DE10300734A1 - Plasma treatment of workpieces involves positioning plasma chamber along closed path with carrying device that can be driven with rotary motion about essentially horizontal axis of rotation - Google Patents

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Abstract

The method involves placing the workpieces (5) in an at least partly evacuated plasma chamber of a treatment station (3) and positioning the plasma chamber along a closed path with a carrying device. The carrying device can be driven with a rotary motion about an essentially horizontal axis of rotation. A drum-shaped carrying device rotates around the horizontal axis. AN Independent claim is also included for the following: (a) an arrangement for plasma treatment of workpieces.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem die Werkstücke in mindestens eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt werden und bei dem die Plasmakammer von einer Trageinrichtung entlang eines geschlossenen Umlaufweges positioniert wird.The invention relates to a method for plasma treatment of workpieces, where the workpieces in at least one at least partially evacuable plasma chamber a treatment station and in which the plasma chamber of a carrying device positioned along a closed circulation path becomes.

Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, die von einer rotationsfähig gela gerten Trageinrichtung entlang eines geschlossenen Umlaufweges positionierbar ist.The invention also relates to a device for plasma treatment of workpieces, the at least one evacuable Has plasma chamber for receiving the workpieces and in which the Plasma chamber is arranged in the area of a treatment station, that of a rotatable gela gerten carrying device along a closed circulation route is positionable.

Derartige Verfahren und Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Kunststoffe mit Oberflächenbeschichtungen zu versehen. Insbesondere sind auch bereits derartige Verfahren und Vorrichtungen bekannt, um innere oder äußere Oberflächen von Behältern zu beschichten, die zur Verpackung von Flüssigkeiten vorgesehen sind. Darüber hinaus sind Einrichtungen zur Plasmasterilisation bekannt.Such methods and devices are used, for example, to make plastics with surface coatings to provide. In particular, such methods are already in place and devices known to cover inner or outer surfaces of containers coat that are intended for packaging liquids. Furthermore devices for plasma sterilization are known.

In der PCT-WO 95/22413 wird eine Plasmakammer zur Innenbeschichtung von Flaschen aus PET beschrieben. Die zu beschichtenden Flaschen werden durch einen beweglichen Böden in eine Plasmakammer hineingehoben und im Bereich einer Flaschenmündung mit einem Adapter in Verbindung gebracht. Durch den Adapter hindurch kann eine Evakuierung des Flascheninnenraumes erfolgen. Darüber hinaus wird durch den Adapter hindurch eine hohle Lanze in den Innenraum der Flaschen eingeführt, um Prozeßgas zuzuführen. Eine Zündung des Plasmas erfolgt unter Verwendung einer Mikrowelle.In PCT-WO 95/22413 a Plasma chamber for the internal coating of bottles made of PET described. The bottles to be coated are moved through a movable base Plasma chamber lifted in and in the area of a bottle mouth associated with an adapter. Through the adapter the bottle interior can be evacuated. Furthermore becomes a hollow lance through the adapter into the interior of bottles introduced process gas supply. An ignition of the plasma is done using a microwave.

Aus dieser Veröffentlichung ist es auch bereits bekannt, eine Mehrzahl von Plasmakammern auf einem horizontal rotierenden Rad anzuordnen. Hierdurch wird eine hohe Produktionsrate von Flaschen je Zeiteinheit unterstützt.It is already from this publication known, a plurality of plasma chambers on a horizontally rotating Arrange wheel. This will result in a high production rate of bottles supported per unit of time.

In der EP-OS 10 10 773 wird eine Zuführeinrichtung erläutert, um einen Flascheninnenraum zu evakuieren und mit Prozeßgas zu versorgen. In der PCT-WO 01/31680 wird eine Plasmakammer beschrieben, in die die Flaschen von einem beweglichen Deckel eingeführt werden, der zuvor mit einem Mündungsbereich der Flaschen verbunden wurde.In the EP-OS 10 10 773 a supply device is explained to evacuate a bottle interior and to supply it with process gas. PCT-WO 01/31680 describes a plasma chamber into which the bottles are introduced from a movable lid which was previously connected to a mouth area of the bottles.

Die PCT-WO 00/58631 zeigt ebenfalls bereits die Anordnung von Plasmastationen auf einem horizontal rotierenden Rad und beschreibt für eine derartige Anordnung eine gruppenweise Zuordnung von Unterdruckpumpen und Plasmastationen, um eine günstige Evakuierung der Kammern sowie der Innenräume der Flaschen zu unterstützen. Darüber hinaus wird die Beschichtung von mehreren Behältern in einer gemeinsamen Plasmastation bzw. einer gemeinsamen Kavität erwähnt.PCT-WO 00/58631 also shows already arranging plasma stations on a horizontally rotating one Wheel and describes for such an arrangement a group assignment of vacuum pumps and plasma stations to get a cheap one To assist evacuation of the chambers as well as the interior of the bottles. Furthermore is the coating of several containers in a common Plasma station or a common cavity mentioned.

Eine weitere Anordnung zur Durchführung einer Innenbeschichtung von Flaschen wird in der PCT-WO 99/17334 beschrieben. Es wird hier insbesondere eine Anordnung eines Mikrowellengenerators oberhalb der Plasmakammer sowie eine Vakuum- und Betriebsmittelzuleitung durch einen Boden der Plasmakammer hindurch beschrieben.Another arrangement for performing a Internal coating of bottles is described in PCT-WO 99/17334. In particular, there is an arrangement of a microwave generator above the plasma chamber as well as a vacuum and equipment supply line described through a bottom of the plasma chamber.

Bei der überwiegenden Anzahl der bekannten Verfahren werden zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des thermoplastischen Kunststoffmaterials durch das Plasma erzeugte Behälterschichten aus Siliziumoxiden mit der allgemeinen chemischen Formel SiOx verwendet. Zusätzlich können in den hierdurch erzeugten Barriereschichten auch Anteile von Kohlenstoff, Wasserstoff und Stickstoff enthalten sein. Derartige Barriereschichten verhindern ein Eindringen von Sauerstoff in die verpackten Flüssigkeiten sowie ein Austreten von Kohlendioxid bei CO2-haltigen Flüssigkeiten.In the vast majority of the known methods, container layers made of silicon oxides with the general chemical formula SiO x are used to improve the barrier properties of the thermoplastic plastic material. In addition, portions of carbon, hydrogen and nitrogen can also be contained in the barrier layers produced in this way. Barrier layers of this type prevent oxygen from entering the packaged liquids and escape of carbon dioxide in the case of liquids containing CO 2 .

