. Folglich wird es möglich, die Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel stabil zu halten.
Auch beginnt, wenn die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 erhöht wird (z.B. zu der Zeit T51), nachdem die Prüfung zu der Zeit T5 beendet ist, die parallele Lastschaltung 304 den Verbrauch des Teilleistungsstroms IL. Demgemäß wird es möglich, zu verhindern, dass die Anschlussspannung Vo übermäßig angehoben wird.
6 zeigt eine Konfiguration der Versetzungsadditionsschaltung 450 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Die Versetzungsadditionsschaltung 450 enthält eine Konstantspannungsquelle 550, einen Widerstand 552, einen Widerstand 554 und einen Operationsverstärker 558. Die Konstantspannungsquelle 550 liefert eine dritte Bezugsspannung VCC2, die höher als die Ausgangspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ist. Der Widerstand 552 ist mit der dritten Bezugsspannung VCC2 verbunden. Der Widerstand 554 ist zwischen ein Ende des Widerstands 552, mit dem die drit te Bezugsspannung VCC2 nicht verbunden ist, und ein Ausgangsende des Operationsverstärkers 558, das der Ausgang der Versetzungsadditionsschaltung 450 ist, geschaltet.
Der Operationsverstärker 558 ist ein Beispiel für einen zweiten Komparator gemäß der vorliegenden Erfindung. Der Operationsverstärker 558 empfängt die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 als das positive Eingangssignal und die Spannung an der Verbindung zwischen dem Widerstand 552 und dem Widerstand 554 als das negative Eingangssignal. Der Operationsverstärker 558 verringert die Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung 450, wenn die Spannung an der Verbindung größer als die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ist. Demgegenüber verringert, wenn die Spannung an der Verbindung kleiner als die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402 ist, der Operationsverstärker 558 die Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung 450.
Die Ausgangsspannung VR des Versetzungsadditionsabschnitts 450 wird stabilisiert, wenn die Spannung an der Verbindung zwischen dem Widerstand 552 und dem widerstand 554, die an dem negativen Eingang des Operationsverstärkers 558 eingegeben wird, an dem positiven Eingang des Operationsverstärkers 558 eingegebenen Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ist. Hier nimmt, da die dritte Bezugsspannung VCC2 höher als die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ist, der durch den Widerstand 552 bewirkte Spannungsabfall ab, wenn die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 hoch wird. Als eine Folge nimmt, da der Spannungsabfall des Widerstands 554 durch ein Widerstandsverhältnis zwischen dem Widerstand 552 und dem Widerstand 554 bestimmt ist, der durch den Widerstand 554 bewirkte Spannungsabfall ab, wenn die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 hoch wird. Demgemäß gibt, wenn die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 höher ist, die Versetzungsadditionsschaltung 450 eine Spannung VR, die durch Subtrahieren eines leichten Spannungsabfalls von der Ausgangsspannung Vref erhalten wurde, aus, d.h., Vr wird erhalten durch Addieren einer negativen Versetzungsspannung näher zu 0 zu der Ausgangsspannung Vref. Umgekehrt gibt, wenn die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 kleiner ist, die Versetzungsadditionsschaltung 450 eine Spannung VR, die durch Subtrahieren eines großen Spannungsabfalls von der Ausgangsspannung Vref erhalten wurde, aus, d.h., VR wird erhalten durch Addieren einer negativen Versetzungsspannung, die weiter von 0 ist, zu der Ausgangsspannung Vref. Durch Verwenden des Operationsverstärkers 558 wird es möglich, die Ausgangsspannung VR zu stabilisieren, sogar ohne unabhängiges Vorsehen eines Spannungsfolgers zwischen der Versetzungsadditionsschaltung 450 und der Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406.
7 zeigt ein Beispiel, bei dem eine Bezugspotentialdifferenz für eine Prüfvorrichtung 100 ohne die Versetzungsadditionsschaltung 450 berechnet wird. In der Prüfvorrichtung 100 ohne die Versetzungsadditionsschaltung 450 wird die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 direkt in die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 eingegeben. Im Folgenden wird die Differenzspannung zwischen der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 und der in den Komparator 414 eingegebenen Bezugsspannung (d.h., der durch den Widerstand 502 bewirkte Spannungsabfall) für jeden der Fälle gezeigt, in denen das Ausgangssignal des Komparators 414 auf dem Pegel H bzw. dem Pegel L ist, mit Bezug auf die Schaltungen in der in 3 gezeigten Differenzerfassungsschaltung 412. Es ist festzustellen, dass bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die erwähnte Differenzspannung, die durch Subtrahieren der Bezugsspannung des Komparators 414 von der Eingangsspannung der Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 erhalten wurde, als eine "Bezugspotentialdifferenz" bezeichnet wird.
(1) wenn das Ausgangssignal des Komparators 414 den Pegel H hat (Leistungsstrom-Erhöhungssignal)
Wenn die Ausgangsspannung VCC1 der Konstantspannungsquelle 508 auf 0V gesetzt ist, wird die äquivalente Impedanz ZH bis zu dem Erdpunkt gesehen von dem Widerstand 502 durch den folgenden Ausdruck (1) dargestellt.
(Ausdruck 1)

ZH = R12 + (R13 × (R14 + R15)/(R13 + R14 + R15)) (1)

In diesem Ausdruck stellt R12 einen Widerstandswert des Widerstands 504 dar, R13 stellt einen Widerstandswert des Widerstands 506 dar, R14 stellt einen Widerstandswert des Widerstands 518 dar und R15 stellt einen Widerstandswert des Widerstands 510 dar.
In dem Fall der Subtraktion der an beiden Enden des Widerstands 506 bewirkten Potentialdifferenz, die der Konstantspannungsquelle 508 zuschreibbar ist, wird die äquivalente Spannung VRH zwischen dem widerstand 502 und der Versetzungsadditionsschaltung 450 durch den folgenden Ausdruck (2) dargestellt.
(Ausdruck 2)

VRH = Vref – (VCC1 × R13/(R13 + R14 + R15)) (2)

In dem Fall der Änderung des Ausgangssignals des Komparators 414 vom Pegel H in den Pegel L ist die Differenzspannung (Vref – Vin) für den Widerstand 502 gleich einem Spannungsabfall V(R11)H durch den Widerstand 502 (d.h., die erste Bezugspotentialdifferenz) und wird durch den folgenden Ausdruck (3) dargestellt.
(Ausdruck 3)

V(R11)H = VRH × R11/(ZH + R11) = (Vref – (VCC1 × R13/(R13 + R14 + R15))) × R11/(ZH + R11) = Vref × [R11/(ZH + R11)] – VCC1 × [(R13/(R13 + R14 + R15)) × R11/(ZH + R11)] (3)

Hier wird, da die erste Bezugspotentialdifferenz V(11)H positiv wird, der erste Ausdruck größer als der zweite Ausdruck. Zusätzlich bleibt der zweite Ausdruck als ein konstanter Wert, selbst wenn die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 sich ändert. Demgemäß schwankt die erste Bezugspotentialdifferenz V(R11)H, da der erste Ausdruck sich als ein Ergebnis der Änderung der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ändert.
(2) wenn das Ausgangssignal des Komparators 414 den Pegel L hat (Leistungsstrom-Herabsetzungssignal)
Wenn das Ausgangssignal des Komparators 414 auf den Pegel L gesetzt ist (Spannung VOL), wird die äquivalente Impedanz ZL bis zu dem Erdpunkt gesehen von dem Widerstand 502 durch den folgenden Ausdruck (4) dar gestellt.
(Ausdruck 4)

