DE1049189B - Anwendung eines elektrolytischen Verfahrens zur Erzeugung eines spannungsfreien Schnitts in einem Halbleiter - Google Patents

Anwendung eines elektrolytischen Verfahrens zur Erzeugung eines spannungsfreien Schnitts in einem Halbleiter

Info

Publication number
DE1049189B
DE1049189B DEW17835A DEW0017835A DE1049189B DE 1049189 B DE1049189 B DE 1049189B DE W17835 A DEW17835 A DE W17835A DE W0017835 A DEW0017835 A DE W0017835A DE 1049189 B DE1049189 B DE 1049189B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cut
electrode
cutting
semiconductor
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEW17835A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Joseph Francis Barry
Norman Clair Seeley
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AT&T Corp
Original Assignee
Western Electric Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Western Electric Co Inc filed Critical Western Electric Co Inc
Publication of DE1049189B publication Critical patent/DE1049189B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
    • C25F3/02—Etching
    • C25F3/12—Etching of semiconducting materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
DEW17835A 1954-12-31 1955-11-11 Anwendung eines elektrolytischen Verfahrens zur Erzeugung eines spannungsfreien Schnitts in einem Halbleiter Pending DE1049189B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US479109A US2827427A (en) 1954-12-31 1954-12-31 Method of shaping semiconductive bodies

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1049189B true DE1049189B (de) 1959-01-22

Family

ID=23902694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEW17835A Pending DE1049189B (de) 1954-12-31 1955-11-11 Anwendung eines elektrolytischen Verfahrens zur Erzeugung eines spannungsfreien Schnitts in einem Halbleiter

Country Status (6)

Country Link
US (1) US2827427A (OSRAM)
BE (1) BE544034A (OSRAM)
CH (1) CH340557A (OSRAM)
DE (1) DE1049189B (OSRAM)
FR (1) FR1134147A (OSRAM)
GB (1) GB803887A (OSRAM)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2939825A (en) * 1956-04-09 1960-06-07 Cleveland Twist Drill Co Sharpening, shaping and finishing of electrically conductive materials
NL132982C (OSRAM) * 1958-11-10
GB919158A (en) * 1959-02-26 1963-02-20 Mullard Ltd Improvements in methods of etching bodies
US3086936A (en) * 1959-10-27 1963-04-23 Motorola Inc Apparatus for electrochemical etching
NL258410A (OSRAM) * 1959-11-27
US3130138A (en) * 1959-11-27 1964-04-21 Battelle Development Corp Electrolytic cutting
NL252383A (OSRAM) * 1960-06-07
US3275538A (en) * 1960-09-20 1966-09-27 Gen Motors Corp Electrochemical machining method and apparatus
US3228862A (en) * 1960-10-04 1966-01-11 Gen Instrument Corp Esaki diode manufacturing process, and apparatus
US3224953A (en) * 1961-04-07 1965-12-21 Microdot Inc Electrolytic lathe
US3251762A (en) * 1961-08-24 1966-05-17 Midvale Heppenstall Company Electrode for electrolytic metal shaping
US3928154A (en) * 1973-04-12 1975-12-23 Trw Inc Electrochemical radius generation
CH560574A5 (OSRAM) * 1973-09-11 1975-04-15 Agie Ag Ind Elektronik
JP3809237B2 (ja) * 1996-12-06 2006-08-16 キヤノン株式会社 電解パターンエッチング方法
JP2007030155A (ja) * 2005-06-24 2007-02-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 窒化物半導体結晶の加工方法
EP2154269A4 (en) * 2007-05-09 2012-11-21 Quantum 14 Kk PROCESS FOR PROCESSING SILICON BASE MATERIAL, OBJECT AND PROCESSING DEVICE PROCESSED BY THE METHOD

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE565765C (de) * 1929-07-24 1932-12-08 Vladimir Gusseff Verfahren und Vorrichtung zur elektrolytischen Bearbeitung von Metallen

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2526423A (en) * 1947-04-10 1950-10-17 Rudorff Dagobert William Apparatus and method for cutting materials

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE565765C (de) * 1929-07-24 1932-12-08 Vladimir Gusseff Verfahren und Vorrichtung zur elektrolytischen Bearbeitung von Metallen

Also Published As

Publication number Publication date
FR1134147A (fr) 1957-04-08
US2827427A (en) 1958-03-18
GB803887A (en) 1958-11-05
CH340557A (fr) 1959-08-31
BE544034A (OSRAM)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1049189B (de) Anwendung eines elektrolytischen Verfahrens zur Erzeugung eines spannungsfreien Schnitts in einem Halbleiter
DE2142146C3 (de) Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen mehrerer Halbleiterbauelemente
DE1146982B (de) Verfahren zur Herstellung von Halbleiterzonen mit genauer Dicke zwischen flaechenhaften PN-UEbergaengen in einkristallinen Halbleiterkoerpern von Halbleiterbauelementen,insbesondere von Dreizonentransistoren
DE1024640B (de) Verfahren zur Herstellung von Kristalloden
DE1077024B (de) Verfahren zum elektrolytischen Strahlplattieren von Indium oder Gallium
DE1130522B (de) Flaechentransistor mit anlegierten Emitter- und Kollektorelektroden und Legierungs-verfahren zu seiner Herstellung
DE2523055A1 (de) Minoritaetstraeger-trennzonen fuer halbleitervorrichtungen und verfahren zu ihrer herstellung
DE2628381A1 (de) Vorrichtung zum bohren von mikrokanaelen in halbleiterkoerper
DE69501642T2 (de) Verfahren zum funkenerosiven Bearbeiten eines elektrisch nichtleitenden Materials mittels Anbringen einer elektrisch leitfähigen Schicht
DE1258941B (de) Verfahren zur Herstellung von mehrschichtigen Duennfilmschaltungsplatten
DE4010889A1 (de) Verfahren zum herstellen einer vergrabenen laserdiode mit heterostruktur
DE1298085B (de) Verfahren zur Herstellung von Einkristallen hoher Kristallguete durch Zonenschmelzen
DE1096150B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung eines oertlichen Gebietes der Oberflaeche eines Werkstuecks mit Fluessigkeit
DE3338179A1 (de) Verfahren fuer den kathodischen schutz eines aluminiumgegenstands
DE2143085C3 (de) Werkzeug zum elektrochemischen Herstellen mehrerer aus einer Hauptbohrung abzweigender Querbohrungen
DE1496961B2 (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen anodischen bearbeitung von bandmaterial
DE1125551B (de) Verfahren zur Herstellung eines legierten pn-UEbergangs sehr geringer Eindringtiefe in einem Halbleiterkoerper
DE1040134B (de) Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen mit Halbleiterkoerpern mit p-n-UEbergang
DE1123406B (de) Verfahren zur Herstellung von legierten Halbleiteranordnungen
DE1194064B (de) Verfahren zum elektrolytischen AEtzen der Ober-flaeche eines mit Legierungselektroden aus einer Bleilegierung versehenen npn-Transistors mit einem Halbleiterkoerper aus Germanium
DE1071846B (OSRAM)
DE1093911B (de) Verfahren zur Befestigung einer metallischen Kontakt-Elektrode an dem Koerper aus halbleitendem Material einer Halbleiteranordnung
DE967930C (de) Halbleiter mit P-N-Schicht und Verfahren zu seiner Herstellung
DE1496944A1 (de) Verfahren zum Verhueten des Wachstums metallischer Nadeln auf galvanischen UEberzuegen
DE1163975C2 (de) Verfahren zur Verbesserung der elektrischen Eigenschaften von Halbleiteranordnungen