Die Verwendung von um eine vertikale Drehachse horizontal rotierenden Trageinrichtungen für die Plasmastationen führt zu einem relativ hohen Grundaufbau der Gesamtanlagen, da in das Innere des Plasmarades hinein diverse Zuführungen für Betriebsmittel verlegt werden müssen. Dies sind insbesondere Zuführungen für die elektrische Energieversorgung, die Zufuhr von Vakuum und gegebenenfalls Druckluft sowie die Zuführung von Prozeßgasen bei der Durchführung einer Plasmabeschichtung. Diese Betriebsmittel werden mit Hilfe von Verteilern den einzelnen Behandlungsstationen zugeführt.The use of a vertical Rotation axis of horizontally rotating support devices for the plasma stations leads to a relatively high basic structure of the overall facilities, as in the interior of the Plasma feeds into various feeders for resources must be relocated. These are in particular feeds for the electrical energy supply, the supply of vacuum and possibly compressed air as well as the feeder of process gases during execution a plasma coating. These resources are using from distributors to the individual treatment stations.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren der einleitend genannten Art derart anzugeben, daß eine Betriebsmittelzuführung mit kurzen Versorgungsleitungen bei gleichzeitig kompaktem Gesamtaufbau unterstützt wird.Object of the present invention is to specify a procedure of the type mentioned in the introduction in such a way that a Equipment supply with short supply lines with a compact overall structure supports becomes.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Trageinrichtung um eine im Wesentlichen horizontal verlaufende Drehachse herum mit einer Rotationsbewegung angetrieben wird.This object is achieved according to the invention solved, that the Carrying device about a substantially horizontal axis of rotation is driven around with a rotational movement.

weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu konstruieren, daß bei kompaktem Aufbau eine hohe Produktionsleistung sowie eine gute Produktqualität unterstützt wird.further task of the present The invention is such a device of the type mentioned in the introduction to construct that at compact structure, high production output and good product quality are supported.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Trageinrichtung eine im wesentlichen horizontal verlaufende Drehachse aufweist.This object is achieved according to the invention solved, that the Carrier a substantially horizontal axis of rotation having.

Durch die Anordnung der Drehachse der Trageinrichtung mit einer im wesentlichen horizontal verlaufenden Orientierung und aufgrund der Durchführung einer Rotationsbewegung der Trageinrichtung um diese horizontal verlaufende Drehachse herum ist es möglich, ein Zentrum der Trageinrichtung in horizontaler Richtung und im wesentlichen parallel zur Drehachse zu erreichen. Es ist somit nicht erforderlich, die Versorgungsleitungen aus einer vertikalen Richtung von oben oder unten in das Zentrum der Trageinrichtung verlaufen zu lassen. Die Trageinrichtung kann hierdurch mit einem geringen Abstand zu einem ebenerdigen Grundgestell angeord net werden und es ist nicht erforderlich, oberhalb der Trageinrichtung Verteiler oder Zuführungseinrichtungen zu installieren. Es werden somit ein niedriger Schwerpunkt der Gesamteinrichtung und eine geringe Bauhöhe unterstützt.By arranging the axis of rotation of the support device with an essentially horizontal orientation and by carrying out a rotational movement of the support device around this horizontally extending axis of rotation, it is possible to reach a center of the support device in the horizontal direction and substantially parallel to the axis of rotation. It is therefore not necessary The supply lines run from a vertical direction from above or below into the center of the support device. As a result, the carrying device can be arranged at a short distance from a ground-level base frame and it is not necessary to install distributors or feeders above the carrying device. A low center of gravity of the overall facility and a low overall height are thus supported.

Eine optimale Betriebsmittelzuführung wird dadurch unterstützt, daß eine trommelartige Trageinrichtung um die horizontal verlaufende Drehachse rotiert.This ensures an optimal supply of equipment support that a drum-like support device around the horizontal axis of rotation rotates.

Einfach durchzuführende Übergabevorgänge der Werkstücke werden dadurch unterstützt, daß die Behandlungsstationen mit ihren Längsachsen in horizontaler Richtung orientiert gemeinsam mit der Trageinrichtung rotieren.The workpieces are easy to carry out supported by that the Treatment stations with their longitudinal axes oriented in the horizontal direction together with the carrying device rotate.

Zu einer hohen Stabilität trägt es bei, daß die Trageinrichtung zweiseitig gelagert wird.It contributes to high stability, that the carrying device is stored on both sides.

Eine Zufuhr elektrischer Betriebsmittel wird dadurch unterstützt, daß gemeinsam mit der Trageinrichtung ein Teil einer elektrischen Drehkupplung rotiert.A supply of electrical equipment is supported by that together with the support part of an electrical rotary coupling rotates.

Eine zuverlässige Energieübertragung kann dadurch erreicht werden, daß die elektrische Drehkupplung elektrische Energie unter Verwendung von Schleifringen überträgt.Reliable energy transfer can be achieved in that the electrical rotary coupling transfers electrical energy using slip rings.

Eine Unterdruckzuführung wird dadurch unterstützt, daß gemeinsam mit der Trageinrichtung mindestens eine Drehkupplung für eine Vakuumversorgung rotiert.A vacuum supply will supported by that together with the support device at least one rotary coupling for a vacuum supply rotates.

Eine Verteilung des Unterdruckes auf eine Mehrzahl von Behandlungsstationen kann dadurch erreicht werden, daß die Drehkupplung für die Vakuumzuführung Unterdruck auf mindestens zwei unterschiedliche Behandlungsstationen verteilt.A distribution of the negative pressure can be reached on a plurality of treatment stations be that the Swivel coupling for the vacuum feed Negative pressure on at least two different treatment stations distributed.

Eine weitere Betriebsmittelzuführung wird dadurch bereitgestellt, daß gemeinsam mit der Trageinrichtung eine Prozeßgaskupplung für die Zufuhr von Prozeßgas rotiert.This will result in a further supply of resources provided that together with the support device a process gas coupling for the supply of process gas rotates.

Auch im Hinblick auf die Verteilung des Prozeßgases auf unterschiedliche Behandlungsstationen erweist es sich als vorteilhaft, daß die Prozeßgaskupplung das Prozeßgas mindestens zwei unterschiedlichen Behandlungsstationen zuführt.Also with regard to the distribution of the process gas at different treatment stations, it proves to be advantageous that the Process gas coupling the process gas supplies at least two different treatment stations.

Eine optimale Ausnutzung des zur Verfügung stehenden Bauraumes kann dadurch erfolgen, daß die elektrische Drehkupplung und die Drehkupplung zur Unterdruckzuführung auf einander gegenüberliegenden Seiten der Trageinrichtung gemeinsam mit der Trageinrichtung rotieren.Optimal use of the disposal standing space can be done in that the electrical rotary coupling and the rotary coupling for supplying vacuum to one another Rotate the sides of the carrying device together with the carrying device.

Eine funktionelle Strukturierung der Behandlungseinrichtung wird dadurch unterstützt, daß die Prozeßgaskupplung und die Drehkupplung für die Unterdruckzuführung einander benachbart gemeinsam mit der Trageinrichtung rotieren.A functional structuring the treatment device is supported in that the process gas coupling and the rotary coupling for the vacuum supply to each other rotate adjacent together with the carrying device.

Ein typisches Anwendungsgebiet wird dadurch definiert, daß die Behandlungsstation zur Plasmabeschichtung von Werkstükken ausgebildet ist.A typical application area is defined by the fact that Treatment station designed for plasma coating of workpieces is.