ZL = R12 + (R13 × R14)/(R13 + R14) (4)

In dem Fall der Subtraktion der an beiden Enden des Widerstands 506 bewirkten Potentialdifferenz, die der Spannung VOL des Komparators 414 zuschreibbar ist, wird die äquivalente Spannung VRL zwischen den Widerstand 502 und der Versetzungsadditionsschaltung 450 durch den folgenden Ausdruck (5) dargestellt.
(Ausdruck 5)

VRL = Vref – (VOL × R13/(R13 + R14)) (5)

In dem Fall der Änderung des Ausgangssignals des Komparators 414 von dem Pegel L zu dem Pegel H ist die Differenzspannung (Vref – Vin) für den Widerstand 502 gleich einem Spannungsabfall V(R11)L durch den Widerstand 502 (d.h., die zweite Bezugspotentialdifferenz) und wird dargestellt durch den folgenden Ausdruck (6).
(Ausdruck 6)

V(R11)L = VRL × R11/(ZL + R11) = (Vref – (VOL × R13/(R13 + R14)) × R11/(ZL + R11) = Vref × [R11/(ZH + R11)] – VOL × [(R13/(R13 + R14)) × R11/(ZL + R11)] (6)

Hier wird, da die erste Bezugspotentialdifferenz V(R11)L positiv wird, der erste Ausdruck größer als der zweite Ausdruck. Zusätzlich bleibt der zweite Ausdruck als ein konstanter Wert, selbst wenn die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 sich ändert. Demgemäß schwankt die erste Bezugpotentialdifferenz V(R11)L, da sich der erste Ausdruck als ein Ergebnis der Änderung der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ändert.
Wie in 7 gezeigt ist, ändern sich in einer Prüfvorrichtung 100 ohne die Versetzungsadditionsschaltung 450, obgleich die Differenz Vth zwischen der ersten Bezugspotentialdifferenz V(R11)H und der zweiten Bezugspotentialdifferenz V(R11)L im Wesentlichen konstant ist ungeachtet der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402, ihre jeweiligen Werte stark in Abhängigkeit von der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402. Als eine Folge ändert sich bei einer Prüfung der Änderung der Leistungszuführungsspannung Vo oder dergleichen die Stabilität der Leistungszuführungsspannung gemäß der Änderung der zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Leistungszuführungsspannung, wodurch es schwierig wird, die Prüfung genau durchzuführen.
8 zeigt ein Beispiel, bei dem eine Bezugspotentialdifferenz in der Prüfvorrichtung 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erhalten wird. Nachfolgend wird durch Bezugnahme auf die Differenzerfassungsschaltung 412 in 3 und die Versetzungsadditionsschaltung 450 in 6 die Differenzspannung zwischen der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 und die in den Komparator 414 eingegebene Bezugsspannung gezeigt für Fälle, in denen das Ausgangssignal des Komparators 414 den Pegel H bzw. den Pegel L hat.
(1) wenn das Ausgangssignal des Komparators 414 den Pegel H hat (Leistungsstrom-Erhöhungssignal)
Da die Spannung an dem Verbindungspunkt zwischen dem Widerstand 552 und dem Widerstand 554 in dem stabilen Zustand gleich Vref ist, wird die Ausgangsspannung VR der Versetzungsadditionsschaltung 450 durch den folgenden Ausdruck (7) dargestellt.
(Ausdruck 7)

VR = Vref – (VCC2 – Vref) × (R21/R26) (7)

In der Prüfvorrichtung 100 mit der Versetzungsadditionsschaltung 450 wird die Ausgangsspannung VR der Versetzungsadditionsschaltung 450 anstelle der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 in die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 eingegeben. In diesem Fall wird die äquivalente Spannung VRH zwischen dem Widerstand 502 und der Versetzungsadditionsschaltung 450 erhalten durch Einsetzen von VR für Vref in dem Ausdruck (2). Demgemäß wird, wenn das Ausgangssignal des Komparators 414 von dem Pegel H in den Pegel L geändert wird, die Differenzspannung Vref (H) zwischen der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 und der in den Komparator 414 eingegebenen Bezugsspannung durch den folgenden Ausdruck (8) dargestellt.
(Ausdruck 8)

Vref(H) = Vref – VR + V(R11)H = Vref × ((R11/(ZH + R11) – (R21/R26) × (ZH/(ZH + R11))) + VCC2 × (R21/R26) × (ZH/(ZH + R11)) – VCC1 × (R13/(R13 + R14 + R15)) × (R11/(ZH + R11)) (8)

Der erste Ausdruck in dem Ausdruck (8) kann in den folgenden Ausdruck (9) transformiert werden (9).
(Ausdruck 9)

Vref(H) = V(R11)H – (VR – Vref) (9)

Hier addiert die Versetzungsadditionsschaltung 450 eine negative Versetzungsspannung (VR – Vref) zu der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 und gibt das Ergebnis als die Ausgangsspannung VR der Versetzungsadditionsschaltung 450 aus. Wie hieraus ersichtlich ist, entspricht die Differenzspannung Vref(H) einem Wert, der erhalten wurde durch Subtrahieren einer Versetzungsspannung der Versetzungsadditionsschaltung 450 von der ersten Bezugspotentialdifferenz V(R11)H. Demgemäß erhöht die Versetzungsadditionsschaltung 450 die Versetzungsspannung, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz gemäß der Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402 erhöht ist, und verringert im Gegensatz die Versetzungsspannung, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz herabgesetzt wird. Demgemäß wird die Schwankung der Differenzspannung Vref(H) eingeschränkt. Es ist wünschenswert, dass die Versetzungsadditionsschaltung 450 die Versetzungsspannung so einstellt, dass die Größe der Schwankung der ersten Bezugspotentialdifferenz im Wesentlichen gleich der Größe der Schwankung der Versetzungsspannung wird.
Als Nächstes wird der Zustand der Einstellung der Schwankung der Differenzspannung Vref(H) als 0 gezeigt. In dem Ausdruck (8) bleiben der zweite Ausdruck und der dritte Ausdruck konstant, selbst wenn sich die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ändert. Demgemäß, um Vref(H) konstant zu halten ungeachtet der Änderung der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402, der ersten Ausdruck auf 0 ge setzt werden. Um dies zu realisieren, können die Widerstandswerte des Widerstands 552 und des Widerstands 554 innerhalb der Versetzungsadditionsschaltung 450 so definiert werden, dass die Beziehung R21/R2 = R11/ZH gilt. Zusätzlich kann jeder Widerstandswert auf einen Wert gesetzt werden, der einen positiven für (zweiter Ausdruck – dritter Ausdruck) ergibt.
(2) wenn das Ausgangssignal des Komparators 414 den Pegel L hat (Leistungsstrom-Herabsetzungssignal)
Wie vorstehend beschrieben ist, wird in der Prüfvorrichtung 100 mit der Versetzungsadditionsschaltung 450 die Ausgangsspannung VR der Versetzungsadditionsschaltung 450 anstelle der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 in die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung 406 eingegeben. In diesem Fall wird die äquivalente Spannung VRL zwischen dem Widerstand 502 und der Versetzungsadditionsschaltung 450 erhalten durch Einsetzen von VR statt Vref in den Ausdruck (5). Demgemäß wird in dem Fall der Änderung des Ausgangssignals des Komparators 414 vom Pegel L in den Pegel H die Differenzspannung Vref (L) zwischen der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 und der in den Komparator 414 eingegebenen Bezugsspannung durch den folgenden Ausdruck (10) dargestellt.
(Ausdruck 10)

