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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung
zum Messen der Dicke dünner
Schichten durch Röntgenstrahlung.
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Aus der
DE 32 39 379 C2 ist eine
gattungsgemäße Vorrichtung
bekannt geworden, welche zum Messen der Dicke dünner Schichten nach dem Röntgenfluoreszenz-Prinzip
eingesetzt wird. Diese Vorrichtung weist eine Röntgenröhre auf, welche Röntgenstrahlen
aussendet, die auf eine zu messende Schicht eines Messgegenstandes
gerichtet sind. Zwischen dem Messgegenstand der Röntgenröhre ist
in einem einstellbaren Abstand zum Messgegenstand beziehungsweise
zur zu messenden Schicht eine Blendenvorrichtung vorgesehen, welche
die Röntgenstrahlung
auf einen Messpunkt auf der zu messenden Schicht begrenzt. Von einem
Detektor werden die von dem bestrahlten Messgegenstand emittierten
Fluores zenzstrahlen erfasst und ausgewertet. Zwischen der Blendenvorrichtung
und der Röntgenröhre ist
ein halbdurchlässiger
Umlenkspiegel im Strahlendengang vorgesehen, der bezüglich der Röntgenstrahlung
durchlässig
ist und einen Einblick auf den Messgegenstand und der zu messenden Schicht
ermöglicht.
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Die Blendenvorrichtung dieser Vorrichtung weist
mehrere Durchgangsbohrungen auf, die in einem festen Abstand zueinander
angeordnet und in der Größe unterschiedlich
ausgebildet sind. Diese Durchgangsbohrungen können entsprechend der Messaufgabe
ausgewählt
werden, wodurch exakt bestimmbare kleine Messpunkte oder -zonen
erfasst werden können.
Durch diese Vorrichtung können
einzelne sehr kleine Bereiche auf der zu messenden Schicht exakt
bestimmt werden. Hierfür
ist eine hohe Intensität
erforderlich, welche auf dem Messgegenstand einwirkt. Je länger die
Messzeit ist, desto höher ist
die erfassbare Präzision
der Messung.
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Die Messung der Dicke dünner Schichten
ist auch bei Massenprodukten durchzuführen. Beispielsweise bei Ventilteilen
für Einspritzpumpen
ist erforderlich, dass eine durch einen Galvanisierprozess aufgebrachte
Schichtdicke erfasst wird. Diese Teile werden millionenfach hergestellt.
Die Durchführung
der Messung zur Ermittlung der Dicke dünner Schichten darf nur eine
geringe Messzeit in Anspruch nehmen.
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Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe
zugrunde, die gattungsgemäße Vorrichtung
derart weiterzubilden, dass eine exakte Messung der Dicke dünner Schichten
innerhalb einer sehr kurzen Messzeit ermöglicht ist.
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Diese Aufgabe wird durch die Merkmale
des Anspruchs 1 gelöst.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in
den weiteren Ansprüchen
angegeben.
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Die kurze Messzeit für Massenbauteile,
bei denen die Dicke der Beschichtung zu erfassen ist, wird dadurch
erzielt, dass eine Blendenvorrichtung vorgesehen ist, welche eine
Blendenöffnung
mit einer geometrischen Form aufweist, die in Strahlrichtung gesehen
eine Fläche
projiziert, wel che zumindest abschnittsweise an die Geometrie der
zu messenden Schicht angepasst ist. Dadurch kann eine gleichmäßige Bestrahlung
der Oberfläche
der zu messenden Schicht erfolgen, wodurch innerhalb nur eines Messvorganges
die gesamte Messfläche
erfasst wird. Diese Anpassung der Blendenöffnung zumindest abschnittsweise
an die Geometrie der zu messenden Schicht ermöglicht eine Verkürzung der Messzeit
bei Teilen einer Massenproduktion. Dies ist von erheblicher wirtschaftlicher
Bedeutung. Durch die Verkürzung
der Messzeit kann ein höherer
Massendurchsatz der Teile erzielt werden. Dadurch kann eine 100
% Prüfung
durchgeführt
und die Kosten für die
Qualitätsprüfung gesenkt
werden. Durch diese erfindungsgemäße Ausgestaltung der Blendenvorrichtung
ist eine berührungslose
Messung mit Röntgenstrahlen
bei Massenteilen ermöglicht,
für welche eine
nur sehr kurze Messzeit zur Verfügung
steht.
