Die Erfindung betrifft eine Transportanordnung und eine Prozessieranordnung. The invention relates to a transport arrangement and a processing arrangement.
Im Allgemeinen kann ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, ein Metallsubstrat und/oder ein Polymersubstrat, behandelt (prozessiert), z.B. beschichtet werden, so dass die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Substrats verändert werden können. Zum Beschichten eines Substrats können verschiedene Beschichtungsverfahren durchgeführt werden, wie beispielsweise eine Gasphasenabscheidung, z.B. eine chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder eine physikalische Gasphasenabscheidung (PVD). In general, a substrate, for example a glass substrate, a metal substrate and / or a polymer substrate, may be treated (processed), e.g. be coated so that the chemical and / or physical properties of the substrate can be changed. For coating a substrate, various coating methods such as vapor deposition, e.g. a chemical vapor deposition (CVD) or a physical vapor deposition (PVD).
Im Allgemeinen können flexible Substrate in Form eines Bands (z.B. Metallband, Folienband oder Glasband) in einer Durchlaufanlage prozessiert, z.B. in einer Folienbeschichtungsanlage beschichtet (und/oder anderweitig behandelt), werden. Dabei kann beispielsweise ein Bandsubstrat mittels einer Transportanordnung durch einen Beschichtungsbereich hindurch transportiert werden. Die Transportanordnung kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass das Bandsubstrat von Rolle-zu-Rolle (auch als R2R bezeichnet) prozessiert wird, wobei das Bandsubstrat von einem ersten Substrat-Wickler abgewickelt wird, mittels einer Führungsrolle oder mehrerer Führungsrollen durch den Beschichtungsbereich hindurch geführt wird, und nach dem Beschichten auf einen zweiten Substrat-Wickler wieder aufgewickelt wird (auch als Umwickeln bezeichnet). In general, flexible substrates in the form of a tape (e.g., metal tape, foil tape or glass ribbon) may be processed in a continuous line, e.g. coated (and / or otherwise treated) in a film coater. In this case, for example, a belt substrate can be transported through a coating area by means of a transport arrangement. For example, the transport assembly may be configured to process the tape substrate from roll-to-roll (also referred to as R2R), wherein the tape substrate is unwound from a first substrate winder, passed through the coating region by a guide roll or multiple guide rolls , and rewound after coating on a second substrate winder (also referred to as wrapping).
Dabei kann die Beschichtungsanlage eine Vakuumkammer aufweisen, so dass das Bandsubstrat im Vakuum beschichtet werden kann. Der Substrat-Wickler kann beispielsweise in die Vakuumkammer eingeschleust oder aus dieser ausgeschleust werden, so dass die Vakuumkammer zyklisch belüftet werden muss zum Austauschen des Bandsubstrats. In this case, the coating system may have a vacuum chamber, so that the tape substrate can be coated in a vacuum. The substrate winder can for example be introduced into or removed from the vacuum chamber, so that the vacuum chamber must be cyclically ventilated for exchanging the tape substrate.
In einem herkömmlichen R2R-Umwickelsystem bzw. R2R-Vakuum-Beschichtungsanlage kann der Bahnlauf auf Grund technischer Vorgaben oft von innen nach außen erfolgen, so dass sich die Substrat-Wickler (auch als Substrat-Coils bezeichnet) im Zentrum der Anordnung befinden, was anschaulich einem Schneckenprinzip gleicht. Insbesondere, wenn die Frontseite des Substrates berührungsfrei transportiert werden soll, führt eine kompakte Bauweise, die Verwendung vieler Führungsrollen (auch als Walzen bezeichnet) sowie die minimal benötigte Umschlingungen der einzelnen Führungsrollen zu einer Schnecken-Geometrie des Bahnlaufs. Je komplexer und technisch anspruchsvoller der Aufbau der Transportanordnung ist, z.B. je mehr Führungsrollen (Prozesswalzen, Messwalzen, Pendelwalzen, Leitwalzen, Zugentkopplungswalzen, Breitstreckwalzen etc.) verwendet werden, um das Substrat zu führen, umso deutlicher ist die Schnecken-Geometrie ausgeprägt. In a conventional R2R-Umwickelsystem or R2R vacuum coating system, the web run due to technical specifications often take place from the inside out, so that the substrate winder (also referred to as substrate coils) are in the center of the arrangement, which clearly similar to a screw principle. In particular, when the front side of the substrate is to be transported without contact, a compact design, the use of many guide rollers (also referred to as rollers) and the minimum required wraps of the individual guide rollers to a screw geometry of the web run. The more complex and technically demanding the structure of the transport arrangement is, e.g. the more guide rollers (process rollers, metering rollers, pendulum rollers, guide rollers, tension decoupling rollers, spreader rollers, etc.) are used to guide the substrate, the more pronounced the screw geometry is.
Wenn sich beide Substrat-Wickler in Zentrum der Transportanordnung befinden, umgeben von fest verbauter Peripherie, ist ein Wechsel der Substrat-Wickler herkömmlicherweise nur in axialer Richtung möglich. Möglichkeiten dazu bieten Cantilever-Spannsysteme (z.B. Spanndorne), auf welche die Substrat-Wickler in axialer Richtung aufgesteckt sind. Diese sind jedoch aufgrund der einseitigen Lagerung technisch begrenzt hinsichtlich der Genauigkeit des Bahnlaufs, ihrer Achsparallelität und ihrer Durchbiegung. Bei größeren Bahnbreiten und einem größeren Gewicht der einzelnen Führungsrollen ergeben sich daher Probleme bei der technischen Realisierbarkeit des Bahnlaufs sowie der Führungsrollenbedienung (Coil-Handling). Insbesondere das Prozessieren eines flexiblen Dünnglas-Substrats erfordert im Vergleich zu Kunststofffolien, einen größere Rollendurchmesser (und damit ein höheres Gewicht der Führungsrollen) und eine höhere Anforderung an die Genauigkeiten bzgl. der Bandlaufkomponenten und der Achsparallelität. When both substrate winder are in the center of the transport arrangement, surrounded by firmly built-up periphery, a change of the substrate winder is conventionally possible only in the axial direction. Possibilities for this are provided by cantilever clamping systems (for example mandrels) onto which the substrate winders are attached in the axial direction. However, these are technically limited due to the one-sided storage with regard to the accuracy of the web run, their axis parallelism and their deflection. For larger web widths and a greater weight of the individual guide rollers, therefore, problems arise in the technical feasibility of the web run and the leadership roles (coil handling). In particular, the processing of a flexible thin glass substrate requires compared to plastic films, a larger roll diameter (and thus a higher weight of the guide rollers) and a higher requirement for the accuracy of the tape running components and the axis parallelism.
Alternativ erfolgt die Lagerung der Führungsrollen und der Substrat-Wickler bei größeren Bahnbreiten herkömmlicherweise beidseitig, d.h. zwischen zwei Platinen. Die gesamte Anordnung inclusive Traversierung beschränkt die Zugänglichkeit zu den Substrat-Wicklern erheblich, was die Durchführung des Substratwechsels erschwert. Alternatively, the storage of the guide rollers and the substrate winder at larger web widths is conventionally done on both sides, i. between two boards. The entire arrangement including traversing considerably limits the accessibility to the substrate winders, which makes it difficult to carry out the substrate change.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine Transportanordnung und eine Prozessieranordnung bereitgestellt, welche bei dem beschriebenen Bahnlauf einen einfacheren Wechsel der Substrat-Wickler ermöglicht. According to various embodiments, a transport arrangement and a processing arrangement are provided, which allow a simpler change of the substrate winder in the described web run.
Alternativ zum Wechsel der Substrat-Wickler in axialer Richtung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen ein Auswechseln der Substrat-Wickler in horizontaler Richtung oder vertikaler Richtung bereitgestellt sein oder werden. Insbesondere bei beidseitig gelagerten Substrat-Wicklern (z.B. bei einer großen Bahnbreite und/oder einem großen Gewicht) kann ein Wechsel der Substrat-Wickler vereinfacht werden. Beispielsweise können die Substrat-Wickler mittels eines Krans aus der Transportanordnung entnommen und wieder in diese hineingebracht werden. As an alternative to changing the substrate winder in the axial direction, according to various embodiments, replacement of the substrate winder in the horizontal direction or vertical direction may or may not be provided. In particular, in the case of substrate winders mounted on both sides (for example, with a large web width and / or a large weight), a change of the substrate winder can be simplified. For example, the substrate winder can be removed by means of a crane from the transport arrangement and brought back into this.
Anschaulich werden eine Transportanordnung und eine Prozessieranordnung bereitgestellt, welche eine freie Gasse bereitstellen, durch welche die Substrat-Wickler gewechselt werden können. Anschaulich werden dazu die sich im Weg befindlichen Führungsrollen abgestellt, z.B. mittels eines Schwenkhebels. Auf einem Schwenkhebel können sich beispielsweise eine oder mehrere Führungsrollen befinden. Die Abstellung der Führungsrolle(n) ermöglicht es, den erforderlichen Freiraum zu bilden und eine gute Zugänglichkeit für einen, z.B. vertikalen, Wechsel der Substrat-Wickler bereitzustellen. Clearly, a transport arrangement and a processing arrangement are provided, which provide a free passage through which the substrate winder can be changed. Clearly, the guide rollers in the way are parked, eg by means of a Pivot lever. For example, one or more guide rollers may be located on a pivoting lever. The shutdown of the guide roller (s) makes it possible to form the required clearance and to provide good accessibility for, for example, vertical, changing the substrate winder.
Nach dem Wechsel der Substrat-Wickler können die Führungsrollen wieder in Produktionsstellung bewegt und arretiert werden. Die Schwenkbewegung des Schwenkhebel kann wahlweise manuell oder maschinell (beispielsweise automatisiert) erfolgen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird ein schneller und sicherer Wechsel des Substrats ermöglicht. After changing the substrate winder, the guide rollers can be moved back into production position and locked. The pivoting movement of the pivot lever can be done either manually or mechanically (for example, automated). According to various embodiments, a faster and safer change of the substrate is made possible.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung Folgendes aufweisen: mehrere drehbar gelagerte Wickelhülsenkupplungen zum Ankuppeln je einer Wickelhülse, von denen zumindest eine Wickelhülsenkupplung mittels eines Lagers gelagert ist, welches zum Austauschen der Wickelhülsenkupplung durch einen Wartungsbereich hindurch eingerichtet ist; zumindest eine drehbar gelagerte Führungsrolle zum Führen eines flexiblen Substrats entlang eines gekrümmten Transportpfads, welcher zwischen den mehreren Wickelhülsenkupplungen und durch den Wartungsbereich hindurch verläuft; und eine Gelenkanordnung, mittels welcher die zumindest eine Führungsrolle aus dem Wartungsbereich heraus und in diesen hinein verlagerbar gestützt ist, so dass sich der Wartungsbereich freilegen lässt. According to various embodiments, a transport arrangement may comprise: a plurality of rotatably mounted winding tube couplings for coupling a respective winding tube, at least one winding tube coupling of which is mounted by means of a bearing which is set up for exchanging the winding tube coupling through a maintenance area; at least one rotatably mounted guide roller for guiding a flexible substrate along a curved transport path which extends between the plurality of winding tube couplings and through the maintenance area; and a hinge arrangement, by means of which the at least one guide roller is supported displaceably out of the maintenance area and into it so that the maintenance area can be exposed.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung Folgendes aufweisen: mehrere drehbar gelagerte Wickelhülsenkupplungen zum Ankuppeln je einer Wickelhülse, von denen zumindest eine Wickelhülsenkupplung mittels eines Lagers gelagert ist, welches zum Austauschen der Wickelhülsenkupplung durch einen Wartungsbereich hindurch eingerichtet ist; mehrere drehbar gelagerte Führungsrollen zum Führen eines flexiblen Substrats entlang eines gekrümmten Transportpfads, welcher zwischen den mehreren Wickelhülsenkupplungen und durch den Wartungsbereich hindurch verläuft; und eine Gelenkanordnung, mittels welcher zumindest eine Führungsrolle der mehreren Führungsrollen aus dem Wartungsbereich heraus und in diesen hinein verlagerbar gestützt ist, so dass sich der Wartungsbereich freilegen lässt. According to various embodiments, a transport arrangement may comprise: a plurality of rotatably mounted winding tube couplings for coupling a respective winding tube, at least one winding tube coupling of which is mounted by means of a bearing which is set up for exchanging the winding tube coupling through a maintenance area; a plurality of rotatably mounted guide rollers for guiding a flexible substrate along a curved transport path which extends between the plurality of winding tube couplings and through the maintenance area; and a hinge arrangement, by means of which at least one guide roller of the plurality of guide rollers is supported displaceably out of the maintenance area and into it so that the maintenance area can be exposed.