Vref(L) = Vref – VR + V(R11)L = Vref × ((R11/(ZL + R11) – (R21/R26) × (ZL/(ZL + R11))) + VCC2 × (R21/R26) × (ZL/(ZL + R11)) – VOL × (R13/(R13 + R14)) × (R11/(ZL + R11)) (10)

Wie in der Position (1) erwähnt ist, kann der erste Ausdruck in dem Ausdruck (10) in den folgenden Ausdruck (11) transformiert werden.
(Ausdruck 11)

Vref(L) = V(R11)L – (VR – Vref) (11)

Aus dem Ausdruck (11) ist ersichtlich, dass die Differenzspannung Vref(H) erhalten wird durch Subtrahieren der Versetzungsspannung der Versetzungsadditionsschaltung 450 von der zweiten Bezugspotentialdifferenz V(R11)L. Demgemäß ist die Versetzungsadditionsschaltung 450 in der Lage, die Schwankung der Differenzspannung Vref (L) durch Erhöhen der Versetzungsspannung einzuschränken, wenn die zweite Bezugspotentialdifferenz gemäß der Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters 402 erhöht wird, und Herabsetzen der Versetzungsspannung, wenn die zweite Bezugspotentialdifferenz verringert wird. Es ist wünschenswert, dass die Versetzungsadditionsschaltung 450 die Versetzungsspannung so einstellt, dass die Größe der Schwankung des zweiten Bezugsspannungspotentials im Wesentlichen dieselbe wird wie die Größe der Schwankung der Versetzungsspannung.
Als Nächstes wird die Bedingung zum Einstellen der Schwankung der Differenzspannung Vref (L) als 0 gezeigt. in dem Ausdruck (11) bleiben der zweite Ausdruck und der dritte Ausdruck konstant, selbst wenn sich die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ändert. Demgemäß kann, um Vref (L) ungeachtet der Änderung der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 konstant zu halten, der erste Ausdruck auf 0 gesetzt werden. Um dies zu realisieren, können die Widerstandswerte des Widerstands 552 und des Widerstands 554 innerhalb der Versetzungsadditionsschal tung 450 so definiert werden, dass die Beziehung R21/R26 = R11/ZL gilt. Zusätzlich kann jeder Widerstandswert auf einen Wert gesetzt werden, der einen positiven Wert für (zweiter Ausdruck – dritter Ausdruck) ergibt.
Vorsehend enthält ZH R15 als einen Parameter, während ZL R15 nicht als einen Parameter enthält. Demgemäß ist es unmöglich, wenn nicht R15 gleich 0 ist, beide Schwankungen für Vref(H) und Vref(L), die von der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 abhängen, auf 0 zu setzen. Demgemäß können die Widerstandswerte für den Widerstand 552 und den Widerstand 554 innerhalb der Versetzungsadditionsschaltung 450 gesetzt werden, dass die Schwankungsbreiten von Vref(H) und Vref(L), die von der Ausgangsspannung Vref abhängen, minimiert werden. Der Widerstandswert R15 des Widerstands 502 kann als ein kleinerer Wert als der Widerstandswert R14 des Widerstands 518 gesetzt werden. Alternativ ist es auch möglich, die Schwankungsbreiten sowohl für Vref(H) als auch Vref(1), die von der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 abhängen, auf 0 zu setzen, indem ein Komparator vom Spannungsausgangstyp als der Komparator 414 verwendet wird, um auf den Widerstand 510 und die Konstantspannungsquelle 508 zu verzichten.
Die Bedingungen B-1-B-3 in 8 zeigen eine Beziehung zwischen der Ausgangsspannung Vref, Vref(H) und Vref(L), wenn die Schwankungsbreie von Vref(H), das von der Änderung der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 abhängt, auf 0 gesetzt wird durch Setzen von R21/R26 = R11/ZH. Wie in 8 gezeigt ist, verwendet die Prüfvorrichtung 100 die Versetzungsadditionsschaltung 450, um die Schwankungen der Differenzspannung zwischen der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 und der ersten Bezugsspannung VRH oder der zweiten Bezugsspannung VRL einzuschränken, selbst wenn die erste Bezugsspannung V(R11)H und die zweite Bezugsspannung V(R11)L sich entsprechend der Änderung der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ändern.
Zusätzlich zeigen die Bedingungen C-1-C-3 in 8 eine Beziehung zwischen der Ausgangsspannung Vref, Vref(H), und Vref(L), wenn ein Komparator vom Spannungsausgangstyp als der Komparator 414 verwendet wird. Wie in 8 gezeigt ist, ist durch Verwendung eines Komparators vom Spannungsausgangstyp als der Komparator 414 die Prüfvorrichtung 100 in der Lage, die Wirkung des Widerstands 510 zu eliminieren. Folglich ist eine derartige Prüfvorrichtung 100 in der Lage, die Schwankung der Differenzspannung zwischen der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 und der ersten Bezugsspannung VRH sowie die Schwankung zwischen der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 und der zweiten Bezugsspannung VRL im Wesentlichen auf 0 zu setzen, selbst wenn sich die erste Bezugsspannung V(R11)H und die zweite Bezugsspannung V(R11)L entsprechend der Änderung der Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 ändern.
Wie vorstehend gezeigt ist, ist die Prüfvorrichtung 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel in der Lage, die Schwankung sowohl der Differenzspannung Vref(H) zwischen der Ausgangsspannung Vref und der ersten Bezugsspannung VH sowie der Differenzspannung Vref(L) zwischen der Ausgangsspannung Vref und der zweiten Bezugsspannung VL im Wesentlichen auf 0 zu beschränken, selbst wenn die Ausgangsspannung Vref des Tiefpassfilters 402 geändert wird. Folglich ist die Prüfvorrichtung 100 in der Lage, eine stabile Leistungszuführungsspannung zu liefern, selbst wenn die Leistungszuführungsspannung für die elektronische Vorrichtung 50 geändert wird.
9 zeigt eine Konfiguration der Verzögerungsschaltung 452 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Die Verzögerungsschaltung 452 ändert die Zeit, zu der ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal beginnt, zu der parallelen Lastschaltung 304 geliefert zu werden, gemäß einer Periode von dem Beginn der Zuführung eines Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung 412 bis zum Beginn der Zuführung eines Leistungsstrom-Herabsetzungssignals. Genauer gesagt, die Verzögerungsschaltung 452 verzögert die Zeit, wenn die genannte Periode länger wird.
Die Verzögerungsschaltung 452 enthält ein NICHT-Tor 950, eine Basisleistungsstrom-Zuführungsschaltung 951, einen Transistor 956, einen Widerstand 960 und ein NAND-Tor 962. Das NICHT-Tor 950 kehrt einen logischen Wert eines Leistungszuführungs-Erhöhungssignals und eines Leistungsstrom-Herabsetzungssignals um, die von der Ausgangssignalleitung der Differenzerfassungsschaltung 412 zugeführt werden. Als ein Ergebnis gibt das NICHT-Tor 950 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel L und ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel H aus.
Die Basisleistungsstrom-Zuführungsschaltung 951 liefert einen ersten Basisleistungsstrom zu dem Transistor 956, wenn ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal von der Differenzerfassungsschaltung 412 geliefert wird. Demgegenüber liefert, wenn ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal von der Differenzerfassungsschaltung 412 geliefert wird, die Basisleistungsstrom-Zufüh rungsschaltung 951 einen zweiten Basisleistungsstrom, der größer als der erste Basisleistungsstrom ist, zu dem Transistor 956. Die Basisleistungsstrom-Zuführungsschaltung 951 enthält ein NICHT-Tor 952, einen Widerstand 954 und eine Diode 964.
Das NICHT-Tor 952 ist ein Beispiel für das erste Tor gemäß der vorliegenden Erfindung. Das NICHT-Tor 952 gibt ein Signal mit dem Pegel H aus, wenn die Differenzerfassungsschaltung 412 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal liefert, und gibt andererseits ein Signal mit dem Pegel L aus, wenn ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zugeführt wird. Demgemäß verhindert das NICHT-Tor 952 einen Rückfluss des Leistungsstroms an der Basisseite des Transistors 956 in die Ausgangssignalleitung des NICHT-Tors 950. Das NICHT-Tor 952 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kehrt einen logischen Wert eines Leistungsstrom-Erhöhungssignals und eines Leistungsstrom-Herabsetzungssignals, die von dem NICHT-Tor 950 ausgegeben wurden, um.
Der Widerstand 954 ist zwischen dem Ausgang des NICHT-Tors 952 und der Basis des Transistors 956 vorgesehen und liefert einen Basisleistungsstrom, der auf der Ausgangsspannung des NICHT-Tors 952 und der Spannung der Basis des Transistors 956 beruht, zu der Basis des Transistors 956. Wenn das NICHT-Tor 952 ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel L ausgegeben hat, senkt der Widerstand 954 die Basisspannung durch Zuführen eines ersten Basisleistungsstroms, der ein negativer Basisleistungsstrom ist. Wenn das NICHT-Tor 952 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H ausgegeben hat, erhöht der Widerstand 954 den Basisleistungsstrom durch Zuführen eines zweiten Basisleistungsstroms, der größer als der erste Basisleistungsstrom ist, zu dem Transistor 956.
