DE102021205152A1 - Schleifverfahren für ein verbundenes werkstück, das durch ein verbinden von transparenten komponenten oder semitransparenten komponenten erhalten wird - Google Patents

Schleifverfahren für ein verbundenes werkstück, das durch ein verbinden von transparenten komponenten oder semitransparenten komponenten erhalten wird Download PDF

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Abstract

Ein Schleifverfahren beinhaltet einen Schritt des Abbildens eines verbundenen Werkstücks durch eine Kamera auf eine solche Weise, dass der Außenumfang eines Werkstücks und der Außenumfang einer Tragekomponente mit einem größeren Durchmesser als derjenige des Werkstücks vor einem Schritt eines Tragens der Tragekomponente des verbundenen Werkstücks durch eine Halteoberfläche enthalten ist. Das Schleifverfahren beinhaltet auch einen Schritt eines Erkennens des Außenumfangs der Tragekomponente und des Außenumfangs des Werkstücks auf der Basis der Helligkeitsdifferenz zwischen einander benachbarten Pixeln in einer aufgenommenen Abbildung und einen Schritt eines Erkennens der Mitte der Tragekomponente aus dem erkannten Außenumfang der Tragekomponente und eines Erkennens der Mitte des Werkstücks aus dem erkannten Außenumfang des Werkstücks.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schleifverfahren eines verbundenen Werkstücks, das durch ein Verbinden zweier transparenter Komponenten oder halbtransparenter Komponenten miteinander erhalten wird, und eine Schleifvorrichtung des verbundenen Werkstücks.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Wie beispielsweise im japanischen offengelegten Patent Nr. 2009-123790 offenbart, detektiert eine Schleifvorrichtung, die ein Werkstück wie beispielsweise einen Halbleiterwafer mit einem abrasiven Stein schleift, den Außenumfang des Werkstücks und erkennt die Mitte des Werkstücks auf der Basis des detektierten Außenumfangs, bevor das Werkstück mit einer Oberfläche, an der ein Band angehaftet ist, in einen Einspanntisch befördert wird. Dann veranlasst die Schleifvorrichtung, dass die Mitte einer Halteoberfläche der Mitte des Werkstücks entspricht, veranlasst die Halteoberfläche, das Werkstück zu halten, und schleift das Werkstück mit dem abrasiven Stein.
  • Beim Schleifen von Lithiumtantalat (LiTaO3) einer transparenten Komponente oder einer halbtransparenten Komponente, die ein Werkstück ist, durch einen abrasiven Stein, besteht ein solches Problem, dass sich verdünntes Lithiumtantalat verbiegt und bricht, wenn ein Band an einer Oberfläche des Lithiumtantalats haftet und das Lithiumtantalat in dem Zustand geschliffen wird, in dem die Seite der einen Oberfläche gehalten wird. Um also zu verhindern, dass sich das verdünnte Lithiumtantalat biegt, wird das Lithiumtantalat anstelle des Klebebandes mit einem Substrat (Tragekomponente) aus einem harten Material wie beispielsweise transparentem oder halbtransparentem Glas verbunden und das Lithiumtantalat geschliffen, wobei die Substratseite gehalten wird.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Bei einem verbundenen Werkstück, das durch ein Verbinden einer Tragekomponente und von Lithiumtantalat miteinander erhalten wird, weicht die Mitte der Tragekomponente leicht von der Mitte des Lithiumtantalats ab. Daher weist das Lithiumtantalat einen kleineren Durchmesser als derjenige der Tragekomponente auf, um zu verhindern, dass das Lithiumtantalat von der Tragekomponente vorsteht, selbst, wenn sie miteinander verbunden sind und ihre Mittelpunkte leicht voneinander abweichen.
  • Um den Dickenunterschied des durch Schleifen verdünnten Lithiumtantalats zu verringern, ist außerdem am Außenumfang des Lithiumtantalats eine Kerbe oder Orientierungsabflachung, die die Kristallorientierung anzeigt, ausgebildet, und in der Tragekomponente ist eine Markierung, die die Kristallorientierung anzeigt, nicht ausgebildet. Außerdem wird veranlasst, dass die Mitte des Lithiumtantalats der Mitte einer Halteoberfläche entspricht, und es wird veranlasst, dass die Halteoberfläche das verbundene Werkstück hält. Das Lithiumtantalat wird dann mit einem abrasiven Stein geschliffen und dünn ausgestaltet. Das heißt, die Mitte der Halteoberfläche entspricht in einigen Fällen nicht der Mitte der Tragekomponente zum Zeitpunkt des Schleifens. Ferner ist die Tragekomponente größer als die Halteoberfläche, damit ermöglicht wird, dass die Halteoberfläche von der Tragekomponente abgedeckt werden kann, um ein Vakuumleck zu verhindern.
  • In dem Fall, in dem eine Markierung, die die Kristallorientierung anzeigt, in dem Lithiumtantalat ausgebildet ist, könnte die Tragekomponente geringfügig größer als die Halteoberfläche sein, und beim Schleifen könnte veranlasst werden, dass die Halteoberfläche das verbundene Werkstück hält, wobei die Mitte der Tragekomponente dazu gebracht wird, der Mitte der Halteoberfläche zu entsprechen.
  • Somit ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Schleifverfahren und eine Schleifvorrichtung bereitzustellen, die ein selektives Umschalten zwischen dem Fall, in dem die Mitte einer Tragekomponente dazu gebracht wird, der Mitte einer Halteoberfläche eines Einspanntisches zu entsprechen, und dem Fall, in dem die Mitte eines Lithiumtantalats, das ein Werkstück ist, dazu gebracht wird, der Mitte der Halteoberfläche zu entsprechen, ermöglicht, wenn veranlasst wird, dass die Halteoberfläche ein verbundenes Werkstück hält, das durch ein Verbinden zweier transparenter Komponenten oder semitransparenter Komponenten miteinander erhalten wird.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Schleifverfahren eines verbundenen Werkstücks zum Schleifen eines Werkstücks des verbundenen Werkstücks durch einen abrasiven Stein bereitgestellt. Das verbundene Werkstück wird durch ein Verbinden von mindestens zwei transparenten Komponenten oder halbtransparenten Komponenten, beinhaltend das Werkstück und eine Tragekomponente, miteinander erhalten. Das Werkstück ist eine kreisförmige Platte ist und transparent oder halbtransparent. Die Tragekomponente ist eine kreisförmige Platte mit einer solchen Größe, dass sie von dem Außenumfang des Werkstücks nach außen vorsteht, und ist transparent oder halbtransparent. Das Schleifverfahren weist auf: einen Abbildungsschritt eines Abbildens des verbundenen Werkstücks durch eine Kamera auf eine solche Weise, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente enthalten sind, und einen Außenumfangs-Erkennungsschritt eines Erkennens des Außenumfangs der Tragekomponente und des Außenumfangs des Werkstücks basierend auf der Helligkeitsdifferenz zwischen einander benachbarten Pixeln in einer durch ein Abbilden des verbundenen Werkstücks in dem Abbildungsschritt erhaltenen aufgenommenen Abbildung. Das Schleifverfahren beinhaltet auch einen Mittenerkennungsschritt eines Erkennens der Mitte der Tragekomponente aus dem Außenumfang der in dem Außenumfangserkennungsschritt erkannten Tragekomponente und eines Erkennens der Mitte des Werkstücks aus dem Außenumfang des in dem Außenumfangserkennungsschritt erkannten Werkstücks, einen Halteschritt eines Veranlassens, dass eine Halteoberfläche eines Einspanntisches die Tragekomponente des verbundenen Werkstücks nach einem Ausführen des Mittenerkennungsschritts hält, und einen Schleifschritt eines Schleifens des Werkstücks des in dem Halteschritt gehaltenen verbundenen Werkstücks durch den abrasiven Stein. Das Werkstück wird in dem Schleifschritt geschliffen, nachdem wahlweise ein Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche die Tragekomponente auf eine solche Weise hält, dass veranlasst wird, dass eine Mitte der Halteoberfläche der Mitte der Tragekomponente entspricht, oder ein Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche die Tragekomponente auf eine solche Weise hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche der Mitte des Werkstücks entspricht, in dem Halteschritt ausgeführt wird.
  • Bevorzugt beinhaltet der Abbildungsschritt einen Übergangsplatzierungsschritt eines vorübergehenden Platzierens des verbundenen Werkstücks an einem Übergangsplatzierungstisch derart, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente von dem Übergangsplatzierungstisch vorstehen. Ferner wird in dem Abbildungsschritt Licht von der unteren Seite des verbundenen Werkstücks zu der oberen Seite von einer Beleuchtungseinrichtung emittiert, die unterhalb des vorübergehend am Übergangsplatzierungstisch platzierten verbundenen Werkstücks angeordnet ist, und das verbundene Werkstück wird durch die Kamera, die so angeordnet ist, dass sie zur Beleuchtungseinrichtung gerichtet ist, in einer solchen Weise abgebildet, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente enthalten sind.
  • Bevorzugt wird im Abbildungsschritt das verbundene Werkstück von der Kamera derart abgebildet, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente in dem von einer Beförderungseinheit, die das verbundene Werkstück zu der Halteoberfläche befördert, gehaltenen verbundenen Werkstück enthalten sind.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Schleifvorrichtung bereitgestellt, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Tragekomponente eines verbundenen Werkstücks durch eine Halteoberfläche hält. Das verbundene Werkstück wird durch ein Verbinden von mindestens zwei transparenten Komponenten oder halbtransparenten Komponenten, enthaltend ein Werkstück und die Tragekomponente, miteinander erhalten. Das Werkstück ist eine kreisförmige Platte ist und transparent oder halbtransparent. Die Tragekomponente ist eine kreisförmige Platte mit einer solchen Größe, dass sie von dem Außenumfang des Werkstücks nach außen vorsteht und transparent oder halbtransparent ist. Die Schleifvorrichtung weist auch eine Schleifeinheit, die mit einem abrasiven Stein das Werkstück des von der Halteoberfläche gehaltenen verbundenen Werkstücks schleift, eine Beförderungseinheit, die das verbundene Werkstück zu der Halteoberfläche des Einspanntisches befördert, um zu veranlassen, dass die Halteoberfläche das verbundene Werkstück hält, eine Kamera, die das verbundene Werkstück abbildet, und eine Steuerungseinheit auf, die zumindest den Einspanntisch, die Schleifeinheit, die Beförderungseinheit und die Kamera steuert. Die Steuerungseinheit weist einen Außenumfangs-Erkennungsabschnitt auf, der, bevor das verbundene Werkstück von der Halteoberfläche des Einspanntisches gehalten wird, zwischen dem Außenumfang des Werkstücks und einem Außenumfang der Tragekomponente unterscheidet und die Außenumfänge aus einer aufgenommenen Abbildung des verbundenen Werkstücks, in welcher der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente enthalten sind, erkennt. Die Steuerungseinheit weist auch einen Mitten-Erkennungsabschnitt auf, der die Mitte der Tragekomponente aus dem von dem Außenumfangs-Erkennungsabschnitt erkannten Außenumfang der Tragekomponente erkennt und der die Mitte des Werkstücks aus dem von dem Außenumfangs-Erkennungsabschnitt erkannten Außenumfang des Werkstücks erkennt. Die Steuerungseinheit weist auch einen Festlegungsabschnitt, der festlegt, ob veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche der Mitte der Tragekomponente entspricht, oder veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche der Mitte des Werkstücks entspricht, wenn veranlasst wird, dass die Halteoberfläche des Einspanntisches das verbundene Werkstück hält, auf. Die Steuerungseinheit steuert die Beförderungseinheit, um zu veranlassen, dass die Halteoberfläche des Einspanntisches das verbundene Werkstück gemäß der Festlegung des Festlegungsabschnitts hält.
