DE10204075B4 - Vorrichtung für Einrichtungen zur Bestimmung von Eigenschaften aufgebrachter Schichten - Google Patents
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Abstract
Vorrichtung
für Einrichtungen
zur Bestimmung von Eigenschaften aufgebrachter Schichten, gekennzeichnet
durch
1.1 ein drehbares Testglasmagazin (30) mit mehreren diskreten Testgläsern;
1.2 ein drehbares Schwingquarzmagazin (31) mit mehreren Schwingquarzen,
1.3 wobei das eine Magazin (z. B. 31) innerhalb des anderen Magazins (z. B. 30) angeordnet ist.
1.1 ein drehbares Testglasmagazin (30) mit mehreren diskreten Testgläsern;
1.2 ein drehbares Schwingquarzmagazin (31) mit mehreren Schwingquarzen,
1.3 wobei das eine Magazin (z. B. 31) innerhalb des anderen Magazins (z. B. 30) angeordnet ist.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
- Bei der Beschichtung von Substraten, beispielsweise von optischen Linsen und Gläsern, ist es wichtig, die Eigenschaften der aufgebrachten Schichten zu erfassen, z. B. um feststellen zu können, wann die Beschichtung zu beenden ist. Insbesondere Mehrfachbeschichtungen, die bei der Herstellung optischer hochwertiger Gegenstände wie Strahlenteiler, Farbkonversionsfilter, Kaltlicht- und Laserspiegel zum Einsatz kommen, erfordern hochpräzise Messeinrichtungen, um die Qualität und die Wiederholbarkeit der Beschichtungen zu gewährleisten. Die physikalischen Eigenschaften, welche die Qualität dünner Schichten definieren, sind im Wesentlichen die Transmission, die Reflexion, die Absorption, die Streuung, die thermische Stabilität und die Feuchtigkeitsfestigkeit sowie die Abriebfestigkeit und die Haftfähigkeit.
- Zur Dickenbestimmung und zur Messung der Beschichtungsrate, d. h. der pro Zeiteinheit aufgebrachten Schichtmasse, sind bereits Quarzoszillatoren bekannt, deren Quarz in ähnlicher Weise beschichtet wird wie das Substrat (
DE 31 20 443 C2 ). Durch die Beschichtung des Quarzes wird dessen Masse verändert, was wiederum einen Einfluss auf die Frequenz des Quarzoszillators hat. Die Frequenzänderung des Quarzoszillators ist somit ein Maß für die Dicke der niedergeschlagenen Schicht, während die Frequenzänderung pro Zeiteinheit als Maß für die Beschichtungsrate dienen kann. - Während die Beschichtungsrate relativ genau mittels eines Quarzoszillators ermittelt werden kann, ist die Messung der absoluten Schichtdicke mit Ungenauigkeiten behaftet, sodass hierfür andere Messmethoden, z. B. optische, bevorzugt werden. Bei den optischen Messmethoden wird die aufgetragene dünne Schicht mit einem Licht strahl angestrahlt und der reflektierte Strahl mit dem ein gestrahlten Strahl verglichen. Aus dem Verhältnis zwischen eingestrahltem und ausgestrahltem Lichtstrahl kann u. a. die Dicke der Schicht ermittelt werden.
- Es ist auch eine Einrichtung zur Bestimmung von Eigenschaften aufgebrachter Schichten bekannt, bei der eine optische Messung an einem Testglas ebenso wie eine Schwingquarz-Schichtdickenmessung erfolgt (
DE 43 14 251 A1 ). Die beiden Messvorrichtungen sind hierbei an ganz verschiedenen Orten angeordnet. - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine platzsparende Vorrichtung zu schaffen, mit welcher die Bestimmung der Eigenschaften einer Schicht mittels eines Quarzoszillators und einer zusätzlichen optischen Methode erfolgt.
- Diese Aufgabe wird von einer Vorrichtung mit den Merkmalen nach Patentanspruch, 1 gelöst.
