DE102004029677A1 - Method and device for plasma treatment of workpieces - Google Patents

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Abstract

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Die Werkstücke werden in eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt, wobei die Plasmakammer von einem rotationsfähigen Plasmarad entlang eines geschlossenen Umlaufweges transportiert wird. Mindestens zwei Werkstücke werden von Halteelementen innerhalb der Behandlungsstation positioniert. Ebenfalls werden mindestens zwei Halteelemente der Behandlungsstation in einer Arbeitspositionierung mit einem relativ zueinander unterschiedlichen radialen Abstand zu einer Rotationsachse des Plasmarades positioniert.The method and the device are used for the plasma treatment of workpieces. The workpieces are inserted into an at least partially evacuatable plasma chamber of a treatment station, wherein the plasma chamber is transported by a rotatable plasma wheel along a closed circulation path. At least two workpieces are positioned by holding elements within the treatment station. Likewise, at least two holding elements of the treatment station are positioned in a working position with a radial distance relative to each other which is different from an axis of rotation of the plasma bath.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem die Werkstücke in eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt werden, die von einem rotationsfähigem Plasmarad entlang eines geschlossenen Umlaufweges transportiert wird und bei dem mindestens zwei Werkstücke innerhalb der Behandlungsstation von Halteelementen positioniert werden.The The invention relates to a method for the plasma treatment of workpieces, in the workpieces in an at least partially evacuatable plasma chamber of a treatment station used by a rotatable plasma bath along a closed circulation path is transported and at least two workpieces inside the treatment station are positioned by holding elements.

Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, die von einem rotationsfähigen Plasmarad getragen ist sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist und bei der die Behandlungsstation mindestens zwei Halteelemente zur Positionierung der Werkstücke aufweist.The Invention relates to this In addition, a device for the plasma treatment of workpieces, the Has at least one evacuatable plasma chamber for receiving the workpieces and at the plasma chamber in the area of a treatment station is arranged, which is supported by a rotatable plasma wheel as well as the plasma chamber from a chamber bottom, a chamber lid and a lateral chamber wall is limited and in which the Treatment station at least two holding elements for positioning the workpieces having.

Derartige Verfahren und Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Kunststoffe mit Oberflächenbeschichtungen zu versehen. Insbesondere sind auch bereits derartige Verfahren und Vorrichtungen bekannt, um innere oder äußere Oberflächen von Behältern zu beschichten, die zur Verpackung von Flüssigkeiten vorgesehen sind. Darüber hinaus sind Einrichtungen zur Plasmasterilisation bekannt.such Methods and devices are used, for example, to Plastics with surface coatings to provide. In particular, such methods are already available and devices known to access internal or external surfaces of containers coated, which are intended for packaging liquids. Furthermore Plasma sterilization facilities are known.

In der PCT-WO 95/22413 wird eine Plasmakammer zur Innenbeschichtung von Flaschen aus PET beschrieben. Die zu beschichtenden Flaschen werden durch einen beweglichen Boden in eine Plasmakammer hineingehoben und im Bereich einer Flaschenmündung mit einem Adapter in Verbindung gebracht. Durch den Adapter hindurch kann eine Evakuierung des Flascheninnenraumes erfolgen. Darüber hinaus wird durch den Adapter hindurch eine hohle Lanze in den Innenraum der Flaschen eingeführt, um Prozeßgas zuzuführen. Eine Zündung des Plasmas erfolgt unter Verwendung einer Mikrowelle.In PCT WO 95/22413 discloses a plasma chamber for internal coating of PET bottles. The bottles to be coated are through a moving floor into a plasma chamber and in the area of a bottle mouth associated with an adapter. Through the adapter an evacuation of the bottle interior can take place. Furthermore is through the adapter through a hollow lance in the interior the bottles are inserted, to process gas supply. An ignition of the plasma is done using a microwave.

Aus dieser Veröffentlichung ist es auch bereits bekannt, eine Mehrzahl von Plasmakammern auf einem rotierenden Rad anzuordnen. Hierdurch wird eine hohe Produktionsrate von Flaschen je Zeiteinheit unterstützt.Out this publication it is also already known to have a plurality of plasma chambers to arrange a rotating wheel. This will result in a high production rate supported by bottles per unit of time.

In der EP-OS 10 10 773 wird eine Zuführeinrichtung erläutert, um einen Flascheninnenraum zu evakuieren und mit Prozeßgas zu versorgen. In der PCT-WO 01/31680 wird eine Plasmakammer beschrieben, in die die Flaschen von einem beweg lichen Deckel eingeführt werden, der zuvor mit einem Mündungsbereich der Flaschen verbunden wurde.In EP-OS 10 10 773 a feeder is explained to to evacuate a bottle interior and with process gas supply. In PCT-WO 01/31680 a plasma chamber is described, in which the bottles are introduced by a movable lid, the previously with a mouth area the bottles was connected.

Die PCT-WO 00/58631 zeigt ebenfalls bereits die Anordnung von Plasmastationen auf einem rotierenden Rad und beschreibt für eine derartige Anordnung eine gruppenweise Zuordnung von Unterdruckpumpen und Plasmastationen, um eine günstige Evakuierung der Kammern sowie der Innenräume der Flaschen zu unterstützen. Darüber hinaus wird die Beschichtung von mehreren Behältern in einer gemeinsamen Plasmastation bzw. einer gemeinsamen Kavität erwähnt.The PCT-WO 00/58631 also already shows the arrangement of plasma stations on a rotating wheel and describes for such an arrangement a group assignment of vacuum pumps and plasma stations, for a cheap To support evacuation of the chambers as well as the interiors of the bottles. Furthermore The coating of several containers in a common Plasma station or a common cavity mentioned.

Eine weitere Anordnung zur Durchführung einer Innenbeschichtung von Flaschen wird in der PCT-WO 99/17334 beschrieben. Es wird hier insbesondere eine Anordnung eines Mikrowellengenerators oberhalb der Plasmakammer sowie eine Vakuum- und Betriebsmittelzuleitung durch einen Boden der Plasmakammer hindurch beschrieben.A Another arrangement for carrying out a Inner coating of bottles is described in PCT-WO 99/17334. In particular, it will be an arrangement of a microwave generator above the plasma chamber and a vacuum and equipment supply line described through a bottom of the plasma chamber.