  • Bevorzugt weist die Tragekomponente eine Markierung auf, welche die Kristallorientierung des Werkstücks anzeigt, und die Halteoberfläche des Einspanntisches weist die gleiche Form auf wie die Tragekomponente in einer Draufsicht. Ferner weist der Einspanntisch eine Halteoberflächen-Dreheinheit auf, welche die Halteoberfläche dreht, wobei die Mitte der Halteoberfläche die Achse ist, und die Steuerungseinheit steuert die Halteoberflächen-Dreheinheit steuert und veranlasst, dass die Markierung der Tragekomponente des von der Beförderungseinheit gehaltenen verbundenen Werkstücks mit einer entsprechenden Markierung übereinstimmt, die in der Halteoberfläche ausgebildet ist und der Markierung entspricht.
  • Gemäß dem Schleifverfahren der vorliegenden Erfindung wird wahlweise der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche die Tragekomponente auf eine solche Weise hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche der Mitte der Tragekomponente entspricht, oder der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche die Tragekomponente auf eine solche Weise hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche der Mitte des Werkstücks entspricht, in dem Halteschritt ausgeführt und danach kann das Werkstück im Schleifschritt geschliffen werden.
  • Der Abbildungsschritt beinhaltet den Übergangsplatzierungsschritt eines vorübergehenden Platzierens des verbundenen Werkstücks an dem Übergangsplatzierungstisch derart, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente von dem Übergangsplatzierungstisch vorstehen. In dem Abbildungsschritt wird Licht von der unteren Seite des verbundenen Werkstücks zu der oberen Seite von einer Beleuchtungseinrichtung emittiert, die unterhalb des vorübergehend am Übergangsplatzierungstisch platzierten verbundenen Werkstücks angeordnet ist, und das verbundene Werkstück wird durch die Kamera, die so angeordnet ist, dass sie zur Beleuchtungseinrichtung gerichtet ist, in einer solchen Weise abgebildet, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente enthalten sind. Deswegen kann die im nach dem Abbildungsschritte auszuführenden Außenumfangserkennungsabschnitt erforderliche aufgenommene Abbildung einfach erfasst werden.
  • Im Abbildungsschritt wird das verbundene Werkstück von der Kamera derart abgebildet, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente in dem von der Beförderungseinheit, die das verbundene Werkstück zu der Halteoberfläche befördert, gehaltenen verbundenen Werkstück enthalten sind. Deswegen kann die im nach dem Abbildungsschritte auszuführenden Außenumfangserkennungsabschnitt erforderliche aufgenommene Abbildung einfach erfasst werden.
  • Gemäß der Schleifvorrichtung der vorliegenden Erfindung wird wahlweise der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche das verbundene Werkstück auf eine solche Weise hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche der Mitte der Tragekomponente entspricht, oder der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche das verbundene Werkstück auf eine solche Weise hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche ausgeführt und danach kann das Werkstück im Schleifschritt geschliffen werden.
  • Die Tragekomponente weist die Markierung auf, welche die Kristallorientierung des Werkstücks anzeigt, und die Halteoberfläche des Einspanntisches weist die gleiche Form auf wie die Tragekomponente in einer Draufsicht. Ferner weist der Einspanntisch eine Halteoberflächen-Dreheinheit auf, welche die Halteoberfläche dreht, wobei die Mitte der Halteoberfläche die Achse ist. Deswegen kann die Steuerungseinheit die Halteoberflächen-Dreheinheit steuern veranlassen, dass die Markierung der Tragekomponente des von der Beförderungseinheit gehaltenen verbundenen Werkstücks mit einer entsprechenden Markierung übereinstimmt, die in der Halteoberfläche ausgebildet ist und der Markierung entspricht. Durch ein nachfolgendes Ausführen eines Schleifens kann das Werkstück auf eine gleichmäßige Dicke dünn ausgestaltet werden.
  • Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel für eine Schleifvorrichtung darstellt;
    • 2 ist eine Seitenansicht, die den Fall eines Abbildens eines verbundenen Werkstücks durch eine Kamera in einer solchen Weise darstellt, dass sie den Außenumfang eines Werkstücks und den Außenumfang einer Tragekomponente in einem Abbildungsschritt einer ersten Ausführungsform aufweist;
    • 3 ist ein schematisches Diagramm, das ein Beispiel einer aufgenommenen Abbildung darstellt, die durch ein Abbilden des verbundenen Werkstücks in dem Abbildungsschritt erhalten wird;
    • 4 ist eine Seitenansicht, die den Fall eines Abbildens des verbundenen Werkstücks durch die Kamera in einer solchen Weise darstellt, dass sie den Außenumfang des Werkstücks und den Außenumfang der Tragekomponente in einem Abbildungsschritt einer zweiten Ausführungsform aufweist; und
    • 5 ist ein Beispiel für einen Graphen, in dem ein Gruppenwert als die Ordinatenachse aufgetragen ist und die Abszissenachse als die Position in einer X-Achsen-Richtung in der aufgenommenen Abbildung aufgezeichnet ist.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Eine in 1 dargestellte Schleifvorrichtung 1 ist eine Vorrichtung, die mittels einer Schleifeinheit 16 ein Werkstück 80 eines verbundenen Werkstücks 8 schleift, das von einem Einspanntisch 30 gehalten wird, der eine Halteeinheit 3 ausgestaltet. Die vordere Seite (-Y-Richtungsseite) an einer Vorrichtungsbasis 10 der Schleifvorrichtung 1 dient als Herein-/Heraus-Beförderungsbereich 100, in dem das verbundene Werkstück 8 in den Einspanntisch 30 hineinbefördert und aus diesem herausbefördert wird. Die Rückseite (+Y-Richtungsseite) der Vorrichtungsbasis 10 dient als ein Bearbeitungsbereich 101, der ein Bereich ist, in dem eine Schleifbearbeitung des an dem Einspanntisch 30 gehaltenen verbundenen Werkstücks 8 durch die Schleifeinheit 16 ausgeführt wird.
  • Es ist zu beachten, dass die erfindungsgemäße Bearbeitungsvorrichtung eine solche Ausgestaltung aufweisen könnte, die zwei Achsen einer Grobschleifeinheit und einer Feinschleifeinheit als Schleifeinheiten aufweist und den Einspanntisch 30, der das verbundene Werkstück 8 hält, durch einen sich drehenden Drehtisch an der unteren Seite der jeweiligen Schleifeinheiten positioniert.
  • Ein durch die Schleifvorrichtung 1 zu schleifendes Werkstück ist das verbundene Werkstück 8, das durch ein Verbinden von mindestens zwei transparenten oder halbtransparenten Komponenten miteinander, insbesondere dem Werkstück 80, das eine in 1 dargestellte kreisförmige Platte ist und transparent oder halbtransparent ist, und einer Tragekomponente 82, die eine kreisförmige Platte mit einer solchen Größe ist, dass sie von einem Außenumfang 807 des Werkstücks 80 nach außen vorsteht und transparent oder halbtransparent ist, erhalten wird.
  • Beispielsweise ist das Werkstück 80 ein aus Lithiumtantalat, das eine transparente oder halbtransparente Komponente ist, ausgestalteter kreisförmiger Wafer. Eine in 1 nach unten gerichtete vordere Oberfläche 801 des Werkstücks 80 wird mit einer vorderen Oberfläche 820 der Tragekomponente 82 verbunden, indem ein Klebstoff oder dergleichen verwendet wird, der in der Abbildung nicht dargestellt ist. Die hintere Oberfläche des Werkstücks 80 an der der vorderen Oberfläche 801 des Werkstücks 80 gegenüberliegenden Seite ist eine Schleifziel-Oberfläche 802, an der eine Schleifbearbeitung durchgeführt werden soll. Es ist zu beachten, dass das Werkstück 80 ein aus SiC ausgestalteter Wafer sein könnte, der eine transparente oder halbtransparente Komponente ist.
  • Die Tragekomponente 82 mit einem größeren Durchmesser als derjenige des Werkstücks 80 besteht aus transparentem oder halbtransparentem Glas, und eine in 1 nach unten gerichtete hintere Oberfläche 822 wird zu einer Halteoberfläche, die von einer Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 zu halten ist. Die Tragekomponente 82 könnte neben Glas auch aus Saphir, Spinell oder ähnlichem ausgestaltet sein, das eine transparente oder halbtransparente Komponente darstellt. Das Glas, das die Tragekomponente 82 ausgestaltet, könnte transparent oder halbtransparent eingefärbt sein.
  • Das verbundene Werkstück 8 ermöglicht es, die Handhabungseigenschaften des dünnen Werkstücks 80, das geschliffen wurde, zu verbessern und eine Wölbung und einen Bruch des Werkstücks 80 zu verhindern, indem das Werkstück 80 und die Tragekomponente 82 einstückig behandelt und bearbeitet werden. Die Mitte des Werkstücks 80 und die Mitte der Tragekomponente 82 im verbundenen Werkstück 8 weichen in einigen Fällen leicht voneinander ab.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist an einem Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 eine Markierung 825 ausgebildet, welche die Kristallorientierung des Werkstücks 80 anzeigt. Diese Markierung 825 wird beispielsweise durch ein ebenes Abschneiden eines Außenumfangsteils der Tragekomponente 82 in einer tangentialen Richtung ausgebildet.
  • Es ist zu beachten, dass im Werkstück 80 eine Orientierungsabflachung, die eine die Kristallorientierung anzeigende Markierung ist, durch ein ebenes Abschneiden eines Teils des Außenumfangs ausgebildet werden könnte. Alternativ könnte eine Kerbe, welche die Kristallorientierung des Werkstücks 80 anzeigt, am Außenumfang des Werkstücks 80 in dem Zustand ausgebildet werden, in dem sie in radialer Richtung zur Mitte des Werkstücks 80 hin nach innen ausgehöhlt ist. In diesen Fällen könnte die Tragekomponente 82 eine kreisförmige Form aufweisen, bei der die Markierung 825, welche die Kristallorientierung des Werkstücks 80 anzeigt, nicht ausgebildet ist.
  • An der vorderen Seite (-Y-Richtungsseite) der Vorrichtungsbasis 10 der Schleifvorrichtung 1 sind sowohl eine erste Kassettenstufe 150 als auch eine zweite Kassettenstufe 151 angeordnet, um darauf eine Kassette zu platzieren, in der mehrere verbundene Werkstücke 8 regalartig untergebracht werden können. Auf der ersten Kassettenstufe 150 ist eine erste Kassette 21 platziert, in der mehrere verbundene Werkstücke 8, die noch zu bearbeiten sind, regalartig untergebracht sind, und auf der zweiten Kassettenstufe 151 ist eine zweite Kassette 22 platziert, in der mehrere verbundene Werkstücke 8, die bearbeitet wurden, regalartig untergebracht sind.
  • Die Schleifvorrichtung 1 weist eine Beförderungseinheit 5 auf, die das verbundene Werkstück 8 zur Halteoberfläche 302 der Halteeinheit 3 befördert, um zu veranlassen, dass die Halteoberfläche 302 das verbundene Werkstück 8 hält. In der vorliegenden Ausführungsform weist die Beförderungseinheit 5 einen Roboter 50, der das verbundene Werkstück 8 aus der ersten Kassette 21 herausbefördert, und einen Ladearm 52 auf, der beispielsweise das verbundene Werkstück 8, das von dem Roboter 50 an einem Übergangsplatzierungstisch 11 platziert wurde und bei dem die Mitte des Werkstücks 80 oder die Mitte der Tragekomponente 82 erkannt wurde, von dem Übergangsplatzierungstisch 11 zu dem Einspanntisch 30 transportiert.
  • Wie in 1 dargestellt, ist der Roboter 50 an der Rückseite einer Öffnung der ersten Kassette 21 an der Seite der +Y-Richtung angeordnet. Der Roboter 50 ist ein Gelenkroboter und weist eine Roboterhand 500, die eine Ansaug-Anhaftoberfläche aufweist, die das verbundene Werkstück 8 durch eine Ansaug-Haftung hält, einen Hand-Horizontalbewegungsmechanismus 502, der die Roboterhand 500 in der horizontalen Richtung bewegt, einen Hand-Vertikalbewegungsmechanismus 504 wie beispielsweise einen elektrischen Aktuator, der die Roboterhand 500 in der vertikalen Richtung bewegt, und einen Hand-Umkehrmechanismus 506 auf, der beispielsweise eine Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 der Roboterhand 500 vertikal umkehrt.
