DE10312919A1 - Induktiver Wegsensor - Google Patents

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Klaus-Detlef Dipl.-Ing. Riewert
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Abstract

Verbessert werden soll ein induktiver Wegsensor, der nach dem Wirbelstromprinzip ausgebildet ist, mit einer in einem Schwingkreis angeschlossenen Resonanzspule (1), einem Sensorgehäuse (5) und einem in dem Sensorgehäuse (5) integrierten temperaturabhängigen elektrischen Bauelement, insbesondere mit einem Widerstandselement oder einem Halbleiterelement, dessen elektrischer Widerstand temperaturabhängig ist. Eine leichte Austauschbarkeit des Wegsensors soll möglich sein, ohne dass ein Neuabgleich oder sogar ein Austausch einer Auswerteelektronik erforderlich ist. Außerdem soll durch den Sensor eine Temperaturkompensation ohne eine aufwendige Auswerteelektronik hierfür möglich sein, und die Lösung soll einen Einsatz für eine Überwachung von axialen oder radialen Verlagerungen von drehenden Teilen erlauben. Dies wird dadurch erreicht, dass das temperaturabhängige Bauelement (10) unmittelbar mit dem Schwingkreis verschaltet und elektrisch parallel oder in Reihe mit der Resonanzspule (1) verbunden ist, wobei die Schaltung aus Resonanzspule (1) und Bauelement (10) als Temperatur-Kompensationsschaltung ausgebildet ist, indem eine zusätzliche Dämpfung des Schwingkreises bewirkt wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen induktiver Wegesensor, der nach dem Wirbelstromprinzip ausgebildet ist, mit einer in einem Schwingkreis angeschlossenen Resonanspule, einem Sensorgehäuse und einem in dem Sensorgehäuse integrierten temperaturabhängigen elektrischen Bauelement, dessen elektrischer Widerstand temperaturabhängig ist.
  • Ein Sensor dieser Art ist aus der DE 102 12 999 A1 bekannt. Der Sensor ist über ein Koaxialkabel mit einer Auswerteelektronik verbunden, in der ein Resonanzkondensator integriert ist. In dem Sensor ist ein als Temperatursensor fungierendes Bauelement angeordnet, welches zur Messung der Sensortemperatur vorgesehen ist. Eine Temperaturkompensation erfolgt durch die Auswerteelektronik, indem durch in einen Rechner hinterlegte Korrekturwerte rechnerisch addiert werden oder durch eine Analogschaltung, die ein kompensierendes Gleichspannungssignal addiert. Nachteilig ist allerdings, dass vor der ersten Inbetriebnahme des Sensors eine Kalibrierung in Abhängigkeit von der Sensortemperatur und sogar separat von der Temperatur des Verbindungskabels erfolgen muss. Besonders nachteilig ist, dass die Auswerteelektronik aufwendig und damit teuer ist. Zudem ist eine zusätzliche Verbindungsleitung für den Temperaturfühler erforderlich.
  • Ein anderer Sensor, der allerdings als Näherungsschalter mit temperaturstabilisierten Schaltpunkten ausgebildet ist, ist in der Beschreibungseinleitung der DE 39 26 083 C2 offenbart. Man hat versucht, diese Temperaturabhängigkeit mittels eines im Rückkopplungszweig eines Schwingungstransistors angeordneten NTC-Widerstandes zu kompensieren. Eine solche Temperaturkompensation soll jedoch nicht optimal sein. Zum einen wird eine e-Funktion des temperaturabhängigen Widerstandes als unvorteilhaft gesehen. Zum anderen werden weitere Effekte, wie Anfangstoleranzen, HF-Probleme in Rückkopplungszweig und die Erfordernis eines in Reihe geschalteten Abgleichswiderstandes zur Einstellung eines Schaltabstandes als nachteilig gesehen. Vorgeschlagen wird in der DE 39 26 083 C2 daher ein induktiver Näherungsschalter mit einem transistorisierten Schwingkreiskollektor und einer im Emitterkollektorkreis des Schwingkreisoszillators liegenden Stromquelle, die in Abhängigkeit von einem – thermisch mit einer einen ferritischen Kern aufweisenden Schwingkreisspule – gekoppelten Temperaturfühler mit einer Steuereinrichtung derart gesteuert wird, dass mit ansteigender Temperatur der Schwingkreisspule die Stromquelle aufgesteuert wird und umgekehrt, wobei der Temperaturfühler von dem als ohmschen Widerstand wirkenden ferritischen Kern der Schwingkreisspule gebildet ist, für dessen einer e-Funktion folgenden Widerstandskennlinie die Steuereinrichtung eine Linearisierung umfaßt. Dieser Sensor ist ebenfalls ein Schalter und kann nicht für Messzwecke, wie das Messen von axialen oder radialen Verlagerungen von drehenden Teilen, verwendet werden. In Verbindung mit auswechselbaren Sensoren, die mit einer Verbindungsleitung verbunden sind, ist auch hier ein Abgleich und der Einsatz einer aufwendigen Auswerteelektronik unumgänglich und zudem eine zusätzliche Verbindungsleitung für den Temperaturfühler erforderlich. Im Prinzip wird eine ähnliche Lösung vorgeschlagen, wie bei der DE 102 12 999 A1 .
