DE10202275B4 - Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler - Google Patents

Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler Download PDF

Info

Publication number
DE10202275B4
DE10202275B4 DE10202275A DE10202275A DE10202275B4 DE 10202275 B4 DE10202275 B4 DE 10202275B4 DE 10202275 A DE10202275 A DE 10202275A DE 10202275 A DE10202275 A DE 10202275A DE 10202275 B4 DE10202275 B4 DE 10202275B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
loop
pattern
scale
absolute position
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE10202275A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10202275A1 (de
Inventor
Kouji Sasaki
Yoshiaki Shiraishi
Nobuyuki Hayashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Publication of DE10202275A1 publication Critical patent/DE10202275A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10202275B4 publication Critical patent/DE10202275B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
    • G01D5/2086Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by movement of two or more coils with respect to two or more other coils
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F5/00Coils
    • H01F5/003Printed circuit coils

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler
• mit einem Maßstab (10) und einem Lesekopf (20), die relativ zueinander entlang einer Messachse X bewegbar sind,
• wobei der Lesekopf (20) einen magnetischen Flusssensor (22, 24) aufweist
• und wobei der Maßstab mehrere Maßstabsschleifen aufweist,
• wobei jede Maßstabsschleife einen ersten Schleifenbereich (12), einen zweiten Schleifenbereich (14) und einen Anschlussmusterbereich (16), der den ersten und den zweiten Schleifenbereich miteinander verbindet, umfasst, und
• wobei die ersten Schleifenbereiche (12) in Abständen entlang der Messachse X angeordnet sind, die einer ersten Wellenlänge λ1 entsprechen, und die zweiten Schleifenbereiche (14) in Abständen entlang der Messachse X angeordnet sind, die einer zweiten Wellenlänge λ2, die sich von der ersten Wellenlänge λ1 unterscheidet, entsprechen,
• wobei die ersten und zweiten Schleifenbereiche (12, 14) Musterbreiten A und die Anschlussmusterbereiche (16) eine Musterbreite B aufweisen,
• und wobei sich zumindest ein Teil der Musterbreiten A...