  • Beispielsweise weist der Hand-Horizontalbewegungsmechanismus 502 einen solchen Aufbau auf, der mittels eines Schwenkmotors einen Schwenkarm schwenkt, der mehrere Armkomponenten usw. aufweist und intern einen Umlenkmechanismus aufweist. Der Hand-Horizontalbewegungsmechanismus 502 kann eine Schwenkbewegung der Roboterhand 500 in der horizontalen Ebene (in der X-Achsen-Y-Achsen-Ebene) veranlassen und kann eine lineare Bewegung der Roboterhand 500 in der horizontalen Ebene veranlassen, während die mehreren Armkomponenten aus dem Zustand der gegenseitigen Überschneidung in den Zustand der gegenseitigen Geradlinigkeit oder andere Zustände übergeleitet werden.
  • Der Hand-Vertikalbewegungsmechanismus 504 ist mit der Seite des unteren Teils des Hand-Horizontalbewegungsmechanismus 502 verbunden. Der Hand-Vertikalbewegungsmechanismus 504 bewegt die Roboterhand 500 zusammen mit dem Hand-Horizontalbewegungsmechanismus 502 vertikal in einer Z-Achsen-Richtung und positioniert die Roboterhand 500 auf einer vorgegebenen Höhe.
  • An der Armkomponente des Hand-Horizontalbewegungsmechanismus 502 ist über einen säulenartigen Armverbindungsteil 507 ein Gehäuse 5063 befestigt, das eine Spindel 5062 drehbar unterbringt, deren axiale Mitte in der Y-Achsen-Richtung orthogonal zur Z-Achsen-Richtung in 1 liegt. Innerhalb des Gehäuses 5063 ist beispielsweise ein Reversiermotor untergebracht, der die Spindel 5062 drehbar antreibt.
  • Die Spitzenseite der Spindel 5062 steht in der -Y-Richtung vom Gehäuse 5063 vor, und an dieser Spitzenseite ist eine Halteeinrichtung angeordnet, an der die Wurzelseite der Roboterhand 500 angebracht ist. In Verbindung mit einer Drehung der Spindel 5062 um einen vorgegebenen Winkel durch den im Diagramm nicht dargestellten Umkehrmotor dreht sich die über die Halteeinrichtung mit der Spindel 5062 verbundene Roboterhand 500, und die Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 der Roboterhand 500 kann umgekehrt und geschaltet werden.
  • Die plattenförmige Roboterhand 500, die das verbundene Werkstück 8 durch eine Ansaug-Anhaftung hält, weist in einer Draufsicht als Ganzes beispielsweise eine im Wesentlichen U-förmige Außenform auf. Es ist zu beachten, dass die Roboterhand 500 nicht auf die Form in der vorliegenden Ausführungsform beschränkt ist und in einer Draufsicht als Ganzes im Wesentlichen eine Spatelform aufweisen könnte.
  • Beispielsweise wird die in 1 nach oben gerichtete Oberfläche der Roboterhand 500 als die Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 betrachtet, die das verbundene Werkstück 8 ansaugt und hält. Es ist zu beachten, dass bei der Roboterhand 500 auch die der Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 gegenüberliegende Oberfläche eine Ansaug-Anhaftoberfläche sein könnte. Die Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 ist glatt ausgeführt. Ferner könnte der Endteil der Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 gefast sein, um ein Verkratzen des verbundenen Werkstücks 8 zu verhindern. In der Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 sind mehrere Ansaugöffnungen vorhanden. Es ist zu beachten, dass an den Ansauglöchern verformbare Gummisaugnäpfe oder ähnliches angeordnet sein könnten. Darüber hinaus steht ein Kunststoffrohr, das Flexibilität aufweist, um eine Behinderung der Schwenkbewegung der Roboterhand 500 zu vermeiden, mit jedem Saugloch durch eine Verbindung oder dergleichen in Verbindung, und dieses Kunststoffrohr ist mit einer Ansaugquelle wie beispielsweise einer vakuumerzeugenden Vorrichtung oder einem Ejektormechanismus verbunden.
  • Der Übergangsplatzierungstisch 11 ist an einer Position neben dem Roboter 50 positioniert. Beispielsweise weist der Übergangsplatzierungstisch 11 mit einer kreisförmigen Form einen kleineren Durchmesser als derjenige des verbundenen Werkstücks 8 auf, und die ebene obere Oberfläche des Übergangsplatzierungstischs 11 dient als eine Übergangsplatzierungsfläche, an der das verbundene Werkstück 8 vorübergehend platziert wird. Die Übergangsplatzierungsfläche steht mit einer in der Abbildung nicht dargestellten Ansaugquelle in Verbindung und kann das verbundene Werkstück 8 ansaugen und halten.
  • Eine Übergangsplatzierungstisch-Dreheinheit 118, die einen Motor 1181, eine Spindel 1182 usw. aufweist, ist mit der unteren Seite des Übergangsplatzierungstisches 11 verbunden, und der Übergangsplatzierungstisch 11 kann durch die Spindel 1182 gedreht werden, deren Achsenrichtung entlang der Z-Achsen-Richtung verläuft. Die Spindel 1182 wird von einer Übergangsplatzierungstisch-Tragbasis 116, die über der Vorrichtungsbasis 10 angeordnet ist, mittels eines Lagers oder dergleichen, das in der Abbildung nicht dargestellt ist, drehbar getragen.
  • Der Motor 1181 ist beispielsweise ein Servomotor, und ein Encoder 1189 des Motors 1181 ist mit einer Steuerungseinheit 9 verbunden, die eine Funktion als ein Servoverstärker aufweist und in 1 dargestellt ist. Nachdem ein Betriebssignal von einer Ausgabeschnittstelle der Steuerungseinheit 9 zum Motor 1181 zugeführt wird und die Spindel 1182 sich dreht, gibt der Encoder 1189 einen detektierten Drehwinkel als ein Encodersignal an eine Eingangsschnittstelle der Steuerungseinheit 9 aus. Die Steuerungseinheit 9, die den Drehwinkel des Motors 1181 als das Encodersignal empfangen hat, kann dann den Drehwinkel des Übergangsplatzierungstisches 11 erkennen.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist in der Nähe des Übergangsplatzierungstisches 11 eine Abbildungseinheit 14 angeordnet, die das verbundene Werkstück 8 abbildet. Ferner weist die Abbildungseinheit 14 beispielsweise eine koaxiale episkopische Beleuchtungseinrichtung 141 und eine der Beleuchtungseinrichtung 141 in der Z-Achsen-Richtung gegenüber angeordnete Kamera 142 auf. Die Beleuchtungseinrichtung 141 ist an der Übergangsplatzierungstisch-Tragbasis 116 angeordnet und ist relativ zum Übergangsplatzierungstisch 11 an der unteren Seite angeordnet.
  • Die Beleuchtungseinrichtung 141 ist durch mehrere Leuchtdioden (LED) ausgestaltet, die beispielsweise sichtbares Licht emittieren können. Die Beleuchtungseinrichtung 141 ist jedoch nicht darauf beschränkt und könnte eine Xenon-Lampe oder ähnliches sein. Wenn die Beleuchtungseinrichtung 141 mit Leistung von einer Leistungsversorgung versorgt wird, die mit der Beleuchtungseinrichtung 141 verbunden ist und in der Abbildung nicht dargestellt ist, strahlt die Beleuchtungseinrichtung 141 Licht aus und emittiert das Licht zur oberen Seite in Richtung der Kamera 142.
  • Die Kamera 142 ist beispielsweise an der Spitze des oberen Teils einer Tragsäule 146 angebracht, die aufrecht auf der Übergangsplatzierungstisch-Tragbasis 116 angeordnet ist und in einer Seitenansicht im Wesentlichen eine L-Form aufweist, und ist durch ein optisches System wie eine Linse, die von der Beleuchtungseinrichtung 141 emittiertes Licht einfängt, ein Lichtempfangselement wie eine ladungsgekoppelte Vorrichtung (CCD), die eine durch das optische System ausgebildete Abbildung des Objekts ausgibt, und so weiter, ausgestaltet. Es ist zu beachten, dass die Kamera 142 in der horizontalen Richtung beweglich sein könnte.
  • Der Ladearm 52 ist in der Nähe des Übergangsplatzierungstisches 11 angeordnet. Der Ladearm 52 weist einen Armteil 521, der sich parallel zur horizontalen Richtung erstreckt und eine Spitze mit der unteren Oberfläche aufweist, an der ein Beförderungspad 520 angebracht ist, einen Schwenkschaftteil 522, dessen Achsenrichtung entlang der Z-Achsen-Richtung verläuft und der eine Schwenkbewegung des Armteils 521 in der horizontalen Richtung veranlasst, und das Beförderungspad 520 auf, welches das verbundene Werkstück 8 ansaugt und durch die untere Oberfläche davon hält. Beispielsweise kann der Ladearm 52 durch einen in der Abbildung nicht dargestellten Zylindermechanismus vertikal bewegt werden. Beispielsweise saugt und hält der Ladearm 52 das verbundene Werkstück 8, das vorübergehend an dem Übergangsplatzierungstisch 11 platziert ist, und befördert das verbundene Werkstück 8 zu dem Einspanntisch 30 der Halteeinheit 3, die in der Nähe des Ladearms 52 positioniert ist.
  • In dem in 1 dargestellten Beispiel weist das Beförderungspad 520 einen kleineren Durchmesser als derjenige des Werkstücks 80 auf und saugt und hält nur den zentralen Bereich der Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80. Das Beförderungspad 520 könnte jedoch eine solche Ausgestaltung aufweisen, dass es im Wesentlichen die gesamte Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80 ansaugt und hält. Das Beförderungspad 520 kann das verbundene Werkstück 8 durch die ebene niedrigere Oberfläche, die aus einer porösen Komponente oder dergleichen ausgebildet ist, ansaugen und halten.
  • Ein Entladearm 132, der einen Ansaugpad u.ä. aufweist und im Zustand eines Ansaugens und Haltens der Schleifziel-Oberfläche 802 des bearbeiteten Werkstücks 80 schwingt, ist neben dem Ladearm 52 angeordnet.
  • Eine Einzelwafer-Reinigungseinheit 12, die das verbundene Werkstück 8 reinigt, das bearbeitet wurde und vom Entladearm 132 befördert wird, ist im Bewegungsbereich des Entladearms 132 angeordnet. Die Reinigungseinheit 12 saugt und hält die Tragekomponente 82 durch einen Drehtisch 120 mit einem kleineren Durchmesser als derjenige des verbundenen Werkstücks 8 und stößt Reinigungswasser aus einer Reinigungsdüse 121, die eine Schwenkbewegung über dem gehaltenen Werkstück 80 ausführt, auf die Schleifziel-Oberfläche 802, welche die obere Oberfläche des gedrehten Werkstücks 80 ist, um ein Reinigen der Schleifziel-Oberfläche 802 durchzuführen. Ferner kann die Reinigungsdüse 121 Luft ausstoßen und das verbundene Werkstück 8, das gereinigt wurde, trocknen.
  • Die Halteeinheit 3 weist den Einspanntisch 30 auf und kann die Tragekomponente 82 des verbundenen Werkstücks 8 durch die Halteoberfläche 302 ansaugen und halten. In der vorliegenden Ausführungsform weist der Einspanntisch 30 ein Ansaug-Anhaftteil 300, das aus einer porösen Komponente oder dergleichen ausgebildet ist und eine Ansaug-Anhaftung der Tragekomponente 82 veranlasst, sowie einen Rahmenkörper 301 auf, der den Ansaug-Anhaftteil 300 trägt. Der Ansaug-Anhaftteil 300 steht in Verbindung mit einer in der Abbildung nicht dargestellten Ansaugquelle, wie beispielsweise einer Vakuumerzeugungsvorrichtung, und eine aufgrund einer Ansaugung durch die Ansaugquelle erzeugte Ansaugkraft wird auf die Halteoberfläche 302 übertragen, welche die freiliegende Oberfläche (obere Oberfläche) des Ansaug-Anhaftteils 300 ist. Dies ermöglicht es, dass der der Einspanntisch 30 das verbundene Werkstück 8 an der Halteoberfläche 302 ansaugen und halten kann.