  • Ein berührungsloses induktives Wegmesssysten mit einem Halbleitertemperatursensor bzw. Temperaturfühler, bei dem ein analoger Temperaturwert für einen Mikroprozessor erst digitalisiert werden muss, ist in der DE 44 17 824 A1 beschrieben.
  • Die EP 0 521 176 A1 beschreibt eine Schaltungsanordnung zur Temperaturkompensation einer Spulengüte mit zwei Spulen. Die Kompensation wird durch eine zweite in Reihe geschaltete Spule erreicht, so dass die Temperaturabhängigkeit der Größen gegensätzlich verläuft.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen induktiven Wegesensor der eingangs genannten Art so zu verbessern, dass eine leichte Austauschbarkeit des Wegesensors möglich ist, ohne dass ein Neuabgleich oder sogar ein Austausch einer Auswerteelektronik erforderlich ist. Außerdem soll durch den Sensor eine Temperaturkompensation ohne eine aufwendige Auswerteelektronik hierfür möglich sein, und die Lösung soll einen Einsatz für eine Überwachung von axialen oder radialen Verlagerungen von drehenden Teilen erlauben.
  • Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das temperaturabhängige Bauelement unmittelbar mit dem Schwingkreis verschaltet und elektrisch parallel oder in Reihe mit der Resonanzspule verbunden ist, wobei die Schaltung aus Resonanzspule und Bauelement als Temperatur-Kompensationsschaltung ausgebildet ist, indem eine zusätzliche Dämpfung des Schwingkreises bewirkt wird. Das zusätzliche ohmsche Bauelement verändert die Güte des Schwingkreises, und zwar in Abhängigkeit der Temperatur.
  • Grundsätzlich genügt ein NTC- oder PTC-Widerstand als temperaturabhängiges Bauelement.
  • Dadurch, dass anstatt die Sensortemperatur mit dem temperaturabhängigen Bauelement zu messen, die Dämpfung des Schwingkreises auf diese Weise verändert wird, wird durch die zusätzliche erfindungsgemäße Dämpfung praktisch eine automatische Temperaturkompensation erreicht. Der temperaturveränderliche ohmsche Widerstand des Bauelementes sorgt für eine zusätzliche Grundanfangsdämpfung. Diese zusätzliche Dämpfung wird durch das Bauelement und insbesondere durch ein Widerstandsnetzwerk aus NTC- und PTC-Widerständen mit steigender Temperatur je nach Grundverhalten des Sensors größer oder kleiner und sorgt damit für eine Kompensation eines Temperaturfehlers, insbesondere eines Gesamt-Temperaturfehlers. Da das Bauelement mit der Spule in Reihe oder parallel geschaltet ist bzw. das Widerstandsnetzwerk mit der Spule verschaltet ist, benötigt es keine zusätzlichen Verbindungsleitungen, die bis zur Auswerteelektronik geführt werden müssten. Nicht selten besteht ein Abstand zwischen Sensor und Auswerteelektronik von bis zu 10 Metern. Auch die Auswerteelektronik selbst vereinfacht sich erheblich. So können Mikroprozessoren mit hinterlegten Korrekturtabellen zur Temperaturkompensation entfallen, die eine Messgeschwindigkeit begrenzen.
