DE102020118522A1 - Transport arrangement, vacuum arrangement, control device, method and use - Google Patents

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Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung (100) aufweisen: eine erste Wickelhülsenkupplung (WD02) zum Ankuppeln der ersten Wickelhülse; ein Gestell (702), welches der ersten Wickelhülsenkupplung (WD02) eine erste Montageposition und eine zweite Montageposition bereitstellt; eine zweite Wickelhülsenkupplung (WD01), welche mittels des Gestells (702) drehbar gelagert ist, zum Ankuppeln der zweiten Wickelhülse; zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02), welche jeweils mittels des Gestells (702) drehbar gelagert sind; wobei beim Umwickeln des Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse: sich die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in ihrer jeweiligen Drehrichtung voneinander unterscheiden, wenn die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) in der ersten Montageposition drehbar gelagert ist, und die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in ihrer jeweiligen Drehrichtung übereinstimmen, wenn die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) in der zweiten Montageposition drehbar gelagert ist.According to various embodiments, a transport arrangement (100) can have: a first winding tube coupling (WD02) for coupling the first winding tube; a frame (702) which provides a first mounting position and a second mounting position for the first winding sleeve coupling (WD02); a second bobbin coupler (WD01) rotatably supported by the frame (702) for coupling the second bobbin; two processing rollers (CD01, CD02) each rotatably supported by the frame (702); wherein when the tape substrate is wrapped by means of the two processing rollers (CD01, CD02) from the first winding sleeve to the second winding sleeve and/or from the second winding sleeve to the first winding sleeve: the two processing rollers (CD01, CD02) differ in their respective direction of rotation, if the first winding tube coupling (WD02) is rotatably mounted in the first assembly position, and the two processing rollers (CD01, CD02) match in their respective direction of rotation, if the first winding tube coupling (WD02) is rotatably mounted in the second assembly position.

Description

Verschiedene Ausführungsbeispiele betreffen eine Transportanordnung, eine Vakuumanordnung, eine Steuervorrichtung, ein Verfahren und eine Verwendung.Various exemplary embodiments relate to a transport arrangement, a vacuum arrangement, a control device, a method and a use.

Im Allgemeinen kann ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, ein Metallsubstrat und/oder ein Polymersubstrat, behandelt (prozessiert), z.B. beschichtet werden, so dass die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Substrats verändert werden können. Zum Beschichten eines Substrats können verschiedene Beschichtungsverfahren durchgeführt werden, wie beispielsweise eine Gasphasenabscheidung, z.B. eine chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder eine physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), z.B. Sputtern, thermisches Verdampfen oder Elektronenstrahlverdampfen.In general, a substrate, for example a glass substrate, a metal substrate and/or a polymer substrate, can be treated (processed), e.g. coated, so that the chemical and/or physical properties of the substrate can be changed. Various coating methods can be used to coat a substrate, such as vapor deposition, e.g., chemical vapor deposition (CVD), or physical vapor deposition (PVD), e.g., sputtering, thermal evaporation, or electron beam evaporation.

Im Allgemeinen können flexible Substrate in Form eines Bands (z.B. Metallband, Folienband oder Glasband) in einer Durchlaufanlage prozessiert, z.B. in einer Folienbeschichtungsanlage beschichtet (und/oder anderweitig behandelt), werden. Dabei kann beispielsweise ein Bandsubstrat mittels einer Transportanordnung durch einen Beschichtungsbereich hindurch transportiert werden. Die Transportanordnung kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass das Bandsubstrat von Rolle-zu-Rolle (auch als R2R bezeichnet) prozessiert wird, wobei das Bandsubstrat von einem ersten Substratwickel abgewickelt wird, durch den Beschichtungsbereich hindurch transportiert wird, und nach dem Beschichten auf einen zweiten Substratwickel wieder aufgewickelt wird (auch als Aufwickler oder Re-Winder bezeichnet). Dabei kann die Beschichtungsanlage eine Vakuumkammer aufweisen, so dass das Bandsubstrat im Vakuum beschichtet werden kann. Der Substratwickel kann beispielsweise in die Vakuumkammer eingeschleust oder aus dieser ausgeschleust werden, so dass die Vakuumkammer zyklisch belüftet werden muss zum Austauschen des Bandsubstrats.In general, flexible substrates in the form of a strip (e.g. metal strip, film strip or glass strip) can be processed in a continuous system, e.g. coated (and/or otherwise treated) in a film coating system. In this case, for example, a strip substrate can be transported through a coating area by means of a transport arrangement. The transport arrangement can be set up, for example, in such a way that the tape substrate is processed from roll-to-roll (also referred to as R2R), the tape substrate being unwound from a first substrate roll, being transported through the coating area and, after coating, onto a second Substrate roll is wound up again (also referred to as a winder or re-winder). The coating system can have a vacuum chamber so that the strip substrate can be coated in a vacuum. The substrate roll can, for example, be introduced into the vacuum chamber or discharged from it, so that the vacuum chamber has to be ventilated cyclically in order to exchange the belt substrate.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine Transportanordnung, eine Vakuumanordnung, eine Steuervorrichtung, und ein Verfahren bereitgestellt, welche die Flexibilität der Transportanordnung vergrößern. Diese können beispielsweise den Aufwand, um ein Substrat wahlweise beidseitig oder einseitig zu beschichten, reduzieren. Anschaulich können die Transportanordnung, die Vakuumanordnung, die Steuervorrichtung, und das Verfahren bereitstellen, dass die Transportkonfiguration zum einseitigen Beschichten mit wenig Aufwand in eine Transportkonfiguration zum zweiseitigen Beschichten und umgekehrt überführt werden kann.According to various embodiments, a transport arrangement, a vacuum arrangement, a control device, and a method are provided that increase the flexibility of the transport arrangement. These can, for example, reduce the effort involved in coating a substrate either on one or both sides. Clearly, the transport arrangement, the vacuum arrangement, the control device, and the method can provide that the transport configuration for one-sided coating can be converted into a transport configuration for two-sided coating and vice versa with little effort.

Dies erreicht beispielsweise, dass dickere Schichten aufgebracht werden können, eine Zwischenbelüftung des Substrats nicht notwendig wird (z.B. um das Substrat zu wenden oder Beschichtungsmaterial nachzufüllen), weniger mechanische Verspannung in das Substrat eingetragen wird.This means, for example, that thicker layers can be applied, intermediate ventilation of the substrate is not necessary (e.g. to turn the substrate or refill coating material), less mechanical stress is introduced into the substrate.

Beispielsweise kann eine Vakuumbeschichtungsanlage genutzt werden, um eine Schicht oder mehrere Schichten mittels einer chemischen und/oder physikalischen Gasphasenabscheidung auf einem Bandsubstrat abzuscheiden. Um ein großflächiges Abscheiden auf entsprechend großflächigen Bandsubstraten effizient zu realisieren, kann das Bandsubstrat mittels Führungsrollen durch mehrere Beschichtungsbereiche hindurch transportiert werden, wobei während des Transports des Substrats in jedem Beschichtungsbereich der mehreren Beschichtungsbereiche ein Beschichtungsprozess durchgeführt werden kann. Der Beschichtungsprozess kann aufweisen, das Substrat zu beschichten und/oder vorzubehandeln.For example, a vacuum deposition system may be used to deposit one or more layers onto a tape substrate using chemical and/or physical vapor deposition. In order to efficiently implement large-area deposition on correspondingly large-area strip substrates, the strip substrate can be transported through a number of coating areas by means of guide rollers, with a coating process being able to be carried out in each coating area of the number of coating areas while the substrate is being transported. The coating process may include coating and/or pre-treating the substrate.

Es zeigen

  • 1 und 2 jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
  • 3 und 4 jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
  • 5 und 6 jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
  • 7, 8 und 9 jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht.
Show it
  • 1 and 2 each a transport arrangement according to different embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
  • 3 and 4 each a vacuum arrangement according to different embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
  • 5 and 6 each a vacuum arrangement according to different embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
  • 7 , 8th and 9 each a transport arrangement according to different embodiments in a schematic detailed view.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings that form a part hereof, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the figure(s) being described. Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is used for purposes of illustration and is in no way limiting. It is understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It is understood that the characteristics of the various exemplary embodiments described herein may be combined with one another unless specifically stated otherwise. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.

Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.Within the scope of this description, the terms “connected”, “connected” and “coupled” are used to describe both a direct and an indirect connection (e.g. ohmic and/or electrically conductive, e.g. an electrically conductive connection), a direct or indirect connection and a direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference symbols, insofar as this is appropriate.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein, entlang welcher die Wechselwirkung ausgetauscht werden kann, z.B. ein Fluid (dann auch als fluidleitend gekoppelt bezeichnet). Beispielsweise können zwei miteinander gekoppelte Elemente eine Wechselwirkung miteinander austauschen, z.B. eine mechanische, hydrostatische, thermische und/oder elektrische Wechselwirkung. Eine Kopplung mehrerer Vakuumkomponenten (z.B. Ventilen, Pumpen, Kammern, usw.) miteinander kann aufweisen, dass diese fluidleitend miteinander gekoppelt sind. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physikalischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen.According to various embodiments, the term "coupled" or "coupling" can be understood in the sense of a (e.g. mechanical, hydrostatic, thermal and/or electrical), e.g. direct or indirect, connection and/or interaction. For example, several elements can be coupled to one another along an interaction chain, along which the interaction can be exchanged, e.g. a fluid (then also referred to as fluid-conductingly coupled). For example, two elements coupled together can exchange an interaction with each other, e.g., a mechanical, hydrostatic, thermal and/or electrical interaction. A coupling of several vacuum components (e.g. valves, pumps, chambers, etc.) to one another can include that they are coupled to one another in a fluid-conducting manner. According to various embodiments, "coupled" may be understood to mean a mechanical (e.g., physical) coupling, such as by means of direct physical contact. A clutch may be configured to transmit mechanical interaction (e.g., force, torque, etc.).

Als Steuern kann eine beabsichtigte Beeinflussung eines Systems verstanden werden. Dabei kann der momentane Zustand des Systems (auch als Ist-Zustand bezeichnet) gemäß einer Vorgabe (auch als Soll-Zustand bezeichnet) verändert werden. Regeln kann als Steuern verstanden werden, wobei zusätzlich einer Zustandsänderung des Systems durch Störungen entgegengewirkt wird. Anschaulich kann die Steuerung eine nach vorn gerichtete Steuerstrecke aufweisen und somit anschaulich eine Ablaufsteuerung implementieren, welche eine Eingangsgröße (z.B. die Vorgabe) in eine Ausgangsgröße umsetzt. Die Steuerstrecke kann aber auch Teil eines Regelkreises sein, so dass eine Regelung implementiert wird. Die Regelung weist im Gegensatz zu der reinen vorwärts gerichteten Ablaufsteuerung eine fortlaufende Einflussnahme der Ausgangsgröße auf die Eingangsgröße auf, welche durch den Regelkreis bewirkt wird (Rückführung). Mit anderen Worten kann alternativ oder zusätzlich zu der Steuerung eine Regelung verwendet werden bzw. alternativ oder zusätzlich zu dem Steuern ein Regeln erfolgen. Der Zustand des Systems (auch als Arbeitspunkt bezeichnet) kann von einer oder mehr als einer Regelgröße des Systems repräsentiert werden, deren Ist-Wert den Ist-Zustand des Systems und deren Soll-Wert (auch als Führungswert bezeichnet) den Soll-Zustand des Systems repräsentiert. Bei einer Regelung wird ein Ist-Zustand des Systems (z.B. basierend auf einer Messung ermittelt) mit dem Soll-Zustand des Systems verglichen und die eine oder mehr als eine Regelgröße mittels einer entsprechenden Stellgröße (unter Verwendung eines Stellglieds) derart beeinflusst, dass die Abweichung des Ist-Zustands von dem Soll-Zustand des Systems minimiert wird.Controlling can be understood as intentional influencing of a system. The current state of the system (also referred to as the actual state) can be changed according to a specification (also referred to as the target state). Regulation can be understood as control, whereby a change in the state of the system due to disturbances is also counteracted. Clearly, the controller can have a forward-pointing control path and thus clearly implement a sequence control that converts an input variable (e.g. the specification) into an output variable. However, the controlled system can also be part of a control circuit, so that a control is implemented. In contrast to the purely forward-oriented sequence control, the regulation has a continuous influence of the output variable on the input variable, which is brought about by the control loop (feedback). In other words, regulation can be used as an alternative or in addition to the control, or regulation can take place as an alternative or in addition to the control. The state of the system (also referred to as the operating point) can be represented by one or more controlled variables of the system, the actual value of which represents the actual state of the system and the target value (also referred to as the reference value) the target state of the system represented. In a regulation, an actual state of the system (e.g. determined based on a measurement) is compared with the target state of the system and one or more controlled variables are influenced by means of a corresponding manipulated variable (using an actuator) in such a way that the deviation of the actual state is minimized from the target state of the system.

Im Rahmen dieser Beschreibung kann ein Metall (auch als metallischer Werkstoff bezeichnet) zumindest ein metallisches Element (d.h. ein oder mehrere metallische Elemente) aufweisen (oder daraus gebildet sein), z.B. zumindest ein Element aus der Folgenden Gruppe von Elementen: Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Titan (Ti), Nickel (Ni), Silber (Ag), Chrom (Cr), Platin (Pt), Gold (Au), Magnesium (Mg), Aluminium (Al), Zirkonium (Zr), Tantal (Ta), Molybdän (Mo), Wolfram (W), Vanadium (V), Barium (Ba), Indium (In), Calcium (Ca), Hafnium (Hf), Samarium (Sm), Silber (Ag), und/oder Lithium (Li). Ferner kann ein Metall eine metallische Verbindung (z.B. eine intermetallische Verbindung oder eine Legierung) aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Verbindung aus zumindest zwei metallischen Elementen (z.B. aus der Gruppe von Elementen), wie z.B. Bronze oder Messing, oder z.B. eine Verbindung aus zumindest einem metallischen Element (z.B. aus der Gruppe von Elementen) und mindestens einem nichtmetallischen Element (z.B. Kohlenstoff), wie z.B. Stahl.Within the scope of this description, a metal (also referred to as a metallic material) can have (or be formed from) at least one metallic element (ie one or more metallic elements), for example at least one element from the following group of elements: copper (Cu), Iron (Fe), Titanium (Ti), Nickel (Ni), Silver (Ag), Chromium (Cr), Platinum (Pt), Gold (Au), Magnesium (Mg), Aluminum (Al), Zirconium (Zr), Tantalum (Ta), Molybdenum (Mo), Tungsten (W), Vanadium (V), Barium (Ba), Indium (In), Calcium (Ca), Hafnium (Hf), Samarium (Sm), Silver (Ag), and/or lithium (Li). Furthermore, a metal can have or be formed from a metallic compound (eg an intermetallic compound or an alloy), eg a compound of at least two metallic elements (eg from the group of elements) such as bronze or brass, or eg a compound of at least one metallic element (eg from the group of elements) and at least one non-metallic element (eg carbon), such as steel.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Substrat als Band (auch als Bandsubstrat oder bandförmiges Substrat bezeichnet) von Substratwickel-zu-Substratwickel (auch als Rolle-zu-Rolle bezeichnet) transportiert und dabei prozessiert werden.According to various embodiments, a substrate can be transported as a tape (also referred to as a tape substrate or tape-shaped substrate) from substrate reel to substrate reel (also referred to as reel-to-reel) and processed in the process.

Bespiele für das Prozessieren (auch als Behandeln bezeichnet) des Bandsubstrats weisen auf: Reinigen des Bandsubstrats, Beschichten des Bandsubstrats, Bestrahlen (z.B. mittels Licht, kohärentes Licht, UV-Licht, Teilchen, Elektronen, Ionen, usw.) des Bandsubstrats, Modifizieren der Oberfläche des Bandsubstrats, Erwärmen des Bandsubstrats, Ätzen des Bandsubstrats und Glimmen des Bandsubstrats.Examples of processing (also referred to as treating) the tape substrate include: cleaning the tape substrate, coating the tape substrate, irradiating (e.g., using light, coherent light, UV light, particles, electrons, ions, etc.) the tape substrate, modifying the surface chewing the ribbon substrate, heating the ribbon substrate, etching the ribbon substrate, and annealing the ribbon substrate.