  • Die Halteoberfläche 302 weist beispielsweise in der Draufsicht die gleiche Form wie die Tragekomponente 82 auf, auf eine solche Weise, dass sie der Markierung 825 entspricht, die eine ebene Schneidspur ist, die in der Tragekomponente 82 ausgebildet ist und die Kristallorientierung des Werkstücks 80 anzeigt. Das heißt, dass der Außenumfang des Ansaug-Anhaftteils 300 mit einer kreisförmigen Form wird in einer tangentialen Richtung entsprechend der Markierung 825 eben abgeschnitten wird und eine entsprechende Markierung 304 ausgebildet wird. Es ist zu beachten, dass das Zentrum der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 der Halteeinheit 3 die Mitte eines perfekten Kreises ist, wenn beispielsweise angenommen wird, dass die Halteoberfläche 302 die Form eines perfekten Kreises aufweist.
  • Der Einspanntisch 30 ist von einer Abdeckung 39 umgeben, welche die Halteeinheit 3 ausgestaltet, und es wird ihm ermöglicht, über einen unterhalb der Abdeckung 39 angeordneten, Tischbewegungsmechanismus und eine nicht dargestellte, mit der Abdeckung 39 verbundene, Balgabdeckung 390 in der Y-Achsen-Richtung über die Vorrichtungsbasis 10 hin- und herbewegbar zu sein. Der in der Abbildung nicht dargestellte Tischbewegungsmechanismus ist ein Kugelgewindespindelmechanismus o.ä., der eine lineare Bewegung des elektrischen Schiebers in der Y-Achsen-Richtung veranlasst.
  • Die Halteeinheit 3 weist eine Halteoberflächen-Dreheinheit 36 auf, die den Einspanntisch 30 dreht, wobei die Mitte der Halteoberfläche 302 die Achse ist. Die Halteoberflächen-Dreheinheit 36 weist eine Ausgestaltung auf, bei der eine Spindel 362 mit der unteren Seite des Einspanntisches 30 verbunden ist und bei der die Spindel 362 von einem Motor 360 drehbar angetrieben wird.
  • Der Motor 360 ist beispielsweise ein Servomotor, und ein Dreh-Encoder 369 des Motors 360 ist mit der Steuerungseinheit 9 verbunden, die auch eine Funktion als Servoverstärker aufweist. Nachdem ein Betriebssignal von der Ausgabeschnittstelle der Steuerungseinheit 9 dem Motor 360 zugeführt ist und die Spindel 362 gedreht wird, gibt der Dreh-Encoder 369 den Drehwinkel der Spindel 362 als ein Encodersignal an die Eingangsschnittstelle der Steuerungseinheit 9 aus. Die Steuerungseinheit 9, die das Encodersignal empfangen hat, kann dann den Drehwinkel des Einspanntisches 30 und die Position in der Umfangsrichtung bezüglich der entsprechenden Markierung 304 erkennen, welche der der Markierung 825 der Tragekomponente 82 an der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 entsprechende ebene geschnittene Teil ist.
  • Eine Säule 18 ist aufrecht auf der hinteren Seite (+Y-Richtungsseite) des Bearbeitungsbereichs 101 angeordnet, und ein Schleifzufuhrmechanismus 19, der eine Schleifzufuhr der Schleifeinheit 16 und des Einspanntisches 30 relativ in der Z-Achsen-Richtung senkrecht zur Halteoberfläche 302 ausführt, ist an der vorderen Seite der Säule 18 auf der -Y-Richtungsseite angeordnet. Der Schleifzufuhrmechanismus 19 weist eine Kugelgewindespindel 190 mit der axialen Mitte in der Z-Achsen-Richtung, ein Paar parallel zur Kugelgewindespindel 190 angeordnete Führungsschienen 191, einen Motor 192, der mit dem oberen Ende der Kugelgewindespindel 190 verbunden ist und die Kugelgewindespindel 190 dreht, eine Anhebe-/Absenk-Platte 193, die innen eine auf die Kugelgewindespindel 190 geschraubte Mutter und Seitenteile in Gleitkontakt mit den Führungsschienen 191 aufweist, und eine Halteeinrichtung 194 auf, die mit der Anhebe-/Absenk-Platte 193 verbunden ist und die Schleifeinheit 16 hält. Wenn der Motor 192 die Kugelgewindespindel 190 dreht, bewegt sich die Anhebe-/Absenk-Platte 193 in der Z-Achsen-Richtung hin und her, während sie dabei von den Führungsschienen 191 geführt wird, und eine Schleifzufuhr der von der Halteeinrichtung 194 gehaltenen Schleifeinheit 16 wird in der Z-Achsen-Richtung ausgeführt.
  • Die Schleifeinheit 16, die mit abrasiven Steinen 1640 das Werkstück 80 des verbundenen Werkstücks 8, das von der Halteoberfläche 302 der Halteeinheit 3 gehalten wird, schleift, weist einen Drehschaft 160 mit der Achsen-Richtung entlang der Z-Achsen-Richtung, ein Gehäuse 161, das den Drehschaft 160 drehbar trägt, einen Motor 162, der den Drehschaft 160 drehend antreibt, eine Anbringung 163, die mit dem unteren Ende des Drehschafts 160 verbunden ist und eine kreisförmige Ringform aufweist, und eine Schleifscheibe 164 auf, die abnehmbar an der unteren Oberfläche der Anbringung 163 angebracht ist.
  • Die Schleifscheibe 164 weist eine Scheibenbasis 1641 und die mehreren abrasiven Steine 1640 auf, die ringförmig auf der unteren Oberfläche der Scheibenbasis 1641 angeordnet sind und eine im Wesentlichen rechteckige Parallelepipedform aufweisen. Die abrasiven Steine 1640 sind beispielsweise durch eine Befestigung von abrasiven Schleifkörnern oder dergleichen durch ein vorgegebenes Bindemittel oder dergleichen geformt.
  • Im Inneren des Drehschafts 160 ist in der Achsenrichtung des Drehschafts 160 (Z-Achsen-Richtung) ein Strömungsweg ausgebildet, der als Durchgang für Schleifwasser dient und in der Abbildung nicht dargestellt ist. Dieser Strömungsweg tritt durch die Anbringung 163 hindurch und ist in der unteren Oberfläche der Scheibenbasis 1641 so geöffnet, dass das Schleifwasser in Richtung der abrasiven Steine 1640 ausgestoßen werden kann.
  • An einer Position in der Nähe der Schleifscheibe 164, die auf eine Höhenposition abgesenkt wird, wenn das Werkstück 80 geschliffen wird, ist beispielsweise eine Dickenmesseinheit 38 angeordnet, welche beim Schleifen die Dicke des Werkstücks 80 durch ein Kontaktsystem misst. Bei der Dickenmesseinheit 38 könnte es sich um eine Dickenmesseinheit eines berührungslosen Systems handeln.
  • Die Schleifvorrichtung 1 weist einen Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 auf, der, bevor das verbundene Werkstück 8 von der Halteoberfläche 302 der Halteeinheit 3 gehalten wird, zwischen dem Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und dem Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 unterscheidet und die Außenumfänge aus einer aufgenommenen Abbildung erkennt, die durch ein Abbilden des verbundenen Werkstücks 8 durch die Abbildungseinheit 14 erhalten wird und den Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 aufweist. Die Schleifvorrichtung 1 weist auch einen Mitten-Erkennungsabschnitt 92 auf, der die Mitte der Tragekomponente 82 aus dem vom Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 erkannten Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 erkennt und die Mitte des Werkstücks 80 aus dem vom Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 erkannten Außenumfang 807 des Werkstücks 80 erkennt. Die Schleifvorrichtung 1 weist auch einen Festlegungsabschnitt 94 auf, der festlegt, ob veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte der Tragekomponente 82 entspricht, oder ob veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte des Werkstücks 80 entspricht, wenn veranlasst wird, dass die Halteoberfläche 302 das verbundene Werkstück 8 hält. Die Schleifvorrichtung 1 weist auch die Steuerungseinheit 9 auf, die zumindest die Beförderungseinheit 5, d.h. den Roboter 50 und den Ladearm 52, steuert, um zu veranlassen, dass die Halteoberfläche 302 gemäß der Festlegung des Festlegungsabschnitts 94 das verbundene Werkstücks 8 hält.
  • In der vorliegenden Ausführungsform kann die Steuerungseinheit 9 eine Steuerung der gesamten Vorrichtung ausführen, bei der auch eine Steuerung bezüglich anderer Komponenten der Erfindung als der Beförderungseinheit 5 durchgeführt werden kann. Die Steuerungseinheit 9 könnte jedoch eine von der Steuerungseinheit, die die Steuerung der Gesamtvorrichtung ausführt, getrennte Einheit sein. Die Steuerungseinheit 9 weist einen Prozessor, der eine arithmetische Verarbeitung gemäß einem Steuerungsprogramm ausführt, ein Speichermedium wie beispielsweise einen Speicher und so weiter auf und ist elektrisch mit dem Roboter 50 der Beförderungseinheit 5, dem Ladearm 52 der Beförderungseinheit 5, der Halteoberflächen-Dreheinheit 36, der Übergangsplatzierungstisch-Dreheinheit 118 und so weiter über drahtgebundene oder drahtlose Kommunikationswege verbunden, die in der Abbildung nicht dargestellt sind. Die Steuerungseinheit 9 führt eine Steuerung des Herausbeförderungs-Betriebes des verbundenen Werkstücks 8 aus der ersten Kassette 21 durch den Roboter 50, eine Steuerung eines Hereinbeförderungs-Betriebes des verbundenen Werkstücks 8, das geschliffen wurde, in die zweite Kassette 22, eine Steuerung eines Beförderungs-Betriebs des verbundenen Werkstücks 8 vom Übergangsplatzierungstisch 11 zum Einspanntisch 30 durch den Ladearm 52, eine Steuerung eines Drehbetriebes des Einspanntisches 30, der das verbundene Werkstücks 8 ansaugt und hält, eine Steuerung eines Drehbetriebes des Übergangsplatzierungstischs 11 durch die Übergangsplatzierungstisch-Dreheinheit 118 usw. aus.
  • In der vorliegenden Ausführungsform sind beispielsweise der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90, der Mitten-Erkennungsabschnitt 92 und der Festlegungsabschnitt 94 in der Steuerungseinheit 9 enthalten. Der Festlegungsabschnitt 94 ist beispielsweise in einem Bereich des Speichermediums der Steuerungseinheit 9 festgelegt. Beispielsweise weist die Schleifvorrichtung 1 ein Touchpanel, das in der Abbildung nicht dargestellt ist, oder dergleichen als Eingabemittel auf, das es einem Bediener ermöglicht, die Bearbeitungsbedingungen usw. in die Schleifvorrichtung 1 einzugeben. In dem Fall, in dem ein Bediener über das Eingabemittel in die Schleifvorrichtung 1 verschiedene Arten von Informationen bezüglich der Bearbeitungsbedingungen (die Bearbeitungszufuhrgeschwindigkeit der Schleifeinheit 16, die Drehgeschwindigkeit des Einspanntisches 30 und so weiter) basierend auf der Art des Werkstücks 80 und so weiter bei einem Ausführen der Schleifbearbeitung an dem verbundenen Werkstück 8 unter Verwendung der Schleifvorrichtung 1 eingibt, wird, wenn der Bediener beispielsweise eine solche Bearbeitungsbedingung auswählt und eingibt, die veranlasst, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte der Tragekomponente 82 entspricht, wenn die Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 veranlasst wird, das verbundene Werkstück 8 zu halten, dieses Auswahlergebnis festgelegt und in dem Festlegungsabschnitt 94 gespeichert.