Die Diode 964 ist parallel zu dem Widerstand 954 vorgesehen, und der Ausgang des ersten Tors und die Kathode sind jeweils mit der Basis des Transistors 956 und der Anode verbunden. Die Diode 964 reduziert eine Zeitverzögerung, die erforderlich ist, um den Transistor 956 in den AUS-Zustand zu bringen, mittels der parasitären Kapazität des Transistors 956, wenn sich das Ausgangssignal des NICHT-Tors 952 von dem Pegel H in den Pegel L geändert hat. Es ist wünschenswert, dass die Diode 964 eine Schottky-Diode mit einer kleinen Durchlassspannung und hoher Arbeitsgeschwindigkeit ist.
Die Basis des Transistors 956 ist mit dem Ausgang der Diode 964 verbunden, und der Kollektor von diesem ist mit der Verbindung zwischen dem Widerstand 960 und dem NAND-Tor 962 verbunden und der Emitter von diesem ist mit Erde verbunden. Der Transistor 956 empfängt an seiner Basis den von der Basisleistungsstrom-Zuführungsschaltung 952 gelieferten Basisleistungsstrom und ist gesättigt, wenn er den zweiten Basisleistungsstrom empfängt. Mit anderen Worten, wenn der zweite Basisleistungsstrom empfangen wird, sind die Widerstandswerte des Widerstands 954 und des Widerstands 960 so bestimmt, dass der Kollektorleistungsstrom (IC)/der Basisleistungsstrom (IB) in einem Sättigungsbereich betrieben werden, der ausreichend kleiner als der Leistungsstrom-Verstärkungsfaktor "hfe" des Transistors 956 ist. demgemäß nimmt in dem Transistor 956 die Zeitverzögerung, bis der Basisleistungsstrom in den AUS-Zustand gebracht ist, nachdem zu dem ersten Basisleistungsstrom umgeschaltet wurde, zu, wenn die EIN-Zeit, während der der einge gebene zweite Basisleistungsstrom in dem Sättigungsbereich betrieben wird, länger wird.
Ein Ende des Widerstands 960 ist mit der Konstantspannungsquelle VCC3 verbunden, und das andere Ende des Widerstands 960 ist mit dem Kollektor des Transistors 956 und mit einem Eingang des NAND-Tors 960 verbunden. Der Widerstand 960 führt einen Kollektorleistungsstrom Ic, der auf der Grundlage der Spannung VCC3 und des Widerstandswerts des Widerstands 960 definiert ist, zu dem Transistor 956. In diesem Fall erhält das Potential der Kollektorseite des Transistors 956 den Pegel L. Wenn der Transistor 956 in dem AUS-Zustand ist, bringt der Widerstand 960 das Potential der Kollektorseite des Transistors 956 auf den Pegel H.
Das NAND-Tor 962 ist ein für eine Leistungsstrom-Steuersignal-Ausgabeschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung. Das NAND-Tor 962 nimmt eine NICHT-ODER-Verknüpfung des Ausgangssignals des NICHT-Tors 950 und des Potentials des Kollektors des Transistors 956 und gibt das Ergebnis zu der Lasttreiberschaltung 410 aus. Demgemäß liefert das NAND-Tor 962 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H zu der parallelen Lastschaltung 304 während einer EIN-Periode des Transistors 956, die zusammengesetzt ist aus einer Periode, in der der Transistor 956 den zweiten Basisleistungsstrom empfängt, und einer Periode, in der der Transistor 956 gesättigt ist. Zusätzlich liefert das NAND-Tor 962 in einer AUS-Periode, in der der Transistor 956 den ersten Leistungsstrom empfängt und der Transistor 956 nicht gesättigt ist, ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel L zu der parallelen Lastschaltung 304.
10 ist ein Zeitdiagramm, das ein Beispiel für eine von der Verzögerungsschaltung 452 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel durchgeführte Operation zeigt. Zu dem Punkt A gibt das NICHT-Tor 950 ein Signal aus, das durch Umkehrung des Ausgangssignals der Differenzerfassungsschaltung 412 erhalten wurde. Zu dem Punkt B gibt das NICHT-Tor 952 ein Signal aus, das wieder durch Umkehrung des Ausgangssignals des NICHT-Tors 950 erhalten wurde.
Während eiern Periode von T1 bis T2 erhält, wenn das Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H von der Differenzerfassungsschaltung 412 empfangen wurde, das Potential an dem Punkt B den Pegel H, und der zweite Basisleistungsstrom wird zu dem Transistor 956 geliefert. Demgemäß wird der Transistor 956 in den EIN-Zustand gebracht und ist gesättigt. Als eine Folge erhält der Punkt C den Pegel L, und das NAND-Tor 962 gibt ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H aus.
Zu der Zeit T2 wird, wenn das Ausgangssignal der Differenzerfassungsschaltung 412 von einem Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H in ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel L geändert wird, der Transistor 956 in den AUS-Zustand gebracht nach einer Zeitverzögerung "tdoff", die in Überereinstimmung ist mit der Periode "ton", während der der Transistor 956 einen zweiten Basisleistungsstrom empfängt. Es ist festzustellen, dass während der Zeitverzögerung "tdoff" der Transistor 956 in dem Sättigungszustand, selbst nach dem Empfang des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals. Demgemäß wird bis zu der Zeit T3 und während der Transistor 956 im Sättigungszustand ist, der Punkt C auf dem Pegel L gehalten, und das NAND-Tor 962 setzt die Ausgabe eines Leistungsstrom-Erhöhungssignals mit dem Pegel H fort. Dann erhalten nach der Zeit T3 und während der Transistor 956 den ersten Leistungsstrom empfängt und nicht gesättigt ist, der Punkt A und der Punkt C den Pegel H, und somit gibt das NAND-Tor 962 ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel L aus.
Zu der Zeit T4 wird, wenn das Ausgangssignal der Differenzerfassungsschaltung 412 in ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H geändert wird, das Ausgangssignal des NICHT-Tors 950 umgekehrt, um den Pegel L an dem Punkt A zu erzeugen. Demgemäß gibt das NAND-Tor 962 ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H nach einer kurzen Zeitverzögerung aus, die definiert ist durch logische Verzögerung des NICHT-Tors 950 und des NAND-Tors 962 und dergleichen, die nach der Zeit T4 verstrichen ist.
Wenn die Periode von einer Zeit, zu der die Differenzerfassungsschaltung 412 begonnen hat, ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal zuzuführen, bis zu einer Zeit, zu der die Differenzerfassungsschaltung 412 beginnt, ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zuzuführen länger ist, setzt die vorbeschriebene Verzögerungsschaltung 452 die Zeitverzögerung zwischen einer Zeit, zu der die Differenzerfassungsschaltung 412 begonnen hat, ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zuzuführen, und einer Zeit, zu der das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung 304 geliefert wird, länger als die Zeitverzögerung zwischen einer Zeit, zu der die Differenzerfassungsschaltung 412 die Zuführung eines Leistungsstrom-Erhöhungssignals begonnen hat, und einer Zeit, zu der das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung 304 geliefert wird. Als eine Folge ist die Verzögerungsschaltung 452 in der Lage, die Zeit zum Umschalten der Ausgabe von einem Leistungsstrom-Erhöhungssignal mit dem Pegel H zu einem Leistungsstrom-Herabsetzungssignal mit dem Pegel L zu verzögern, um eine Periode zu verlängern, in der ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal ausgegeben wird zu dem Ausgangs der Differenzerfassungsschaltung 412.
Die 11(a) und 11(b) zeigen jeweils eine Beziehung zwischen einer Operation, die von der Prüfvorrichtung 100 durchgeführt wird, und dem Ausgangsleistungsstrom der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Wenn der Leistungszuführungsstrom Io der elektronischen Vorrichtung 50 fließt, steuert die Prüfvorrichtung 100 die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 derart, dass sie zwischen der ersten Bezugsspannung VH und der zweiten Bezugsspannung VL liegt. Die Prüfvorrichtung 100 setzt die erste Bezugsspannung VH und die zweite Bezugsspannung VL niedriger als die Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50, um die Operation zu stabilisieren. Folglich schwankt die Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 bei niedrigeren Spannungen als der Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50.
Hier erzielt die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 301 eine hohe Genauigkeit durch Ausgeben der Ausgangsspannung zu dem Komparator durch negative Rückführung. Dann hat die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 eine Charakteristik der allmählichen Erhöhung des Ausgangsleistungsstroms, bis die Ausgangsleistungsspannung die Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50 erreicht, da die Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 auch bei niedrigeren Spannungen als der Leistungszuführungs spannung der elektronischen Vorrichtung 50 schwankt.