Das Bandsubstrat kann eine Breite (Ausdehnung quer zur Transportrichtung) in einem Bereich von ungefähr 30 cm bis ungefähr 500 cm aufweisen, oder eine Breite von mehr als ungefähr 500 cm. Ferner kann das Bandsubstrat flexibel sein. Anschaulich kann ein Bandsubstrat (hierin vereinfacht auch als Substrat bezeichnet) ein beliebiges Substrat sein, welches auf eine Rolle aufgewickelt werden kann und/oder beispielsweise von Rolle-zu-Rolle prozessiert werden kann. Das Bandsubstrat kann je nach Elastizität des verwendeten Materials eine Materialstärke (auch als Substratdicke bezeichnet) in einem Bereich von ungefähr einigen Mikrometern (z.B. von ungefähr 1 µm) bis ungefähr einigen Millimetern (z.B. bis ungefähr 10 mm) aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 0,01 mm bis ungefähr 3 mm.The tape substrate may have a width (cross-transport dimension) in a range from about 30 cm to about 500 cm, or a width greater than about 500 cm. Furthermore, the tape substrate can be flexible. Clearly, a tape substrate (also referred to herein simply as a substrate) can be any substrate that can be wound onto a roll and/or can be processed from roll-to-roll, for example. Depending on the elasticity of the material used, the tape substrate can have a material thickness (also referred to as substrate thickness) in a range from approximately a few micrometers (e.g. from approximately 1 μm) to approximately a few millimeters (e.g. up to approximately 10 mm), for example in a range from approximately 0.01mm to about 3mm.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat mit einem Beschichtungsmaterial beschichtet sein oder werden. Das Beschichtungsmaterial kann zumindest ein Material der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: ein Metall; ein Übergangsmetall, ein Oxid (z.B. ein Metalloxid oder ein Übergangsmetalloxid); ein Dielektrikum; ein Polymer (z.B. ein Kohlenstoff-basiertes Polymer oder ein Silizium-basiertes Polymer); ein Oxinitrid; ein Nitrid; ein Karbid; eine Keramik; ein Halbmetall (z.B. Kohlenstoff); ein Perowskit; ein Glas oder glasartiges Material (z.B. ein sulfidisches Glas); einen Halbleiter; ein Halbleiteroxid; ein halborganisches Material, und/oder ein organisches Material. Das Beschichtungsmaterial zum Beschichten des Substrats kann mittels einer Prozessiervorrichtung bereitgestellt sein oder werden.According to various embodiments, the substrate may be or will be coated with a coating material. The coating material may include or be formed from at least one of the following materials: a metal; a transition metal, an oxide (e.g. a metal oxide or a transition metal oxide); a dielectric; a polymer (e.g., a carbon-based polymer or a silicon-based polymer); an oxynitride; a nitride; a carbide; a ceramic; a semimetal (e.g. carbon); a perovskite; a glass or vitreous material (e.g., a sulfidic glass); a semiconductor; a semiconductor oxide; a semi-organic material, and/or an organic material. The coating material for coating the substrate can be provided by means of a processing device.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Keramik, ein Glas, einen Halbleiter (z.B. einen amorphen, polykristallinen oder einkristallinen Halbleiter, z.B. Silizium), ein Metall (z.B. Aluminium, Kupfer, Eisen, Stahl, Platin, Gold, etc.) ein Polymer (z.B. Kunststoff) und/oder eine Mischung verschiedener Materialien, wie z.B. ein Verbundwerkstoff (z.B. Kohlenstofffaser-verstärkter-Kohlenstoff, oder Kohlenstofffaser-verstärkter-Kunststoff).According to various embodiments, the substrate may include or be formed from at least one of the following: a ceramic, a glass, a semiconductor (e.g., an amorphous, polycrystalline, or single-crystal semiconductor, e.g., silicon), a metal (e.g., aluminum, copper, iron, steel, platinum, gold, etc.), a polymer (e.g. plastic) and/or a mixture of different materials, such as a composite material (e.g. carbon fiber-reinforced carbon, or carbon fiber-reinforced plastic).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat eine Kunststofffolie, eine Halbleiterfolie, eine Metallfolie und/oder eine Glasfolie aufweisen oder daraus gebildet sein, und optional beschichtet sein oder werden. Optional kann das Substrat Fasern aufweisen, z.B. Glasfasern, Kohlenstofffasern, Metallfasern und/oder Kunststofffasern, z.B. in Form eines Gewebes, eines Netzes, eines Gewirks, Gestricks, oder als Filz bzw. Flies.According to various embodiments, the substrate may include or be formed from a plastic film, a semiconductor film, a metal film and/or a glass film, and optionally be or become coated. The substrate can optionally have fibers, for example glass fibers, carbon fibers, metal fibers and/or plastic fibers, for example in the form of a woven fabric, a net, a knitted fabric, a knitted fabric, or as a felt or fleece.

Das Prozessieren des Bandsubstrats kann in einer Vakuumkammer (auch als Prozessierkammer bezeichnet) erfolgen. Die Vakuumkammer kann zum Bereitstellen eines Unterdrucks oder eines Vakuums mit einer Pumpenanordnung, z.B. einer Vakuumpumpenanordnung, (z.B. gasleitend) gekoppelt sein und derart stabil eingerichtet sein, dass diese dem Einwirken des Luftdrucks im abgepumpten Zustand standhält. Die Vakuumkammer kann, wenn verschossen, beispielsweise luftdicht, staubdicht und/oder vakuumdicht eingerichtet sein oder werden. Das Pumpensystem (aufweisend zumindest eine Vakuumpumpe, z.B. eine Hochvakuumpumpe, z.B. eine Turbomolekularpumpe) kann es ermöglichen, einen Teil des Gases aus dem Inneren der Prozessierkammer, z.B. aus dem Vakuumbereich, abzupumpen.The tape substrate can be processed in a vacuum chamber (also referred to as a processing chamber). The vacuum chamber can be coupled (e.g. gas-conducting) to a pump arrangement, e.g. When fired, the vacuum chamber can, for example, be set up to be airtight, dust-tight and/or vacuum-tight. The pumping system (comprising at least one vacuum pump, e.g. a high vacuum pump, e.g. a turbomolecular pump) can make it possible to pump part of the gas out of the interior of the processing chamber, e.g. out of the vacuum region.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer derart eingerichtet sein, dass darin ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 1 mbar (mit anderen Worten Grobvakuum) bereitgestellt werden kann oder weniger, beispielsweise ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) oder weniger, beispielsweise ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder weniger, beispielsweise ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10-7 mbar.According to various embodiments, the vacuum chamber can be set up in such a way that a pressure in a range from about 10 mbar to about 1 mbar (in other words, rough vacuum) can be provided or less, for example a pressure in a range from about 1 mbar to about 10 -3 mbar (in other words fine vacuum) or less, for example a pressure in a range from about 10 -3 mbar to about 10 -7 mbar (in other words high vacuum) or less, for example a pressure of less than high vacuum, e.g. less than about 10 -7 mbar.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die hierin beschriebene Transportanordnung eine Vielzahl von Rollen (auch als Walzen bezeichnet) und mehrere Wickelhülsenkupplungen aufweisen. Beispielsweise kann jede Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen eine Kupplungsvorrichtung aufweisen zum Ankuppeln einer Wickelhülse. Beispielsweise kann die Kupplungsvorrichtung jeder Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen eine Spannvorrichtung (z.B. aufweisend einen Hülsenspanndorn, einen Spanndorn, einen Spreizdorn, ein Konus-Spannelement, und/oder einen Segmentspanndorn) zum Einspannen der jeweiligen Wickelhülse aufweisen.According to various embodiments, the transport assembly described herein may include a plurality of rollers (also referred to as rollers) and multiple core clutches. For example, each winding sleeve coupling of the plurality of winding sleeve couplings can have a coupling device for coupling to a winding sleeve. For example, the coupling device of each winding sleeve clutch of the plurality of winding sleeve couplings can have a clamping device (e.g. having a sleeve mandrel, a mandrel, an expanding mandrel, a cone clamping element, and/or a segmented mandrel) for clamping the respective winding tube.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer mehrere Drehdurchführungen aufweisen, von denen jede Drehdurchführung einer Wickelhülsenkupplung eine Montageposition bereitstellt. Beispielsweise kann die Vakuumkammer eine Kammerwand mit mehreren Drehdurchführungen aufweisen, von denen jede Drehdurchführung mit genau einer Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen gekuppelt ist zum Übertragen eines Drehmomentes auf die Wickelhülsenkupplung mittels der Drehdurchführung von außerhalb der Vakuumkammer.According to various embodiments, the vacuum chamber can have a plurality of rotary feedthroughs, each rotary feedthrough of which provides a mounting position for a winding sleeve coupling. For example, the vacuum chamber can have a chamber wall with a plurality of rotary unions, each rotary union being coupled to exactly one winding sleeve clutch of the plurality of winding sleeve clutches for transmitting a torque to the winding sleeve clutch by means of the rotary union from outside the vacuum chamber.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Wickelhülsenkupplungen im Wesentlichen gleichartig eingerichtet sein, so dass die Wickelhülsen untereinander vertauschbar sind. Im Wesentlichen gleichartig kann verstanden werden als identisch oder zumindest so ähnlich, dass die Unterschiede zwischen den mehreren Wickelhülsenkupplungen derart klein oder wenige sind, dass die Vertauschbarkeit der Wickelhülsen erhalten bleibt. Mit anderen Worten können optional geringe Unterschiede zwischen den mehreren Wickelhülsenkupplungen bestehen, welche allerdings deren Funktionalität gegenüber den Wickelhülsen nicht beeinträchtigt. Beispielsweise können die Wickelhülsen im Wesentlichen gleichartig eingerichtet sein.According to various embodiments, the several winding sleeve couplings can essentially be set up in the same way, so that the winding sleeves can be interchanged with one another. Substantially similar can be understood as identical or at least so similar that the differences between the several winding sleeve couplings are so small or few that the interchangeability of the winding sleeves is maintained. In other words, there can optionally be small differences between the several winding sleeve couplings, which, however, do not impair their functionality in relation to the winding sleeves. For example, the winding sleeves can be set up essentially in the same way.

Beispielsweise können die Wickelhülsenkupplungen einen gleichen Außendurchmesser aufweisen oder auf diesen einstellbar sein. Dies kann bereitstellen, dass eine Wickelhülse mit dem passenden Innendurchmesser auf jede Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen passt, z.B. wenn mehrere Wickelhülsen mit einheitlichem Innendurchmesser verwendet werden.For example, the winding sleeve couplings can have the same outer diameter or can be adjusted to this. This can provide for a core of the appropriate inner diameter to fit onto each core coupling of the multiple core couplings, e.g., when multiple cores of uniform internal diameter are used.

Der Abstand einander unmittelbar benachbarter Wickelhülsenkupplungen der mehreren Wickelhülsenkupplungen kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 5 m liegen.According to various embodiments, the distance between immediately adjacent winding sleeve couplings of the plurality of winding sleeve couplings can be in a range from approximately 1 m to approximately 5 m.

Jede Walze der Transportanordnung kann einen Rotationskörper aufweisen oder daraus gebildet sein und drehbar gelagert sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die hierin beschriebene Transportanordnung eingerichtet sein, das Substrat entlang eines Transportpfads von mehreren Metern Länge zu transportieren und dabei mehrmals umzulenken. Dazu kann die Transportanordnung zumindest eine Führungsrolle (auch als Führungswalze bezeichnet) aufweisen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zumindest eine Führungsrolle zumindest einer von folgenden Führungsrollen-Typen sein: ein Umlenkrolle; eine Breitstreckrolle; eine Messrolle; und/oder eine Zugrolle. Zumindest die Zugrolle kann eine angetriebene (d.h. aktive) Führungsrolle sein. Alternativ oder zusätzlich können die Umlenkrolle; die Breitstreckrolle und/oder die Messrolle eine antriebslose (d.h. passive) Führungsrolle sein. Optional kann, je nach Bedarf, auch eine oder mehr als eine Führungswalze, z.B. eine oder mehr als eine Breitstreckwalze, direkt oder indirekt angetrieben sein. Beispielsweise kann eine Breitstreckrolle eine konkave Führungsrolle (bzw. Walzen) sein und bereitstellen, dass das Bandsubstrat glatt (eben) transportiert wird und sich das Bandsubstrat anschaulich gesehen weniger wellt oder verzieht. Beispielsweise kann eine Zugrolle bereitstellen, dass eine vordefinierte Zugspannung auf das Bandsubstrat gebracht wird. Eine Zugrolle kann eine gummierte Oberfläche aufweisen, z.B. kann diese mit einem Gummi beschichtet sein oder werden.Each roller of the transport arrangement can have a rotating body or be formed from it and be rotatably mounted. According to various embodiments, the transport arrangement described herein can be set up to transport the substrate along a transport path several meters long and to deflect it several times in the process. For this purpose, the transport arrangement can have at least one guide roller (also referred to as a guide roller). According to various embodiments, the at least one guide roller can be at least one of the following types of guide rollers: a deflection roller; a spreader roll; a measuring roller; and/or a pull roller. At least the traction roller may be a powered (i.e. active) idler roller. Alternatively or additionally, the deflection roller; the spreader roller and/or the measuring roller can be a non-driven (i.e. passive) guide roller. Optionally, depending on requirements, one or more than one guide roller, e.g. one or more than one spreader roller, can be driven directly or indirectly. For example, a spreader roll may be a concave idler roll (or rollers) and provide for the tape substrate to be transported smoothly (flat) and graphically less buckling or warping of the tape substrate. For example, a tension roller may provide for a predefined tension to be placed on the tape substrate. A pull roller may have a rubberized surface, e.g., it may be or will be coated with a rubber.

Optional kann eine Führungsrolle als Messrolle eingerichtet sein oder werden. Die Messrolle kann mindestens einen Sensor aufweisen, welcher zum Erfassen einer mechanischen Größe eingerichtet sein kann, wobei die mechanische Größe eine mechanische Spannung in dem Substrat repräsentiert. Die mechanische Größe kann beispielsweise eine mechanische Wechselwirkung mit dem Substrat aufweisen, z.B. eine mechanische Kraft zu oder von dem Substrat (z.B. eines Drehmomentes). Alternativ oder zusätzlich kann die mechanische Größe eine Drehgeschwindigkeit der Messrolle aufweisen. Mit anderen Worten kann die Messrolle eingerichtet sein, eine mechanische Größe zu erfassen, welche eine mechanische Zugspannung in dem Substrat und/oder deren Gradienten und/oder Transienten repräsentiert.Optionally, a guide roller can be set up as a measuring roller. The measuring roller can have at least one sensor which can be set up to detect a mechanical variable, the mechanical variable representing a mechanical stress in the substrate. The mechanical quantity can include, for example, a mechanical interaction with the substrate, e.g., a mechanical force to or from the substrate (e.g., a torque). As an alternative or in addition, the mechanical variable can have a rotational speed of the measuring roller. In other words, the measuring roller can be set up to detect a mechanical variable which represents a mechanical tensile stress in the substrate and/or its gradient and/or transient.

Optional kann die Transportanordnung eine oder mehrere Zug-Regelstrecken (zur Zugentkopplung) aufweisen, z.B. mittels der Steuervorrichtung implementiert. Die oder jede Zug-Regelstreck kann mindestens eine Messwalze, eine Zugrolle und die Steuervorrichtung aufweisen. Die Steuervorrichtung kann eingerichtet sein, eine Drehgeschwindigkeit und/oder ein Drehmoment der Zugrolle auf Grundlage der mechanischen Größe zu steuern und/oder zu regeln, z.B. gemäß einer Vorgabe. Die Steuervorrichtung kann auch zum Steuern und/oder Regeln mehrerer Zug-Regelstrecken gemeinsam verwendet werden. Mittels der oder jeder Zug-Regelstrecke lässt sich bei einem empfindlichen Substrat die mechanische Zugspannung (auch als Bahnspannung bezeichnet), welche von den Führungsrollen und/oder Wicklern auf das Substrat übertragen wird, steuern und/oder regeln.Optionally, the transport arrangement can have one or more train control routes (for train decoupling), e.g. implemented by means of the control device. The or each tension control draw frame can have at least one measuring roller, one tension roller and the control device. The control device can be set up to control and/or regulate a rotational speed and/or a torque of the traction roller on the basis of the mechanical variable, e.g. according to a specification. The control device can also be used to control and/or regulate several train control routes together. In the case of a sensitive substrate, the mechanical tensile stress (also referred to as web tension), which is transferred from the guide rollers and/or winders to the substrate, can be controlled and/or regulated by means of the or each tension control path.