Insbesondere ist daran gedacht, daß die Behandlungsstation zur Innenbeschichtung von flaschenförmigen Werkstücken ausgebildet ist.In particular, it is thought that the treatment station designed for internal coating of bottle-shaped workpieces is.

Ein Anwendungsgebiet mit besonders hohen Stückzahlen kann dadurch erschlossen werden, daß die Behandlungsstation zur Plasmabeschichtung eines thermoplastischen Kunststoffes ausgebildet ist.An area of application with special high quantities can be opened up in that the treatment station for Plasma coating of a thermoplastic formed is.

In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen:Exemplary embodiments are shown in the drawings the invention is shown schematically. Show it:

1 Eine Prinzipskizze einer Plasmakammer, die auf einem rotierenden Plasmarad angeordnet ist und bei der das Plasmarad mit einer horizontal verlaufenden Drehachse versehen ist, 1 A schematic diagram of a plasma chamber, which is arranged on a rotating plasma wheel and in which the plasma wheel is provided with a horizontal axis of rotation,

2 eine Draufsicht gemäß Blickrichtung II in 1, 2 a plan view according to viewing direction II in 1 .

3 eine perspektivische Darstellung eines Plasmarades mit einer Vielzahl von Plasmakammern, 3 1 shows a perspective illustration of a plasma wheel with a multiplicity of plasma chambers,

4 eine perspektivische Darstellung einer Plasmastation mit einer Kavität, 4 a perspective view of a plasma station with a cavity,

5 eine Vorderansicht der Vorrichtung gemäß 4 mit geschlossener Plasmakammer, 5 a front view of the device according to 4 with closed plasma chamber,

6 einen Querschnitt gemäß Schnittlinie VI-VI in 5, 6 a cross section along section line VI-VI in 5 .

7 eine Darstellung entsprechend 5 mit geöffneter Plasmakammer, 7 a representation accordingly 5 with open plasma chamber,

8 einen Vertikalschnitt gemäß Schnittlinie VIII-VIII in 7 und 8th a vertical section along section line VIII-VIII in 7 and

9 eine vergrößerte Darstellung der Plasmakammer mit zu beschichtender Flasche gemäß 6. 9 an enlarged view of the plasma chamber with the bottle to be coated according to 6 ,

Aus der Darstellung in 1 ist ein Plasmamodul (1) zu erkennen, das mit einem rotierenden Plasmarad (2) versehen ist. Entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) sind eine Mehrzahl von Plasmastationen (3) angeordnet, dargestellt ist zur Vereinfachung lediglich eine Plasmastation (3). Die Plasmastationen (3) sind mit Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) zur Aufnahme von zu behandelnden Werkstücken (5) versehen. Zur Erläuterung des konstruktiven Grundprinzips ist in 1 jeweils nur ein Werkstück (5) je Plasmastation (3) dargestellt. Auch die Zuführungen und Ableitungen der Werkstücke zeigen lediglich schematisch die Handhabung von einzelnen Werkstücken (5). Es können jedoch in jeder Plasmastation (3) auch zwei oder mehr Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden.From the representation in 1 is a plasma module ( 1 ) to recognize that with a rotating plasma wheel ( 2 ) is provided. Along a circumference of the plasma wheel ( 2 ) are a plurality of plasma stations ( 3 ), only one plasma station is shown for simplicity ( 3 ). The plasma stations ( 3 ) are with cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 17 ) for holding workpieces to be treated ( 5 ) Mistake. To explain the basic construction principle is in 1 only one workpiece at a time ( 5 ) per plasma station ( 3 ). The feeds and discharges of the workpieces also only show schematically the handling of individual workpieces ( 5 ). However, in each plasma station ( 3 ) also two or more workpieces ( 5 ) are treated at the same time.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) werden gemäß der vorgenommenen Vereinfachung der Darstellung dem Plasmamodul (1) im Bereich einer Eingabe (6) zugeführt. Die Eingabe (6) ist an eine Eingabestrecke (7) angeschlossen. Die Eingabe (6) übergibt die zu behandelnden Werkstücke (5) an das Plasmarad (2). Nach einer Durchführung der Behandlung werden die behandelten Werkstücke (5) von einer Ausgabe (12) aus dem Bereich des Plasmarades (2) entfernt und in den Bereich einer Ausgabestrecke (13) überführt.The workpieces to be treated ( 5 ) according to the simplification of the representation made to the plasma module ( 1 ) in the area of an entry ( 6 ) fed. The input ( 6 ) is at an input distance ( 7 ) connected. The input ( 6 ) hands over the workpieces to be treated ( 5 ) to the plasma wheel ( 2 ). After the treatment has been carried out, the treated workpieces ( 5 ) from an edition ( 12 ) from the area of the plasma wheel ( 2 ) removed and in the area of an output stretch ( 13 ) transferred.

1 veranschaulicht darüber hinaus, daß eine das Plasmarad (2) tragende Radwelle (41) bzw. separate Wellensegmente von Drehlagern (42, 43) geführt sind, die von Stützen (44, 45) relativ zum Maschinensockel (15) fixiert und getragen sind. Gemeinsam mit der Radwelle (41) rotieren eine elektrische Drehkupplung für die Energieversorgung des Plasmarades (2) sowie eine elektrische Drehkupplung (47) zur Bereitstellung einer Verbindung für die elektrischen Steuersignale. Die Drehkupplungen (46, 47) weisen jeweils nicht rotierende Außenringe auf. Ein Außenring der Drehkuppel (46) ist über eine Verbindungsleitung (48) mit einer Energieversorgung (49) gekoppelt, der Außenring der Dreh kupplung (47) ist über eine Verbindungsleitung (50) an eine Maschinensteuerung (51) angeschlossen. 1 also illustrates that a plasma wheel ( 2 ) carrying wheel shaft ( 41 ) or separate shaft segments of pivot bearings ( 42 . 43 ) are guided by supports ( 44 . 45 ) relative to the machine base ( 15 ) are fixed and worn. Together with the wheel shaft ( 41 ) rotate an electrical rotary coupling for the energy supply of the plasma wheel ( 2 ) and an electrical rotary coupling ( 47 ) to provide a connection for the electrical control signals. The rotary couplings ( 46 . 47 ) each have non-rotating outer rings. An outer ring of the rotating dome ( 46 ) is via a connecting line ( 48 ) with an energy supply ( 49 ) coupled, the outer ring of the rotary coupling ( 47 ) is via a connecting line ( 50 ) to a machine control ( 51 ) connected.

Ein Antrieb des Plasmarades (2) kann über einen Motor (52) erfolgen, der beispielsweise über einen Kupplungsriemen (53) mit dem Plasmarad (2) verbunden ist.A drive of the plasma wheel ( 2 ) can be via a motor ( 52 ), for example via a clutch belt ( 53 ) with the plasma wheel ( 2 ) connected is.