Jede Wickelhülsenkupplung kann Teil eines Wicklers (z.B. Substrat-Wicklers) sein. Ein Wickler kann eine Wickelhülsenkupplung, die darauf gelagerte Wickelhülse und optional das auf der Wickelhülse aufgewickelte Substrat aufweisen. Mit anderen Worten kann die zumindest eine Wickelhülsenkupplung inklusive der darauf gelagerten Wickelhülse ausgetauscht werden. Each corrugated sleeve clutch may be part of a winder (e.g., substrate winder). A winder may comprise a winding tube coupling, the winding tube mounted thereon, and optionally the substrate wound on the winding tube. In other words, the at least one winding sleeve coupling including the winding sleeve mounted thereon can be exchanged.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner aufweisen: ein Antriebssystem zum Antreiben (jeder Wickelhülsenkupplung) der mehreren Wickelhülsenkupplungen. According to various embodiments, the transport arrangement may further comprise: a drive system for driving (each corrugated sleeve clutch) of the plurality of corrugated sleeve clutches.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Lager mehrere Zustände aufweisen, von denen in dem Offen-Zustand des Lagers die zumindest eine Wickelhülsenkupplung in Richtung des Wartungsbereichs freigegeben ist und in dem Geschlossen-Zustand des Lagers die zumindest eine Wickelhülsenkupplung arretiert ist. According to various embodiments, the bearing may have a plurality of states of which, in the open state of the bearing, the at least one winding sleeve coupling is released in the direction of the maintenance area and in the closed state of the bearing the at least one winding sleeve coupling is locked.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede oder die Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen (auch als Hülsendrehlager bezeichnet) eine Spannvorrichtung (z.B. aufweisend einen Spanndorn, ein Konus-Spannelement und/oder einen Spreizdorn) zum Einspannen der jeweiligen Substrat-Wickelhülse aufweisen. According to various embodiments, each or the winding sleeve coupling of the plurality of winding sleeve couplings (also referred to as sleeve pivot bearings) may comprise a tensioning device (e.g., having a mandrel, a cone tensioning element, and / or an expanding mandrel) for clamping the respective substrate winding mandrel.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner aufweisen: einen Prozessierbereich, in welchem der Transportpfad geradlinig verläuft oder eine konstante Krümmung aufweist entlang einer Länge von mehr als dem halben Umfang der zumindest einen Führungsrolle; wobei der Prozessierbereich auf einer dem Wartungsbereich gegenüberliegenden Seite der Wickelhülsenkupplung angeordnet ist. According to various embodiments, the transport arrangement may further comprise: a processing area in which the transport path is rectilinear or has a constant curvature along a length of more than half the circumference of the at least one guide roller; wherein the processing area is arranged on a side of the winding tube coupling opposite the maintenance area.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner aufweisen: eine Prozessierrolle, welche in dem Prozessierbereich angeordnet ist und eine Temperiervorrichtung aufweist. According to various embodiments, the transport arrangement may further comprise: a processing roller, which is arranged in the processing area and has a temperature control device.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gelenkanordnung der Transportanordnung aufweisen: einen Führungsrolle-Träger, welcher die zumindest eine Führungsrolle abstützt und ein Gelenk mittels dessen der Führungsrolle-Träger schwenkbar gelagert ist. Beispielsweise kann die Gelenkanordnung einen schwenkbar gelagerten Hebel (auch als Schwenkhebel bezeichnet) aufweisen. According to various embodiments, the hinge assembly of the transport assembly may comprise: a guide roller support which supports the at least one guide roller and a hinge is pivotally supported by means of which the guide roller carrier. For example, the hinge assembly may have a pivotally mounted lever (also referred to as a pivoting lever).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Transportpfad die zumindest eine Wickelhülsenkupplung zumindest teilweise umgeben (z.B. einen Winkel von mehr als 250° umspannend), z.B. umlaufen. Beispielsweise kann der Transportpfad zumindest auf einander gegenüberliegenden Seiten (z.B. außerhalb des Wartungsbereichs) der zumindest einen Wickelhülsenkupplung verlaufen. According to various embodiments, the transport path may at least partially surround the at least one coil sleeve coupling (e.g., spanning an angle greater than 250 °), e.g. circulate. For example, the transport path may extend at least on opposite sides (e.g., outside the service area) of the at least one winding tube coupling.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zumindest eine Wickelhülsenkupplung zwischen der zumindest einen Führungsrolle und zumindest einer zusätzlichen Führungsrolle der mehreren Führungsrollen angeordnet sein. According to various embodiments, the at least one winding tube coupling may be arranged between the at least one guide roller and at least one additional guide roller of the plurality of guide rollers.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gelenkanordnung ein Drehgelenk aufweisen. According to various embodiments, the hinge assembly may include a hinge.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gelenkanordnung ein Schubgelenk aufweisen. According to various embodiments, the joint arrangement may comprise a sliding joint.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zumindest eine Führungsrolle antriebslos gelagert sein. According to various embodiments, the at least one guide roller can be mounted without drive.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportanordnung ferner aufweisen: ein Gestell, welches zwei miteinander verbundene Träger aufweist, welche die mehreren Wickelhülsenkupplungen (z.B. beidseitig) abstützen und zwischen denen der Transportpfad angeordnet ist. According to various embodiments, the transport arrangement may further comprise: a frame having two interconnected supports which support the plurality of winding tube couplings (e.g., both sides) and between which the transport path is disposed.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zumindest eine Führungsrolle und/oder die zumindest eine Wickelhülsenkupplung beidseitig mittels des Gestells gelagert sein. According to various embodiments, the at least one guide roller and / or the at least one winding tube coupling can be mounted on both sides by means of the frame.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gelenkanordnung beidseitig mittels des Gestells abgestützt sein. According to various embodiments, the joint arrangement can be supported on both sides by means of the frame.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Gestell eine Öffnung aufweisen, durch welche sich der Wartungsbereich hindurch erstreckt. According to various embodiments, the frame may have an opening through which the maintenance area extends.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer; und eine Transportanordnung gemäß einer oder mehreren der hierin beschriebenen Ausführungsformen, deren Wartungsbereich innerhalb der Vakuumkammer angeordnet ist; wobei die Vakuumkammer eine Öffnung aufweist, welche den Wartungsbereich freilegt und/oder zumindest daran angrenzt. According to various embodiments, a processing arrangement may include: a vacuum chamber; and a transport assembly according to one or more of the embodiments described herein, the service area of which is disposed within the vacuum chamber; wherein the vacuum chamber has an opening which exposes and / or at least adjoins the maintenance area.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die hierin beschriebene Transportanordnung derart eingerichtet sein, z.B. eine oder mehrere konkave oder konvexe Führungsrollen (bzw. Walzen) aufweisen, dass das Substrat (z.B. ein Bandsubstrat) glatt (eben) transportiert wird und sich das Substrat anschaulich gesehen nicht wellt oder verzieht, z.B. mittels so genannter Breitstreckrollen. Ferner kann die hierin beschriebene Transportanordnung derart eingerichtet sein, dass eine vordefinierte Zugspannung auf das Substrat gebracht wird, z.B. zumindest in dem Prozessierabschnitt. Beispielsweise kann eine Führungsrolle der Transportanordnung aufgrund der vordefinierten Masse der Rolle eine vordefinierte Zugspannung erzeugen und/oder deren Drehzahl gesteuert und/oder geregelt sein oder werden. According to various embodiments, the transport arrangement described herein may be arranged, e.g. have one or more concave or convex guide rollers (or rollers) that the substrate (for example, a tape substrate) is smoothly (even) transported and the substrate is not seen undulating or distorting, e.g. by means of so-called spreader rollers. Further, the transport assembly described herein may be configured to apply a predefined tension to the substrate, e.g. at least in the processing section. For example, due to the predefined mass of the roller, a guide roller of the transport arrangement can generate a predefined tension and / or its speed can be controlled and / or regulated.
Im Allgemeinen kann eine oder jede Führungsrolle (auch als Führungswalze bezeichnet), je nach Anwendungszweck und Konfiguration, verschieden ausgestaltet sein oder werden. Beispielsweise kann eine Führungsrolle als passive Führung des Transportpfads eingerichtet sein. Eine solche passive Führungsrolle kann beispielsweise antriebslos gelagert sein, so dass deren Drehung durch die Bewegung des Substrats bewirkt wird, z.B. im Fall einer Umlenkrolle. Die passive Führungsrolle kann beispielsweise eine Metalloberfläche aufweisen (z.B. eine Stahlwalze) und/oder geschliffen oder poliert sein. Damit kann eine mechanische Belastung des Substrats durch die Führungsrolle und/oder durch Schlupf minimiert sein oder werden. In general, one or each guide roller (also referred to as guide roller), depending on the purpose and configuration, be designed differently or become. For example, a leadership role may be set up as passive guidance of the transport path. Such a passive guide roller may for example be mounted without drive, so that its rotation is brought about by the movement of the substrate, e.g. in the case of a pulley. The passive guide roller may, for example, have a metal surface (e.g., a steel roller) and / or be ground or polished. Thus, mechanical stress on the substrate by the guide roller and / or by slippage may be minimized.
Alternativ kann eine Führungsrolle als Zugrolle (auch als Zugwalze bezeichnet) eingerichtet sein oder werden. Eine Zugrolle kann eine gummierte Oberfläche aufweisen, z.B. kann diese mit einem Gummi beschichtet sein oder werden. Die Zugrolle kann mit einem (z.B. gesteuerten oder geregelten) Antrieb gekuppelt sein. Alternatively, a guide roller may be or may be configured as a pull roller (also referred to as a pull roller). A pull roll may have a rubberized surface, e.g. This can be coated with a rubber or be. The pull roll may be coupled to a (e.g., controlled or regulated) drive.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zumindest ein Abschnitt der Gelenkanordnung innerhalb des Wartungsbereichs angeordnet sein und zumindest ein Abschnitt der Gelenkanordnung kann außerhalb des Wartungsbereichs angeordnet sein. According to various embodiments, at least a portion of the hinge assembly may be disposed within the service area, and at least a portion of the hinge assembly may be disposed outside of the service area.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Betreiben einer Transportanordnung eingerichtet sein, wobei die Transportanordnung aufweist: zumindest eine Wickelhülsenkupplung, welche mittels eines Lagers gelagert ist, welches zum Austauschen der Wickelhülsenkupplung durch einen Wartungsbereich hindurch eingerichtet ist; und eine Gelenkanordnung, mittels welcher zumindest eine Führungsrolle aus dem Wartungsbereich heraus und in diesen hinein verlagerbar gestützt ist, wobei das Verfahren aufweist: Verlagern der zumindest einen Führungsrolle aus dem Wartungsbereich heraus mittels der Gelenkanordnung; Austauschen der zumindest einen Wickelhülsenkupplung durch den Wartungsbereich hindurch, wenn die zumindest einen Führungsrolle aus dem Wartungsbereich heraus gebracht ist; und Verlagern der zumindest einen Führungsrolle in den Wartungsbereich hinein mittels der Gelenkanordnung. According to various embodiments, a method for operating a transport arrangement may be arranged, wherein the transport arrangement comprises: at least one winding tube coupling, which is mounted by means of a bearing which is set up for exchanging the winding tube coupling through a maintenance area; and a hinge assembly by which at least one guide roller is supported displaceably out of and into the service area, the method comprising: displacing the at least one guide roller out of the service area by means of the hinge assembly; Replacing the at least one winding tube clutch through the maintenance area when the at least one guide roller is brought out of the maintenance area; and displacing the at least one guide roller into the service area by means of the hinge arrangement.
Das Verfahren kann ferner aufweisen: Umwickeln eins Substrats mittels der zumindest einen Wickelhülsenkupplung, z.B. auf eine Wickelhülse aufwickeln oder von einer Wickelhülse abwickeln. The method may further comprise: wrapping a substrate by means of the at least one winding tube coupling, e.g. Wind on a winding tube or unwind from a winding tube.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.
Es zeigen Show it
1A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; 1A a transport arrangement according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
1B die Transportanordnung aus 1A in einer Umwickelkonfiguration; 1B the transport arrangement 1A in a wrap-around configuration;
2A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht; 2A a transport arrangement according to various embodiments in a schematic detail view;
2B die Transportanordnung aus 2A in einer Wartungskonfiguration; 2 B the transport arrangement 2A in a maintenance configuration;
3A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; 3A a transport arrangement according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
3B die Transportanordnung aus 3A in einer Umwickelkonfiguration; 3B the transport arrangement 3A in a wrap-around configuration;
4A 4B und 4C jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht, 4A 4B and 4C each a transport arrangement according to various embodiments in a schematic detail view,
5A und 5B jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; 5A and 5B in each case a transport arrangement according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
6A und 6B jeweils eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht. 6A and 6B in each case a processing arrangement according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view.
7A, 7B und 7C jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht; 7A . 7B and 7C in each case a transport arrangement according to various embodiments in a schematic perspective view;
8A eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht; 8A a transport arrangement according to various embodiments in a schematic detail view;
8B die Transportanordnung aus 8A in einer Umwickelkonfiguration; 8B the transport arrangement 8A in a wrap-around configuration;
9 eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht; 9 a transport arrangement according to various embodiments in a schematic perspective view;
10 eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht; 10 a transport arrangement according to various embodiments in a schematic perspective view;
11 eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht; 11 a transport arrangement according to various embodiments in a schematic perspective view;
12A, 12B und 12C jeweils eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht; 12A . 12B and 12C in each case a transport arrangement according to various embodiments in a schematic detail view;
13 eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; 13 a processing arrangement according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
14 eine Transportanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht in einer Umwickelkonfiguration; und 14 a transport assembly according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view in a Umwickelkonfiguration; and
15 die Transportanordnung aus 14 in einer Wartungskonfiguration. 15 the transport arrangement 14 in a maintenance configuration.
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert. In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It should be understood that the features of the various exemplary embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe "verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist. In the context of this description, the terms "connected", "connected" and "coupled" are used to describe both a direct and an indirect connection (eg ohmic and / or electrically conductive, eg an electrically conductive connection), a direct or indirect connection and a direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff "gekoppelt" oder "Kopplung" im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann "gekuppelt" im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physikalischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen. According to various embodiments, the term "coupled" or "coupling" may be understood in the sense of a (eg mechanical, hydrostatic, thermal and / or electrical), eg direct or indirect, connection and / or interaction. For example, several elements may be along an interaction chain be coupled with each other. According to various embodiments, "coupled" may be understood in the sense of a mechanical (eg physical or physical) coupling, eg by means of a direct physical contact. A clutch may be configured to transmit a mechanical interaction (eg, force, torque, etc.).
Im Zusammenhang mit vakuumerzeugenden oder vakuumerhaltenden Vakuumkomponenten (z.B. einer Pumpe, einer Kammer, einer Leitung, einem Ventil, usw.) kann der Begriff "gekoppelt" oder "Kopplung" im Sinne einer Verbindung zu einem gemeinsamen Vakuumsystem verstanden werden. Die Komponenten des Vakuumsystems können eingerichtet sein, mittels der Kopplung untereinander ein Gas austauschen, wobei die Kopplung von einem Äußeren des Vakuumsystems gassepariert sein kann. In the context of vacuum generating or vacuum sustaining vacuum components (e.g., a pump, a chamber, a conduit, a valve, etc.), the term "coupled" or "coupling" may be understood to mean a connection to a common vacuum system. The components of the vacuum system may be configured to exchange a gas with one another by means of the coupling, wherein the coupling may be gas-separated from an exterior of the vacuum system.
1A veranschaulicht eine Transportanordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang einer Drehachsenrichtung 101 der Transportanordnung 100). 1A illustrates a transport arrangement 100 According to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view (eg, viewed along a rotation axis direction 101 the transport arrangement 100 ).
Die Transportanordnung 100 kann aufweisen: mehrere (z.B. mindestens zwei) drehbar gelagerte Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b zum Ankuppeln je einer Wickelhülse. Ferner kann die Transportanordnung 100 zumindest eine drehbar gelagerte Führungsrolle 122b aufweisen zum Führen eines flexiblen Substrats 102 entlang eines gekrümmten Transportpfads 111, welcher zwischen den mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b angeordnet ist. Jede Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b kann um eine Drehachse 101a drehbar gelagert sein, welche z.B. parallel zur Drehachsenrichtung 101 ist. The transport arrangement 100 may comprise: a plurality (eg at least two) rotatably mounted corrugated tube clutches 112a . 112b for coupling one winding tube each. Furthermore, the transport arrangement 100 at least one rotatably mounted guide roller 122b comprise for guiding a flexible substrate 102 along a curved transport path 111 , which between the several winding tube clutches 112a . 112b is arranged. Each corrugated sleeve clutch of the several corrugated sleeve clutches 112a . 112b can be about a rotation axis 101 be rotatably mounted, which, for example, parallel to the rotation axis direction 101 is.
Beispielsweise kann die zumindest eine Führungsrolle 122b zumindest einer von folgenden Führungsrollen-Typen sein: ein Umlenkrolle; eine Breitstreckrolle; und/oder eine Messrolle. Beispielsweise können die Umlenkrolle; die Breitstreckrolle und/oder die Messrolle eine antriebslos gelagerte (d.h. passive) Führungsrolle 122b sein. For example, the at least one leadership role 122b at least one of the following types of guide rollers: a deflection roller; a spreader roller; and / or a measuring roller. For example, the deflection roller; the spreader roller and / or the measuring roller a non-driven (ie passive) leadership role 122b be.
Optional kann die Transportanordnung 100 zumindest eine zusätzliche drehbar gelagerte Führungsrolle 122 aufweisen (z.B. eine, zwei, drei, vier, fünf oder mehr als fünf Führungsrollen 122), welche außerhalb des Wartungsbereichs 111a angeordnet sind (auch als stationäre Führungsrollen 122 bezeichnet), zum Führen eines flexiblen Substrats 102 entlang des gekrümmten Transportpfads 111. Optionally, the transport arrangement 100 at least one additional rotatably mounted guide roller 122 have (eg one, two, three, four, five or more than five leadership roles 122 ), which are outside the maintenance area 111 are arranged (as stationary guide rollers 122 designated), for guiding a flexible substrate 102 along the curved transport path 111 ,
Beispielsweise kann die zumindest eine stationäre Führungsrolle 122 zumindest einer von folgenden Führungsrollen-Typen sein: ein Umlenkrolle; eine Breitstreckrolle; eine Messrolle; und/oder eine Zugrolle. Zumindest die Zugrolle kann eine angetriebene (d.h. aktive) Führungsrolle 122 sein. Alternativ oder zusätzlich können die Umlenkrolle; die Breitstreckrolle und/oder die Messrolle eine antriebslos gelagerte (d.h. passive) Führungsrolle 122 sein. For example, the at least one stationary leadership role 122 at least one of the following types of guide rollers: a deflection roller; a spreader roller; a measuring roller; and / or a pull roll. At least the pull roll can have a driven (ie active) guide roll 122 be. Alternatively or additionally, the deflection roller; the spreader roller and / or the measuring roller a non-driven (ie passive) leadership role 122 be.
Jede Führungsrolle 122, 122b der Transportanordnung 100 kann um eine Drehachse 101a drehbar gelagert sein, welche beispielsweise parallel zu der Drehachsenrichtung 101 sein kann. Every leadership 122 . 122b the transport arrangement 100 can be about a rotation axis 101 be rotatably mounted, which, for example, parallel to the rotation axis direction 101 can be.
Ferner kann die Transportanordnung 100 ein eine Gelenkanordnung 114 aufweisen, mittels welcher die zumindest eine Führungsrolle 102b verlagerbar gestützt ist (auch als verlagerbare Führungsrolle 102b bezeichnet). Furthermore, the transport arrangement 100 a joint arrangement 114 by means of which the at least one guide roller 102b relocatable (also as a transferable leadership role 102b designated).