Wie oben beschrieben ist, kann die Transportanordnung einen Transportpfad bereitstellen, entlang dessen das Substrat umgewickelt wird. Das Umkonfigurieren der Transportanordnung kann aufweisen, den Transportpfad zu verändern, z.B. dessen Start und/oder Endpunkt.As described above, the transport arrangement can provide a transport path along which the substrate is wrapped. Reconfiguring the transport arrangement may include changing the transport path, e.g., its start and/or end point.

Im Folgenden wird zum einfacheren Verständnis auf den Zustand der Transportanordnung Bezug genommen, wenn das Substrat in diese eingelegt ist (auch als Betriebszustand bezeichnet). Das Substrat muss aber nicht notwendigerweise eingelegt sein, z.B. wenn die Transportanordnung gewartet wird oder das Substrat gewechselt wird. Das für das Substrat und dessen räumlichen Verlauf beschriebene kann in Analogie für den Transportpfad gelten und umgekehrt.In the following, for easier understanding, reference is made to the state of the transport arrangement when the substrate is placed in it (also referred to as the operating state). However, the substrate does not necessarily have to be inserted, e.g. when the transport arrangement is being serviced or the substrate is changed. What has been described for the substrate and its spatial profile can apply analogously to the transport path and vice versa.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Bandsubstrat Polyethylenterephthalat (PET) aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann das Bandsubstrat mit Aluminium beschichtet sein oder werden. Ein mit Aluminium beschichtetes Substrat aus Polyethylenterephthalat kann beispielsweise als Stromsammler in einer Batterie verbaut sein oder werden.According to various embodiments, the tape substrate may include or be formed from polyethylene terephthalate (PET). Alternatively or additionally, the strip substrate can be or will be coated with aluminum. An aluminum-coated substrate made of polyethylene terephthalate can, for example, be installed as a current collector in a battery.

1 veranschaulicht eine Transportanordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, wobei die Transportanordnung 100 in einer ersten Transportkonfiguration ist. 2 veranschaulicht die Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen 200 in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, wobei die Transportanordnung in einer zweiten Transportkonfiguration ist. 1 12 illustrates a transport assembly 100 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view, wherein the transport assembly 100 is in a first transport configuration. 2 12 illustrates the transport assembly according to various embodiments 200 in a schematic side view or cross-sectional view, wherein the transport assembly is in a second transport configuration.

Die Transportanordnung 100 kann mehreren Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 aufweisen. Die mehreren Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 können zumindest eine variable Wickelhülsenkupplung WD02 (auch als erste Wickelhülsenkupplung WD02 bezeichnet) und eine invariable Wickelhülsenkupplung WD01 (auch als zweite Wickelhülsenkupplung bezeichnet) aufweisen. Jede der Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 kann zum Ankuppeln (Aufnehmen und Halten) einer Wickelhülse eingerichtet sein. Jede Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 kann dazu um eine Drehachse 101a drehbar gelagert sein.The transport arrangement 100 can have several winding tube couplings WD01, WD02. The plurality of winding sleeve clutches WD01, WD02 can have at least one variable winding sleeve clutch WD02 (also referred to as first winding sleeve clutch WD02) and one invariable winding sleeve clutch WD01 (also referred to as second winding sleeve clutch). Each of the winding sleeve couplings WD01, WD02 can be set up for coupling (picking up and holding) a winding sleeve. For this purpose, each winding sleeve coupling of the plurality of winding sleeve couplings WD01, WD02 can be mounted so as to be rotatable about an axis of rotation 101a.

Eine Wickelhülse (auch als Spule oder Substratwickelhülse bezeichnet) kann als rohrförmiger Träger verstanden werden, mittels dessen ein flexibles Substrat in Form einer Wicklung gelagert oder umgewickelt, d.h. zu einer Wicklung (auch als Substratwickel oder Bandsubstratwickel bezeichnet) aufgewickelt oder von der Wicklung abgewickelt, werden kann. Beispielsweise kann mittels einer Wickelhülse ein Substrat 102 umgewickelt, z.B. darauf aufgewickelt oder davon abgewickelt, werden. Das flexible Substrat 102 kann zwischen zwei Wickelhülsen auf den Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 umgewickelt werden, z.B. von einer ersten Wickelhülse auf eine zweite Wickelhülse.A winding sleeve (also referred to as a spool or substrate winding sleeve) can be understood as a tubular support by means of which a flexible substrate is stored or wrapped in the form of a winding, i.e. wound up into a winding (also referred to as a substrate winding or tape substrate winding) or unwound from the winding can. For example, a winding sleeve can be used to wrap around a substrate 102, e.g., wound onto or unwound from it. The flexible substrate 102 can be wrapped between two winding sleeves on the winding sleeve couplings WD01, WD02, e.g. from a first winding sleeve to a second winding sleeve.

Ferner kann die Transportanordnung 100 mehrere (z.B. zwei) Prozessierwalzen CD01, CD02 aufweisen, an welchen das Substrat 102 im Betrieb anliegt und der Transportpfad umgelenkt wird. Jede Prozessierwalze CD01, CD02 kann somit einen gekrümmten Abschnitt des Transportpfads 111 bereitstellen, entlang dessen das Umwickeln des Substrats 102 erfolgen kann.Furthermore, the transport arrangement 100 can have several (e.g. two) processing rollers CD01, CD02, against which the substrate 102 rests during operation and the transport path is deflected. Each processing roller CD01, CD02 can thus provide a curved section of the transport path 111, along which the wrapping of the substrate 102 can take place.

Optional kann die Transportanordnung 100 zumindest eine drehbar gelagerte Führungsrolle 122 aufweisen, an welchen das Substrat 102 im Betrieb anliegt. Das Substrat 102 kann mittels der zumindest einen drehbar gelagerten Führungsrolle 122 umgelenkt, geführt und/oder gezogen werden. Die zumindest eine drehbar gelagerte Führungsrolle 122 kann beispielsweise mindestens 2 Führungsrollen 122 aufweisen, beispielsweise mindestens 2 Führungsrollen 122, beispielsweise mindestens 5 Führungsrollen 122, beispielsweise mindestens 10 Führungsrollen 122, beispielsweise mindestens 15 Führungsrollen 122, beispielsweise mindestens 20 Führungsrollen 122.Optionally, the transport arrangement 100 can have at least one rotatably mounted guide roller 122 on which the substrate 102 rests during operation. The substrate 102 can be deflected, guided and/or pulled by means of the at least one rotatably mounted guide roller 122. The at least one rotatably mounted guide roller 122 can have, for example, at least 2 guide rollers 122, for example at least 2 guide rollers 122, for example at least 5 guide rollers 122, for example at least 10 guide rollers 122, for example at least 15 guide rollers 122, for example at least 20 guide rollers 122.

Das Umlenken des Substrats 102 mittels einer Führungsrolle und/oder mittels einer Prozessierwalzen CD01, CD02 kann einen Winkel aufweisen (anschaulich die Differenz aus einlaufendem Transportpfad und auslaufendem Transportpfad). Der Winkel kann auch als Mindestumschlingung bezeichnet werden. Der Winkel kann größer sein als ungefähr 10°, z.B. größer als ungefähr 20°, z.B. größer als ungefähr 30°.The deflection of the substrate 102 by means of a guide roller and/or by means of a processing roller CD01, CD02 can have an angle (clearly the difference between the incoming transport path and the outgoing transport path). The angle can also be referred to as the minimum wrap. The angle may be greater than about 10°, such as greater than about 20°, such as greater than about 30°.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat von einer ersten Substratwickelhülse abgewickelt und auf eine zweite Substratwickelhülse aufgewickelt werden (auch als Hin-Umwickeln bezeichnet). Alternativ oder zusätzlich kann das Substrat von der zweiten Substratwickelhülse abgewickelt und auf die erste Substratwickelhülse aufgewickelt werden (auch als Rück-Umwickeln bezeichnet). Beispielsweise kann das Umwickeln aufweisen, dass die erste Substratwickelhülse an die erste Wickelhülsenkupplung WD02 oder die zweite Wickelhülsenkupplung WD01 angekuppelt ist. Beispielsweise kann das Umwickeln aufweisen, dass die zweite Substratwickelhülse an die die zweite Wickelhülsenkupplung WD01 bzw. erste Wickelhülsenkupplung WD02 angekuppelt ist.According to various embodiments, the substrate may be unwound from a first substrate winding core and wound onto a second substrate winding core (also referred to as over-wrapping). Alternatively or additionally, the substrate can be unwound from the second substrate winding core and wound onto the first substrate winding core (also referred to as rewinding). For example, the wrapping can include the first substrate winding sleeve being coupled to the first winding sleeve coupling WD02 or the second winding sleeve coupling WD01. For example, the wrapping can include the second substrate winding sleeve being coupled to the second winding sleeve coupling WD01 or the first winding sleeve coupling WD02.

Optional kann das Umwickeln mehrmals erfolgen, z.B. ein oder mehr als ein Paar aus Hin-Umwickeln und Rück-Umwickeln aufweisend. Dies erreicht, dass das Substrat 102 auf eine Substratwickelhülse aufgewickelt und danach von dieser wieder abgewickelt wird (auch als mehrmaliges Umwickeln bezeichnet).Optionally, the wrapping may be multiple, e.g., comprising one or more than one pair of forward wrapping and reverse wrapping. This achieves that the substrate 102 is wound onto a substrate winding sleeve and then unwound from it again (also referred to as multiple wrapping).

In der ersten Transportkonfiguration kann die variable Wickelhülsenkupplung WD02 in der ersten Montageposition 151 drehbar gelagert sein, z.B. unterhalb der invariablen Wickelhülsenkupplung WD01 und/oder unterhalb des Transportbereichs 157, oder zumindest kann an dieser die Wickelhülse gelagert sein. Wie zu erkennen ist, läuft das Substrat in diesem Fall entgegen dem Uhrzeigersinn (auch als linksdrehend bezeichnet) um die erste Prozessierwalze CD01 herum und im Uhrzeigersinn (auch als rechtsdrehend bezeichnet) um die zweite Prozessierwalze CD02 herum.In the first transport configuration, the variable winding sleeve coupling WD02 can be rotatably mounted in the first assembly position 151, eg below the invariable winding sleeve coupling WD01 and/or below the transport area 157, or at least the winding sleeve can be mounted on this. As can be seen, in this case the substrate runs around the first processing roller CD01 counterclockwise (also referred to as left-handed) and clockwise (also referred to as designated clockwise) around the second processing roller CD02.

Dies erreicht, dass das Substrat 102 mit einer ersten Substratoberfläche 1020 (anschaulicher auch als Oberseite bezeichnet) an der ersten Prozessierwalze CD01 anliegt und mit einer zweiten Substratoberfläche 102u (anschaulicher auch als Unterseite bezeichnet) an der zweiten Prozessierwalze CD02 anliegt. Die Oberseite 102o und die Unterseite 102u können diejenigen einander gegenüberliegenden Substratoberflächen des Substrats bezeichnen, die einander zugewandt sind, wenn das Substrat aufgewickelt ist.This achieves that the substrate 102 rests with a first substrate surface 1020 (also referred to more clearly as top side) on the first processing roller CD01 and with a second substrate surface 102u (referred to more clearly as underside) on the second processing roller CD02. The top 102o and the bottom 102u may denote those opposite substrate surfaces of the substrate that face each other when the substrate is rolled up.

Somit können die sich die zwei Prozessierwalzen CD01, CD02 in ihrer Drehrichtung voneinander unterscheiden, wenn die variable Wickelhülsenkupplung WD02 in der ersten Montageposition drehbar gelagert ist.Thus, the two processing rollers CD01, CD02 can differ from each other in their direction of rotation when the variable winding sleeve coupling WD02 is rotatably mounted in the first assembly position.

In der zweiten Transportkonfiguration kann die variable Wickelhülsenkupplung WD02 in der zweiten Montageposition drehbar gelagert sein, z.B. neben der invariablen Wickelhülsenkupplung WD01 und/oder über dem Transportbereich 157, oder zumindest kann an dieser die Wickelhülse gelagert sein. Wie zu erkennen ist, läuft das Substrat in diesem Fall entgegen dem Uhrzeigersinn um die erste Prozessierwalze CD01 herum und entgegen dem Uhrzeigersinn um die zweite Prozessierwalze CD02 herum.In the second transport configuration, the variable winding sleeve coupling WD02 can be rotatably mounted in the second assembly position, e.g. next to the invariable winding sleeve coupling WD01 and/or above the transport area 157, or at least the winding sleeve can be mounted on this. As can be seen, in this case the substrate runs counterclockwise around the first processing roller CD01 and counterclockwise around the second processing roller CD02.

Dies erreicht, dass das Substrat 102 mit der ersten Substratoberfläche an der ersten Prozessierwalze CD01 und an der zweiten Prozessierwalze CD02 anliegt.This ensures that the substrate 102 rests with the first substrate surface on the first processing roller CD01 and on the second processing roller CD02.

Somit können die die zwei Prozessierwalzen CD01, CD02 in ihrer Drehrichtung übereinstimmen, wenn die variable Wickelhülsenkupplung WD02 in der zweiten Montageposition drehbar gelagert ist.The direction of rotation of the two processing rollers CD01, CD02 can thus match when the variable winding sleeve coupling WD02 is rotatably mounted in the second assembly position.

Die erste Montageposition 151 kann mittels eines ersten Montagesockels 112a bereitgestellt sein. Die zweite Montageposition 153 kann mittels eines zweiten Montagesockels 112b bereitgestellt sein. Die zwei Montagesockel 112a, 112b sind jeweils invariante Bestandteile des Gestells (beispielsweise beim Umkonfigurieren an Ort und Stelle verbleibend) und können, wenn diese nicht genutzt werden, beispielsweise blind-verflanscht werden.The first mounting position 151 can be provided by means of a first mounting base 112a. The second mounting position 153 may be provided by a second mounting base 112b. The two mounting bases 112a, 112b are in each case invariant components of the frame (remaining in place, for example, during reconfiguration) and, if they are not used, can be blind-flanged, for example.

Wie zu sehen ist, kann zwischen den zwei Montagesockeln 112a, 112b zumindest der Transportbereich 157 angeordnet sein, durch welchen der Transportpfad (z.B. ein Abschnitt des Transportpfads) hindurch verläuft und/oder in welchem eine oder mehr als eine Führungsrolle 122 angeordnet ist. Beispielsweise kann eine oder mehr als eine Führungsrolle 122 zwischen den zwei Montagesockeln 112a, 112b angeordnet sein, um einen Abschnitt des Transportpfads umzulenken. Der Abschnitt des Transportpfads kann von der ersten Prozessierwalze CD01 (auch als Prozesswalze bezeichnet) zu der zweiten Prozessierwalze CD02 führen.As can be seen, at least the transport area 157 can be arranged between the two mounting bases 112a, 112b, through which the transport path (e.g. a section of the transport path) runs and/or in which one or more than one guide roller 122 is arranged. For example, one or more than one guide roller 122 can be arranged between the two mounting bases 112a, 112b in order to redirect a portion of the transport path. The section of the transport path can lead from the first processing roller CD01 (also referred to as the process roller) to the second processing roller CD02.