  • Der erfindungsgemäße Sensor ist wegen seiner schnellen und genauen Messmöglichkeit besonders zur Messung eines Abstandes zwischen einer Mantelfläche einer rotierenden Lagerwelle und einem festen Bezugspunkt geeignet. Selbst bei Umdrehungsgeschwindigkeiten von Generatorturbinen, d.h. von 1500 U/min bis sogar 3000 U/min sind noch genau Messungen möglich.
  • Die Temperaturkompensation ist praktisch in dem Sensorkopf bzw. dem Sensorgehäuse integriert, arbeitet autark und hängt nicht von der Auswerteelektronik bzw. von z. B. einer überlagerten Gleichspannung oder einer Verstärkerschaltung ab. Durch diese einfache Maßnahme entfällt eine Kalibrierung eines Verstärkers oder dergleichen in der Auswerteelektronik, und die erfindungsgemäßen Sensoren können beliebig ohne Neuabgleich ausgetauscht werden.
  • Grundsätzlich ist eine Ausbildung des erfindungsgemäßen Wegesensors als kompakter Aufnehmer möglich, bei dem sowohl der Sensor als auch die Auswerteelektronik in einem Gehäuse angeordnet sind. Das Lösungsprinzip kann zur Lackdickenmessung, Folienmessung in der Metallfolienproduktion, für einen Näherungsschalter oder anderen Steuerungsaufgaben eingesetzt werden, bei der eine Temperatur (wegen der nahen Elektronik) 80° nicht übersteigt.
  • Wenn eine Sensortemperatur im Bereich von 200° oder sogar von 450° vorliegt, ist es notwendig, dass der Wegesensor unmittelbar mit einer Verbindungsleitung und mittelbar über die Verbindungsleitung mit einem Resonanzkondensator und einer Auswerteelektronik verbunden oder verbindbar ausgeführt ist, wobei der Resonanzkondensator auf der Elektronikseite untergebracht ist. Somit kann ein Einsatz des Sensors bei hohen Temperaturen erfolgen, ohne dass die Auswerteelektronik zerstört wird. Insbesondere ist dadurch eine Verwendung des Sensors im Zusammenhang mit Generatorturbinen, in denen solche Temperaturen vorkommen, möglich, wobei der Sensor durch die Verwendung eines Koaxialkabels z.B. 10 m von der Auswerteelektronik entfernt sein kann. Die Verlegung von nur einem einzigen Kabel (Verbindungsleitung), im Gegensatz zu anderen Lösungen, die ein zweites Kabel erfordern, ist besonders günstig.
  • In einer vorteilhaften Weiterbildung des erfindungsgemäßen Wegesensors ist vorgesehen, dass die Kompensationsschaltung mindestens ein zweites temperaturabhängiges elektrisches Bauelement aufweist. Dadurch kann durch Kombination beider Bauelemente eine sehr lineare Sensorfunktion und damit eine gute Temperaturkompensation erreicht werden, wobei vorzugsweise ein Bauelement einen positiven Temperaturkoeffizienten und das andere einen negativen Temperaturkoeffizienten besitzt. Zweckmäßigerweise ist eines der temperaturabhängigen Bauelemente ein NTC-Widerstand, und das andere temperaturabhängige Bauelement ist mindestens ein PTC-Widerstand. Grundsätzlich liegt aber die Verwendung eines Halbleiterfühlers, z.B. KTY 84, als Bauelement in erfindungsgemäßer Verwendung im Rahmen der Erfindung.
  • Von Vorteil ist, wenn der PTC-Widerstand insbesondere aus in Reihe geschalteten PTC-Widerständen besteht und wobei vorzugsweise der NTC-Widerstand in Reihe mit der Resonanzspule geschaltet und diese Reihenschaltung vorzugsweise parallel mit mindestens dem PTC-Widerstand, insbesondere mit zwei PTC-Widerständen, verbunden ist. Durch die Reihenschaltung von zwei PTC-Festwiderständen kann bei einer begrenzten Auswahl an Komponenten die geforderte Temperaturbeständigkeit bzw. der geforderte Abgleichbereich erzielt werden.
  • Der Widerstand des Spulendrahtes erhöht sich mit steigender Temperatur und erniedrigt damit die Güte. Durch die Reihenschaltung mit dem NTC-Widerstand kann dieser Effekt kompensiert werden. Zur Anpassung an den genauen wert dient jeweils ein Shunt. Den gleichen Effekt kann man durch Parallelschalten eines PTC-Widerstandes erreichen, der mit steigender Temperatur hochohmiger wird und damit die Güte steigen lässt.