Im Bereich des Maschinensockels (15) ist mindestens eine Vakuumpumpe (54) angeordnet, die über mindestens eine Unterdruckleitung (55) mit einer Drehkupplung (56) verbunden ist. Auch bei der Drehkupplung (56) rotiert ein innerer Kupplungsteil gemeinsam mit dem Plasmarad (2) und ein äußerer Ring ist feststehend und mit der Unterdruckleitung (55) verbunden. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt im Bereich der Drehkupplung (56) über eine zugeordnete Kupplungseinrichtung auch die Zufuhr von Prozeßgas. Dargestellt ist eine Ausführungsform für eine zweikanalige Zuführung von Prozeßgas. Statt der dargestellten einzelnen Vakuumpumpe (54) ist insbesondere daran gedacht, mehrere Vakuumpumpen (54) sowohl relativ zueinander parallel als auch hintereinander geschaltet als Pumpengruppen zu betreiben. Eine Anordnung der Vakuumpumpen (54) hintereinander unterstützt eine stufenweise damit effektive Erzeugung eines Unterdruckes. Die Zufuhr des Prozeßgases erfolgt über Prozeßgasleitungen (58), die an eine Prozeßgaskupplung (57) angeschlossen sind.In the area of the machine base ( 15 ) is at least one vacuum pump ( 54 ) arranged via at least one vacuum line ( 55 ) with a rotary coupling ( 56 ) connected is. Even with the rotary coupling ( 56 ) an inner coupling part rotates together with the plasma wheel ( 2 ) and an outer ring is fixed and connected to the vacuum line ( 55 ) connected. In the illustrated embodiment, in the area of the rotary coupling ( 56 ) also the supply of process gas via an associated coupling device. An embodiment for a two-channel supply of process gas is shown. Instead of the single vacuum pump shown ( 54 ) is especially designed to use several vacuum pumps ( 54 ) to be operated both in parallel and in series as pump groups. An arrangement of the vacuum pumps ( 54 ) one after the other supports a stepwise effective generation of a negative pressure. The process gas is supplied via process gas lines ( 58 ) connected to a process gas coupling ( 57 ) are connected.

2 veranschaulicht in einer Draufsicht nochmals den Aufbau des Plasmamoduls (1). Der Aufbau der Eingabe (6) und der Ausgabe (12) sind in einer etwas detaillierteren Darstellung zu erkennen. In vertikaler Richtung liegt die Eingabe (6) tiefer als die Ausgabe (12). Dies unterstützt die Handhabungsvorgänge, da bei einer Zuführung und Ableitung der Werkstücke (5) mit Mündungen in lotrechter Richtung nach oben jeweils nur eine viertel Drehung der Werkstücke (5) für den Eingabevorgang sowie den Entnahmevorgang durchgeführt werden muß. Zur Durchführung von Bedienungsvorgängen ist eine Bedieneinheit (59) installiert. 2 once again illustrates the structure of the plasma module in a top view ( 1 ). The structure of the input ( 6 ) and the output ( 12 ) can be seen in a somewhat more detailed representation. The input is in the vertical direction ( 6 ) lower than the output ( 12 ). This supports the handling processes, since when the workpieces are fed in and out ( 5 ) with mouths in the vertical direction upwards only a quarter turn of the workpieces ( 5 ) must be carried out for the input process and the removal process. An operating unit ( 59 ) Installed.

Beim dargestellten Ausführungsbeispiel werden fünf Vakuumpumpen (54) eingesetzt. Die Anzahl der Vakuumpumpen (54), eine jeweilige Gruppenbildung, sowie eine Kaskadierung kann aber anwendungsabhängig festgelegt werden.In the illustrated embodiment, five vacuum pumps ( 54 ) used. The number of vacuum pumps ( 54 ), a respective group formation and a cascading can be determined depending on the application.

3 zeigt eine perspektivische Darstellung eines Plasmamoduls (1) mit teilweise aufgebautem Plasmarad (2). Auch hier ist zur Vereinfachung wieder nur ein Werkstück (5) je Plasmastation (3) abgebildet. Die Plasmastationen (3) sind von einem Koppelring (14) miteinander verbunden, der gegenüber einem Maschinensockel (15) gelagert ist. Die Plasmastationen (3) weisen jeweils einen Stationsrahmen (16) auf, der Plasmakammern (17) haltert. Die Plasmakammern (17) weisen zylinderförmige Kammerwandungen (18) sowie Mikrowellengeneratoren (19) auf. 3 shows a perspective view of a plasma module ( 1 ) with partially assembled plasma wheel ( 2 ). Again, for simplification, there is only one workpiece ( 5 ) per plasma station ( 3 ) mapped. The plasma stations ( 3 ) are from a coupling ring ( 14 ) connected to one another opposite a machine base ( 15 ) is stored. The plasma stations ( 3 ) each have a station frame ( 16 ) on the plasma chambers ( 17 ) holds. The plasma chambers ( 17 ) have cylindrical chamber walls ( 18 ) and microwave generators ( 19 ) on.

In einem Zentrum des Plasmarades (2) ist ein Drehverteiler (20) angeordnet, über den die Plasmastationen (3) mit Betriebsmitteln sowie Energie versorgt werden. Zur Betriebsmittelverteilung können insbesondere Ringleitungen (21) eingesetzt werden.In a center of the plasma wheel ( 2 ) is a rotary distributor ( 20 ) over which the plasma stations ( 3 ) are supplied with resources and energy. In particular, ring lines ( 21 ) are used.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) sind horizontal neben der zylinderförmigen Kammerwandungen (18) dargestellt. Sokkelteile der Plasmakammern (17) sind zur Vereinfachung jeweils nicht eingezeichnet.The workpieces to be treated ( 5 ) are horizontal next to the cylindrical chamber walls ( 18 ). Sokkelteile of the plasma chambers ( 17 ) are not shown for simplification.

4 zeigt eine Plasmastation (3) in perspektivischer Darstellung. Auch hier ist zur Vereinfachung wieder nur ein Werkstück (5) je Plasmastation (3) abgebildet. Es ist zu erkennen, daß der Stationsrahmen (16) mit Führungsstangen (23) versehen ist, auf denen ein Schlitten (24) zur Halterung der zylinderförmigen Kammerwandung (18) geführt ist. 4 zeigt den Schlitten (24) mit Kammerwandung (18) in einem verschobenen Zustand, so daß das Werkstück (5) freigegeben ist. 4 shows a plasma station ( 3 ) in perspective. Again, for simplification, there is only one workpiece ( 5 ) per plasma station ( 3 ) mapped. It can be seen that the station frame ( 16 ) with guide rods ( 23 ) is provided on which a carriage ( 24 ) for holding the cylindrical chamber wall ( 18 ) is performed. 4 shows the sledge ( 24 ) with chamber wall ( 18 ) in a shifted state so that the workpiece ( 5 ) is released.