Jede der zwei Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 und jede der zwei Prozessierwalzen CD01, CD02 kann gemäß der Transportkonfiguration angetrieben werden (dann auch als aktive Walzen bezeichnet). Dazu kann die Transportanordnung 100 eine entsprechende Antriebsvorrichtung aufweisen, welche eingerichtet ist, jede der zwei Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 und jede der zwei Prozessierwalzen CD01, CD02 in eine Drehbewegung zu versetzen (indem diesen ein Drehmoment zugeführt wird).Each of the two core clutches WD01, WD02 and each of the two processing rollers CD01, CD02 can be driven according to the transport configuration (then also referred to as active rollers). For this purpose, the transport arrangement 100 can have a corresponding drive device, which is set up to set each of the two winding sleeve clutches WD01, WD02 and each of the two processing rollers CD01, CD02 into a rotational movement (by supplying a torque to them).

Die Drehachsen 101a der Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 können achsparallel zueinander sein, z.B. parallel zu der Drehachsenrichtung 101. Die Drehachse 101a der zumindest einen Führungsrolle 122 kann achsparallel zu den Drehachsen 101a der Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 sein, z.B. parallel zu der Drehachsenrichtung 101. Die Drehachse 101a jeder Prozessierwalze CD01, CD02 kann achsparallel zu den Drehachsen 101a der Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 sein, z.B. parallel zu der Drehachsenrichtung 101.The axes of rotation 101a of the winding tube couplings WD01, WD02 can be axis-parallel to one another, e.g. parallel to the direction of the axis of rotation 101. The axis of rotation 101a of the at least one guide roller 122 can be axis-parallel to the axes of rotation 101a of the winding tube couplings WD01, WD02, e.g. parallel to the direction of the axis of rotation 101. The axis of rotation 101a of each processing roller CD01, CD02 can be axis-parallel to the axes of rotation 101a of the winding sleeve couplings WD01, WD02, e.g. parallel to the direction of the axis of rotation 101.

Grundsätzlich kann die Transportanordnung 100 umkonfiguriert werden (auch als Umkonfigurieren bezeichnet). Das Umkonfigurieren der Transportanordnung 100 kann aufweisen, die Transportanordnung 100 von der ersten Transportkonfiguration in die zweite Transportkonfiguration zu bringen oder von der zweiten Transportkonfiguration in die erste Transportkonfiguration zu bringen.In principle, the transport arrangement 100 can be reconfigured (also referred to as reconfiguration). Reconfiguring the transport assembly 100 may include moving the transport assembly 100 from the first transport configuration to the second transport configuration or from the second transport configuration to the first transport configuration.

In einem ersten Anwendungsbeispiel kann das Umkonfigurieren der Transportanordnung 100 aufweisen, die variable Wickelhülsenkupplung WD02 zu verlagern, z.B. in die erste Montageposition 151 oder in die zweite Montageposition 153.In a first application example, the reconfiguration of the transport arrangement 100 can include relocating the variable winding sleeve coupling WD02, e.g. to the first assembly position 151 or to the second assembly position 153.

Beispielsweise kann die Transportanordnung 100 von der ersten Transportkonfiguration in die zweite Transportkonfiguration gebracht werden, indem die variable Wickelhülsenkupplung WD02 aus der ersten Montageposition in die zweite Montageposition gebracht wird. Dazu kann die variable Wickelhülsenkupplung WD02 von dem Gestell (z.B. dem ersten Montagesockel 112a) demontiert werden und in der zweiten Montageposition wieder an dem Gestell (z.B. an den zweiten Montagesockel 112b) montiert werden.For example, the transport assembly 100 can be brought from the first transport configuration to the second transport configuration by moving the variable winding sleeve coupling WD02 from the first assembly position to the second assembly position. To do this, the variable coil sleeve coupling WD02 can be removed from the frame (e.g. the first mounting base 112a) and remounted on the frame (e.g. on the second mounting base 112b) in the second mounting position.

Beispielsweise kann die Transportanordnung 100 von der zweiten Transportkonfiguration in die erste Transportkonfiguration gebracht werden, indem die variable Wickelhülsenkupplung WD02 aus der zweiten Montageposition 153 in die erste Montageposition 151 gebracht wird. Dazu kann die variable Wickelhülsenkupplung WD02 von dem Gestell (z.B. dem zweiten Montagesockel 112b) demontiert werden und in der ersten Montageposition wieder an das Gestell (z.B. an den ersten Montagesockel 112a) montiert werden.For example, the transport arrangement 100 can change from the second transport configuration in be brought into the first transport configuration by bringing the variable winding sleeve coupling WD02 from the second assembly position 153 to the first assembly position 151. For this purpose, the variable coil sleeve coupling WD02 can be removed from the frame (eg the second mounting base 112b) and remounted in the first mounting position on the frame (eg on the first mounting base 112a).

In einem zweiten Anwendungsbeispiel (nicht dargestellt) kann das Umkonfigurieren der Transportanordnung 100 aufweisen, dass die Transportanordnung 100 zwei variable Wickelhülsenkupplungen WD02 aufweist, von denen eine erste variable Wickelhülsenkupplung WD02 in der ersten Montageposition (z.B. an dem ersten Montagesockel 112a montiert) ist und eine zweite variable Wickelhülsenkupplung WD02 in der zweiten Montageposition (z.B. an dem zweiten Montagesockel 112b montiert) ist. In dem zweiten Anwendungsbeispiel kann das Umkonfigurieren der Transportanordnung 100 aufweisen, die Wickelhülse zu verlagern, und z.B. an die erste variable Wickelhülsenkupplungen WD02 oder an die zweite variable Wickelhülsenkupplungen WD02 anzukuppeln.In a second application example (not shown), the reconfiguration of the transport arrangement 100 can include the transport arrangement 100 having two variable winding sleeve couplings WD02, of which a first variable winding sleeve coupling WD02 is in the first mounting position (e.g. mounted on the first mounting base 112a) and a second variable winding sleeve coupling WD02 in the second mounting position (eg mounted on the second mounting base 112b). In the second application example, reconfiguring the transport assembly 100 may include relocating the core and coupling it to, for example, the first variable core coupler WD02 or the second variable core coupler WD02.

Anschaulicher kann das Umkonfigurieren der Transportanordnung 100 in dem zweiten Anwendungsbeispiel aufweisen, nur die Wickelhülse anstatt der gesamten Wickelhülsenkupplung zu verlagern. Hierin wird unter anderem Bezug genommen auf das erste Anwendungsbeispiel, wobei das für das erste Anwendungsbeispiel Beschriebene in Analogie für das zweite Anwendungsbeispiel und umgekehrt gelten kann.More illustratively, reconfiguring the transport assembly 100 in the second application example may include relocating only the core rather than the entire core clutch. Here, inter alia, reference is made to the first application example, it being possible for what was described for the first application example to apply analogously to the second application example and vice versa.

3 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche die Transportanordnung 100 in der ersten Transportkonfiguration aufweist. 4 veranschaulicht die Vakuumanordnung 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 400 in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche die Transportanordnung 100 in der zweiten Transportkonfiguration aufweist. Es kann verstanden werden, dass die Transportanordnung 100 auch als eigenständiges Bauteil, z.B. separat von einer Vakuumordnung 300 bereitgestellt werden kann. 3 12 illustrates a vacuum assembly 300 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view, including the transport assembly 100 in the first transport configuration. 4 4 illustrates the vacuum assembly 300 according to various embodiments 400 in a schematic side view or cross-sectional view having the transport assembly 100 in the second transport configuration. It can be understood that the transport arrangement 100 can also be provided as an independent component, for example separately from a vacuum arrangement 300 .

Die Vakuumanordnung 300 kann eine Vakuumkammer 802 aufweisen, in welcher die Walzen der Transportanordnung 100 angeordnet sind, z.B. die mehreren Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 und/oder die mehreren Prozessierwalzen CD01, CD02 und/oder die zumindest eine Führungswalze 122.The vacuum arrangement 300 can have a vacuum chamber 802 in which the rollers of the transport arrangement 100 are arranged, e.g. the plurality of winding core clutches WD01, WD02 and/or the plurality of processing rollers CD01, CD02 and/or the at least one guide roller 122.

Die Antriebsvorrichtung kann optional außerhalb der Vakuumkammer 802 angeordnet sein. In dem Fall kann eine Gehäusewand der Vakuumkammer pro aktiver Walze eine Drehdurchführung (z.B. mittels eines Flanschs bereitgestellt) aufweisen, welche die Antriebsvorrichtung mit den aktiven Walzen kuppelt. Beispielsweise kann die Antriebsvorrichtung mit den mehreren Wickelhülsenkupplungen WD01, WD02 und/oder mit den mehreren Prozessierwalzen CD01, CD02 gekuppelt sein.The driving device can optionally be arranged outside of the vacuum chamber 802 . In that case, a housing wall of the vacuum chamber can have a rotary union (e.g. provided by means of a flange) per active roller, which couples the drive device to the active rollers. For example, the drive device can be coupled to the multiple winding tube couplings WD01, WD02 and/or to the multiple processing rollers CD01, CD02.

Beispielsweise kann jeder der zwei Montagesockel 112a, 112b eine entsprechende Drehdurchführung aufweisen.For example, each of the two mounting bases 112a, 112b can have a corresponding rotary feedthrough.

Die Vakuumanordnung 300 kann eingerichtet sein, das Substrat zu prozessieren. Das Prozessieren kann aufweisen, das Substrat dauerhaft zu verändern. Das Prozessieren kann beispielsweise aufweisen, dem Substrat Material hinzuzufügen (z.B. das Substrat zu beschichten), das Substrat zu erwärmen (d.h. dem Substrat thermische Energie zuzuführen), das Substrat zu kühlen (d.h. dem Substrat thermische Energie zu entziehen), das Substrat chemisch und/oder elektrisch zu verändern (z.B. zu dotieren), und/oder von dem Substrat Material zu entfernen (z.B. das Substrat zu ätzen).The vacuum arrangement 300 can be set up to process the substrate. The processing may include permanently altering the substrate. The processing can include, for example, adding material to the substrate (eg coating the substrate), heating the substrate (ie supplying thermal energy to the substrate), cooling the substrate (ie removing thermal energy from the substrate), chemically and/or or to electrically alter (eg, to dope), and/or to remove material from the substrate (eg, to etch the substrate).

Die Vakuumanordnung 300 kann eingerichtet sein, das Substrat 102 einseitig zu prozessieren (z.B. zu beschichten), wenn die variable Wickelhülsenkupplung WD02 in der zweiten Montageposition drehbar gelagert ist; und das Bandsubstrat beidseitig zu prozessieren (z.B. zu beschichten), wenn die erste Wickelhülsenkupplung WD02 in der ersten Montageposition drehbar gelagert ist.The vacuum arrangement 300 can be set up to process (e.g. to coat) the substrate 102 on one side when the variable winding sleeve coupling WD02 is rotatably mounted in the second mounting position; and to process (e.g. to coat) the strip substrate on both sides when the first winding sleeve coupling WD02 is rotatably mounted in the first assembly position.

Optional kann das Prozessieren aufweisen, das mehrmalige Umwickeln durchzuführen, z.B. einen oder mehr als einmal ein Paar aus Hin-Umwickeln und Rück-Umwickeln durchzuführen. Dies kann beispielsweise erfolgen, wenn eine Veränderung des Substrats pro Umwickeln nicht ausreicht oder aus einem anderen Grund eine mehrmalige, z.B. schrittweise, Veränderung des Substrats erreicht werden soll.Optionally, the processing may include performing the multiple wrapping, e.g., performing one or more than one pair of forward wrapping and reverse wrapping. This can be done, for example, if changing the substrate per wrapping is not sufficient or if the substrate is to be changed several times, e.g. step by step, for another reason.

Beispielsweise kann, wenn ein Kunststoffsubstrat (z.B. mit Metall) beschichtet wird, mechanische Spannung von der Beschichtung auf den Kunststoff ausgeübt werden. Dem kann entgegengewirkt werden, indem der Kunststoff beidseitig beschichtet wird. Dies kann beispielsweise ein oder mehr als einmal wiederholt werden, um somit eine Beschichtung Lage um Lage aufzubauen (z.B. um die Schichtdicke schrittweise zu erhöhen), ohne dass die mechanische Spannung zu groß wird.For example, when a plastic substrate is coated (e.g., with metal), stress can be applied to the plastic from the coating. This can be counteracted by coating the plastic on both sides. This can be repeated one or more times, for example, in order to build up a coating layer by layer (e.g. to gradually increase the layer thickness) without the mechanical stress becoming too great.

Um das Substrat zu erwärmen und/oder zu kühlen (allgemeiner auch als Temperieren bezeichnet), kann eine oder mehr als eine der Prozessierwalzen CD01, CD02 als Temperierwalze eingerichtet sein, was später noch genauer beschrieben wird.In order to heat and/or cool the substrate (also known more generally as tempering net), one or more than one of the processing rollers CD01, CD02 can be set up as a tempering roller, which will be described in more detail later.

Zum Prozessieren kann die Vakuumanordnung 300 alternativ oder zusätzlich eine erste Prozessiervorrichtung 402a aufweisen, welche der ersten Prozessierwalze CD01 zugeordnet ist, und eine zweite Prozessiervorrichtung 402b aufweisen, welche der zweiten Prozessierwalze CD02 zugeordnet ist. Mit anderen Worten kann die Vakuumanordnung 300 zwei Paare aufweisen, von denen jedes Paar eine Prozessiervorrichtung und eine Prozessierwalze aufweist, die einander zugeordnet sind. Im Folgenden wird allgemeiner auf eines der Paare Bezug genommen, wobei das Beschriebene in Analogie für die erste Prozessiervorrichtung 402a und/oder die zweite Prozessiervorrichtung 402b gelten kann.For processing, the vacuum arrangement 300 can alternatively or additionally have a first processing device 402a, which is assigned to the first processing roller CD01, and a second processing device 402b, which is assigned to the second processing roller CD02. In other words, the vacuum assembly 300 may have two pairs, each pair having a processing device and a processing roller associated with each other. In the following, reference is made more generally to one of the pairs, it being possible for what has been described to apply analogously to the first processing device 402a and/or the second processing device 402b.

Jede Prozessiervorrichtung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zum Beschichten zumindest eines Substrat (d.h. eines Substrats oder mehrere Substrate) eingerichtet sein. Beispielsweise kann eine Prozessiervorrichtung zum Bereitstellen eines gasförmigen Beschichtungsmaterials (z.B. ein Materialdampf) und/oder flüssigen Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, welches z.B. auf dem zumindest einen Substrat zum Bilden einer Schicht abgeschieden werden kann (auch als Beschichten bezeichnet). Eine Prozessiervorrichtung kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Sputtervorrichtung, eine thermisch-Verdampfen-Vorrichtung (z.B. einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen thermischen Verdampfer), eine Präkursorgasquelle, einen Flüssigphasenzerstäuber. Eine Sputtervorrichtung kann zum Zerstäuben des Beschichtungsmaterials mittels eines Plasmas eingerichtet sein. Eine thermisch-Verdampfen Vorrichtung kann zum Überführen des Beschichtungsmaterials in einen gasförmigen Aggregatszustand mittels thermischer Energie eingerichtet sein. Je nach der Beschaffenheit des Beschichtungsmaterials können ein Sublimieren und/oder ein Verdampfen des Beschichtungsmaterials erfolgen. Mit anderen Worten kann die thermisch-Verdampfen-Vorrichtung das Beschichtungsmaterial auch sublimieren. Ein Flüssigphasenzerstäuber kann zum Aufbringen eines Beschichtungsmaterials aus der Flüssigphase eingerichtet sein, z.B. einen Farbstoff aufweisend oder daraus gebildet.According to various embodiments, each processing device can be set up for coating at least one substrate (i.e. one substrate or several substrates). For example, a processing device can be set up to provide a gaseous coating material (e.g. a material vapor) and/or liquid coating material, which can be deposited, for example, on the at least one substrate to form a layer (also referred to as coating). A processing device may include at least one of the following: a sputtering device, a thermal evaporation device (e.g., a laser beam evaporator, an arc evaporator, an electron beam evaporator, and/or a thermal evaporator), a precursor gas source, a liquid phase nebulizer. A sputtering device can be set up to atomize the coating material by means of a plasma. A thermal evaporation device can be set up to convert the coating material into a gaseous state of aggregation by means of thermal energy. Depending on the nature of the coating material, sublimation and/or evaporation of the coating material can take place. In other words, the thermal evaporation device can also sublimate the coating material. A liquid phase atomizer can be set up for applying a coating material from the liquid phase, e.g., comprising or formed from a dye.

