DE10229529A1 - Method and device for treating workpieces - Google Patents

Method and device for treating workpieces

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DE10229529A1
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Germany
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plasma
station
supply
workpiece
treatment
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Withdrawn
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DE10229529A
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German (de)
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Michael Litzenberg
Frank Lewin
Hartwig Mueller
Klaus Vogel
Gregor Arnold
Stephan Behle
Andreas Luettringhaus-Henkel
Matthias Bicker
Juergen Klein
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SIG Combibloc Services AG
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SIG Technology AG
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Publication date
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Abstract

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Behandlung von Werkstücken. Es wird mindestens ein Werkstück in eine Behandlungsstation eingesetzt und innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert. Die Behandlungsstation wird entlang eines umlaufenden Transportweges positioniert. Entlang des Transportweges wird die Behandlungsstation an mindestens einer Versorgungspositionierung relativ zur Transportrichtung stillstehend von einer stationären Versorgungseinrichtung mit mindestens einem Betriebsmittel versorgt.The method and the device are used to treat workpieces. At least one workpiece is inserted into a treatment station and positioned within the treatment station by a holding element. The treatment station is positioned along a circumferential transport route. Along the transport path, the treatment station is supplied with at least one item of equipment by a stationary supply device at least in one supply position relative to the transport direction.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung von Werkstücken, bei dem mindestens ein Werkstück in eine Behandlungsstation eingesetzt und innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert wird sowie bei dem die Behandlungsstation entlang eines umlaufenden Transportweges positioniert wird. The invention relates to a method for the treatment of Workpieces in which at least one workpiece is in one Treatment station used and within the Treatment station is positioned by a holding element as well as where the treatment station along a circulating transport route is positioned.

Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken, die mindestens eine Kammer zur Aufnahme mindestens eines Werkstückes aufweist und bei der die Kammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Behandlungsstation von einem Transportelement entlang eines umlaufenden Transportweges positionierbar angeordnet ist. The invention also relates to a device for Treatment of workpieces with at least one chamber Includes at least one workpiece and at the chamber is arranged in the area of a treatment station is, as well as at the treatment station of one Transport element along a circumferential transport path is positioned positionable.

Derartige Verfahren und Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Kunststoffe mit Oberflächenbeschichtungen zu versehen. Insbesondere sind auch bereits derartige Verfahren und Vorrichtungen bekannt, um innere oder äußere Oberflächen von Behältern zu beschichten, die zur Verpackung von Flüssigkeiten vorgesehen sind. Darüber hinaus sind Einrichtungen zur Plasmasterilisation bekannt. Such methods and devices are, for example used to make plastics with surface coatings Mistake. In particular, there are already such Methods and devices known to make inner or outer To coat surfaces of containers used for Packing of liquids are provided. About that devices for plasma sterilization are also known.

In der PCT-WO 95/22413 wird eine Plasmakammer zur Innenbeschichtung von Flaschen aus PET beschrieben. Die zu beschichtenden Flaschen werden durch einen beweglichen Boden in eine Plasmakammer hineingehoben und im Bereich einer Flaschenmündung mit einem Adapter in Verbindung gebracht. Durch den Adapter hindurch kann eine Evakuierung des Flascheninnenraumes erfolgen. Darüber hinaus wird durch den Adapter hindurch eine hohle Lanze in den Innenraum der Flaschen eingeführt, um Prozeßgas zuzuführen. Eine Zündung des Plasmas erfolgt unter Verwendung einer Mikrowelle. In PCT-WO 95/22413 a plasma chamber is used Inside coating of bottles made of PET described. The too coating bottles are made by a movable Floor lifted into a plasma chamber and in the area a bottle mouth with an adapter brought. Evacuation can occur through the adapter of the bottle interior. In addition, by a hollow lance into the interior of the adapter Bottles introduced to supply process gas. An ignition of the plasma is done using a microwave.

Aus dieser Veröffentlichung ist es auch bereits bekannt, eine Mehrzahl von Plasmakammern auf einem rotierenden Rad anzuordnen. Hierdurch wird eine hohe Produktionsrate von Flaschen je Zeiteinheit unterstützt. From this publication it is already known a plurality of plasma chambers on a rotating wheel to arrange. This will result in a high production rate of Bottles supported per unit of time.

In der EP-OS 10 10 773 wird eine Zuführeinrichtung erläutert, um einen Flascheninnenraum zu evakuieren und mit Prozeßgas zu versorgen. In der PCT-WO 01/31680 wird eine Plasmakammer beschrieben, in die die Flaschen von einem beweglichen Deckel eingeführt werden, der zuvor mit einem Mündungsbereich der Flaschen verbunden wurde. In EP-OS 10 10 773 a feed device explained to evacuate a bottle interior and with To supply process gas. In PCT-WO 01/31680 a Plasma chamber described, in which the bottles of one movable lid that was previously introduced with a Mouth area of the bottles was connected.

Die PCT-WO 00/58631 zeigt ebenfalls bereits die Anordnung von Plasmastationen auf einem rotierenden Rad und beschreibt für eine derartige Anordnung eine gruppenweise Zuordnung von Unterdruckpumpen und Plasmastationen, um eine günstige Evakuierung der Kammern sowie der Innenräume der Flaschen zu unterstützen. Darüber hinaus wird die Beschichtung von mehreren Behältern in einer gemeinsamen Plasmastation bzw. einer gemeinsamen Kavität erwähnt. PCT-WO 00/58631 also already shows the arrangement of plasma stations on a rotating wheel and describes a group for such an arrangement Assignment of vacuum pumps and plasma stations to one favorable evacuation of the chambers and the interior of the Support bottles. In addition, the Coating of several containers in one Plasma station or a common cavity mentioned.

Eine weitere Anordnung zur Durchführung einer Innenbeschichtung von Flaschen wird in der PCT-WO 99/17334 beschrieben. Es wird hier insbesondere eine Anordnung eines Mikrowellengenerators oberhalb der Plasmakammer sowie eine Vakuum- und Betriebsmittelzuleitung durch einen Boden der Plasmakammer hindurch beschrieben. Another arrangement for performing a Internal coating of bottles is described in PCT-WO 99/17334 described. In particular, an arrangement of a Microwave generator above the plasma chamber and a Vacuum and equipment supply through a bottom of the Plasma chamber described through.

Bei der überwiegenden Anzahl der bekannten Plasmabeschichtungsverfahren werden zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des thermoplastischen Kunststoffmaterials durch das Plasma erzeugte Behälterschichten aus Siliziumoxiden mit der allgemeinen chemischen Formel SiOx verwendet. Zusätzlich können in den hierdurch erzeugten Barriereschichten auch Anteile von Kohlenstoff, Wasserstoff und Stickstoff enthalten sein. Derartige Barriereschichten verhindern ein Eindringen von Sauerstoff in die verpackten Flüssigkeiten sowie ein Austreten von Kohlendioxid bei CO2-haltigen Flüssigkeiten. In the vast majority of known plasma coating processes, container layers made of silicon oxides with the general chemical formula SiO x are used to improve the barrier properties of the thermoplastic material. In addition, portions of carbon, hydrogen and nitrogen can also be contained in the barrier layers produced in this way. Barrier layers of this type prevent oxygen from entering the packaged liquids and escape of carbon dioxide in the case of liquids containing CO 2 .

Ebenfalls ist es bereits bekannt, Verfahren und Vorrichtungen zur Behandlung von Werkstücken im Zusammenhang mit der blastechnischen Herstellung von Behältern aus zuvor geeignet temperierten Vorformlingen anzuwenden. Typischerweise bestehen derartige Vorformlinge aus einem thermoplastischen Material, beispielsweise aus PET (Polyethylenterephthalat). Nach einer geeigneten thermischen Konditionierung werden die Vorformlinge durch Blasdruckeinwirkung zu Behältern umgeformt, die beispielsweise als Flaschen zur Verpackung von Flüssigkeiten verwendet werden. Gemäß der DE-OS 100 33 412 werden Blasstationen auf einem rotierenden Blasrad angeordnet. Das Blasrad rotiert kontinuierlich und die auf dem Blasrad mitlaufend angeordneten Blasstationen nehmen die zu verformenden Vorformlinge auf und geben die fertig produzierten Behälter ab. Es sind darüber hinaus auch bereits taktweise bewegte Blasräder bekannt. It is also already known to process and Devices for the treatment of workpieces in Relation to the blow molding production of Containers from preforms suitably tempered apply. Such preforms typically exist made of a thermoplastic material, for example PET (polyethylene terephthalate). After a suitable one The preforms are subjected to thermal conditioning Blowing pressure converted into containers that for example as bottles for packaging Liquids are used. According to DE-OS 100 33 412 become blowing stations on a rotating blowing wheel arranged. The blowing wheel rotates continuously and on Take blowing stations arranged with the blowing wheel running the preforms to be deformed and give them ready produced containers. It is beyond that too Blown impellers that are already cyclically known.