  • In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist das Sensorgehäuse mit einem PEEK-Material (Polyetheretherketon) vergossen. Dieser Kunststoff ist ein geeignetes Herstellungsmaterial für den erfindungsgemäßen Sensor, das nicht giftig und insbesondere auch nicht spröde aushärtet. Durch diesen Werkstoff wird der Gesamt-Temperaturgang des Sensors positiv beeinflusst.
  • Weitere Vorteile sind in den Unteransprüchen enthalten.
  • Anhand eines Ausführungsbeispieles und der Figuren werden die Erfindung sowie weitere Vorteile derselben näher erläutert.
  • Es zeigt:
  • 1 eine Schaltungsanordnung eines erfindungsgemäßen Wegesensors,
  • 2 eine Darstellung des Wegesensors,
  • 3 ein Temperatur-Kennlinienvergleich mit und ohne Temperaturkompensation und
  • 4 eine Sensoranordnung zur Erfassung von Unwuchten bzw. Lagerschäden bei rotierenden Lagerwellen.
  • Wie 1 veranschaulicht, besteht ein nach dem Wirbelstromeffekt arbeitender erfindungsgemäße Wegesensor aus einem Schwingkreis mit einer Resonanzspule 1 und einem Resonanzkondensator 2. Vorzugsweise sind die Spule 1 und der Kondensator 2 nur mittelbar über ein Koaxialkabel 3 miteinander verbunden, wobei, wie in 2 gezeigt ist, die Spule 1 in einem Sensorkopf 4 innerhalb eines Sensorgehäuses 5 integriert ist, welches mit dem Koaxialkabel 3 versehen ist bzw. mit einem seiner Enden verbunden ist. Das anderen Ende des Koaxialkabels 3 ist mit einer Auswerteelektronik verbindbar und z.B. an einem Elektronikgehäuse steckbar ausgeführt, in das der Kondensator 2 untergebracht ist.
  • Durch diesen Schwingkreis ist eine Abstandsmessung zu einem sogenannten Target 8 möglich, dessen elektrisches Schaltbild links in 1 dargestellt ist. Diese linke Schaltung entspricht einer Schaltung eines Stromkreises mit einem Kurzschlusswiderstand 6 und (mindestens) einer Targetwindung. Durch die mit der Spule 1 im Target erzeugten abstandsabhängigen Wirbelströme ist eine Abstandsmessung möglich. Näheres hierzu folgt später im Rahmen der Beschreibung der 4.
  • Da ein Messergebnis sehr von der Sensortemperatur aber auch von anderen Temperatureinflüssen abhängt, erfolgt eine Temperaturkompensation bzw. eine Fehlerkorrektur mittels mindestens eines temperaturabhängigen Bauelementes, insbesondere mit drei temperaturabhängigen Bauelementen 10 bis 12.
  • Erfindungsgemäß sind die temperaturabhängigen Bauelemente 10 bis 12 unmittelbar mit dem Schwingkreis verschaltet und elektrisch parallel oder in Reihe mit der Resonanzspule 1 verbunden. Die Schaltung aus Resonanzspule 1 und den Bauelementen 10 bis 12 dient unmittelbar als Temperatur-Kompensationsschaltung, d.h. ohne dass eine direkte Messung der Temperatur erfolgen muss.
  • Die eingesetzten Bauelemente 10 bis 12 besitzen einen temperaturabhängigen ohmschen Widerstand, so dass sie eine zusätzliche (temperaturabhängige) Dämpfung des Schwingkreises bewirken. Die Dämpfung des Schwingkreises setzt sich im wesentlichen aus der Dämpfung durch das Target 8 und der zusätzlichen Dämpfung durch die Bauelemente 10 bis 12 zusammen. Ferner sind im Zusammenhang mit der Dämpfung, bzw. der Güte des Schwingkreises, der ohmschen Widerstand der Spule, das Koaxialkabel sowie andere Effekte zu berücksichtigen.