Die Prozessiervorrichtung des Paars kann eingerichtet sein, einen Abschnitt des Bandsubstrats auf der Prozessierwalze des Paars zu prozessieren. Beispielsweise kann die Prozessiervorrichtung des Paars eine Beschichtungsmaterialquelle aufweisen, die eingerichtet ist, ein Beschichtungsmaterial bereitzustellen und zu der Prozessierwalze des Paars hin zu emittieren.The pair's processing device may be configured to process a portion of the ribbon substrate on the pair's processing roller. For example, the pair's processing device may include a coating material source configured to provide and emit a coating material toward the pair's processing roller.

Im Folgenden wird auf eine Prozessiervorrichtung (dann auch als Elektronenstrahl-Prozessiervorrichtung bezeichnet) Bezug genommen, welche eingerichtet ist, das Beschichtungsmaterial mittels eines Elektronenstrahls 412 in die Gasphase zu überführen (auch als Elektronenstrahlverdampfen bezeichnet), um ein gasförmiges Beschichtungsmaterial bereitzustellen. Die Elektronenstrahl-Prozessiervorrichtung kann beispielsweise einen Tiegel, in welchem das Beschichtungsmaterial angeordnet ist, als Beschichtungsmaterialquelle aufweisen. Das für die Elektronenstrahl-Prozessiervorrichtung Beschriebene kann in Analogie auch für eine anders eingerichtete Prozessiervorrichtung gelten.In the following, reference is made to a processing device (then also referred to as an electron beam processing device), which is set up to convert the coating material into the gas phase using an electron beam 412 (also referred to as electron beam evaporation) in order to provide a gaseous coating material. The electron beam processing device can have, for example, a crucible in which the coating material is arranged as a coating material source. By analogy, what has been described for the electron beam processing device can also apply to a differently configured processing device.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Bandsubstrat 102 Polyethylenterephthalat (PET) aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann das Beschichtungsmaterial Aluminium aufweisen oder daraus gebildet sein. Damit kann beispielsweise sehr effizient und kostengünstig ein leitfähiges Substrat bereitgestellt werden.According to various embodiments, the tape substrate 102 may include or be formed from polyethylene terephthalate (PET). Alternatively or additionally, the coating material can include aluminum or be formed from it. A conductive substrate can thus be provided very efficiently and cost-effectively, for example.

Grundlegend kann das Substrat mit der ersten Substratoberfläche an der ersten Prozessierwalze CD01 anliegen, so dass die zweite Substratoberfläche des Substrats der ersten Prozessiervorrichtung 402a zugewandt an dieser vorbei transportiert wird. Dies erreicht, dass die zweite Substratoberfläche mittels der ersten Prozessiervorrichtung 402a prozessiert wird.In principle, the substrate can bear against the first processing roller CD01 with the first substrate surface, so that the second substrate surface of the substrate is transported past the first processing device 402a facing the latter. This achieves that the second substrate surface is processed by means of the first processing device 402a.

Ist die Transportanordnung 100 in der ersten Transportkonfiguration, kann das Substrat mit der zweiten Substratoberfläche an der zweiten Prozessierwalze CD02 anliegen, so dass die erste Substratoberfläche des Substrats der zweiten Prozessiervorrichtung 402b zugewandt an dieser vorbei transportiert wird. Dies erreicht, dass die erste Substratoberfläche mittels der zweiten Prozessiervorrichtung 402b prozessiert (z.B. beschichtet) wird. Im Ergebnis wird pro Durchlauf des Umwickelns die erste Substratoberfläche und die zweite Substratoberfläche prozessiert (auch als zweiseitiges Prozessieren bezeichnet). Das zweiseitige Prozessieren kann beispielsweise aufweisen, dass (z.B. pro Durchlauf des Umwickelns) die erste Substratoberfläche und die zweite Substratoberfläche gleichhäufig prozessiert (z.B. beschichtet) werden.If the transport arrangement 100 is in the first transport configuration, the substrate can rest against the second processing roller CD02 with the second substrate surface, so that the first substrate surface of the substrate is transported past the second processing device 402b facing the latter. This achieves that the first substrate surface is processed (e.g. coated) by means of the second processing device 402b. As a result, the first substrate surface and the second substrate surface are processed (also referred to as two-sided processing) per pass of the wrapping. The two-sided processing can have, for example, that (e.g. per pass of the wrapping) the first substrate surface and the second substrate surface are processed (e.g. coated) the same number of times.

Ist die Transportanordnung 100 in der zweiten Transportkonfiguration, kann das Substrat mit der ersten Substratoberfläche an der zweiten Prozessierwalze CD02 anliegen, so dass die zweite Substratoberfläche des Substrats der zweiten Prozessiervorrichtung 402b zugewandt an dieser vorbei transportiert wird. Dies erreicht, dass die zweite Substratoberfläche mittels der zweiten Prozessiervorrichtung 402b prozessiert (z.B. beschichtet) wird. Im Ergebnis wird pro Durchlauf des Umwickelns die zweite Substratoberfläche mehrmals prozessiert (auch als einseitiges Prozessieren bezeichnet). Das einseitige Prozessieren kann beispielsweise aufweisen, dass (z.B. pro Durchlauf des Umwickelns) die zweite Substratoberfläche häufiger als die erste Substratoberfläche prozessiert wird.If the transport arrangement 100 is in the second transport configuration, the substrate can bear against the second processing roller CD02 with the first substrate surface, so that the second substrate surface of the substrate is transported past the second processing device 402b facing the latter. This achieves that the second substrate surface is processed (eg coated) by means of the second processing device 402b. As a result, the per pass of the wrapping second substrate surface processed several times (also referred to as one-sided processing). The one-sided processing can have, for example, that the second substrate surface is processed more frequently than the first substrate surface (eg per pass of the wrapping).

Die Temperierwalze kann eingerichtet sein, dass dieser, z.B. deren äußerer Walzenumfangsfläche, thermische Energie zugeführt und/oder entzogen wird. Dazu kann die Temperierwalze eine Temperiervorrichtung aufweisen oder mit einer Temperiervorrichtung gekoppelt sein, wobei die Temperiervorrichtung zum Entziehen und/oder Zuführen der thermischen Energie eingerichtet ist. Beispielsweise kann die Temperiervorrichtung einen resistiven Heizer aufweisen zum Zuführen der thermischen Energie. Alternativ oder zusätzlich kann die Temperiervorrichtung einen Fluidkreislauf aufweisen zum Entziehen und/oder Zuführen der thermischen Energie. Alternativ oder zusätzlich kann die Temperiervorrichtung eingerichtet sein, ein mittels der Walzenumfangsfläche ein Gas abzugeben. Dies erreicht, dass das Substrat besser thermisch angekoppelt wird an die Walzenumfangsfläche.The tempering roller can be set up so that thermal energy is supplied to and/or withdrawn from it, e.g. For this purpose, the tempering roller can have a tempering device or be coupled to a tempering device, with the tempering device being set up for extracting and/or supplying the thermal energy. For example, the temperature control device can have a resistive heater for supplying the thermal energy. Alternatively or additionally, the temperature control device can have a fluid circuit for extracting and/or supplying the thermal energy. Alternatively or additionally, the temperature control device can be set up to emit a gas by means of the peripheral surface of the roller. This achieves that the substrate is better thermally coupled to the peripheral surface of the roller.

Beispielsweise kann die Transportanordnung 100 zwei Kühlwalzen CD01, CD02 aufweisen, die eingerichtet sind, das Substrat 102 zu kühlen.For example, the transport arrangement 100 can have two cooling rollers CD01, CD02, which are set up to cool the substrate 102.

Das Gestell kann beispielsweise Teil der Vakuumkammer 802 sein oder in dieser angeordnet sein oder werden. Beispielsweise kann die Vakuumkammer 802 eine Kammerwand aufweisen, welche Teil des Gestells ist. Die Kammerwand kann optional als Kammerdeckel eingerichtet sein, welcher sich von einem Kammergehäuse der Vakuumkammer entfernen lässt. Zwischen dem Kammergehäuse und dem Kammerdeckel kann eine Vakuumdichtung angeordnet sein.For example, the frame can be part of the vacuum chamber 802 or can be or will be arranged in it. For example, the vacuum chamber 802 may include a chamber wall that is part of the frame. The chamber wall can optionally be set up as a chamber cover, which can be removed from a chamber housing of the vacuum chamber. A vacuum seal can be arranged between the chamber housing and the chamber lid.

Der Kammerdeckel kann beispielsweise ein Fahrgestell aufweisen, so dass dieser verfahren werden kann.The chamber cover can have a chassis, for example, so that it can be moved.

Beispielsweise das Gestell die Kammerwand und eine Trägerwand aufweisen, welche in einem Abstand voneinander angeordnet sind. Dann kann jede Walze der Transportanordnung mit einer ersten Seite der Walze an dem Kammerdeckel montiert sein und mit einer zweiten Seite der Walze an der Trägerwand des Gestells montiert sein. Beispielsweise kann die gesamte Transportanordnung 100 aus dem Kammergehäuse herausgebracht und wieder hineingebracht werden. Dies erleichtert das Umkonfigurieren.For example, the frame may have the chamber wall and a support wall spaced apart from each other. Then each roller of the transport arrangement can be mounted with a first side of the roller on the chamber lid and with a second side of the roller mounted on the support wall of the frame. For example, the entire transport assembly 100 can be moved out of and back into the chamber housing. This makes reconfiguration easier.

Beispielsweise kann die Antriebsvorrichtung an der Kammerwand montiert sein, z.B. außerhalb der Vakuumkammer 802.For example, the drive device can be mounted on the chamber wall, e.g. outside of the vacuum chamber 802.

Optional kann zwischen den zwei Beschichtungsmaterialquellen 402a, 402b (z.B. zwischen den zwei Tiegeln) eine Versorgungsvorrichtung (nicht dargestellt) in der Vakuumkammer 802 angeordnet sein, welche eingerichtet ist, einer oder mehr als einer der zwei Beschichtungsmaterialquellen 402a, 402b das Beschichtungsmaterial zuzuführen (auch als Nachfütterung bezeichnet), z.B. ohne die Vakuumkammer 802 öffnen zu müssen. Dies verlängert die Standzeit der Vakuumanordnung 300.Optionally, a supply device (not shown) can be arranged in the vacuum chamber 802 between the two coating material sources 402a, 402b (e.g. between the two crucibles), which is set up to supply the coating material to one or more than one of the two coating material sources 402a, 402b (also known as referred to as refeeding), for example without having to open the vacuum chamber 802 . This extends the life of the vacuum assembly 300.

5 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 500 in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche die Transportanordnung 100 in der ersten Transportkonfiguration aufweist. 6 veranschaulicht die Vakuumanordnung 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 600 in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche die Transportanordnung 100 in der zweiten Transportkonfiguration aufweist. 5 FIG. 5 illustrates a vacuum assembly 300 according to various embodiments 500 in a schematic side view or cross-sectional view having the transport assembly 100 in the first transport configuration. 6 6 illustrates the vacuum assembly 300 according to various embodiments 600 in a schematic side view or cross-sectional view having the transport assembly 100 in the second transport configuration.

Die Vakuumanordnung 300 kann ein Pumpensystem aufweisen, das eine oder mehr als eine Vakuumpumpe (z.B. zwei oder mehr Vakuumpumpen) aufweist, von denen jede Vakuumpumpe mit der Vakuumkammer 802 gekoppelt ist und/oder unterhalb der Vakuumkammer 802 angeordnet ist. Dies minimiert den benötigten Bauraum.The vacuum assembly 300 may include a pump system that includes one or more than one vacuum pump (e.g., two or more vacuum pumps), each vacuum pump coupled to the vacuum chamber 802 and/or disposed below the vacuum chamber 802 . This minimizes the space required.

Die oder jede Prozessiervorrichtung kann (z.B. pro Tiegel) eine oder mehr als eine Elektronenstrahlkanone 512 aufweisen, welche eingerichtet ist, das zu verdampfende Beschichtungsmaterial (auch als Verdampfungsgut bezeichnet) mit dem Elektronenstrahl zu bestrahlen. Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 300 zwei oder mehr Elektronenstrahlkanonen 512 aufweisen.The or each processing device can (e.g. per crucible) have one or more than one electron beam gun 512, which is set up to irradiate the coating material to be evaporated (also referred to as evaporation material) with the electron beam. For example, the vacuum assembly 300 may include two or more electron beam guns 512 .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumanordnung 300 eine Gaszuführung (nicht dargestellt) aufweisen. Mittels der Gaszuführung kann der Vakuumkammer 802 ein Prozessgas zugeführt werden zum Bilden einer Prozessatmosphäre in der Vakuumkammer 802. Das Prozessgas kann z.B. ein Inertgas aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann das Prozessgas ein Reaktivgas aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. Sauerstoff, Stickstoff, Wasserstoff, Argon und/oder Kohlenstoff. Der Prozessdruck kann sich aus einem Gleichgewicht an Prozessgas bilden, welches mittels der Gaszuführung zugeführt und mittels des Pumpensystems 602 entzogen wird.According to various embodiments, the vacuum arrangement 300 can have a gas supply (not shown). A process gas can be supplied to the vacuum chamber 802 by means of the gas supply in order to form a process atmosphere in the vacuum chamber 802. The process gas can, for example, comprise an inert gas or be formed from it. Alternatively or additionally, the process gas can include or be formed from a reactive gas, e.g. oxygen, nitrogen, hydrogen, argon and/or carbon. The process pressure can form from an equilibrium of process gas, which is supplied by means of the gas supply and extracted by means of the pump system 602 .

Optional kann die Vakuumanordnung 300 eine Versorgungsvorrichtung zum Versorgen der Temperiervorrichtung aufweisen, z.B. zum Versorgen mit einem temperierten Fluid oder mit elektrischer Energie. Beispielsweise kann die Versorgungsvorrichtung außerhalb der Prozessierkammer 802 angeordnet sein. Beispielsweise kann ein Heiz- oder ein Kühlmedium zu der Temperiervorrichtung (z.B. der Prozessierrolle) zu- und von dieser wieder abgeführt werden.Optionally, the vacuum arrangement 300 can have a supply device for supplying the temperature control device, eg for supplying it with a temperature-controlled fluid or with electrical energy. For example, the supply device outside of the processing chamber 802 can be arranged. For example, a heating or a cooling medium can be fed to the temperature control device (eg the processing roller) and removed again from it.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 802 ein Vakuumkammergehäuse mit einer Kammeröffnung zum Freilegen des Inneren der Vakuumkammer 802 aufweisen. Die Kammeröffnung kann das Innere der Vakuumkammer 802 beispielsweise in Drehachsenrichtung 101 freilegen. Zum Verschließen der Kammeröffnung kann die Vakuumkammer 802 den Kammerdeckel aufweisen.According to various embodiments, the vacuum chamber 802 may include a vacuum chamber housing having a chamber opening to expose the interior of the vacuum chamber 802 . The chamber opening can expose the interior of the vacuum chamber 802 in the rotation axis direction 101, for example. The vacuum chamber 802 can have the chamber cover to close the chamber opening.