Für eine Optimierung der bislang bekannten Verfahren und Vorrichtungen werden häufig sogenannte Labormaschinen eingesetzt, die typischerweise über eine stationär angeordnete Behandlungsstation verfügen. Mit Hilfe einer derartigen Labormaschine lassen sich die jeweiligen Behandlungsparameter für die Werkstücke optimieren, da ein einfacher Zugang gegeben ist. Ein Nachteil derartiger spezieller Labormaschinen liegt darin, daß sowohl konstruktiv als auch verfahrenstechnisch deutliche Unterschiede zu den mit wesentlich größerer Leistung betriebenen Produktionsmaschinen vorliegen. Eine Übertragung der auf den Labormaschinen gewonnenen Parameter auf die Produktionsmaschinen erfordert deshalb in der Regel zusätzliche Adaptionsschritte. For an optimization of the previously known methods and Devices are often so-called laboratory machines used, typically via a stationary have arranged treatment station. With the help of a Such laboratory machine can be the respective Optimize treatment parameters for the workpieces as a easy access is given. A disadvantage of that special laboratory machines is that both constructively as well as procedurally clear Differences to those with much greater performance operated production machines. A Transfer of the parameters obtained on the laboratory machines on the production machines therefore usually requires additional adaptation steps.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren der einleitend genannten Art derart anzugeben, daß eine Parameteroptimierung für ein Produktionsverfahren unterstützt wird. The object of the present invention is therefore a To specify methods of the type mentioned in the introduction, that parameter optimization for a production process is supported.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Behandlungsstation entlang des Transportweges an mindestens einer Versorgungspositionierung relativ zur Transportrichtung stillstehend von mindestens einer stationären Versorgungseinrichtung mit mindestens einem Betriebsmittel versorgt wird. This object is achieved in that the Treatment station along the transport route at least a care positioning relative to Transport direction of at least one stationary stationary supply facility with at least one Equipment is supplied.

Weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu konstruieren, daß eine Optimierung der Prozeßparameter unterstützt wird. Another object of the present invention is a Device of the type mentioned in the introduction construct an optimization of the process parameters is supported.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß entlang des Transportweges mindestens eine Versorgungseinrichtung angeordnet ist, die mindestens ein Kupplungselement und mindestens einen Versorgungsanschluß für einen Betrieb der Behandlungsstation bei still stehendem Transportelement aufweist und daß die Behandlungsstation mit mindestens einer Gegenkupplung zur Verbindung mit der Kupplung der Versorgungseinrichtung versehen ist. This object is achieved in that at least one along the transport route Supply device is arranged, the at least one Coupling element and at least one supply connection for operating the treatment station at silent has standing transport element and that the Treatment station with at least one counter coupling Connection with the coupling of the supply device is provided.

Durch die stationäre Anordnung einer Versorgungseinrichtung für die Behandlungsstation entlang des Transportweges ist es möglich, eine beliebige Behandlungsstation, die mit geeigneten Gegenkupplungen ausgestattet ist, benachbart zur Versorgungseinrichtung zu positionieren und als Laborstation zur Prozeßoptimierung zu betreiben. Durch die Verwendung einer serienmäßigen Produktionsstation für den Laborbetrieb sowie durch den Betrieb dieser Behandlungsstationen bei zumindest stark üblichen Produktionsbedingungen entsprechenden Randbedingungen können die gewonnenen Prozeßoptimierungen mit geringem Aufwand auf eine tatsächliche Serienproduktion übertragen werden. Darüber hinaus entfällt für einen Betreiber die Notwendigkeit, sich eine separate Labormaschine anzuschaffen. Schließlich ist es möglich, mit geringem Aufwand zyklisch die auf der Produktionsmaschine eingesetzten Behandlungsstationen im Bereich der Versorgungseinrichtung anzuhalten und hier eine Funktionsüberprüfung durchzuführen. Due to the stationary arrangement of a supply facility for the treatment station along the transport route it is possible to use any treatment station with suitable mating couplings is equipped, adjacent to Position utility and as Operate laboratory station for process optimization. Through the Use of a standard production station for the Laboratory operation and through the operation of this Treatment stations in at least very common Production conditions corresponding boundary conditions can the process optimizations obtained with little Transfer effort to actual serial production become. In addition, there is no need for an operator Need to get a separate laboratory machine to purchase. After all, it is possible with little Cyclical effort on the production machine used treatment stations in the area of Stop supply facility and here one Perform function check.

Eine typische Anwendung besteht darin, daß ein Laborbetrieb für eine Plasmastation durchgeführt wird. A typical application is that a laboratory operation for a plasma station.

Ebenfalls ist daran gedacht, daß ein Laborbetrieb für eine Blasstation durchgeführt wird. It is also contemplated that a laboratory for one Blow station is performed.

Zur Unterstützung eines elektrischen Betriebes der Behandlungsstation wird vorgeschlagen, daß als Betriebsmittel elektrische Energie zugeführt wird. To support electrical operation of the Treatment station is proposed as Equipment electrical energy is supplied.

Insbesondere bei Plasmaanwendungen ist daran gedacht, daß als Betriebsmittel ein Unterdruck zugeführt wird. In plasma applications in particular, it is thought that a negative pressure is supplied as the operating medium.

Eine weitere Variante besteht darin, daß als Betriebsmittel ein Überdruck zugeführt wird. Another variant is that as a resource an overpressure is supplied.

Zur Unterstützung einer Durchführung von Plasmabeschichtungen wird vorgeschlagen, daß als Betriebsmittel Prozeßgas zugeführt wird. To support an implementation of Plasma coatings are proposed as Operating material process gas is supplied.

Bei einem Laborbetrieb von Vorrichtungen, die im Produktionsbetrieb mindestens teilweise kurvengesteuert betrieben werden, erweist es sich als zweckmäßig, daß als Betriebsmittel mechanische Antriebsenergie zugeführt wird. In a laboratory operation of devices that Production operation at least partially cam-controlled operated, it proves to be useful that as Equipment mechanical drive energy is supplied.

Eine Bewegung der mechanischen Komponenten kann beispielsweise dadurch vorgegeben werden, daß die mechanische Antriebsenergie pneumatisch zugeführt wird. A movement of the mechanical components can can be specified, for example, in that the mechanical drive energy is supplied pneumatically.

Darüber hinaus ist daran gedacht, daß die mechanische Antriebsenergie elektro-mechanisch zugeführt wird. In addition, it is thought that the mechanical Drive energy is supplied electro-mechanically.

Eine genaue elektrische Steuerbarkeit wird dadurch unterstützt, daß die mechanische Antriebsenergie durch einen Servomotor zugeführt wird. This ensures precise electrical controllability supports that the mechanical drive energy by a servo motor is supplied.

Zur Unterstützung einer flexiblen Betriebweise wird vorgeschlagen, daß zur wahlweisen Aktivierung mindestens eines Funktionsmoduls zur Durchführung eines Produktionsbetriebes oder zur Aktivierung mindestens eines Funktionsmoduls zur Durchführung eines Laborbetriebes eine Steuereinheit verwendet wird. To support a flexible mode of operation suggested that for optional activation at least a function module for carrying out a Production company or to activate at least one Function module for performing a laboratory operation Control unit is used.

Zur Unterstützung eines Laborbetriebes ist insbesondere auch daran gedacht, daß die Steuereinheit mit mindestens einer Meßeinrichtung zur Überwachung eines Laborbetriebes der Behandlungsstation verbunden wird. To support a laboratory operation is in particular also remembered that the control unit with at least a measuring device for monitoring a laboratory operation the treatment center is connected.

Eine typische Anwendung besteht darin, daß ein Werkstück aus einem thermoplastischen Kunststoff behandelt wird. A typical application is that a workpiece is treated from a thermoplastic.

Insbesondere ist daran gedacht daß ein Innenraum des Werkstückes behandelt wird. In particular, it is thought that an interior of the Workpiece is treated.

Ein umfangreiches Anwendungsgebiet wird dadurch erschlossen, daß als Werkstück ein Behälter behandelt wird. This makes it an extensive area of application concluded that a container is treated as a workpiece.

Insbesondere ist dabei daran gedacht, daß als Werkstück eine Getränkeflasche behandelt wird. In particular, it is thought that as a workpiece a bottle of beverage is being treated.

Zur Verringerung eines gerätetechnischen Aufwandes bei der Durchführung des Laborbetriebes wird vorgeschlagen, daß von der Steuereinheit mindestens ein auch bei der Durchführung eines Produktionsbetriebes mit der Behandlungsstation verbundener Betriebsmittelanschluß im Laborbetrieb aktiviert und gegenüber einem Produktionsbetrieb abgewandelt angesteuert wird. To reduce the technical outlay for the Implementation of the laboratory operation is proposed that the control unit at least one also when performing a production plant with the treatment station connected equipment connection in laboratory operation activated and opposite a production plant modified is driven.

Eine Vergrößerung der Produktionskapazität bei nur geringfügig gesteigertem gerätetechnischen Aufwand kann dadurch erreicht werden, daß von einer Plasmastation mehrere Kavitäten bereitgestellt werden. An increase in production capacity at only slightly increased equipment costs can be achieved by a plasma station multiple cavities are provided.