  • Im Speichermedium der Steuerungseinheit 9 ist ein Programm gespeichert, in dem die Außenumfangs-Erkennungsverarbeitung beschrieben ist. Der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 liest das Programm, in dem die Außenumfangs-Erkennungsverarbeitung beschrieben ist, aus dem Speichermedium aus und führt es aus, wenn Daten aufgenommener Abbildungen von der Kamera 142 der Abbildungseinheit 14 gesendet werden. Im Speichermedium der Steuerungseinheit 9 ist ein Programm gespeichert, in dem die Mitten-Erkennungsverarbeitung beschrieben ist. Der Mitten-Erkennungsabschnitt 92 liest das Programm, in dem die Mitten-Erkennungsverarbeitung beschrieben ist, aus dem Speichermedium aus und führt es aus, wenn der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 den Außenumfang 807 des Werkstücks 80 erkannt hat und den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 erkannt hat.
  • Nachfolgend wird eine Beschreibung der jeweiligen Schritte für den Fall erfolgen, dass ein Schleifverfahren des verbundenen Werkstücks 8 gemäß der vorliegenden Erfindung unter Verwendung der in 1 dargestellten erfindungsgemäßen Schleifvorrichtung 1 ausgeführt wird. In der vorliegenden Ausführungsform wird angenommen, dass bei einem Ausführen einer Festlegung der Bearbeitungsbedingungen für die Schleifvorrichtung 1 durch einen Bediener vor einem Start einer Schleifbearbeitung gewählt wird, dass im Festlegungsabschnitt 94 festgelegt wird, dass nicht veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 der Mitte der Tragekomponente 82 entspricht, sondern, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 der Mitte des Werkstücks 80 entspricht, wenn es eine Abweichung zwischen der Mitte des Werkstücks 80 und der Mitte der Tragekomponente 82 im verbundenen Werkstück 8 gibt.
  • Es ist zu beachten, dass, wenn eine Markierung, welche die Kristallorientierung anzeigt, in dem Werkstück 80 selbst ausgebildet ist, eine Einstellung in dem Festlegungsabschnitt 94 auch auf eine solche Weise ausgeführt werden könnte, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 der Mitte der Tragekomponente 82 entspricht.
  • (1) Herausbefördern des verbundenen Werkstücks 8 aus der ersten Kassette 21
  • Beispielsweise wird die Roboterhand 500 des Roboters 50 auf die Höhenposition des Werkstücks 80 als ein Ziel in der ersten Kassette 21 positioniert. Beispielsweise ist in der ersten Kassette 21 die Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80 ist nach oben ausgerichtet, und der Außenumfangsteil der Tragekomponente 82 wird von der Ablage getragen. Dann wird beispielsweise die Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 der Roboterhand 500 in den Zustand versetzt, in dem sie zur oberen Seite (+Z-Richtungsseite) gerichtet ist.
  • Die Roboterhand 500 wird veranlasst, zu schwingen und tritt von der Öffnung der ersten Kassette 21 in eine vorgegebene Position innerhalb der ersten Kassette 21 ein. Anschließend wird die Roboterhand 500 beispielsweise so positioniert, dass die Mitte der Roboterhand 500 im Wesentlichen der Mitte der Tragekomponente 82 entspricht. Anschließend hebt sich die Roboterhand 500, um die Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 von der unteren Seite der Tragekomponente 82 in Kontakt mit der hinteren Oberfläche 822 der Tragekomponente 82 zu bringen, die nach unten gerichtet ist, und saugt die hintere Oberfläche 822 an und hält diese. Außerdem hebt sich die Roboterhand 500, bis der Außenumfangsteil der Tragekomponente 82 leicht von der Ablage getrennt ist.
  • Ferner tritt die Roboterhand 500, die das verbundene Werkstück 8 ansaugt und hält, aus der ersten Kassette 21 aus. Es ist zu beachten, dass die Roboterhand 500 veranlassen könnte, dass die Ansaug-Anhaftoberfläche 5004 von der oberen Seite an dem verbundenen Werkstück 8 anliegt, und das Werkstück 80 des verbundenen Werkstücks 8 ansaugt und hält.
  • (2-1) Erste Ausführungsform des Abbildungsschritts
  • Anschließend wird ein Abbildungsschritt eines Abbildens des verbundenen Werkstücks 8, beinhaltend den Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82, durch die Kamera 142 ausgeführt. Der im Folgenden zu beschreibende Abbildungsschritt ist ein Abbildungsschritt einer ersten Ausführungsform und beinhaltet einen Übergangs-Platzierungsschritt, bei dem das verbundene Werkstück 8 vorübergehend an dem Übergangsplatzierungstisch 11 so platziert wird, dass der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 von dem Übergangsplatzierungstisch 11 vorstehen.
  • Insbesondere bewegt der Roboter 50, der die Beförderungseinheit 5 ausgestaltet, das verbundene Werkstück 8 zur oberen Seite des Übergangsplatzierungstisches 11 und die Mitte der Roboterhand 500 wird veranlasst, im Wesentlichen mit der Mitte des Übergangsplatzierungstisches 11 übereinzustimmen. Dann wird das verbundene Werkstück 8 durch den Roboter 50 am Übergangsplatzierungstisch 11 platziert, wobei die hintere Oberfläche 822 der Tragekomponente 82 nach unten gerichtet ist. Insbesondere senkt sich die Roboterhand 500 ab und das verbundene Werkstück 8 wird so am Übergangsplatzierungstisch 11 platziert, dass der Übergangsplatzierungstisch 11 in den Öffnungsteil der U-Form der Roboterhand 500 eintritt. Ferner wird, wie in 2 dargestellt, das verbundene Werkstück 8 vorübergehend so am Übergangsplatzierungstisch 11 platziert, dass der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 vom Übergangsplatzierungstisch 11 vorstehen, und das verbundene Werkstück 8 wird angesaugt und gehalten. Danach verlässt die Roboterhand 500 das verbundene Werkstück 8.
  • Wie in 2 dargestellt, treten der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 in dem vorübergehend am Übergangsplatzierungstisch 11 platzierten verbundenen Werkstück 8 in den Zustand ein, in dem sie in einen Raum zwischen der Kamera 142 und der Beleuchtungseinrichtung 141 eingetreten sind. Dann wird beispielsweise die Kamera 142 auf die obere Oberfläche des verbundenen Werkstücks 8 fokussiert, und der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 werden veranlasst, in den Abbildungsbereich der Kamera 142 zu fallen. Die Beleuchtungseinrichtung 141 wird eingeschaltet, um Beleuchtungslicht (beispielsweise einen sichtbaren Lichtstrahl) zur oberen Seite zu emittieren. Ein Teil dieses Beleuchtungslichts wird durch die Tragekomponente 82, bei der es sich um eine transparente Komponente oder um eine halbtransparente Komponente handelt, und das Werkstück 80, bei dem es sich um eine transparente Komponente oder um eine halbtransparente Komponente handelt, transmittiert, um zu transmittiertem Licht zu werden und von dem Lichtempfangselement der Kamera 142 durch deren optisches System empfangen zu werden, so dass eine erste aufgenommene , die in 3 dargestellt ist, ausgebildet wird.
  • Beispielsweise ist die erste aufgenommene eine Ansammlung von Pixeln, die jeweils einen Helligkeitswert aufweisen, der durch 8-Bit-Graustufen ausgedrückt wird, d.h. 256 Werte von 0 bis 255, und die eine vorgegebene Größe haben. Der Helligkeitswert in jedem Pixel der ausgebildeten ersten aufgenommenen wird durch die Lichtmenge bestimmt, die auf jedes der Pixel des Lichtempfangselements der Kamera 142 einfällt.
  • Das von der Beleuchtungseinrichtung 141 emittierte Beleuchtungslicht wird von der Tragekomponente 82, die eine transparente oder halbtransparente Komponente ist, absorbiert, sodass es sich abschwächt, und wird von dem Werkstück 80, das eine transparente oder halbtransparente Komponente ist, auf der Tragekomponente 82 absorbiert, sodass es sich weiter abschwächt. Das heißt, die Menge des auf das Lichtempfangselement einfallenden Lichts, das der in 3 dargestellten Tragekomponente 82 entspricht, ist groß, und ein Pixel davon wird in der ersten aufgenommenen von 3 grau. Die Lichtmenge, die auf das Lichtempfangselement, das dem Werkstück 80 entspricht, einfällt, wird kleiner, und der Helligkeitswert eines Pixels davon sinkt im Vergleich zu dem Pixel, das die Tragekomponente 82 anzeigt, so dass das eine Pixel in der ersten aufgenommenen von 3 dunkelgrau wird, näher an Schwarz.
  • Die Kamera 142 überträgt an die in 1 dargestellte Steuerungseinheit 9 die erste aufgenommene des verbundenen Werkstücks 8, in welcher der Außenumfang 807 des Werkstücks 80, der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und ein Raum 400 (Diffusorplatte 400) an der Außenseite relativ zur Tragekomponente 82 wie in 3 dargestellt erscheinen. Diese erste aufgenommene wird in dem Speichermedium der Steuerungseinheit 9 gespeichert.
  • Beispielsweise wird der in 2 dargestellte Übergangsplatzierungstisch 11 gedreht und die Position des Außenumfangsteils des verbundenen Werkstücks 8 in Bezug auf die feste Kamera 142 kann verändert werden. Dann werden mehrere Stellen (beispielsweise zwei weitere, von der zuvor aufgenommenen Stelle in der Umfangsrichtung des verbundenen Werkstücks 8 getrennte Stellen) von der Kamera 142 abgebildet, um ähnliche aufgenommene Abbildungen des verbundenen Werkstücks 8 zu erhalten, das von dem Übergangsplatzierungstisch 11 angesaugt und gehalten wird. Das heißt, eine zweite aufgenommene Abbildung und eine dritte aufgenommene Abbildung des verbundenen Werkstücks 8, in denen der Außenumfang 807 des Werkstücks 80, der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und der Raum 400 erscheinen, werden ferner ausgebildet, um in dem Speichermedium der Steuerungseinheit 9 gespeichert zu werden.
  • (2-2) Zweite Ausführungsform des Abbildungsschritts
  • Als der Abbildungsschritt könnte anstelle des Abbildungsschritts der oben beschriebenen ersten Ausführungsform ein Abbildungsschritt einer zweiten Ausführungsform, die im Folgenden beschrieben wird, ausgeführt werden. In dem Abbildungsschritt der zweiten Ausführungsform wird das verbundene Werkstück 8 von der Kamera 142 abgebildet, einschließlich des Außenumfangs 807 des Werkstücks 80 und des Außenumfangs 828 der Tragekomponente 82 in dem verbundenen Werkstück 8, das von der Beförderungseinheit 5 gehalten wird, die das in 1 dargestellte verbundene Werkstück 8 zu der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 befördert.
  • Konkret wird beispielsweise die Beförderungseinheit 5 von der Steuerungseinheit 9 gesteuert, und der Roboter 50, der das verbundene Werkstück 8 in dem Zustand, in dem das Werkstück 80 nach oben gerichtet ist, aus der ersten Kassette 21 herausbefördert hat, übergibt das verbundene Werkstück 8 ohne ohne Zwischenschaltung des Übergangsplatzierungstisches 11 direkt an den Ladearm 52.
  • Wie in 4 dargestellt, veranlasst der Ladearm 52 eine Ansaug-Haftung der Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80, um das verbundene Werkstück 8 anzusaugen und zu halten. Beispielsweise entspricht die Mitte der unteren Oberfläche des Beförderungspads 520 als die Halteoberfläche im Wesentlichen der Mitte der Tragekomponente 82. Nachdem der Roboter 50, der das verbundene Werkstück 8 an den Ladearm 52 übertragen hat, die untere Seite des verbundenen Werkstücks 8 verlassen hat, veranlasst der Ladearm 52 eine Schwenkbewegung und eine vertikale Bewegung des verbundenen Werkstücks 8 und positioniert das verbundene Werkstück 8 an einer Position, in welcher der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 im verbundenen Werkstück 8 in einen Raum zwischen der Kamera 142 und der Beleuchtungseinrichtung 141 eintreten.