11(a) ist ein Zeitdiagramm, das eine Beziehung zwischen einer Operation der Prüfvorrichtung 100 ohne die Verzögerungsschaltung 452 und dem Ausgangsleistungsstrom von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 zeigt. Wenn die Prüfvorrichtung 100 ohne die Verzögerungsschaltung 452 ist, wird, unmittelbar nachdem die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 größer als die erste Bezugsspannung VH wird, das von der Differenzerfassungsschaltung 412 ausgegebene Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung 304 geliefert, um den Verbrauch eines Teilleistungsstroms zu starten. Demgemäß erhöht die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 allmählich den Ausgangsleistungsstrom IDPS, da der Durchschnittswert der Ausgangsspannung Vo2 niedriger ist als die Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50, die eine Zielspannung ist. Als eine Folge wird der von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 gelieferte Ausgangsleistungsstrom IDPS erhöht, da die Periode, während der der Leistungszuführungsstrom Io zu der elektronischen Vorrichtung 50 fließt, lang wird.
Danach kann, wenn der Leistungszuführungsstrom Io für die elektronische Vorrichtung 50 schnell abnimmt, die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 den Ausgangsleistungsstrom IDPS nicht mit einer guten Ansprechbarkeit herabsetzen, und die parallele Lastschaltung 304 kann nicht den gesamten Ausgangsleistungsstrom IDPS absorbieren, was zu einem großen Überschießen von Vp an der Ausgangsspannung Vo2 der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 führt.
11(b) ist ein Zeitdiagramm, das eine Beziehung zwischen einer Operation der mit der Verzögerungsschaltung 452 ausgestatteten Prüfvorrichtung 100 und dem Ausgangsleistungsstrom der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 zeigt. Die Verzögerungsschaltung 452 liefert ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung 304, nachdem die Zeitverzögerung entsprechend der AUS-Periode des Hochgeschwindigkeitsschalters 516 vergangen ist, nachdem die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 größer als die erste Bezugsspannung VH geworden ist. Demgemäß beginnt der Verbrauch des Teilleistungsstroms zu einer Zeit, zu der die Anschlussspannung Vo des Kondensators 216 ausreichend größer als die erste Bezugsspannung geworden ist. Demgemäß nähert sich der Durchschnittswert der Ausgangsspannung Vo2 der Leistungszuführungsspannung der elektronischen Vorrichtung 50, die eine Zielspannung ist, an, und somit verringert die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 den erhöhten Ausgangsleistungsstrom IDPS. Als eine Folge nimmt, selbst wenn die Periode, während der der Leistungszuführungsstrom Io zu der elektronischen Vorrichtung 50 fließt, lang ist, die Zunahme des durch die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 gelieferten Ausgangsleistungsstroms IDPS ab im Vergleich zu dem Fall, in welchem die Prüfvorrichtung 100 nicht mit der Verzögerungsschaltung 453 ausgestattet ist.
Demgemäß ist die parallele Lastschaltung 304, selbst wenn der Leistungszuführungsstrom Io für die elektronische Vorrichtung 50 schnell abnimmt, in der Lage, den Ausgangsleistungsstrom IDPS zu absorbieren, und somit wird es möglich, das Überschießen Vp der Ausgangsspannung Vo2 zu reduzieren.
Die 12(a) und 12(b) zeigen jeweils ein Beispiel für eine detaillierte Operation, die durch die Test vorrichtung 100 mittels der Verzögerungsschaltung 452 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel durchgeführt wird. Zuerst wird, wenn die elektronische Vorrichtung 50 nicht den Leistungszuführungsstrom Io verbraucht, der gesamte Ausgangsleistungsstrom IDPS von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 durch die parallele Lastschaltung 304 als ein Teilleistungsstrom IL verbraucht.
Dann beginnt, wenn die elektronische Vorrichtung 50 den Verbrauch des Idd[A] als den Leistungszuführungsstrom Io zu verbrauchen, der Leistungsstrom Idd[A], von dem Kondensator 214 und dem Kondensator 216 zu fließen, und die Anschlussspannung Vo beginnt, sich mit einer Geschwindigkeit zu verringern, die gemäß dem Gesamtkapazitätswert CL[F] für den Kondensator 214 und den Kondensator 216 und den Wert "Idd" definiert ist. Wenn die Anschlussspannung Vo kleiner als die zweite Bezugsspannung VL wird, schaltet die Differenzerfassungsschaltung 412 das Ausgangssignal zu dem Leistungsstrom-Erhöhungssignal um. Nachfolgend wird die Differenz zwischen der Leistungszuführungsspannung Vo2, die zu der elektronischen Vorrichtung 50 zu liefern ist, und der zweiten Bezugsspannung VL als VLd[V] bezeichnet.
Nachdem die Zeitverzögerung "td" verstrichen ist, nachdem die Differenzerfassungsschaltung 412 das Ausgangssignal zu dem Leistungsstrom-Erhöhungssignal umgeschaltet hat, wird der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 in der parallelen Lastschaltung 304 in den AUS-Zustand gebracht. Aufgrund der Verzögerung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch diese Zeitverzögerung "td" beginnt die Leistungszuführungsspannung Vo anzusteigen, nachdem sie weiter von der zweiten Bezugsspannung VL um VLx[V] abgesenkt wurde.
Wenn der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 in dem AUS-Zustand ist, fließt ein Leistungsstrom (IL – Idd)[A] durch den Kondensator 214 und den Kondensator 216, und die Anschlussspannung Vo beginnt mit der Geschwindigkeit anzusteigen, die definiert ist gemäß dem Gesamtkapazitätswert CL für den Kondensator 214 und den Kondensator 216 und dem Wert von (IL – Idd). Wenn die Anschlussspannung Vo größer als die erste Bezugsspannung VH wird, schaltet die Differenzerfassungsschaltung 412 das Ausgangssignal zu dem Leistungsstrom-Herabsetzungssignal um. Nachfolgend wird die Differenz zwischen Vo2 und der ersten Bezugsspannung VH als VHd[V] dargestellt.
Nachdem die Zeitverzögerung "tdoff" verstrichen ist, nachdem die Differenzerfassungsschaltung 412 das Ausgangssignal zu einem Leistungsstrom-Herabsetzungssignal umgeschaltet hat, wird der Hochgeschwindigkeitsschalter 516 in der parallelen Lastschaltung 304 in den EIN-Zustand gebracht. Aufgrund der Verzögerung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch diese Zeitverzögerung "tdoff" beginnt die Leistungszuführungsspannung Vo abzunehmen, nachdem sie weiter um VHx[V] von der ersten Bezugsspannung VH angehoben wurde.
Wie in 12(a) gezeigt ist, gilt, wenn (2 × Idd) kleiner als IL ist, die Beziehung Idd < (IL – Idd), und somit wird die Geschwindigkeit, mit der die Anschlussspannung Vo angehoben wird, höher als die Geschwindigkeit, mit der die Anschlussspannung Vo abgesenkt wird. Demgemäß erreicht, selbst wenn die Verzögerung "tdoff" durch die Verzögerungsschaltung 452 als 0 gesetzt wird, die Ausgangsspannung der Leistungszuführungs-Ausgabeschaltung 302 die zu der elektronischen Vorrichtung 50 zu liefernde Leistungszuführungsspannung. Daher ist die Zunahme des von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 gelieferten Ausgangsleistungsstroms IDPS klein und somit ist das Überschießen VP klein.
Andererseits gilt, wenn, wie in 12(b) gezeigt, Idd < IL < (2 × Idd) gilt, die Beziehung Idd > IL – Idd), und somit ist die Geschwindigkeit, mit der die Anschlussspannung Vo angehoben wird, langsamer als die Geschwindigkeit, mit der die Anschlussspannung Vo abgesenkt wird. Demgemäß erreicht, wenn keine Verzögerung durch die Verzögerungsschaltung 452 stattfindet, die Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 nicht die zu der elektronischen Vorrichtung 50 zu liefernde Leistungszuführungsspannung. Angesichts dessen verzögert die Verzögerungsschaltung 452 ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal um die Zeitverzögerung "tdoff", um zu bewirken, dass die Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 die zu der elektronischen Vorrichtung 50 zu liefernde Leistungszuführungsspannung erreicht. Demgemäß wird es möglich, die Zunahme des durch die Leistungsstrom-Ausgabeschaltung 302 zugeführten Ausgangsleistungsstroms IDPS zu beschränken und das Überschießen Vp zu reduzieren.
Die Zeitperiode t2 nach dem Beginn des Anstiegs der Anschlussspannung Vo bis zum Erreichen der ersten Bezugsspannung VH durch die Anschlussspannung Vo ist erhältlich unter Verwendung des folgenden Ausdrucks (12).
(Ausdruck 12)