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Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung
der Erfindung ist vorgesehen, dass die Blendenöffnung der Blendenvorrichtung
einen absorbierenden Bereich umfasst, der eine Blendenöffnung umgibt
und innerhalb der Blendenöffnung
oder zumindest teilweise daran angrenzend zumindest ein absorbierender Bereich
vorgesehen ist. Durch diese Ausgestaltung können die Röntgenstrahlen auf eine Vielzahl
von Geometrien angepasst und auf die Messfläche projiziert werden. Durch
die Anordnung zumindest eines innerhalb der Blendenöffnung absorbierenden
Bereichs können
Teilbereiche in der Projektion der Strahlen auf die Fläche auf
der zu messenden Schicht ausgeblendet werden. Dadurch kann eine
an den Messgegenstand beziehungsweise die Oberfläche der zu messenden Schicht
angepasste Strahlführung
gegeben sein.
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Die zumindest eine innerhalb der
Blendenöffnung
vorgesehene Durchgangsöffnung
weist nach einer bevorzugten Ausführungsform eine Spaltbreite und/oder
eine -länge
auf, welche in Strahlrichtung eine Fläche auf die Oberfläche der
zu messenden Schicht projiziert, die gleich groß oder kleiner als die Fläche der
zu messenden Schicht ausgebildet ist. Dadurch kann durch die Blendenvorrichtung
eine Ausleuchtung der gesamten Oberfläche der zu messenden Schicht
innerhalb eines Messvorganges ermöglicht sein. Durch die wahlweise
geometrische Ausbildung der zumindest einen Durchgangsöffnung bezüglich der
Länge und Breite
können
die für
die Qualitätsprüfung relevanten
Bereiche gleichzeitig gemessen und die weiteren Bereiche ausgeblendet werden.
Dadurch kann die Blendenvorrichtung an eine spezifische Messaufgabe
angepasst werden.
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Die Blendenvorrichtung weist vorteilhafterweise
zwischen der zumindest einen Blendenöffnung und dem innerhalb oder
daran angrenzenden absorbierenden Bereich zumindest eine spaltförmige Durchgangsöffnung auf.
Dadurch können
filigrane Strukturen und Linienformen oder Bereiche gebildet werden,
durch die die Strahlung hindurchtritt und auf die Oberfläche der
zu messenden Schicht auftrifft. Durch diese spaltförmige Ausgestaltung
der zumindest einen Durchgangsöffnung
können
auch sehr filigran beschichtete Bereiche als auch Bereiche, deren flächige Erstreckung
variabel ist, gemessen werden.
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Bevorzugt ist zumindest eine Durchgangsöffnung vorgesehen,
welche einen Ringspalt bildet. Dadurch kann eine sogenannte Ringblende
oder Ringkollimator geschaffen sein, welche insbesondere zur Messung
der Schichten auf rotationssymmetrischen Teile eingesetzt wird.
Diese rotationssymmetrischen Teile können ein oder mehrere kreis-
oder ringförmige
Bereiche umfassen, auf denen eine Beschichtung aufgebracht ist und
deren Schichtdicke zu prüfen
ist.
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In einer bevorzugten Ausführungsform
ist zwischen der zumindest einen spaltförmigen Durchgangsöffnung,
die zu einem Ringspalt angeordnet ist, zumindest ein Steg vorgesehen,
welcher den innerhalb der Blendenöffnung angeordneten absorbierenden
Bereich positioniert. Der oder die Stege sind vorteilhafterweise
sehr schmal ausgebildet, wodurch in Abhängigkeit der angrenzenden Durchgangsöffnungen
eine nahezu gleichmäßige Ausleuchtung
beziehungsweise Bestrahlung der Oberfläche der zu messenden Schicht
gegeben ist.