Bei der überwiegenden Anzahl der bekannten Verfahren werden zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des thermoplastischen Kunststoffmaterials durch das Plasma erzeugte Behälterschichten aus Siliziumoxiden mit der allgemeinen chemischen Formel SiOx verwendet. Zusätzlich können in den hierdurch erzeugten Barriereschichten auch Anteile von Kohlenstoff, Wasserstoff und Stickstoff enthalten sein. Derartige Barriereschichten verhindern ein Eindringen von Sauerstoff in die verpackten Flüssigkeiten sowie ein Austreten von Kohlendioxid bei CO2-haltigen Flüssigkeiten.In the vast number of known methods for the improvement of barrier properties of the thermoplastic plastic material are used by the plasma generated container layers of silicon oxides having the general chemical formula SiO x. In addition, portions of carbon, hydrogen and nitrogen may also be contained in the barrier layers produced thereby. Such barrier layers prevent the penetration of oxygen into the packaged liquids and leakage of carbon dioxide in CO 2 -containing liquids.

In der DE 102 27 637 wird bereits die Verwendung von rotierenden Plasmarädern beschrieben, auf denen Plasmastationen mit einer Mehrzahl von Kavitäten angeordnet sind.In the DE 102 27 637 The use of rotating plasma wheels, on which plasma stations with a plurality of cavities are arranged, has already been described.

Die bislang bekannten Verfahren und Vorrichtungen sind noch nicht in ausreichender Weise dafür geeignet, für eine Massenproduktion eingesetzt zu werden, bei der sowohl ein geringer Beschichtungspreis je Werkstück als auch eine hohe Produktionsgeschwindigkeit erreicht werden muß.The hitherto known methods and devices are not yet in enough for that suitable for to be used in a mass production, where both a small Coating price per workpiece as well as a high production speed must be achieved.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren der einleitend genannten Art derart anzugeben, daß eine mengenmäßige Produktionsleistung bei guter Produktqualität erhöht wird.task It is therefore an object of the present invention to provide a method of the invention specify such a type that a quantitative production capacity with good product quality elevated becomes.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens zwei Halteelemente der Behandlungsstation in einer Arbeitspositionierung mit einem relativ zueinander unterschiedlichen radialen Abstand zu einer Rotationsachse des Plasmarades positioniert werden.This object is achieved in that at least two holding elements of the treatment station in a working position with a relative to each other different radial distance to a rotation axis of the Plas Marades are positioned.

Weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu konstruieren, daß bei kompaktem Aufbau eine hohe Produktionsleistung sowie eine gute Produktqualität unterstützt wird.Further Object of the present invention is to provide a device of Initially mentioned type to construct such that in a compact Building a high production performance and good product quality is supported.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens zwei Halteelemente der Behandlungsstation in einer Arbeitspositionierung mit einem relativ zueinander unterschiedlichen Abstand zu einer Rotationsachse des Plasmarades angeordnet sind.These Task is inventively characterized solved, that at least two holding elements of the treatment station in a work positioning with a relatively different distance to one another Are arranged axis of rotation of the plasma wheel.

Durch die Anordnung der Halteelemente mit unterschiedlichem radialen Abstand zur Rotationsachse des Plasmarades ist es möglich, die zu behandelnden Werkstücke nicht nur entlang eines Umfanges des Plasmarades, sondern mit einer in radialer Richtung relativ zueinander versetzten Anordnung zu positionieren. Eine derartige radial versetzte Anordnung der Halteelemente und damit auch der zu bearbeitenden Werkstücke ermöglicht es auf einem Plasmarad mit einem vorgegebenen Durchmesser eine vergrößerte Anzahl von Halteelementen anzuordnen und damit die Produktionskapazität zu vergrößern.By the arrangement of the holding elements with different radial distance to the axis of rotation of the plasma bath, it is possible to treat the workpieces not only along a circumference of the plasma bath, but with one to position in the radial direction relative to each other staggered arrangement. Such a radially offset arrangement of the holding elements and This also allows the workpieces to be machined on a plasma wheel with a predetermined diameter an increased number of holding elements to arrange and thus increase the production capacity.

Eine besonders kompakte Konstruktion läßt sich dadurch erreichen, daß die Halteelemente in einer radialen Richtung des Plasmarades hintereinander positioniert werden.A particularly compact construction can be achieved by that the Holding elements in a radial direction of the plasma wheel behind the other be positioned.

Anforderungen an eine große Kompaktheit und eine gute Zugänglichkeit können gleichzeitig dadurch erfüllt werden, daß die Werkstücke im Bereich der Behandlungsstation von vier Halteelementen positioniert werden.conditions to a big one Compactness and good accessibility can simultaneously fulfilled be that the workpieces positioned in the area of the treatment station by four holding elements become.

Eine mechanisch stabile Anordnung wird dadurch unterstützt, daß die Halteelemente in einer Arbeitspositionierung derart angeordnet werden, daß eine im wesentlichen rechteckförmige Grundfläche aufgespannt wird.A mechanically stable arrangement is supported by the fact that the holding elements be arranged in a work positioning such that an im essential rectangular Base area spanned becomes.

Die Durchführung von Übergabevorgängen der Werkstücke wird dadurch erleichtert, daß mindestens eines der Halteelemente das Werkstück zangenartig haltert.The execution of handovers of the workpieces is facilitated by the fact that at least one of the holding elements holds the workpiece like a pliers.

Eine Zuführung von Behältern zum Plasmarad sowie eine entsprechende Ableitung von Behältern wird dadurch unterstützt, daß die Halteelemente in einer Übergabepositionierung mit Zuführöffnungen in einer radial nach außen weisenden Richtung des Plasmarades angeordnet werden.A feed of containers to the plasma bath as well as a corresponding derivation of containers supported thereby, that the Holding elements in a transfer position with feed openings in one radially outward pointing direction of the plasma bath are arranged.