Eine mechanisch hoch belastbare Ausführungsform wird dadurch bereitgestellt, daß die Behandlungsstationen von einem radringartigen Plasmarad transportiert werden. A mechanically highly resilient embodiment is provided that the treatment stations of a wheel ring-like plasma wheel can be transported.

Eine typische Anwendung wird dadurch definiert, daß als Plasmabehandlung eine Plasmabeschichtung durchgeführt wird. A typical application is defined as: Plasma treatment a plasma coating is carried out.

Insbesondere ist daran gedacht, daß die Plasmabehandlung unter Verwendung eines Niederdruckplasmas durchgeführt wird. In particular, it is thought that the plasma treatment performed using a low pressure plasma becomes.

Bei einer Beschichtung von Werkstücken aus Kunststoff erweist es sich als vorteilhaft, daß eine Plasmapolymerisation durchgeführt wird. When coating plastic workpieces it proves advantageous that a Plasma polymerization is carried out.

Eine gute Oberflächenhaftung wird dadurch unterstützt, daß durch das Plasma mindestens zum Teil organische Substanzen abgeschieden werden. A good surface adhesion is supported by the fact that through the plasma at least partially organic substances be deposited.

Besonders vorteilhafte Verwendungseigenschaften bei Werkstücken zur Verpackung von Lebensmitteln können dadurch erreicht werden, daß durch das Plasma mindestens zum Teil anorganische Substanzen abgeschieden werden. Particularly advantageous use properties This allows workpieces for packaging food be achieved by the plasma at least in part inorganic substances are separated.

Bei der Behandlung von Verpackungen ist insbesondere daran gedacht, daß durch das Plasma eine Substanz zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des Werkstückes abgeschieden wird. When it comes to the treatment of packaging, this is particularly important thought that through the plasma a substance for Improvement of the barrier properties of the workpiece is deposited.

Zur Unterstützung einer hohen Gebrauchsqualität wird vorgeschlagen, daß zusätzlich ein Haftvermittler zur Verbesserung eines Anhaftens der Substanz auf einer Oberfläche des Werkstückes abgeschieden wird. To support a high quality of use proposed that in addition an adhesion promoter to Improving adherence of the substance on one Surface of the workpiece is deposited.

Eine hohe Produktivität kann dadurch unterstützt werden, daß in einer gemeinsamen Kavität mindestens zwei Werkstücke gleichzeitig behandelt werden. High productivity can be supported that at least two workpieces in a common cavity be treated at the same time.

Ein weiteres Anwendungsgebiet besteht darin, daß als Plasmabehandlung eine Plasmasterilisation durchgeführt wird. Another area of application is that as Plasma treatment performed a plasma sterilization becomes.

Ebenfalls ist daran gedacht, daß als Plasmabehandlung eine Oberflächenaktivierung des Werkstückes durchgeführt wird. It is also contemplated that as a plasma treatment Surface activation of the workpiece is carried out.

Eine meßtechnische Erfassung von Parametern im Bereich der Behandlungsstation wird dadurch unterstützt, daß die Meßeinrichtung mindestens einen Sensor aufweist. A metrological recording of parameters in the area of Treatment station is supported in that the Measuring device has at least one sensor.

In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen: Exemplary embodiments of the invention are shown in the drawings shown schematically. Show it:

Fig. 1 eine Prinzipskizze einer Mehrzahl von Plasmakammern, die auf einem rotierenden Plasmarad angeordnet sind und bei der das Plasmarad mit Eingabe- und Ausgaberädern gekoppelt ist. Fig. 1 is a schematic diagram of a plurality of plasma chambers, which are arranged on a rotating plasma wheel and in which the plasma wheel is coupled to input and output wheels.

Fig. 2 eine Anordnung ähnlich zu Fig. 1, bei der die Plasmastationen jeweils mit zwei Plasmakammern ausgestattet sind, Fig. 2 shows an arrangement similar to Fig. 1, in which the plasma stations are each equipped with two plasma chambers,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines Plasmarades mit einer Vielzahl von Plasmakammern, Fig. 3 is a perspective view of a plasma wheel having a plurality of plasma chambers,

Fig. 4 eine perspektivische Darstellung einer Plasmastation mit einer Kavität, Fig. 4 is a perspective view of a plasma station with a cavity,

Fig. 5 eine Vorderansicht der Vorrichtung gemäß Fig. 4 mit geschlossener Plasmakammer, Fig. 5 is a front view of the device of FIG. 4 with a closed plasma chamber,

Fig. 6 einen Querschnitt gemäß Schnittlinie VI-VI in Fig. 5, Fig. 6 shows a cross section according to section line VI-VI in Fig. 5,

Fig. 7 eine Darstellung entsprechend Fig. 5 mit geöffneter Plasmakammer, Fig. 7 is a view corresponding to Fig. 5 with an open plasma chamber,

Fig. 8 einen Vertikalschnitt gemäß Schnittlinie VIII-VIII in Fig. 7, Fig. 8 is a vertical section according to section line VIII-VIII in Fig. 7,

Fig. 9 eine vergrößerte Darstellung der Plasmakammer mit zu beschichtender Flasche gemäß Fig. 6, Fig. 9 is an enlarged representation of the plasma chamber, to be coated bottle according to Fig. 6

Fig. 10 eine nochmals vergrößerte Darstellung eines Anschlußelementes zur Halterung des Werkstückes in der Plasmakammer, Fig. 10 shows a further enlarged view of a connecting element for holding the workpiece in the plasma chamber,

Fig. 11 eine schematische Darstellung einer Positionierung eines flaschenförmigen Werkstückes innerhalb der Plasmakammer unter Verwendung eines zangenartigen Halteelementes und Fig. 11 is a schematic representation of a positioning of a bottle-shaped workpiece within the plasma chamber using a pincer-like holding element, and

Fig. 12 ein Blockschaltbild zur Veranschaulichung einer Steuerungsstruktur zur wahlweisen Aktivierung eines Produktionsbetriebes oder eines Laborbetriebes der Vorrichtung. Fig. 12 is a block diagram showing a control structure for selectively activating a production plant or a laboratory operation of the apparatus.

Aus der Darstellung in Fig. 1 ist ein Plasmamodul (1) zu erkennen, das mit einem rotierenden Plasmarad (2) versehen ist. Entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) sind eine Mehrzahl von Plasmastationen (3) angeordnet. Die Plasmastationen (3) sind mit Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) zur Aufnahme von zu behandelnden Werkstücken (5) versehen. From the illustration in FIG. 1, a plasma module (1) can be seen which is provided with a rotating plasma wheel (2). A plurality of plasma stations ( 3 ) are arranged along a circumference of the plasma wheel ( 2 ). The plasma stations ( 3 ) are provided with cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 17 ) for receiving workpieces ( 5 ) to be treated.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) werden dem Plasmamodul (1) im Bereich einer Eingabe (6) zugeführt und über ein Vereinzelungsrad (7) an ein Übergaberad (8) weitergeleitet, das mit positionierbaren Tragarmen (9) ausgestattet ist. Die Tragarme (9) sind relativ zu einem Sockel (10) des Übergaberades (8) verschwenkbar angeordnet, so daß eine Abstandsveränderung der Werkstücke (5) relativ zueinander durchgeführt werden kann. Hierdurch erfolgt eine Übergabe der Werkstücke (5) vom Übergaberad (8) an ein Eingaberad (11) mit einem relativ zum Vereinzelungsrad (7) vergrößerten Abstand der Werkstücke (5) relativ zueinander. Das Eingaberad (11) übergibt die zu behandelnden Werkstücke (5) an das Plasmarad (2). Nach einer Durchführung der Behandlung werden die behandelten Werkstücke (5) von einem Ausgaberad (12) aus dem Bereich des Plasmarades (2) entfernt und in den Bereich einer Ausgabestrecke (13) überführt. The workpieces ( 5 ) to be treated are fed to the plasma module ( 1 ) in the area of an input ( 6 ) and forwarded via a separating wheel ( 7 ) to a transfer wheel ( 8 ) which is equipped with positionable support arms ( 9 ). The support arms ( 9 ) are arranged pivotably relative to a base ( 10 ) of the transfer wheel ( 8 ), so that a change in the distance of the workpieces ( 5 ) can be carried out relative to one another. As a result, the workpieces ( 5 ) are transferred from the transfer wheel ( 8 ) to an input wheel ( 11 ) with a greater distance between the workpieces ( 5 ) relative to one another relative to the separating wheel ( 7 ). The input wheel ( 11 ) transfers the workpieces ( 5 ) to be treated to the plasma wheel ( 2 ). After the treatment has been carried out, the treated workpieces ( 5 ) are removed from the area of the plasma wheel ( 2 ) by an output wheel ( 12 ) and transferred to the area of an output section ( 13 ).