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Absolutpositionswandler des elektromagnetisch induktiven Typs, in dem eine Änderung der Signalstärke in Abhängigkeit von Positionen auf einem Maßstab gering ist. Genauer gesagt, die vorliegende Erfindung betrifft einen elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler mit einem Maßstab mit mehreren Skalenschleifen, die als Spulen dienen, wobei jede Skalenschleife einen Satz Schleifenbereiche mit zumindest zwei Schleifenbereichen aufweist, die entlang einer Messachse unter unterschiedlichen Wellenlängenintervallen angeordnet sind, um mehrere entlang der Messachse unter unterschiedlichen Wellenlängen angeordnete Bahnen zu bilden, und mit einem Anschlussmusterbereich, der die beiden entsprechenden Schleifenbereiche miteinander verbindet. Der elektromagnetisch induktive Absolutpositionswandler ist vorteilhaft in einer elektronischen Schieblehre, einer elektronischen Mikrometerschraube, einem Anzeigeinstrument, einem linearen Maßstab, einem Linearmessgerät und dergleichen verwendbar.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Der Anmelder dieser Erfindung hat in der japanischen ungeprüften Patentoffenlegungsschrift 2000-180209 (eingereicht auf der Grundlage der US-Patentanmeldung 09/213,268) einen elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler mit N (N ≥ 2) Bahnen mit unterschiedlicher Wellenlänge vorgeschlagen. Wie in 10 gezeigt ist, besitzt der vorgeschlagene Wandler einen Maßstab 10 und einen Lesekopf 20, die relativ zueinander entlang einer Messachse X bewegbar sind. Der Lesekopf 20 umfasst zumindest einen magnetischen Flusssensor (Aufnahmespulen 22 und 24). Der Maßstab 10 weist mehrere geschlossene Kopplungsschleifen (im weiteren Maßstabsschleifen) auf, die sich entlang der Messachse erstrecken. Die Maßstabsschleifen fungieren als Spulen. Jede der Maßstabsschleifen umfasst einen ersten Schleifenbereich 12, einen zweiten Schleifenbereich 14 und einen Anschlussmusterbereich 16, der den ersten und den zweiten Schleifenbereich miteinander verbindet. Die ersten Schleifenbereiche 12 sind in Abständen entlang der Messachse angeordnet, die einer ersten Wellenlänge λ1 entsprechen. Die zweiten Schleifenbereiche 14 sind in Abständen angeordnet, die einer zweiten Wellenlänge λ2, die sich von der ersten Wellenlänge λ1 unterscheidet, entsprechen.
  • In 10 gibt eine Ansteuerschaltung 30 selektiv ein zeitlich veränderliches Ansteuersignal an eine erste Übertragungsspule 26 oder an eine zweite Übertragungsspule 28 aus. Eine Verstärkerschaltung 32 verstärkt Signale aus den Aufnahmespulen 22 und 24. Ein Berechnungselement 34 nimmt eine A/D-Wandlung an einem Ausgangssignal der Verstärkerschaltung 32 vor und berechnet eine absolute Position aus dem Phasenunterschied zwischen den Bahnen.
  • In 10 sind die ersten Schleifenbereiche 12 auf einer Seite der zweiten Schleifenbereiche 14 angeordnet. Die ersten Schleifenbereiche 12 können abwechselnd an beiden Seiten der zweiten Schleifenbereiche 14 angeordnet sein, wie dies in 11 dargestellt ist.
  • 12 zeigt vergrößert 0-te und n-te erste Schleifenbereiche 12 und die zweiten Schleifenbereiche 14 in den Maßstabsschleifen aus 10 im verbundenen Zustand. 13 zeigt die Änderung der Signalgröße mit Bezug zur Länge der Maßstabsschleife (im weiteren als Maßstabslänge bezeichnet). Wie in den 12 und 13 gezeigt ist, ist in dem Absolutpositionswandler des elektromagnetisch induktiven Typs nach dem Stand der Technik der Anschlussmusterbereich 16, der die Schleifenbereiche (den ersten Schleifenbereich 12 und den zweiten Schleifenbereich 14) jeder Maßstabsschleife in dem Maßstab 10 verbindet, länger wenn die Skalenlänge größer ist. Wenn daher die Musterbreiten der Maßstabsschleifen (Musterbreiten A der ersten und zweiten Schleifenbereiche, und Musterbreite B der Anschlussmuster 16) entlang der Messachse konstant gehalten werden, wie in 12 gezeigt ist, wird ein Ausgangssignal des Lesekopfs 20 in der Größe bzw. Stärke reduziert, wie dies durch die durchgezogene Linie A in 14 angedeutet ist, wenn die Skalenlänge größer wird. Das heißt, das Ausgangssignal des Lesekopfes wird in seiner Größe verringert, wenn sich der Lesekopf von der Position der Skalenschleife mit der kürzesten Länge des Anschlussmusterbereichs (im weiteren als 0-te Skalenschleife bezeichnet) wegbewegt. Hierbei wird das Maßstabsmuster der 0-ten Maßstabsschleife als kürzestes Anschlussmuster bezeichnet.
  • Wenn die Signalgröße sich in Abhängigkeit von der Maßstabsposition ändert, wie dies zuvor beschrieben ist, ist der Einstellbereich der Lücke zwischen dem Maßstab und dem Lesekopf unvermeidlich zu verengen, um eine ausreichende Signalgröße sicherzustellen, selbst wenn die Signalgröße verringert ist. Daher muss die Genauigkeit der Komponenten und des Montageprozesses verbessert werden. Wie vom Anmelder der Erfindung in der US-Patentanmeldung 09/804,300 vorgeschlagen, kann die Nachweisempfindlichkeit nicht hoch eingestellt werden, im Falle dass eine fehlerhafte Funktion beispielsweise wegen dem Lesekopf oder aufgrund einer Unterbrechung des Maßstabs basierend auf der Signalgröße detektiert wird.