Eine einfache Kinematik bei der Positionsveränderung der ortsveränderlich auf dem Plasmarad angeordneten Halteelemente wird dadurch erreicht, daß die Halteelemente in einer Arbeitspositionierung mit ihren Zuführöffnungen in einer im wesentlichen quer zur radialen Richtung des Plasmarades verlaufenden Orientierung positioniert werden.A simple kinematics in the change of position of the mobile arranged on the Plasmarad holding elements is achieved by that the Holding elements in a work positioning with their feed openings in a direction substantially transverse to the radial direction of the plasma wheel Orientation can be positioned.

Ebenfalls trägt es zu einer einfachen Durchführung der Übergabevorgänge bei, daß die Werkstücke dem Plasmarad von zangenartigen Halteelementen eines Eingaberades zugeführt werden.Also wear it to a simple implementation during the transfer process, that the workpieces the plasma wheel of pincer-like holding elements of an input wheel supplied become.

Eine materialschonende Handhabung der Werkstücke wird dadurch unterstützt, daß die Werkstücke im Bereich des Eingaberades von gesteuerten Zangenarmen gehaltert werden.A Material-friendly handling of the workpieces is supported by the fact that the workpieces in the area of the input wheel are controlled by controlled gun arms.

Die Durchführung eines kontinuierlichen Materialdurchlaufes wird auch dadurch unterstützt, daß die Werkstücke von zangenartigen Halteelementen eines Ausgaberades vom Plasmarad entnommen werden.The execution A continuous material flow is also supported by the fact that the workpieces of pliers-like holding elements of a delivery wheel are removed from the plasma wheel.

Eine nochmals gesteigerte Materialschonung bei der Handhabung der Werkstücke wird dadurch erreicht, daß die Werkstücke im Bereich des Ausgaberades von gesteuerten Zangen gehaltert werden.A again increased material protection during handling of the workpieces becomes achieved in that the workpieces be held in the area of the output wheel of controlled pliers.

Eine einfache mechanische Konstruktion bei gleichzeitig materialschonender Handhabung der Werkstücke wird dadurch erreicht, daß die Werkstücke im Bereich der Plasmastation von federbelasteten Zangenarmen gehaltert werden.A simple mechanical construction with material-saving Handling of workpieces is achieved by the workpieces Held in the area of the plasma station by spring-loaded gun arms become.

Ebenfalls trägt es zu einer einfachen mechanischen Grundkonstruktion bei, daß zwei der Halteelemente entlang des Umfanges des Plasmarades nebeneinander angeordnet und relativ zueinander unbeweglich vom Plasmarad transportiert werden.Also wear it to a simple basic mechanical construction in that two of the Holding elements along the circumference of the plasma bath next to each other arranged and transported relative to each other immovable from the plasma wheel become.

Eine Positionsänderung der beweglichen Halteelemente zwischen einer Übergabepositionierung und einer Arbeitspositionierung wird dadurch unterstützt, daß zwei der Halteelemente relativ zum Plasmarad zwischen einer Arbeitspositionierung und einer Übergabepositionierung hin- und herbewegt werden.A position change the movable holding elements between a transfer position and a Work positioning is supported by the fact that two of the holding elements relative to the plasma wheel between a work positioning and a transfer positioning be moved back and forth.

Eine sehr einfache Kinematik bei der Durchführung von Übergängevorgängen wird dadurch erreicht, daß die Halteelemente in einer Übergabepositionierung gemeinsam entlang eines Umfanges des Plasmarades positioniert werden.A very simple kinematics in performing transient operations is achieved by that the Holding elements in a transfer position be positioned together along a circumference of the plasma bath.

Ebenfalls trägt es zu einer einfachen Durchführung von Übergabevorgängen bei, daß aus dem Plasmarad entnommene Werkstücke entlang eines Umfanges des Ausgaberades positioniert werden.Also wear it to a simple implementation of handovers, that out the plasmas taken from the workpieces be positioned along a circumference of the delivery wheel.

Darüber hinaus ist daran gedacht, daß die Werkstücke vor ihrer Übergabe zum Plasmarad entlang eines Außenumfanges eines Eingaberades angeordnet werden.In addition, it is envisaged that the workpieces ent before their transfer to the plasma long of an outer periphery of an input wheel are arranged.

Eine einfache horizontale Zugänglichkeit der Kavitäten der Behandlungsstation wird dadurch unterstützt, daß die Werkstücke im Bereich der Plasmastation von einer in vertikaler Richtung positionierbaren Schiebehülse steuerbar gegenüber einer Umgebung abgeschirmt werden.A easy horizontal accessibility the cavities the treatment station is supported by the fact that the workpieces in the area the plasma station of a positionable in the vertical direction sliding sleeve controllable opposite shielded from an environment.

Zur Erleichterung der Durchführung von Anschluß- sowie Dichtvorgängen wird vorgeschlagen, daß die Halteelemente in einer vertikalen Richtung positioniert werden.to Facilitating the implementation from connection as well as sealing processes It is suggested that the Holding elements are positioned in a vertical direction.

In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen:In The drawings are exemplary embodiments of the invention shown schematically. Show it:

1 Eine Prinzipskizze einer Mehrzahl von Plasmakammern, die auf einem rotierenden Plasmarad angeordnet sind und bei der das Plasmarad mit Eingabe- und Ausgaberädern gekoppelt ist, 1 A schematic diagram of a plurality of plasma chambers, which are arranged on a rotating plasma wheel and in which the plasma wheel is coupled to input and output wheels,

2 ein Beispiel für ein Plasmarad mit vier Kavitäten im Bereich jeder Plasmastation, 2 an example of a plasma bath with four cavities in the area of each plasma station,

3 eine vergrößerte Darstellung der Einzelheit III in 2 und 3 an enlarged view of the detail III in 2 and

4 eine vergrößerte perspektivische Darstellung der Halteelemente im Bereich einer Plasmastation. 4 an enlarged perspective view of the holding elements in the region of a plasma station.