7 veranschaulicht eine Transportanordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 700 in einer schematischen Detailansicht (mit Blickrichtung quer zur Drehachse 101a). 7 7 illustrates a transport arrangement 100 according to various embodiments 700 in a schematic detailed view (viewing direction transverse to the axis of rotation 101a).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung eine Antriebsvorrichtung 506 aufweisen, welche beispielsweise einen oder mehr als einen Motor 516 (auch als Wickelantrieb bezeichnet) aufweist. Die Antriebsvorrichtung 506 kann mit jeder Wickelhülsenkupplung der Transportanordnung 100 gekuppelt sein und eingerichtet sein, die Wickelhülsenkupplung in eine Drehbewegung zu versetzen bzw. die Drehbewegung anzutreiben (mittels eines Drehmoments). Die Antriebsvorrichtung 506 kann mit jeder Prozessierwalze der Transportanordnung 100 gekuppelt sein und eingerichtet sein, die Prozessierwalze in eine Drehbewegung zu versetzen bzw. die Drehbewegung anzutreiben (mittels eines Drehmoments).According to various embodiments, the transport arrangement can have a drive device 506 which has, for example, one or more than one motor 516 (also referred to as a winding drive). The drive device 506 can be coupled to each winding tube coupling of the transport arrangement 100 and set up to cause the winding tube coupling to rotate or to drive the rotating movement (by means of a torque). The drive device 506 can be coupled to each processing roller of the transport arrangement 100 and set up to cause the processing roller to rotate or to drive the rotary movement (by means of a torque).

Der oder jeder Motor 516 kann zum Erzeugen der Drehbewegung bzw. des Drehmoments eingerichtet sein, welches auf die jeweilige Wickelhülsenkupplung bzw. Prozessierwalze übertragen wird. Der oder jeder Motor 516 kann einen elektrischen Motor 516 aufweisen oder daraus gebildet sein. Grundlegend kann anstatt des elektrischen Motors 516 auch ein anderer Antrieb verwendet werden, der eingerichtet ist, ein Drehmoment bereitzustellen.The or each motor 516 can be set up to generate the rotational movement or the torque, which is transmitted to the respective winding sleeve clutch or processing roller. The or each motor 516 may include or be formed from an electric motor 516 . Basically, instead of the electric motor 516, another drive can also be used that is set up to provide a torque.

Jeweils ein Paar aus Motor 516 und mit diesem gekuppelte Wickelhülsenkupplung können einen Wickler (anschaulich eine angetriebene Wickelhülsenkupplungen) bilden oder zumindest Teil dessen sein. Jeweils ein Paar aus Motor 516 und mit diesem gekuppelte Prozessierwalze können einen Prozessierer (anschaulich eine angetriebene Prozessierwalze) bilden oder zumindest Teil dessen sein.A pair of motor 516 and a winding sleeve clutch coupled to it can form a winder (clearly a driven winding sleeve clutch) or at least be part of it. A pair of motor 516 and a processing roller coupled to it can form a processor (clearly a driven processing roller) or at least be part of it.

Die Antriebsvorrichtung 506 kann ferner eine Steuervorrichtung 508 aufweisen, welche eingerichtet ist, den oder jeden Motor 516 der Antriebsvorrichtung anzusteuern. Der oder jeder Motor 516 der Antriebsvorrichtung 506 kann mittels der Steuervorrichtung 508 gesteuert oder geregelt werden, z.B. mittels eines von einer Steuervorrichtung 508 erzeugten Steuersignals. Die Steuervorrichtung 508 kann beispielsweise eingerichtet sein, den Arbeitspunkt des oder jedes Motors 516 zu beeinflussen, z.B. dessen Drehrichtung, dessen Drehzahl und/oder dessen erzeugtes Drehmoment.The drive device 506 can also have a control device 508 which is set up to control the or each motor 516 of the drive device. The or each motor 516 of the drive device 506 can be controlled or regulated by means of the control device 508, e.g. by means of a control signal generated by a control device 508. The control device 508 can be set up, for example, to influence the operating point of the or each motor 516, e.g. its direction of rotation, its speed and/or its generated torque.

Der oder jeder Motor 516 der Antriebsvorrichtung 506 kann optional zum bidirektionalen Betrieb eingerichtet sein, z.B. indem das Steuersignal invertiert wird. Damit kann eine größere Flexibilität erreicht werden.The or each motor 516 of the drive device 506 can optionally be set up for bidirectional operation, e.g. by inverting the control signal. Greater flexibility can thus be achieved.

Die Steuervorrichtung 508 kann zum Ansteuern jedes Motors 516 gemäß der jeweiligen Transportkonfiguration, in welcher die Transportanordnung 100 ist, eingerichtet sein. Dazu kann die Antriebsvorrichtung 506 zwischen einem ersten Antriebsmodus und einem zweiten Antriebsmodus umgeschaltet werden.The controller 508 may be configured to drive each motor 516 according to the particular transport configuration in which the transport assembly 100 is. For this purpose, the drive device 506 can be switched between a first drive mode and a second drive mode.

In dem ersten Antriebsmodus kann die Antriebsvorrichtung 506 eingerichtet sein, die zwei Prozessierwalzen CD01, CD02 in zueinander entgegengesetzten Drehrichtung anzutreiben, z.B. die erste Prozessierwalze CD01 linksdrehend und die zweite Prozessierwalze CD02 rechtsdrehend; oder die erste Prozessierwalze CD01 rechtsdrehend und die zweite Prozessierwalze CD02 linksdrehend.In the first drive mode, the drive device 506 can be set up to drive the two processing rollers CD01, CD02 in opposite directions of rotation, e.g. the first processing roller CD01 counterclockwise and the second processing roller CD02 clockwise; or the first processing roller CD01 rotating to the right and the second processing roller CD02 rotating to the left.

In dem zweiten Antriebsmodus kann die Antriebsvorrichtung 506 eingerichtet sein, die zwei Prozessierwalzen in dieselbe Drehrichtung (z.B. beide linksdrehend oder beide rechtsdrehend) anzutreiben.In the second drive mode, the drive device 506 can be set up to drive the two processing rollers in the same direction of rotation (e.g. both counterclockwise or both clockwise).

8 veranschaulicht eine Transportanordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 800 in einer schematischen Detailansicht (mit Blickrichtung quer zur Drehachse 101a). 8th 8 illustrates a transport arrangement 100 according to various embodiments 800 in a schematic detailed view (viewing direction transverse to the axis of rotation 101a).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Gestell 702 der Transportanordnung 100 einen oder mehr als einen Träger (auch als Lager-Träger bezeichnet) aufweisen, welcher die erste Montageposition 151 und die zweite Montageposition 151 für die eine oder mehr als eine variable Wickelhülsenkupplung WD02 bereitstellt. Jede variable Wickelhülsenkupplung WD02 kann wahlweise in der ersten Montageposition 112a und der zweite Montageposition 112b montierbar sein.According to various embodiments, the frame 702 of the transport arrangement 100 can have one or more than one carrier (also referred to as a storage carrier), which provides the first mounting position 151 and the second mounting position 151 for the one or more than one variable winding sleeve coupling WD02. Each variable winding sleeve clutch WD02 can be selectively mountable in the first mounting position 112a and the second mounting position 112b.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Umkonfigurieren 701 aufweisen, zumindest einen Endpunkt des Transportpfads zu verlagern 701. Beispielsweise kann das Umkonfigurieren 701 aufweisen, die variable Wickelhülsenkupplung WD02 zu verlagern 701, z.B. in die erste Montageposition 151 oder in die zweite Montageposition 153. Alternativ kann das Umkonfigurieren 701 aufweisen, eine Wickelhülse zu verlagern 701, z.B. an die erste variable Wickelhülsenkupplung WD02 montieren oder an die zweite variable Wickelhülsenkupplung WD02 zu montieren.According to various embodiments, the reconfiguration 701 can include relocating at least one end point of the transport path 701. For example, the reconfiguration 701 can include relocating 701 the variable winding sleeve coupling WD02, eg to the first assembly position 151 or in the second assembly position 153. Alternatively, the reconfiguration 701 can include relocating a winding sleeve 701, for example to mount it on the first variable winding sleeve clutch WD02 or to mount it on the second variable winding sleeve clutch WD02.

9 veranschaulicht eine Transportanordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen 900 in einer schematischen Detailansicht (mit Blickrichtung quer zur Drehachse 101a). 9 10 illustrates a transport arrangement 100 according to various embodiments 900 in a schematic detailed view (viewing direction transverse to the axis of rotation 101a).

Das Gestell 702 kann zwei oder mehr Montagesockel 112a, 112b aufweisen, von denen jeder Montagesockel 112a, 112b zum drehbaren Lagern einer Wickelhülsenkupplung WD01, WD02 eingerichtet ist. Die Antriebsvorrichtung 506 (z.B. einer ihrer Motoren) kann mittels einer Drehdurchführung 112w mit der jeweiligen Wickelhülsenkupplung gekuppelt sein.The frame 702 can have two or more mounting bases 112a, 112b, of which each mounting base 112a, 112b is set up for rotatably supporting a winding sleeve coupling WD01, WD02. The drive device 506 (e.g. one of its motors) can be coupled to the respective winding sleeve coupling by means of a rotary union 112w.

Zumindest ein erster Montagesockel 112a des Gestells 702 kann Teil des Kammerdeckels sein und die erste Montageposition 151 bereitstellen. Zumindest ein zweiter Montagesockel 112b des Gestells 702 kann Teil des Kammerdeckels sein und die zweite Montageposition 153 bereitstellen. Der erste Montagesockel 112a und der zweite Montagesockel 112b können derart eingerichtet sein, dass die variable Wickelhülsenkupplung WD02 wahlweise an den ersten Montagesockel 112a oder den zweiten Montagesockel 112b passt.At least a first mounting base 112a of the frame 702 can be part of the chamber lid and provide the first mounting position 151 . At least a second mounting base 112b of the frame 702 can be part of the chamber lid and provide the second mounting position 153 . The first mounting base 112a and the second mounting base 112b can be configured such that the variable coil sleeve coupling WD02 fits either the first mounting base 112a or the second mounting base 112b.

Jeder Montagesockel 112a, 112b kann eine Durchgangsöffnung 702o aufweisen sein, durch welche sich die Drehdurchführung 112w hindurch erstreckt. Ist an einem Montagesockel keine Walze montiert, kann die Durchgangsöffnung 702o mittels eines Deckels abgedichtet sein.Each mounting base 112a, 112b can have a through opening 702o through which the rotary feedthrough 112w extends. If no roller is mounted on a mounting base, the through opening 702o can be sealed by means of a cover.

Beispielhafte Betriebsparameter der Transportanordnung 100 bzw. der Vakuumanordnung 300 werden nachfolgend angegeben.Exemplary operating parameters of the transport arrangement 100 and the vacuum arrangement 300 are given below.

Eine Transportgeschwindigkeit des Substrats kann in einem Bereich sein von ungefähr 100 Meter/Minute (m/min) bis ungefähr 500 m/min, z.B. ungefähr 240 m/min. Eine Länge des Substrats kann in einem Bereich sein von ungefähr 5 Kilometer (km) bis ungefähr 50 km, z.B. ungefähr 24 km. Eine Dicke des Substrats (d.h. der Abstand der Oberseite von der Unterseite) kann in einem Bereich sein von ungefähr 5 Mikrometer (µm) bis ungefähr 50 µm, z.B. ungefähr 12 µm. Eine Anzahl, mit der das Umwickeln wiederholt wird (Durchläufe des Umwickelns bzw. Prozessierens), kann in einem Bereich sein von ungefähr 5 bis ungefähr 20, z.B. in einem Bereich von ungefähr 8 bis ungefähr 12.A transport speed of the substrate can be in a range from about 100 meters/minute (m/min) to about 500 m/min, e.g., about 240 m/min. A length of the substrate may be in a range from about 5 kilometers (km) to about 50 km, e.g., about 24 km. A thickness of the substrate (i.e., the top-to-bottom distance) may be in a range from about 5 micrometers (µm) to about 50 µm, e.g., about 12 µm. A number of times that wrapping is repeated (passes of wrapping or processing) may be in a range from about 5 to about 20, e.g. in a range from about 8 to about 12.

Im Folgenden werden verschiedene Beispiele beschrieben, die sich auf vorangehend Beschriebene und in den Figuren Dargestellte beziehen.Various examples are described below, which relate to those described above and shown in the figures.

Beispiel 1 ist eine Transportanordnung, aufweisend: eine erste Wickelhülsenkupplung zum Ankuppeln der ersten Wickelhülse; ein Gestell, welches der ersten Wickelhülsenkupplung eine erste Montageposition und eine zweite Montageposition bereitstellt; eine zweite Wickelhülsenkupplung, welche mittels des Gestells drehbar gelagert ist, zum Ankuppeln der zweiten Wickelhülse; zwei Prozessierwalzen, welche jeweils mittels des Gestells drehbar gelagert sind; wobei beim Umwickeln (Transportieren) des Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse: sich die zwei Prozessierwalzen in ihrer jeweiligen Drehrichtung voneinander unterscheiden, wenn die erste Wickelhülsenkupplung in der ersten Montageposition drehbar gelagert ist, und die zwei Prozessierwalzen in ihrer jeweiligen Drehrichtung übereinstimmen, wenn die erste Wickelhülsenkupplung in der zweiten Montageposition drehbar gelagert ist.Example 1 is a transport assembly, comprising: a first bobbin coupler for coupling the first bobbin; a frame providing a first mounting position and a second mounting position for the first coil sleeve coupling; a second bobbin coupler rotatably supported by the frame for coupling the second bobbin; two processing rollers each rotatably supported by the frame; wherein when the tape substrate is wrapped (transported) by means of the two processing rollers from the first winding sleeve to the second winding sleeve and/or from the second winding sleeve to the first winding sleeve: the two processing rollers differ in their respective direction of rotation if the first winding sleeve coupling is in the first Mounting position is rotatably mounted, and the two processing rollers match in their respective direction of rotation when the first core coupling is rotatably mounted in the second mounting position.

Beispiel 2 ist die Transportanordnung gemäß Beispiel 1, wobei die erste Wickelhülsenkupplung in der ersten Montageposition zwischen den zwei Prozessierwalzen angeordnet ist; und/oder wobei bzw. ein erster Montagesockel des Gestells, welche die erste Montageposition bereitstellt, zwischen den zwei Prozessierwalzen angeordnet ist.Example 2 is the transport arrangement according to example 1, wherein the first core clutch is arranged in the first assembly position between the two processing rollers; and/or wherein a first mounting base of the frame, which provides the first mounting position, is arranged between the two processing rollers.

Beispiel 3 ist die Transportanordnung gemäß Beispiel 1 oder 2, wobei die erste Wickelhülsenkupplung in der zweiten Montageposition bzw. zwischen einer Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen und der zweiten Wickelhülsenkupplung angeordnet ist; und/oder wobei ein zweiter Montagesockel des Gestells, welche die zweite Montageposition bereitstellt, zwischen einer Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen und der zweiten Wickelhülsenkupplung angeordnet ist.Example 3 is the transport arrangement according to example 1 or 2, wherein the first winding sleeve coupling is arranged in the second assembly position or between one processing roller of the two processing rollers and the second winding sleeve coupling; and/or wherein a second mounting base of the frame, which provides the second mounting position, is arranged between a processing roller of the two processing rollers and the second core coupling.

Beispiel 4 ist die Transportanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 3, wobei das Gestell (z.B. dessen Montagesockel) derart eingerichtet ist, dass die erste Wickelhülsenkupplung wahlweise entweder in der ersten Montageposition oder der zweiten Montageposition des Gestells drehbar gelagert werden kann.Example 4 is the transport arrangement according to one of Examples 1 to 3, wherein the frame (e.g. its mounting base) is set up in such a way that the first winding sleeve coupling can be rotatably mounted either in the first mounting position or the second mounting position of the frame.

Beispiel 5 ist die Transportanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 4, wobei das Gestell einen ersten Montagesockel aufweist, welcher eingerichtet ist, die erste Wickelhülsenkupplung in der ersten Montageposition drehbar zu lagern, wenn die erste Wickelhülsenkupplung an dem ersten Montagesockel montiert ist; wobei das Gestell einen zweiten Montagesockel aufweist, welcher eingerichtet ist, die erste Wickelhülsenkupplung in der zweiten Montageposition drehbar zu lagern, wenn die erste Wickelhülsenkupplung an dem zweiten Montagesockel montiert ist.Example 5 is the transport arrangement according to any one of Examples 1 to 4, wherein the frame has a first mounting base which is adapted to rotatably support the first winding sleeve coupling in the first mounting position when the first winding sleeve coupling is attached to the first mounting position cap mounted; wherein the frame has a second mounting base configured to rotatably support the first core coupling in the second mounting position when the first core coupling is mounted on the second mounting base.