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Alternativ kann vorgesehen sein,
dass eine Vielzahl von beabstandeten Stegen, beispielsweise aus
dünnem
Draht, vorgesehen ist. Der oder die Drähte können auf einer Seite der Blendenvorrichtung
oder als Schicht innerhalb der Blendenvorrichtung vorgesehen sein.
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Nach einer weiteren vorteilhaften
Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der innerhalb der
Blendenöffnung
angeordnete absorbierenden Bereich oder Bereiche außerhalb
der Ebene der Blendenöffnung
anordenbar sind. Beispielsweise kann durch eine Verschiebung des
inneren absorbierenden Bereiches oder der Bereiche in Richtung Strahlquelle
eine Verringerung der Spaltbreite der Durchgangsöffnungen erzielt werden. Dadurch
kann die projizierte Fläche
der Strahlung in einer Messebene reduziert sein.
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Dadurch kann beispielsweise auch
eine geringere Materialstärke
für die
Blendenvorrichtung gewählt
werden, welche wiederum einfach zu bearbeiten ist. Die Blendenvorrichtung
ist bevorzugt aus organischem oder anorganischem Glas ausgebildet, welches
vorzugsweise durchsichtig ist. Besondere geeignet ist der Einsatz
eines Bleiglases. In Abhängigkeit
der erforderlichen energetischen Zusammensetzung der Strahlung kann
die Dicke des Bleiglases reduziert sein, um dennoch eine Absorption
der Röntgenstrahlung
zu erzielen. Da eine größere Fläche bei der
Messung bestrahlt wird, kann eine geringere Intensität der Strahlung
genügen,
um die Messung durchzuführen.
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Die Durchgangsöffnungen in der Blendenöffnung sind
bevorzugt rechtwinklig zur Oberfläche der Blendenvorrichtung
ausgebildet. Ebenso können sich
diese Durchgangsöffnungen
in Strahlrichtung gesehen zumindest geringfügig aufweiten.
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Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der
Erfindung sieht vor, dass die Blendenvorrichtung drehbar ausgebildet
ist. Durch die Auslenkung aus einer horizontalen Anordnung oder
einer parallelen Anordnung zur Messebene kann beispielsweise bei
einer Blendenvorrichtung mit einem Ringspalt eine Durchgangsöffnung geschaffen
werden, welche eine elliptische Fläche projiziert. Dadurch kann
eine Blendenvorrichtung auf mehrere geometrische Formen der Oberfläche des
zu messenden Gegenstandes anpassbar sein.
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In einer weiteren alternativen Ausführungsform
der Erfindung kann vorgesehen sein, dass zumindest ein innerhalb
der Blendenöffnung
oder zumindest teilweise daran angrenzender Bereich gegenüber der
Blendenöffnung
drehbar angeordnet ist. Bei beispielsweise einer Ringblende kann
der innere absorbierende Bereich drehbar angeordnet sein, so dass
eine Blendenvorrichtung mit einer durchstimmbaren Transmission ermöglicht ist.
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Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte
Ausführungsformen
und Weiterbildungen derselben werden im folgenden anhand dem in
der Zeichnung dargestellten Beispiel näher beschrieben und erläutert. Die
der Beschreibung und der Zeichnung zu entnehmenden Merkmale können einzeln
für sich
oder zu mehreren in beliebiger Kombination erfindungsgemäß angewandt
werden. Es zeigen;
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1 eine
schematische Ansicht einer Vorrichtung zum Messen dünner Schichten
durch Röntgenstrahlung,
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2 eine
schematische Ansicht eines Strahlenganges mit einer erfindungsgemäßen Blendenvorrichtung,
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3 eine
schematische Draufsicht auf die Blendenvorrichtung gemäß 2,
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4a u. b eine schematische Schnittdarstellung
eines Messgegenstandes in unterschiedlicher Messposition während einer
Schichtdickenmessung,
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5a u. b eine schematische Darstellung einer
alternativen Ausführungsform
einer Blendenvorrichtung und
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6 eine
schematische Darstellung eines Strahlenganges mit einer alternativen
Ausführungsform
einer Blendenvorrichtung zu 2.