Aus der Darstellung in 1 ist ein Plasmamodul (1) zu erkennen, das mit einem rotierenden Plasmarad (2) versehen ist. Entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) sind eine Mehrzahl von Plasmastationen (3) angeordnet. Die Plasmastationen (3) sind mit Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (14) zur Aufnahme von zu behandelnden Werkstücken (5) versehen. Zur Erläuterung des konstruktiven Grundprinzips ist in 1 jeweils nur ein Werkstück (5) je Plasmastation (3) dargestellt. Auch die Zuführungen und Ableitungen der Werkstücke zeigen lediglich schematisch die Handhabung von einzelnen Werkstücken (5). Tatsächlich sind jedoch jeder Plasmastation (3) mindestens zwei Werkstücke (5) zugeordnet.From the illustration in 1 is a plasma module ( 1 ), which can be detected with a rotating plasma bath ( 2 ) is provided. Along a circumference of the plasma bath ( 2 ) are a plurality of plasma stations ( 3 ) arranged. The plasma stations ( 3 ) are with cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 14 ) for receiving workpieces to be treated ( 5 ) Mistake. To explain the basic constructive principle is in 1 only one workpiece at a time ( 5 ) per plasma station ( 3 ). Also, the feeds and discharges of the workpieces show only schematically the handling of individual workpieces ( 5 ). In fact, however, every plasma station ( 3 ) at least two workpieces ( 5 ).

Die zu behandelnden Werkstücke (5) werden gemäß der vorgenommenen Vereinfachung der Darstellung dem Plasmamodul (1) im Bereich einer Eingabe (6) zugeführt und über ein Vereinzelungsrad (7) an ein Übergaberad (8) weitergeleitet, das mit positionierbaren Tragarmen (9) ausgestattet ist. Die Tragarme (9) sind relativ zu einem Sockel (10) des Übergaberades (8) verschwenkbar angeordnet, so daß eine Abstandsveränderung der Werkstücke (5) relativ zueinander durchgeführt werden kann. Hierdurch erfolgt eine Übergabe der Werkstücke (5) vom Übergaberad (8) an ein Eingaberad (11) mit einem relativ zum Vereinzelungsrad (7) vergrößerten Abstand der Werkstücke (5) relativ zueinander. Das Eingaberad (11) übergibt die zu behandelnden Werkstücke (5) an das Plasmarad (2). Nach einer Durchführung der Behandlung werden die behandelten Werkstücke (5) von einem Ausgaberad (12) aus dem Bereich des Plasmarades (2) entfernt und in den Bereich einer Ausgabestrecke (13) überführt.The workpieces to be treated ( 5 ) are in accordance with the simplification of the representation of the plasma module ( 1 ) in the area of an input ( 6 ) and via a separating wheel ( 7 ) to a transfer wheel ( 8th ), with positionable support arms ( 9 ) Is provided. The support arms ( 9 ) are relative to a pedestal ( 10 ) of the transfer wheel ( 8th ) arranged pivotable, so that a change in the distance of the workpieces ( 5 ) can be performed relative to each other. This results in a transfer of the workpieces ( 5 ) from the transfer wheel ( 8th ) to an input wheel ( 11 ) with a relative to the separating wheel ( 7 ) increased distance of the workpieces ( 5 ) relative to each other. The input wheel ( 11 ) transfers the workpieces to be treated ( 5 ) to the plasma bath ( 2 ). After the treatment has been carried out, the treated workpieces ( 5 ) from an output wheel ( 12 ) from the area of the plasma bath ( 2 ) and in the area of an output line ( 13 ).

Bei der Ausführungsform gemäß 2 sind zur weiteren Verdeutlichung des Konstruktionsprinzips die Plasmastationen (3) jeweils mit zwei Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (14) dargestellt. Hierdurch können jeweils zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. Grundsätzlich ist es hierbei möglich, die Kavitäten (4) vollständig voneinander getrennt auszubilden, grundsätzlich ist es aber auch möglich, in einem gemeinsamen Kavitätenraum lediglich Teilbereiche derart gegeneinander abzugrenzen, daß eine optimale Beschichtung aller Werkstücke (5) gewährleistet ist. Insbesondere ist hierbei daran gedacht, die Teilkavitäten zumindest durch separate Mikrowelleneinkopplungen gegeneinander abzugrenzen.In the embodiment according to 2 are to further clarify the construction principle, the plasma stations ( 3 ) each with two cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 14 ). This allows each two workpieces ( 5 ) are treated simultaneously. Basically, it is possible here, the cavities ( 4 ) completely separate from each other, but in principle it is also possible to delimit only partial areas in a common cavity space in such a way that an optimal coating of all workpieces ( 5 ) is guaranteed. In particular, this is thought to delimit the partial cavities at least by separate Mikrowelleneinkopplungen against each other.

2 veranschaulicht, daß bei einem dargestellten Ausführungsbeispiel vier Halteelemente (15, 16, 17, 18) im Bereich der Plasmastation (3) angeordnet sind. von der mit vier Kavitäten (4) ausgestatteten Plasmastation (3) sind nur die in radialer Richtung außen liegenden beiden Kavitäten (4) dargestellt. Für die bezüglich einer Rotationsachse (19) des Plasmarades (2) in radialer Richtung innen liegen den Kavitäten (4) sind lediglich die zugeordneten Halteelemente (17, 18) in einer Arbeitspositionierung dargestellt. Die Halteelemente (17, 18) sind darüber hinaus zur Veranschaulichung eines Bewegungsablaufes jeweils seitlich neben den abgebildeten Kavitäten (4) dargestellt. 2 illustrates that in one illustrated embodiment, four retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) in the region of the plasma station ( 3 ) are arranged. from the four-cavity ( 4 ) plasma station ( 3 ) are only the two outwardly lying in the radial direction cavities ( 4 ). For those with respect to a rotation axis ( 19 ) of the plasma bath ( 2 ) lie in the radial direction inside the cavities ( 4 ) are only the associated holding elements ( 17 . 18 ) shown in a work positioning. The retaining elements ( 17 . 18 ) are also to illustrate a sequence of movements in each case laterally next to the imaged cavities ( 4 ).