  • Die Bauelemente sind derart bemessen und angeordnet, dass sie Kompensationseigenschaften aufweisen. Die durch die Bauelemente 10 bis 12 geschaffene Temperatur-Kompensationsschaltung weist Kompensationseigenschaften insbesondere in Bezug auf
    • – einen ohmschen Spulenwiderstand der Resonanzspule,
    • – dielektrische Verluste eines Isoliermaterials,
    • – einen ohmschen Widerstand eines Targetmaterials,
    • – einen Permeabilitätsfaktor des Targetmaterials,
    • – einen ohmschen Widerstand und/oder Permeabilitätsfaktor eines Sensor-Kernmaterials,
    • – einen kapazitiven Einfluss durch eine Wicklungskapazität der Resonanzspule,
    • – eine Änderung einer relativen Permeabilitätskonstanten des Kern und/oder Targetmaterials,
    • – eine Änderung der Eigenschaften einer Verbindungsleitung, insbesondere eines Koaxialkabels, insbesondere ihrer Kapazität und/oder Eigeninduktivität und/oder
    • – thermische Ausdehnungen und damit verursachte Änderungen eines Messabstandes infolge unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten in Bezug auf Sensormaterial und Applikationsumgebung,
    auf. Beliebige Kombinationen dieser Kompensations-Einzeleffekte sind möglich.
  • Vorzugsweise ist eine Kombination von Bauelementen 1012 mit positiven und negativen Temperaturkoeffizienten und/oder eine Kombination einer Reihen- und Parallelschaltung vorgesehen, wobei die Bauelemente grundsätzlich auch Halbleiter oder andere vergleichbare Elemente sein können.
  • Hier konkret sind zwei PTC-Widerstände 11, 12 in Reihe zwischen Masse und einem Leiterzweig 13 des Koaxialkabels bzw. parallel zum Resonanzkondensator 2 angeordnet. Ein NTC-Widerstand 10 liegt in Reihe mit der Resonanzspule 1. Die Reihenschaltung aus NTC-Widerstand und Spule 1 liegt parallel zu den PTC-Widerständen 11 und 12. Die Bauelemente 10 bis 12 bilden so ein Widerstandsnetzwerk bzw. ein Linearisierungsnetzwerk. Andere Widerstandsnetzwerke als das konkret Beschriebene sind aber auch möglich.
  • Das Widerstandsnetzwerk bzw. das Bauelement (bei nur einem) ist insbesondere so ausgebildet, dass die Güte des Schwingkreises bei steigender Temperatur erniedrigt oder erhöht wird, was zur erfindungsgemäßen Kompensation führt. Insbesondere wird die Güte jedoch erhöht.
  • Die zusätzliche Dämpfung bewirkt ein Verlust an Empfindlichkeit. Durch die Auswerteelektronik kann jedoch der Verlust an Empfindlichkeit und/oder Linearität des Schwingkreises gegenüber anderen Lösungen kompensiert werden.
  • Parallel zu den Bauelementen 10 bis 12 liegen Festwiderstände z.B. mit einem fünffachen Widerstandswert für eine genaue Kompensation, da handelsübliche NTC, bzw. PTC-Elemente nicht mit beliebigen Werten erhältlich sind.
  • In der nicht gezeigten Auswerteelektronik kann eine Schaltung zur Leitungsbruchüberwachung vorhanden sein, die auch einen Windungsbruch der Spule 1 erfasst.
  • Wie in 2 veranschaulicht ist, sind die Kompensationselemente 1012 in dem Sensorgehäuse 5 integriert, welches vorzugsweise mit einem PEEK-Material für einen Einsatz bei aggressiver Umgebung vergossen ist. Der Wegesensor ist vorzugsweise in einer Einschraubhülse 14, insbesondere aus Stahl, angeordnet.
  • In 2 ist vereinfacht nur ein NTC-Widerstand und nur ein Festwiderstand 16 dargestellt. Auch diese Schaltung ist aber möglich.
  • Innerhalb des Sensorgehäuses sind aus Einzellitze bestehenden Leitungen 20, insbesondere Kupferleitungen bzw. Kupferdrähte, vorhanden, die mehrfach zu einer HF-Litze verdrillt sind. Die Spule 1 besteht auch aus Kupferdraht. Die Einzellitze und/oder die Resonanzspule weist einen Querschnitt von etwa 0,01 mm bis etwa 0,02 mm, insbesondere etwa 0,014 mm, auf und die Messfrequenz (Schwingungsfrequenz des Schwingkreises) beträgt etwa 1 MHz bis 2 MHz. Diese Querschnittsbemessung ist unter Berücksichtigung des Skin-Effektes optimal. Die Eindringtiefe beträgt z.B. 0,7 mm. Diese Bemessung ist besonders günstig, weil der Widerstandskoeffizient des Kupferdrahtes (Spule und Leitungen) ohne diese Maßnahme zu einer ungewollten Verschlechterung der Güte beitragen würde. Die Optimierung der Spulenanordnung zwischen Gleichstrom- (Verlust-)widerstand und der Windungszahl in einem begrenzten Spulenraum lässt sich also in einem gewissen Maße über den Drahtdurchmesser steuern.