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In 1 ist
eine Vorrichtung 11 zur Messung der Dicke dünner Schichten
durch Röntgenstrahlung, insbesondere
durch Röntgenfluoreszenzstrahlung, dargestellt.
Diese Vorrichtung 11 weist eine Röntgenröhre 12 zur Erzeugung
von Röntgenstrahlen
in einem Gehäuse 13 auf. Über eine Öffnung im
Gehäuse 13 treten
Röntgenstrahlen
aus und treffen auf eine Oberfläche 14 eines
Messgegenstandes 16. Durch eine in einem definierten Abstand
zur Oberfläche 14 des
Messgegenstandes 16 angeordnete Blendenvorrichtung 17 wird
ein bestimmter Flächenbereich
der Röntgenstrahlen
auf die Oberfläche 14 des
Messgegenstandes 16 projiziert. Ein Proportionalzielrohr 18 beziehungsweise
ein Detektor erfasst die von dem Messgegenstand emittierte Fluoreszenzstrahlung beziehungsweise
Sekundärstrahlung
und wertet diese mit Unterstützung
einer Datenverarbeitungsanlage aus.
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Die Vorrichtung 11 weist
einen in dem Strahlengang der Röntgenstrahlen
angeordneten halbdurchlässigen
Spiegel 21 auf, der ermöglicht,
dass das Bild der Oberfläche 14 des
Messgegenstandes 16 über
eine Optik eingesehen oder durch ein elektronisches Anzeigegerät 22 erfasst
und über
einen Monitor ausgegeben wird.
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In 2 ist
perspektivisch und nicht im Maßstab
vergrößert der
Strahlengang von der Röntgenröhre zum
Messgegenstand 16 dargestellt. Die Blendenvorrichtung 17 weist
einen absorbierenden Bereich 26 auf, der beispielsweise
in einen Einstellmechanismus 27 eingespannt ist, über den
der Abstand zur Oberfläche 14 des
Messgegenstandes 16 einstellbar ist. Die Blendenvorrichtung 17 weist
eine an den äußeren absorbierenden
Bereich 26 angrenzende Blendenöffnung 28 auf. Innerhalb
der Blendenöffnung 28 ist
ein innerer absorbierender Bereich 29 angeordnet, durch
den zur Blendenöffnung 28 ein Ringspalt 31 gebildet
ist. Der innerer absorbierende Bereich 29 ist durch Stege 32,
wie in der Draufsicht gemäß 3 näher dargestellt ist, zur Blendenöffnung 28 positioniert.
Durch die Ausbildung eines Ringspaltes 31, der gemäß dem Ausführungsbeispiel aus
drei Durchgangsöffnungen 33 gebildet
ist, wird ermöglicht,
dass die Röntgenstrahlen
eine Ringfläche 36 auf
die Oberfläche 14 des
Messgegenstandes 16 projizieren. Diese Ringfläche 36 entspricht
einer Messfläche,
deren Schichtdicke auf einem Messgegenstand durch diese Vorrichtung 11 ermittelt
wird.
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Der Messgegenstand 16 ist
gemäß dem Ausführungsbeispiel
ein rotationssymmetrisches Bauteil, welches in einer Einspritzpumpe
in Kraftfahrzeugen eingesetzt wird. Auf eine Stirnfläche 37 ist eine
Beschichtung 38 aufgebracht, welche sich bei dem bevorzugt
angewendeten Galvanisierungsverfahren zumindest teilweise an den
seitlichen Rändern
erstreckt. Bei dieser Beschichtung 38 handelt es sich beispielsweise
um eine Chrombeschichtung, deren Schichtdicke zu messen ist.