Beispiel 6 ist eine Transportanordnung (z.B. gemäß einem der Beispiele 1 bis 5), aufweisend: ein Gestell, eine erste Wickelhülsenkupplung und eine zusätzliche erste Wickelhülsenkupplung, welche jeweils mittels des Gestells drehbar gelagert sind, zum Ankuppeln einer ersten Wickelhülse; eine zweite Wickelhülsenkupplung, welche mittels des Gestells drehbar gelagert ist, zum Ankuppeln der zweiten Wickelhülse; zwei Prozessierwalzen, welche jeweils mittels des Gestells drehbar gelagert sind; wobei beim Umwickeln (Transportieren) des Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse sich die zwei Prozessierwalzen in ihrer jeweiligen Drehrichtung voneinander unterscheiden, wenn die erste Wickelhülse an der ersten Wickelhülsenkupplung angekuppelt ist, und die zwei Prozessierwalzen in ihrer jeweiligen Drehrichtung übereinstimmen, wenn die erste Wickelhülse an der zusätzlichen ersten Wickelhülsenkupplung angekuppelt ist.Example 6 is a transport assembly (e.g., according to any one of Examples 1 to 5) comprising: a frame, a first core coupler and an additional first core coupler, each rotatably supported by the frame, for coupling a first core; a second bobbin coupler rotatably supported by the frame for coupling the second bobbin; two processing rollers each rotatably supported by the frame; wherein when the tape substrate is wrapped (transported) by means of the two processing rollers from the first winding sleeve to the second winding sleeve and/or from the second winding sleeve to the first winding sleeve, the two processing rollers differ in their respective direction of rotation when the first winding sleeve is at the first winding sleeve coupling is coupled, and the two processing rollers coincide in their respective direction of rotation when the first core is coupled to the additional first core clutch.

Beispiel 7 ist die Transportanordnung gemäß Beispiel 6, wobei die erste Wickelhülsenkupplung zwischen den zwei Prozessierwalzen angeordnet ist.Example 7 is the transport arrangement according to example 6, wherein the first core clutch is arranged between the two processing rolls.

Beispiel 8 ist die Transportanordnung gemäß Beispiel 6 oder 7, wobei die zusätzliche erste Wickelhülsenkupplung zwischen den einer Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen und der zweiten Wickelhülsenkupplung angeordnet ist.Example 8 is the transport arrangement according to example 6 or 7, wherein the additional first core clutch is arranged between the one processing roller of the two processing rollers and the second core clutch.

Beispiel 9 ist die Transportanordnung gemäß einem der Beispiele 6 bis 8, wobei das Gestell (z.B. dessen Montagesockel) derart eingerichtet ist, dass die erste Wickelhülsenkupplung und die zusätzliche erste Wickelhülsenkupplung gegeneinander austauschbar sind.Example 9 is the transport arrangement according to one of Examples 6 to 8, wherein the frame (e.g. its mounting base) is set up in such a way that the first winding sleeve coupling and the additional first winding sleeve coupling are interchangeable.

Beispiel 10 ist die Transportanordnung gemäß einem der Beispiele 6 bis 9, wobei das Gestell einen ersten Montagesockel aufweist, mittels welchem die erste Wickelhülsenkupplung drehbar gelagert ist; wobei das Gestell einen zweiten Montagesockel aufweist, mittels welchem die zusätzliche erste Wickelhülsenkupplung drehbar gelagert ist.Example 10 is the transport arrangement according to any one of Examples 6 to 9, wherein the frame has a first mounting base by means of which the first winding sleeve coupling is rotatably supported; wherein the frame has a second mounting base, by means of which the additional first winding sleeve coupling is rotatably mounted.

Beispiel 11 ist die Transportanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 10, ferner aufweisend: einen Transportbereich, in welchem das Bandsubstrat von einer ersten Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen zu einer zweiten Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen oder umgekehrt transportiert wird, wobei der Transportbereich zwischen der ersten Montageposition und der zweiten Montageposition angeordnet ist; und/oder wobei der Transportbereich zwischen der ersten Wickelhülsenkupplung und der zusätzlichen ersten Wickelhülsenkupplung angeordnet ist; und/oder wobei der Transportbereich zwischen dem ersten Montagesockel und dem zweiten Montagesockel angeordnet ist.Example 11 is the transport arrangement according to one of Examples 1 to 10, further comprising: a transport area in which the tape substrate is transported from a first processing roller of the two processing rollers to a second processing roller of the two processing rollers or vice versa, the transport area between the first mounting position and the second mounting position is arranged; and/or wherein the transport area is arranged between the first winding tube coupling and the additional first winding tube coupling; and/or wherein the transport area is arranged between the first mounting base and the second mounting base.

Beispiel 12 ist die Transportanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 11, ferner aufweisend: eine Temperiervorrichtung, welche eingerichtet ist einer oder mehr als einer Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen thermische Energie zuzuführen und/oder zu entziehen.Example 12 is the transport arrangement according to one of examples 1 to 11, further comprising: a temperature control device which is set up to supply and/or withdraw thermal energy from one or more than one processing roller of the two processing rollers.

Beispiel 13 ist die Transportanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 12, ferner aufweisend: eine Antriebsvorrichtung, welche zwischen einem ersten Antriebsmodus und einem zweiten Antriebsmodus umgeschaltet werden kann, wobei die Antriebsvorrichtung in dem ersten Antriebsmodus eingerichtet ist, die zwei Prozessierwalzen in zueinander entgegengesetzten Drehrichtung anzutreiben; und wobei die Antriebsvorrichtung in dem zweiten Antriebsmodus eingerichtet ist, die zwei Prozessierwalzen in dieselbe Drehrichtung anzutreiben.Example 13 is the transport arrangement according to one of Examples 1 to 12, further comprising: a drive device which can be switched between a first drive mode and a second drive mode, the drive device being set up in the first drive mode to drive the two processing rollers in opposite directions of rotation ; and wherein the drive device is set up in the second drive mode to drive the two processing rollers in the same direction of rotation.

Beispiel 14 ist eine Vakuumanordnung, aufweisend: eine Vakuumkammer; und eine Transportanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 13, wobei die Vakuumkammer das Gestell aufweist oder wobei das Gestell zumindest teilweise in der Vakuumkammer angeordnet ist; wobei beispielsweise die zwei Prozessierwalzen in der Vakuumkammer angeordnet sind.Example 14 is a vacuum assembly comprising: a vacuum chamber; and a transport arrangement according to any one of Examples 1 to 13, wherein the vacuum chamber comprises the frame or wherein the frame is at least partially arranged in the vacuum chamber; for example, the two processing rollers are arranged in the vacuum chamber.

Beispiel 15 ist die Vakuumanordnung gemäß Beispiel 14, ferner aufweisend: eine erste Prozessiervorrichtung, welche eingerichtet ist, einen Abschnitt des Bandsubstrats auf einer ersten Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen zu prozessieren; und/oder eine zweite Prozessiervorrichtung, welche eingerichtet ist, einen Abschnitt des Bandsubstrats auf einer ersten Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen zu prozessieren.Example 15 is the vacuum assembly according to Example 14, further comprising: a first processing device configured to process a portion of the ribbon substrate on a first processing roller of the two processing rollers; and/or a second processing device configured to process a section of the strip substrate on a first processing roller of the two processing rollers.

Beispiel 16 ist die Vakuumanordnung gemäß Beispiel 15, wobei die erste Prozessiervorrichtung eingerichtet ist, ein erstes Material zu der ersten Prozessierwalze hin zu emittieren, z.B. mittels Elektronenstrahlverdampfens; und/oder wobei die zweite Prozessiervorrichtung eingerichtet ist, ein zweites Material zu der zweiten Prozessierwalze hin zu emittieren, z.B. mittels Elektronenstrahlverdampfens.Example 16 is the vacuum assembly according to Example 15, wherein the first processing device is configured to emit a first material towards the first processing roller, e.g., by means of electron beam evaporation; and/or wherein the second processing device is set up to emit a second material towards the second processing roller, e.g. by means of electron beam evaporation.

Beispiel 17 ist die Vakuumanordnung gemäß Beispiel 16, wobei die erste Prozessiervorrichtung eingerichtet ist, das erste Material mittels eines ersten Elektronenstrahls zu verdampfen zu der ersten Prozessierwalze hin, z.B. mittels einer ersten Elektronenstrahlkanone; wobei die zweite Prozessiervorrichtung eingerichtet ist, das zweite Material mittels des ersten oder eines zweiten Elektronenstrahls zu verdampfen zu der ersten Prozessierwalze hin, z.B. mittels einer zweiten Elektronenstrahlkanone.Example 17 is the vacuum arrangement according to example 16, wherein the first processing device is arranged to evaporate the first material to the first by means of a first electron beam Processing roller out, for example by means of a first electron beam gun; wherein the second processing device is set up to vaporize the second material towards the first processing roller by means of the first or a second electron beam, eg by means of a second electron beam gun.

Beispiel 18 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 14 bis 17, wobei die erste Prozessiervorrichtung und die zweite Prozessiervorrichtung eingerichtet sind, das Bandsubstrat einseitig zu prozessieren (z.B. zu beschichten), wenn die erste Wickelhülsenkupplung in der zweiten Montageposition drehbar gelagert ist; und/oder wenn die erste Wickelhülse an der zusätzlichen ersten Wickelhülsenkupplung angekuppelt ist.Example 18 is the vacuum arrangement according to one of Examples 14 to 17, wherein the first processing device and the second processing device are set up to process the tape substrate on one side (e.g. to coat it) when the first winding sleeve coupling is rotatably mounted in the second assembly position; and/or when the first core is coupled to the additional first core clutch.

Beispiel 19 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 14 bis 18, wobei die erste Prozessiervorrichtung und die zweite Prozessiervorrichtung eingerichtet sind, das Bandsubstrat beidseitig zu prozessieren (z.B. zu beschichten), wenn die erste Wickelhülsenkupplung in der ersten Montageposition drehbar gelagert ist; und/oder wenn die erste Wickelhülse an der ersten Wickelhülsenkupplung angekuppelt ist.Example 19 is the vacuum arrangement according to one of Examples 14 to 18, wherein the first processing device and the second processing device are set up to process the tape substrate on both sides (e.g. to coat it) when the first winding tube coupling is rotatably mounted in the first assembly position; and/or when the first core is coupled to the first core clutch.

Beispiel 20 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 14 bis 19, wobei das einseitige Prozessieren aufweist, dass die zweite Prozessiervorrichtung diejenige Oberfläche des Bandsubstrats prozessiert, die von der ersten Prozessiervorrichtung prozessiert wird.Example 20 is the vacuum assembly according to any one of Examples 14 to 19, wherein the one-side processing comprises the second processing device processing that surface of the tape substrate that is processed by the first processing device.

Beispiel 21 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 14 bis 20, wobei das zweiseitige Prozessieren aufweist, dass die zweite Prozessiervorrichtung diejenige Oberfläche des Bandsubstrats prozessiert, die an der ersten Prozessierwalze anliegt.Example 21 is the vacuum arrangement according to any one of Examples 14 to 20, wherein the two-sided processing comprises the second processing device processing that surface of the tape substrate which abuts the first processing roller.

Beispiel 22 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 13 bis 21, wobei die Vakuumkammer ein Kammergehäuse und einen Kammerdeckel aufweist, welche zusammengefügt werden können, wobei der Kammerdeckel das Gestell aufweist oder wobei das Gestell zumindest teilweise an dem Kammerdeckel angebracht ist.Example 22 is the vacuum assembly according to any one of Examples 13 to 21, wherein the vacuum chamber comprises a chamber body and a chamber lid which can be joined together, the chamber lid comprising the frame or the frame being at least partially attached to the chamber lid.

Beispiel 23 ist ein Verfahren (beispielsweise zum Betreiben einer Transportanordnung bzw. Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 22), erstes Umwickeln eines ersten Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse, wenn sich die zwei Prozessierwalzen in ihrer jeweiligen Drehrichtung voneinander unterscheiden (z.B. wenn die erste Wickelhülsenkupplung in der ersten Montageposition drehbar gelagert ist); und zweites Umwickeln eines zweiten Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse, wenn die zwei Prozessierwalzen in ihrer jeweiligen Drehrichtung übereinstimmen (z.B. wenn die erste Wickelhülsenkupplung in der zweiten Montageposition drehbar gelagert ist).Example 23 is a method (e.g. for operating a transport arrangement or vacuum arrangement according to one of Examples 1 to 22), first wrapping a first tape substrate by means of the two processing rollers from the first mandrel to the second mandrel and/or from the second mandrel to the first Winding sleeve if the two processing rollers differ in their respective direction of rotation (e.g. if the first winding sleeve coupling is rotatably mounted in the first assembly position); and second winding of a second strip substrate by means of the two processing rollers from the first winding core to the second winding core and/or from the second winding core to the first winding core if the two processing rollers coincide in their respective direction of rotation (e.g. if the first winding core coupling is rotatable in the second assembly position is stored).

Beispiel 24 ist das Verfahren gemäß Beispiel 23, ferner aufweisend: erstes Beschichten des ersten Bandsubstrats während des ersten Umwickelns derart, dass das erste Bandsubstrat auf einer ersten Seite des Bandsubstrats und danach auf einer zweiten Seite des Bandsubstrats beschichtet wird; zweites Beschichten des zweiten Bandsubstrats während des zweiten Umwickelns derart, dass das zweite Bandsubstrat zweimal hintereinander auf derselben Seite des Bandsubstrats beschichtet wird.Example 24 is the method of Example 23, further comprising: first coating the first tape substrate during the first wrapping such that the first tape substrate is coated on a first side of the tape substrate and thereafter on a second side of the tape substrate; second coating the second tape substrate during the second wrapping such that the second tape substrate is coated twice in a row on the same side of the tape substrate.

Beispiel 25 ist das Verfahren gemäß Beispiel 23 oder 24, wobei das erste Umwickeln aufweist, das erste Bandsubstrat von der ersten Wickelhülse abzuwickeln (z.B. zu der zweiten Wickelhülse umzuwickeln) und davor oder danach wieder darauf aufzuwickeln (z.B. von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse umzuwickeln); und/oder wobei das zweite Umwickeln aufweist, das zweite Bandsubstrat von der ersten Wickelhülse abzuwickeln (z.B. zu der zweiten Wickelhülse umzuwickeln) und davor oder danach wieder darauf aufzuwickeln (z.B. von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse umzuwickeln).Example 25 is the method of Example 23 or 24, wherein the first wrapping comprises unwinding the first tape substrate from the first mandrel (e.g., wrapping to the second mandrel) and before or after rewinding it onto it (e.g., from the second mandrel to the first mandrel to wrap); and/or wherein the second wrapping comprises unwinding the second tape substrate from the first mandrel (e.g., wrapping to the second mandrel) and before or after rewinding it onto it (e.g., wrapping from the second mandrel to the first mandrel).

Beispiel 26 ist ein Verfahren (beispielsweise zum Betreiben einer Transportanordnung bzw. Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 22), aufweisend: Ansteuern, in einem ersten Antriebsmodus, einer Antriebsvorrichtung derart, dass die Antriebsvorrichtung zwei Prozessierwalzen mit derselben Drehrichtung antreibt; und Ansteuern, in einem zweiten Antriebsmodus, die Antriebsvorrichtung derart, dass die Antriebsvorrichtung die zwei Prozessierwalzen voneinander verschiedenen Drehrichtung antreibt, wobei beispielsweise mittels der zwei Prozessierwalzen ein Substrat umgelenkt wird, das von einer ersten Wickelhülse auf eine zweite Wickelhülse umgewickelt wird.Example 26 is a method (for example for operating a transport arrangement or vacuum arrangement according to one of Examples 1 to 22), comprising: driving, in a first drive mode, a drive device such that the drive device drives two processing rollers with the same direction of rotation; and controlling, in a second drive mode, the drive device in such a way that the drive device drives the two processing rollers in different directions of rotation, with a substrate being deflected, for example, by means of the two processing rollers, which substrate is wound from a first winding core to a second winding core.