Die Drehachsen 101a der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, können achsparallel zueinander sein, z.B. parallel zu der Drehachsenrichtung 101. Die Drehachse 101a der zumindest einen Führungsrolle 122b kann achsparallel zu den Drehachsen 101a der Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b sein, z.B. parallel zu der Drehachsenrichtung 101. The axes of rotation 101 the several winding tube clutches 112a . 112b , may be parallel to each other, for example, parallel to the rotation axis direction 101 , The rotation axis 101 the at least one leadership role 122b can be axially parallel to the axes of rotation 101 the winding sleeve couplings 112a . 112b be, for example, parallel to the rotation axis direction 101 ,
1B veranschaulicht die Transportanordnung 100 in einer ersten Umwickelkonfiguration 100b, in der ein Substrat 102 umgewickelt 111w wird. 1B illustrates the transport arrangement 100 in a first wrap configuration 100b in which a substrate 102 rewound 111w becomes.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren drehbar gelagerten Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b eingerichtet sein, in der ersten Umwickelkonfiguration 100b das Substrat 102 zwischen einer ersten Wickelhülsenkupplung 112a der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b und einer zweiten Wickelhülsenkupplung 112b der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b umzuwickeln. Das Substrat 102 kann auf eine Wickelhülse aufgewickelt werden oder von dieser abgewickelt werden, welche mittels einer Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b gelagert ist. According to various embodiments, the plurality of rotatably mounted coiled-tube couplings 112a . 112b be set up in the first wrapping configuration 100b the substrate 102 between a first winding sleeve clutch 112a the several winding tube clutches 112a . 112b and a second winding sleeve clutch 112b the several winding tube clutches 112a . 112b to rewind. The substrate 102 can be wound on a winding tube or unwound from this, which by means of a winding tube coupling of the plurality of winding tube clutches 112a . 112b is stored.
Eine Wickelhülse (auch als Spule bezeichnet) kann als rohrförmiger Träger verstanden werden, mittels dessen ein flexibles Material, z.B. das Substrat 102, in Form einer Wicklung gelagert oder umgewickelt, d.h. zu einer Wicklung aufgewickelt oder von einer Wicklung abgewickelt, werden kann. Beispielsweise kann mittels einer Wickelhülse ein Substrat 102 umgewickelt, z.B. darauf aufgewickelt oder davon abgewickelt, werden (auch als Substrat-Wickelhülse bezeichnet). Das flexible Substrat 102 kann zwischen zwei Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b umgewickelt werden, z.B. von einer ersten Substrat-Wickelhülse auf eine zweite Substrat-Wickelhülse. A winding tube (also referred to as a coil) can be understood as a tubular carrier, by means of which a flexible material, for example the substrate 102 stored or wrapped in the form of a winding, that is wound into a winding or unwound from a winding, can be. For example, by means of a winding tube, a substrate 102 wrapped, eg wound on or unwound from, are (also referred to as a substrate winding tube). The flexible substrate 102 can be between two corrugated tube couplings 112a . 112b the several winding tube clutches 112a . 112b be wrapped, for example, from a first substrate winding tube to a second substrate winding tube.
Die Führungsrolle(n) 122, 122b der Transportanordnung 100 können einen gekrümmten Transportpfad 111 definieren, entlang dessen das Umwickeln 111w erfolgen kann. Das Substrat 102 kann mittels der zumindest einen verlagerbaren Führungsrolle 122b umgelenkt und/oder geführt werden. Das Substrat 102 kann mittels der optionalen zumindest einen stationären Führungsrolle 122 umgelenkt, geführt und/oder gezogen werden. The leadership role (s) 122 . 122b the transport arrangement 100 can have a curved transport path 111 along which wrapping 111w can be done. The substrate 102 can by means of at least one displaceable leadership role 122b be diverted and / or managed. The substrate 102 can by means of the optional at least one stationary guide roller 122 be diverted, managed and / or pulled.
Der Transportpfad 111 kann durch einen Prozessierbereich 111b hindurch verlaufen. Beispielsweise kann der Prozessierbereich einen Vakuumbereich oder mehrere Vakuumbereiche aufweisen. The transport path 111 can through a processing area 111b pass through. For example, the processing area may have one or more vacuum areas.
Beispielsweise kann das Substrat 102 zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Keramik, ein Glas, einen Halbleiter (z.B. einen amorphen, polykristallinen oder einkristallinen Halbleiter, z.B. Silizium), ein Metall (z.B. Aluminium, Kupfer, Eisen, Stahl, Platin, Gold, etc.) ein Polymer (z.B. Kunststoff) und/oder eine Mischung verschiedener Materialien, wie z.B. ein Verbundwerkstoff (z.B. Kohlenstofffaser-verstärkter-Kohlenstoff, oder Kohlenstofffaser-verstärkter-Kunststoff). Alternativ oder zusätzlich kann das Substrat 102 eine Kunststofffolie, eine Halbleiterfolie, eine Metallfolie und/oder eine Glasfolie aufweisen oder daraus gebildet sein, und optional beschichtet sein oder werden. Optional kann das Substrat 102 Fasern aufweisen, z.B. Glasfasern, Kohlenstofffasern, Metallfasern und/oder Kunststofffasern, z.B. in Form eines Gewebes, eines Netzes, eines Gewirks, Gestricks, oder als Filz bzw. Flies. For example, the substrate 102 have at least one of the following or formed from it: a ceramic, a glass, a semiconductor (eg an amorphous, polycrystalline or monocrystalline semiconductor, eg silicon), a metal (eg aluminum, copper, iron, steel, platinum, gold, etc. ) a polymer (eg, plastic) and / or a mixture of various materials, such as a composite material (eg, carbon fiber reinforced carbon, or carbon fiber reinforced plastic). Alternatively or additionally, the substrate 102 a plastic film, a semiconductor film, a metal foil and / or a glass sheet, or be formed therefrom, and optionally be or are coated. Optionally, the substrate 102 Having fibers, for example glass fibers, carbon fibers, metal fibers and / or plastic fibers, for example in the form of a fabric, a net, a knitted fabric, knitted fabric, or as a felt or fleece.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Substrat 102 als Band (auch als Bandsubstrat bezeichnet) von Rolle-zu-Rolle transportiert werden. Das Bandsubstrat kann eine Breite (Ausdehnung quer zur Transportrichtung) in einem Bereich von ungefähr 30 cm bis ungefähr 500 cm aufweisen oder eine Breite von mehr als ungefähr 500 cm. Ferner kann das Bandsubstrat 102 flexibel sein. Anschaulich kann ein Bandsubstrat 102 ein beliebiges Substrat 102 sein, welches zu einer Wicklung aufgewickelt werden kann und/oder beispielsweise von Rolle-zu-Rolle prozessiert werden kann. Das Bandsubstrat 102 kann je nach Elastizität des verwendeten Materials eine Materialstärke (auch als Substratdicke bezeichnet) in einem Bereich von ungefähr einigen Mikrometern (z.B. von ungefähr 1 µm) bis ungefähr einigen Millimetern (z.B. bis ungefähr 10 mm) aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 0,01 mm bis ungefähr 3 mm. According to various embodiments, a substrate 102 as a belt (also referred to as a tape substrate) are transported from roll-to-roll. The tape substrate may have a width (dimension transverse to the transport direction) in a range of about 30 cm to about 500 cm, or a width of more than about 500 cm. Furthermore, the tape substrate 102 to be flexible. Illustratively, a tape substrate 102 an arbitrary substrate 102 which can be wound into a coil and / or processed, for example, from roll-to-roll. The tape substrate 102 may, depending on the elasticity of the material used, have a material thickness (also referred to as substrate thickness) in a range of about a few micrometers (eg from about 1 μm) to about a few millimeters (eg to about 10 mm), eg in a range of about 0, 01 mm to about 3 mm.
Die oder jede Führungsrolle 122, 122b der Transportanordnung 100 können länger (Ausdehnung entlang der Drehachse 101a) sein, als das Substrat 102 (Ausdehnung quer zur Transportrichtung 111w) breit ist. The or each leadership 122 . 122b the transport arrangement 100 can be longer (extension along the axis of rotation 101 ), as the substrate 102 (Extension transverse to the transport direction 111w ) is wide.
Das Umlenken des Transportpfads 111 mittels der oder jeder Führungsrolle 122, 122b der Transportanordnung 100 kann beispielsweise einen Winkel aufweisen (anschaulich die Differenz aus einlaufendem Transportpfad 111 und auslaufendem Transportpfad 111). Der Winkel kann auch als Mindestumschlingung bezeichnet werden. Der Winkel kann größer sein als ungefähr 10°, z.B. größer als ungefähr 20°, z.B. größer als ungefähr 30°. The redirecting of the transport path 111 by means of the or each leadership role 122 . 122b the transport arrangement 100 may for example have an angle (clearly the difference from incoming transport path 111 and expiring transport path 111 ). The angle can also be referred to as a minimum wrap. The angle may be greater than about 10 °, eg greater than about 20 °, eg greater than about 30 °.
Optional kann zumindest eine Führungsrolle 122, 122b der Transportanordnung 100 als Messrolle eingerichtet sein oder werden. Die Messrolle kann mindestens einen Sensor aufweisen, welcher zum Erfassen einer mechanischen Größe eingerichtet sein kann, wobei die mechanische Größe eine mechanische Spannung in dem Substrat 102 repräsentiert. Die mechanische Größe kann beispielsweise eine mechanische Wechselwirkung mit dem Substrat 102 aufweisen, z.B. eine mechanische Kraft zu oder von dem Substrat 102 (z.B. eines Drehmomentes). Alternativ oder zusätzlich kann die mechanische Größe eine Drehgeschwindigkeit der Messrolle aufweisen. Mit anderen Worten kann die Messrolle eingerichtet sein, eine mechanische Größe zu erfassen, welche eine mechanische Zugspannung in dem Substrat 102 und/oder deren Gradienten und/oder Transienten repräsentiert. Optionally, at least one leadership role 122 . 122b the transport arrangement 100 be set up as a measuring role or be. The measuring roller may comprise at least one sensor which may be arranged to detect a mechanical quantity, the mechanical quantity being a mechanical stress in the substrate 102 represents. The mechanical size may, for example, be a mechanical interaction with the substrate 102 have, for example, a mechanical force to or from the substrate 102 (eg a torque). Alternatively or additionally, the mechanical variable may have a rotational speed of the measuring roller. In other words, the measuring roller may be configured to detect a mechanical quantity which is a mechanical tension in the substrate 102 and / or their gradients and / or transients.
Optional kann die Transportanordnung 100 eine oder mehrere Zug-Regelstrecken (zur Zugentkopplung) aufweisen. Die oder jede Zug-Regelstreck kann mindestens eine Messrolle, eine Zugrolle und eine Steuerung aufweisen. Die Steuerung kann eingerichtet sein eine Drehgeschwindigkeit und/oder ein Drehmoment der Zugrolle auf Grundlage der mechanischen Größe zu steuern und/oder zu regeln, z.B. gemäß einer Vorgabe. Die Steuerung kann auch zum Steuern und/oder Regeln mehrerer Zug-Regelstrecken gemeinsam verwendet werden. Mittels der oder jeder Zug-Regelstrecke lässt sich bei einem empfindlichen Substrat 102 die mechanische Zugspannung (auch als Bahnspannung bezeichnet), welche von den Führungsrollen 122, 122b und/oder Wicklern auf das Substrat 102 übertragen wird, steuern und/oder regeln. Optionally, the transport arrangement 100 have one or more train control lines (for decoupling). The or each train-Regelstreck may have at least one measuring roller, a tension roller and a controller. The controller may be configured to control and / or regulate a rotational speed and / or a torque of the tension roller based on the mechanical quantity, eg according to a specification. The controller may also be used to control and / or regulate multiple train control paths in common. By means of the or each train control system can be in a sensitive substrate 102 the mechanical tension (also referred to as web tension), which of the guide rollers 122 . 122b and / or winders on the substrate 102 is transmitted, controlled and / or regulated.
Optional kann die Transportanordnung 100 einen Substratposition-Sensor aufweisen, welche zum Erfassen einer Messgröße eingerichtet sein kann, welche eine Position des Substrats 102 quer zur Transportrichtung 111w repräsentiert. Beispielsweise kann der Substratposition-Sensor eine Bahnkanten-Sensorik aufweisen, welche zum Erfassen einer Kante des Substrats 102 eingerichtet ist. Mittels des Substratposition-Sensors kann eine Lageabweichung des Substrats 102 in axialer Richtung 101 erfasst werden und/oder es kann erfasst werden, wenn das Substrat 102 bricht (auch als Bahnbruch bezeichnet). Optionally, the transport arrangement 100 a substrate position sensor, which may be arranged to detect a measured variable, which is a position of the substrate 102 transverse to the transport direction 111w represents. By way of example, the substrate position sensor may have a web edge sensor which is used to detect an edge of the substrate 102 is set up. By means of the substrate position sensor, a positional deviation of the substrate 102 in the axial direction 101 can be detected and / or it can be detected when the substrate 102 breaks (also called web break).
Die erste Umwickelkonfiguration 100b kann optional derart eingerichtet sein, dass der Transportpfad 111 in genau einer Richtung gekrümmt ist (eine sogenannte „No Fronttouch“ Konfiguration). Damit kann erreicht werden, dass eine Hauptprozessierseite 102t des Substrats 102, welche prozessiert (z.B. beschichtet) werden soll, mittels der Führungsrolle(n) 122, 122b der Transportanordnung 100 berührungsfrei entlang des Transportpfads 111 geführt wird. Eine der Hauptprozessierseite 102t gegenüberliegende Seite des Substrats 102 kann auf der oder jeder Führungsrolle 122, 122b der Transportanordnung 100 aufliegen. The first wrapping configuration 100b can optionally be set up such that the transport path 111 curved in exactly one direction (a so-called "No Fronttouch" configuration). This can be achieved that a Hauptprozessierseite 102t of the substrate 102 which is to be processed (eg coated) by means of the leadership role (s) 122 . 122b the transport arrangement 100 Non-contact along the transport path 111 to be led. One of the main processing site 102t opposite side of the substrate 102 can be on the or any leadership role 122 . 122b the transport arrangement 100 rest.
2A veranschaulicht eine Transportanordnung 200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang der Drehachsenrichtung 101) und 2B die Transportanordnung 200 in einer Wartungskonfiguration 200b. 2A illustrates a transport arrangement 200 according to various embodiments in a schematic detail view (eg with a view along the rotation axis direction 101 ) and 2 B the transport arrangement 200 in a maintenance configuration 200b ,
Die Transportanordnung 200 kann eingerichtet sein, wie die Transportanordnung 100. Alternativ oder zusätzlich kann die Transportanordnung 100 ein Lager 122a aufweisen, welches zum Austauschen der Wickelhülsenkupplung 112a durch einen Wartungsbereich 111a hindurch eingerichtet ist (auch als austauschbare Wickelhülsenkupplung 112a bezeichnet). Mit anderen Worten kann die Transportanordnung 200 einen Wartungsbereich 111a aufweisen, durch welchen hindurch die Wickelhülsenkupplung 112a austauschbar ist. The transport arrangement 200 can be set up as the transport arrangement 100 , Alternatively or additionally, the transport arrangement 100 a warehouse 122a having, which for exchanging the winding tube clutch 112a through a maintenance area 111 is set through (also as an exchangeable winding sleeve clutch 112a designated). In other words, the transport arrangement 200 a maintenance area 111 have, through which the winding tube clutch 112a is interchangeable.
Beispielsweise kann das Lager 122a eine Richtung 211 (auch als Austauschrichtung 211 bezeichnet) definieren, entlang derer das Austauschen 211 erfolgt. Beispielsweise kann das Lager 122a zum Freigeben der Wickelhülsenkupplung 112a in die Austauschrichtung 211 eingerichtet sein. For example, the bearing 122a a direction 211 (also as exchange direction 211 define) along which the exchange 211 he follows. For example, the bearing 122a to release the winding tube coupling 112a in the exchange direction 211 be furnished.
Beispielsweise kann sich das Lager 122a sich in die Austauschrichtung 211 öffnen lassen. Mit anderen Worten kann das Lager 122a einen Offen-Zustand aufweisen, in welchem die austauschbare Wickelhülsenkupplung 112a freigegeben ist, und einen Geschlossen-Zustand aufweisen, in dem die austauschbare Wickelhülsenkupplung 112a mittels des Lagers 122a fixiert ist. For example, the bearing can 122a in the exchange direction 211 open. In other words, the bearing 122a have an open state in which the interchangeable core sleeve coupling 112a is released, and in a closed state, in which the interchangeable core sleeve coupling 112a by means of the warehouse 122a is fixed.