- Die Erfindung betrifft somit eine Vorrichtung für Einrichtungen zur Bestimmung von Eigenschaften von dünnen Schichten, die auf Substrate aufgebracht werden. Diese Vorrichtung enthält zwei Wechselmagazine, wobei ein Magazin für Schwingquarze und das andere Magazin für Testgläser vorgesehen ist. Das Wechselmagazin für Schwingquarze hat die Form einer Scheibe und ist von dem ringförmigen Magazin für Testgläser umgeben. Beide können unabhängig voneinander gedreht werden. Mit Hilfe von Sensoren und Auswerteeinrichtungen kann jede Position der Magazine reproduziert werden. Somit ist es möglich, Mehrfachbeschichtungen vorzunehmen.
- Ein mit der Erfindung erzielter Vorteil besteht darin, dass sie bei einer Online-Prozessregelung oder bei der präzisen Ermittlung von Abschaltbedingungen während des Aufwachsens dünner Schichten zum Einsatz gelangen kann, um die Reflexion oder Transmission an Testgläsern oder am Substrat selbst zu messen.
- Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass mehrere Testgläser und mehrere Schwingquarze vorgesehen und in bestimmte Positionen gebracht werden können. Weiterhin ist von Vorteil, dass die Testgläser und die Schwingquarze leicht ausgetauscht werden können. Wird ein Testglasring statt mehrerer Einzeltestgläser eingesetzt, können die verschiedenen Positionen dieses Testglasrings reproduzierbar und wiederholt angefahren werden.
- Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
-
1 eine Beschichtungsanlage mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung; -
2 eine Seitenansicht der Vorrichtung; -
3 eine Ansicht auf die Unterseite der Vorrichtung; -
4 die Vorrichtung in einer perspektivischen Darstellung; -
5 eine Ansicht auf die Unterseite der Vorrichtung bei abgenommener Blende; -
6 eine vergrößerte Darstellung eines Lichtsenders und eines Lichtempfängers; -
7 einen Schnitt durch den unteren Bereich der Vorrichtung gemäß4 ; -
8 eine vergrößerte Darstellung eines Teils der Vorrichtung gemäß8 ; -
9 eine Explosionsdarstellung der Vorrichtung gemäß4 zur Erläuterung des Wechselns von Testgläsern; -
10 eine Explosionsdarstellung eines Teils der Vorrichtung gemäß9 zur Erläuterung des Wechselns von Schwingquarzen. - In der
1 ist eine Beschichtungsanlage1 dargestellt, die ein Gehäuse2 aufweist, in dem sich zwei Elektronenstrahlverdampfer3 ,4 und eine Plasmaquelle5 befinden. Die Elektronenstrahlen6 ,7 kommen aus nicht dargestellten Elektronenstrahlquellen und werden durch Magnetfelder so gekrümmt, dass sie auf das zu verdampfende Material in den Elektronenstrahlverdampfern3 ,4 treffen. - Das verdampfte Material gelangt nach oben und beschichtet Substrate, die sich auf Substratträgern
8 bis10 und55 befinden. Diese Substratträger8 bis10 und55 werden durch spezielle Vorrichtungen11 ,12 gehalten. In der Mitte der Substratträger8 bis10 bzw.55 befindet sich das untere Ende der Vorrichtung13 für Einrichtungen zur Bestimmung von Eigenschaften aufgedampfter Schichten. Dies bedeutet, dass gleichzeitig mit dem Substrat auch der untere Bereich der Vorrichtung13 beschichtet wird. Da der Ort, an dem sich dieser Bereich befindet, nicht identisch mit den Orten der Substrate ist, muss ein Umrechnungsfaktor herangezogen werden, um von der Dicke der auf der Vorrichtung befindlichen Schicht auf die Dicke der Schicht auf den Substraten zu schließen. - Die
