DE19515172C1 - Verfahren zur Abscheidung von farbigen Schichten auf Substrate und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Abscheidung von farbigen Schichten auf Substrate und Vorrichtung zur Durchführung des VerfahrensInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Regelung/Steuerung
der Abscheidung von farbigen Schichten auf
Substraten, mit dem automatisch vorgegebene Farbwerte
eingestellt werden können, und eine entsprechende
Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
Optische Meßverfahren werden in den letzten Jahren in
zunehmendem Maße zur Steuerung und Regelung von Be
schichtungsprozessen genutzt. Dabei konzentrieren
sich die Meßverfahren auf eine "passive Prozeßüber
wachung bzw. Qualitätskontrolle". Diese Verfahren
haben bei der Abscheidung von dielektrischen Viel
schichtsystemen in der Dünnschichtoptik (interfer
renzbasierte optische Funktionsschichten, Filter,
Spiegel, Strahlteile etc.) Verbreitung gefunden (H.
H. Bauer und E. Nüssler, SPIE Vol. 2253 (1994) 423).
Bei diesen bekannten Verfahren werden die Transmis
sions- und/oder Reflektionswerte der Schichten on-
line ermittelt und mit einem vorgegebenen Muster
(z. B. aus Modellrechnungen) verglichen. Die eigentli
che Prozeßregelung beschränkt sich dabei auf die Ein
haltung der vorgegebenen optischen Dicke der jeweilig
abzuscheidenden Einzelschichten des Vielschichtpake
tes. Das Funktionieren dieses Regelungskonzeptes
setzt aber voraus, daß nahezu keine Änderung der op
tischen Eigenschaften der jeweiligen Schichtmateria
lien während des gesamten Abscheidungsprozesses auf
treten. Dies ist jedoch mit einem erheblichen techno
logischen und somit auch finanziellen Aufwand verbun
den.
Ein weiteres Anwendungsgebiet für on-line-Meßverfah
ren ist die optische Emissionsspektroskopie. Sie wird
vorwiegend bei reaktiv geführten Beschichtungsverfah
ren (z. B. Sputterverfahren) oder auch Plasma-Ätzpro
zessen eingesetzt und dient dabei meist der Arbeits
punktstabilisierung bzw. der Endpunktbestimmung
(S. Schiller, U. Heisig, Chr. Korndörfer, J. Strümp
fel und V. Kirchhoff; Progress in the application of
Plasma Emission Monitor in Web Coating. Pres. at 2nd
Int. Conf. on Vac. Web Coating, Oct. 1988, Fort Lauder
dale, Florida, USA).
Insbesondere bei der Herstellung von farbigen Schich
ten auf Substraten z. B. durch Aufdampfen von zwei
Farbstoffen oder eines Farbstoffes und eines Dielek
trikums ist zusätzlich zu beachten, daß die optischen
Eigenschaften und somit die Farbkoordinaten von orga
nischen Farbstoff/Dielektrikum/Komposit-Schichten in
komplexer Weise von verschiedenen Prozeß- und vor
allem Schichtparametern beeinflußt wird.
Siehe hierzu S. Jäger, F. Neumann and C.-P. Klages,
"Investigation on the Preparation and Properties of
Organic Dye/Metal Oxide Composite Thin Films "SPIE
Vol. 2253 (1994) 512 sowie die DE 43 41 162, "Farbige
Schichten", S. Jäger, F. Neumann and C.-P. Klages.
So führen unterschiedliche Farbstoffkonzentrationen
im Composit aufgrund des "Dye-Size-Effektes" zu einer
Modifizierung der Absorption im sichtbaren Spektral
bereich. Ähnliche Erscheinungen sind auch bei der
gleichzeitigen Mischung verschiedener Farbstoffpig
mente untereinander und im Composit zu beobachten.
Die selektive Absorption bei derartigen Schichten
wird zusätzlich von Interferenzerscheinungen überla
gert. Zwar sind ihre Auswirkungen gering, so daß kei
ne grundlegende Änderung der Farbe eintritt, aber
dennoch sind sie im direkten visuellen Vergleich
sichtbar und deshalb nicht zu vernachlässigen. Daher
ist es bei der Herstellung von derartigen farbigen
Schichten nahezu unmöglich, einerseits die exakten
optischen Schichteigenschaften bzw. Farbwerte auf der
Grundlage von Modellrechnungen vorherzusagen, und an
dererseits einen mathematisch ausformulierten und
hinreichend genauen Regelalgorithmus zu generieren.