  • Die DE 10049368 A1 betrifft einen Positionswandler mit positionsabhängiger Amplitudenkodierung. Dieses Dokument offenbart eine erste und zweite Vielzahl von Kopplungsschleifen, wobei jede der ersten und zweiten Vielzahl von Kopplungsschleifen einen ersten Schleifenbereich und einen zweiten Schleifenbereich einschließt. Die ersten Schleifenbereiche haben alle dieselbe Größe. Die zweiten Schleifenbereiche ändern fortschreitend ihre interne Fläche in einer Richtung über die Länge der Skala.
  • ÜBERBLICK ÜBER DIE ERFINDUNG
  • Die Erfindung wurde erdacht, um die Probleme des Stands der Technik zu lösen. Es ist eine Aufgabe der Erfindung, einen elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler bereitzustellen, in dem eine Ausgangssignaländerung in Abhängigkeit von Positionen auf dem Maßstab gering ist.
  • Um die oben genannte Aufgabe der Erfindung zu erfüllen, wird ein elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler bereitgestellt mit einem Maßstab mit mehreren Maßstabsschleifen, die als Spulen dienen, wobei die Maßstabsschleife einen zwei Schleifenbereiche umfassenden Satz von Schleifenbereichen aufweist, die entlang einer Messachse unter unterschiedlichen Wellenlängenabständen angeordnet sind, um mehrere Bahnen, die entlang der Messachse unter unterschiedlichen Wellenlängen angeordnet sind, zu bilden, und wobei die Maßstabsschleife einen Anschlussmusterbereich aufweist, der zwei entsprechende Schleifenbereiche miteinander verbindet.
  • In dem elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler ändert sich zumindest ein Teil der Musterbreiten, die die Maßstabsschleifen bilden, in Übereinstimmung mit der Länge des Anschlussmusterbereichs (im weiteren als Anschlussmusterlänge bezeichnet). Mit einer derartigen Anordnung wird verhindert, dass eine Änderung der Signalgröße aufgrund einer Änderung der Anschlussmusterlänge auftritt.
  • In dem oben genannten elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler ist bevorzugt, dass mindestens ein Teil der Musterbreiten graduell anwachsend sein kann, wenn die Anschlussmusterlänge mit Bezug zu einem kürzesten Anschlussmuster länger wird.
  • Ferner wird erfindungsgemäß ein Positionsmessgerät bereitgestellt, in dem der oben genannte elektromagnetisch induktive Absolutpositionswandler verwendet ist.
  • In dem elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler und dem Positionsmessgerät, das den erfindungsgemäßen Wandler verwendet, ist im Maßstabsmuster, wo die Schleifenbereiche unter konstanten Abständen (im Stand der Technik sind die ersten Schleifenbereiche unter dem Abstand λ1 und die zweiten Schleifenbereiche mit dem Abstand λ2 angeordnet) angeordnet sind, zumindest ein Teil der Musterbreite, die die Maßstabsschleife bildet, abhängig von der Anschlussmusterlänge, ohne dass die Abstände und die Schleifenmittelpunktabstände der ersten und zweiten Schleifenbereiche geändert sind. Beispielsweise ist zumindest ein Teil der Musterbreiten schrittweise (graduell) ansteigend, in dem Maße, wie sich die Anschlussmusterlänge mit Bezug zu dem kürzesten Anschlussmuster (in diesem Beispiel die 0-te Skalenschleife: wird auch als eine Maßstabsspule bezeichnet) größer wird. Gemäß dieser Ausbildung kann das Maß der Abschwächung der Signalstärke aufgrund des Anwachsens der Maßstabslänge in der Art, wie dies durch die durchgezogene Linie A in 14 gekennzeichnet ist, durch Vergrößern des Stromflusses durch die Maßstabsschleife kompensiert werden. Damit kann verhindert werden, dass eine Abschwächung der Signalstärke in Abhängigkeit eines Anwachsens der Anschlussmusterlänge auftritt, wobei die Größe bzw. Stärke des Ausgangssignals des Lesekopfes konstant gehalten werden kann, wie dies durch die durchgezogene Linie B in 14 gezeigt ist.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Draufsicht, die ein Maßstabsmuster eines elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers gemäß einer ersten erfindungsgemäßen Ausführungsform zeigt;
  • 2 ist eine vergrößerte Ansicht eines wesentlichen Bereichs der Maßstabsschleifen aus 1;
  • 3 ist ein Graph, der ein Beispiel der sich ändernden Musterbreite in Abhängigkeit von der Maßstabsposition in der ersten Ausführungsform zeigt;
  • 4A ist eine vergrößerte Draufsicht, die ein Maßstabsmuster eines elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers gemäß einer zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform zeigt;
  • 4B ist eine vergrößerte Draufsicht, die ein weiteres Beispiel eines Maßstabsmusters des elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers gemäß der zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform zeigt;
  • 5 ist eine vergrößerte Draufsicht, die ein Maßstabsmuster eines elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers gemäß einer dritten erfindungsgemäßen Ausführungsform zeigt;
  • 6 ist eine vergrößerte Draufsicht, die ein Maßstabsmuster eines elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers entsprechend einer vierten erfindungsgemäßen Ausführungsform zeigt;
  • 7 ist eine vergrößerte Draufsicht, die ein Maßstabsmuster eines elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers gemäß einer fünften erfindungsgemäßen Ausführungsform zeigt;
  • 8 ist ein Graph, der ein Beispiel der Abhängigkeit der Lücke zwischen dem Lesekopf und dem Maßstab und der Signalstärke zeigt;