2 zeigt die Vorrichtung13 noch einmal in Alleinstellung. Die Vorrichtung13 weist eine zylindrische Hülse14 , einen optischen Sender15 , einen optischen Empfänger16 sowie vier Verstärker17 bis20 für vier in2 nicht dargestellte Sensoren und eine Blendenscheibe21 auf. - Die Blendenscheibe
21 ist in einer Ansicht von unten in3 noch einmal dargestellt. Man erkennt hierbei, dass die Blendenscheibe21 zwei Durchbohrungen22 ,23 aufweist, wobei die Durchbohrung22 eine Glasplatte und die Durchbohrung23 einen Schwingquarz freigibt. Glasplatte und Schwingquarz sind in3 nicht zu erkennen. - Die
4 zeigt die Vorrichtung13 noch einmal in einer perspektivischen Ansicht und von der Seite. Man erkennt hierbei wieder die Blendenscheibe21 mit den zwei Durchbohrungen22 ,23 , der zylindrischen Hülse14 , dem optischen Sender15 , dem optischen Empfänger16 sowie den Verstärkern17 bis20 . Weiterhin erkennt man zwei Messverschiebevorrichtungen24 ,25 mit jeweils zwei Verstellschrauben zur x-y-Verstellung von Lichtleitern, von denen in der4 nur jeweils eine Verstellschraube26 ,27 dargestellt ist. Mit28 ,29 sind Wasseranschlüsse für den Hin- und Rücklauf von Kühlwasser bezeichnet. Mit Hilfe des Kühlwassers werden die Schwingquarze gekühlt. Das Testglas hat im Wesentlichen Substrattemperatur (max. 300°C). Es besteht eine weitgehende Isolation der Testgläser zu den Schwingquarzbereichen. - Die
5 zeigt eine Ansicht von unten auf die Vorrichtung13 , wobei die Blendenscheibe21 entfernt ist. Man erkennt hierbei einen äußeren Ring30 , der mit zwölf kreisrunden Öffnungen versehen ist, sowie eine innere, von dem Ring30 umgebene Scheibe31 , die vier kreisrunde Öffnungen aufweist. - In die Öffnungen des Rings
30 werden Testgläser eingelegt, während in die Öffnungen der Scheibe31 Schwingquarze eingelegt werden. Statt einzelner Testgläser kann auch ein geschlossener Testglasring eingesetzt werden, was weiter unten noch beschrieben ist. Der äußere Ring30 enthält somit Testgläser für eine optische Messmethode, während die innere Scheibe31 Schwingquarze für eine elektrische Messmethode enthält. Der äußere Ring30 und die innere Scheibe31 sind unabhängig voneinander drehbar. So kann jeder der vier Schwingquarze an die Durchbohrung23 und jedes der zwölf Testgläser an die Durchbohrung22 der Blendenscheibe21 gebracht werden. Wie der Drehmechanismus aussieht, ist in den weiter unten beschriebenen7 bis10 näher dargestellt. -
6 zeigt den optischen Sender15 und den optischen Empfänger16 in einer zum Vergleich mit2 vergrößerten Schnittdarstellung. Mit44 ist ein Lichtbündel bezeichnet, das aus Lichtleitfasern kommt, die in6 nicht dargestellt sind. Die Lichtleitfasern treten durch die obere Öffnung ein, verlaufen parallel zu und zwischen den Elementen33 ,34 und enden am unteren Ende der Buchse37 . Das Lichtbündel44 wird über eine Linse42 auf eine dünne Schicht46 auf einem Testglas47 geworfen, das sich in einer der Ausnehmungen im Ring30 befindet. Von dort wird das Lichtbündel44 als Lichtbündel45 reflektiert und gelangt über die Linse43 zu einem in einer Aufnahmebuchse38 befindlichen Lichtleiter, der es zu einer Auswerteeinrichtung weiterleitet, die nicht dargestellt ist. - Die
7 zeigt die Wechselvorrichtung13 gemäß4 , jedoch ohne den optischen Sender15 und Empfänger16 . - In der zylindrischen Hülse