Im bezüglich der Zeichnungsebene oberen Bereich der Plasmastation (3) ist der Mikrowellengenerator (19) angeordnet. Der Mikrowellengenerator (19) ist über eine Umlenkung (25) und einen Adapter (26) an einen Kupplungskanal (27) angeschlossen, der in die Plasmakammer (17) einmündet. Grundsätzlich kann der Mikrowellengenerator (19) sowohl unmittelbar im Bereich des Kammerdeckels (31) als auch über ein Distanzelement an den Kammerdeckel (31) angekoppelt mit einer vorgebbaren Entfernung zum Kammerdeckel (31) und somit in einem größeren Umgebungsbereich des Kammerdeckels (31) angeordnet werden. Der Adapter (26) hat die Funktion eines Übergangselementes und der Kupplungskanal (27) ist als ein Koaxialleiter ausgebildet. Im Bereich einer Einmündung des Kupplungskanals (27) in den Kammerdeckel (31) ist ein Quarzglasfenster angeordnet. Die Umlenkung (25) ist als ein Hohlleiter ausgebildet.In the upper area of the plasma station with respect to the drawing level ( 3 ) is the microwave generator ( 19 ) arranged. The microwave generator ( 19 ) is about a redirection ( 25 ) and an adapter ( 26 ) to a coupling channel ( 27 ) connected to the plasma chamber ( 17 ) flows into. Basically, the microwave generator ( 19 ) both directly in the area of the chamber cover ( 31 ) as well as a spacer on the chamber cover ( 31 ) coupled with a predeterminable distance to the chamber lid ( 31 ) and thus in a larger area around the chamber cover ( 31 ) to be ordered. The adapter ( 26 ) has the function of a transition element and the coupling channel ( 27 ) is designed as a coaxial conductor. In the area of a junction of the coupling channel ( 27 ) in the chamber lid ( 31 ) a quartz glass window is arranged. The redirection ( 25 ) is designed as a waveguide.

Das Werkstück (5) wird im Bereich eines Dichtelementes (28) positioniert, das im Bereich eines Kammerbodens (29) angeordnet ist. Der Kammerboden (29) ist als Teil eines Kammersockels (30) ausgebildet. Zur Erleichterung einer Justage ist es möglich, den Kammersockel (30) im Bereich der Führungsstangen (23) zu fixieren. Eine andere Variante besteht darin, den Kammersockel (30) direkt am Stationsrahmen (16) zu befestigen. Bei einer derartigen Anordnung ist es bei spielsweise auch möglich, die Führungsstangen (23) in vertikaler Richtung zweiteilig auszuführen.The workpiece ( 5 ) is in the area of a sealing element ( 28 ) positioned in the area of a chamber floor ( 29 ) is arranged. The chamber floor ( 29 ) is part of a chamber base ( 30 ) educated. To make adjustment easier, the chamber base ( 30 ) in the area of the guide rods ( 23 ) to fix. Another variant is to mount the chamber base ( 30 ) directly on the station frame ( 16 ) to fix. With such a For example, it is also possible to arrange the guide rods ( 23 ) in two parts in the vertical direction.

5 zeigt eine vereinfachte Vorderansicht der Plasmastation (3) gemäß 3 in einem geschlossenen Zustand der Plasmakammer (17). Auch hier ist zur Vereinfachung wieder nur ein Werkstück (5) abgebildet. Der Schlitten (24) mit der zylinderförmigen Kammerwandung (18) ist hierbei gegenüber der Positionierung in 4 verschoben, so daß die Kammerwandung (18) gegen den Kammerboden (29) gefahren ist. In diesem Positionierzustand kann die Plasmabeschichtung durchgeführt werden. 5 shows a simplified front view of the plasma station ( 3 ) according to 3 in a closed state of the plasma chamber ( 17 ). Again, for simplification, there is only one workpiece ( 5 ) mapped. The sled ( 24 ) with the cylindrical chamber wall ( 18 ) is compared to the positioning in 4 moved so that the chamber wall ( 18 ) against the chamber floor ( 29 ) drove. The plasma coating can be carried out in this positioning state.

6 zeigt in einer Querschnittdarstellung die Anordnung gemäß 5. Es ist insbesondere zu erkennen, daß der Kupplungskanal (27) in einen Kammerdeckel (31) einmündet, der einen seitlich überstehenden Flansch (32) aufweist. Im Bereich des Flansches (32) ist eine Dichtung (33) angeordnet, die von einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) beaufschlagt wird. In einem abgesenkten Zustand der Kammerwandung (18) erfolgt hierdurch eine Abdichtung der Kammerwandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31). Eine weitere Dichtung (35) ist in einem unteren Bereich der Kammerwandung (18) angeordnet, um auch hier eine Abdichtung relativ zum Kammerboden (29) zu gewährleisten. 6 shows in a cross-sectional view the arrangement according to 5 , It can be seen in particular that the coupling channel ( 27 ) in a chamber cover ( 31 ) opens out, which has a laterally projecting flange ( 32 ) having. In the area of the flange ( 32 ) is a seal ( 33 ) arranged by an inner flange ( 34 ) the chamber wall ( 18 ) is applied. In a lowered state of the chamber wall ( 18 ) seals the chamber wall ( 18 ) relative to the chamber cover ( 31 ). Another seal ( 35 ) is in a lower area of the chamber wall ( 18 ) arranged to seal relative to the chamber floor ( 29 ) to ensure.

In der in 6 dargestellten Positionierung umschließt die Kammerwandung (18) die Kavität (4), so daß sowohl ein Innenraum der Kavität (4) als auch Innenräume der Werkstükke (5) evakuiert werden können. Zur Unterstützung einer Zuleitung von Prozeßgas sind im Bereich des Kammersockels (30) hohle Lanzen (36) angeordnet, die in den Innenraum der Werkstücke (5) hineinverfahrbar sind. Zur Durchführung einer Positionierung der Lanzen (36) werden diese von einem Lanzenschlitten (37) gehaltert, der entlang der Führungsstangen (23) positionierbar ist. Innerhalb des Lanzenschlittens (37) verläuft ein Prozeßgaskanal (38), der in der in 6 dargestellten angehobenen Positionierung mit einem Gasanschluß (39) des Kammersockels (30) gekoppelt ist. Durch diese Anordnung werden schlauchartige Verbindungselemente am Lanzenschlitten (37) vermieden.In the in 6 the positioning shown encloses the chamber wall ( 18 ) the cavity ( 4 ), so that both an interior of the cavity ( 4 ) as well as interiors of the workpieces ( 5 ) can be evacuated. To support a supply of process gas in the area of the chamber base ( 30 ) hollow lances ( 36 ) arranged in the interior of the workpieces ( 5 ) can be moved into it. To position the lances ( 36 ) they are lifted by a lance 37 ) held along the guide rods ( 23 ) can be positioned. Within the lance slide ( 37 ) runs a process gas channel ( 38 ) who in the in 6 shown raised positioning with a gas connection ( 39 ) of the chamber base ( 30 ) is coupled. With this arrangement, hose-like connecting elements on the lance carriage ( 37 ) avoided.

