DE1107368B - Verfahren zum Betrieb einer Ionenpumpe und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Betrieb einer Ionenpumpe und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens

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DE1107368B
DE1107368B DEC21392A DEC0021392A DE1107368B DE 1107368 B DE1107368 B DE 1107368B DE C21392 A DEC21392 A DE C21392A DE C0021392 A DEC0021392 A DE C0021392A DE 1107368 B DE1107368 B DE 1107368B
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DE
Germany
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cathode
ions
cathodes
material element
cylinder
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DEC21392A
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German (de)
English (en)
Inventor
Wilson Marcus Brubaker
Frederick Paul Pickett
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Consolidated Vacuum Corp
Original Assignee
Consolidated Vacuum Corp
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
    • H01J41/18—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes
    • H01J41/20—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes using gettering substances

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