  • 9 ist eine Draufsicht, die eine weitere Ausführungsform des Maßstabsmusters eines elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 10 ist eine Draufsicht, die die Ausgestaltung des elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers nach dem Stand der Technik zeigt;
  • 11 ist eine Draufsicht, die ein modifiziertes Maßstabsmuster aus 10 zeigt;
  • 12 ist eine teilweise vergrößerte Ansicht einer Maßstabsschleife aus 10;
  • 13 ist ein Graph, der die Änderung der Signalstärke mit Bezug zur Maßstabsschleifenlänge im Stand der Technik zeigt; und
  • 14 ist ein Graph, der den sich ändernden Zustand einer Signalstärke in Abhängigkeit von der Maßstabsposition im Stand der Technik und in der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Im Folgenden werden erfindungsgemäße Ausführungsformen detailliert mit Bezug zu den begleitenden Zeichnungen beschrieben.
  • 1 ist eine Draufsicht, die ein Maßstabsmuster eines elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandlers gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. 2 ist eine vergrößerte Ansicht, die 0-te und n-te Skalenmuster vergrößert zeigt. Der elektromagnetisch induktive Absolutpositionswandler gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung besitzt den gleichen Aufbau wie der Wandler nach dem Stand der Technik, der in 10 oder 11 gezeigt ist, mit Ausnahme der Musterbreite der Maßstabsschleife. Im Wandler gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung, in den 1 und 2 gezeigt, sind die Musterbreiten des ersten Schleifenbereichs 12 und des zweiten Schleifenbereichs 14 der Reihe nach um αn mit Bezug zu der 0-ten Maßstabsschleife, die das kürzeste Anschlussmuster ist, vergrößert, so dass die Musterbreite der n-ten Maßstabsschleife gleich A + αn ist. Hierbei sind die Musterbreiten des ersten Schleifenbereichs 12 und des zweiten Schleifenbereichs 14 an der 0-ten Maßstabsschleife gleich A und die Musterbreite des Anschlussmusterbereichs 16 an der 0-ten Maßstabsschleife ist gleich B. Das heißt, der durch die Maßstabsschleife fließende Strom wird durch Vergrößern der Musterbreiten der Maßstabsschleifen vergrößert, wenn die Maßstabslänge größer wird. Indem dies auf diese Weise durchgeführt wird, wird das Maß der Abschwächung der Signalstärke in Abhängigkeit von dem Anwachsen der Maßstabslänge, wie dies durch eine durchgezogene Linie A in 14 gezeigt ist, durch den Anstieg des in der Maßstabsschleife fließenden Stroms komplementiert bzw. kompensiert. Folglich wird verhindert, dass die Abschwächung der Signalstärke in Abhängigkeit des Anstiegs der Anschlussmusterlänge auftritt, und, wie durch eine durchgezogene Linie B in 14 gezeigt ist, die Größe des Ausgangssignals des Lesekopfes kann konstant gehalten werden.
  • Ein Beispiel der Musterbreite A + αn in der ersten Ausführungsform ist in 3 gezeigt, in der die Musterbreite linear angenähert ist durch die Funktion f1(n) = A + αn.
  • In der ersten Ausführungsform sind die Breiten des ersten Schleifenbereichs 12 und des zweiten Schleifenbereichs 14 anwachsend. Damit kann die Signalgröße durch einen relativ geringen Vergrößerungsbetrag der Musterbreite (oder durch einen relativ kleinen Wert αn) gewährleistet werden.
  • 4A zeigt einen elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform sind, wie in 4A gezeigt ist, lediglich die Breiten des ersten Schleifenbereichs 12 und des zweiten Schleifenbereichs 14 in der Richtung der Messachse X der Reihe nach durch Xn (> αn) vergrößert, so dass die Breite der n-ten Maßstabsschleife gleich A + Xn ist.
  • Gemäß der zweiten Ausführungsform kann die Signalgröße ohne Vergrößern der Musterbreiten in der Richtung senkrecht zur Messachse X bewahrt werden.
  • Im Gegensatz dazu können, wie in 4B gezeigt ist, nur die Breiten des ersten Schleifenbereichs 12 und des zweiten Schleifenbereichs 14 in der Richtung senkrecht zu der Messachse X der Reihe nach um Xn (> αn) vergrößert sein, so dass die Breite der n-ten Maßstabsschleife gleich A + Xn ist. Mit einer derartigen Ausgestaltung kann die Signalgröße gewährleistet werden, ohne die Musterbreiten in der Richtung der Messachse X zu vergrößern.
  • 5 zeigt einen elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der dritten erfindungsgemäßen Ausführungsform sind, wie in 5 gezeigt ist, nur die Breiten des ersten Schleifenbereichs 12 der Reihe nach um βn (= f2(n) > αn) vergrößert, so dass die Breite der n-ten Maßstabsschleife gleich A + βn ist.
  • Gemäß der dritten Ausführungsform kann die Signalgröße gewährleistet werden, ohne die Musterbreiten der zweiten Schleifenbereiche 14 und der Anschlussmusterbereiche 16 zu ändern.
  • 6 zeigt einen elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der vierten erfindungsgemäßen Ausführungsform sind, wie in 6 gezeigt ist, nur die Breiten der zweiten Schleifenbereiche 14 der Reihe nach um βn (= f2(n) > αn) vergrößert, so dass die Breite der n-ten Maßstabsschleife gleich A + βn beträgt.
  • Gemäß der vierten Ausführungsform kann die Signalgröße bewahrt werden, ohne die Musterbreiten der ersten Schleifenbereiche 12 und der Anschlussmusterbereiche 16 zu ändern.