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Bei diesen beispielhaft dargestellten
Messgegenständen 16 handelt
es sich um Teile der Massenproduktion, für welche eine 100 % Prüfung durchzuführen ist.
Dabei besteht die Aufgabe, die Schichtdicke auf der Stirnfläche 37 zu
prüfen
und sicherzustellen, dass die aufgetragene Beschichtung 38 zumindest
die erforderliche Schichtdicke umfasst.
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Durch die Ausgestaltung der Blendenvorrichtung 17 gemäß den 2 und 3, welche auch als Ringkollimator bezeichnet
wird, ist ermöglicht,
dass innerhalb von wenigen Sekunden, beispielsweise einer Sekunde
Messzeit, die Schichtdicke der Ringfläche 36 erfasst wird.
Die Blendenvorrichtung 17 ermöglicht ein gleichmäßiges Auftreffen
der Röntgenstrahlen
auf die Oberfläche 14.
Die dazwischen angeordneten Stege 32 sind im Verhältnis dünn ausgebildet,
so dass deren Abschattung vernachlässigbar ist.
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4a zeigt
eine schematische Schnittdarstellung des Messgegenstandes 16.
In einer ideal ausgerichteten Position des Messgegenstandes 16 zum
Strahlengang wird eine Ringfläche 36 auf
die Beschichtung 38 der Stirnfläche 37 gemäß 4a projiziert. Diese Ringfläche 36 ist
bevorzugt im mittleren Bereich positioniert.
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Bei diesen Bauteilen ist besonders,
dass die Beschichtung 38 von innen nach außen zunimmt. Darauf
abgestimmt ist die Ringfläche 36 derart
vorgesehen, dass diese tendenziell mehr an den äußeren als an den inneren Randbereich
der Umfangsfläche angrenzt.
Die Breite der Ringfläche 36 wird
an die Breite der Messfläche
beziehungsweise der Stirnseite 37 des Messgegenstandes 16 angepasst.
Durch eine Auswerteeinheit werden die ermittelten Daten aus der
emittierten Sekundärstrahlung
der Ringfläche
integriert, um die Schichtdicke zu ermitteln.
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Diese Ringblendenvorrichtung weist
den Vorteil auf, dass diese gegenüber Toleranzen unempfindlich
ist. Beispielsweise ist in 4b der Messgegenstand 16 zur
Strahlachse mit einem lateralen Versatz positioniert. Aus der Positionierung
der Ringfläche 36 zur
Beschichtung 38 ist zu entnehmen, dass auf einer rechten
Seite ein Abschnitt mit einer stärkeren
Beschichtung als auf der linken Seite bestrahlt wird. Durch die
Ermittlung eines integralen Werts über die gesamte Ringfläche findet
eine Mittelung statt, so dass ein aussagekräftiger Wert erhalten wird.
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Durch diese vollständige beziehungsweise im
wesentlichen vollständige
Bestrahlung der Ringfläche
kann eine 100 % Prüfung
von Massenteilen in einer geringen Zeit durchgeführt werden. Dies ist besonders
bei empfindlichen Oberflächen
von Vorteil. Durch die größere Messfläche, welche
durch die Blendenvorrichtung gegenüber einer herkömmlichen Spotmessung
vorhanden ist, steht mehr Primärstrahlung
und somit emittierte Sekundärstrahlung
zur Verfügung,
als ein Detektor aufnehmen kann. Dadurch kann eine kürzere Messzeit
erzielt werden. Bei dem im Ausführungsbeispiel
dargestellten Messgegenstand können
Messzeiten von beispielsweise einer Sekunde oder weniger erzielt
werden. Dadurch kann eine berührungslose
Messung mit Röntgenfluoreszenz
auch für
kurze Taktzeiten in Einsatz kommen.