Ausgehend hiervon, ist es deshalb die Aufgabe der
vorliegenden Erfindung, für ein Herstellungsverfahren
von vorstehend beschriebenen farbigen Schichten auf
Substraten ein Regelkonzept und eine entsprechende
Vorrichtung anzugeben, mit dem es möglich ist, ein
fach, schnell und kostengünstig vorgegebene Farben zu
realisieren.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß in bezug auf das
Verfahren durch die kennzeichnenden Merkmale des An
spruches 1 und in bezug auf die Vorrichtung durch die
kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 8 gelöst. Die
Unteransprüche zeigen vorteilhafte Weiterbildungen
auf.
Erfindungsgemäß wird demnach so vorgegangen, daß die
gewünschte Farbe in Form von einem anvisierten Farb
wert (Soll-Farbwert) durch ein on-line-geregeltes
Schichtwachstum realisiert wird. Beim erfindungsgemä
ßen Regelkonzept wird dabei so vorgegangen, daß wäh
rend des Schichtwachstums laufend die Intensität ge
messen und in einem Rechner in Farbwerte umgewandelt
wird. Mit diesen Farb-Ist-Werten wird dann ein Ver
gleich mit dem in den Rechner eingegebenen Soll-Farb
wert vorgenommen. Der Rechner steuert dann in Abhän
gigkeit der gemessenen Ist-Farbwerte von den Soll-Farbwerten
die Verdampfereinheiten. Durch ein exakt
geregeltes an- und abschalten wird somit eine Annähe
rung an den Soll-Farbwert realisiert, bis dieser er
reicht ist. Das erfindungsgemäße Verfahren bietet
dabei folgende Vorteile:
- 1. Sicherstellung einer hohen Reproduzierbarkeit des Beschichtungsprozesses und somit der Schichteigenschaften (Farbwerte)
- 2. Allgemeingültiges Regelungskonzept; prinzipiell anwendbar auf alle selektiv absorbierenden Schichtmaterialien bzw. entsprechende Kombina tionen mit transparenten anorganischen Materia lien, bei denen die Farbwerte die eigentliche Zielgröße darstellen,
- 3. praktische Realisierung einer großen Variabili tät der erreichbaren Farbtöne,
- 4. On-line-Meßwerterfassung der eigentlich inter essierenden Größe (Zielgröße),
- 5. intelligentes System; das Regelungs- und Steue rungssystem ist selbständig und ohne Vorgabe eines definierten Prozeßablaufes in der Lage, die Zielgröße zu realisieren,
- 6. ein aufwendiges und kostenintensives Screening der anvisierten Farbwerte in Vorversuchen ent fällt,
- 7. das Verfahren benötigt keine weiteren aufwendi gen Meßsysteme und gestattet darüber hinaus, Prozeßschwankungen bzw. Toleranzen auszuglei chen,
- 8. es erlaubt die Realisierung einer homogenen, großflächigen Beschichtung durch die Implemen tierung gleichzeitig mehrerer optischer Meßstel len sowie entsprechend geformter Abschirmbleche.
Der Anwendungsbereich des erfindungsgemäßen Regelkon
zeptes erstreckt sich dabei auf alle Verfahren und
Prozesse, bei denen die Farbkoordinaten in Kombina
tion mit selektiv absorbierenden Materialien relevant
sind, wie z. B. bei der dekorativen Oberflächenverede
lung hochwertiger Konsumgüter von Uhren, Schmuckarti
keln, Brillenteilen, Lampen, Reflektoren oder Fil
tern.
Bevorzugt wird dabei das Verfahren so betrieben, daß
dem Rechner, außer den Sollwerten für die anzustre
bende Farbe, auch für jede abzuscheidende Farbe ein
Farbraum (Trajektoren), dessen Schranken durch empi
risch ermittelte Farbwerte festgelegt sind, vorgege
ben wird. Es hat sich nämlich gezeigt, daß es anson
sten zu unkorrigierbar falschen Farben kommen kann.