Beispiel 27 ist das Verfahren gemäß Beispiel 26, ferner aufweisend: Ansteuern von zwei Prozessiervorrichtungen zum einseitigen Prozessieren (z.B. Beschichten) eines mittels der zwei Prozessierwalzen transportierten Bandsubstrats in dem zweiten Antriebsmodus und zum beidseitigen Prozessieren (z.B. Beschichten) des mittels der zwei Prozessierwalzen transportieren Bandsubstrats in dem ersten Antriebsmodus.Example 27 is the method according to Example 26, further comprising: controlling two processing devices for one-sided processing (e.g. coating) of a tape substrate transported by means of the two processing rollers in the second drive mode and for double-sided processing (e.g. coating) of the tape substrate transported by means of the two processing rollers in the first drive mode.

Beispiel 28 ist eine Steuervorrichtung, eingerichtet zum: Ansteuern, in einem ersten Antriebsmodus, einer Antriebsvorrichtung derart, dass die Antriebsvorrichtung zwei Prozessierwalzen mit derselben Drehrichtung antreibt; und Ansteuern, in einem zweiten Antriebsmodus, die Antriebsvorrichtung derart, dass die Antriebsvorrichtung die zwei Prozessierwalzen voneinander verschiedenen Drehrichtung antreibt; wobei die Steuervorrichtung optional ferner eingerichtet ist, das Verfahren zum Durchführen des Verfahrens gemäß Beispiel 27.Example 28 is a control device configured to: control, in a first drive mode, a drive device such that the drive device drives two processing rollers with the same direction of rotation; and controlling, in a second drive mode, the drive device in such a way that the drive device drives the two processing rollers in different directions of rotation; wherein the control device is optionally further set up to carry out the method according to example 27.

Beispiel 29 ist ein Verwenden einer Transportanordnung zum wahlweise einseitigen Beschichten oder zweiseitigen Beschichten eines Bandsubstrats, wobei zum einseitigen Beschichten die Transportanordnung in einer ersten Transportkonfiguration ist und zum zweiseitigen Beschichten die Transportanordnung in einer zweiten Transportkonfiguration ist, welche sich von der ersten Transportkonfiguration unterscheidet.Example 29 is using a transport assembly for selectively single-sided coating or double-sided coating of a web substrate, wherein for single-sided coating the transport assembly is in a first transport configuration and for double-sided coating the transport assembly is in a second transport configuration, which is different from the first transport configuration.

Beispiel 30 ist das Verwenden gemäß Beispiel 29, wobei sich die erste Transportkonfiguration und die zweite Transportkonfiguration in einer Position eines Bandsubstratwickels voneinander unterscheiden, wobei der Bandsubstratwickel beispielsweise mehrere Wickellagen des Bandsubstrats übereinander aufweist, wobei auf dem Bandsubstratwickel das Bandsubstrat beispielsweise aufgewickelt ist oder wird; wobei beispielsweise von dem Bandsubstratwickel das Bandsubstrat abgewickelt ist oder wird.Example 30 is the use according to Example 29, wherein the first transport configuration and the second transport configuration differ from one another in one position of a tape substrate roll, the tape substrate roll having, for example, a plurality of winding layers of the tape substrate one above the other, the tape substrate being or being wound up on the tape substrate roll, for example; wherein, for example, the tape substrate is or will be unwound from the tape substrate roll.

Claims (17)

Transportanordnung (100), aufweisend: • eine erste Wickelhülsenkupplung (WD02) zum Ankuppeln der ersten Wickelhülse; • ein Gestell (702), welches der ersten Wickelhülsenkupplung (WD02) eine erste Montageposition und eine zweite Montageposition bereitstellt; • eine zweite Wickelhülsenkupplung (WD01), welche mittels des Gestells (702) drehbar gelagert ist, zum Ankuppeln der zweiten Wickelhülse; • zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02), welche jeweils mittels des Gestells (702) drehbar gelagert sind; wobei beim Umwickeln des Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse: • sich die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in ihrer jeweiligen Drehrichtung voneinander unterscheiden, wenn die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) in der ersten Montageposition drehbar gelagert ist, und • die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in ihrer jeweiligen Drehrichtung übereinstimmen, wenn die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) in der zweiten Montageposition drehbar gelagert ist.Transport arrangement (100), comprising: • a first winding sleeve coupling (WD02) for coupling the first winding sleeve; • a frame (702) which provides the first winding sleeve coupling (WD02) with a first mounting position and a second mounting position; • a second winding sleeve coupling (WD01), which is rotatably mounted by means of the frame (702), for coupling the second winding sleeve; • two processing rollers (CD01, CD02), which are each rotatably mounted by means of the frame (702); wherein when the tape substrate is wound by means of the two processing rollers (CD01, CD02) from the first winding core to the second winding core and/or from the second winding core to the first winding core: • the two processing rollers (CD01, CD02) differ in their respective direction of rotation when the first winding core coupling (WD02) is rotatably mounted in the first assembly position, and • the two processing rollers (CD01, CD02) match in their respective direction of rotation when the first winding core coupling (WD02) is rotatably mounted in the second assembly position. Transportanordnung (100) gemäß Anspruch 1, wobei die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) in der ersten Montageposition zwischen den zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) angeordnet ist.Transport arrangement (100) according to claim 1 , wherein the first winding tube coupling (WD02) is arranged in the first assembly position between the two processing rollers (CD01, CD02). Transportanordnung (100) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) in der zweiten Montageposition zwischen einer Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) und der zweiten Wickelhülsenkupplung (WD01) angeordnet ist.Transport arrangement (100) according to claim 1 or 2 , wherein the first winding sleeve coupling (WD02) is arranged in the second assembly position between a processing roller of the two processing rollers (CD01, CD02) and the second winding sleeve coupling (WD01). Transportanordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner aufweisend: einen Transportbereich, in welchem das Bandsubstrat von einer ersten Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) zu einer zweiten Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) transportiert wird, wobei der Transportbereich zwischen der ersten Montageposition und der zweiten Montageposition angeordnet ist bzw. wobei der Transportbereich zwischen der ersten Wickelhülsenkupplung (WD02) und der zusätzlichen ersten Wickelhülsenkupplung (WD02) angeordnet ist.Transport arrangement (100) according to one of Claims 1 until 3 , further comprising: a transport area in which the tape substrate is transported from a first processing roller of the two processing rollers (CD01, CD02) to a second processing roller of the two processing rollers (CD01, CD02), the transport area being arranged between the first mounting position and the second mounting position is or wherein the transport area is arranged between the first winding tube coupling (WD02) and the additional first winding tube coupling (WD02). Transportanordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, • wobei das Gestell (702) einen ersten Montagesockel aufweist, welcher eingerichtet ist, die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) in der ersten Montageposition drehbar zu lagern, wenn die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) an dem ersten Montagesockel montiert ist; • wobei das Gestell (702) einen zweiten Montagesockel aufweist, welcher eingerichtet ist, die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) in der zweiten Montageposition drehbar zu lagern, wenn die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) an dem zweiten Montagesockel montiert ist.Transport arrangement (100) according to one of Claims 1 until 4 • wherein the frame (702) has a first mounting base which is set up to support the first winding sleeve coupling (WD02) rotatably in the first mounting position when the first winding sleeve coupling (WD02) is mounted on the first mounting base; • wherein the frame (702) has a second mounting base which is set up to rotatably support the first winding sleeve coupling (WD02) in the second mounting position when the first winding sleeve coupling (WD02) is mounted on the second mounting base. Transportanordnung (100), aufweisend: • ein Gestell (702), • eine erste Wickelhülsenkupplung (WD02) und eine zusätzliche erste Wickelhülsenkupplung (WD02), welche jeweils mittels des Gestells (702) drehbar gelagert sind, zum Ankuppeln einer ersten Wickelhülse; • eine zweite Wickelhülsenkupplung (WD01), welche mittels des Gestells (702) drehbar gelagert ist, zum Ankuppeln der zweiten Wickelhülse; • zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02), welche jeweils mittels des Gestells (702) drehbar gelagert sind; wobei beim Umwickeln des Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse • sich die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in ihrer jeweiligen Drehrichtung voneinander unterscheiden, wenn die erste Wickelhülse an der ersten Wickelhülsenkupplung (WD02) angekuppelt ist, und • die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in ihrer jeweiligen Drehrichtung übereinstimmen, wenn die erste Wickelhülse an der zusätzlichen ersten Wickelhülsenkupplung (WD02) angekuppelt ist.Transport arrangement (100), comprising: • a frame (702), • a first winding tube coupling (WD02) and an additional first winding tube coupling (WD02), which are each rotatably mounted by means of the frame (702), for coupling a first winding tube; • a second winding sleeve coupling (WD01), which is rotatably mounted by means of the frame (702), for coupling the second winding sleeve; • two processing rollers (CD01, CD02), which are each rotatably mounted by means of the frame (702); wherein when the tape substrate is wound by means of the two processing rollers (CD01, CD02) from the first winding core to the second winding core and/or from the second winding core to the first winding core • the two processing rollers (CD01, CD02) have different directions of rotation when the first winding core is coupled to the first winding core coupling (WD02), and • the two processing rollers (CD01, CD02) have the same direction of rotation when the first Winding sleeve is coupled to the additional first winding sleeve coupling (WD02). Transportanordnung (100) gemäß Anspruch 6, wobei die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) zwischen den zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) angeordnet ist.Transport arrangement (100) according to claim 6 , wherein the first core coupling (WD02) is arranged between the two processing rollers (CD01, CD02). Transportanordnung (100) gemäß Anspruch 6 oder 7, wobei die zusätzliche erste Wickelhülsenkupplung (WD02) zwischen einer Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) und der zweiten Wickelhülsenkupplung (WD01) angeordnet ist.Transport arrangement (100) according to claim 6 or 7 , wherein the additional first core coupling (WD02) is arranged between a processing roller of the two processing rollers (CD01, CD02) and the second core coupling (WD01). Transportanordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei das Gestell (702) derart eingerichtet ist, dass die erste Wickelhülsenkupplung (WD02) und die zusätzliche erste Wickelhülsenkupplung (WD02) gegeneinander austauschbar sind.Transport arrangement (100) according to one of Claims 6 until 8th , wherein the frame (702) is set up such that the first winding tube clutch (WD02) and the additional first winding tube clutch (WD02) are interchangeable. Transportanordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9, ferner aufweisend: einen Transportbereich, in welchem das Bandsubstrat von einer ersten Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) zu einer zweiten Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) transportiert wird, wobei der Transportbereich zwischen der ersten Wickelhülsenkupplung (WD02) und der zusätzlichen ersten Wickelhülsenkupplung (WD02) angeordnet ist.Transport arrangement (100) according to one of Claims 6 until 9 , further comprising: a transport area in which the strip substrate is transported from a first processing roller of the two processing rollers (CD01, CD02) to a second processing roller of the two processing rollers (CD01, CD02), the transport area between the first winding tube coupling (WD02) and the additional first winding tube clutch (WD02) is arranged. Transportanordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, ferner aufweisend: eine Temperiervorrichtung, welche eingerichtet ist einer oder mehr als einer Prozessierwalze der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) thermische Energie zuzuführen und/oder zu entziehen.Transport arrangement (100) according to one of Claims 1 until 10 , further comprising: a temperature control device, which is set up to supply and/or withdraw thermal energy from one or more than one processing roller of the two processing rollers (CD01, CD02). Transportanordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, ferner aufweisend: • eine Antriebsvorrichtung, welche zwischen einem ersten Antriebsmodus und einem zweiten Antriebsmodus umgeschaltet werden kann, • wobei die Antriebsvorrichtung in dem ersten Antriebsmodus eingerichtet ist, die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in zueinander entgegengesetzten Drehrichtung anzutreiben; und • wobei die Antriebsvorrichtung in dem zweiten Antriebsmodus eingerichtet ist, die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in dieselbe Drehrichtung anzutreiben.Transport arrangement (100) according to one of Claims 1 until 11 , further comprising: • a drive device which can be switched between a first drive mode and a second drive mode, • wherein the drive device is set up in the first drive mode to drive the two processing rollers (CD01, CD02) in mutually opposite directions of rotation; and • wherein the drive device is set up in the second drive mode to drive the two processing rollers (CD01, CD02) in the same direction of rotation. Verfahren zum Betreiben einer Transportanordnung gemäß Ansprüche 1 bis 12, • erstes Umwickeln eines ersten Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse, wenn sich die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in ihrer jeweiligen Drehrichtung voneinander unterscheiden; und • zweites Umwickeln eines zweiten Bandsubstrats mittels der zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) von der ersten Wickelhülse zu der zweiten Wickelhülse und/oder von der zweiten Wickelhülse zu der ersten Wickelhülse, wenn die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) in ihrer jeweiligen Drehrichtung übereinstimmen.Method for operating a transport arrangement according to Claims 1 until 12 , • First winding of a first strip substrate by means of the two processing rollers (CD01, CD02) from the first winding core to the second winding core and/or from the second winding core to the first winding core when the two processing rollers (CD01, CD02) are in their respective direction of rotation distinguish from each other; and • second winding of a second tape substrate by means of the two processing rollers (CD01, CD02) from the first winding core to the second winding core and/or from the second winding core to the first winding core if the two processing rollers (CD01, CD02) match in their respective direction of rotation . Verfahren gemäß Anspruch 13, ferner aufweisend: • erstes Beschichten des ersten Bandsubstrats während des ersten Umwickelns derart, dass das erste Bandsubstrat auf einer ersten Seite des Bandsubstrats und danach auf einer zweiten Seite des Bandsubstrats beschichtet wird; • zweites Beschichten des zweiten Bandsubstrats während des zweiten Umwickelns derart, dass das zweite Bandsubstrat zweimal hintereinander auf derselben Seite des Bandsubstrats beschichtet wird.procedure according to Claim 13 and further comprising: • first coating the first tape substrate during the first wrapping such that the first tape substrate is coated on a first side of the tape substrate and thereafter on a second side of the tape substrate; • second coating of the second tape substrate during the second wrapping such that the second tape substrate is coated twice in a row on the same side of the tape substrate. Verfahren, aufweisend: • Ansteuern, in einem ersten Antriebsmodus, einer Antriebsvorrichtung derart, dass die Antriebsvorrichtung zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) mit derselben Drehrichtung antreibt; und • Ansteuern, in einem zweiten Antriebsmodus, die Antriebsvorrichtung derart, dass die Antriebsvorrichtung die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) voneinander verschiedenen Drehrichtung antreibt.Method comprising: • Controlling, in a first drive mode, a drive device in such a way that the drive device drives two processing rollers (CD01, CD02) in the same direction of rotation; and • Controlling, in a second drive mode, the drive device in such a way that the drive device drives the two processing rollers (CD01, CD02) in different directions of rotation. Steuervorrichtung (508), eingerichtet zum: • Ansteuern, in einem ersten Antriebsmodus, einer Antriebsvorrichtung derart, dass die Antriebsvorrichtung zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) mit derselben Drehrichtung antreibt; und • Ansteuern, in einem zweiten Antriebsmodus, die Antriebsvorrichtung derart, dass die Antriebsvorrichtung die zwei Prozessierwalzen (CD01, CD02) voneinander verschiedenen Drehrichtung antreibt.Control device (508) arranged to: • Controlling, in a first drive mode, a drive device in such a way that the drive device drives two processing rollers (CD01, CD02) in the same direction of rotation; and • Controlling, in a second drive mode, the drive device in such a way that the drive device drives the two processing rollers (CD01, CD02) in different directions of rotation. Verwenden einer Transportanordnung (100) zum wahlweise einseitigen Beschichten oder zweiseitigen Beschichten eines Bandsubstrats, wobei zum einseitigen Beschichten die Transportanordnung (100) in einer ersten Transportkonfiguration ist und zum zweiseitigen Beschichten die Transportanordnung (100) in einer zweiten Transportkonfiguration ist, welche sich von der ersten Transportkonfiguration unterscheidet.Use of a transport arrangement (100) for selectively one-sided coating or two-sided coating of a strip substrate, wherein for one-sided coating the transport arrangement (100) is in a first transport configuration and for two-sided coating the transport arrangement (100) is in a second transport configuration, which differs from the first Transport configuration differs.
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