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Die Blendenvorrichtung 17 ist
grundsätzlich in
ihrer Ausgestaltung vielfältig
abänderbar
und auf die jeweilige Geometrie der Oberfläche 14 des Messgegenstandes 16 beziehungsweise
der Oberflächenbereiche
eines Messgegenstandes 16 anpassbar. Beispielsweise kann
die Ringfläche 36 sich über die gesamte
Wandstärke
eines in den 4a und b dargestellten rotationssymmetrischen
Bauteils erstrecken. Die Ringbreite der Ringfläche 36 ist wahlweise einstellbar.
Ebenso können
einzelne Ringsegmente in der Form und Kontur veränderbar sein. Beispielsweise
können
die Stege 32 einen wesentlich größeren Anteil der Ringfläche bedecken.
Des weiteren können
anstelle von einem oder mehreren Stegen, beispielsweise gemäß 3, welche aus demselben Material
bestehen wie die absorbierenden Bereiche, beispielsweise Drähte, vorgesehen
sein, welche den inneren Bereich 29 zum äußeren Bereich 26 positionieren.
Beispielsweise können
Drähte
oder ein Drahtgitter in eine aus Bleiglas ausgebildete Blendenvorrichtung 17 eingegossen
sein.
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Des weiteren kann alternativ vorgesehen sein,
dass der innere absorbierende Bereich 29, der beispielsweise
als Kreisscheibe dargestellt ist, durch eine drehbare Achse aufgenommen
ist. Dadurch kann in Abhängigkeit
der gewünschten
Messfläche durch
Rotation des inneren absorbierenden Bereiches 29 eine durchstimmbare
Transmission erzielt werden. Der innere absorbierende Bereich 29 kann eine
geschlossene Position aufweisen, bei der die Blendenöffnung 28 geschlossen
ist. Durch geringfügiges Öffnen um
wenige Winkelgrade können
beispielsweise zwei sichelförmige
Bereiche freigegeben werden, welche entsprechende Flächen auf
die Oberfläche 14 des
Messgegenstandes 16 projizieren. Ebenso kann bei einer
Drehung um 90° eine
nahezu vollflächige
Bestrahlung ermöglischt
sein.
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Die Blendenvorrichtung 17 ist
aus organischem oder anorganischem Glas ausgebildet. Bevorzugt wird
transparentes Bleiglas eingesetzt, um durch ein Anzeigegerät 22 den
Messgegenstand einzusehen. Die verwendete Glasstärke zur Erzielung der Absorption
der Röntgenstrahlung
ist abhängig von
der Strahlqualität
der Röntgenstrahlung.
Beispielsweise können
Bleigläser
mit einer Wandstärke von
weniger als 8 mm, bevorzugt 1 bis 4 mm, eingesetzt werden. Die Blendenvorrichtung 17 kann
behandelte Ober- und Unterseiten aufweisen. Ebenso können Beschichtungen
vorgesehen sein, wie beispielsweise aus Metall.
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Die Geometrie und Form der Blendenöffnung 28
im Bereich 26 als auch die Anordnung des inneren absorbierenden
Bereichs 29 zur Öffnung 28 ist
beliebig. Jegliche geometrische Strukturen von Messgegenständen 16,
die eine Beschichtung aufweisen, deren Dicke zu messen ist, können vorgesehen
sein. Beispielsweise können
U- oder V-förmige
Durchgangsöffnungen
ausgebildet werden. Ebenso können
kleeblattförmige
oder mehrere im Kreis zueinander angeordnete ringförmige Strukturen
ausgebildet sein. Die Breite und Länge der Durchgangsöffnungen 33 als auch
deren Anzahl sowie die Größe und Anzahl
der inneren absorbierenden Bereiche 29 ist variabel und
vielfältig
in der Kombination.
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Beispielsweise kann die Blendenvorrichtung 17,
welche als Ringkollimator dargestellt ist, durch Drehung um eine
horizontale Achse eine elliptische Ringfläche 36 abbilden. Diese
Verkippung um eine Drehachse kann durch die Verkippung um zumindest eine
weitere Drehachse überlagert
sein.