Die Ist-Farbwerte können sich dabei beliebig in dem
von den empirisch ermittelten Schranken aufgespannten
Farbgebiet bewegen. Bei dieser Ausführungsform dienen
einerseits die in kurzen Zeitabständen (wenigen Se
kunden) gemessenen Farbwerte vorerst der laufenden
Positionsbestimmung im Farbraum. Andererseits stellen
sie sicher, daß die genannten Trajektorien nicht
überschritten werden. Durch die laufende Positions
bestimmung kann man sich nun schrittweise an bzw.
zwischen diesen Grenzen bis zum Soll-Wert hintasten.
Dies ist günstiger, weil mit zunehmender Annäherung
an die Zielfarbe die Korrigierbarkeit immer kleiner
wird, also die Schranken immer enger werden, bis sie
sich in der Soll-Farbe treffen.
Wie vorstehend bereits ausgeführt, kann das erfin
dungsgemäße Regelungskonzept auf der Auswertung der
Transmission oder der Reflektionswerte basieren. Be
vorzugt ist es jedoch, wegen der einfachen Justage die
Transmissionswerte zu verwenden. Das erfindungsgemäße
Verfahren sieht auch bei Verwendung kompliziert ge
stalteter Bauteile bzw. lichtundurchlässiger Substra
te (z. B. metallische Substrate) vor, die Messung ent
weder auf einem Referenzsubstrat oder auch in Reflexion
vorzunehmen. Durch den Einsatz eines Referenzsy
stems ist es möglich, parasitäre Lichtschwankungen
der Lichtquelle sowie mitunter zeitlich veränderli
ches Störlicht innerhalb des Rezipienten (Strahlung
der Elektronenstrahlverdampfer, Streustrahlung, Un
tergrund) zuverlässig zu messen und für eine numeri
sche Korrektur der eigentlichen Transmissions- bzw.
Reflektionswerte bereitzustellen.
Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich vor allem
zur Herstellung von organischen Farbstoff-Dielektrik-Composit-Schichten,
wobei gleichzeitig mehrere ver
schiedene Farbstoffe in die dielektrische Matrix ein
gelagert werden können. Ein derartiges Verfahren ist
z. B. in der DE 43 41 162 beschrieben.
Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur
Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens.
Die Vorrichtung besteht aus mindestens einem Rezi
pienten, einer externen Lichtquelle, einem Detektor
und einem Rechner, wobei sowohl der Detektor wie auch
die Lichtquelle über Lichtleitkabel mit dem Rezipien
ten verbunden sind. Der Rechner seinerseits steht so
mit dem Rezipienten in Verbindung, daß die Verdamp
fereinheiten regelbar sind. Der Aufbau des Rezipien
ten als solches ist bereits aus dem Stand der Technik
bekannt. Bevorzugt wird bei der erfindungsgemäßen
Vorrichtung als Lichtquelle eine Kombination aus Deu
terium- und einer Halogenlampe eingesetzt. Es hat
sich weiterhin als günstig erwiesen, wenn das in den
Rezipienten der Vakuumsbeschichtungsanlage eingeführ
te Licht aus annähernd parallelen Lichtbündeln be
steht, die dann in einem Winkel von 0 bis 45° auf das
Substrat geführt sind. Besonders bevorzugt ist hier
bei ein Winkel < 10°. Das transmittierte bzw. re
flektierte Licht wird aus dem Rezipienten mittels
einer fokussierenden Optik auf den detektorseitigen
Lichtleiter abgebildet und in ein Detektorsystem,
bestehend aus Gittermonochromator und CCD-Array, ein
gekoppelt. Die Ansteuerung des Detektorsystems sowie
das Auslesen der Intensitätswerte kann über einen
Controller und eine entsprechende Software erfolgen.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorzüge der Erfin
dung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung
anhand der Zeichnungen sowie eines Ausführungsbei
spieles. Hierbei zeigen:
Fig. 1 den schematischen Aufbau einer Vorrichtung
zur Durchführung des Verfahrens,
Fig. 2a die Anordnung des optischen Meßsysteminre
zipienten und
Fig. 2b eine Anordnung nach Fig. 2a, jedoch mit ei
nem Referenzmeßkanal,
Fig. 3 das allgemeine Regelkonzept,
Fig. 4 den Nachweis der Wegeunabhängigkeit des
Regelungskonzeptes, und
Fig. 5 den Ablauf der Regelung im XY-Farbraum am
Beispiel der Abscheidung zweier Farbstoffe.