  • Danach wird ein Abbilden des verbundenen Werkstücks 8 durch die Abbildungseinheit 14 im Wesentlichen ähnlich wie der Abbildungsschritt der ersten Ausführungsform ausgeführt. Das heißt, mit der Bewegung des Werkstücks 80 durch den Ladearm 52 werden eine erste aufgenommene Abbildung, eine zweite aufgenommene Abbildung und eine dritte aufgenommene Abbildung des verbundenen Werkstücks 8 ausgebildet, in denen der Außenumfang 807 des Werkstücks 80, der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und der Raum 400 erscheinen. Es ist zu beachten, dass in dem Abbildungsschritt der zweiten Ausführungsform das verbundene Werkstück 8 durch die Kamera 142 abgebildet werden könnte, wobei der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 in dem verbundenen Werkstück 8, das von dem Roboter 50 gehalten wird, enthalten sind.
  • (3) Außenumfangs-Erkennungsschritt
  • Beispielsweise wird, nachdem der Bildgebungsschritt der ersten Ausführungsform (oder der zweiten Ausführungsform) ausgeführt ist, ein Außenumfangs-Erkennungsschritt ausgeführt, bei dem der in 1 dargestellte Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 zwischen dem Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und dem Außenumfang 807 des Werkstücks 80 unterscheidet und jeden von ihnen auf der Grundlage des Helligkeitsunterschieds zwischen benachbarten Pixeln in der ersten aufgenommenen , die in dem Bildgebungsschritt erhalten wurde, erkennt, wie in 3 dargestellt.
  • Der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 veranlasst beispielsweise, dass die in 3 dargestellte erste aufgenommene auf einem virtuellen Ausgabebildschirm (orthogonale X-Achsen-Y-Achsen-Koordinatenebenene) mit einer vorgegebenen Auflösung dargestellt wird. Dann unterscheidet der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 basierend auf der Helligkeitsdifferenz zwischen benachbarten Pixeln in der ersten aufgenommenen zwischen dem Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und dem Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und erkennt eine X-Achsenkoordinate X1 und eine X-Achsenkoordinate X2 davon.
  • Es ist zu beachten, dass in der in 3 dargestellten ersten aufgenommenen der Fall gegeben ist, in dem der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 als der Grenzteil zwischen der Tragekomponente 82 und dem Raum 400 und der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 als der Grenzteil zwischen der Tragekomponente 82 und dem Werkstück 80 so abgebildet sind, dass die jeweiligen Pixel in der Y-Achsen-Richtung ausgerichtet sind, ohne in der +X-Richtung herauszustechen. Die erste aufgenommene Abbildung könnte jedoch in einigen Fällen so ausgebildet werden, dass die jeweiligen Pixel in der +X-Richtung herausstechen. Das heißt, die aufgenommene Abbildung wird so abgebildet, dass am Grenzteil (zwölfte Pixelspalte von der Seite der +X-Richtung in 3) in einigen Fällen Pixel mit unterschiedlicher Helligkeit gemischt vorliegen.
  • In diesem Fall definiert beispielsweise der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 einen vorläufigen Grenzteil (zwölfte Pixelspalte von der Seite der +X-Richtung in 3) zwischen dem Raum 400 und dem Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 in der ersten aufgenommenen , die auf dem Ausgabeschirm angezeigt wird. Dann wird die Anzahl der Pixel in der Y-Achsen-Richtung mit dem Helligkeitswert, der den Raum 400 (in 3 weiß) an diesem vorläufigen Grenzteil anzeigt, berechnet. Weiterhin wird die Anzahl der Pixel in der Y-Achsen-Richtung mit dem Helligkeitswert, der den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 (in 3, hellgrau) an diesem vorläufigen Grenzteil anzeigt, berechnet. Dann wird bestimmt, dass die zwölfte Pixelspalte den Raum 400 anzeigt, wenn die berechnete Anzahl der Pixel, die den Raum 400 anzeigen, größer ist als die berechnete Anzahl der Pixel, die den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 anzeigen. Wenn die berechnete Anzahl von Pixeln, die den Raum 400 anzeigen, kleiner ist als die berechnete Anzahl von Pixeln, die den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 anzeigen, könnte bestimmt werden, dass die zwölfte Pixelspalte den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 anzeigt.
  • Beispielsweise wählt der in 1 dargestellte Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 ein beliebiges Pixel in der Y-Achsen-Richtung an der X-Achsen-Koordinate X1 des Außenumfangs 828 der Tragekomponente 82 in der in 3 dargestellten ersten aufgenommenen aus und erkennt die X-Achsen-Y-Achsen-Koordinaten des ausgewählten Pixels als Randkoordinaten (XI, Y1), die zur Erkennung der Mitte der Tragekomponente 82 in einem später zu beschreibenden Mittenerkennungsschritt verwendet werden, um sie im Speichermedium der Steuerungseinheit 9 zu speichern. Ferner wählt der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 ein beliebiges Pixel in der Y-Achsen-Richtung an der X-Achsen-Koordinate X2 des Außenumfangs 807 des Werkstücks 80 in der ersten aufgenommenen aus und erkennt die X-Achsen-Y-Achsen-Koordinaten des ausgewählten Pixels als Randkoordinaten (X2, Y2), die zum Erkennen der Mitte des Werkstücks 80 in dem später zu beschreibenden Mittenerkennungsschritt verwendet werden, um sie im Speichermedium der Steuerungseinheit 9 zu speichern.
  • Eine solche Unterscheidung und Erkennung des Außenumfangs 828 der Tragekomponente 82 und des Außenumfangs 807 des Werkstücks 80 durch den in 1 dargestellten Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 wird auch hinsichtlich der zweiten aufgenommenen Abbildung und der dritten aufgenommenen Abbildung ausgeführt, die in der Abbildung nicht dargestellt sind, wobei die zweite aufgenommene Abbildung und die dritte aufgenommene Abbildung den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und den Außenumfang 807 des Werkstücks 80 anzeigen und durch ein Abbilden zweier in der Umfangsrichtung getrennter Stellen des verbundenen Werkstücks 8 gewonnen werden. Das heißt, im Speichermedium der Steuerungseinheit 9 sind zwei weitere, in der Abbildung nicht dargestellte, Sätze von Randkoordinaten hinsichtlich der Tragekomponente 82 und zwei weitere, in der Abbildung nicht dargestellte, Sätze von Randkoordinaten hinsichtlich des Werkstücks 80 gespeichert. Es ist zu beachten, dass der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 ohne Verwendung der zweiten aufgenommenen Abbildung und der dritten aufgenommenen Abbildung aus der ersten aufgenommenen zusätzlich zu den zum Erkennen der Mitte der Tragekomponente 82 verwendeten Randkoordinaten (XI, Y1) zwei weitere, in der Abbildung nicht dargestellte Sätze von Randkoordinaten auswählen könnte und zusätzlich zu den zum Erkennen der Mitte des Werkstücks 80 verwendeten Randkoordinaten (X2, Y2) zwei weitere, in der Abbildung nicht dargestellte Sätze von Randkoordinaten festlegen kann.
  • Es ist zu beachten, dass, wie weiter unten beschrieben, der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 beispielsweise den Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und den Außenumfang 807 des Werkstücks 80 aus der ersten aufgenommenen erkennen könnte. Beispielsweise werden zehn Pixel, die in der in 3 dargestellten ersten aufgenommenen in der X-Achsen-Richtung nacheinander ausgerichtet sind und die Tragekomponente 82 anzeigen, als ein Subjekt verwendet und als eine Gruppe erkannt, und die Unterschiede im Helligkeitswert zwischen den Pixeln, die in der X-Achsen-Richtung symmetrisch sind, werden von der Außenseite zur Mitte der zehn Pixel der ersten Gruppe, die als Subjekt verwendet wird, ermittelt. Insbesondere, wenn die zehn Pixel der ersten Gruppe als ein erstes Pixel, ein zweites Pixel, ..., ein neuntes Pixel und ein zehntes Pixel von der Seite der +X-Richtung definiert sind, werden die Helligkeitsdifferenz zwischen dem ersten Pixel und dem zehnten Pixel, die Helligkeitsdifferenz zwischen dem zweiten Pixel und dem neunten Pixel, die Helligkeitsdifferenz zwischen dem dritten Pixel und dem achten Pixel, die Helligkeitsdifferenz zwischen dem vierten Pixel und dem siebten Pixel und die Helligkeitsdifferenz zwischen dem fünften Pixel und dem sechsten Pixel, d.h. insgesamt fünf Helligkeitsdifferenzen, berechnet. Wenn beispielsweise der Helligkeitswert des ersten Pixels 255 beträgt und der Helligkeitswert des zehnten Pixels 255 beträgt, beträgt die Helligkeitsdifferenz zwischen dem ersten und dem zehnten Pixel 0.
  • Darüber hinaus wird die Summe der berechneten fünf Helligkeitsdifferenzen als ein Gruppenwert der ersten Gruppe berechnet. Dieser Gruppenwert gibt die Helligkeit der zentralen, aneinander angrenzenden Pixel der zehn Pixel an, welche die erste Gruppe ausgestalten. Beispielsweise ist der Gruppenwert der ersten Gruppe 0.
  • Ähnlich zur obigen Beschreibung werden die zehn Pixel, die als das erste Pixel das führende Pixel aufweisen, das sich aus einem Verschieben um ein Pixel aus der ersten Gruppe in Richtung der zentralen Seite der Tragekomponente 82 ergibt, d. h. in Richtung der Seite in der -X-Richtung in 3 (zweites Pixel in der ersten Gruppe), als eine zweite Gruppe erkannt. Ferner wird der Gruppenwert der zweiten Gruppe ähnlich wie bei der Berechnung des ersten Gruppenwerts berechnet. Darüber hinaus werden der Gruppenwert einer dritten Gruppe, der Gruppenwert einer vierten Gruppe, der Gruppenwert einer fünften Gruppe usw. nacheinander von der Außenumfangsseite der Tragekomponente 82 in Richtung der zentralen Seite berechnet.
  • Ferner erstellt der Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 einen Graphen G1, der in 5 dargestellt ist. In dem Graphen G1 sind der Gruppenwert der ersten Gruppe, der Gruppenwert der zweiten Gruppe, der Gruppenwert der dritten Gruppe usw., die berechnet wurden, auf der Ordinatenachse angegeben, und die Abszissenachse ist als die Position der Gruppe in der X-Achsen-Richtung in der in 3 dargestellten ersten aufgenommenen definiert. Dann ändert sich, wie beispielsweise im Graphen G1 dargestellt, der Gruppenwert vom Gruppenwert der siebten Gruppe = 255 zum Gruppenwert der achten Gruppe = -255, und es wird somit erkannt, dass der Gruppenwert stark schwankt. Die X-Achsen-Koordinatenposition in 3 hinsichtlich der achten Gruppe mit diesem großen Ausschlag des Gruppenwertes wird dann als die Randkoordinate erkannt, die den Außenumfang 807 des Werkstücks 80 angibt. Das heißt, der Gruppenwert wird als der Helligkeitswert des zentralen Pixels in den zehn Pixeln erkannt, und die Koordinate, über die der Unterschied im Helligkeitswert zwischen benachbarten Pixeln groß ist, wird als die Randkoordinate erkannt. Beispielsweise wird der Gruppenwert als der Helligkeitswert des fünften Pixels erkannt.
  • (4) Mittenerkennungsschritt
  • Anschließend wird der Mittenerkennungsschritt ausgeführt, bei dem durch den in 1 dargestellten Mitten-Erkennungsabschnitt 92 die Mitte der Tragekomponente 82 aus dem im Außenumfangs-Erkennungsschritt erkannten Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 erkannt wird und in dem die Mitte des Werkstücks 80 aus dem im Außenumfangs-Erkennungsschritt erkannten Außenumfang 807 des Werkstücks 80 erkannt wird. Der Mittenerkennungsschritt wird durch eine herkömmliche bekannte geometrisch arithmetische Bearbeitung auf der Basis der Randkoordinaten von drei Punkten durchgeführt.