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 sind die Plasmastationen (3) jeweils mit zwei Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) ausgestattet. Hierdurch können jeweils zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. Grundsätzlich ist es hierbei möglich, die Kavitäten (4) vollständig voneinander getrennt auszubilden, grundsätzlich ist es aber auch möglich, in einem gemeinsamen Kavitätenraum lediglich Teilbereiche derart gegeneinander abzugrenzen, daß eine optimale Beschichtung aller Werkstücke (5) gewährleistet ist. Insbesondere ist hierbei daran gedacht, die Teilkavitäten zumindest durch separate Mikrowelleneinkopplungen gegeneinander abzugrenzen. In the embodiment according to FIG. 2, the plasma stations ( 3 ) are each equipped with two cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 17 ). As a result, two workpieces ( 5 ) can be treated at the same time. Basically, it is possible to make the cavities ( 4 ) completely separate from one another, but in principle it is also possible to delimit only partial areas from one another in a common cavity space in such a way that an optimal coating of all workpieces ( 5 ) is ensured. In particular, it is contemplated here to separate the partial cavities from one another at least by means of separate microwave couplings.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung eines Plasmamoduls (1) mit teilweise aufgebautem Plasmarad (2). Die Plasmastationen (3) sind auf einem Tragring (14) angeordnet, der als Teil einer Drehverbindung ausgebildet und im Bereich eines Maschinensockels (15) gelagert ist. Die Plasmastationen (3) weisen jeweils einen Stationsrahmen (16) auf, der Plasmakammern (17) haltert. Die Plasmakammern (17) weisen zylinderförmige Kammerwandungen (18) sowie Mikrowellengeneratoren (19) auf. Fig. 3 shows a perspective view of a plasma module ( 1 ) with a partially constructed plasma wheel ( 2 ). The plasma stations ( 3 ) are arranged on a support ring ( 14 ) which is designed as part of a rotary connection and is mounted in the area of a machine base ( 15 ). The plasma stations ( 3 ) each have a station frame ( 16 ) which holds plasma chambers ( 17 ). The plasma chambers ( 17 ) have cylindrical chamber walls ( 18 ) and microwave generators ( 19 ).

In einem Zentrum des Plasmarades (2) sind Drehverteiler (20, 21) angeordnet, über die die Plasmastationen (3) mit Betriebsmitteln sowie Energie versorgt werden. Zur Betriebsmittelverteilung können insbesondere Ringleitungen (22) eingesetzt werden. Rotary distributors ( 20 , 21 ) are arranged in a center of the plasma wheel ( 2 ), via which the plasma stations ( 3 ) are supplied with operating resources and energy. Ring lines ( 22 ) in particular can be used for the distribution of operating resources.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) sind unterhalb der zylinderförmigen Kammerwandungen (18) dargestellt. Unterteile der Plasmakammern (17) sind zur Vereinfachung jeweils nicht eingezeichnet. The workpieces ( 5 ) to be treated are shown below the cylindrical chamber walls ( 18 ). Lower parts of the plasma chambers ( 17 ) are not shown for the sake of simplicity.

Fig. 4 zeigt eine Plasmastation (3) in perspektivischer Darstellung. Es ist zu erkennen, daß der Stationsrahmen (16) mit Führungsstangen (23) versehen ist, auf denen ein Schlitten (24) zur Halterung der zylinderförmigen Kammerwandung (18) geführt ist. Fig. 4 zeigt den Schlitten (24) mit Kammerwandung (18) in einem angehobenen Zustand, so daß das Werkstück (5) freigegeben ist. Fig. 4 shows a plasma station ( 3 ) in perspective. It can be seen that the station frame ( 16 ) is provided with guide rods ( 23 ) on which a carriage ( 24 ) for holding the cylindrical chamber wall ( 18 ) is guided. Fig. 4 shows the carriage ( 24 ) with the chamber wall ( 18 ) in a raised state, so that the workpiece ( 5 ) is released.

Im oberen Bereich der Plasmastation (3) ist der Mikrowellengenerator (19) angeordnet. Der Mikrowellengenerator (19) ist über eine Umlenkung (25) und einen Adapter (26) an einen Kopplungskanal (27) angeschlossen, der in die Plasmakammer (17) einmündet. Grundsätzlich kann der Mikrowellengenerator (19) sowohl unmittelbar im Bereich des Kammerdeckels (31) als auch über ein Distanzelement an den Kammerdeckel (31) angekoppelt mit einer vorgebbaren Entfernung zum Kammerdeckel (31) und somit in einem größeren Umgebungsbereich des Kammerdeckels (31) angeordnet werden. Der Adapter (26) hat die Funktion eines Übergangselementes und der Kopplungskanal (27) ist als ein Koaxialleiter ausgebildet. Im Bereich einer Einmündung des Kopplungskanals (27) in den Kammerdeckel (31) ist ein Quarzglasfenster angeordnet. Die Umlenkung (25) ist als ein Hohlleiter ausgebildet. The microwave generator ( 19 ) is arranged in the upper region of the plasma station ( 3 ). The microwave generator ( 19 ) is connected via a deflection ( 25 ) and an adapter ( 26 ) to a coupling channel ( 27 ) which opens into the plasma chamber ( 17 ). In principle, the microwave generator ( 19 ) can be coupled both directly in the area of the chamber cover ( 31 ) and via a spacer element to the chamber cover ( 31 ) with a predeterminable distance to the chamber cover ( 31 ) and thus in a larger surrounding area of the chamber cover ( 31 ) , The adapter ( 26 ) has the function of a transition element and the coupling channel ( 27 ) is designed as a coaxial conductor. A quartz glass window is arranged in the region of a junction of the coupling channel ( 27 ) in the chamber cover ( 31 ). The deflection ( 25 ) is designed as a waveguide.

Das Werkstück (5) wird im Bereich eines Dichtelementes (28) positioniert, das im Bereich eines Kammerbodens (29) angeordnet ist. Der Kammerboden (29) ist als Teil eines Kammersockels (30) ausgebildet. Zur Erleichterung einer Justage ist es möglich, den Kammersockel (30) im Bereich der Führungsstangen (23) zu fixieren. Eine andere Variante besteht darin, den Kammersockel (30) direkt am Stationsrahmen (16) zu befestigen. Bei einer derartigen Anordnung ist es beispielsweise auch möglich, die Führungsstangen (23) in vertikaler Richtung zweiteilig auszuführen. The workpiece ( 5 ) is positioned in the area of a sealing element ( 28 ) which is arranged in the area of a chamber base ( 29 ). The chamber base ( 29 ) is designed as part of a chamber base ( 30 ). To facilitate adjustment, it is possible to fix the chamber base ( 30 ) in the area of the guide rods ( 23 ). Another variant is to attach the chamber base ( 30 ) directly to the station frame ( 16 ). With such an arrangement, it is also possible, for example, to design the guide rods ( 23 ) in two parts in the vertical direction.

Fig. 5 zeigt eine Vorderansicht der Plasmastation (3) gemäß Fig. 3 in einem geschlossenen Zustand der Plasmakammer (17). Der Schlitten (24) mit der zylinderförmigen Kammerwandung (18) ist hierbei gegenüber der Positionierung in Fig. 4 abgesenkt, so daß die Kammerwandung (18) gegen den Kammerboden (29) gefahren ist. In diesem Positionierzustand kann die Plasmabeschichtung durchgeführt werden. FIG. 5 shows a front view of the plasma station ( 3 ) according to FIG. 3 in a closed state of the plasma chamber ( 17 ). The carriage ( 24 ) with the cylindrical chamber wall ( 18 ) is lowered compared to the positioning in FIG. 4, so that the chamber wall ( 18 ) has moved against the chamber bottom ( 29 ). The plasma coating can be carried out in this positioning state.

Fig. 6 zeigt in einer Vertikalschnittdarstellung die Anordnung gemäß Fig. 5. Es ist insbesondere zu erkennen, daß der Kopplungskanal (27) in einen Kammerdeckel (31) einmündet, der einen seitlich überstehenden Flansch (32) aufweist. Im Bereich des Flansches (32) ist eine Dichtung (33) angeordnet, die von einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) beaufschlagt wird. In einem abgesenkten Zustand der Kammerwandung (18) erfolgt hierdurch eine Abdichtung der Kammerwandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31). Eine weitere Dichtung (35) ist in einem unteren Bereich der Kammerwandung (18) angeordnet, um auch hier eine Abdichtung relativ zum Kammerboden (29) zu gewährleisten. FIG. 6 shows the arrangement according to FIG. 5 in a vertical sectional view. It can be seen in particular that the coupling channel ( 27 ) opens into a chamber cover ( 31 ) which has a laterally projecting flange ( 32 ). A seal ( 33 ) is arranged in the area of the flange ( 32 ) and is acted upon by an inner flange ( 34 ) of the chamber wall ( 18 ). In a lowered state of the chamber wall (18) therethrough, a seal is made of the chamber wall (18) relative to the chamber lid (31). A further seal ( 35 ) is arranged in a lower region of the chamber wall ( 18 ) in order to ensure a seal here also relative to the chamber bottom ( 29 ).