Fig. 1 zeigt den schematischen Aufbau einer Ausfüh
rungsform in bezug auf die Vorrichtung zur Durchfüh
rung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Die externe
Lichtquelle 1 und der Detektor 3 sind über Lichtleit
kabel 4, 5 mit dem Rezipienten 2 verbunden, indem die
Verdampfereinheiten 7 angeordnet sind. Bevorzugt wer
den dabei als externe Lichtquelle 3 eine Kombination
aus einer Deuterium- und Halogenlampe eingesetzt. Der
Aufbau des Rezipienten 2 entspricht dabei im wesent
lichen den bereits aus dem Stand der Technik bekann
ten Hochvakuumanlagen. Die Schichten werden dabei
mittels thermischer oder Elektronenstrahlverdampfung
aufgebracht. Ein zusätzlicher Ionenbeschuß während
des Schichtwachstums ist ebenfalls möglich.
Als Schichtmaterialien werden organische Farbstoffe
(z. B. Phthalocyanine, Perinone, Chinacridone, Pery
lenfarbstoffe etc.) sowie im sichtbaren Spektralbe
reich transparente anorganische Matrixmaterialien
(z. B. SiO₂, Al₂O₃, ZrO₂ sowie weitere Oxide, Nitride,
Oxynitride etc.) verwendet.
Die Verdampfer sind dabei so am Rezipienten 2 ange
ordnet, daß am Substrat 20 über einen Durchmesser von
5′′ . . . 6′′ eine homogene Beschichtung realisiert wird.
Über den Verdampfereinheiten können zusätzliche Abdeckblenden
(nicht abgebildet) angebracht werden, um einer
seits vor dem Verdampfungsprozeß stabile und reprodu
zierbare Bedingungen einstellen und andererseits eine
alternierende Beschichtung realisieren zu können.
Durch spezielle Schutzbleche werden die Quellen ge
geneinander abgeschirmt. Darüber hinaus sind mehrere
Sensorköpfe zur Überwachung und Regelung der Abscheideraten
der verschiedenen Verdampfungsmaterialien, deren
Schichtzusammensetzung sowie der entsprechenden
Schichtdicken installierbar.
Als Standardsubstrate eignen sich besonders Quarz,
Corning-Glas sowie verschiedene Metallunterlagen
(prinzipiell ist jedes Substrat verwendbar). Die Sub
strattemperatur läßt sich dabei in Abhängigkeit vom
verwendeten Substratmaterial von Zimmertemperatur bis
ca. 350°C variieren.
Der Detektor 3 in Fig. 1 steht dann seinerseits mit
dem Rechner 6, der hier aus einem Controller 8 und
einer entsprechenden Software 9 besteht, in Verbin
dung.
Fig. 2a und 2b zeigen zwei Ausführungsformen, wie das
optische Meßsystem im Rezipienten 2 angeordnet sein
kann. In der Ausführungsform nach Fig. 2a besteht der
Rezipient 2 aus einer Verdampfereinheit 7 und einem
Substrathalter 11 mit Substrat. Das von der externen
Lichtquelle 1 (nicht abgebildet) kommende Licht wird
über ein Lichtleitkabel 5 und eine Durchführung 13 in
den Rezipienten 2 eingekoppelt. Es ist hierbei bevor
zugt, wenn mehrere verschiedene Quarzlichtleitfasern
verwendet werden. Durch eine spezielle Optik 10 wird
ein nahezu paralleles Strahlenbündel erzeugt und in
einem Winkel von ca. 8° auf das zu beschichtende Sub
strat 11 geführt. Das während des Schichtwachstums
vom Substrat 11 transmittierte Licht wird in einen
Meßkanal 15 geleitet, der seinerseits über eine
Durchführung 14 über das Lichtleitkabel 4 mit dem
Detektor 3 (nicht abgebildet) verbunden ist.
Fig. 2b zeigt nun eine Ausführungsform analog Fig. 2a,
jedoch mit einem zusätzlichen Referenzkanal 16. Der
Referenzkanal 16 steht seinerseits über eine Durch
führung 17 ebenfalls mit dem Detektor 3 in Verbin
dung. Dadurch ist es möglich, parasitäre Lichtschwan
kungen der Lichtquelle sowie mitunter zeitlich ver
änderliches Störlicht innerhalb des Rezipienten 2 zu
verlässig zu messen und für eine numerische Korrektur
der eigentlichen Transmissionswerte bereitzustellen.
Die Referenzquarzfaser 19 ist dabei ähnlich dem Meß
kanal 15 innerhalb des Rezipienten 2 positioniert.