  • 7 zeigt einen elektromagnetisch induktiven Absolutpositionswandler gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der fünften erfindungsgemäßen Ausführungsform sind, wie in 7 gezeigt ist, die Breiten aller ersten Schleifenbereiche 12, der zweiten Schleifenbereiche 14 und der Anschlussmusterbereiche 16 der Reihe nach um γn (= f3(n) < αn) vergrößert, so dass die Musterbreiten des ersten Schleifenbereichs 12 und des zweiten Schleifenbereichs 14 gleich A + γn sind, und die Musterbreite des Anschlussmusterbereichs 16 der n-ten Maßstabsschleife B + γn beträgt.
  • Gemäß der fünften Ausführungsform kann der Betrag zur Vergrößerung der Musterbreite minimiert werden.
  • In allen zuvor beschriebenen Ausführungsformen sind die Muster der Ausführungsformen unabhängig verwendet. Alternativ können die Muster der Ausführungsformen in Kombination entsprechend der Maßstabsposition verwendet sein. Beispielsweise kann ein Maßstabsmuster so gestaltet sein, dass die Musterbreite in Richtung der Messachse der zentralen Seitenschleifenbereiche der Reihe nach anwachsen, während die Musterbreiten in der Richtung senkrecht zu der Messachse von Schleifenbereichen an der äußeren Seite der Reihe nach anwachsen. 9 zeigt ein Maßstabsmuster, in dem die ersten Schleifenbereiche 12 abwechselnd an beiden Seiten der zweiten Schleifenbereiche 14 angeordnet sind. In einem derartigen Maßstabsmuster sind die Musterbreiten in Richtung senkrecht zu der Messachse der ersten Schleifenbereiche 12 (Außenseiteschleifenbereiche) der Reihe nach um Cn (> αn) vergrößert, so dass die Musterbreiten der n-ten Maßstabsschleife A + Cn beträgt. Die Musterbreiten in der Richtung der Messachse der zweiten Schleifenbereiche 14 (zentralen Schleifenbereiche) sind der Reihe nach um Cn (> αn) vergrößert, so dass die Musterbreiten der n-ten Maßstabsschleife A + Cn betragen. Mit einer derartigen Ausgestaltung kann verhindert werden, dass die Störung der benachbarten Spulen, die durch Vergrößern der Musterbreiten in Richtung senkrecht zu der Messachse der zentralen Schleifenbereiche hervorgerufen wird, entsteht. Ferner wird verhindert, dass die Außenseitenschleifenbereiche aus der Breite des Maßstabssubstrats herausragen, was durch Vergrößern der Musterbreiten in Richtung der Messachse der Außenseitenschleifenbereiche hervorgerufen wird.
  • In allen Ausführungsformen kann die Signalgröße, die nur in einem zentralen Bereich im Stand der Technik erhalten wird, in allen Maßstabspositionen erhalten werden. Im Stand der Technik ist ferner der zulässige Bereich für die Lücke zwischen dem Lesekopf und dem Maßstab beschränkt, wie dies durch die Zone D in 8 gekennzeichnet ist, entsprechend zur Änderungsbreite C der Signalstärke, die sich in Abhängigkeit von der Maßstabsposition von der durchgezogenen Linie B (der zentrale Bereich) zu der durchgezogenen Linie A (den Endbereichen) ändert. Wenn im Gegensatz dazu die Erfindung angewendet wird, wird die Signalgröße so erhalten, wie dies durch die durchgezogene Linie B gekennzeichnet ist, unabhängig von der Maßstabsposition, und damit kann der zulässige Bereich der Lücke erweitert werden, wie dies durch die Zone E angezeigt ist.
  • In allen Ausführungsformen beträgt die Anzahl der Bahnen gleich zwei und es ist eine Zweiphasen-Aufnahmespule ausgebildet. Die Anwendbarkeit der vorliegenden ist jedoch nicht darauf beschränkt. Die Erfindung kann ebenfalls auf einen Wandler mit drei oder mehr Bahnen oder einer Einphasen-Aufnahmespule angewendet werden.
  • Die Erfindung kann auf die Gesamtheit von Positionsmessinstrumenten angewendet werden, die einen Absolutpositionswandler verwenden, der von der elektromagnetisch induktiven Art ist, und der Bahnen zweier oder mehr Wellenlängen aufweist, etwa wie in einer elektronischen Schiebelehre, einer elektronischen Mikrometerschraube, einem Indikator, einem linearen Maßstab und einem Linearmessgerät. Der Wandler kann auch einzeln verwendet werden.
  • Erfindungsgemäß kann die gleiche Signalstärke wie im zentralen Bereich unabhängig von der Maßstabsposition erhalten werden, und damit kann der Einstellbereich für die Lücke erweitert werden, wie dies mit Bezug zu 8 beschrieben ist. Da die Signalstärke unabhängig von der Maßstabsposition konstant ist, kann die Verstärkungseinstellung (etwa automatische Verstärkungseinstellung) einer Verstärkerschaltung in einfacher Weise durchgeführt werden, so dass die Signalstärke in der Mitte des optimalen Bereichs für die Signalgröße liegt. Ferner kann die Genauigkeit stabil gehalten werden. Ferner kann im Falle, dass eine Fehlbedienung aufgrund beispielsweise des Lesekopfes oder einer Unterbrechung des Maßstabs auf der Grundlage der Signalstärke detektiert wird, wie dies vom Anmelder der Erfindung in der US-Patentanmeldung 09/804,300 vorgeschlagen wird, das Entscheidungskriterium enger als im Stand der Technik festgelegt werden. Daher kann selbst eine geringe Änderung der Genauigkeit präzise mit hoher Empfindlichkeit nachgewiesen werden.
  • Bezugszeichenliste
  • 10
    Änderungsbereich der Signalstärke in Abhängigkeit von der Maßstabsposition im Stand der Technik
    1
    Bereich der optimalen Signalstärke
    2
    Verhalten der Signalstärke nach Anwendung der Erfindung
    3
    Lücke zwischen Lesekopf und Maßstab
    4
    zulässiger Bereich für die Lücke gemäß der Erfindung
    5
    zulässiger Bereich für die Lücke im Stand der Technik
    6
    Signalstärke
    30
    Ansteuerschaltung
    34
    Berechnungselement
    32
    Verstärkerschaltung