In der in Fig. 6 dargestellten Positionierung umschließt die Kammerwandung (18) die Kavität (4), so daß sowohl ein Innenraum der Kavität (4) als auch ein Innenraum des Werkstückes (5) evakuiert werden können. Zur Unterstützung einer Zuleitung von Prozeßgas ist im Bereich des Kammersockels (30) eine hohle Lanze (36) angeordnet, die in den Innenraum des Werkstückes (5) hineinverfahrbar ist. Zur Durchführung einer Positionierung der Lanze (36) wird diese von einem Lanzenschlitten (37) gehaltert, der entlang der Führungsstangen (23) positionierbar ist. Innerhalb des Lanzenschlittens (37) verläuft ein Prozeßgaskanal (38), der in der in Fig. 6 dargestellten angehobenen Positionierung mit einem Gasanschluß (39) des Kammersockels (30) gekoppelt ist. Durch diese Anordnung werden schlauchartige Verbindungselemente am Lanzenschlitten (37) vermieden. In the positioning shown in FIG. 6, the chamber wall ( 18 ) encloses the cavity ( 4 ), so that both an interior of the cavity ( 4 ) and an interior of the workpiece ( 5 ) can be evacuated. To support a supply of process gas, a hollow lance ( 36 ) is arranged in the area of the chamber base ( 30 ) and can be moved into the interior of the workpiece ( 5 ). The lance ( 36 ) is positioned by a lance slide ( 37 ) which can be positioned along the guide rods ( 23 ). A process gas channel ( 38 ) runs inside the lance slide ( 37 ) and, in the raised position shown in FIG. 6, is coupled to a gas connection ( 39 ) of the chamber base ( 30 ). This arrangement avoids hose-like connecting elements on the lance slide ( 37 ).

Fig. 7 und Fig. 8 zeigen die Anordnung gemäß Fig. 5 und Fig. 6 in einem angehobenen Zustand der Kammerwandung (18). In diesem Positionierungszustand der Kammerwandung (18) ist es problemlos möglich, das behandelte Werkstück (5) aus dem Bereich der Plasmastation (3) zu entfernen und ein neues zu behandelndes Werkstück (5) einzusetzen. Alternativ zu der in den Zeichnungen dargestellten Positionierung der Kammerwandung (18) in einem durch Verschiebung nach oben erreichten geöffneten Zustand der Plasmakammer (17) ist es auch möglich, den Öffnungsvorgang durch eine Verschiebung einer konstruktiv modifizierten hülsenförmigen Kammerwandung in vertikaler Richtung nach unten durchzuführen. Fig. 7 and Fig. 8 show the arrangement of FIG. 5 and FIG 6 in a raised state of the chamber wall (18).. In this position of the chamber wall ( 18 ), it is possible to remove the treated workpiece ( 5 ) from the area of the plasma station ( 3 ) and to insert a new workpiece ( 5 ) to be treated. As an alternative to the positioning of the chamber wall ( 18 ) shown in the drawings in an open state of the plasma chamber ( 17 ) achieved by displacement upwards, it is also possible to carry out the opening process by displacing a structurally modified sleeve-shaped chamber wall downwards in the vertical direction.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt der Kopplungskanal (27) eine zylinderförmige Gestaltung und ist im wesentlichen koaxial zur Kammerwandung (18) angeordnet. In the exemplary embodiment shown, the coupling channel ( 27 ) has a cylindrical design and is arranged essentially coaxially with the chamber wall ( 18 ).

Fig. 9 zeigt den Vertikalschnitt gemäß Fig. 6 in einer vergrößerten teilweisen Darstellung in einer Umgebung der Kammerwandung (18). Zu erkennen ist insbesondere das Übergreifen des Innenflansches (34) der Kammerwandung (18) über den Flansch (32) des Kammerdeckels (31) und die Halterung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (28). Darüber hinaus ist zu erkennen, daß die Lanze (36) durch eine Ausnehmung (40) des Halteelementes (28) hindurchgeführt ist. FIG. 9 shows the vertical section according to FIG. 6 in an enlarged partial illustration in the vicinity of the chamber wall ( 18 ). In particular, the overlap of the inner flange ( 34 ) of the chamber wall ( 18 ) over the flange ( 32 ) of the chamber cover ( 31 ) and the holding of the workpiece ( 5 ) by the holding element ( 28 ). In addition, it can be seen that the lance ( 36 ) is guided through a recess ( 40 ) in the holding element ( 28 ).

Die Positionierung des Werkstückes (5) im Bereich des Dichtelementes (28) ist in der nochmals vergrößerten Darstellung in Fig. 10 zu erkennen. Das Dichtelement (28) ist in eine Führungshülse (41) eingesetzt, die mit einer Federkammer (42) versehen ist. In die Federkammer (42) ist eine Druckfeder (43) eingesetzt, die einen Außenflansch (44) des Dichtelementes (28) relativ zur Führungshülse (41) verspannt. The positioning of the workpiece ( 5 ) in the area of the sealing element ( 28 ) can be seen in the enlarged illustration in FIG. 10. The sealing element ( 28 ) is inserted into a guide sleeve ( 41 ) which is provided with a spring chamber ( 42 ). A compression spring ( 43 ) is inserted into the spring chamber ( 42 ) and clamps an outer flange ( 44 ) of the sealing element ( 28 ) relative to the guide sleeve ( 41 ).

In der in Fig. 10 dargestellten Positionierung ist ein an der Lanze (36) montierter Schubteller (45) gegen den Außenflansch (44) geführt und drückt das Dichtelement (28) in seine obere Endpositionierung. In dieser Positionierung ist ein Innenraum des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) isoliert. In einem abgesenkten Zustand der Lanze (36) verschiebt die Druckfeder (43) das Dichtelement (28) relativ zur Führungshülse (41) derart, daß eine Verbindung zwischen dem Innenraum des Werkstückes (5) und dem Innenraum der Kavität (4) geschaffen ist. In the positioning shown in FIG. 10, a thrust plate ( 45 ) mounted on the lance ( 36 ) is guided against the outer flange ( 44 ) and presses the sealing element ( 28 ) into its upper end position. In this positioning, an interior of the workpiece ( 5 ) is insulated from the interior of the cavity ( 4 ). In a lowered state of the lance ( 36 ), the compression spring ( 43 ) displaces the sealing element ( 28 ) relative to the guide sleeve ( 41 ) in such a way that a connection between the interior of the workpiece ( 5 ) and the interior of the cavity ( 4 ) is created.

Fig. 11 zeigt die Positionierung des Werkstückes (5) innerhalb der Plasmakammer (17) mit Hilfe eines Halteelementes (46). Das Halteelement (46) ist zangenartig ausgebildet und besitzt zwei verschwenkbar gelagerte Haltearme (47, 48). Die Haltearme (47, 48) sind relativ zu Drehachsen (49, 50) verschwenkbar. Zur Gewährleistung einer automatischen Fixierung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (46) werden die Haltearme (47, 48) von Federn (51, 52) in eine jeweilige Haltepositionierung gedrückt. Fig. 11 shows the positioning of the workpiece ( 5 ) within the plasma chamber ( 17 ) with the aid of a holding element ( 46 ). The holding element ( 46 ) is designed like pliers and has two pivotably mounted holding arms ( 47 , 48 ). The holding arms ( 47 , 48 ) can be pivoted relative to axes of rotation ( 49 , 50 ). To ensure automatic fixation of the workpiece ( 5 ) by the holding element ( 46 ), the holding arms ( 47 , 48 ) are pressed by springs ( 51 , 52 ) into a respective holding position.

Das Halteelement (46) ist oberhalb des Kammersockels (30) angeordnet, so daß nach einem Anheben der Kammerwandung (18) eine seitliche Zugänglichkeit des Halteelements (46) gegeben ist. Das Werkstück (5) kann hierdurch von einem Positionierelement an das Halteelement (46) übergeben werden, ohne daß eine Hubbewegung des Werkstückes (5) in Richtung einer Kavitätenlängsachse (53) erfolgen muß. The holding element ( 46 ) is arranged above the chamber base ( 30 ), so that after lifting the chamber wall ( 18 ) there is lateral accessibility of the holding element ( 46 ). The workpiece ( 5 ) can thereby be transferred from a positioning element to the holding element ( 46 ) without a lifting movement of the workpiece ( 5 ) in the direction of a longitudinal axis ( 53 ) of the cavity.

Fig. 12 zeigt ein schematisches Blockschaltbild zur Veranschaulichung des Verfahrensablaufes bei einer wahlweisen Aktivierung einer Steuerung zur Durchführung eines Produktionsbetriebes oder eines Laborbetriebes. Ein entsprechender Steuerungsablauf wird auch bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung realisiert. Fig. 12 zeigt hierzu eine Steuereinheit (54), die mit einer Eingabeeinrichtung (55) und einer Anzeigeeinrichtung (56) versehen ist. Unter Verwendung der Eingabeeinrichtung (55) ist es möglich, unterschiedliche Funktionsmodule (57) zu aktivieren. Mindestens eines der Funktionsmodule (57) ist für die Durchführung eines Produktionsbetriebes vorgesehen, darüber hinaus können mehrere unterschiedliche Funktionsmodule (57) zur Durchführung unterschiedlicher Service-Programme angewählt werden. Mindestens eines der Funktionsmodule (57) ist zur Durchführung eines Laborbetriebes konfiguriert. Fig. 12 shows a schematic block diagram for illustrating the process sequence in a selective activation of a control for carrying out a production plant or a laboratory operation. A corresponding control sequence is also implemented in the device according to the invention. Fig. 12 this shows a control unit (54) which is provided with an input device (55) and a display device (56). Using the input device ( 55 ), it is possible to activate different function modules ( 57 ). At least one of the function modules ( 57 ) is provided for carrying out a production operation; moreover, several different function modules ( 57 ) can be selected for carrying out different service programs. At least one of the function modules ( 57 ) is configured to carry out a laboratory operation.