Fig. 3 zeigt nun das allgemeine Regelkonzept mit den
entsprechenden organisatorischen und zeitlichen Zu
sammenhängen. Dabei bedeuten: SM Schichtmaterial
(z. B. organischer Farbstoff auch in Kombination mit
transparenten Metalloxyden) und XYZ-Lab die Farbmaß
zahlen, nach dem CIELab-Farbsystem. Die
Realisierung eines derartigen Regelkonzeptes ist des
halb möglich, weil die farbliche Auswirkung einer
aufzubringenden Schicht in hinreichend kleinen Gren
zen gut abschätzbar ist und durch die Kombination
zweier oder mehrerer Schichtkomponenten (z. B. ver
schiedene Farbstoffe, unterschiedliche Composite), in
einem bestimmten Bereich der Farbtafel, nahezu jede
Farbe erreichbar ist. Es hat sich weiter gezeigt, daß
eine Farbe innerhalb dieses Bereiches auch auf ver
schiedenen Wegen zu erreichen ist (vgl. Fig. 4). Auch
kann in gewissen Schranken eine bereits erzielte Far
be in eine andere korrigiert werden. Voraussetzung
hierbei ist allerdings ein häufiger Soll-Ist-Ver
gleich und somit eine hohe Dynamik des Meßsystems.
Fig. 5 zeigt den Ablauf der Regelung im XY-Farbraum
am Beispiel der Abscheidung zweier Farbstoffe. Hier
bei wurde als konkretes Ziel vorgegeben, durch die
Mischung zweier beliebiger Farbstoffe (hier blau und
gelb) einen definiert vorgegebenen Farbeindruck
(grün) in der abgeschiedenen Schicht zu realisieren
(Soll-Wert).
Es wurde dabei wie folgt vorgegangen:
- 1. Evakuieren des Rezipienten
- 2. Vorheizen der beiden thermischen Verdampferschiff chen bei geschlossener Abdeckblende bis zur Sublima tion der Pigmente
- 3. Inbetriebnahme des optischen Meßsystems
- 4. Eingabe der Farbkoordinaten der anzustrebenden Schichtfarbe, d. h. der zu realisierenden Farbe grün sowie des zulässigen Farbgebietes (Lage der Schranken, Trajektorien)
- 5. Beginn der Beschichtung (Öffnung der Abdeckblenden und der optischen in-situ-Messung
- 6. Beginn der automatischen Prozeßregelung entspre chend dem Regelkonzept nach Fig. 3.
Die eingegebenen Farbwerte in bezug auf die Zielfarbe
sowie die Schranken der Trajektorien sind aus Fig. 5
zu erkennen. Die Zielfarbe (Soll-Wert) ist durch den
Pfeil mit der Bezeichnung "Ziel" markiert. Die jewei
ligen Trajektorien für die Einzelfarben sind durch
entsprechende Geraden symbolisiert. Erfindungsgemäß
werden dabei unter den Farbwerten Farbmaßzahlen im
XYZ- oder CIELab-Farbraum nach DIN 5033 verstanden.
Wie Fig. 5 zeigt, bewegt man sich durch die gleichzei
tige Abscheidung der beiden Farbstoffe ungefähr auf
die Zielfarbe zu. Dabei ist es nicht erforderlich,
ein festes Konzentrationsverhältnis für die beiden
Materialien technologisch einzuhalten. Die Farbwerte
können sich dabei beliebig in dem von den empirisch
ermittelten Schranken aufgespannten Farbgebiet bewe
gen. Einerseits dienen die in kurzen Zeitabständen
gemessenen Farbwerte vorerst der laufenden Positions
bestimmung im Farbraum. Andererseits stellen sie si
cher, daß die genannten Trajektorien nicht über
schritten werden, da die Farbe sonst unkorrigierbar
falsch werden könnte. Durch die laufende Positions
bestimmung kann man sich nun schrittweise an bzw.
zwischen diese Grenzen bis zum Soll hintasten. Soll
te, wie in Fig. 5 dargestellt, sich der Farbwert der
Schicht zu stark den Trajektorien (in diesem Beispiel
zu viel gelb) nähern, wird die thermische Verdampfung
des Gelbfarbstoffes vorerst mittels Abdeckblenden oder vor
übergehendem Abschalten des Verdampfers unterbunden
(Schaltpunkt). Die Farbwerte bewegen sich nun bis zum
Erreichen der Zielgröße auf oder parallel zu der Tra
jektorie. Sollte sich nun durch unvorhergesehene
technische Störungen der Farbwert von der Schranke
wegbewegen, so würde die Regelung von vorne beginnen.