Claims (7)

  1. Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler • mit einem Maßstab (10) und einem Lesekopf (20), die relativ zueinander entlang einer Messachse X bewegbar sind, • wobei der Lesekopf (20) einen magnetischen Flusssensor (22, 24) aufweist • und wobei der Maßstab mehrere Maßstabsschleifen aufweist, • wobei jede Maßstabsschleife einen ersten Schleifenbereich (12), einen zweiten Schleifenbereich (14) und einen Anschlussmusterbereich (16), der den ersten und den zweiten Schleifenbereich miteinander verbindet, umfasst, und • wobei die ersten Schleifenbereiche (12) in Abständen entlang der Messachse X angeordnet sind, die einer ersten Wellenlänge λ1 entsprechen, und die zweiten Schleifenbereiche (14) in Abständen entlang der Messachse X angeordnet sind, die einer zweiten Wellenlänge λ2, die sich von der ersten Wellenlänge λ1 unterscheidet, entsprechen, • wobei die ersten und zweiten Schleifenbereiche (12, 14) Musterbreiten A und die Anschlussmusterbereiche (16) eine Musterbreite B aufweisen, • und wobei sich zumindest ein Teil der Musterbreiten A und/oder der Musterbreiten B in Abhängigkeit von der Länge des Anschlussmusterbereichs (16) ändert, so dass eine Abschwächung der Stärke des Ausgangssignals des Lesekopfs (20) in Abhängigkeit eines Anwachsens der Länge des Anschlussmusterbereichs (16) verhindert wird.
  2. Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler nach Anspruch 1, wobei zumindest ein Teil der Musterbreiten graduell anwachsend ist, wenn die Länge des Anschlussmusterbereichs (16) mit Bezug zu einem Anschlussmusterbereich mit kürzester Länge größer wird.
  3. Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler nach Anspruch 2, wobei die Musterbreiten A des Satzes von Schleifenbereichen (12, 14) graduell anwachsend sind.
  4. Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler nach Anspruch 3, wobei die Musterbreiten A ausschließlich in Richtung senkrecht zu der Messachse X des Satzes von Schleifenbereichen (12, 14) graduell anwachsend sind.
  5. Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler nach Anspruch 2, wobei die Musterbreiten A ausschließlich eines Schleifenbereiches des Satzes von Schleifenbereichen (12, 14) graduell anwachsend sind.
  6. Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler nach Anspruch 2, wobei die Musterbreiten A des Satzes von Schleifenbereichen (12, 14) und die Musterbreiten B des Anschlussmusterbereiches (16) graduell anwachsend sind.
  7. Positionsmessgerät, in dem ein elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6 verwendet ist.
DE10202275A 2001-01-22 2002-01-22 Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler Expired - Lifetime DE10202275B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001-013066 2001-01-22
JP2001013066A JP4172918B2 (ja) 2001-01-22 2001-01-22 電磁誘導型絶対位置トランスデューサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10202275A1 DE10202275A1 (de) 2002-09-05
DE10202275B4 true DE10202275B4 (de) 2011-06-16