t2 = CL × (VLx + Vth)/(IL – Idd) (12)

Es ist festzustellen, dass "Vth" eine Differenzspannung zwischen VL und VH ist.
Die Zeitverzögerung "tdoff" für den weiteren Anstieg der Anschlussspannung Vo um VHx, nachdem die erste Bezugsspannung VH erreicht ist, ist erhältlich durch den folgenden Ausdruck (13).
(Ausdruck 13)

tdoff = CL × VHx/(IL – Idd) (13)

Der folgende Ausdruck (14) wird durch den Ausdruck (12) und den Ausdruck (13) erhalten.
(Ausdruck 14)

tdoff/t2 = VHx/(VLx + Vth) (14)

Wenn VHx, VLx und Vth unter Verwendung des Ausdrucks (14) bestimmt sind, wird der Wert von "tdoff" gemäß t2 berechnet. Demgemäß wird durch Bestimmen der Widerstandswerte für den Widerstand 954 und den Widerstand 960, die "tdoff" derart ergeben, dass entweder dieser Beziehung genügt wird oder diese Beziehung angenähert wird, die Verzögerungsschaltung 452 in die Lage versetzt, das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu einer geeigneten Zeit zu verzögern und das Überschießen Vp zu verringern.
Es ist festzustellen, dass, wenn der Minimalwert der Gesamtkapazität CL für den Kondensator 214 und den Kondensator 216 auf der Grundlage des Leistungszuführungsstroms "Idd" für die elektronische Vorrichtung 50 definiert ist, die Zeitverzögerung "td" für die durch die parallele Lastschaltung 304 durchgeführte Operation und die zulässige Größe VLx des Spannungsabfalls von der ersten Bezugsspannung. Genauer gesagt, der Minimalwert für CL ist erhältlich auf der Grundlage des folgenden Ausdrucks (15).
(Ausdruck 15)

CL = Idd × td/VLx (15)

