DE1075238B - Selenium photo element - Google Patents

Selenium photo element

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DE1075238B
DE1075238B DENDAT1075238D DE1075238DA DE1075238B DE 1075238 B DE1075238 B DE 1075238B DE NDAT1075238 D DENDAT1075238 D DE NDAT1075238D DE 1075238D A DE1075238D A DE 1075238DA DE 1075238 B DE1075238 B DE 1075238B
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DE
Germany
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layer
selenium
conductive
support
photo element
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Pending
Application number
DENDAT1075238D
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German (de)
Inventor
Wolkersdorf Dipl.-Ing. Eduard Risz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Optische Anstalt CP Goerz AG
Original Assignee
Optische Anstalt CP Goerz AG
Publication date
Publication of DE1075238B publication Critical patent/DE1075238B/en
Pending legal-status Critical Current

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/06Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising selenium or tellurium in uncombined form other than as impurities in semiconductor bodies of other materials
    • H01L21/08Preparation of the foundation plate
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    • H01L21/02664Aftertreatments
    • H01L21/02667Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth

Description

Selenphotoelement Die Erfindung betrifft ein Selenphotoelement mit einem durchsichtigen und auf der einen Oberfläche leitenden Träger aus Quarz, Quarzglas, Glas oder einem anderen anorganischen Träger, einer auf der leitenden Seite des Trägers aufliegenden Selenschicht und einer auf der Selenschicht liegenden Gegenelektrode.Selenium photo element The invention relates to a selenium photo element a transparent carrier made of quartz, quartz glass, which is conductive on one surface, Glass or other inorganic support, one on the conductive side of the Selenium layer resting on the carrier and a counter electrode lying on the selenium layer.

Bei den bekannten photoelektrischen Elementen, deren vorderste Schicht aus Glas bestand, welches an seiner Rückseite einen Belag aus einer dünnen Metallschicht trug, mußte diese Metallschicht sowohl als lichtdurchlässige Abnahmeelektrode als auch als Spiegel dienen, da diese Zelle gleichzeitig als Spiegel in Spiegelreflexkameras verwendet wurde. Die Lichtverluste dieser Zelle waren naturgemäß sehr groß, so daß sie nur einen sehr geringen Wirkungsgrad hatte.In the case of the known photoelectric elements, their foremost layer consisted of glass, which on its back was covered with a thin metal layer carried, this metal layer had to act as both a translucent pick-up electrode as well as a Also serve as a mirror, as this cell doubles as a mirror in SLR cameras was used. The light losses in this cell were naturally very great, so that it had only a very low level of efficiency.

Um diese Nachteile zu beseitigen, wird vorgeschlagen, bei Selenphotoelementen der eingangs angegebenen Art, sogenannten »Vorderwandzellen«, bei denen das Licht durch den durchsichtigen Träger, nicht aber durch die Selenschicht hindurchgehen muß, erfindungsgemäß die elektrisch leitende Oberflächenschicht durch unter gegebenenfalls mehrmaligem Erwärmen des Trägers auf 500 bis 650° C und darauffolgendem Abkühlen erfolgtes Eindiffundieren einer vorher auf den Träger aufgedampften Zinnschicht zu bilden.In order to overcome these disadvantages, it is proposed to use selenium photo elements of the type mentioned at the beginning, so-called "front wall cells", in which the light go through the transparent support, but not through the selenium layer must, according to the invention, the electrically conductive surface layer through under if necessary repeated heating of the carrier to 500 to 650 ° C. and subsequent cooling A tin layer previously vapor-deposited onto the carrier has diffused in to build.

In der Zeichnung ist ein erfindungsgemäß --aufgebautes Selenphotoelement im Schnitt beispielsweise dargestellt. Hierbei ist mit 1 der lichtdurchlässige, aus Glas, Quarzglas, Quarz oder einem anderen lichtdurchlässigen anorganischen Stoff bestehende Träger bezeichnet. 2 bedeutet die auf diesen Träger aufgebrachte lichtdurchlässige und elektrisch leitende Schicht und 3 die auf dieser Schicht liegende Selenschicht. Auf der Trägerplatte 1 kann eine Abnahmeelektrode 4 angeordnet sein. Als Gegenelektrode dient die Metallschicht 5, welche die Selenschicht 3 abdeckt. Der Lichteinfall erfolgt in der mit dem Pfeil 6 bezeichneten Richtung.In the drawing is a selenium photo element constructed according to the invention shown in section, for example. Here with 1 the translucent, made of glass, quartz glass, quartz or another translucent inorganic substance existing carriers. 2 means the translucent layer applied to this carrier and electrically conductive layer and 3 the selenium layer lying on this layer. A pick-up electrode 4 can be arranged on the carrier plate 1. As a counter electrode the metal layer 5, which covers the selenium layer 3, is used. The incidence of light occurs in the direction indicated by arrow 6.