  • Insbesondere wird auf der Basis von drei Sätzen von Randkoordinaten, welche die Randkoordinaten (XI, Y1) bezüglich der Tragekomponente 82 des vorübergehend am Übergangsplatzierungstisch 11 platzierten verbundenen Werkstücks 8 beinhalten, eine erste virtuelle gerade Linie, welche die Randkoordinaten (XI, Y1) und einen zweiten Satz von Randkoordinaten bezüglich der Tragekomponente 82 verbindet, auf einem virtuellen Bildschirm definiert. Außerdem wird eine zweite virtuelle Gerade definiert, welche die Randkoordinaten (XI, Y1) und einen dritten Satz von Randkoordinaten bezüglich der Tragekomponente 82 verbindet, und der Schnittpunkt einer ersten senkrechten Linie, die durch den Mittelpunkt der ersten virtuellen geraden Linie verläuft, und einer zweiten senkrechten Linie, die durch den Mittelpunkt der zweiten virtuellen geraden Linie verläuft, wird als Mitte eine 829 (siehe 2) der Tragekomponente 82 erkannt. Der Mitten-Erkennungsabschnitt 92 führt eine Arbeit aus, die der Arbeit eines Erkennens der Mitte der Tragekomponente 82 ähnlich ist, indem er drei Sätze von Randkoordinaten bezüglich des Werkstücks 80 einschließlich der Randkoordinaten (X2, Y2) verwendet, so dass eine Mitte 809 (siehe 2) des Werkstücks 80 erkannt wird.
  • (5) Halteschritt
  • Nachdem die Mitte 829 der Tragekomponente 82 und die Mitte 809 des Werkstücks 80 in dem verbundenen Werkstück 8, das beispielsweise von dem in 2 dargestellten Übergangsplatzierungstisch 11 gehalten wird, wie oben beschrieben erkannt wurden, wird veranlasst, dass die Halteoberfläche 302 der Halteeinheit 3 die Tragekomponente 82 des verbundenen Werkstücks 8 hält. In dem Halteschritt wird einer der Fälle, d.h. der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche 302 die Tragekomponente 82 so hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der erkannten Mitte 829 der Tragekomponente 82 entspricht, und der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche 302 die Tragekomponente 82 so hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der erkannten Mitte 809 des Werkstücks 80 entspricht, wahlweise ausgeführt.
  • In der vorliegenden Ausführungsform wird das Veranlassen, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 der Mitte 809 des Werkstücks 80 des verbundenen Werkstücks 8 entspricht, in dem in 1 dargestellten Festlegungsabschnitt 94 durch den Bediener vor Beginn der Bearbeitung festgelegt. Daher wird unter Steuerung der Steuerungseinheit 9 eine Haltearbeit so ausgeführt, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der erkannten Mitte 809 des Werkstücks 80 entspricht. Ferner ist in der vorliegenden Ausführungsform die Markierung 825, welche die Kristallorientierung des Werkstücks 80 anzeigt, in der Tragekomponente 82 ausgebildet, und die Halteoberfläche 302 der Halteeinheit 3 weist in der Draufsicht die gleiche Form wie die Tragekomponente 82 auf und weist die entsprechende Markierung 304 auf, die der Flachschnittteil ist. Deswegen steuert die Steuerungseinheit 9 die Halteoberflächen-Dreheinheit 36 und führt auch eine Steuerung aus, um zu veranlassen, dass die Markierung 825 der Haltekomponente 82 des von dem Ladearm 52 der Beförderungseinheit 5 gehaltenen verbundenen Werkstücks 8 der entsprechenden Markierung 304, die in der Halteoberfläche 302 ausgebildet ist und der Markierung 825 entspricht, entspricht.
  • Insbesondere wird beispielsweise eine Abbildung des verbundenen Werkstücks 8 durch die Abbildungseinheit 14 auf dem in 2 dargestellten Übergangsplatzierungstisch 11 ausgeführt, und die Markierung 825 der Tragekomponente 82 wird aus der aufgenommenen Abbildung beispielsweise durch den Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 der Steuerungseinheit 9 erkannt. Ferner wird der Motor 1181 der Übergangsplatzierungstisch-Dreheinheit 118 von der Steuerungseinheit 9 gesteuert, der Übergangsplatzierungstisch 11, der das verbundene Werkstück 8 ansaugt und hält, wird um einen vorgegebenen Winkel gedreht, und die Markierung 825 der Tragekomponente 82 wird in einer vorgegebenen Richtung positioniert.
  • Zudem wird durch die Steuerungseinheit 9 eine Steuerung des Ladearms 52 der Beförderungseinheit 5 ausgeführt und das Beförderungspad 520 so zur Oberseite des Werkstücks 80 positioniert, dass die Mitte 809 (siehe 2) der am Übergangsplatzierungstisch 11 nach oben gerichteten Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80 beispielsweise der Mitte des Beförderungspads 520 entspricht. Danach senkt sich das Beförderungspad 520 ab und kommt mit der Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80 in Kontakt, um das Werkstück 80 anzusaugen und zu halten. Anschließend hebt sich das Beförderungspad 520, und das Werkstück 80 wird vom Übergangsplatzierungstisch 11 herausbefördert.
  • Die Position der Markierung 825 der Tragekomponente 82 in der Umfangsrichtung zu dem Zeitpunkt, zu dem der in 1 dargestellte Ladearm 52 das Werkstück 80 trägt, wurde von der Steuerungseinheit 9 bereits erkannt, wenn das Werkstück 80 gehalten wird und vom Übergangsplatzierungstisch 11 ausgeführt wird. Daher wird die Halteoberflächen-Dreheinheit 36 von der Steuerungseinheit 9 gesteuert, der Einspanntisch 30 wird um einen vorgegebenen Winkel gedreht und eine Positionseinstellung wird vorgenommen, um zu veranlassen, dass die Position der Markierung 825 des verbundenen Werkstücks 8 der Position der entsprechenden Markierung 304 des Einspanntisches 30 entspricht. Dann wird das verbundene Werkstück 8 so an der Halteoberfläche 302 platziert, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 der Mitte des Beförderungspads 520 entspricht, und zwar in dem Zustand, in dem die Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80 nach oben gerichtet ist. Da das verbundene Werkstück 8 durch den Ladearm 52 so gehalten wurde, dass die Mitte 809 des Werkstücks 80 der Mitte des Beförderungspads 520 entspricht, wird der Zustand hergestellt, in dem die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte 809 des Werkstücks 80 entspricht. Ferner stimmt die in der Halteoberfläche 302 ausgebildete entsprechende Markierung 304 mit der der Markierung 825 der Tragekomponente 82 überein. Dann wird eine von der nicht dargestellten Ansaugquelle erzeugte Ansaugkraft auf die Halteoberfläche 302 übertragen, und dadurch saugt die Halteeinheit 3 die Seite der Tragekomponente 82 des verbundenen Werkstücks 8 an und hält sie durch die Halteoberfläche 302.
  • (6) Schleifschritt
  • Nachdem der Halteschritt durch ein Wählen einer solchen Bearbeitungsbedingung ausgeführt wurde, die veranlasst, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 des Einspanntisches 30 der Mitte 809 des Werkstücks 80 des verbundenen Werkstücks 8 entspricht, bewegt der Tischbewegungsmechanismus, der in dem Diagramm nicht dargestellt ist, den Einspanntisch 30 in der +Y-Richtung. Dann positioniert der Einspanntisch 30, der das verbundene Werkstück 8 hält, das Werkstück 80 so, dass das Drehzentrum der Schleifscheibe 164 der Schleifeinheit 16 in der horizontalen Richtung um eine vorgegebene Distanz vom Drehzentrum 809 des Werkstücks 80 abweicht und der Drehpunkt der abrasiven Schleifsteine 1640 durch die Mitte 809 des Werkstücks 80 hindurchgeht.
  • Ferner wird die Schleifeinheit 16 durch den Schleifzufuhrmechanismus 19 in die -Z-Richtung geschickt, und die rotierenden abrasiven Schleifsteine 1640 nehmen Kontakt mit der Schleifziel-Oberfläche 802 des vom Einspanntisch 30 gehaltenen Werkstücks 80 auf. Dadurch wird ein Schleifen ausgeführt. Weiterhin dreht sich auch das Werkstück 80 über der Halteoberfläche 302 in Verbindung mit der Drehung des Einspanntisches 30 mit einer vorgegebenen Drehgeschwindigkeit durch die Halteoberflächen-Dreheinheit 36. Die abrasiven Schleifsteine 1640 führen somit eine Schleifbearbeitung der gesamten Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80 aus. Beim Schleifen wird dem Kontaktteil zwischen den abrasiven Schleifsteinen 1640 und der Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80 Schleifwasser zugeführt, um den Kontaktteil zu kühlen und zu reinigen.
  • Bei der Schleifbearbeitung wird die Dicke des Werkstücks 80 sukzessive von der Dickenmesseinheit 38 gemessen. Dann bewegt sich, nachdem die Schleifeinheit 16 angehoben und von dem normalerweise auf die Enddicke geschliffenen Werkstück 80 getrennt wurde, der Einspanntisch 30 in der -Y-Richtung und bewegt sich in die Nähe des Entladearms 132 durch den Tischbewegungsmechanismus, der in der Abbildung nicht dargestellt ist.
  • (7) Arbeiten nach dem Schleifen des Werkstücks 80
  • Anschließend saugt und hält der Entladearm 132 die Schleifziel-Oberfläche 802 des verbundenen Werkstücks 8 und befördert das verbundene Werkstück 8 vom Einspanntisch 30 zum Drehtisch 120. Danach stößt die Reinigungsdüse 121 das Reinigungswasser in Richtung des Werkstücks 80 an der unteren Seite aus und führt dabei eine Schwenkbewegung so aus, dass sie in einem vorgegebenen Winkel über das Werkstück 80 hin- und herbewegt wird. Ferner dreht sich der Drehtisch 120, der das verbundene Werkstück 8 ansaugt und hält, mit einer vorgegebenen Drehgeschwindigkeit. Dadurch wird Reinigungswasser zur gesamten Schleifziel-Oberfläche 802 des Werkstücks 80 zugeführt und eine Reinigung wird durchgeführt.
  • Nachdem das Reinigen und Trocknen des verbundenen Werkstücks 8 in der Reinigungseinheit 12 ausgeführt wurden, befördert der Roboter 50 das verbundene Werkstück 8 aus der Reinigungseinheit 12 heraus und bringt das verbundene Werkstück 8 in der zweiten Kassette 22 unter.
  • Wie oben beschrieben, weist das Schleifverfahren des verbundenen Werkstücks 8 gemäß der vorliegenden Erfindung den Abbildungsschritt eines Abbildens des verbundenen Werkstücks 8 einschließlich des Außenumfangs 807 des Werkstücks 80 und des Außenumfangs 828 der Tragekomponente 82 durch die Kamera 142 vor dem Halteschritt auf. Das Schleifverfahren weist auch den Außenumfangserkennungsschritt auf, bei dem der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 auf der Grundlage des Helligkeitsunterschieds zwischen einander benachbarten Pixeln in einer durch das Abbilden des verbundenen Werkstücks 8 im Abbildungsschritt erhaltenen aufgenommenen Abbildung erkannt wird. Das Schleifverfahren weist auch den Mittenerkennungsschritt eines Erkennens der Mitte 829 der Tragekomponente 82 aus dem im Außenumfangserkennungsschritt erkannten Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 und eines Erkennens der Mitte 809 des Werkstücks 80 aus dem im Außenumfangserkennungsschritt erkannten Außenumfang 807 des Werkstücks 80 auf. Dementsprechend kann einer der Fälle, d.h. der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche 302 die Tragekomponente 82 so hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 mit der Mitte 829 der Tragekomponente 82 entspricht, und der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche 302 die Tragekomponente 82 so hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte 809 des Werkstücks 80 entspricht, wählbar im Halteschritt ausgeführt werden, und ferner kann das Werkstück 80 im Schleifschritt geschliffen werden.