Mit Erreichen des Trajektorienschnittpunktes ist dann
die Vorgabe erfüllt und der Prozeß wird beendet.
Das Ende der Beschichtung ist dann erreicht.
Für das vorstehend beschriebene Beispiel wurden fol
gende Werte erhalten.
In zahlreichen Versuchen hat es sich gezeigt, daß die
Sollwerte ohne weitere Optimierung des Prozesses
durch Einsatz des vorstehend beschriebenen Regelungs
konzeptes gut reproduziert werden. Es konnten im vi
suellen Vergleich keine Unterschiede beobachtet wer
den. Die nach DIN 6175 berechnete Genauigkeit der
Farbreduzierbarkeit Ea,b erreicht dabei einen Wert von
1,1 und ist mit industriellen Reparaturlackierungen
vergleichbar.
Claims (13)
1. Verfahren zur Abscheidung von farbigen Schichten
auf Substraten mit einem Rezipienten im Vakuum
durch gleichzeitiges Aufdampfen mindestens zwei
er organischer, verdampfbarer bzw. sublimierba
rer Farbstoffe oder eines Dielektrikums und min
destens eines Farbstoffes, aus getrennten Auf
dampfquellen (Verdampfungseinheiten),
dadurch gekennzeichnet,
- a) daß Licht aus einer externen Lichtquelle in den Rezipienten eingekoppelt und auf das Substrat geführt wird,
- b) daß während des Schichtaufbaus das trans mittierte und/oder reflektierte Licht aus dem Rezipienten in einen Detektor geführt wird,
- c) daß der Detektor mit einem Rechner ver knüpft wird, in den die Intensitätswerte in Farb-Ist-Werte umgewandelt werden,
- d) daß der Rechner die Verdampfereinheiten in Abhängigkeit der Farb-Ist-Werte von einem dem Rechner eingegebenen Farb-Soll-Wert regelt, bis dieser erreicht ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß für die aufzubrin
genden Farbstoffe über empirisch ermittelte
Schranken, in Form von Farbwerten, zulässige
Farbbereiche dem Rechner vorgegeben werden, die
von den Farb-Ist-Werten nicht überschritten wer
den dürfen.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung über
das transmittierte Licht erfolgt.
4. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1
bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich ein Re
ferenzsystem eingesetzt wird.
5. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1
bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß als Licht beim Ver
fahrensschritt A ein nahezu paralleles Strahlen
bündel eingesetzt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß das parallele Strah
lenbündel in einem Winkel von 0 bis ca. 45° auf
das Substrat geführt wird.
7. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1
bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß das transmittierte
und/oder reflektierte Licht mittels einer fokus
sierenden Optik aus dem Rezipienten geführt
wird.
8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach
mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7,
bestehend aus einem Rezipienten (2), einer ex
ternen Lichtquelle (1), einem Detektor (3) und
einem Rechner (6).
9. Vorrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle eine
Kombination aus einer Deuterium- und Halogenlam
pe ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampferein
heit (7) im Rezipienten (2) vom Rechner (6)
regelbar/steuerbar ist.
11. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche
8 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die parallele Aus
richtung des Strahlenbündels mittels einer Optik
erfolgt.
12. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche
8 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß das transmittierte
und/oder reflektierte Licht mittels einer fokus
sierenden Optik auf den detektorseitigen
Lichtleiter abbildbar und in den Detektor (3)
einkoppelbar ist.
13. Vorrichtung nach mindestens einem oder Ansprüche
8 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (3)
aus einem Gittermonochromator und einem CCD-Ar
ray besteht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995115172 DE19515172C1 (de) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | Verfahren zur Abscheidung von farbigen Schichten auf Substrate und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995115172 DE19515172C1 (de) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | Verfahren zur Abscheidung von farbigen Schichten auf Substrate und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19515172C1 true DE19515172C1 (de) | 1996-06-13 |
Family
ID=7760313
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995115172 Expired - Fee Related DE19515172C1 (de) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | Verfahren zur Abscheidung von farbigen Schichten auf Substrate und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19515172C1 (de) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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