7 und 8 zeigen die Anordnung gemäß 5 und 6 in einem verschobenen Zustand der Kammerwandung (18). In diesem Positionierungszustand der Kammerwandung (18) ist es problemlos möglich, die behandelten Werkstücke (5) aus dem Bereich der Plasmastation (3) zu entfernen neue zu behandelnde Werkstücke (5) einzusetzen. Alternativ zu der in den Zeichnungen dargestellten Positionierung der Kammerwandung (18) in einem durch Verschiebung erreichten geöffneten Zustand der Plasmakammer (17) ist es auch möglich, den Öffnungsvorgang durch eine Verschiebung einer konstruktiv modifizierten hülsenförmigen Kammerwandung in eine entgegengesetzte Richtung durchzuführen. 7 and 8th show the arrangement according to 5 and 6 in a displaced state of the chamber wall ( 18 ). In this position of the chamber wall ( 18 ) it is easily possible to process the treated workpieces ( 5 ) from the area of the plasma station ( 3 ) remove new workpieces to be treated ( 5 ) to use. As an alternative to the positioning of the chamber wall shown in the drawings ( 18 ) in an opened state of the plasma chamber achieved by displacement ( 17 ) it is also possible to carry out the opening process by moving a structurally modified sleeve-shaped chamber wall in an opposite direction.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt der Kupplungskanal (27) eine zylinderförmige Gestaltung und ist im wesentlichen koaxial zur Kammerwandung (18) angeordnet.In the illustrated embodiment, the coupling channel ( 27 ) a cylindrical design and is essentially coaxial to the chamber wall ( 18 ) arranged.

9 zeigt den Vertikalschnitt gemäß 6 in einer vergrößerten teilweisen Darstellung in einer Umgebung der Kammerwandung (18). Zu erkennen ist insbesondere das Übergreifen des Innenflansches (34) der Kammerwandung (18) über den Flansch (32) des Kammerdeckels (31) und die Halterung der Werkstücke (5) durch die Dichtelemente (28). Darüber hinaus ist zu erkennen, daß die Lanze (36) durch eine Ausnehmung (40) des Dichtelementes (28) hindurchgeführt ist. 9 shows the vertical section according to 6 in an enlarged partial representation in an environment of the chamber wall ( 18 ). In particular, the overlap of the inner flange ( 34 ) the chamber wall ( 18 ) over the flange ( 32 ) of the chamber cover ( 31 ) and the holder of the workpieces ( 5 ) through the sealing elements ( 28 ). It can also be seen that the lance ( 36 ) through a recess ( 40 ) of the sealing element ( 28 ) is passed through.

Ein typischer Behandlungsvorgang wird im folgenden am Beispiel eines Beschichtungsvorganges erläutert und derart durchgeführt, daß zunächst die Werkstücke (5) unter Verwendung der Eingabe (6) zum Plasmarad (2) transportiert werden und daß in einem verschobenen Zustand der hülsenartigen Kammerwandung (18) das Einsetzen der Werkstücke (5) in die Plasmastation (3) erfolgt. Nach einem Abschluß des Einsetzvorganges wird die Kammerwandung (18) in ihre abgedichtete Positionierung verfahren und zunächst gleichzeitig eine Evakuierung sowohl der Kavität (4) als auch von Innenräumen der Werkstücke (5) durchgeführt.A typical treatment process is explained below using the example of a coating process and carried out in such a way that the workpieces ( 5 ) using the input ( 6 ) to the plasma wheel ( 2 ) are transported and that in a displaced state of the sleeve-like chamber wall ( 18 ) inserting the workpieces ( 5 ) in the plasma station ( 3 ) he follows. After completing the insertion process, the chamber wall ( 18 ) move into their sealed position and at the same time evacuate both the cavity ( 4 ) as well as the interior of the workpieces ( 5 ) carried out.

Nach einer ausreichenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität (4) werden die Lanzen (36) in die Innenräume der Werkstücke (5) eingefahren und durch eine Verschiebung der Dichtelemente (28) eine Abschottung der Innenräume der Werkstücke (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) durchgeführt. Ebenfalls ist es möglich, die Lanzen (36) bereits synchron zur beginnenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität in die Werkstücke (5) hinein zu verfahren. Der Druck im Innenraum der Werkstücke (5) wird anschließend noch weiter abgesenkt. Darüber hinaus ist auch daran gedacht, die Positionierbewegung der Lanzen (36) wenigstens teilweise bereits parallel zur Positionierung der Kammerwandung (18) durchzuführen. Nach Erreichen eines ausreichend tiefen Unterdruckes wird Prozeßgas in die Innenräume der Werkstücke (5) eingeleitet und mit Hilfe des Mikrowellengenerators (19) das Plasma gezündet. Insbesondere ist daran gedacht, mit Hilfe des Plasmas sowohl einen Haftvermittler als auch die eigentliche Barriereschicht aus Siliziumoxiden auf den inneren Oberflächen der Werkstücke (5) abzuscheiden.After sufficient evacuation of the interior of the cavity ( 4 ) the lances ( 36 ) into the interior of the workpieces ( 5 ) retracted and by moving the sealing elements ( 28 ) partitioning the interior of the workpieces ( 5 ) towards the interior of the cavity ( 4 ) carried out. It is also possible to 36 ) already in sync with the beginning of the evacuation of the interior of the cavity into the workpieces ( 5 ) to move in. The pressure inside the workpieces ( 5 ) is then lowered further. In addition, the positioning movement of the lances ( 36 ) at least partially parallel to the positioning of the chamber wall ( 18 ) to carry out. After reaching a sufficiently low vacuum, process gas is injected into the interior of the workpieces ( 5 ) initiated and with the help of the microwave generator ( 19 ) ignited the plasma. In particular, it is intended to use the plasma to use both an adhesion promoter and the actual barrier layer made of silicon oxides on the inner surfaces of the workpieces ( 5 ) to separate.

Die Aufbringung des Haftvermittlers kann beispielsweise in einem zweistufigen Verfahren als erste Stufe vor der Aufbringung der Barriereschicht in der zweiten Stufe erfolgen, es ist aber auch denkbar, in einem kontinuierlichen Verfahren wenigstens einen dem Werkstück (5) zugewandten Teil der Barriereschicht als Gradientenschicht auch bereits zeitgleich zum Aufbringen mindestens eines Teiles des Haftvermittlers zu erzeugen. Eine derartige Gradientenschicht kann in einfacher weise während der Dauer eines bereits gezündeten Plasmas durch Veränderung der Zusammensetzung des Prozeßgases erzeugt werden. Eine derartige Änderung der Zusammensetzung des Prozeßgases kann abrupt durch Änderung von Ventilsteuerungen oder kontinuierlich durch Veränderung des Mischungsverhältnisses von Bestandteilen des Prozeßgases erreicht werden. Ein typischer Aufbau einer Gradientenschicht erfolgt derart, daß in einem dem Werkstück (5) zugewandten Teil der Gradientenschicht ein zumindest überwiegender Anteil des Haftvermittlers und in einem dem Werkstück (5) abgewandten Teil der Gradientenschicht zumindest überwiegend ein Anteil des Barrierematerials enthalten ist. Ein Übergang der jeweiligen Bestandteile erfolgt zumindest in einem Teil der Gradientenschicht kontinuierlich entsprechend einem vorgebbaren Gradientenverlauf.The adhesion promoter can be applied, for example, in a two-stage process as the first stage before the barrier layer is applied in the second stage, but it is also conceivable in a continuous process to at least one of the workpiece ( 5 ) to produce the facing part of the barrier layer as a gradient layer at the same time as the application of at least part of the adhesion promoter. Such a gradient layer can be changed in a simple manner during the duration of an already ignited plasma tion of the composition of the process gas are generated. Such a change in the composition of the process gas can be achieved abruptly by changing valve controls or continuously by changing the mixing ratio of components of the process gas. A typical structure of a gradient layer is such that the workpiece ( 5 ) facing part of the gradient layer, an at least predominant part of the adhesion promoter and in a part of the workpiece ( 5 ) facing away from the part of the gradient layer at least predominantly contains a portion of the barrier material. A transition of the respective components takes place continuously in at least part of the gradient layer in accordance with a predeterminable gradient curve.