  • Wie noch 2 zeigt, ist innerhalb der Resonanzspule 1 und in einem Sensorkopfbereich 21 ist ein magnetisch offenes Ferritelement 23 angeordnet. Das Ferritelement 23 ist stabförmig und beginnt an einem Sensorkopfbereich 21, liegt mittig in der Spule 1 und reicht bis zu einem Aufnahmebereich für die Bauelemente des Widerstandnetzwerkes. Die Bauelemente liegen zwischen dem Koaxialkabel 3 und dem Ferritelement 23 innerhalb eines Hülsenbereichs.
  • Die temperaturabhängigen Bauelemente sind vorzugsweise derart mit der Resonanzspule geschaltet und derart bemessen, dass eine im wesentlichen lineare Sensor-Kennlinie in einem Temperaturbereich von mindestens 0 bis 200°, insbesondere von etwa –30° bis 450°, gegeben ist, wie anhand der 3 verdeutlicht ist. Die untere Kennlinie entspricht einer Sensor-Kennlinie ohne Kompensation. Diese Linearität ist insbesondere durch Verwendung von mehreren temperaturabhängigen Bauelementen möglich. Die Kennlinien zeigen eine Ausgangsspannung in Abhängigkeit der Temperatur bei einem konstanten Abstand von 1,6 mm zwischen dem Target und dem Sensor.
  • Der erfindungsgemäße induktive Wegesensors bzw. das beschriebene Meßsystem dient insbesondere zur Überwachung von axialen oder radialen Verlagerungen von drehenden Teilen, wie durch 4 veranschaulicht ist.
  • 4 zeigt die Anordnung, eines Lagers 25, einer Welle 26, des Sensors bzw. seines Sensorgehäuses 5, seines Sensorkopfes 4, seiner Sensorhülse 14 und einer Sensorhalterung 27, die mit dem Lager 25 verbunden ist. Die Welle 26 ist das Target. Erfasst werden eine axiale Abstandsveränderung zum Wegesensor und auch Schwingungen der Welle 26.
  • Insbesondere handelt es sich um einen Teil einer Generatorturbine in einem Kraftwerk. Eine Verwendung in einer Abgasreinigungsanlage ist auch vorteilhaft. Die Sensoranordnung ist zur Feststellung einer Unwucht oder eines Lagerschadens vorgesehen. Das Generatorläufergewicht beträgt etwa 150 bis etwa 200 t. Die Läuferdrehzahl beträgt etwa 1500 bis etwa 3000 U/min.

Claims (13)

  1. Induktiver Wegsensor, der nach dem Wirbelstromprinzip ausgebildet ist, mit einer in einem Schwingkreis angeschlossenen Resonanzspule (1), einem Sensorgehäuse (5) und einem in dem Sensorgehäuse (5) integrierten temperaturabhängigen elektrischen Bauelement, insbesondere mit einem Widerstandselement oder einem Halbleiterelement, dessen elektrischer Widerstand temperaturabhängig ist, dadurch gekennzeichnet, dass das temperaturabhängige Bauelement (10) unmittelbar mit dem Schwingkreis verschaltet und elektrisch parallel oder in Reihe mit der Resonanzspule (1) verbunden ist, wobei die Schaltung aus Resonanzspule (1) und Bauelement (10) als Temperatur-Kompensationsschaltung ausgebildet ist, indem eine zusätzliche Dämpfung des Schwingkreises bewirkt wird.
  2. Induktiver Wegsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Wegsensor unmittelbar mit einer Verbindungsleitung, insbesondere einem Koaxialkabel (3), und mittelbar über die Verbindungsleitung mit einem Resonanzkondensator (2) und einer Auswerteelektronik verbunden oder verbindbar ausgeführt ist.
  3. Induktiver Wegsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kompensationsschaltung mindestens ein zweites temperaturabhängiges elektrisches Bauelement (11, 12) aufweist.