Die Aktivierung des Funktionsmoduls (57) für einen Laborbetrieb der Maschine erfolgt typischerweise nachdem die ausgewählte Behandlungsstation, beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die ausgewählte Plasmastation (3), an der Positionierung für den Laborbetrieb angeordnet wurde. An dieser Positionierung erfolgt manuell oder automatisch ein Anschluß an die erforderlichen externen Medienversorgungen. Es ist dabei möglich, sämtliche erforderlichen Medien extern zuzuführen, insbesondere ist aber auch daran gedacht, auch beim Produktionsbetrieb mit der Behandlungsstation verbundene Medienversorgungen zu verwenden und lediglich eine für den Laborbetrieb angepaßte Steuerung der Medienversorgungen zu verwenden. Die Zufuhr von externen Betriebsmitteln bezieht sich beispielsweise auf die Zuführung von Unterdruck, Überdruck, elektrischer Energie, mechanischer Antriebsenergie oder spezieller Steuerungssequenzen zur Durchführung eines Laborbetriebes. The function module ( 57 ) for a laboratory operation of the machine is typically activated after the selected treatment station, in the present exemplary embodiment the selected plasma station ( 3 ), has been arranged at the positioning for the laboratory operation. At this position, a connection to the required external media supplies is made manually or automatically. It is possible to supply all the required media externally, but in particular it is also contemplated to use media supplies connected to the treatment station even in production operation and only to use a control of the media supplies adapted for laboratory operation. The supply of external operating equipment relates, for example, to the supply of negative pressure, positive pressure, electrical energy, mechanical drive energy or special control sequences for carrying out a laboratory operation.

Bei einer Aktivierung eines Laborbetriebes für eine Blasmaschine ist insbesondere auch daran gedacht, die Versorgungseinrichtung mit einer Heizeinrichtung für die Vorformlinge zu versehen. Die Heizeinrichtung kann beispielsweise mit Infrarot-Strahlern oder Mikrowellen- Strahlern ausgerüstet sein. Bei einer derartigen Ausführungsform ist insbesondere auch daran gedacht, die Vorformlinge manuell im Bereich der Heizeinrichtung zu positionieren und eine Übergabe von der Heizeinrichtung an die in den Laborbetrieb versetzte Bearbeitungsstation automatisch durchzuführen. When activating a laboratory for one Blowing machine is especially thought of that Supply device with a heating device for the To provide preforms. The heater can for example with infrared radiators or microwave Spotlights. With such a Embodiment is also particularly thought of Preforms manually in the area of the heating device position and a handover from the heater the processing station placed in the laboratory perform automatically.

Ebenfalls ist es sowohl bei einer Durchführung des Laborbetriebes für Maschinen zur Plasmabehandlung als auch bei Maschinen zur Blasverformung möglich, bei der normalen Produktion verwendete Sicherheitseinrichtungen zu aktivieren, um einen gefahrlosen Betrieb zu unterstützen. Die Sicherheitseinrichtungen können sich beispielsweise auf die Überwachung von einem ordnungsgemäßen Schließen von zugangstüren sowie die ordnungsgemäße Durchführung von pneumatischen Verbindungen beziehen. It is also the case when the Laboratory operation for machines for plasma treatment as well possible with blow molding machines, with normal Production used safety devices too activate to support safe operation. The safety devices can, for example monitoring the proper closing of access doors and the proper implementation of pneumatic connections.

Das Einsetzen der Werkstücke (5) erfolgt im Laborbetrieb typischerweise manuell, es ist aber auch eine Automatisierung oder zumindest eine Teilautomatisierung durchführbar. The workpieces ( 5 ) are typically inserted manually in laboratory operation, but automation or at least partial automation can also be carried out.

Ein typischer Behandlungsvorgang wird im folgenden am Beispiel eines Beschichtungsvorganges erläutert und derart durchgeführt, daß zunächst die ausgewählte Plasmastation (3) durch eine Drehung des Plasmarades (2) an der zur Durchführung des Laborbetriebes vorgesehenen Position angehalten wird. Es erfolgt dann die steuerungstechnische Aktivierung des Laborbetriebes über die Steuereinheit (54). Das Werkstück (5) wird anschließend in einem hochgeschobenen Zustand der hülsenartigen Kammerwandung (18) in die Plasmastation (3) eingesetzt. Nach einem Abschluß des Einsetzvorganges wird die Kammerwandung (18) in ihre abgedichtete Positionierung abgesenkt und zunächst gleichzeitig eine Evakuierung sowohl der Kavität (4) als auch eines Innenraumes des Werkstückes (5) durchgeführt. A typical treatment process is explained below using the example of a coating process and carried out in such a way that first the selected plasma station ( 3 ) is stopped by rotating the plasma wheel ( 2 ) at the position provided for carrying out the laboratory operation. The control operation of the laboratory operation is then carried out via the control unit ( 54 ). The workpiece ( 5 ) is then inserted into the plasma station ( 3 ) in a pushed-up state of the sleeve-like chamber wall ( 18 ). After the insertion process has been completed, the chamber wall ( 18 ) is lowered into its sealed position and, at the same time, both the cavity ( 4 ) and an interior of the workpiece ( 5 ) are evacuated at the same time.

Nach einer ausreichenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität (4) wird die Lanze (36) in den Innenraum des Werkstückes (5) eingefahren und durch eine Verschiebung des Dichtelementes (28) eine Abschottung des Innenraumes des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) durchgeführt. Ebenfalls ist es möglich, die Lanze (36) bereits synchron zur beginnenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität in das Werkstück (5) hinein zu verfahren. Der Druck im Innenraum des Werkstückes (5) wird anschließend noch weiter abgesenkt. Darüber hinaus ist auch daran gedacht, die Positionierbewegung der Lanze (36) wenigstens teilweise bereits parallel zur Positionierung der Kammerwandung (18) durchzuführen. Nach Erreichen eines ausreichend tiefen Unterdruckes wird Prozeßgas in den Innenraum des Werkstückes (5) eingeleitet und mit Hilfe des Mikrowellengenerators (19) das Plasma gezündet. After sufficient evacuation of the interior of the cavity ( 4 ), the lance ( 36 ) is inserted into the interior of the workpiece ( 5 ) and the sealing of the interior of the workpiece ( 5 ) from the interior of the workpiece ( 5 ) is sealed off by a displacement of the sealing element ( 28 ). 4 ) performed. It is also possible to move the lance ( 36 ) into the workpiece ( 5 ) synchronously with the beginning of the evacuation of the interior of the cavity. The pressure in the interior of the workpiece ( 5 ) is then further reduced. In addition, the positioning movement of the lance ( 36 ) is at least partially already carried out parallel to the positioning of the chamber wall ( 18 ). After reaching a sufficiently low vacuum, process gas is introduced into the interior of the workpiece ( 5 ) and the plasma is ignited with the aid of the microwave generator ( 19 ).

Insbesondere ist daran gedacht, mit Hilfe des Plasmas sowohl einen Haftvermittler als auch die eigentliche Barriereschicht aus Siliziumoxiden auf den inneren Oberflächen der Werkstücke (5) abzuscheiden. In particular, it is intended to use the plasma to deposit both an adhesion promoter and the actual barrier layer made of silicon oxides on the inner surfaces of the workpieces ( 5 ).

Die Aufbringung des Haftvermittlers kann beispielsweise in einem zweistufigen Verfahren als erste Stufe vor der Aufbringung der Barriereschicht in der zweiten Stufe erfolgen, es ist aber auch denkbar, in einem kontinuierlichen Verfahren wenigstens einen dem Werkstück (5) zugewandten Teil der Barriereschicht als Gradientenschicht auch bereits zeitgleich zum Aufbringen mindestens eines Teiles des Haftvermittlers zu erzeugen. Eine derartige Gradientenschicht kann in einfacher Weise während der Dauer eines bereits gezündeten Plasmas durch Veränderung der Zusammensetzung des Prozeßgases erzeugt werden. Eine derartige Änderung der Zusammensetzung des Prozeßgases kann abrupt durch Änderung von Ventilsteuerungen oder kontinuierlich durch Veränderung des Mischungsverhältnisses von Bestandteilen des Prozeßgases erreicht werden. The adhesion promoter can be applied, for example, in a two-stage process as the first stage before the barrier layer is applied in the second stage, but it is also conceivable, in a continuous process, to simultaneously use at least one part of the barrier layer facing the workpiece ( 5 ) as a gradient layer at the same time to produce at least a part of the adhesion promoter. Such a gradient layer can be produced in a simple manner during the duration of a plasma which has already been ignited by changing the composition of the process gas. Such a change in the composition of the process gas can be achieved abruptly by changing valve controls or continuously by changing the mixing ratio of components of the process gas.