Wenn beispielsweise "Idd" gleich 1A ist, "td" gleich 300 ns ist und VLx gleich 10 mV ist, nimmt CL einen Wert von nicht weniger als 30 μF an.
Vorstehend wurde die vorliegende Erfindung im Wege von Ausführungsbeispielen beschrieben. Jedoch ist selbstverständlich, dass der technische Bereich der vorliegenden Erfindung nicht durch das vorbeschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt sein sollte. Es ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen vornehmen kann, ohne von dem Geist und dem Bereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es ist offensichtlich anhand der angefügten Ansprüche, dass Ausführungsbeispiele mit derartigen Modifikationen auch zu dem Bereich der vorliegenden Erfindung gehören.
GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
Die vorliegende Erfindung sieht eine Leistungszuführungsvorrichtung, die eine stabile Leistungszuführungsspannung zu einer elektronischen Vorrichtung liefert, und eine Prüfvorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung mit hoher Genauigkeit unter Verwendung der Leistungszuführungsvorrichtung prüft, vor.
Zusammenfassung:
Es ist eine Leistungszuführungsvorrichtung vorgesehen, welche aufweist: einen Verbindungswiderstand (212), der einen Leistungszuführungsstrom einer elektronischen Vorrichtung (50) zu der elektronischen Vorrichtung liefert; ein Tiefpassfilter (402), das den Durchgang einer Ausgangsspannung einer Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht; eine parallele Lastschaltung (304), die einen Teilleistungsstrom, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms ist, verbraucht, wenn sie ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal empfängt, und den Empfang des Teilleistungsstroms beendet, wenn sie ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfängt; eine Versetzungsadditionsschaltung (450), die eine Spannung ausgibt, die durch Addieren einer Versetzungsspannung zu der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters erhalten wurde; und eine Differenzerfassungsschaltung (412), die das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, während ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands kleiner ist als eine Bezugsspannung, die durch Subtrahieren einer Bezugspotentialdifferenz von der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung erhalten wurde, und das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird, wobei die Versetzungsadditionsschaltung die Versetzungsspannung einstellt, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz gemäß einer Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters geändert wird.