Beispielsweise kann das Lager 122a ein Klapplager aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann das Lager 122a eine Halbschalenklemmung (aufweisend zwei Kupplungshalbschalen) aufweisen oder daraus gebildet sein. For example, the bearing 122a have a folding bearing or be formed from it. Alternatively or additionally, the bearing 122a a half-shell clamping (comprising two coupling half-shells) or be formed therefrom.
Mittels der Gelenkanordnung 114 kann die zumindest eine Führungsrolle 122b aus dem Wartungsbereich 111a heraus und in diesen hinein verlagerbar 201 gestützt sein, z.B. verschiebbar 201. Beispielsweise kann die Gelenkanordnung 114 einen eine Verlagerungsstrecke 201s bereitstellen, um welche die zumindest eine Führungsrolle 122b verlagerbar 201 ist. Die Verlagerungsstrecke 201s kann zumindest einen Abschnitt innerhalb des Wartungsbereichs 111a und zumindest einen Abschnitt außerhalb des Wartungsbereichs 111a aufweisen. By means of the joint arrangement 114 that can be at least a guide 122b from the maintenance area 111 out and into this displaced 201 be supported, eg displaceable 201 , For example, the joint arrangement 114 one a relocation route 201s provide at least the one leading role 122b displaced 201 is. The relocation route 201s can at least one section within the maintenance area 111 and at least one section outside the maintenance area 111 exhibit.
Das Verlagern 201 der Führungsrolle 122b mittels der Gelenkanordnung 114 (indem diese betätigt wird) kann z.B. über eine Spannmutter, ein Gewinde oder eine Spannschraube, z.B. entlang einer Führungsschiene, erfolgen. Alternativ oder zusätzlich kann das Verlagern 201 der Führungsrolle 122b mittels der Gelenkanordnung 114 wahlweise von Hand (manuell betätigte Gelenkanordnung 114) oder gesteuert (automatisch betätigte Gelenkanordnung 114) erfolgen, z.B. elektrisch, hydraulisch oder pneumatisch, z.B. mittels eines Hubzylinders. Relocating 201 the leadership role 122b by means of the joint arrangement 114 (by this is actuated) can for example via a clamping nut, a thread or a clamping screw, for example along a guide rail done. Alternatively or additionally, the relocate 201 the leadership role 122b by means of the joint arrangement 114 optionally by hand (manually operated joint arrangement 114 ) or controlled (automatically actuated joint arrangement 114 ), eg electrically, hydraulically or pneumatically, eg by means of a lifting cylinder.
Beispielsweise kann die Gelenkanordnung 114 mehrere Konfigurationen aufweisen, von denen in einer ersten Konfiguration (auch als Betriebskonfiguration bezeichnet) die zumindest eine Führungsrolle 122b innerhalb des Wartungsbereichs 111a angeordnet ist, und in einer zweiten Konfiguration (auch als Wartungskonfiguration bezeichnet) die zumindest eine Führungsrolle 122b außerhalb des Wartungsbereichs 111a angeordnet ist. For example, the joint arrangement 114 have multiple configurations, of which in a first configuration (also referred to as operating configuration) the at least one guide roller 122b within the maintenance area 111 is arranged, and in a second configuration (also referred to as maintenance configuration), the at least one leadership role 122b outside the maintenance area 111 is arranged.
In der Betriebskonfiguration kann das Lager 122a in den Offen-Zustand gebracht sein oder werden. In der Wartungskonfiguration kann das Lager 122a in den Geschlossen-Zustand gebracht sein oder werden. In the operating configuration, the bearing can 122a be or be in the open state. In the maintenance configuration, the bearing can 122a be or be in the closed state.
Ist die Transportanordnung 200 in einer ersten Umwickelkonfiguration 100b, kann die Gelenkanordnung 114 in der Betriebskonfiguration sein. Ist die Transportanordnung 200 in einer Wartungskonfiguration 200b, kann die Gelenkanordnung 114 in der Wartungskonfiguration sein. Is the transport arrangement 200 in a first wrap configuration 100b , can the joint arrangement 114 be in the operating configuration. Is the transport arrangement 200 in a maintenance configuration 200b , can the joint arrangement 114 be in the maintenance configuration.
In der Betriebskonfiguration der Gelenkanordnung 114 kann der gekrümmte Transportpfad 111 zwischen den mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b und durch den Wartungsbereich 111a hindurch verlaufen. In der Wartungskonfiguration der Gelenkanordnung 114 kann der Wartungsbereich 111a anschaulich freigelegt sein, d.h. die Wickelhülsenkupplung 112a kann durch den Wartungsbereich 111a hindurch zugänglich sein. In the operating configuration of the joint assembly 114 can the curved transport path 111 between the several winding tube couplings 112a . 112b and through the maintenance area 111 pass through. In the maintenance configuration of the hinge assembly 114 can the maintenance area 111 be clearly exposed, ie the winding tube coupling 112a can through the maintenance area 111 be accessible through.
Ausgehend von der austauschbaren Wickelhülsenkupplung 112a kann die verlagerbare Führungsrolle 122b in dem ersten Zustand der Gelenkanordnung 114 in der Austauschrichtung 211 angeordnet sein. Starting from the exchangeable core sleeve coupling 112a can be the shifting leadership 122b in the first state of the hinge assembly 114 in the exchange direction 211 be arranged.
Die Austauschrichtung 211 kann quer zur Drehachse 101a der austauschbaren Wickelhülsenkupplung 112a sein. Beispielsweise kann die Austauschrichtung 211 eine horizontale Richtungskomponente und/oder eine vertikale Richtungskomponente aufweisen oder daraus gebildet sein. Beispielsweise kann die Austauschrichtung 211 eine horizontale Richtung oder eine vertikale Richtung sein. The exchange direction 211 can be transverse to the axis of rotation 101 the interchangeable Winding sleeve coupling 112a be. For example, the exchange direction 211 have a horizontal direction component and / or a vertical direction component or be formed from it. For example, the exchange direction 211 be a horizontal direction or a vertical direction.
3A veranschaulicht eine Transportanordnung 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang der Drehachsenrichtung 101). 3A illustrates a transport arrangement 300 According to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view (eg with a view along the rotation axis direction 101 ).
Die Transportanordnung 300 kann z.B. eingerichtet sein wie die Transportanordnung 100 oder die Transportanordnung 200. Alternativ oder zusätzlich können die mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c der Transportanordnung 300 zumindest eine zusätzliche Wickelhülsenkupplung 112c (auch als dritte Wickelhülsenkupplung 112c bezeichnet) aufweisen, zum Ankuppeln einer Wickelhülse, mittels welcher ein zusätzliches Substrat 104 (auch als Zwischenschicht 104 oder Interleaf 104 bezeichnet) umgewickelt werden soll. Das zusätzliche Substrat 104 kann anschaulich eine Wickelhilfe sein, welche auf das oder von der Substrat-Wicklung 102w umgewickelt wird. Das Substrat 102 kann das zu prozessierende Substrat 102 sein. The transport arrangement 300 For example, it can be set up like the transport arrangement 100 or the transport arrangement 200 , Alternatively or additionally, the plurality of winding tube couplings 112a . 112b . 112c the transport arrangement 300 at least one additional winding tube coupling 112c (as the third winding sleeve clutch 112c designated), for coupling a winding tube, by means of which an additional substrate 104 (also as an intermediate layer 104 or interleaf 104 to be wrapped). The additional substrate 104 can illustratively be a winding aid, which on or from the substrate winding 102w is wrapped. The substrate 102 can be the substrate to be processed 102 be.
3B veranschaulicht die Transportanordnung 300 in einer zweiten Umwickelkonfiguration 300b, in der zwei Substrate 102, 104 umgewickelt 111w werden. 3B illustrates the transport arrangement 300 in a second wrapping configuration 300b in which two substrates 102 . 104 rewound 111w become.
Die zweite Umwickelkonfiguration 300b kann eingerichtet sein wie die erste Umwickelkonfiguration 100b. Alternativ oder zusätzlich kann in der zweiten Umwickelkonfiguration 300b die Zwischenschicht 104 mittels der dritten Wickelhülsenkupplung 112c der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c umgewickelt werden, z.B. von der ersten Wickelhülsenkupplung 112a und/oder zu der ersten Wickelhülsenkupplung 112a. Beispielsweise kann die Zwischenschicht 104 mittels der dritten Wickelhülsenkupplung 112c und der verlagerbaren Führungsrolle 122b umgewickelt (auch als umspulen bezeichnet) werden. The second wrapping configuration 300b can be set up like the first wrap configuration 100b , Alternatively or additionally, in the second wrapping configuration 300b the intermediate layer 104 by means of the third winding sleeve clutch 112c the several winding tube clutches 112a . 112b . 112c be wrapped, for example, from the first winding sleeve clutch 112a and / or to the first corrugated sleeve clutch 112a , For example, the intermediate layer 104 by means of the third winding sleeve clutch 112c and the relocatable leadership role 122b wrapped (also known as rewinding).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mittels einer zusätzlichen Wickelhülse die Zwischenschicht 104 umgewickelt, z.B. darauf aufgewickelt oder davon abgewickelt, werden (auch als Zwischenschicht-Wickelhülse bezeichnet). Eine zusätzliche Wickelhülsenkupplung 112c der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c kann dafür vorgesehen sein, die optionale Zwischenschicht 104 umzuwickeln, d.h. aus einer Substrat-Wicklung 102w heraus zu wickeln und/oder in eine Substrat-Wicklung 102w hinein zu wickeln. Die Zwischenschicht 104 kann beispielsweise zu einer Zwischenschicht-Wicklung 104w aufgewickelt und/oder von dieser abgewickelt werden. Alternativ kann die Zwischenschicht 104 zwischen den zwei Substrat-Wickelungen 102w umgewickelt werden. According to various embodiments, by means of an additional winding tube, the intermediate layer 104 wrapped, eg wound on or unwound from, are (also referred to as intermediate layer winding tube). An additional winding sleeve coupling 112c the several winding tube clutches 112a . 112b . 112c may be provided, the optional intermediate layer 104 Umwickeln, ie from a substrate winding 102w out and / or into a substrate winding 102w to wrap in it. The intermediate layer 104 may for example be an interlayer winding 104w wound up and / or handled by this. Alternatively, the intermediate layer 104 between the two substrate windings 102w be wrapped.
Die Zwischenschicht 104 kann zwischen einzelnen Lagen einer Wicklung 102w des Substrats 102 (auch als Substrat-Wicklung 102w bezeichnet) angeordnet sein oder werden. Mit anderen Worten können das Substrat 102 und die Zwischenschicht 104 ineinander gewickelt sein oder werden. Mittels der Zwischenschicht 104 kann ein körperlicher Kontakt einzelner Lagen der Substrat-Wicklung 102w verhindert werden, was das Substrat 102 und/oder dessen Beschichtung schont. The intermediate layer 104 can be between individual layers of a winding 102w of the substrate 102 (also as a substrate winding 102w to be arranged). In other words, the substrate can 102 and the intermediate layer 104 be wrapped or become one another. By means of the intermediate layer 104 may be a physical contact of individual layers of the substrate winding 102w prevents what the substrate 102 and / or protects its coating.
4A veranschaulicht eine Transportanordnung 400a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht (mit Blickrichtung quer zur Drehachse 101a). 4A illustrates a transport arrangement 400a according to various embodiments in a schematic detail view (with a view transverse to the axis of rotation 101 ).
Die Transportanordnung 400a kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 300. The transport arrangement 400a For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 300 ,
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine oder jede Wickelhülse 502, z.B. eine Substrat-Wickelhülse 502 und/oder eine Zwischenschicht-Wickelhülse 502 auf eine Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c aufgesteckt 501 sein oder werden. Das Aufstecken kann entlang der Drehachse 101a erfolgen. Die Wickelhülse 502 kann einen Innendurchmesser 502w aufweisen, der gleich oder größer ist als ein Außendurchmesser 112r der Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c. According to various embodiments, one or each winding tube 502 , For example, a substrate winding tube 502 and / or an interlayer winding tube 502 on a winding tube coupling 112a . 112b . 112c plugged 501 be or become. The plugging can be done along the axis of rotation 101 respectively. The winding tube 502 can have an inside diameter 502w which is equal to or larger than an outer diameter 112r the winding sleeve clutch 112a . 112b . 112c ,
4B veranschaulicht eine Transportanordnung 400b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht (mit Blickrichtung quer zur Drehachse 101a). 4B illustrates a transport arrangement 400b according to various embodiments in a schematic detail view (with a view transverse to the axis of rotation 101 ).
Die Transportanordnung 400b kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 400a. The transport arrangement 400b For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 400a ,
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zumindest eine oder jede Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c eine Spannvorrichtung 504 zum Einspannen der jeweiligen Wickelhülse 502 aufweisen. Die Spannvorrichtung 504 kann zumindest einen Spanndorn (z.B. einen Hülsenspanndorn und/oder einen Segmentspanndorn) und/oder zumindest einen Spreizdorn aufweisen oder daraus gebildet sein. Mittels der Spannvorrichtung 504 kann der Außendurchmesser 112r bzw. Außenumfang der Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c verstellbar sein. According to various embodiments, the at least one or each winding sleeve coupling of the plurality of winding tube couplings 112a . 112b . 112c a tensioning device 504 for clamping the respective winding tube 502 exhibit. The tensioning device 504 may comprise at least one mandrel (eg a sleeve mandrel and / or a segment clamping mandrel) and / or at least one expanding mandrel or be formed therefrom. By means of the tensioning device 504 can the outer diameter 112r or outer circumference of the winding tube coupling 112a . 112b . 112c be adjustable.
Beispielsweise kann die Spannvorrichtung 504 in einem gespannten Zustand gegen eine aufgesteckte Wickelhülse 502 pressen (auch als Einspannen der Wickelhülse 502 bezeichnet). For example, the tensioning device 504 in a tense state against a attached winding tube 502 Press (also as clamping of the winding tube 502 designated).
Die Spannvorrichtung 504 kann eingerichtet sein, eine Drehbewegung und/oder Drehmomentmoment auf oder von eine(r) eingespannte(n) Wickelhülse 502 weiterzuleiten. The tensioning device 504 may be arranged, a rotational movement and / or torque on or from a (s) clamped (s) winding tube 502 forward.
Das Einspannen mittels der Spannvorrichtung 504 (indem diese betätigt wird) kann wahlweise von Hand (manuell betätigte Spannvorrichtung 504) oder gesteuert (automatische Spannvorrichtung 504) erfolgen, z.B. hydraulisch oder pneumatisch, z.B. mittels eines Spannzylinders. Alternativ oder zusätzlich kann das Einspannen mittels der Spannvorrichtung 504 mittels eines z.B. über eine Spannmutter oder Spannschraube erfolgen. Optional kann die Spannvorrichtung 504 über eine zylindrische oder keglige Aufnahme zentriert sein oder werden. The clamping by means of the clamping device 504 (by being operated) can optionally by hand (manually operated clamping device 504 ) or controlled (automatic tensioning device 504 ), eg hydraulically or pneumatically, eg by means of a clamping cylinder. Alternatively or additionally, the clamping by means of the clamping device 504 done by means of a example via a clamping nut or clamping screw. Optionally, the tensioning device 504 be centered or be centered over a cylindrical or conical receptacle.
Die Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c kann eine drehbar gelagerte Welle 112w (z.B. eine Maschinenspindel 112w) aufweisen, mittels derer die Spannvorrichtung 504 gelagert ist. Die drehbar gelagerte Welle 112w kann den minimalen Außendurchmesser 112r der Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c definieren. Der Stellbereich der Spannvorrichtung 504 kann den maximalen Außendurchmesser 112r der Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c definieren. The winding tube coupling 112a . 112b . 112c can be a rotatably mounted shaft 112w (eg a machine spindle 112w ), by means of which the tensioning device 504 is stored. The rotatably mounted shaft 112w can be the minimum outer diameter 112r the winding sleeve clutch 112a . 112b . 112c define. The adjustment range of the clamping device 504 can the maximum outside diameter 112r the winding sleeve clutch 112a . 112b . 112c define.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Außendurchmesser 112r der Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c in einem Bereich von ungefähr 30 mm bis ungefähr 150 mm liegen, z.B. ungefähr 100 mm betragen. Beispielsweise kann der Spannbereich der Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c in einem Bereich von ungefähr 30 mm bis ungefähr 150 mm liegen. According to various embodiments, the outer diameter 112r the winding sleeve clutch 112a . 112b . 112c are in a range of about 30 mm to about 150 mm, for example about 100 mm. For example, the clamping range of the winding tube coupling 112a . 112b . 112c in a range of about 30 mm to about 150 mm.