Das Ausgaberad (12) ist mit Halteelementen (20, 21, 22, 23) versehen, die aus der Plasmastation (3) ausgegebene fertig bearbeitete Werkstücke aufnehmen. Eine vergleichbare Ausbildung weist auch das Eingaberad (11) auf. Bei der dargestellten Ausführungsform mit vier Halteelementen (15, 16, 17, 18) im Bereich der Plasmastation (3) werden somit entlang des Umfanges des Ausgaberades (12) von den dort angeordneten Halteelementen (20, 21, 22, 23) vier Behälter von der Plasmastation (3) an das Ausgaberad (12) übergeben.The output wheel ( 12 ) is equipped with retaining elements ( 20 . 21 . 22 . 23 ) from the plasma station ( 3 ) record finished finished workpieces. A comparable training also shows the input wheel ( 11 ) on. In the illustrated embodiment with four retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) in the region of the plasma station ( 3 ) are thus along the circumference of the output wheel ( 12 ) of the holding elements arranged there ( 20 . 21 . 22 . 23 ) four containers from the plasma station ( 3 ) to the output wheel ( 12 ) to hand over.

Der Aufbau der Plasmastation (3) mit den Halteelementen (15, 16, 17, 18) und des Ausgaberades (12) mit den Halteelementen (20, 21, 22, 23) wird in 3 in einer vergrößerten Darstellung nochmals veranschaulicht. Zur Durchführung einer Ausgabe der fertig bearbeiteten Werkstücke werden die Halteelemente (17, 18) in die eingezeichnete Ausgabepositionierung entlang des Umfanges des Plasmarades (2) überführt. Durch das Abrollen des Plasmarades (2) und des Ausgaberades (12) aneinander bei einer jeweiligen Rotation dieser Räder erfolgt eine Übergabe der Werkstücke. Die Übergabe kann entweder passiv gesteuert unter Verwendung von Anweisern oder aktiv durch gesteuerte Halteelemente (15, 16, 17, 18) bzw. (20, 21, 22, 23) erfolgen. In der Regel ist es ausreichend, bei jeweils zwei korrespondierenden Halteelementen eines der Halteelemente beispielsweise mit federnd gelagerten Zangenarmen und das andere Halteelement mit aktiv gesteuerten zangenarmen zu versehen.The structure of the plasma station ( 3 ) with the retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) and the output wheel ( 12 ) with the retaining elements ( 20 . 21 . 22 . 23 ) is in 3 illustrated in an enlarged view again. To carry out an issue of the finished workpieces, the holding elements ( 17 . 18 ) in the drawn output positioning along the circumference of the plasma wheel ( 2 ). By unrolling the plasma bath ( 2 ) and the output wheel ( 12 ) to each other in a respective rotation of these wheels, a transfer of the workpieces. The handover may be either passively controlled using directors or actively controlled by holding elements (FIG. 15 . 16 . 17 . 18 ) respectively. ( 20 . 21 . 22 . 23 ) respectively. As a rule, it is sufficient to provide each of two corresponding holding elements of one of the holding elements, for example, with spring-loaded tong arms and the other holding element with actively controlled gun arms.

4 veranschaulicht die Anordnung der Halteelemente (15, 16, 17, 18) sowie der Halteelemente (20, 21, 22, 23) in einer nochmals vergrößerten Detailliertheit. Die Halteelemente (17, 18) sind wieder einmal in ihrer Arbeitspositionierung und andererseits in ihrer Übergabepositionierung dargestellt. 4 illustrates the arrangement of the holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) and the retaining elements ( 20 . 21 . 22 . 23 ) in a further enlarged detail. The retaining elements ( 17 . 18 ) are shown once again in their work positioning and on the other hand in their transfer position.

Aus 4 ist zu erkennen, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) jeweils mit Einführöffnungen (24) versehene Basiselemente (25) sowie verschwenkbar auf den Basiselementen (25) angeordnete Zangenarme (26, 27) aufweisen. Die Zangenarme sind von nicht dargestellten Federn federnd gegen Anschlagelemente (28, 29) verspannt. Die zangenarme (26, 27) weisen jeweils außenseitige Einführanschrägungen (30, 31) und Entnahmeanschrägungen (32, 33) auf. Hierdurch können zu behandelnde Werkstücke zwischen die Zangenarme (26, 27) hineingedrückt und wieder zwischen den Zangenarmen (26, 27) herausgezogen werden. Als hinterer Anschlag für das Werkstück dient ein Sockelelement (34).Out 4 it can be seen that the retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) each with insertion openings ( 24 ) provided basic elements ( 25 ) as well as pivotable on the basic elements ( 25 ) arranged pliers arms ( 26 . 27 ) exhibit. The pliers arms are spring-loaded, not shown, against stop elements ( 28 . 29 ) braced. The pliers arms ( 26 . 27 ) each have outside insertion chamfers ( 30 . 31 ) and removal bevels ( 32 . 33 ) on. As a result, to be treated workpieces between the gun arms ( 26 . 27 ) and again between the forceps arms ( 26 . 27 ) are pulled out. As a rear stop for the workpiece is a base element ( 34 ).

Zur Überführung der Halteelemente (17, 18) von der neben den Halteelementen (15, 16) eingezeichneten Übergabepositionierung in die hinter den Halteelementen (15, 16) eingezeichnete Arbeitspositionierung werden die Halteelemente (17, 18) vorzugsweise von nicht dargestellten Tragarmen verschwenkt. Grundsätzlich sind auch eine Verschiebung oder eine sonstige Bewegung entlang von Führungsschienen sowie andersartige Bewegungsvorgaben denkbar.For transferring the retaining elements ( 17 . 18 ) of the next to the retaining elements ( 15 . 16 ) transfer position in the behind the holding elements ( 15 . 16 ), the holding elements ( 17 . 18 ) is preferably pivoted by support arms, not shown. Basically, a shift or other movement along guide rails and other types of motion are conceivable.

Die Halteelemente (20, 21, 22, 23) weisen gesteuerte Zangenarme (35, 36) auf. Der Zangenarm (35) ist mit einem Stellhebel (37) gekoppelt, der über eine Kurvenrolle (38) positionierbar ist. Der Zangenarm (36) ist über einen Kopplungshebel (39) mit dem Stellhebel (37) verbunden. Bei ei ner Betätigung des Stellhebels (37) werden hierdurch die Zangenarme (35, 36) zur Freigabe oder zur Halterung der Werkstücke positioniert.The retaining elements ( 20 . 21 . 22 . 23 ) have controlled pliers arms ( 35 . 36 ) on. The pliers arm ( 35 ) is equipped with a lever ( 37 ), which via a cam roller ( 38 ) is positionable. The pliers arm ( 36 ) is via a coupling lever ( 39 ) with the adjusting lever ( 37 ) connected. In egg ner actuation of the control lever ( 37 ), the pliers arms ( 35 . 36 ) positioned to release or hold the workpieces.