Claims

Leistungszuführungsvorrichtung zum Zuführen eines Leistungszuführungsstroms zu einer elektronischen Vorrichtung, welche Leistungszuführungsvorrichtung aufweist: eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgangsleistungsstrom ausgibt, der zumindest teilweise den Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom zu der elektrischen Vorrichtung liefert durch elektrischen Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektronischen Vorrichtung; ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das einen Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht durch Reduzieren einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist; eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel zu dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teilleistungsstrom, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ist, verbraucht, wenn ein Leistungsstrom-Herabsetzungssignal, das die Herabsetzung des Leistungszuführungsstroms bestimmt, empfangen wird, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung beendet, wenn ein Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfangen wird, das eine Erhöhung des Leistungszuführungsstroms bestimmt; eine Versetzungsadditionsschaltung, die eine Spannung ausgibt, die durch Addieren einer Versetzungsspannung zu der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters erhalten wurde; und eine Differenzerfassungsschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, während ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands, das nahe der elektronischen Vorrichtung positioniert ist, kleiner als eine erste Bezugsspannung ist, die durch Subtrahieren einer ersten Bezugspotentialdifferenz von der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird, wobei die Versetzungsadditionsschaltung gemäß einer Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters a) die Versetzungsspannung erhöht, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz erhöht ist, und b) die Versetzungsspannung herabsetzt, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz herabgesetzt ist.
Leistungszuführungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Differenzerfassungsschaltung a) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, während das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als eine zwei te Bezugsspannung ist, die durch Subtrahieren einer zweiten Bezugspotentialdifferenz von der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die zweite Bezugsspannung wird, und die Versetzungsadditionsschaltung gemäß einer Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters a) die Versetzungsspannung erhöht, wenn die zweite Bezugspotentialdifferenz erhöht ist, und b) die Versetzungsspannung herabsetzt, wenn die zweite Bezugspotentialdifferenz herabgesetzt ist.
Leistungszuführungsvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Differenzerfassungsschaltung enthält: eine Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung, die entweder die erste Bezugsspannung oder die zweite Bezugsspannung, die kleiner als die erste Bezugsspannung ist, ausgibt durch Teilen der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung; einen ersten Komparator, der a) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu einer Ausgangssignalleitung ausgibt, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die Bezugsspannung ist, und b) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der Ausgangssignalleitung ausgibt, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die Bezugsspannung ist; und eine Bezugsspannungs-Einstellschaltung, die gemäß dem Ausgangssignal von dem ersten Komparator bewirkt, dass die Bezugsspannungs-Ausgabeschaltung a) die zweite Bezugsspannung ausgibt, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird, und b) die erste Bezugsspannung ausgibt, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die zweite Bezugsspannung wird, und die parallele Lastschaltung auf der Grundlage des Leistungsstrom-Erhöhungssignals und des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals, die von der Ausgangssignalleitung des ersten Komparators geliefert werden, a) den von er Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Teilleistungsstrom verbraucht durch Leiten des Teilleistungsstrom zu einem Pfad, der parallel zu dem Verbindungswiderstand ist, während einer Periode von dem Zeitpunkt, zu dem das Potential des vorrichtungsseitigen größer als die erste Bezugsspannung geworden ist, bis zu dem Zeitpunkt, zu welchem das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die zweite Bezugsspannung geworden ist, und b) das Leiten des Teilleistungsstroms zu dem parallelen Pfad beendet, während einer Periode von dem Zeitpunkt, zu welchem das Potential des vorrichtungsseitigen Endes kleiner als die zweite Bezugsspannung geworden ist, bis zu dem Zeitpunkt, zu welchem das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird.
Leistungszuführungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Versetzungsadditionsschaltung enthält: einen ersten Widerstand, der mit einer dritten Bezugsspannung verbunden ist, die höher als die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters ist; einen zweiten Widerstand, der zwischen einem Ausgang der Versetzungsadditionsschaltung und ein Ende des ersten Widerstands, mit dem die dritte Bezugsspannung nicht verbunden ist, geschaltet ist; und einen zweiten Komparator, der die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters und eine Spannung an einer Verbindung zwischen dem ersten Widerstand und dem zweiten Widerstand als Eingangssignale empfängt, welcher zweite Komparator a) die Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung herabsetzt, wenn die Spannung an der Verbindung größer als die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters ist, und b) die Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung anhebt, wenn die Spannung an der Verbindung kleiner als die Ausgangsspannung des Tiefpassfilters ist.
Leistungszuführungsvorrichtung nach Anspruch 1, welche weiterhin aufweist: eine Verzögerungsschaltung, die einen Zeitpunkt des Startens der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals zu der parallelen Lastschaltung stärker verzögert, wenn eine Periode von dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zu dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung länger ist.
Leistungszuführungsvorrichtung zum Zuführen eines Leistungszuführungsstroms zu einer elektronischen Vorrichtung, welche Leistungszuführungsvorrichtung aufweist: eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgangsleistungsstrom ausgibt, der zumindest teilweise den Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom zu der elektronischen Vorrichtung liefert durch elektrisches Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektronischen Vorrichtung; ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das einen Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht durch Reduzieren einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist; eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel zu dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teilleistungsstrom, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ist, verbraucht, wenn eine Herabsetzung des Leistungszuführungsstroms anweisenden Leistungsstrom-Herabsetzungssignal empfangen wird, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung beendet, wenn ein eine Erhöhung des Leistungszuführungsstroms anweisendes Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfangen wird; eine Differenzerfassungsschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands, das sich nahe der elektronischen Vorrichtung befindet, kleiner als eine erste Bezugsspannung ist, die durch Subtrahieren eines vorbestimmten Wertes von der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird; und eine Verzögerungsschaltung, die einen Zeitpunkt des Startens der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals zu der parallelen Lastschaltung stärker verzögert, wenn eine Periode von dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zu dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung länger ist.
Leistungszuführungsvorrichtung nach Anspruch 6, bei der, wenn die Periode von dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zu dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung länger ist, die Verzögerungsschaltung eine Zeitverzögerung von der Zeit, wenn die Differenzerfassungsschaltung das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal liefert bis zu der Zeit, wenn das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung geliefert wird, länger einstellt als eine Zeitverzögerung von der Zeit, wenn die Differenzerfassungsschaltung das Leistungsstrom-Erhöhungssignal liefert, bis zu der Zeit, wenn das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung geliefert wird.
Leistungszuführungsvorrichtung nach Anspruch 7, bei der die Verzögerungsschaltung enthält: eine Basisleistungsstrom-Zuführungsschaltung, die a) einen ersten Basisleistungsstrom liefert, wenn das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal von der Differenzerfassungsschaltung geliefert wird, und b) einen zweiten Basisleistungsstrom, der größer als der erste Basisleistungsstrom ist, liefert, wenn das Leistungsstrom-Erhöhungssignal von der Differenzerfassungsschaltung geliefert wird; einen Transistor, der an einer Basis die Eingabe des von der Leistungsstrom-Zuführungsschaltung gelieferten Basisleistungsstroms empfängt und gesättigt ist, wenn er die Eingabe des zweiten Basisleistungsstroms empfängt; und eine Leistungsstrom-Steuersignal-Ausgabeschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung während einer EIN-Periode des Transistors, die aus einer Periode, in der der Transistor die Eingabe des zweiten Basisleistungsstroms empfängt, und einer Periode, in der der Transistor gesättigt ist, besteht, liefert, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung in einer AUS-Periode, in der der Transistor die Eingabe des ersten Leistungsstroms empfängt und der Transistor nicht gesättigt ist, liefert.
Leistungszuführungsvorrichtung nach Anspruch 8, bei der die Basislistungsstrom-Zuführungsschaltung enthält: ein erstes Tor, das a) ein Signal mit dem Pegel H ausgibt, wenn ihm das Leistungsstrom-Erhöhungssignal von der Differenzerfassungsschaltung zugeführt wird, und b) ein Signal mit dem Pegel L ausgibt, wenn ihm das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal von der Differenzerfassungs schaltung zugeführt wird; einen dritten Widerstand, der zwischen einen Ausgang des ersten Tors und die Basis des Transistors geschaltet ist; und einen Diode, die parallel zu dem dritten Widerstand vorgesehen ist, wobei der Ausgang des ersten Tors und die Kathode mit der Basis des Transistors bzw. der Anode verbunden sind.
Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welche Prüfvorrichtung aufweist: eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgangsleistungsstrom ausgibt, der zumindest teilweise einen von der elektronischen Vorrichtung zu empfangenden Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom zu der elektronischen Vorrichtung liefert durch elektrisches Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektronischen Vorrichtung; ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das einen Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ermöglicht durch Reduzieren einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist; eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel mit dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teilleistungsstrom, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leis tungsstrom-Ausgabeschaltung ist, verbraucht, wenn ein die Herabsetzung des Leistungszuführungsstroms anweisendes Leistungsstrom-Herabsetzungssignal empfangen wird, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung beendet, wenn ein die Erhöhung des Leistungszuführungsstroms anweisendes Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfangen wird; eine Versetzungsadditionsschaltung, die eine durch Addieren einer Versetzungsspannung zu der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters erhaltene Spannung ausgibt; und eine Differenzerfassungsschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, während ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands, das sich nahe der elektronischen Vorrichtung befindet, kleiner ist als eine erste Bezugsspannung, die durch Subtrahieren einer ersten Bezugspotentialdifferenz von der Ausgangsspannung der Versetzungsadditionsschaltung erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird; eine Mustererzeugungsschaltung, die ein in die elektronische Vorrichtung einzugebendes Prüfmuster erzeugt; eine Signaleingabeschaltung, die das Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung, die den Leistungszuführungsstrom empfängt, liefert; und eine Beurteilungsschaltung, die beurteilt, ob die elektronische Vorrichtung fehlerhaft oder fehlerfrei ist, auf der Grundlage eines Signals, das die elektronische Vorrichtung gemäß dem Prüfmuster ausgibt, wobei die Versetzungsadditionsschaltung a) die Versetzungsspannung erhöht, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz erhöht ist, und b) die Versetzungsspannung herabsetzt, wenn die erste Bezugspotentialdifferenz herabgesetzt ist, gemäß einer Änderung der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters.
Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welche Prüfvorrichtung aufweist: eine Leistungsstrom-Ausgabeschaltung, die einen Ausgangsleistungsstrom ausgibt, der zumindest teilweise den Leistungszuführungsstrom enthält; einen Verbindungswiderstand, der den von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung empfangenen Leistungszuführungsstrom zu der elektronischen Vorrichtung liefert durch elektrisches Verbinden der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung und der elektrischen Vorrichtung; ein Tiefpassfilter, das eine Grenzfrequenz hat, die niedriger als eine Verschiedenheit von Frequenzen des von der elektronischen Vorrichtung empfangenen Leistungszuführungsstroms ist, und das einen Durchgang einer Ausgangsspannung der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung durch Reduzieren einer Frequenzkomponente, die höher als die Grenzfrequenz ist, ermöglicht; eine parallele Lastschaltung, die mit einem Ausgangsende der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung so verbunden ist, dass sie parallel mit dem Verbindungswiderstand ist, wobei die parallele Lastschaltung a) einen Teilleistungsstrom, der ein Teil des Ausgangsleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung ist, verbraucht, wenn ein die Herabsetzung des Leistungszufüh rungsstroms anweisendes Leistungsstrom-Herabsetzungssignal empfangen wird, und b) den Empfang des Teilleistungsstroms von der Leistungsstrom-Ausgabeschaltung beendet, wenn ein eine Erhöhung des Leistungszuführungsstroms anweisendes Leistungsstrom-Erhöhungssignal empfangen wird; eine Differenzerfassungsschaltung, die a) das Leistungsstrom-Erhöhungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn ein Potential eines vorrichtungsseitigen Endes des Verbindungswiderstands, das sich nahe der elektronischen Vorrichtung befindet, kleiner ist als eine erste Bezugsspannung, die durch Subtrahieren eines vorbestimmten wertes von der Ausgangsspannung des Tiefpassfilters erhalten wurde, und b) das Leistungsstrom-Herabsetzungssignal zu der parallelen Lastschaltung liefert, wenn das Potential des vorrichtungsseitigen Endes größer als die erste Bezugsspannung wird; eine Verzögerungsschaltung, die einen Zeitpunkt des Beginns der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals zu der parallelen Lastschaltung stärker verzögert, wenn eine Periode von dem Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Erhöhungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung bis zum Beginn der Zuführung des Leistungsstrom-Herabsetzungssignals durch die Differenzerfassungsschaltung länger ist; eine Mustererzeugungsschaltung, die ein in die elektronische Vorrichtung einzugebendes Prüfmuster erzeugt; eine Signaleingabeschaltung, die das Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung, die den Leistungszuführungsstrom empfängt, liefert; und eine Beurteilungsschaltung, die beurteilt, ob die elektronische Vorrichtung fehlerhaft oder fehlerfrei ist, auf der Grundlage eines Signals, das die elektronische Vorrichtung gemäß dem Prüfmuster ausgibt.