Family

ID=18879985

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10202275A Expired - Lifetime DE10202275B4 (de) 2001-01-22 2002-01-22 Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6628115B2 (de)
JP (1) JP4172918B2 (de)
CN (1) CN1211635C (de)
DE (1) DE10202275B4 (de)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3842099B2 (ja) 2001-10-12 2006-11-08 株式会社ミツトヨ 磁気式エンコーダ
US6720760B2 (en) * 2001-11-14 2004-04-13 Mitutoyo Corporation Induced current position transducers having improved scale loop structures
JP2005345375A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Mitsutoyo Corp 電磁誘導式absエンコーダ
US7116098B1 (en) * 2006-02-16 2006-10-03 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration System providing limit switch function with simultaneous absolute position output
DE102006044570A1 (de) * 2006-09-21 2008-04-03 Atmel Duisburg Gmbh Integrierte Schaltungsanordnung und integrierte Schaltung
US20090121022A1 (en) * 2007-11-08 2009-05-14 Teng Hong-Chun Cleaning Structure for an Induction Reader
CN101308019B (zh) * 2008-07-11 2010-12-08 武汉利德测控技术股份有限公司 一种用于位置检测的电子坐标尺
CN101806575B (zh) * 2010-04-24 2012-04-25 上海交通大学 组合编码式涡流栅绝对位置传感器
JP5798397B2 (ja) * 2011-07-22 2015-10-21 株式会社ミツトヨ 電磁誘導式絶対位置測定用エンコーダ
JP5809479B2 (ja) * 2011-08-03 2015-11-11 株式会社ミツトヨ 電磁誘導式絶対位置測定用エンコーダ
JP6057680B2 (ja) * 2012-11-20 2017-01-11 三菱重工工作機械株式会社 電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法
CN103322898B (zh) * 2013-06-05 2016-01-13 上海交通大学 具有自校准功能的涡流栅传感器及自校准方法
EP2846126B1 (de) * 2013-09-04 2015-09-16 Bogen Electronic GmbH Messvorrichtung und Verfahren zum Messen der Position von Körpern
US9733317B2 (en) * 2014-03-10 2017-08-15 Dmg Mori Seiki Co., Ltd. Position detecting device
CN105333891A (zh) * 2014-08-08 2016-02-17 上海联影医疗科技有限公司 编码装置、编码方法及医疗病床
US9618366B2 (en) * 2014-11-25 2017-04-11 Mitutoyo Corporation Absolute encoder scale configuration with unique coded impedance modulations
EP3442987A4 (de) 2016-03-18 2019-11-06 Department of Biotechnology Multifunktionale chemische mittel und verfahren zur proteinmodifikation
US10775199B2 (en) * 2016-08-24 2020-09-15 Mitutoyo Corporation Winding and scale configuration for inductive position encoder
US10520335B2 (en) * 2016-08-24 2019-12-31 Mitutoyo Corporation Winding configuration for inductive position encoder
US10612943B2 (en) * 2016-08-24 2020-04-07 Mitutoyo Corporation Winding and scale configuration for inductive position encoder
DE102017204871A1 (de) * 2017-04-19 2018-10-25 Robert Bosch Gmbh Energiesparendes Positionsbestimmungsverfahren
JP7118627B2 (ja) * 2017-12-01 2022-08-16 株式会社ミツトヨ 電磁誘導式位置検出装置
JP6970640B2 (ja) * 2018-04-13 2021-11-24 株式会社ミツトヨ 電磁誘導式エンコーダ
CN109323646B (zh) * 2018-11-13 2024-06-14 阿斯科纳科技(深圳)有限公司 一种应用于直线电机矢量控制的位置传感器系统
JP7328121B2 (ja) * 2019-11-07 2023-08-16 株式会社ミツトヨ スケール
US11181395B2 (en) 2020-03-23 2021-11-23 Mitutoyo Corporation Transmitter and receiver configuration for inductive position encoder
US11067414B1 (en) 2020-03-23 2021-07-20 Mitutoyo Corporation Transmitter and receiver configuration for inductive position encoder
US11169008B2 (en) 2020-03-23 2021-11-09 Mitutoyo Corporation Transmitter and receiver configuration for inductive position encoder
US11713983B2 (en) 2021-06-30 2023-08-01 Mitutoyo Corporation Sensing winding configuration for inductive position encoder
US12072213B2 (en) 2022-08-31 2024-08-27 Mitutoyo Corporation Inductive position encoder utilizing slanted scale pattern
US12072212B2 (en) 2022-08-31 2024-08-27 Mitutoyo Corporation Inductive position encoder utilizing transmissive configuration