4C veranschaulicht eine Transportanordnung 400c gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht (mit Blickrichtung quer zur Drehachse 101a). 4C illustrates a transport arrangement 400c according to various embodiments in a schematic detail view (with a view transverse to the axis of rotation 101 ).
Die Transportanordnung 400b kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 400b. Alternativ oder zusätzlich kann die Transportanordnung 400c mehrere Antriebe 506 (auch als Wickelantriebe 506 bezeichnet) aufweisen, von denen jeder Antrieb mit genau einer Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c gekuppelt ist. Der oder jeder Antrieb der mehreren Antriebe 506 kann zum Erzeugen einer Drehbewegung und/oder eines Drehmoments eingerichtet sein, welches auf die jeweilige Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c übertragen wird. Der oder jeder Antrieb der mehreren Antriebe 506 kann einen elektrischen Antrieb 506 aufweisen oder daraus gebildet sein. The transport arrangement 400b For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 400b , Alternatively or additionally, the transport arrangement 400c several drives 506 (also as winding drives 506 have), each of which drive with exactly one winding tube coupling of the plurality of winding tube clutches 112a . 112b . 112c is coupled. The or each drive of the multiple drives 506 may be arranged for generating a rotational movement and / or a torque, which on the respective winding tube coupling of the plurality of winding tube clutches 112a . 112b . 112c is transmitted. The or each drive of the multiple drives 506 can be an electric drive 506 have or be formed from it.
Der oder jeder Antrieb der mehreren Antriebe 506 kann Teil eines Wicklers (z.B. Substrat-Wicklers) sein. The or each drive of the multiple drives 506 may be part of a winder (eg substrate winder).
Der oder jeder Antrieb der mehreren Antriebe 506 kann mittels einer Steuerung 508 gesteuert oder geregelt werden, z.B. mittels eines von der Steuerung 508 erzeugten Steuersignals. Das Steuersignal kann beispielsweise ein Drehverhalten des oder jedes Antriebs der mehreren Antriebe 506 repräsentieren, z.B. eine Drehrichtung, eine Drehzahl und/oder ein erzeugtes Drehmoment. Der oder jeder Antrieb der mehreren Antriebe 506 kann optional zum bidirektionalen Betrieb eingerichtet sein, z.B. indem das Steuersignal invertiert wird. Damit kann eine größere Flexibilität erreicht werden. The or each drive of the multiple drives 506 can by means of a controller 508 be controlled or regulated, for example by means of one of the controller 508 generated control signal. The control signal may, for example, a rotational behavior of the or each drive of the plurality of drives 506 represent, for example, a direction of rotation, a speed and / or a generated torque. The or each drive of the multiple drives 506 can optionally be set up for bidirectional operation, eg by inverting the control signal. This allows greater flexibility to be achieved.
Optional kann die Steuerung 508 zum Ansteuern jedes Antriebs der mehreren Antriebe 506 gemäß einer Umwickelkonfiguration 100b, 300b eingerichtet sein, in welcher sich die Transportanordnung 400c befindet. Die Umwickelkonfiguration 100b, 300b kann eine Aufwickel-Konfiguration und/oder eine Abwickel-Konfiguration aufweisen. Optionally, the controller 508 for driving each drive of the plurality of drives 506 according to a wrapping configuration 100b . 300b be set up in which the transport arrangement 400c located. The wrapping configuration 100b . 300b may have a rewind configuration and / or an unwind configuration.
Die Abwickel-Konfiguration kann zumindest einen Parameter aufweisen, welcher zum Antreiben derjenigen Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c (bzw. des mit dieser gekuppelten Antriebs 506) verwendet wird, mittels der das Substrat 102 abgewickelt wird. Optional kann die Abwickel-Konfiguration zumindest einen zusätzlichen Parameter aufweisen, welcher zum Antreiben derjenigen Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c (bzw. des mit dieser gekuppelten Antriebs 506) verwendet wird, auf welche die erste Zwischenschicht 104 aufgewickelt wird. The unwind configuration may have at least one parameter which is used to drive the coiled-tube clutch 112a . 112b . 112c (or the coupled with this drive 506 ) is used, by means of which the substrate 102 is handled. Optionally, the unwind configuration may have at least one additional parameter which is used to drive that coiled-tube clutch 112a . 112b . 112c (or the coupled with this drive 506 ) is used, to which the first intermediate layer 104 is wound up.
Die Aufwickel-Konfiguration kann zumindest einen Parameter aufweisen, welcher zum Antreiben derjenigen Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c (bzw. des mit dieser gekuppelten Antriebs 506) verwendet wird, mittels der das Substrat 102 aufgewickelt wird. Optional kann die Aufwickel-Konfiguration zumindest einen zusätzlichen Parameter aufweisen, welcher zum Antreiben derjenigen Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c (bzw. des mit dieser gekuppelten Antriebs 506) verwendet wird, von der eine zweite Zwischenschicht 104 abgewickelt wird. The take-up configuration can have at least one parameter which is used to drive the winding tube coupling 112a . 112b . 112c (or the coupled with this drive 506 ) is used, by means of which the substrate 102 is wound up. Optionally, the take-up configuration may have at least one additional parameter which is used to drive the winding tube coupling 112a . 112b . 112c (or the coupled with this drive 506 ), of which a second intermediate layer is used 104 is handled.
Der zumindest eine Parameter kann das Drehverhalten der entsprechenden Wickelhülsenkupplung 112a beim Abwickeln bzw. Aufwickeln des Substrats 102 repräsentieren, z.B. das Drehmoment, die Drehzahl, die Drehrichtung und/oder deren Zeitabhängigkeit. Der zumindest eine zusätzliche Parameter kann das Drehverhalten der entsprechenden Wickelhülsenkupplung 112a beim Abwickeln bzw. Aufwickeln der Zwischenschicht 104 repräsentieren, z.B. das Drehmoment, die Drehzahl, die Drehrichtung und/oder deren Zeitabhängigkeit. Gemäß dem zumindest einen Parameter und/oder dem zumindest einem zusätzlichen Parameter kann die Steuerung 508 das Steuersignal bereitstellen, beispielsweise die in den oder jeden Antrieb der mehreren Antriebe 506 eingekoppelte elektrische Leistung. The at least one parameter can be the rotational behavior of the corresponding winding sleeve clutch 112a when unwinding or winding up the substrate 102 represent, for example, the torque, the speed, the direction of rotation and / or their time dependence. The at least one additional parameter can be the rotational behavior of the corresponding winding sleeve coupling 112a when unwinding or Winding up the intermediate layer 104 represent, for example, the torque, the speed, the direction of rotation and / or their time dependence. According to the at least one parameter and / or the at least one additional parameter, the controller 508 provide the control signal, such as that in the or each drive of the multiple drives 506 coupled-in electrical power.
Optional kann die Steuerung 508 eingerichtet sein, ein Drehverhalten (z.B. eine Drehzahl) einer oder jeder Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c an eine Größe anzupassen, welche eine Transportcharakteristik des Substrats 102 repräsentiert. Die Transportcharakteristik kann einen Transportfortschritt und/oder eine dadurch bewirkte mechanische Zugspannung in dem Substrat 102 aufweisen, z.B. deren Zeitabhängigkeit. Der Transportfortschritt kann eine Transportgeschwindigkeit und/oder einen bereits zurückgelegten Transportweg aufweisen. Optionally, the controller 508 be set, a rotational behavior (eg, a speed) of one or each winding sleeve clutch 112a . 112b . 112c to a size which is a transport characteristic of the substrate 102 represents. The transport characteristic may be a transport progress and / or a mechanical tension caused thereby in the substrate 102 have, for example, their time dependence. The transport progress may have a transport speed and / or an already traveled transport path.
Beispielsweise kann beim Abwickeln des Substrats 102 der Durchmesser der Substrat-Wicklung 102w abnehmen, was durch ein schnelleres Drehen der entsprechenden Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c ausgeglichen werden kann. Alternativ oder zusätzlich kann eine mechanische Zugspannung in dem Substrat 102 erzeugt und/oder aufrecht erhalten werden, um z.B. zu verhindern, dass das Substrat 102 anschaulich durchhängt oder sich wellt. Alternativ oder zusätzlich kann eine mechanische Zugspannung in dem Substrat 102 erzeugt und/oder aufrecht erhalten sein oder werden, welche kleiner ist als ein vorgegebener Schwellwert, welcher anschaulich die mechanische Belastung repräsentiert, bei dem ein Substratbruch droht. For example, when unwinding the substrate 102 the diameter of the substrate winding 102w decrease, which by a faster turning of the corresponding winding sleeve clutch 112a . 112b . 112c can be compensated. Alternatively or additionally, a mechanical tensile stress in the substrate 102 generated and / or maintained, for example, to prevent the substrate 102 vividly sagging or curling. Alternatively or additionally, a mechanical tensile stress in the substrate 102 be generated and / or maintained, which is smaller than a predetermined threshold value, which clearly represents the mechanical stress at which a substrate fracture threatens.
5A veranschaulicht eine Transportanordnung 500a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang der Drehachsenrichtung 101 der Transportanordnung 500a). 5A illustrates a transport arrangement 500a According to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view (eg with a view along the rotation axis direction 101 the transport arrangement 500a ).
Die Transportanordnung 500a kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 400c. Alternativ oder zusätzlich kann der Transportpfad 111 der Transportanordnung 500a in dem Prozessierbereich 111b (d.h. dessen Abschnitt 111k) eine konstante Krümmung aufweisen, z.B. entlang einer Länge von mehr als dem Viertel (z.B. mehr als der Hälfte, z.B. mehr als dem Dreiviertel) des Umfangs der zumindest einen stationären Führungsrolle 122 mittels welcher der Transportpfad 111 gekrümmt wird. Entlang des konstante gekrümmten Abschnitts 111k (Transportpfadabschnitt 111k) kann das Substrat 102 auf der zumindest einen stationären Führungsrolle 122. Die zumindest eine stationäre Führungsrolle 122 kann eine Prozessierrolle 122p sein, d.h. eine aktive (z.B. angetriebene und/oder temperierte) stationäre Führungsrolle 122. The transport arrangement 500a For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 400c , Alternatively or additionally, the transport path 111 the transport arrangement 500a in the processing area 111b (ie its section 111k ) have a constant curvature, eg along a length of more than a quarter (eg more than half, eg more than three quarters) of the circumference of the at least one stationary guide roller 122 by means of which the transport path 111 is curved. Along the constant curved section 111k (Transport path portion 111k ) may be the substrate 102 on the at least one stationary leadership role 122 , The at least one stationary leadership role 122 can be a processing role 122p be, ie an active (eg driven and / or tempered) stationary leadership role 122 ,
Beispielsweise kann die Prozessierrolle 122p einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 0,5 m (Meter) bis ungefähr 1 m aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 0,7 m bis ungefähr 0,8 m. For example, the processing role 122p have a diameter in a range of about 0.5 m (meter) to about 1 m, for example in a range of about 0.7 m to about 0.8 m.
Der Prozessierbereich 111b kann auf einer dem Wartungsbereich 111a gegenüberliegenden Seite der austauschbaren Wickelhülsenkupplung 112a angeordnet sein. The processing area 111b can on a the maintenance area 111 opposite side of the exchangeable core sleeve coupling 112a be arranged.
5B veranschaulicht eine Transportanordnung 500b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang der Drehachsenrichtung 101 der Transportanordnung 500b). 5B illustrates a transport arrangement 500b According to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view (eg with a view along the rotation axis direction 101 the transport arrangement 500b ).
Die Transportanordnung 500b kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 400c. Alternativ oder zusätzlich kann der Transportpfad 111 der Transportanordnung 500b in dem Prozessierbereich 111b (d.h. dessen Abschnitt 111g) geradlinig verlaufen entlang einer Länge von mehr als der Hälfte (z.B. mehr als dem Dreiviertel) des Umfangs der zumindest einen stationären Führungsrolle 122. Beispielsweise kann die zumindest eine stationäre Führungsrolle 122 zwei passive Führungsrollen 122 aufweisen, zwischen denen der Transportpfad 111 (d.h. dessen Abschnitt 111g) geradlinig verläuft. Entlang des geradlinig verlaufenden Abschnitts 111g (Transportpfadabschnitt 111g) kann das Substrat 102 berührungsfrei transportiert sein oder werden (z.B. freihängend, auch als Free-Span Konfiguration bezeichnet). The transport arrangement 500b For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 400c , Alternatively or additionally, the transport path 111 the transport arrangement 500b in the processing area 111b (ie its section 111g ) extend in a straight line along a length of more than half (eg more than three quarters) of the circumference of the at least one stationary guide roller 122 , For example, the at least one stationary leadership role 122 two passive guide rollers 122 between which the transport path 111 (ie its section 111g ) runs straight. Along the straight-line section 111g (Transport path portion 111g ) may be the substrate 102 be transported without contact or (eg free-hanging, also referred to as Free-Span configuration).
Jede der zwei passiven Führungsrollen 122 kann einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 50 mm bis ungefähr 0,3 m aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 80 mm bis ungefähr 0,2 m. Each of the two passive leadership roles 122 may have a diameter in a range of about 50 mm to about 0.3 m, for example in a range of about 80 mm to about 0.2 m.
Der Prozessierbereich 111b kann auf einer dem Wartungsbereich 111a gegenüberliegenden Seite der austauschbaren Wickelhülsenkupplung 112a angeordnet sein. The processing area 111b can on a the maintenance area 111 opposite side of the exchangeable core sleeve coupling 112a be arranged.
6A und 6B veranschaulichen jeweils eine Prozessieranordnung 600a, 600b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang einer Drehachsenrichtung 101). 6A and 6B each illustrate a processing arrangement 600a . 600b According to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view (eg, viewed along a rotation axis direction 101 ).
Das Prozessieren (z.B. Beschichten) des Substrats 102 kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem Vakuum erfolgen, z.B. in einer Prozessieranordnung 600a, 600b. The processing (eg coating) of the substrate 102 can be done in a vacuum according to various embodiments, for example in a processing arrangement 600a . 600b ,
Beispielsweise kann das Prozessieren (auch als Behandeln bezeichnet) eines Substrats 102 (z.B. Bandsubstrats 102) mindestens eines von Folgendem aufweisen: Reinigen des Substrats 102, Beschichten des Substrats 102, Bestrahlen (z.B. mittels Licht, kohärentes Licht, UV-Licht, Teilchen, Elektronen, Ionen, usw.) des Substrats 102, Modifizieren der Oberfläche des Substrats 102, Erwärmen des Substrats 102, Ätzen des Substrats 102 und Glimmen des Substrats 102. For example, processing (also referred to as treating) of a substrate 102 (eg tape substrate 102 ) at least one of: cleaning the substrate 102 , Coating the substrate 102 , Irradiation (eg by means of light, coherent light, UV light, particles, electrons, ions, etc.) of the substrate 102 , Modifying the surface of the substrate 102 , Heating the substrate 102 , Etching the substrate 102 and glow of the substrate 102 ,
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung 600a, 600b ein Vakuumkammergehäuse 802 aufweisen, in welcher ein Vakuum erzeugt und/oder erhalten werden kann. Das Vakuumkammergehäuse 802 kann dazu beispielsweise luftdicht, staubdicht und/oder vakuumdicht eingerichtet sein oder werden. Das Vakuumkammergehäuse 802 kann eine oder mehrere Vakuumkammern aufweisen. Die oder jede Vakuumkammer kann einen oder mehrere Vakuumbereiche 306b, 308b bereitstellen. Die mehreren Vakuumkammern und/oder die mehreren Vakuumbereiche 306b, 308b des Vakuumkammergehäuses 802 können optional zumindest teilweise gassepariert voneinander sein. According to various embodiments, the processing arrangement 600a . 600b a vacuum chamber housing 802 in which a vacuum can be generated and / or obtained. The vacuum chamber housing 802 can be, for example, airtight, dustproof and / or vacuum-tight set up or become. The vacuum chamber housing 802 may have one or more vacuum chambers. The or each vacuum chamber may have one or more vacuum areas 306b . 308b provide. The multiple vacuum chambers and / or the multiple vacuum areas 306b . 308b of the vacuum chamber housing 802 may optionally be at least partially gas-separated from each other.