Eine Übergabe von Werkstücken von den Zangenarmen (26, 27) zu den zangenarmen (35, 36) wird derart durchgeführt, daß beim Abrollen des Plasmarades (2) und des Ausgaberades (12) aneinander die von den Zangenarmen (26, 27) gehalterten Werkstücke zwischen die geöffneten Zangenarme (35, 36) geführt werden. Die Zangenarme (35, 36) schließen dann und ziehen bei einer Weiterbewegung die Werkstücke zwischen den Zangenarmen (26, 27) heraus. Bei einer Eingabe der Werkstücke über das Eingaberad (11) in die Plasmastation (3) erfolgt ein umgekehrter Bewegungsablauf.A transfer of workpieces from the gun arms ( 26 . 27 ) to the pincer arms ( 35 . 36 ) is carried out in such a way that when unrolling the plasma bath ( 2 ) and the output wheel ( 12 ) to each other from the pincer arms ( 26 . 27 ) held workpieces between the open pliers arms ( 35 . 36 ). The pliers arms ( 35 . 36 ) then close and pull the workpieces between the gun arms ( 26 . 27 ) out. When entering the workpieces via the input wheel ( 11 ) into the plasma station ( 3 ), a reverse movement takes place.

Das Verfahren und die Vorrichtung sind insbesondere dafür geeignet, im Bereich einer Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken eingesetzt zu werden, die zur Plasmabehandlung von Behältern vorgesehen ist. Insbesondere ist an die Plasmabehandlung von flaschenförmigen Behältern gedacht. Die Behälter können beispielsweise zur Verpackung von flüssigen Lebensmitteln verwendet werden. Gedacht ist beispielsweise an Behälter zur Verpackung von kohlensäurehaltigen Getränken oder von Getränken, die empfindlich gegenüber eindringendem Luftsauerstoff sind, beispielsweise Bier.The Method and device are particularly suitable for used in the field of a device for the plasma treatment of workpieces to be, which is intended for the plasma treatment of containers. Especially is intended for the plasma treatment of bottle-shaped containers. The containers can, for example for packaging of liquid Be used for food. Thought, for example, to container for Packaging of carbonated drinks or drinks, the most sensitive penetrating atmospheric oxygen, for example beer.

Bei der Realisierung der Plasmabehandlung ist insbesondere an eine Innenbeschichtung der Behälter gedacht, die Barriereeigenschaften der Behälter gegenüber einem Durchtritt von Gasen erhöht. Die Erhöhung der Barriereeigenschaften betrifft insbesondere eine erhöhte der Sperreigenschaft gegenüber einem Durchtritt von Kohlendioxid und/oder Sauerstoff.at the realization of the plasma treatment is in particular to an inner coating the container thought, the barrier properties of the container against passage of gases elevated. The increase the barrier properties relates in particular to an increased of Barrier property opposite a passage of carbon dioxide and / or oxygen.

Im Rahmen der Plasmabehandlung ist es möglich, auf der Oberfläche des Behälters, insbesondere auf der inneren Oberfläche des Behälters, eine Schicht aus SiOx abzuscheiden. Eine Haftung dieser Barriereschicht auf dem Material der Werkstücke kann durch einen Haftvermittler verbessert werden. Als Material für die Werkstücke ist insbesondere PET verwendbar.in the As a result of the plasma treatment, it is possible on the surface of the container especially on the inner surface of the container, a layer of SiOx deposit. An adhesion of this barrier layer on the material the workpieces can be improved by a bonding agent. As a material for the workpieces is In particular, PET can be used.

Claims (38)

Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem die Werkstücke in eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt werden, die von einem rotationsfähigen Plasmarad entlang eines geschlossenen Umlaufweges transportiert wird und bei dem mindestens zwei Werkstücke innerhalb der Behandlungsstation von Halteelementen positioniert werden, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Halteelemente (15, 16, 17, 18) der Behandlungsstation in einer Arbeitspositionierung mit einem relativ zueinander unterschiedlichen radialen Abstand zu einer Rotationsachse (19) des Plasmarades (2) positioniert werden.Process for the plasma treatment of workpieces, in which the workpieces are inserted into an at least partially evacuatable plasma chamber of a treatment station, which is transported by a rotatable plasma wheel along a closed circulation path and wherein at least two workpieces are positioned within the treatment station by holding elements, characterized in that at least two retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) of the treatment station in a work positioning with a relative to each other different radial distance to a rotation axis ( 19 ) of the plasma bath ( 2 ). Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17; 18) in einer radialen Richtung des Plasmarades (2) hintereinander positioniert werden.Method according to claim 1, characterized in that the holding elements ( 15 . 16 . 17 ; 18 ) in a radial direction of the plasma bath ( 2 ) are positioned one behind the other. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke im Bereich der Behandlungsstation von vier Halteelementen (15, 16, 17, 18) positioniert werden.A method according to claim 1 or 2, characterized in that the workpieces in the region of the treatment station of four holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ). Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) in einer Arbeitspositionierung derart angeordnet werden, daß eine im wesentlichen rechteckförmige Grundfläche aufgespannt wird.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that the holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) are arranged in a work positioning such that a substantially rectangular base surface is clamped. verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eines der Halteelemente (15, 16, 17, 18) das Werkstück zangenartig haltert.Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that at least one of the retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) holds the workpiece like a pliers. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (17, 18) in einer Übergabepositionierung mit Zuführöffnungen in einer radial nach außen weisenden Richtung des Plasmarades (2) angeordnet werden.Method according to one of claims 1 to 5, characterized in that the holding elements ( 17 . 18 ) in a transfer position with feed openings in a radially outward direction of the plasma wheel ( 2 ) to be ordered. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (17, 18) in einer Arbeitspositionierung mit ihren Zuführöffnungen in einer im wesentlichen quer zur radialen Richtung des Plasmarades (2) verlaufenden Orientierung positioniert werden.Method according to one of claims 1 to 6, characterized in that the holding elements ( 17 . 18 ) in a working position with their feed openings in a substantially transverse to the radial direction of the plasma wheel ( 2 ) orientation are positioned. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke dem Plasmarad von zangenartigen Halteelementen eines Eingaberades (11) zugeführt werden.Method according to one of claims 1 to 7, characterized in that the workpieces the Plasmarad of pliers-like holding elements of an input wheel ( 11 ). Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke im Bereich des Eingaberades (11) von gesteuerten zangenarmen gehaltert werden.Method according to claim 8, characterized in that the workpieces in the region of the input wheel ( 11 ) are held by controlled pincer arms. verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke von zangenartigen Halteelementen eines Ausgaberades (12) vom Plasmarad (2) entnommen werden.Method according to one of claims 1 to 9, characterized in that the workpieces of pliers-like holding elements of a delivery wheel ( 12 ) from the plasma bath ( 2 ). Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke im Bereich des Ausgaberades (12) von gesteuerten Zangen gehaltert werden.A method according to claim 10, characterized in that the workpieces in the region of the output wheel ( 12 ) are held by controlled tongs. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke im Bereich der Plasmastation (3) von federbelasteten zangenarmen gehaltert werden.Method according to claim 11, characterized in that the workpieces in the region of the plasma station ( 3 ) are held by spring-loaded gun arms. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwei der Halteelemente (15, 16, 17, 18) entlang des Umfanges des Plasmarades (2) nebeneinander angeordnet und relativ zueinander unbeweglich vom Plasmarad transportiert werden.Method according to one of claims 1 to 12, characterized in that two of the holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) along the circumference of the plasma bath ( 2 ) are arranged side by side and immobile relative to each other transported by Plasmarad. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zwei der Halteelemente (15, 16, 17, 18) relativ zum Plasmarad (2) zwischen einer Arbeitspositionierung und einer Übergabepositionierung hin- und herbewegt werden.Method according to one of claims 1 to 13, characterized in that two of the retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) relative to the plasma wheel ( 2 ) are reciprocated between a work positioning and a transfer position. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) in einer Übergabepositionierung gemeinsam entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) positioniert werden.Method according to one of claims 1 to 14, characterized in that the holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) in a transfer position along a circumference of the plasma bath ( 2 ). Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem Plasmarad (2) entnommene Werkstück entlang eines Umfanges des Ausgaberades (12) positioniert werden.Method according to one of claims 1 to 15, characterized in that from the plasma bath ( 2 ) taken workpiece along a circumference of the output wheel ( 12 ). Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke vor ihrer Übergabe zum Plasmarad (2) entlang eines Außenumfanges eines Eingaberades (11) angeordnet werden.Method according to one of claims 1 to 16, characterized in that the workpieces before their transfer to the plasma wheel ( 2 ) along an outer periphery of an input wheel ( 11 ) to be ordered. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstücke (5) im Bereich der Plasmastation (3) von einer in vertikaler Richtung positionierbaren Schiebehülse steuerbar gegenüber einer Umgebung abgeschirmt werden.Method according to one of claims 1 to 17, characterized in that the workpieces ( 5 ) in the region of the plasma station ( 3 ) are controllably shielded from a positionable in the vertical direction sliding sleeve against an environment. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) in einer vertikalen Richtung positioniert werden.Method according to one of claims 1 to 18, characterized in that the holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) are positioned in a vertical direction. Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, die von einem rotationsfähigen Plasmarad getragen ist sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist und bei der die Behandlungsstation mindestens zwei Halteelemente zur Positionierung der Werkstücke aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Halteelemente (15, 16, 17, 18) der Be handlungsstation in einer Arbeitspositionierung mit einem relativ zueinander unterschiedlichen radialen Abstand zu einer Rotationsachse (19) des Plasmarades (2) angeordnet sind.Apparatus for the plasma treatment of workpieces, which has at least one evacuatable plasma chamber for receiving the workpieces and in which the plasma chamber is arranged in the region of a treatment station, which is supported by a rotatable plasma wheel and wherein the plasma chamber of a chamber bottom, a chamber lid and a lateral chamber wall is limited and in which the treatment station has at least two holding elements for positioning of the workpieces, characterized in that at least two holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) of the loading treatment station in a work positioning with a relative to each other different radial distance to a rotation axis ( 19 ) of the plasma bath ( 2 ) are arranged. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) in radialer Richtung hintereinander angeordnet sind.Device according to claim 20, characterized in that the retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) are arranged one behind the other in the radial direction. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Behandlungsstation mindestens vier Halteelemente (15, 16, 17, 18) angeordnet sind.Apparatus according to claim 20 or 21, characterized in that in the region of the treatment station at least four holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) are arranged. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) in einer Arbeitspositionierung im wesentlichen die Grundfläche eines Rechteckes aufspannen.Device according to one of claims 20 to 22, characterized in that the holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) span in a work positioning substantially the base of a rectangle. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) zangenartig ausgebildet sind.Device according to one of claims 20 to 23, characterized in that the holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) are formed like a pliers. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) in einer Übergabepositionierung mit in radialer Richtung des Plasmarades (2) nach außen weisenden Zugangsöffnungen versehen sind.Device according to one of claims 20 to 24, characterized in that the retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) in a transfer position with in the radial direction of the plasma wheel ( 2 ) are provided outwardly facing access openings. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die in radialer Richtung des Plasmarades (2) in der Arbeitspositionierung innenliegend angeordneten Halteelemente (17, 18) in der Ar beitspositionierung quer zur radialen Richtung orientierte Zugangsöffnungen aufweisen.Device according to one of claims 20 to 25, characterized in that in the radial direction of the plasma wheel ( 2 ) in the work positioning arranged internally holding elements ( 17 . 18 ) in the Ar beitspositioning transverse to the radial direction oriented access openings. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß ein Eingaberad (11) mit zangenförmigen Halterungselementen für die an das Plasmarad (2) zu übergebenden Werkstücke versehen ist.Device according to one of Claims 20 to 26, characterized in that an input wheel ( 11 ) with forceps-shaped support elements for the plasma wheel ( 2 ) is provided to submit workpieces. Vorrichtung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß die zangenförmigen Halteelemente des Eingaberades (2) mit gesteuerten Zangenarmen versehen sind.Apparatus according to claim 27, characterized in that the pincer-like holding elements of the input wheel ( 2 ) are provided with controlled gun arms. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ausgaberad (12) mit zangenförmigen Halterungselementen für die aus dem Plasmarad (2) zu entnehmenden Werkstücke versehen ist.Device according to one of Claims 20 to 26, characterized in that an output wheel ( 12 ) with pliers-shaped support elements for the from the plasma bath ( 2 ) is provided to be removed workpieces. Vorrichtung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß die zangenförmigen Halteelemente des Ausgaberades (12) mit gesteuerten zangenarmen versehen sind.Apparatus according to claim 27, characterized in that the pincer-shaped holding elements of the delivery wheel ( 12 ) are provided with controlled gun arms. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (15, 16, 17, 18) im Bereich der Plasmastation (3) federnd verspannte Zangenarme (26, 27) aufweisen.Device according to one of claims 20 to 30, characterized in that the holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) in the region of the plasma station ( 3 ) spring-loaded pliers arms ( 26 . 27 ) exhibit. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß die in radialer Richtung des Plasmarades außen liegenden Halteelemente (15, 16) relativ zum Plasmarad (2) ortsfest angeordnet sind.Device according to one of claims 20 to 31, characterized in that in the radial direction of the plasma wheel outside lying holding elements ( 15 . 16 ) relative to the plasma wheel ( 2 ) are arranged stationary. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 32, dadurch gekennzeichnet, daß die in einer Arbeitspositionierung in radialer Richtung des Plasmarades (2) in nenliegenden Halteelemente (17, 18) relativ zum Plasmarad (2) ortsveränderlich angeordnet sind.Device according to one of claims 20 to 32, characterized in that in a working position in the radial direction of the plasma wheel ( 2 ) in nenliegenden holding elements ( 17 . 18 ) relative to the plasma wheel ( 2 ) are arranged spatially variable. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß die ortsveränderlichen Halteelemente (17, 18) derart auf dem Plasmarad geführt sind, daß in einer Übergabepositionierung alle Halteelemente (15, 16, 17, 18) entlang eines äußeren Umfanges des Plasmarades (2) angeordnet sind.Device according to one of claims 20 to 33, characterized in that the portable retaining elements ( 17 . 18 ) are guided on the plasma wheel such that in a transfer position all holding elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) along an outer periphery of the plasma bath ( 2 ) are arranged. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß die im Bereich des Ausgaberades (12) angeordneten Halteelemente hintereinander entlang eines Außenumfanges des Ausgaberades (12) angeordnet sind.Device according to one of claims 20 to 34, characterized in that in the region of the output wheel ( 12 ) arranged holding elements behind one another along an outer circumference of the output wheel ( 12 ) are arranged. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß die im Bereich des Eingaberades (11) angeordneten Halteelemente hintereinander entlang eines Außenumfanges des Ausgaberades (12) angeordnet sind.Device according to one of claims 20 to 34, characterized in that in the region of the input wheel ( 11 ) arranged holding elements behind one another along an outer circumference of the output wheel ( 12 ) are arranged. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 36, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) mindestens eine in einer vertikalen Richtung positionierbare Schiebehülse zur Abdichtung von bereitgestellten Kavitäten (4) gegenüber einer Umgebung aufweist.Device according to one of Claims 20 to 36, characterized in that the plasma station ( 3 ) at least one positionable in a vertical direction sliding sleeve for sealing cavities ( 4 ) to an environment. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einige der Halteelemente (15, 16, 17, 18) in einer vertikalen Richtung positionierbar geführt sind.Device according to one of claims 20 to 37, characterized in that at least some of the retaining elements ( 15 . 16 . 17 . 18 ) are positionally guided in a vertical direction.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5683729A (en) * 1993-08-26 1997-11-04 Sidel S.A. Apparatus for making containers by blow moulding plastic parisons
DE19810238A1 (en) * 1997-11-03 1999-05-06 Krupp Corpoplast Masch Preform transfer between heating and blowing wheels and transfer equipment for blow molding machine producing plastic containers
DE19906308A1 (en) * 1999-02-16 2000-08-17 Krupp Corpoplast Masch Preform holding arrangement on a blow molding machine, has a transporting system with carriers each with interlocking holders for two or more preforms
WO2003100121A2 (en) * 2002-05-24 2003-12-04 Schott Ag Multistation coating device and method for plasma coating
DE10224547A1 (en) * 2002-05-24 2003-12-04 Sig Technology Ltd Method and device for the plasma treatment of workpieces
DE10234374A1 (en) * 2002-07-27 2004-02-05 Sig Technology Ltd. Process for handling workpieces comprises transporting the workpieces on a rotating coupling wheel and transferring the workpieces between a retaining element and a reference station at different times

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5683729A (en) * 1993-08-26 1997-11-04 Sidel S.A. Apparatus for making containers by blow moulding plastic parisons
DE19810238A1 (en) * 1997-11-03 1999-05-06 Krupp Corpoplast Masch Preform transfer between heating and blowing wheels and transfer equipment for blow molding machine producing plastic containers
DE19906308A1 (en) * 1999-02-16 2000-08-17 Krupp Corpoplast Masch Preform holding arrangement on a blow molding machine, has a transporting system with carriers each with interlocking holders for two or more preforms
WO2003100121A2 (en) * 2002-05-24 2003-12-04 Schott Ag Multistation coating device and method for plasma coating
DE10224547A1 (en) * 2002-05-24 2003-12-04 Sig Technology Ltd Method and device for the plasma treatment of workpieces
DE10227637A1 (en) * 2002-05-24 2004-01-15 Sig Technology Ltd. Method and device for the plasma treatment of workpieces
DE10234374A1 (en) * 2002-07-27 2004-02-05 Sig Technology Ltd. Process for handling workpieces comprises transporting the workpieces on a rotating coupling wheel and transferring the workpieces between a retaining element and a reference station at different times

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