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In den 5a und b ist eine weitere alternative Ausführungsform
einer Blendenvorrichtung 17 dargestellt. Bei dieser Ausgestaltung
ist der innere absorbierende Bereich 29 durch eine drehbare
Klappe ausgebildet, welche um eine Achse 40 aus der Ebene
heraus drehbar angeordnet ist. Diese Achse kann mit einer Antriebseinheit
in Verbindung stehen, so dass eine ansteuerbare Position des inneren
absorbierenden Bereiches 29 einstellbar ist. Diese Antriebseinheit
kann eine Feinsteinstellung einer Winkelposition ermöglichen.
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Beispielsweise ist gemäß Position 41 der
innere absorbierende Bereich 29 in der Ebene zum äußeren Bereich 26 vorgesehen.
In dieser Anordnung wird eine projizierte Fläche erzeugt, welche gemäß 5b durch Ziffer 41' dargestellt
ist.
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In diesem Ausführungsbeispiel ist eine ringförmige Öffnung 33 vorgesehen,
welche auch in 5b als
Ringfläche 33 abgebildet
ist. Alternativ kann vorgesehen sein, dass der innere Bereich 29 in einer
Position 41 bündig
an dem äußeren Bereich 26 anliegt,
so dass ein Durchgang der Röntgenstrahlung quasi
nicht gegeben ist.
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Bei Drehung der Achse um wenige Winkelgrade
wird der innere Bereich 29 in beispielsweise eine Position 42 übergeführt. Daraus
resultiert, dass eine projizierte Fläche 42" abgedeckt ist und im übrigen die
Strahlen auf die Messoberfläche
auftreffen.
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Eine weitere beispielhaft dargestellte
Position 43 bildet einen noch kleineren Bereich 43" ab, so dass
der Bereich der auftreffenden Strahlung größer wird. Die Drehung des inneren
Bereiches 29 kann in einem Maximum von 90° einen Minimalbereich
abschatten, der vernachlässigbar
ist. Durch eine vorzugsweise stufenweise Verstellung können verschiedene
Positionen angefahren werden. Die dargestellte Geometrie des inneren
Bereichs 29 oder der drehbaren Klappe ist nur beispielhaft
und hierauf nicht beschränkt.
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In 6 ist
eine weitere alternative Ausgestaltung einer Blendenvorrichtung 17 dargestellt.
Bei dieser Ausgestaltung ist vorgesehen, dass der innere absorbierende
Bereich 29 aus der Ebene des äußeren Bereiches 26 herausgeführt und
beispielsweise in Richtung auf die Strahlenquelle versetzt angeordnet
ist. Eine Verschiebung in die entgegengesetzte Richtung ist ebenfalls
möglich.
Dadurch kann die Spaltbreite bei Aufrechterhaltung der Grundgeometrie
der Durchgangsöffnungen 33 veränderbar
sein. Zusätzlich
kann sowohl der Bereich 26 als auch der Bereich 29 unabhängig voneinander
zumindest um eine Drehachse verstellbar angeordnet sein. Der innere
Bereich 29 kann getrennt von dem Bereich 26 vorgesehen
sein und ist über
dünne Drähte oder
weitere geeignete Mittel aufgenommen, um eine getrennte Anordnung
zum äußeren Bereich 26 zu
ermöglichen.
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Es versteht sich, dass anstelle eines
Ringspaltes dreieckförmige,
quadratische, mehreckige, elliptische oder sonstige offene Kreisformen
oder Wellenlinienformen oder dergleichen vorgesehen sein können, wobei
insbesondere Geometrien der Oberfläche einer zu messenden Schicht
vorgesehen sind, bei denen ein Teil der Oberfläche des Messgegenstandes gegenüber der
Röntgenstrahlung
beziehungsweise der auf die Oberfläche des Messgegenstandes projizierten
Fläche
ausgeblendet ist.