  4. Induktiver Wegsensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die temperaturabhängigen Bauelemente (10 bis 12) derart mit der Resonanzspule (1) geschaltet und derart bemessen sind, dass eine im wesentlichen lineare Sensor-Kennlinie in einem Temperaturbereich von mindestens 0 bis 200°, insbesondere von etwa –30° bis 450°, gegeben ist.
  5. Induktiver Wegsensor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass eines der temperaturabhängigen Bauelemente ein NTC-Widerstand (10) ist und dass das andere temperaturabhängige Bauelement mindestens ein PTC-Widerstand ist, wobei der PTC-Widerstand insbesondere aus in Reihe geschalteten PTC-Widerständen (11, 12) besteht und wobei vorzugsweise der NTC-Widerstand (10) in Reihe mit der Resonanzspule (1) geschaltet und diese Reihenschaltung vorzugsweise parallel mit mindestens einem PTC-Widerstand, insbesondere mit zwei PTC-Widerständen (11, 12) verbunden ist.
  6. Induktiver Wegsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Widerstandsnetzwerk oder das Bauelement derart ausgebildet und geschaltet ist, dass die Güte des Schwingkreises bei steigender Temperatur erhöht wird.
  7. Induktiver Wegsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorgehäuse (5) mit einem PEEK-Material zumindest in einem Sensorkopfbereich vergossen und/oder zumindest teilweise durch ein PEEK-Material gebildet ist, wobei der Wegesensor vorzugsweise in einer Einschraubhülse (14), insbesondere aus Stahl, angeordnet ist.
  8. Induktiver Wegsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb des Sensorgehäuses (5) aus Einzellitze bestehende Leitungen – insbesondere aus Kupferdraht bestehende Leitungen- vorhanden sind, die mehrfach zu einer HF-Litze verdrillt sind, wobei die Einzellitze und/oder die Resonanzspule einen Querschnitt von etwa 0,01 mm bis etwa 0,02 mm mm, insbesondere etwa 0,014 mm aufweist und dass eine Messfrequenz etwa 1 MHz bis 2 MHz beträgt.
  9. Induktiver Wegsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb der Resonanzspule (1) und in einem Sensorkopfbereich (21) ein magnetisch offenes Ferritelement (23) angeordnet ist.
  10. Induktiver Wegsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur-Kompensationsschaltung Kompensationseigenschaften in Bezug auf – einen ohmschen Spulenwiderstand der Resonanzspule, – dielektrische Verluste eines Isoliermaterials, – einen ohmschen Widerstand eines Targetmaterials, – einen Permeabilitätsfaktor des Targetmaterials, – eines ohmschen Widerstandes und/oder Permeabilitätsfaktor eines Sensor-Kernmaterials, – einen kapazitiven Einfluss durch eine Wicklungskapazität der Resonanzspule, – eine Änderung einer relativen Permeabilitätskonstanten des Kern und/oder Targetmaterials, – eine Änderung der Eigenschaften einer Verbindungsleitung, insbesondere eines Koaxialkabels, insbesondere ihrer Kapazität und/oder Eigeninduktivität und/oder – thermische Ausdehnungen und damit verursachte Änderungen eines Messabstandes infolge unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten in Bezug auf Sensormaterial und Applikationsumgebung, aufweist.
  11. Messsystem mit einem induktiven Wegsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einer Auswerteelektronik, in der ein den Schwingkreis bildender Resonanzkondensator (2) integriert ist und mit einer den Wegsensor und die Auswerteelektronik verbindenden Verbindungsleitung, insbesondere mit einem Koaxialkabel (3).
  12. Messsystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteelektronik derart ausgebildet ist, dass sie einen Verlust an Empfindlichkeit und/oder Linearität des Schwingkreises kompensiert.
  13. Verwendung eines induktiven Wegsensors oder eines Messsystems nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Überwachung von axialen oder radialen Verlagerungen von drehenden Teilen, insbesondere von Turbinen, Drehantrieben und/oder Generatoren, vorzugsweise bei Abgasreinigungsanlagen oder in Kraftwerken und/oder zur Feststellung von Unwuchten oder Lagerschäden bei Generatorturbinen oder bei anderen Wellen, insbesondere mit einem Generatorläufergewicht von etwa 150 bis etwa 200 t und einer Läuferdrehzahl von etwa 1500 bis etwa 3000 U/min.
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