Ein typischer Aufbau einer Gradientenschicht erfolgt derart, daß in einem dem Werkstück (5) zugewandten Teil der Gradientenschicht ein zumindest überwiegender Anteil des Haftvermittlers und in einem dem Werkstück (5) abgewandten Teil der Gradientenschicht zumindest überwiegend ein Anteil des Barrierematerials enthalten ist. Ein Übergang der jeweiligen Bestandteile erfolgt zumindest in einem Teil der Gradientenschicht kontinuierlich entsprechend einem vorgebbaren Gradientenverlauf. In ähnlicher Weise ist es möglich, sowohl die Schicht zur Haftvermittlung als auch die Barriereschicht selbst als Gradientenschichten zu erzeugen. A typical structure of a gradient layer is such that a part of the gradient layer facing the workpiece ( 5 ) contains at least a predominant proportion of the adhesion promoter and at least a majority of the barrier material is contained in a part of the gradient layer facing away from the workpiece ( 5 ). A transition of the respective components takes place continuously in at least part of the gradient layer in accordance with a predeterminable gradient curve. In a similar way, it is possible to produce both the layer for promoting adhesion and the barrier layer itself as gradient layers.

Der Innenraum der Plasmakammer (17) und der Innenraum des Werkstückes (5) werden zunächst gemeinsam auf ein Druckniveau von etwa 20 mbar bis 50 mbar evakuiert. Anschließend wird der Druck im Innenraum des Werkstückes (5) weiter auf etwa 0,1 mbar abgesenkt. Während der Durchführung des Behandlungsvorganges wird ein Unterdruck von etwa 0,3 mbar aufrechterhalten. The interior of the plasma chamber ( 17 ) and the interior of the workpiece ( 5 ) are first evacuated together to a pressure level of approximately 20 mbar to 50 mbar. The pressure in the interior of the workpiece ( 5 ) is then further reduced to approximately 0.1 mbar. A vacuum of about 0.3 mbar is maintained while the treatment process is being carried out.

Nach einem Abschluß des Beschichtungsvorganges wird die Lanze (36) wieder aus dem Innenraum des Werkstückes (5) entfernt und die Plasmakammer (17) sowie der Innenraum des Werkstückes (5) werden belüftet. Nach Erreichen des Umgebungsdruckes innerhalb der Kavität (4) wird die Kammerwandung (18) wieder angehoben, um eine Entnahme des beschichteten Werkstückes (5) sowie eine Eingabe eines neuen zu beschichtenden Werkstückes (5) durchzuführen. Zur Ermöglichung einer seitlichen Positionierung des Werkstückes (5) wird das Dichtelement (28) mindestens bereichsweise wieder in den Kammersockel (30) hinein verfahren. After the coating process has been completed, the lance ( 36 ) is removed from the interior of the workpiece ( 5 ) and the plasma chamber ( 17 ) and the interior of the workpiece ( 5 ) are ventilated. After reaching the ambient pressure within the cavity ( 4 ), the chamber wall ( 18 ) is raised again in order to remove the coated workpiece ( 5 ) and to enter a new workpiece ( 5 ) to be coated. To enable the workpiece ( 5 ) to be positioned laterally, the sealing element ( 28 ) is moved back into the chamber base ( 30 ) at least in some areas.

Alternativ zur erläuterten Innenbeschichtung von Werkstücken (5) können auch Außenbeschichtungen, Sterilisationen oder Oberflächenaktivierungen durchgeführt werden. As an alternative to the described inner coating of workpieces ( 5 ), outer coatings, sterilizations or surface activations can also be carried out.

Eine Positionierung der Kammerwandung (18), des Dichtelementes (28) und/oder der Lanze (36) kann unter Verwendung unterschiedlicher Antriebsaggregate erfolgen. Grundsätzlich ist die Verwendung pneumatischer Antriebe und /oder elektrischer Antriebe, insbesondere in einer Ausführungsform als Linearmotor, denkbar. The chamber wall ( 18 ), the sealing element ( 28 ) and / or the lance ( 36 ) can be positioned using different drive units. In principle, the use of pneumatic drives and / or electrical drives, in particular in one embodiment as a linear motor, is conceivable.

Nach einem Abschluß des Laborbetriebes erfolgt entsprechend der Darstellung in Fig. 12 eine Abtrennung der durch die Versorgungseinrichtung bereitgestellten externen Medien und es kann in einen Produktionsablauf zurückgekehrt werden. After completion of the laboratory operation, as shown in FIG. 12, the external media provided by the supply device are separated and a return to a production process is possible.

Claims (53)