Ferner kann das Vakuumkammergehäuse 802 mit einem Pumpensystem 804 (aufweisend zumindest eine Grobvakuumpumpe und optional zumindest eine Hochvakuumpumpe) gekoppelt sein. Das Pumpensystem 804 kann eingerichtet sein, dem Vakuumkammergehäuse 802 ein Gas (z.B. das Prozessgas) zu entziehen, so dass innerhalb des Vakuumkammergehäuses 802 ein Vakuum (d.h. ein Druck kleiner als 0,3 bar) und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10–3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10–3 mbar bis ungefähr 10–7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10–7 mbar (mit anderen Worten Ultrahochvakuum) bereitgestellt sein oder werden kann. Furthermore, the vacuum chamber housing 802 with a pump system 804 (comprising at least one rough-action vacuum pump and optionally at least one high-vacuum pump). The pump system 804 can be set up, the vacuum chamber housing 802 to withdraw a gas (eg the process gas), so that within the vacuum chamber housing 802 a vacuum (ie, a pressure less than 0.3 bar) and / or a pressure in a range of about 1 mbar to about 10 -3 mbar (in other words, a fine vacuum) and / or a pressure in a range of about 10 -3 mbar to about 10 -7 mbar (in other words high vacuum) or a pressure of less than high vacuum, for example, less than about 10 -7 mbar (in other words ultrahigh vacuum) can be provided.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung 600a, 600b eine Gaszuführung 1716 aufweisen. Mittels der Gaszuführung 1716 kann dem Vakuumkammergehäuse 802 ein Prozessgas zugeführt werden zum Bilden einer Prozessatmosphäre in dem Vakuumkammergehäuse 802. Das Prozessgas kann z.B. ein Inertgas aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann das Prozessgas ein Reaktivgas aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. Sauerstoff, Stickstoff, Wasserstoff, Argon und/oder Kohlenstoff. Der Prozessdruck kann sich aus einem Gleichgewicht an Prozessgas bilden, welches mittels der Gaszuführung 1716 zugeführt und mittels des Pumpensystems 804 entzogen wird. According to various embodiments, the processing arrangement 600a . 600b a gas supply 1716 exhibit. By means of the gas supply 1716 can the vacuum chamber housing 802 a process gas is supplied to form a process atmosphere in the vacuum chamber housing 802 , The process gas may include, for example, an inert gas or be formed therefrom. Alternatively or additionally, the process gas may comprise or be formed from a reactive gas, for example oxygen, nitrogen, hydrogen, argon and / or carbon. The process pressure can be formed from a balance of process gas, which by means of the gas supply 1716 supplied and by means of the pump system 804 is withdrawn.
Ferner kann das Vakuumkammergehäuse 802 derart eingerichtet sein, dass die Vakuumbedingungen (die Prozessbedingungen) innerhalb des Vakuumkammergehäuses 802 (z.B. Prozessdruck, Prozesstemperatur, chemische Prozessgaszusammensetzung, usw.) gestellt oder geregelt werden können (z.B. lokal), z.B. mittels einer Steuerung 508. Beispielsweise können mittels des Vakuumkammergehäuses 802 mehrere Vakuumbereiche 306b, 308b mit voneinander verschiedenen Vakuumbedingungen bereitgestellt sein oder werden. Beispielsweise kann die Steuerung 508 zum Steuern und/oder Regeln der Gaszuführung 1716 und/oder des Pumpensystems 804 eingerichtet sein, so dass ein Prozessdruck und/oder eine Prozessgaszusammensetzung gesteuert und/oder geregelt werden kann. Beispielsweise kann die Steuerung 508 zum Steuern und/oder Regeln eines Normvolumenstroms an Prozessgas eingerichtet sein, welche mittels der Gaszuführung 1716 zugeführt und/oder mittels des Pumpensystems 804 entzogen wird. Furthermore, the vacuum chamber housing 802 be set up so that the vacuum conditions (the process conditions) within the vacuum chamber housing 802 (Eg process pressure, process temperature, chemical process gas composition, etc.) can be made or regulated (eg locally), eg by means of a controller 508 , For example, by means of the vacuum chamber housing 802 several vacuum areas 306b . 308b be provided with mutually different vacuum conditions. For example, the controller 508 for controlling and / or regulating the gas supply 1716 and / or the pump system 804 be set so that a process pressure and / or a process gas composition can be controlled and / or regulated. For example, the controller 508 be arranged for controlling and / or regulating a standard volume flow of process gas, which by means of the gas supply 1716 supplied and / or by means of the pump system 804 is withdrawn.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Steuerung 508 zum Steuern und/oder Regeln einer optionalen Substrat-Temperiervorrichtung 1124 (z.B. aufweisend eine Heizvorrichtung und/oder ein Kühlvorrichtung) eingerichtet sein, so dass eine Prozesstemperatur (z.B. des Substrat 102 und/oder des Prozessgases), beispielsweise während des Prozessierens (z.B. während des Beschichtens), gesteuert und/oder geregelt werden kann. Beispielsweise kann die Steuerung 508 eingerichtet sein zum Steuern und/oder Regeln einer thermischen Leistung, welche mittels der Substrat-Temperiervorrichtung 1124 zugeführt und/oder mittels dieser entzogen wird. According to various embodiments, the controller may 508 for controlling and / or regulating an optional substrate temperature control device 1124 (eg comprising a heating device and / or a cooling device), so that a process temperature (eg of the substrate 102 and / or the process gas), for example during processing (eg during coating), can be controlled and / or regulated. For example, the controller 508 be set up to control and / or regulating a thermal power, which by means of the substrate temperature control device 1124 supplied and / or withdrawn by means of this.
Optional kann die Vakuumanordnung 600a, 600b eine Versorgungsvorrichtung zum Versorgen der Temperiervorrichtung 1124 aufweisen, z.B. zum Versorgen mit einem temperierten Fluid oder mit elektrischer Energie. Beispielsweise kann die Versorgungsvorrichtung außerhalb der Prozessierkammer 802 angeordnet sein. Beispielsweise kann ein Heiz- oder ein Kühlmedium zu der Temperiervorrichtung 1124 (z.B. der Prozessierrolle 122p) zu- und von dieser wieder abgeführt werden. Optionally, the vacuum arrangement 600a . 600b a supply device for supplying the tempering device 1124 have, for example, to supply with a tempered fluid or electrical energy. For example, the supply device outside the processing chamber 802 be arranged. For example, a heating or a cooling medium to the temperature control 1124 (eg the processing role 122p ) and removed from this again.
In dem Vakuumkammergehäuse 802 (z.B. in einer erste Vakuumkammer) kann zumindest ein Vakuumbereich 306b, z.B. ein erster Vakuumbereich 306b, angeordnet sein. Ferner kann in dem Vakuumkammergehäuse 802 (z.B. in der ersten Vakuumkammer) eine erste Prozessierquelle 306, z.B. eine Beschichtungsmaterialquelle 306, angeordnet sein. Die Beschichtungsmaterialquelle 306 kann zum Emittieren eines gasförmigen Beschichtungsmaterials in den ersten Vakuumbereich 306b hinein eingerichtet sein. Mit dem Beschichtungsmaterial kann das Substrat 102 beschichtet sein oder werden. Mit anderen Worten kann das Beschichten des Substrats 102 in einem Vakuum erfolgen. Der erste Vakuumbereich 306b kann ein Beschichtungsbereich 306b sein. In the vacuum chamber housing 802 (eg in a first vacuum chamber) can be at least one vacuum region 306b , eg a first vacuum area 306b be arranged. Further, in the vacuum chamber housing 802 (eg in the first vacuum chamber) a first processing source 306 , eg a source of coating material 306 be arranged. The coating material source 306 can be used to emit a gaseous coating material in the first vacuum area 306b be set up in it. With the coating material, the substrate 102 be coated or be. With In other words, the coating of the substrate 102 done in a vacuum. The first vacuum area 306b can be a coating area 306b be.
In dem Vakuumkammergehäuse 802 (z.B. in einer zweiten Vakuumkammer oder in der ersten Vakuumkammer) kann zumindest ein zweiter Vakuumbereich 308b angeordnet sein. Ferner kann in dem Vakuumkammergehäuse 802 (z.B. in der zweiten Vakuumkammer) eine zweite Prozessierquelle 308, z.B. eine Belichtungsvorrichtung 308, angeordnet sein. Die zweite Prozessierquelle 308 kann zum Bearbeiten des Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, mit dem das Substrat 102 beschichtet ist oder wird, z.B. mittels Licht. Beispielsweise kann die Prozessierquelle 308 zum Strukturieren oder chemischen Umwandeln des Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, mit dem das Substrat 102 beschichtet ist oder wird. Der zweite Vakuumbereich 308b kann ein Bearbeitungsbereich 308b sein. In the vacuum chamber housing 802 (For example, in a second vacuum chamber or in the first vacuum chamber), at least a second vacuum region 308b be arranged. Further, in the vacuum chamber housing 802 (eg in the second vacuum chamber) a second processing source 308 , eg an exposure device 308 be arranged. The second processing source 308 may be arranged to process the coating material with which the substrate 102 is coated or is, for example by means of light. For example, the processing source 308 be configured for structuring or chemical conversion of the coating material with which the substrate 102 is or will be coated. The second vacuum area 308b can be a editing area 308b be.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Vakuumkammergehäuse 802 eine Kammeröffnung zum Freilegen des Inneren des Vakuumkammergehäuses 802 aufweisen. Die Kammeröffnung kann das Innere des Vakuumkammergehäuses 802 beispielsweise in Drehachsenrichtung 101 freilegen. Zum Verschließen der Kammeröffnung kann das Vakuumkammergehäuse 802 einen Kammerdeckel aufweisen. According to various embodiments, the vacuum chamber housing 802 a chamber opening for exposing the interior of the vacuum chamber housing 802 exhibit. The chamber opening may be the interior of the vacuum chamber housing 802 for example in the direction of rotation 101 uncover. For closing the chamber opening, the vacuum chamber housing 802 have a chamber lid.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Steuerung 508 zum Steuern und/oder Regeln der ersten Prozessierquelle 306 und/oder der zweiten zweite Prozessierquelle 308 eingerichtet sein, z.B. indem diese eine Materialmenge und/oder thermische Energie (z.B. Strahlungsenergie) steuert und/oder regeln welche pro Zeit in Richtung 105 des Substrats 102 emittiert wird. According to various embodiments, the controller may 508 for controlling and / or regulating the first processing source 306 and / or the second second processing source 308 be set up, for example by controlling a quantity of material and / or thermal energy (eg radiation energy) and / or regulate which per time in the direction 105 of the substrate 102 is emitted.
Die Prozessieranordnung 600a kann eine Transportanordnung aufweisen, welche eingerichtet ist, wie eine der Transportanordnungen 100 bis 400c oder die Transportanordnung 500b. The processing arrangement 600a may comprise a transport arrangement which is arranged as one of the transport arrangements 100 to 400c or the transport arrangement 500b ,
Die Prozessieranordnung 600b kann eine Transportanordnung aufweisen, welche eingerichtet ist, wie eine der Transportanordnungen 100 bis 400c oder die Transportanordnung 500a. The processing arrangement 600b may comprise a transport arrangement which is arranged as one of the transport arrangements 100 to 400c or the transport arrangement 500a ,
Beispielsweise kann die Prozessieranordnung 600a, 600b eine Wickelhülsenkupplung 112a, 112c zum Abwickeln eines Substrat 102 aufweisen (auch als Abwickelwalze bezeichnet), so dass das Substrat 102 in den zumindest einen Vakuumbereich 306b, 308b hineingebracht wird. Ferner kann die Prozessieranordnung 600a, 600b eine Wickelhülsenkupplung 112b zum Aufwickeln des Substrat 102 aufweisen (auch als Aufwickelwalze 112b bezeichnet), welches aus dem zumindest einen Vakuumbereich 306b, 308b herausgebracht wird. Mit anderen Worten kann das Substrat 102 von Rolle-zu-Rolle prozessiert werden. For example, the processing arrangement 600a . 600b a winding tube coupling 112a . 112c for unwinding a substrate 102 (also referred to as unwinding roller), so that the substrate 102 in the at least one vacuum area 306b . 308b is brought in. Furthermore, the processing arrangement 600a . 600b a winding tube coupling 112b for winding up the substrate 102 have (also as a take-up roller 112b designated), which from the at least one vacuum region 306b . 308b is brought out. In other words, the substrate 102 be processed by roll-to-roll.
Ferner kann die Prozessieranordnung 600a, 600b mehrere Führungsrollen 122, 122b aufweisen, welche einen Transportpfad 111 definieren, entlang dessen das Substrat 102 (z.B. ein bandförmiges Substrat 102) zwischen der Abwickelwalze 112a, 112c und der Aufwickelwalze 112b durch den zumindest einen Vakuumbereich 306b, 308b hindurch transportiert wird, z.B. in eine Transportrichtung 111w (welche senkrecht zu der Drehachsenrichtung 101 sein kann). Furthermore, the processing arrangement 600a . 600b several guide rollers 122 . 122b which have a transport path 111 along which the substrate is defined 102 (For example, a band-shaped substrate 102 ) between the unwinding roll 112a . 112c and the take-up roller 112b through the at least one vacuum area 306b . 308b is transported through, for example in a transport direction 111w (Which perpendicular to the rotation axis direction 101 can be).
Die Prozessieranordnung 600a kann zumindest zwei Führungsrollen 122 aufweisen, zwischen denen ein geradlinig verlaufender Abschnitt 111g des Transportpfads 111 aufgespannt wird. Der geradlinig verlaufende Abschnitt 111g des Transportpfads 111 kann in dem zumindest einen Vakuumbereich 306b, 308b angeordnet sein, in dem das Substrat 102 prozessiert wird. Der zumindest eine Vakuumbereich 306b, 308b kann innerhalb des Prozessierbereich 111b angeordnet sein oder werden. The processing arrangement 600a can have at least two guide rollers 122 between which a rectilinear section 111g the transport path 111 is spanned. The rectilinear section 111g the transport path 111 can in the at least one vacuum area 306b . 308b be arranged, in which the substrate 102 is processed. The at least one vacuum area 306b . 308b can be within the processing area 111b be arranged or become.
Die Prozessieranordnung 600b kann genau eine Führungsrolle 122p aufweisen, welche die Temperiervorrichtung 1124 aufweist, d.h. welche als Prozessierrolle 122p eingerichtet ist, mittels der das Substrat 102 temperiert, z.B. erwärmt und/oder gekühlt, werden kann. Mittels der Prozessierrolle 122p kann der konstant gekrümmte Abschnitt 111k des Transportpfads 111 (auch als Transportpfadabschnitt 111k bezeichnet) bereitgestellt sein oder werden. Der konstant gekrümmte Transportpfadabschnitt 111k kann in dem zumindest einen Vakuumbereich 306b, 308b angeordnet sein, in dem das Substrat 102 prozessiert wird. Der zumindest eine Vakuumbereich 306b, 308b kann innerhalb des Prozessierbereich 111b angeordnet sein oder werden. The processing arrangement 600b can exactly be a leader 122p have, which the tempering 1124 has, ie which as a processing role 122p is set up by means of the substrate 102 tempered, eg heated and / or cooled, can be. By means of the processing role 122p can be the constant curved section 111k the transport path 111 (also as transport path section 111k be provided). The constantly curved transport path section 111k can in the at least one vacuum area 306b . 308b be arranged, in which the substrate 102 is processed. The at least one vacuum area 306b . 308b can be within the processing area 111b be arranged or become.