Zur Herstellung des gemäß der Erfindung aufgebauten Selenphotoelementes wird auf den Träger 1 zunächst eine sehr dünne Zinnschicht aufgedampft. Diese wird durch eine Temperung bei einer Temperatur von 500 bis 650° C zur Hineindiffusion in die Oberfläche des Trägers gebracht; dabei bildet sich eine elektrisch halbleitende Schicht und gleichzeitig an der Oberfläche (Grenzfläche) die für die Funktion des Photoelementes notwendige Sperrschicht. Es hat sich hierbei gezeigt, daß der günstigste Widerstandswert der dabei entstehenden Halbleiterschicht dann erreicht wird, wenn der Träger mit dieser Zinnschicht plötzlich auf die angegebene Temperatur gebracht und nach dem Einbrennen ebenso rasch wieder abgekühlt wird. Um besonders geringe Oberflächenwiderstände zu erreichen, kann dieser Vorgang mehrmals wiederholt werden. Auf die leitend gemachte Oberfläche des Trägers wird nun die dünne Selenschicht 3 und auf diese die als Gegenelektrode dienende Metallschicht 5 aufgedampft.For the production of the selenium photo element constructed according to the invention a very thin layer of tin is first vapor-deposited onto the carrier 1. This will by tempering at a temperature of 500 to 650 ° C for diffusion into it brought into the surface of the support; this forms an electrically semiconducting one Layer and at the same time on the surface (interface) that is responsible for the function of the Photoelement necessary barrier layer. It has been shown here that the cheapest The resistance value of the resulting semiconductor layer is reached when the carrier with this tin layer was suddenly brought to the specified temperature and is cooled again just as quickly after baking. To particularly low To achieve surface resistances, this process can be repeated several times. The thin selenium layer is now placed on the surface of the carrier that has been made conductive 3 and onto this the metal layer 5 serving as a counter electrode is vapor-deposited.

Die erforderliche Formierung der Selenschicht - eine Wärmebehandlung bei Temperaturen zwischen 120 und 130° C, durch welche das Selen in die lichtempfindliche Modifikation übergeführt wird - kann vor oder nach dem Aufdampfen der Gegenelektrode erfolgen.The necessary formation of the selenium layer - a heat treatment at temperatures between 120 and 130 ° C, through which the selenium in the photosensitive Modification is transferred - can be before or after the vapor deposition of the counter electrode take place.

Die freie Oberfläche des Trägers kann mit einer reflexmindernden Schicht (Antireflexbelag) versehen werden, um die Lichtverluste an der freien Oberfläche infolge Reflexion herabzusetzen.The free surface of the support can be coated with an anti-reflective layer (Anti-reflective coating) are provided to reduce the loss of light on the free surface decrease as a result of reflection.

Durch die Ausbildung des Selenphotoelementes gemäß der Erfindung ergibt sich eine wesentlich höhere Empfindlichkeit gegenüber den bekannten Vorderwandzellen.The formation of the selenium photo element according to the invention results a much higher sensitivity compared to the known anterior wall cells.

Claims (2)

PATENTANSPRÜCHE: 1. Selenphotoelement mit einem durchsichtigen und auf der einen Oberfläche leitenden Träger aus Quarz, Quarzglas, Glas oder einem anderen anorganischen Träger, einer auf der leitenden Seite des Trägers aufliegenden Selenschicht und einer auf der Selenschicht liegenden Gegenelektrode, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Oberflächenschicht durch unter gegebenenfalls mehrmaligem Erwärmen des Trägers auf 500 bis 650° C und darauffolgendem Abkühlen erfolgtes Eindiffundieren einer vorher auf diesen aufgedampften Zinnschicht gebildet ist. PATENT CLAIMS: 1. Selenium photo element with a clear and on the one surface conductive carrier made of quartz, quartz glass, glass or a other inorganic support, one on the conductive side of the support Selenium layer and a counter electrode lying on the selenium layer, characterized in that that the electrically conductive surface layer through under optionally repeated The support is heated to 500 to 650 ° C. and then cooled, followed by diffusion a tin layer previously evaporated thereon is formed. 2. Photoelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte auf der nichtleitenden Lichteinfallseite einen an sich bekannten, reflexmindernden Belag aufweist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 592 734, 838 924, 922 726; Ann. d. Physik und Chemie, 34 (1888), S. 241 bis 248; Lange, »Die Photoelemente« (1940), S. 64 bis 74; österreichische Patentschrift Nr. 175 617; USA Patentschrift Nr. 2 677 714.2. Photo element according to claim 1, characterized in that the carrier plate on the non-conductive Light incidence side has a known, reflection-reducing coating. Into consideration Drawn publications: German Patent Nos. 592 734, 838 924, 922 726; Ann. d. Physik und Chemie, 34 (1888), pp. 241 to 248; Lange, "The Photo Elements" (1940), pp. 64 to 74; Austrian Patent No. 175 617; USA patent specification No. 2,677,714.
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