1. Verfahren zur Behandlung von Werkstücken, bei dem mindestens ein Werkstück in eine Behandlungsstation eingesetzt und innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert wird, sowie bei dem die Behandlungsstation entlang eines umlaufenden Transportweges positioniert wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation entlang des Transportweges an mindestens einer Versorgungspositionierung relativ zur Transportrichtung stillstehend von mindestens einer stationären Versorgungseinrichtung mit mindestens einem Betriebsmittel versorgt wird. 1. A method for the treatment of workpieces, in which at least one workpiece is inserted into a treatment station and positioned within the treatment station by a holding element, and in which the treatment station is positioned along a circumferential transport path, characterized in that the treatment station along the transport path at least a supply positioning relative to the transport direction is supplied with at least one operating medium by at least one stationary supply device. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Laborbetrieb für eine Plasmastation (3) durchgeführt wird. 2. The method according to claim 1, characterized in that a laboratory operation for a plasma station ( 3 ) is carried out. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Laborbetrieb für eine Blasstation durchgeführt wird. 3. The method according to claim 1, characterized in that a laboratory operation for a blowing station is carried out. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Betriebsmittel elektrische Energie zugeführt wird. 4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized characterized in that electrical energy as a resource is fed. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Betriebsmittel ein Unterdruck zugeführt wird. 5. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized characterized in that a vacuum as a resource is fed. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Betriebsmittel ein Überdruck zugeführt wird. 6. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized characterized in that an overpressure is fed. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Betriebsmittel Prozeßgas zugeführt wird. 7. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized characterized in that process gas is supplied as the operating medium becomes. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Betriebsmittel mechanische Antriebsenergie zugeführt wird. 8. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized characterized in that mechanical Drive energy is supplied. 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Antriebsenergie pneumatisch zugeführt wird. 9. The method according to claim 8, characterized in that the mechanical drive energy is supplied pneumatically. 10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Antriebsenergie elektro-mechanisch zugeführt wird. 10. The method according to claim 8, characterized in that the mechanical drive energy is electro-mechanical is fed. 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Antriebsenergie durch einen Servomotor zugeführt wird. 11. The method according to claim 10, characterized in that the mechanical drive energy from a servo motor is fed. 12. verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß zur wahlweisen Aktivierung mindestens eines Funktionsmoduls (57) zur Durchführung eines Produktionsbetriebes oder zur Aktivierung mindestens eines Funktionsmoduls (57) zur Durchführung eines Laborbetriebes eine Steuereinheit (54) verwendet wird. 12. The method according to any one of claims 1 to 11, characterized in that a control unit ( 54 ) is used to selectively activate at least one function module ( 57 ) to carry out a production operation or to activate at least one function module ( 57 ) to carry out a laboratory operation. 13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit (54) mit mindestens einer Meßeinrichtung zur Überwachung eines Laborbetriebes der Behandlungsstation verbunden wird. 13. The method according to claim 12, characterized in that the control unit ( 54 ) is connected to at least one measuring device for monitoring a laboratory operation of the treatment station. 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein Werkstück (5) aus einem thermoplastischen Kunststoff behandelt wird. 14. The method according to any one of claims 1 to 13, characterized in that a workpiece ( 5 ) is treated from a thermoplastic. 15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß ein Innenraum eines hohlkörperartigen Werkstückes (5) behandelt wird. 15. The method according to any one of claims 1 to 14, characterized in that an interior of a hollow workpiece ( 5 ) is treated. 16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß als Werkstück (5) ein Behälter behandelt wird. 16. The method according to any one of claims 1 to 15, characterized in that a container is treated as the workpiece ( 5 ). 17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß als Werkstück (5) eine Getränkeflasche behandelt wird. 17. The method according to any one of claims 1 to 16, characterized in that a beverage bottle is treated as the workpiece ( 5 ). 18. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß von der Steuereinheit (54) mindestens ein auch bei der Durchführung eines Produktionsbetriebes mit der Behandlungsstation verbundener Betriebsmittelanschluß im Laborbetrieb aktiviert und gegenüber einem Produktionsbetrieb abgewandelt angesteuert wird. 18. The method according to any one of claims 1 to 17, characterized in that the control unit ( 54 ) activates at least one operating means connection also connected to the treatment station when carrying out a production operation in laboratory operation and is controlled in a modified manner relative to a production operation. 19. verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß von einer Plasmastation (3) mehrere Kavitäten (4) bereitgestellt werden. 19. The method according to any one of claims 1 to 18, characterized in that a plurality of cavities ( 4 ) are provided by a plasma station ( 3 ). 20. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstationen von einem radringartigen Plasmarad (2) transportiert werden. 20. The method according to any one of claims 1 to 19, characterized in that the treatment stations are transported by a wheel ring-like plasma wheel ( 2 ). 21. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß als Plasmabehandlung eine Plasmabeschichtung durchgeführt wird. 21. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized characterized in that as a plasma treatment Plasma coating is carried out. 22. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmabehandlung unter Verwendung eines Niederdruckplasmas durchgeführt wird. 22. The method according to any one of claims 1 to 21, characterized characterized in using the plasma treatment a low pressure plasma is carried out. 23. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß eine Plasmapolymerisation durchgeführt wird. 23. The method according to any one of claims 1 to 22, characterized characterized in that a plasma polymerization was carried out becomes. 24. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß durch das Plasma mindestens zum Teil organische Substanzen abgeschieden werden. 24. The method according to any one of claims 1 to 23, characterized characterized in that at least in part by the plasma organic substances are separated. 25. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß durch das Plasma mindestens zum Teil anorganische Substanzen abgeschieden werden. 25. The method according to any one of claims 1 to 23, characterized characterized in that at least in part by the plasma inorganic substances are separated. 26. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß durch das Plasma mindestens eine Substanz zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des Werkstückes (5) abgeschieden wird. 26. The method according to any one of claims 1 to 25, characterized in that at least one substance is deposited by the plasma to improve the barrier properties of the workpiece ( 5 ). 27. Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich ein Haftvermittler zur Verbesserung eines Anhaftens der Substanz auf einer Oberfläche des Werkstückes (5) abgeschieden wird. 27. The method according to claim 26, characterized in that in addition an adhesion promoter for improving an adherence of the substance is deposited on a surface of the workpiece ( 5 ). 28. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß in einer gemeinsamen Kavität mindestens zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. 28. The method according to any one of claims 1 to 27, characterized in that at least two workpieces ( 5 ) are treated simultaneously in a common cavity. 29. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß als Plasmabehandlung eine Plasmasterilisation durchgeführt wird. 29. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized characterized in that as a plasma treatment Plasma sterilization is carried out. 30. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß als Plasmabehandlung eine Oberflächenaktivierung des Werkstückes (5) durchgeführt wird. 30. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized in that a surface activation of the workpiece ( 5 ) is carried out as a plasma treatment. 31. Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken, die mindestens eine Kammer zur Aufnahme mindestens eines Werkstückes aufweist und bei der die Kammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Behandlungsstation von einem Transportelement entlang eines umlaufenden Transportweges positionierbar angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß entlang des Transportweges mindestens eine Versorgungseinrichtung angeordnet ist, die mindestens ein Kupplungselement und mindestens einen Versorgungsanschluß für einen Betrieb der Behandlungsstation bei stillstehendem Transportelement aufweist und daß die Behandlungsstation mit mindestens einer Gegenkupplung zur Verbindung mit der Kupplung der Versorgungseinrichtung versehen ist. 31. Device for treating workpieces at least one chamber for receiving at least one Has workpiece and in which the chamber in the area a treatment station is arranged, and at which the Treatment station from a transport element along a circumferential transport path is arranged to be positionable, characterized in that along the transport route at least one supply device is arranged, the at least one coupling element and at least one Supply connection for an operation of the Treatment station with the transport element stationary has and that the treatment station with at least a mating coupling for connection to the coupling of the Supply facility is provided. 32. Vorrichtung nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation als eine Plasmastation (3) ausgebildet ist. 32. Apparatus according to claim 31, characterized in that the treatment station is designed as a plasma station ( 3 ). 33. Vorrichtung nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation als eine Blasstation ausgebildet ist. 33. Device according to claim 31, characterized in that that the treatment station is designed as a blowing station is. 34. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungseinrichtung zur Zuführung von elektrischer Energie ausgebildet ist. 34. Device according to one of claims 31 to 33, characterized characterized in that the supply device for Supply of electrical energy is formed. 35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungseinrichtung zur Zuführung von Unterdruck ausgebildet ist. 35. Device according to one of claims 31 to 33, characterized characterized in that the supply device for Supply of negative pressure is formed. 36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungseinrichtung zur Zuführung von Überdruck ausgebildet ist. 36. Device according to one of claims 31 to 33, characterized characterized in that the supply device for Supply of excess pressure is formed. 37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungseinrichtung zur Zuführung von Prozeßgas ausgebildet ist. 37. Device according to one of claims 31 to 33, characterized characterized in that the supply device for Supply of process gas is formed. 38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungseinrichtung zur Zuführung von mechanischer Antriebsenergie ausgebildet ist. 38. Device according to one of claims 31 to 33, characterized characterized in that the supply device for Supply of mechanical drive energy is formed. 39. Vorrichtung Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungseinrichtung zur pneumatischen Zuführung von mechanischer Antriebsenergie ausgebildet ist. 39. Apparatus according to claim 38, characterized in that the supply device for the pneumatic supply of mechanical drive energy is formed. 40. Vorrichtung nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungseinrichtung zur elektro-mechanischen Zuführung von mechanischer Antriebsenergie ausgebildet ist. 40. Device according to claim 38, characterized in that the supply device for electro-mechanical Supply of mechanical drive energy is formed. 41. Vorrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungseinrichtung mindestens einen Servoantrieb zur Bereitstellung von mechanischer Antriebsenergie aufweist. 41. Device according to claim 40, characterized in that the supply facility at least one Servo drive to provide mechanical Has drive energy. 42. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 41, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung der Versorgungseinrichtung mindestens eine Steuereinheit (54) vorgesehen ist, die eine Eingabeeinrichtung (55) zur wahlweisen Aktivierung mindestens eines Funktionsmoduls (57) für einen Produktionsbetrieb sowie mindestens eines Funktionsmoduls (57) für einen Laborbetrieb aufweist. 42. Device according to one of claims 31 to 41, characterized in that for controlling the supply device at least one control unit ( 54 ) is provided which has an input device ( 55 ) for selectively activating at least one function module ( 57 ) for a production operation and at least one function module ( 57 ) for a laboratory operation. 43. Vorrichtung nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit (54) mit mindestens einer Meßeinrichtung zur Überwachung der Behandlungsstation im Laborbetrieb versehen ist. 43. Apparatus according to claim 42, characterized in that the control unit ( 54 ) is provided with at least one measuring device for monitoring the treatment station in laboratory operation. 44. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 43, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines aus einem thermoplastischen Kunststoff bestehenden Werkstückes (5) ausgebildet ist. 44. Device according to one of claims 31 to 43, characterized in that the plasma station ( 3 ) is designed for coating a workpiece ( 5 ) consisting of a thermoplastic material. 45. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 44, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines behälterartigen Werkstückes (5) ausgebildet ist. 45. Device according to one of claims 31 to 44, characterized in that the plasma station ( 3 ) is designed for coating a container-like workpiece ( 5 ). 46. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 45, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines Innenraumes eines hohlkörperartigen Werkstückes (5) ausgebildet ist. 46. Device according to one of claims 31 to 45, characterized in that the plasma station ( 3 ) is designed for coating an interior of a hollow workpiece ( 5 ). 47. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 46, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines in Form einer Getränkeflasche gestalteten Werkstückes (5) ausgebildet ist. 47. Device according to one of claims 31 to 46, characterized in that the plasma station ( 3 ) is designed for coating a workpiece ( 5 ) designed in the form of a beverage bottle. 48. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 47, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Plasmastation (3) von einem rotierenden Plasmarad (2) getragen ist. 48. Device according to one of claims 31 to 47, characterized in that the at least one plasma station ( 3 ) is carried by a rotating plasma wheel ( 2 ). 49. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 48, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Plasmastation (3) mehrere Kavitäten (4) angeordnet sind. 49. Device according to one of claims 31 to 48, characterized in that a plurality of cavities ( 4 ) are arranged in the region of the plasma station ( 3 ). 50. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 49, dadurch gekennzeichnet, daß eine zur Bereitstellung von mindestens zwei Kavitäten (4) vorgesehene Kammerwandung (18) positionierbar angeordnet ist. 50. Device according to one of claims 31 to 49, characterized in that one for providing at least two cavities ( 4 ) provided chamber wall ( 18 ) is arranged positionable. 51. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 50, dadurch gekennzeichnet, daß das Plasmarad (2) als ein Radring ausgebildet ist. 51. Device according to one of claims 31 to 50, characterized in that the plasma wheel ( 2 ) is designed as a wheel ring. 52. Vorrichtung nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung mindestens einen Sensor aufweist. 52. Device according to claim 43, characterized in that the measuring device has at least one sensor. 53. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 52, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit (54) sowohl zur Steuerung mindestens einer Betriebsmittelzuführung im Bereich der Versorgungseinrichtung als auch zur Steuerung mindestens einer Betriebsmittelzuführung ausgebildet ist, die an mindestens zwei unterschiedlichen Positionierungen des Transportelementes mit der Behandlungsstation verbunden ist. 53. Device according to one of claims 31 to 52, characterized in that the control unit ( 54 ) is designed both for controlling at least one operating medium supply in the region of the supply device and for controlling at least one operating medium supply, which with at least two different positions of the transport element Treatment station is connected.
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