Ferner kann die Prozessieranordnung 600a, 600b ein Antriebssystem 518 aufweisen, welches zumindest mit einem Teil der Vielzahl von Rollen 112a, 112b, 112c, 122, 122p gekoppelt 518k ist, z.B. zumindest mit einem Teil der mehreren stationären Führungsrollen 122, 122p und mit jeder Wickelhülsenkupplung der mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c. Das Antriebssystem 518 kann die mehreren Antriebe 506 aufweisen. Beispielsweise kann das Antriebssystem 518 mittels Wellen, 518k Ketten 518k, Riemen 518k oder Zahnrädern 518k mit dem Teil der Vielzahl von Rollen 112a, 112b, 112c, 122, 122p gekoppelt sein, welche angetrieben werden. Das Antriebssystem 518 und der Teil der Vielzahl von Rollen 112a, 112b, 112c, 122, 122p können Teil einer Positionierungsvorrichtung sein, welche zum Positionieren des Substrats 102 eingerichtet ist. Furthermore, the processing arrangement 600a . 600b a drive system 518 having at least part of the plurality of rollers 112a . 112b . 112c . 122 . 122p coupled 518k is, for example, at least a part of the plurality of stationary guide rollers 122 . 122p and with each corrugated sleeve clutch of the plurality of corrugated sleeve clutches 112a . 112b . 112c , The drive system 518 Can the multiple drives 506 exhibit. For example, the drive system 518 by means of waves, 518k chain 518k , Straps 518k or gears 518k with the part of the variety of roles 112a . 112b . 112c . 122 . 122p be coupled, which are driven. The drive system 518 and part of the variety of roles 112a . 112b . 112c . 122 . 122p may be part of a positioning device used to position the substrate 102 is set up.
Die Steuerung 508 kann zum Steuern 518k und/oder Regeln 518k des Antriebssystems 518 eingerichtet sein, z.B. zum Steuern 518k und/oder Regeln 518k einer Transportcharakteristik, z.B. einer Transportgeschwindigkeit, einer mechanischen Zugspannung auf das Substrat 102, und/oder einer Position des Substrats 102. Das Steuern 518k und/oder Regeln 518k des Antriebssystems 518 kann während des Prozessierens des Substrats 102 erfolgen, z.B. während des Beschichtens und/oder Bestrahlens, z.B. auf Grundlage eines Prozessierfortschritts (z.B. eines Beschichtungsfortschritts und/oder eines Strukturierungsfortschritts) und/oder auf Grundlage einer Transportcharakteristik. The control 508 can to control 518k and / or rules 518k of the drive system 518 be set up, for example, to control 518k and / or rules 518k a transport characteristic, for example a transport speed, a mechanical tension on the substrate 102 , and / or a position of the substrate 102 , The taxes 518k and / or rules 518k of the drive system 518 can during the processing of the substrate 102 take place, for example during the coating and / or irradiation, for example on the basis of a processing progress (eg a coating progress and / or a structuring progress) and / or on the basis of a transport characteristic.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung 600a, 600b optional zumindest eine Substratvorbehandlung-Vorrichtung 310 (d.h. eine oder mehrere Substratvorbehandlung-Vorrichtungen 310) aufweisen zum Vorbehandeln des Substrats 102, z.B. zum chemischen Aktivieren des Substrats 102. Beispielsweise kann die zumindest eine Substratvorbehandlung-Vorrichtungen 310 eine Ätzvorrichtung aufweisen oder daraus gebildet sein zum Ätzen des Substrats 102. Alternativ oder zusätzlich kann die zumindest eine Substratvorbehandlung-Vorrichtung 310 zumindest eine Sputterätzquelle, zumindest eine Plasmaquelle, zumindest eine Glimmvorrichtung und/oder zumindest eine Ätzgasquelle aufweisen oder daraus gebildet sein. Alternativ oder zusätzlich kann eine Substratnachbehandlung-Vorrichtung 310 verwendet werden, um das Substrat 102, welches mit dem Beschichtungsmaterial beschichtet ist, nachzubehandeln, z.B. ähnlich zu dem Vorbehandeln. Beispielsweise kann das Substrat 102 aufweisend die Beschichtung mit dem Beschichtungsmaterial selektiv geheizt (z.B. getempert) und/oder geätzt werden. According to various embodiments, the processing arrangement 600a . 600b optionally at least one substrate pretreatment device 310 (ie, one or more substrate pretreatment devices 310 ) for pretreating the substrate 102 , eg for chemically activating the substrate 102 , For example, the at least one substrate pretreatment device 310 have an etching device or be formed therefrom for etching the substrate 102 , Alternatively or additionally, the at least one substrate pretreatment device 310 at least one sputter etching source, at least one plasma source, at least one glow device and / or at least one etching gas source have or be formed therefrom. Alternatively or additionally, a substrate aftertreatment device 310 used to the substrate 102 , which is coated with the coating material to post-treat, eg similar to the pretreatment. For example, the substrate 102 having the coating with the coating material selectively heated (eg tempered) and / or etched.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die verlagerbare Führungsrolle 122b antriebslos gelagert sein, d.h. frei von einer Kupplung zu einem Antrieb. According to various embodiments, the displaceable guide roller 122b be stored without drive, ie free from a clutch to a drive.
Beispielsweise kann das Substrat 102 mit einem Beschichtungsmaterial beschichtet sein oder werden. Das Beschichtungsmaterial kann zumindest ein Material der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: ein Metall; ein Übergangsmetall, ein Oxid (z.B. ein Metalloxid oder ein Übergangsmetalloxid); ein Dielektrikum; ein Polymer (z.B. ein Kohlenstoff-basiertes Polymer oder ein Silizium-basiertes Polymer); ein Oxinitrid; ein Nitrid; ein Karbid; eine Keramik; ein Halbmetall (z.B. Kohlenstoff); ein Perowskit; ein Glas oder glasartiges Material (z.B. ein sulfidisches Glas); einen Halbleiter; ein Halbleiteroxid; ein halborganisches Material, und/oder ein organisches Material. Das Beschichtungsmaterial zum Beschichten des Substrats 102 kann mittels einer Beschichtungsmaterialquelle bereitgestellt sein oder werden. For example, the substrate 102 be coated with a coating material or be. The coating material may comprise or be formed from at least one material of the following materials: a metal; a transition metal, an oxide (eg, a metal oxide or a transition metal oxide); a dielectric; a polymer (eg, a carbon-based polymer or a silicon-based polymer); an oxynitride; a nitride; a carbide; a ceramic; a semi-metal (eg carbon); a perovskite; a glass or glassy material (eg a sulfidic glass); a semiconductor; a semiconductor oxide; a semi-organic material, and / or an organic material. The coating material for coating the substrate 102 may be provided by a source of coating material.
Die Beschichtungsmaterialquelle kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zum Beschichten eines Substrat 102 eingerichtet sein, welches z.B. durch den Prozessierbereich 111b hindurch transportiert wird. Beispielsweise kann die Beschichtungsmaterialquelle zum Bereitstellen eines gasförmigen Beschichtungsmaterials (z.B. ein Materialdampf) und/oder flüssigen Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, welches z.B. auf dem zumindest einen Substrat 102 zum Bilden einer Schicht abgeschieden werden kann. Eine Beschichtungsmaterialquelle kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Sputtervorrichtung, eine thermisch-Verdampfen-Vorrichtung (z.B. einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen thermischen Verdampfer), eine Präkursorgasquelle, einen Flüssigphasenzerstäuber. Eine Sputtervorrichtung kann zum Zerstäuben des Beschichtungsmaterials mittels eines Plasmas eingerichtet sein. Eine thermisch-Verdampfen Vorrichtung kann zum Überführen des Beschichtungsmaterials in einen gasförmigen Aggregatszustand mittels thermischer Energie eingerichtet sein. Je nach der Beschaffenheit des Beschichtungsmaterials können ein Sublimieren und/oder ein Verdampfen des Beschichtungsmaterials erfolgen. Mit anderen Worten kann die thermisch-Verdampfen-Vorrichtung das Beschichtungsmaterial auch sublimieren. Ein Flüssigphasenzerstäuber kann zum Aufbringen eines Beschichtungsmaterials aus der Flüssigphase eingerichtet sein, z.B. einen Farbstoff aufweisend oder daraus gebildet. The coating material source may according to various embodiments for coating a substrate 102 be set up, which, for example, by the processing area 111b is transported through. For example, the coating material source may be configured to provide a gaseous coating material (eg, a material vapor) and / or liquid coating material, eg, on the at least one substrate 102 can be deposited to form a layer. A source of coating material may include at least one of a sputtering apparatus, a thermal evaporation apparatus (eg, a laser beam evaporator, an arc evaporator, an electron beam evaporator, and / or a thermal evaporator), a precursor gas source, a liquid phase sprayer. A sputtering apparatus may be arranged to atomize the coating material by means of a plasma. A thermal evaporation device may be configured to transfer the coating material to a gaseous state by means of thermal energy. Depending on the nature of the coating material, a sublimation and / or evaporation of the coating material can take place. In other words, the thermal evaporation device can also sublimate the coating material. A liquid phase sprayer may be adapted to apply a coating material from the liquid phase, eg having a dye or formed therefrom.
7A veranschaulicht eine Transportanordnung 700a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang einer Drehachsenrichtung 101). 7A illustrates a transport arrangement 700a According to various embodiments in a schematic perspective view (eg, viewed along a rotation axis direction 101 ).
Die Transportanordnung 700a kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 500b. Alternativ oder zusätzlich kann die Transportanordnung 700a einen Führungsrolle-Träger 702p und ein Gelenk 114g aufweisen. Der Führungsrolle-Träger 702p kann zumindest eine verlagerbare Führungsrolle 122b abstützen und mittels des Gelenks 114g schwenkbar 201 gelagert sein, z.B. um eine Schwenkachse 1201 herum. The transport arrangement 700a For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 500b , Alternatively or additionally, the transport arrangement 700a a guide-carrier 702p and a joint 114g exhibit. The leadership vehicle 702p can be at least a relocatable leadership role 122b support and by means of the joint 114g swiveling 201 be stored, for example, about a pivot axis 1201 around.
7B veranschaulicht eine Transportanordnung 700b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang einer Drehachsenrichtung 101). 7B illustrates a transport arrangement 700b According to various embodiments in a schematic perspective view (eg, viewed along a rotation axis direction 101 ).
Die Transportanordnung 700b kann z.B. eingerichtet sein wie die Transportanordnungen 700a. Alternativ oder zusätzlich kann die Transportanordnung 700 mehrere verlagerbare Führungsrollen 122b aufweisen, welche mittels des Führungsrolle-Trägers 702p abgestützt sind. Mit anderen Worten können die mehreren verlagerbaren Führungsrollen 122b mit dem Führungsrolle-Träger 702p gekuppelt sein. The transport arrangement 700b For example, it can be set up like the transport arrangements 700a , Alternatively or additionally, the transport arrangement 700 several displaceable guide rollers 122b which, by means of the guide roller carrier 702p are supported. In other words, the multiple displaceable guide rollers 122b with the guide-carrier 702p be coupled.
7C veranschaulicht eine Transportanordnung 700c gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang einer Drehachsenrichtung 101). 7C illustrates a transport arrangement 700c According to various embodiments in a schematic perspective view (eg, viewed along a rotation axis direction 101 ).
Die Transportanordnung 700c kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 700b. Alternativ oder zusätzlich kann die Transportanordnung 700 mehrere Gelenkanordnungen 114, 124 (auch als erste Gelenkanordnungen 114 und zweite Gelenkanordnungen 124 bezeichnet) und mehrere verlagerbare Führungsrollen 122b aufweisen, von denen jede verlagerbare Führungsrolle 122b mittels einer Gelenkanordnung 114 der mehreren Gelenkanordnungen 114, 124 schwenkbar 201 gelagert ist. The transport arrangement 700c For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 700b , Alternatively or additionally, the transport arrangement 700 several joint arrangements 114 . 124 (also as the first joint arrangements 114 and second hinge assemblies 124 designated) and several displaceable guide rollers 122b each of which has a displaceable guiding role 122b by means of a joint arrangement 114 the multiple joint arrangements 114 . 124 swiveling 201 is stored.
Die mehreren Gelenkanordnungen 114 können beispielsweise gleich zueinander eingerichtet sein. The multiple joint arrangements 114 For example, they can be set up in the same way.
Der Wartungsbereich 111a kann beispielsweise zwischen den Gelenken (bzw. deren Schwenkachsen 1201) der mehreren Gelenkanordnungen 114, 124 angeordnet sein. The maintenance area 111 For example, between the joints (or their pivot axes 1201 ) of the multiple hinge assemblies 114 . 124 be arranged.
8A veranschaulicht eine Transportanordnung 800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen ersten Detailansicht (z.B. mit Blickrichtung entlang einer Drehachsenrichtung 101) und 8B die Transportanordnung 100 in einer Wartungskonfiguration 800b. 8A illustrates a transport arrangement 800 According to various embodiments in a schematic first detail view (eg with a view along a rotation axis direction 101 ) and 8B the transport arrangement 100 in a maintenance configuration 800b ,
Die Transportanordnung 800 kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 700C. Alternativ oder zusätzlich kann die zumindest eine Führungsrolle 122b schwenkbar 201 mittels der Gelenkanordnung 114 gestützt sein, z.B. mittels des Gelenks 114g schwenkbar 201 um eine Schwenkachse 1201. Das Gelenk 114g kann beispielsweise ein Drehgelenk aufweisen oder daraus gebildet sein. The transport arrangement 800 For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 700C , Alternatively or additionally, the at least one leadership role 122b swiveling 201 by means of the joint arrangement 114 be supported, for example by means of the joint 114g swiveling 201 around a pivot axis 1201 , The joint 114g For example, may have a hinge or be formed from it.
Beispielsweise kann die Gelenkanordnung 114 mehrere Konfigurationen aufweisen, von denen in einer ersten Konfiguration die zumindest eine Führungsrolle 122b innerhalb des Wartungsbereichs 111a angeordnet ist, und in einer zweiten Konfiguration die zumindest eine Führungsrolle 122b außerhalb des Wartungsbereichs 111a angeordnet ist. For example, the joint arrangement 114 have multiple configurations, of which in a first configuration the at least one guide roller 122b within the maintenance area 111 is arranged, and in a second configuration, the at least one leadership role 122b outside the maintenance area 111 is arranged.
Ist die Transportanordnung 800 in einer Umwickelkonfiguration 100b, 300b, kann die Gelenkanordnung 114 in der ersten Konfiguration sein. Ist die Transportanordnung 800 in einer Wartungskonfiguration 800b, kann die Gelenkanordnung 114 in der zweiten Konfiguration sein. Is the transport arrangement 800 in a wrap-around configuration 100b . 300b , can the joint arrangement 114 be in the first configuration. Is the transport arrangement 800 in a maintenance configuration 800b , can the joint arrangement 114 be in the second configuration.
9 veranschaulicht eine Transportanordnung 900 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einer Umwickelkonfiguration, welche gemäß der ersten Umwickelkonfiguration 100b und/oder der zweiten Umwickelkonfiguration 300b eingerichtet sein kann. 9 illustrates a transport arrangement 900 according to various embodiments in a schematic perspective view in a wrapping configuration, which according to the first wrapping configuration 100b and / or the second wrapping configuration 300b can be set up.
Die Transportanordnung 900 kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 800. Alternativ oder zusätzlich kann die Transportanordnung 900 ein Gestell 902 aufweisen, welches zwei miteinander verbundene Träger 1702p aufweist. Mittels des Gestells 902 können die mehreren Wickelhülsenkupplung 112a, 112b, 112c, 112d abgestützt sein. Zwischen den zwei Trägern 1702p kann der Transportpfad 111 verlaufen bzw. das Substrat 102 umgewickelt werden. The transport arrangement 900 For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 800 , Alternatively or additionally, the transport arrangement 900 a frame 902 comprising two interconnected supports 1702p having. By means of the frame 902 can the multiple winding sleeve clutch 112a . 112b . 112c . 112d be supported. Between the two carriers 1702p can the transport path 111 run or the substrate 102 be wrapped.
Das Gestell 902 kann eine beidseitige Walzenlagerung mittels zweier miteinander verbundener Träger 1702p bereitstellen. Jeder Träger der zwei Träger 1702p kann eine traversierte Platine 1702p aufweisen oder daraus gebildet sein. The frame 902 can be a two-sided roller bearing by means of two interconnected carrier 1702p provide. Each carrier of the two carriers 1702p can be a traversed board 1702p have or be formed from it.
10 veranschaulicht die Transportanordnung 900, wobei ein Teil des Gestells 902, z.B. zumindest ein Träger 1702p des Gestells 902, ausgeblendet oder weggelassen ist. 10 illustrates the transport arrangement 900 , being a part of the frame 902 , eg at least one carrier 1702p of the frame 902 , hidden or omitted.