  • Der Abbildungsschritt beinhaltet den Übergangsplatzierungsschritt eines vorübergehenden Platzierens des verbundenen Werkstücks 8 an dem Übergangsplatzierungstisch 11 derart, dass der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 von dem Übergangsplatzierungstisch 11 vorstehen, wie bei dem Abbildungsschritt der ersten Ausführungsform. In dem Abbildungsschritt wird Licht von der unteren Seite des verbundenen Werkstücks 8 durch die unterhalb des vorübergehend platzierten verbundenen Werkstücks 8 angeordnete Beleuchtungseinrichtung 141 zur oberen Seite emittiert und das verbundene Werkstück 8 wird so abgebildet, der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 enthalten ist, und zwar durch die Kamera 142, die so angeordnet ist, dass sie zur Beleuchtungseinrichtung 141 gerichtet ist. Daher kann die aufgenommene Abbildung, die in dem nach dem Abbildungsschritt auszuführenden Außenumfangserkennungsschritt erforderlich ist, leicht erhalten werden.
  • Wie bei dem Abbildungsschritt der zweiten Ausführungsform wird im Abbildungsschritt das verbundene Werkstück 8 von der Kamera 142 abgebildet, einschließlich des Außenumfangs 807 des Werkstücks 80 und des Außenumfangs 828 der Tragekomponente 82 in dem verbundenen Werkstück 8, das von dem Ladearm 52 oder dem Roboter 50 der Beförderungseinheit 5 gehalten wird, die das verbundene Werkstück 8 zu der Halteoberfläche 302 befördert. Daher kann die aufgenommene Abbildung, die in dem nach dem Abbildungsschritt auszuführenden Außenumfangserkennungsschritt erforderlich ist, leicht erfasst werden.
  • Ferner weist die erfindungsgemäße Schleifvorrichtung 1, die das verbundene Werkstück 8 schleift, den Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 auf, der, bevor das verbundene Werkstück 8 von der Halteoberfläche 302 der Halteeinheit 3 gehalten wird, zwischen dem Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und dem Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 unterscheidet und die Außenumfänge aus einer aufgenommenen Abbildung des verbundenen Werkstücks 8, in der der Außenumfang 807 des Werkstücks 80 und der Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 enthalten sind, erkennt. Die Schleifvorrichtung 1 weist auch den Mitten-Erkennungsabschnitt 92 auf, der aus dem vom Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 erkannten Außenumfang 828 der Tragekomponente 82 die Mitte 829 der Tragekomponente 82 erkennt und aus dem vom Außenumfangs-Erkennungsabschnitt 90 erkannten Außenumfang 807 des Werkstücks 80 die Mitte 809 des Werkstücks 80 erkennt. Die Schleifvorrichtung 1 weist auch die Beförderungseinheit 5, die das verbundene Werkstück 8 zu der Halteoberfläche 302 befördert, um zu veranlassen, dass die Halteoberfläche 302 das verbundene Werkstück 8 hält, den Festlegungsabschnitt 94, der festlegt, ob veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte 829 der Tragekomponente 82 entspricht, oder veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte 809 des Werkstücks 80 entspricht, wenn veranlasst wird, dass die Halteoberfläche 302 das verbundene Werkstück 8 hält, und die Steuerungseinheit 9 auf, die zumindest die Beförderungseinheit 5 steuert, um zu veranlassen, dass die Halteoberfläche 302 das verbundene Werkstück 8 gemäß der Festlegung des Festlegungsabschnitts 94 hält. Daher kann einer der Fälle, d.h. der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche 302 das verbundene Werkstück 8 so hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte 829 der Tragekomponente 82 entspricht, und der Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche 302 das verbundene Werkstück 8 so hält, dass die Mitte der Halteoberfläche 302 der Mitte 809 des Werkstücks 80 entspricht, wahlweise ausgeführt werden, und danach kann das Werkstück 80 geschliffen werden.
  • Die Markierung 825, die die Kristallorientierung des Werkstücks 80 anzeigt, ist in der Tragekomponente 82 ausgebildet, und die Halteoberfläche 302 der Halteeinheit 3 weist in der Draufsicht die gleiche Form auf wie die Tragekomponente 82. Die Halteeinheit 3 weist die Halteoberflächen-Dreheinheit 36 auf, welche die Halteoberfläche 302 dreht, wobei die Mitte der Halteoberfläche 302 die Achse ist. Deswegen kann die Steuerungseinheit 9 die Halteoberflächen-Dreheinheit 36 steuern und veranlassen, dass die Markierung 825 der Tragekomponente 82 des von der Beförderungseinheit 5 getragenen verbundenen Werkstücks 8 mit der entsprechenden Markierung 304 übereinstimmt, die in der Halteoberfläche 302 ausgebildet ist, und der Markierung 825 entspricht. Durch ein anschließendes Ausführens eines Schleifens kann das Werkstück 80 auf eine gleichmäßige Dicke ausgedünnt werden.
  • Es ist offensichtlich, dass das Schleifverfahren eines verbundenen Werkstücks gemäß der vorliegenden Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt ist und im Rahmen des technischen Gedankens davon in verschiedenen Ausführungsformen ausgeführt werden könnte. Ferner ist die Ausgestaltung usw. der in den begleitenden Zeichnungen dargestellten Schleifvorrichtung 1 ebenfalls nicht darauf beschränkt und könnte in einem Bereich, in dem die Wirkungen der vorliegenden Erfindung hervorgerufen werden können, entsprechend geändert werden.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.

Claims (5)

  1. Schleifverfahren eines verbundenen Werkstücks zum Schleifen eines Werkstücks des verbundenen Werkstücks durch einen abrasiven Stein, wobei das verbundene Werkstück durch ein Verbinden von mindestens zwei transparenten Komponenten oder halbtransparenten Komponenten, beinhaltend das Werkstück und eine Tragekomponente, miteinander erhalten ist, wobei das Werkstück eine kreisförmige Platte ist und transparent oder halbtransparent ist, wobei die Tragekomponente eine kreisförmige Platte mit einer solchen Größe ist, dass sie von einem Außenumfang des Werkstücks nach außen vorsteht, und transparent oder halbtransparent ist, wobei das Schleifverfahren aufweist: einen Abbildungsschritt eines Abbildens des verbundenen Werkstücks durch eine Kamera auf eine solche Weise, dass der Außenumfang des Werkstücks und ein Außenumfang der Tragekomponente enthalten sind; einen Außenumfangs-Erkennungsschritt eines Erkennens des Außenumfangs der Tragekomponente und des Außenumfangs des Werkstücks basierend auf einer Helligkeitsdifferenz zwischen einander benachbarten Pixeln in einer durch ein Abbilden des verbundenen Werkstücks in dem Abbildungsschritt erhaltenen aufgenommenen Abbildung; einen Mittenerkennungsschritt eines Erkennens einer Mitte der Tragekomponente aus dem Außenumfang der in dem Außenumfangserkennungsschritt erkannten Tragekomponente und eines Erkennens einer Mitte des Werkstücks aus dem Außenumfang des in dem Außenumfangserkennungsschritt erkannten Werkstücks; einen Halteschritt eines Veranlassens, dass eine Halteoberfläche eines Einspanntisches die Tragekomponente des verbundenen Werkstücks nach einem Ausführen des Mittenerkennungsschritts hält; und einen Schleifschritt eines Schleifens des Werkstücks des in dem Halteschritt gehaltenen verbundenen Werkstücks durch den abrasiven Stein, wobei das Werkstück in dem Schleifschritt geschliffen wird, nachdem wahlweise ein Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche die Tragekomponente auf eine solche Weise hält, dass veranlasst wird, dass eine Mitte der Halteoberfläche der Mitte der Tragekomponente entspricht, oder ein Fall, in dem veranlasst wird, dass die Halteoberfläche die Tragekomponente auf eine solche Weise hält, dass veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche der Mitte des Werkstücks entspricht, in dem Halteschritt ausgeführt wird.
  2. Schleifverfahren eines verbundenen Werkstücks gemäß Anspruch 1, wobei der Abbildungsschritt einen Übergangsplatzierungsschritt aufweist, in dem das verbundene Werkstück vorübergehend an einem Übergangsplatzierungstisch derart platziert wird, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente von dem Übergangsplatzierungstisch vorstehen, und in dem Abbildungsschritt Licht von einer unteren Seite des verbundenen Werkstücks zu einer oberen Seite von einer Beleuchtungseinrichtung emittiert wird, die unterhalb des vorübergehend an dem Übergangsplatzierungstisch platzierten verbundenen Werkstücks angeordnet ist, und das verbundene Werkstück durch die Kamera, die so angeordnet ist, dass sie zur Beleuchtungseinrichtung gerichtet ist, in einer solchen Weise abgebildet wird, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente enthalten sind.
  3. Schleifverfahren eines verbundenen Werkstücks gemäß Anspruch 1, wobei in dem Abbildungsschritt das verbundene Werkstück von der Kamera derart abgebildet wird, dass der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente in dem von einer Beförderungseinheit, die das verbundene Werkstück zu der Halteoberfläche befördert, gehaltenen verbundenen Werkstück enthalten sind.
  4. Schleifvorrichtung, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Tragekomponente eines verbundenen Werkstücks durch eine Halteoberfläche hält, wobei das verbundene Werkstück durch ein Verbinden von mindestens zwei transparenten Komponenten oder halbtransparenten Komponenten, enthaltend ein Werkstück und die Tragekomponente, miteinander erhalten ist, wobei das Werkstück eine kreisförmige Platte ist und transparent oder halbtransparent ist, wobei die Tragekomponente eine kreisförmige Platte mit einer solchen Größe ist, dass sie von einem Außenumfang des Werkstücks nach außen vorsteht und transparent oder halbtransparent ist; eine Schleifeinheit, die mit einem abrasiven Stein das Werkstück des von der Halteoberfläche gehaltenen verbundenen Werkstücks schleift; eine Beförderungseinheit, die das verbundene Werkstück zu der Halteoberfläche des Einspanntisches befördert, um zu veranlassen, dass die Halteoberfläche das verbundene Werkstück hält; eine Kamera, die das verbundene Werkstück abbildet; und eine Steuerungseinheit, die zumindest den Einspanntisch, die Schleifeinheit, die Beförderungseinheit und die Kamera steuert, wobei die Steuerungseinheit aufweist: einen Außenumfangs-Erkennungsabschnitt, der, bevor das verbundene Werkstück von der Halteoberfläche des Einspanntisches gehalten wird, zwischen dem Außenumfang des Werkstücks und einem Außenumfang der Tragekomponente unterscheidet und die Außenumfänge aus einer aufgenommenen Abbildung des verbundenen Werkstücks, in welcher der Außenumfang des Werkstücks und der Außenumfang der Tragekomponente enthalten sind, erkennt, einen Mitten-Erkennungsabschnitt, der eine Mitte der Tragekomponente aus dem von dem Außenumfangs-Erkennungsabschnitt erkannten Außenumfang der Tragekomponente erkennt und der eine Mitte des Werkstücks aus dem von dem Außenumfangs-Erkennungsabschnitt erkannten Außenumfang des Werkstücks erkennt, und einen Festlegungsabschnitt, der festlegt, ob veranlasst wird, dass eine Mitte der Halteoberfläche der Mitte der Tragekomponente entspricht, oder veranlasst wird, dass die Mitte der Halteoberfläche der Mitte des Werkstücks entspricht, wenn veranlasst wird, dass die Halteoberfläche des Einspanntisches das verbundene Werkstück hält, und die Steuerungseinheit die Beförderungseinheit steuert, um zu veranlassen, dass die Halteoberfläche des Einspanntisches das verbundene Werkstück gemäß der Festlegung des Festlegungsabschnitts hält.
  5. Schleifvorrichtung gemäß Anspruch 4, wobei die Tragekomponente eine Markierung aufweist, die eine Kristallorientierung des Werkstücks anzeigt, die Halteoberfläche des Einspanntisches eine gleiche Form aufweist wie die Tragekomponente in einer Draufsicht, der Einspanntisch eine Halteoberflächen-Dreheinheit aufweist, welche die Halteoberfläche dreht, wobei die Mitte der Halteoberfläche eine Achse ist, und die Steuerungseinheit die Halteoberflächen-Dreheinheit steuert und veranlasst, dass die Markierung der Tragekomponente des von der Beförderungseinheit gehaltenen verbundenen Werkstücks mit einer entsprechenden Markierung übereinstimmt, die in der Halteoberfläche ausgebildet ist und der Markierung entspricht.
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