Der Innenraum der Plasmakammer (17) und die Innenräume der Werkstücke (5) werden zunächst gemeinsam auf ein Druckniveau von etwa 20 mbar bis 50 mbar evakuiert. Anschließend wird der Druck in den Innenräumen der Werkstücke (5) weiter auf etwa 0,1 mbar abgesenkt. Während der Durchführung des Behandlungsvorganges wird ein Unterdruck von etwa 0,3 mbar aufrechterhalten.The interior of the plasma chamber ( 17 ) and the interior of the workpieces ( 5 ) are first evacuated to a pressure level of approximately 20 mbar to 50 mbar. Then the pressure inside the workpieces ( 5 ) further reduced to about 0.1 mbar. A vacuum of about 0.3 mbar is maintained while the treatment process is being carried out.

Nach einem Abschluß des Beschichtungsvorganges werden die Lanzen (36) wieder aus den Innenräumen der Werkstücke (5) entfernt und die Plasmakammer (17) sowie die Innenräume der Werkstücke (5) werden belüftet. Nach Erreichen des Umgebungsdruckes innerhalb der Kavität (4) wird die Kammerwandung (18) wieder verschoben, um eine Entnahme der beschichteten Werkstücke (5) sowie eine Eingabe von neuen zu beschichtenden Werkstücken (5) durchzuführen. Zur Ermöglichung einer seitlichen Positionierung der Werkstücke (5) bzw. der Träger (41) werden die Dichtelemente (28) mindestens bereichsweise wieder in den Kammersockel (30) hinein verfahren.After the coating process has been completed, the lances ( 36 ) again from the interior of the workpieces ( 5 ) removed and the plasma chamber ( 17 ) and the interior of the workpieces ( 5 ) are ventilated. After reaching the ambient pressure inside the cavity ( 4 ) the chamber wall ( 18 ) moved again in order to remove the coated workpieces ( 5 ) as well as entering new workpieces to be coated ( 5 ) to carry out. To enable the workpieces to be positioned laterally ( 5 ) or the carrier ( 41 ) the sealing elements ( 28 ) back into the chamber base at least in some areas ( 30 ) move in.

Alternativ zur erläuterten Innenbeschichtung von Werkstükken (5) können auch Außenbeschichtungen, Sterilisationen oder Oberflächenaktivierungen durchgeführt werden.As an alternative to the interior coating of workpieces ( 5 ) External coatings, sterilizations or surface activations can also be carried out.

Eine Positionierung der Kammerwandung (18), der Dichtelemente (28) und / oder der Lanzen (36) kann unter Verwendung unterschiedlicher Antriebsaggregate erfolgen. Grundsätzlich ist die Verwendung pneumatischer Antriebe und / oder elektrischer Antriebe, insbesondere in einer Ausführungsform als Lineazmotor, denkbar. Insbesondere ist aber daran gedacht, zur Unterstützung einer exakten Bewegungskoordinierung mit einer Rotation des Plasmarades (2) eine Kurvensteuerung zu realisieren. Die Kurvensteuerung kann beispielsweise derart ausgeführt sein, daß entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) Steuerkurven angeordnet sind, entlang derer Kurvenrollen geführt werden. Die Kurvenrollen sind mit den jeweils zu positionierenden Bauelementen gekoppelt.Positioning the chamber wall ( 18 ), the sealing elements ( 28 ) and / or the lances ( 36 ) can be done using different drive units. In principle, the use of pneumatic drives and / or electric drives, in particular in one embodiment as a linear motor, is conceivable. In particular, however, it is thought to support an exact movement coordination with a rotation of the plasma wheel ( 2 ) to implement curve control. The curve control can, for example, be designed such that along a circumference of the plasma wheel ( 2 ) Control cams are arranged, along which cam rollers are guided. The cam rollers are coupled to the components to be positioned.

Zur Zuführung von benötigten Betriebsmitteln, insbesondere von Unterdruck und von Prozeßgas, können im Bereich des Kammersockels (30) Kanalverzweigungen angeordnet werden, die es ermöglichen, mit gemeinsamen Steuerventilen mehrere Plasmakammern (17) oder Kavitäten (4) zu versorgen.To supply the necessary equipment, in particular negative pressure and process gas, in the area of the chamber base ( 30 ) Channel branches can be arranged, which make it possible to use several control valves with common control valves ( 17 ) or cavities ( 4 ) to supply.

Ebenfalls ist daran gedacht, eine funktionelle gruppenweise Zuordnung von Pumpen vorzunehmen, die zur Erzeugung der erforderlichen Unterdrücke verwendet werden. Beispielsweise ist es möglich, gleichartige Pumpen zu verwenden, und in Bewegungsrichtung aufeinander folgende Plasmastationen (3) abwechselnd mit den jeweiligen Pumpen zu verbinden. Hierdurch bleibt die einzelne Plasmastation (3) länger an eine jeweils zugeordnete Pumpe angeschlossen und es werden Umschaltzeiten eingespart. Bei einer gleichzeitigen Behandlung von unterschiedlich geformten Werkstücken (5) oder Werkstücken (5) mit relativ zueinander unterschiedlicher Größe ist es auch möglich, die jeweiligen Plasmastationen (3) bzw. die zugeordneten Plasmakammern (17) mit unterschiedlichen Pumpen zu verbinden, um jeweils an die konkrete Geometrie des Werkstückes (5) angepaßte optimale Prozeßbedingungen bereitzustellen. Aufeinander folgende Plasmastationen (3) können hierdurch schaltungstechnisch mit unterschiedlichen Pumpen verbunden werden.It is also contemplated to perform a functional grouping of pumps that are used to generate the required negative pressures. For example, it is possible to use pumps of the same type, and successive plasma stations ( 3 ) alternately connected to the respective pumps. This leaves the single plasma station ( 3 ) longer connected to an assigned pump and switching times are saved. With simultaneous treatment of differently shaped workpieces ( 5 ) or workpieces ( 5 ) with different sizes relative to each other, it is also possible to 3 ) or the assigned plasma chambers ( 17 ) with different pumps to match the specific geometry of the workpiece ( 5 ) to provide adapted optimal process conditions. Successive plasma stations ( 3 ) can be connected to different pumps.