14 befinden sich zwei elektrische Getriebemotoren60 ,61 , von denen der Getriebemotor61 über eine Aufnahmebuchse62 für ein Nadellager mit Freilauf und eine Welle63 das Schwingquarzmagazin64 mit vier Schwingquarzen dreht. Der andere Getriebemotor60 dreht über eine Welle65 , ein Antriebsrad66 und eine Buchse83 den Ring30 mit dem Testglas67 . Die Buchse83 und der Ring30 sind Teil einer Hohlwelle. Mit68 ist ein vakuumseitiger Stecker für vier Positionssensoren bezeichnet, von denen zwei Positionssensoren71 ,73 in der7 zu erkennen sind. Der Stecker68 wird in eine Vakuumdurchführung gesteckt. Atmosphärenseitig wird ein anderer Stecker in dieselbe Vakuumdurchführung gesteckt. Dieser Stecker stellt die Verbindung zwischen den Sensoren71 ,73 und den Verstärkern17 bis20 her. - Der untere Teil der
7 ist in der8 noch einmal vergrößert dargestellt. Man erkennt hierbei außer den Sensoren71 ,73 noch zwei weitere Sensoren70 ,77 . Die Sensoren71 ,73 dienen zur Erfassung der aktuellen Position und der Nullposition eines Testglases, während die Sensoren70 ,77 zur Erfassung der aktuellen Position und der Nullposition eines Schwingquarzes dienen. Bei den Sensoren70 handelt es sich um Infrarotlichtsensoren, die als Mikro-Lichtschranke dienen. - Wie man aus
8 erkennt, sind die Testgläser und die Schwingquarze in einer Ebene angeordnet. Damit wird eine abschattungsfreie Anordnung des Schwingquarzmagazins31 und des Rings30 mit den Testgläsern erreicht. Durch die Sensoren71 ,73 ;70 ,77 in Verbindung mit einer nicht dargestellten Auswerteschaltung ist es möglich, die einzelnen Positionen der Testgläser und der Schwingquarze zu lokalisieren. Es kann also ein Testglas in einer bestimmten Position mehrfach beschichtet werden. Diese Mehrfachnutzung eines Testglases in einer bestimmten Position bringt Vorteile hinsichtlich der Prozessdauer, da der Prozess zum Wechseln des Rings30 für Testgläser nicht unterbrochen werden muss. - Mit
75 ist eine Sechskantmutter bezeichnet, unter der sich fünf Tellerfedern50 befinden, um einen definierten Druck auf die darunter liegende Keramikscheibe auszuüben. Über der Mutter75 befindet sich eine weitere Mutter51 , welche die darüber liegende Kontaktmutter52 kontert. Mit76 ist eine Antriebswelle für das Schwingquarzmagazin31 und mit78 ein Testglas bezeichnet. An dem Testglas78 wird ein Lichtstrahl reflektiert. -
9 zeigt, wie die Testgläser ausgetauscht werden. Hierzu werden die Gewindestifte90 gelockert, eine Scheibe81 bis zum Ausklinken gedreht und dann abgehoben. Nun werden die Testgläser in den Bohrungen91 bis97 ausgetauscht. Die Scheibe81 wird sodann wieder aufgesetzt und bis zur Fluchtung gedreht. Drei Gewindestifte – in der9 ist nur ein Gewindestift90 dargestellt – werden nun angezogen. Mit82 ,83 sind Teile der Antriebshülse88 für das Testglasmagazin bezeichnet. Über dieser Antriebshülse88 befindet sich ein Sensorhalter84 , wobei die in der9 nicht sichtbaren Sensoren71 ,73 mittels Muttern85 ,86 mit dem Sensorhalter84 in Verbindung stehen. - Bei einer Variante des Testglasmagazins ist eine Vorrichtung mit einem inneren rohrförmigen Teil und einem äußeren rohrförmigen Teil vorgesehen, wobei die Höhe des inneren Teils größer als die des äußeren Teils ist. Ein Aufnahmering für Testgläser wird dann zwischen die beiden rohrförmigen Teile gelegt. Dieser Aufnahmering weist mehrere kreisrunde und äquidistante Aussparungen über dem Umfang auf. Auf diesen Aufnahmering wird sodann ein Testglasring gelegt, d. h. es werden keine kreisrunden Einzeltestgläser verwendet, sondern ein geschlossener Testglasring. Auf diesen Testglasring wird dann noch ein Andruckring gesetzt.