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000180209A (ja) * 1998-12-17 2000-06-30 Mitsutoyo Corp オフセットを減少させた高精度誘導電流型絶対位置トランスデュ―サ及び絶対位置決定方法
DE10049368A1 (de) * 1999-10-05 2001-04-26 Mitutoyo Corp Positionswandler mit positionsabhängiger Amplitudenkodierung
US20020030484A1 (en) * 2000-03-13 2002-03-14 Mitutoyo Corporation Position measuring device and error detecting method for the same, and electromagentic induction position detecting device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0737882B2 (ja) * 1986-03-13 1995-04-26 東芝機械株式会社 磁気スケ−ル
US5886519A (en) * 1997-01-29 1999-03-23 Mitutoyo Corporation Multi-scale induced current absolute position transducer
EP1151248B1 (de) * 1999-02-05 2004-04-14 HORST SIEDLE GmbH &amp; Co. KG. Weg- und/oder winkelaufnehmer mit mäanderförmiger messwicklung

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000180209A (ja) * 1998-12-17 2000-06-30 Mitsutoyo Corp オフセットを減少させた高精度誘導電流型絶対位置トランスデュ―サ及び絶対位置決定方法
US6329813B1 (en) * 1998-12-17 2001-12-11 Mitutoyo Corporation Reduced offset high accuracy induced current absolute position transducer
DE10049368A1 (de) * 1999-10-05 2001-04-26 Mitutoyo Corp Positionswandler mit positionsabhängiger Amplitudenkodierung
US20020030484A1 (en) * 2000-03-13 2002-03-14 Mitutoyo Corporation Position measuring device and error detecting method for the same, and electromagentic induction position detecting device

Also Published As

Publication number Publication date
JP4172918B2 (ja) 2008-10-29
CN1367370A (zh) 2002-09-04
CN1211635C (zh) 2005-07-20
JP2002213906A (ja) 2002-07-31
US20020097043A1 (en) 2002-07-25
US6628115B2 (en) 2003-09-30
DE10202275A1 (de) 2002-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10202275B4 (de) Elektromagnetisch induktiver Absolutpositionswandler
DE68903402T2 (de) Dehnungsmesser.
EP2530475B1 (de) Vorrichtung zur Messung eines durch ein elektrisches Kabel fliessenden Stroms
EP0061520B2 (de) Magnetkernloser Messwandler zum berührungslosen Messen eines Messstromes
EP1110094B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur bildung eines oder mehrerer magnetfeldgradienten durch einen geraden leiter
DE4208154C2 (de) Magnetischer Sensor
EP1158276A1 (de) Induktiver Positionssensor
DE10049368A1 (de) Positionswandler mit positionsabhängiger Amplitudenkodierung
DE10111949A1 (de) Magnetische Detektorvorrichtung
DE112009000497T5 (de) Ursprungspositions-Signaldetektor
DE102005052688A1 (de) Magnetfeldsensor mit einer Messbrücke mit MR-Sensor
DE102018114015A1 (de) Stromsensor
DE69925353T2 (de) Induktiver Positionsgeber mit hoher Genauigkeit und reduziertem Offset
EP2459971B1 (de) Verfahren zur herstellung eines magnetischen sensorelements
DE10138908B4 (de) Magnetische Erfassungsvorrichtung
EP1527324B1 (de) Magnetoresistiver sensor
EP2302328A1 (de) Positionsmesseinrichtung mit sich mehrfach kreuzender Senderwindungsanordnung
DE10251887A1 (de) Induktionsstrom-Positionsmeßwertgeber
DE102010000745A1 (de) Kalibrierungsmuster für Bildvorrichtung
DE19800444B4 (de) Magnetisches Erfassungsgerät
DE69129347T2 (de) Magnetoresistiver Sensor
DE102011106940A1 (de) Positionsmesseinrichtung mit Randkompensation
DE102004063245A1 (de) Magnetischer Detektor
DE9212159U1 (de) Anordnung zur Geometrieerfassung mit Hall-Elementen
DE10333249B4 (de) Magnetische Erfassungsvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
R020 Patent grant now final

Effective date: 20110917

R071 Expiry of right