Claims (27)

Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem die Werkstücke in mindestens eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt werden und bei dem die Plasmakammer von einer Trageinrichtung entlang eines geschlossenen Umlaufweges positioniert wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Trageinrichtung um eine im wesentlichen horizontal verlaufende Drehachse herum mit einer Rotationsbewegung angetrieben wird.Process for the plasma treatment of workpieces which the workpieces in at least one at least partially evacuable plasma chamber a treatment station and where the plasma chamber from a carrying device along a closed circulation path is positioned, characterized in that the support means by essentially horizontal axis of rotation around with a Rotational movement is driven. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine trommelartige Trageinrichtung um die horizontal verlaufende Drehachse rotiert.A method according to claim 1, characterized in that a drum-like support device around the horizontal axis of rotation rotates. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstationen mit ihren Längsachsen in horizontaler Richtung orientiert gemeinsam mit der Trageinrichtung rotieren.A method according to claim 1 or 2, characterized in that that the Treatment stations with their longitudinal axes oriented in the horizontal direction together with the carrying device rotate. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Trageinrichtung zweiseitig gelagert wird.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that that the Support device is stored on two sides. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß gemeinsam mit der Trageinrichtung ein Teil einer elektrischen Drehkupplung rotiert.Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that that together with the support part of an electrical rotary coupling rotates. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Drehkupplung elektrische Energie unter Verwendung von Schleifringen überträgt.A method according to claim 5, characterized in that the electrical rotary coupling is electri transfers energy using slip rings. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß gemeinsam mit der Trageinrichtung mindestens eine Drehkupplung für eine Vakuumversorgung rotiert.Method according to one of claims 1 to 6, characterized in that that together with the support device at least one rotary coupling for a vacuum supply rotates. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehkupplung für die Vakuumzuführung Unterdruck auf mindestens zwei unterschiedliche Behandlungsstationen verteilt.A method according to claim 7, characterized in that the Swivel coupling for the vacuum feed Negative pressure on at least two different treatment stations distributed. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß gemeinsam mit der Trageinrichtung eine Prozeßgaskupplung für die Zufuhr von Prozeßgas rotiert.Method according to one of claims 1 to 8, characterized in that that together with the support device a process gas coupling for the supply of process gas rotates. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßgaskupplung das Prozeßgas mindestens zwei unterschiedlichen Behandlungsstationen zuführt.A method according to claim 9, characterized in that the Process gas coupling the process gas supplies at least two different treatment stations. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Drehkupplung und die Drehkupplung zur Unterdruckzuführung auf einander gegenüberliegenden Seiten der Trageinrichtung gemeinsam mit der Trageinrichtung rotieren.Method according to one of claims 1 to 10, characterized in that that the electric rotary coupling and the rotary coupling for the vacuum supply opposite each other Rotate the sides of the carrying device together with the carrying device. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßgaskupplung (57) und die Drehkupplung für die Unterdruckzuführung einander benachbart gemeinsam mit der Trageinrichtung rotieren.Method according to one of claims 1 to 11, characterized in that the process gas coupling ( 57 ) and the rotary coupling for the vacuum supply rotate adjacent to each other together with the support device. Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, die von einer rotationsfähig gelagerten Trageinrichtung entlang eines geschlossenen Umlaufweges positionierbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Trageinrichtung eine im wesentlichen horizontal verlaufende Drehachse aufweist.Device for the plasma treatment of workpieces has at least one evacuable plasma chamber for receiving the workpieces and the plasma chamber in the area of a treatment station is arranged by a rotatably mounted support device is positioned along a closed circulation path, thereby characterized that the Carrier a substantially horizontal axis of rotation having. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Trageinrichtung trommelartig ausgebildet ist.Device according to claim 13, characterized in that the Carrier is drum-shaped. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstationen mit ihren Längsachsen im wesentlichen in horizontaler Richtung angeordnet sind.Device according to claim 13 or 14, characterized in that that the Treatment stations with their longitudinal axes are arranged substantially in the horizontal direction. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Trageinrichtung zweiseitig gelagert ist.Device according to one of claims 13 to 15, characterized in that that the Carrying device is supported on two sides. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Trageinrichtung mit einer Drehkupplung (46) zur Energiezuführung versehen ist.Device according to one of claims 13 to 16, characterized in that the support device with a rotary coupling ( 46 ) is provided for energy supply. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehkupplung (46) als ein Schleifringüberträger ausgebildet ist.Device according to claim 17, characterized in that the rotary coupling ( 46 ) is designed as a slip ring transmitter. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Trageinrichtung mit einer Drehkupplung (56) zur Unterdruckzuführung versehen ist.Device according to one of claims 13 to 18, characterized in that the support device with a rotary coupling ( 56 ) is provided for the vacuum supply. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehkupplung (56) als ein Drehverteiler ausgebildet ist.Device according to claim 19, characterized in that the rotary coupling ( 56 ) is designed as a rotary distributor. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Trageinrichtung mit einer Prozeßgaskupplung (57) zur Zuführung von Prozeßgas versehen ist.Device according to one of claims 13 to 20, characterized in that the support device with a process gas coupling ( 57 ) is provided for the supply of process gas. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßgaskupplung (57) als ein Drehverteiler ausgebildet ist.Apparatus according to claim 22, characterized in that the process gas coupling ( 57 ) is designed as a rotary distributor. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehkupplung (46) zur Zuführung von elektrischen Energie und die Drehkupp lung (56) zur Unterdruckzuführung auf einander gegenüberliegenden Seiten der Trageinrichtung angeordnet sind.Device according to one of claims 13 to 22, characterized in that the rotary coupling ( 46 ) for the supply of electrical energy and the rotary coupling ( 56 ) are arranged for the negative pressure supply on opposite sides of the support device. Vorrichtung, nach einem der Ansprüche 13 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehkupplung (56) zur Unterdruckzuführung und die Prozeßgaskupplung (57) einander benachbart angeordnet sind.Device according to one of claims 13 to 23, characterized in that the rotary coupling ( 56 ) for vacuum supply and the process gas coupling ( 57 ) are arranged adjacent to each other. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation zur Plasmabeschichtung von Werkstücken (5) ausgebildet ist.Device according to one of claims 13 to 24, characterized in that the treatment station for the plasma coating of workpieces ( 5 ) is trained. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation zur Innenbeschichtung von flaschenförmigen Werkstücken (5) ausgebildet ist.Device according to one of claims 13 to 25, characterized in that the treatment station for the internal coating of bottle-shaped workpieces ( 5 ) is trained. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlungsstation zur Plasmabeschichtung eines thermoplastischen Kunststoffes ausgebildet ist.Device according to one of claims 13 to 26, characterized in that that the Treatment station for plasma coating a thermoplastic Plastic is formed.
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