- In der
10 ist dargestellt, wie die Schwingquarze ausgetauscht werden. Es werden zwei Zylinderschrauben gelöst, von denen nur eine Zylinderschraube103 dargestellt ist. Hierauf wird die als Schwingquarzhalter dienende Scheibe31 abgezogen, die Quarze entfernt und neue Quarze eingelegt. Der Schwingquarzhalter31 wird sodann mit einem Grundkörper104 verschraubt.
Claims (14)
- Vorrichtung für Einrichtungen zur Bestimmung von Eigenschaften aufgebrachter Schichten, gekennzeichnet durch 1.1 ein drehbares Testglasmagazin (
30 ) mit mehreren diskreten Testgläsern; 1.2 ein drehbares Schwingquarzmagazin (31 ) mit mehreren Schwingquarzen, 1.3 wobei das eine Magazin (z. B.31 ) innerhalb des anderen Magazins (z. B.30 ) angeordnet ist. - Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das drehbare Testglasmagazin (
30 ) ringförmig ausgebildet ist. - Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Testglasmagazin (
30 ) ein Kreisring ist, der zwölf äquidistant angeordnete Testgläser aufweist. - Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die diskreten Testgläser durch einen geschlossenen Testglasring realisiert sind, der auf einer Blende mit entsprechenden Ausnehmungen liegt.
- Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die diskreten Testgläser durch Einzelgläser realisiert sind, die in entsprechende Aufnahmen im Testglasmagazin (
30 ) gelegt sind. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das drehbare Schwingquarzmagazin (
31 ) eine Scheibe ist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Schwingquarzmagazin (
31 ) vier äquidistant angeordnete Schwingquarze aufweist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass für die Bestimmung physikalischer Eigenschaften der aufgebrachten Schicht ein optischer Sender (
15 ) und ein optischer Empfänger (16 ) vorgesehen sind, wobei der optische Sender (15 ) einen Lichtstrahl (44 ) auf ein Testglas (47 ) wirft und der Empfänger (16 ) das von dem Testglas (47 ) reflektierte Licht empfängt. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass für die Bestimmung der Beschichtungsrate ein Quarzoszillator vorgesehen ist, dessen Quarz sich im Schwingquarzmagazin (
31 ) befindet. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Schwingquarzmagazin (
31 ) mittels eines Getriebemotors (61 ), der über eine Welle (63 ) mit dem Magazin (31 ) gekoppelt ist, drehbar ist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Testglasmagazin (
30 ) mittels eines Getriebemotors (60 ), einer Welle (65 ) mit einem Antriebsrad (66 ) und einer Buchse (88 ) drehbar ist. - Vorrichtung nach den Ansprüchen 10 und 11, dadurch gekennzeichnet, dass die dem Testglasmagazin (
30 ) zugeordnete Buchse (88 ) die dem Schwingquarzmagazin (31 ) zugeordnete Welle (63 ) umgibt. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Schwingquarzmagazin (
31 ) und das Testglasmagazin (30 ) als Wechselmagazine ausgebildet sind. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass jedem der beiden Magazine (
30 ,31 ) zwei Sensoren zugeordnet sind, von denen der eine Sensor zur Positionserkennung und der andere Sensor zur Nullpositionserkennung dient.
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