Die mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c, 112d können optional zwei zusätzliche Wickelhülsenkupplung 112c, 112d (auch als dritte Wickelhülsenkupplung 112c und vierte Wickelhülsenkupplung 112d bezeichnet) aufweisen zum Ankuppeln jeweils einer Wickelhülse 502, mittels welcher zumindest eine zusätzliche Zwischenschicht 104 umgewickelt werden soll. Die mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c, 112d können beidseitig mittels des Gestells 902 gelagert sein oder werden, z.B. zwischen den zwei miteinander verbundene Trägern 1702p. The several winding tube couplings 112a . 112b . 112c . 112d can optionally have two additional winding tube coupling 112c . 112d (as the third winding sleeve clutch 112c and fourth winding sleeve clutch 112d designated) for coupling in each case a winding tube 502 , by means of which at least one additional intermediate layer 104 to be wrapped. The several winding tube couplings 112a . 112b . 112c . 112d can be done on both sides by means of the frame 902 be stored or, for example, between the two interconnected carriers 1702p ,
Die mehreren verlagerbaren Führungsrollen 122b können mehrere erste verlagerbare Führungsrollen 122b aufweisen, welche mittels einer ersten Gelenkanordnung 114 verlagerbar gestützt sind. Ferner können die mehreren verlagerbaren Führungsrollen 122b mehrere zweite verlagerbare Führungsrollen 122b aufweisen, welche mittels einer zweiten Gelenkanordnung 124 verlagerbar gestützt sind. The multiple relocatable guide rollers 122b can have several first movable guide rollers 122b having, which by means of a first hinge assembly 114 are relocatable supported. Furthermore, the plurality of displaceable guide rollers 122b several second displaceable guide rollers 122b having, which by means of a second hinge assembly 124 are relocatable supported.
Die erste Gelenkanordnung 114 und die zweite Gelenkanordnung 114 können beidseitig mittels des Gestells 902 gelagert sein oder werden, z.B. zwischen den zwei miteinander verbundene Trägern 1702p. The first joint arrangement 114 and the second hinge assembly 114 can be used on both sides of the frame 902 be stored or, for example, between the two interconnected carriers 1702p ,
Die mehreren stationären Führungsrollen 122 können mittels des Gestells 902 drehbar gelagert sein, z.B. beidseitig mittels des Gestells 902, z.B. zwischen den zwei miteinander verbundene Trägern 1702p. The several stationary guide rollers 122 can by means of the frame 902 be rotatably mounted, for example on both sides by means of the frame 902 , for example, between the two connected carriers 1702p ,
Die Transportanordnung 900 kann innerhalb eines Kammergehäuses 802 angeordnet sein oder werden. Beispielsweise kann das Gestell 902 mittels des Kammergehäuses 802 abgestützt sein oder werden. The transport arrangement 900 can be inside a chamber housing 802 be arranged or become. For example, the frame 902 by means of the chamber housing 802 be or be supported.
Die Transportanordnung 900 kann eine variable und kompakte Bauweise ermöglichen, welche kostengünstig und einfach zu warten ist. The transport arrangement 900 can enable a variable and compact design, which is inexpensive and easy to maintain.
11 veranschaulicht eine Transportanordnung 1100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht in einer Wartungskonfiguration. 11 illustrates a transport arrangement 1100 according to various embodiments in a schematic perspective view in a maintenance configuration.
Die Transportanordnung 1100 kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 1000. In der Wartungskonfiguration können die mehreren ersten verlagerbaren Führungsrollen 122b und die mehreren zweiten verlagerbaren Führungsrollen 122b aus dem Wartungsbereich 111a herausgebracht sein. Optional können in der Wartungskonfiguration die erste Wickelhülsenkupplung 112a und/oder die zweite Wickelhülsenkupplung 112b durch den Wartungsbereich 111a hindurch verlagert sein oder werden, z.B. von der Transportanordnung 1100 entfernt oder dieser hinzugefügt. The transport arrangement 1100 For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 1000 , In the maintenance configuration, the plurality of first displaceable guide rollers 122b and the plurality of second movable guide rollers 122b from the maintenance area 111 be brought out. Optionally, in the maintenance configuration, the first corrugated sleeve clutch 112a and / or the second winding tube clutch 112b through the maintenance area 111 be or be displaced through, for example, from the transport arrangement 1100 removed or added.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren verlagerbaren Führungsrollen 122b antriebslos gelagert sein. Damit kann die Wartungskonfiguration leichter erreicht sein oder werden. According to various embodiments, the plurality of displaceable guide rollers 122b be stored without drive. This makes the maintenance configuration easier to achieve or become.
12A veranschaulicht eine Transportanordnung 1200a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Detailansicht (mit Blickrichtung quer zur Drehachse 101a). 12A illustrates a transport arrangement 1200a according to various embodiments in a schematic detail view (with a view transverse to the axis of rotation 101 ).
Die Transportanordnung 1200a kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 1100. Alternativ oder zusätzlich kann die oder jede Gelenkanordnung 114 der Transportanordnung 1200a zwei Gelenke 114g aufweisen, von denen jedes ein Drehgelenk aufweisen oder daraus gebildet sein kann. Ferner kann die oder jede Gelenkanordnung 114 der Transportanordnung 1200a zwei Führungsrolle-Träger 702p aufweisen, von denen jeder Führungsrolle-Träger 702p ein Gelenk der zwei Gelenke 114g mit der zumindest einen verlagerbaren Führungsrolle 122b kuppelt. The transport arrangement 1200a For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 1100 , Alternatively or additionally, the or each hinge assembly 114 the transport arrangement 1200a two joints 114g each of which may include or may be formed by a hinge. Furthermore, the or each hinge assembly 114 the transport arrangement 1200a two guide roller carriers 702p have, each of which leadership-carrier 702p a joint of the two joints 114g with at least one relocatable leadership role 122b couples.
Die zwei Gelenke 114g können zum Verlagern der zumindest einen verlagerbaren Führungsrolle 122b eingerichtet sein, z.B. zum Schwenken um eine Schwenkachse 1201. Die Schwenkachse 1201 der Transportanordnung 1200a kann parallel zu der Drehachse 101a sein. The two joints 114g can shift the at least one displaceable leadership role 122b be set up, for example, to pivot about a pivot axis 1201 , The pivot axis 1201 the transport arrangement 1200a can be parallel to the axis of rotation 101 be.
12B veranschaulicht eine Transportanordnung 1200b gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht. 12B illustrates a transport arrangement 1200b according to various embodiments in a schematic perspective view.
Die Transportanordnung 1200b kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 1100. Alternativ oder zusätzlich kann die oder jede Gelenkanordnung 114 der Transportanordnung 1200b zwei Gelenke 114g aufweisen, von denen jedes ein Schubgelenk aufweisen oder daraus gebildet sein kann. Jedes Schubgelenk der oder jeder Gelenkanordnung 114 der Transportanordnung 1200b kann beispielsweise eine Führungsschiene aufweisen oder daraus gebildet sein. The transport arrangement 1200b For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 1100 , Alternatively or additionally, the or each hinge assembly 114 the transport arrangement 1200b two joints 114g each of which may include a thrust joint or may be formed therefrom. Each sliding joint of the or each joint arrangement 114 the transport arrangement 1200b For example, it may comprise or be formed from a guide rail.
Die zwei Gelenke 114g der oder jeder Gelenkanordnung 114 der Transportanordnung 1200b können zum Verlagern der zumindest einen verlagerbaren Führungsrolle 122b eingerichtet sein, z.B. zum Verschieben (auch als Translation oder Linearbewegung bezeichnet) entlang einer Translationsrichtung 1203. Die Translationsrichtung 1203 der Transportanordnung 1200b kann quer zu der Drehachse 101a sein. The two joints 114g the or each hinge assembly 114 the transport arrangement 1200b can shift the at least one displaceable leadership role 122b be set up, for example, to move (also referred to as translation or linear motion) along a translation direction 1203 , The translation direction 1203 the transport arrangement 1200b can be transverse to the axis of rotation 101 be.
12C veranschaulicht eine Transportanordnung 1200c gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht. 12C illustrates a transport arrangement 1200c according to various embodiments in a schematic perspective view.
Die Transportanordnung 1200c kann z.B. eingerichtet sein wie eine der Transportanordnungen 100 bis 1100. Alternativ oder zusätzlich kann die oder jede Gelenkanordnung 114 der Transportanordnung 1200a ein Gelenk 114g aufweisen, welches ein Drehgelenk aufweisen oder daraus gebildet sein kann. The transport arrangement 1200c For example, it can be set up like one of the transport arrangements 100 to 1100 , Alternatively or additionally, the or each hinge assembly 114 the transport arrangement 1200a a joint 114g have, which may have a hinge or may be formed therefrom.
Das Gelenk 114g der oder jeder Gelenkanordnung 114 kann zum Verlagern der zumindest einen verlagerbaren Führungsrolle 122b eingerichtet sein, z.B. zum Schwenken um eine Schwenkachse 1201. Die Schwenkachse 1201 der Transportanordnung 1200c kann quer zu der Drehachse 101a sein. The joint 114g the or each hinge assembly 114 may be for shifting the at least one displaceable leadership role 122b be set up, for example, to pivot about a pivot axis 1201 , The pivot axis 1201 the transport arrangement 1200c can be transverse to the axis of rotation 101 be.
Optional können das Gelenk 114g der oder jeder Gelenkanordnung 114 und die zumindest eine verlagerbare Führungsrolle 122b mittels eines Führungsrolle-Trägers 702p gekuppelt sein. Optional können mehrere verlagerbare Führungsrollen 122b mittels des Führungsrolle-Trägers 702p abgestützt sein. Optionally, the joint can 114g the or each hinge assembly 114 and the at least one shifting leadership role 122b by means of a guide roller carrier 702p be coupled. Optionally, several movable guide rollers 122b by means of the guide roller carrier 702p be supported.
13 veranschaulicht eine Prozessieranordnung 1300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (mit Blickrichtung entlang der Drehachse 101a). 13 illustrates a processing arrangement 1300 according to different Embodiments in a schematic side view or cross-sectional view (viewed along the axis of rotation 101 ).
Die Prozessieranordnung 1300 kann eingerichtet sein, wie die Prozessieranordnung 600a, 600b. Alternativ oder zusätzlich kann die Prozessieranordnung 1300 eine Vakuumkammer 1304 aufweisen und eine Transportanordnung 1302, welche eingerichtet ist, wie eine der Transportanordnungen 100 bis 1200c. The processing arrangement 1300 can be set up as the processing arrangement 600a . 600b , Alternatively or additionally, the processing arrangement 1300 a vacuum chamber 1304 and a transport arrangement 1302 which is arranged as one of the transport arrangements 100 to 1200c ,
Der Wartungsbereich 111a der Transportanordnung 1302 kann innerhalb der Vakuumkammer 802 angeordnet sein. Die Vakuumkammer 1304 kann eine Öffnung 1304o aufweisen, welche den Wartungsbereich 111a freilegt, z.B. in die Austauschrichtung 211. The maintenance area 111 the transport arrangement 1302 can be inside the vacuum chamber 802 be arranged. The vacuum chamber 1304 can an opening 1304o which have the maintenance area 111 exposed, eg in the exchange direction 211 ,
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen ein Kammergehäuse 802 eine Kammer oder mehrere Kammern aufweisen. Das Kammergehäuse kann beispielsweise zum Bereitstellen eines Unterdrucks oder eines Vakuums (d.h. als Vakuumkammergehäuse eingerichtet) mit einer Pumpenanordnung, z.B. einer Vakuumpumpenanordnung, (z.B. gasleitend) gekoppelt sein und derart stabil eingerichtet sein, dass diese dem Einwirken des Luftdrucks im abgepumpten Zustand standhält. Die Pumpenanordnung (aufweisend zumindest eine Vakuumpumpe, z.B. eine Hochvakuumpumpe, z.B. eine Turbomolekularpumpe) kann es ermöglichen, einen Teil des Gases aus dem Inneren der Prozessierkammer, z.B. aus dem Vakuumbereich, abzupumpen. Dementsprechend kann eine Vakuumkammer oder können mehrere Vakuumkammern in einem Kammergehäuse bereitgestellt sein. Mit anderen Worten kann das Kammergehäuse als Vakuumkammergehäuse eingerichtet sein. According to various embodiments, a chamber housing 802 have a chamber or more chambers. For example, to provide a negative pressure or a vacuum (ie, configured as a vacuum chamber housing), the chamber housing can be coupled to a pump arrangement, eg, a vacuum pump arrangement (eg, gas-conducting) and can be stably set up to withstand the action of the air pressure in the pumped-down state. The pump arrangement (comprising at least one vacuum pump, eg a high vacuum pump, eg a turbomolecular pump) may allow a portion of the gas to be pumped out of the interior of the processing chamber, eg from the vacuum area. Accordingly, one or more vacuum chambers may be provided in a chamber housing. In other words, the chamber housing may be configured as a vacuum chamber housing.
14 veranschaulicht eine Transportanordnung 1400 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (mit Blickrichtung entlang der Drehachse 101a) in einer dritten Umwickelkonfiguration und 15 Transportanordnung 1400 in einer Wartungskonfiguration 1600. 14 illustrates a transport arrangement 1400 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view (viewed along the axis of rotation 101 ) in a third wrap configuration and 15 transport arrangement 1400 in a maintenance configuration 1600 ,
Die Transportanordnung 1500 kann eingerichtet sein, wie eine der Transportanordnungen 100 bis 1300c. Alternativ oder zusätzlich kann die Transportanordnung 1500 die mehreren (z.B. vier) drehbar gelagerte Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c, 112d zum Ankuppeln je einer Wickelhülse, von denen eine erste Wickelhülsenkupplungen 112a mittels eines ersten Lagers und eine zweite Wickelhülsenkupplung 112b mittels eines zweiten Lagers gelagert sind, welche zum Austauschen der zwei Wickelhülsenkupplung 112a, 112b in der Wartungskonfiguration 1700 durch einen Wartungsbereich 111a hindurch eingerichtet sind. The transport arrangement 1500 can be set up as one of the transport arrangements 100 to 1300c , Alternatively or additionally, the transport arrangement 1500 the plurality (eg four) rotatably mounted corrugated sleeve clutches 112a . 112b . 112c . 112d for coupling depending on a winding tube, of which a first corrugated tube clutches 112a by means of a first bearing and a second winding sleeve coupling 112b are mounted by means of a second bearing, which for exchanging the two winding sleeve clutch 112a . 112b in the maintenance configuration 1700 through a maintenance area 111 are set through.
Die Transportanordnung 1600 kann ferner Folgendes aufweisen: mehrere drehbar gelagerte Führungsrollen 122, 122b zum Führen eines flexiblen Substrats 102 entlang eines gekrümmten Transportpfads 111 gemäß der dritten Umwickelkonfiguration (welche gemäß der ersten Umwickelkonfiguration 100b und/oder der zweiten Umwickelkonfiguration 300b eingerichtet sein kann). The transport arrangement 1600 may further comprise: a plurality of rotatably mounted guide rollers 122 . 122b for guiding a flexible substrate 102 along a curved transport path 111 according to the third wrapping configuration (which according to the first wrapping configuration 100b and / or the second wrapping configuration 300b can be set up).
Die Transportanordnung 1600 kann ferner Folgendes aufweisen: eine erste Gelenkanordnung 114, mittels der zumindest zwei erste Führungsrollen 122b aus dem Wartungsbereich 111a heraus und in diesen hinein verlagerbar 201 gestützt sind, und eine zweite Gelenkanordnung 124, mittels der zumindest zwei zweite Führungsrollen 122b aus dem Wartungsbereich 111a heraus und in diesen hinein verlagerbar 201 gestützt sind. The transport arrangement 1600 may further include: a first hinge assembly 114 , by means of at least two first guide rollers 122b from the maintenance area 111 out and into this displaced 201 are supported, and a second hinge assembly 124 , by means of at least two second guide rollers 122b from the maintenance area 111 out and into this displaced 201 are supported.
Beispielsweise kann in der dritten Umwickelkonfiguration: zumindest eine Führungsrolle der zwei ersten Führungsrollen 122b zum Umlenken des Substrats 102 (nach dem Abwickeln) in den Prozessierbereich 111b hinein eingerichtet sein; und zumindest eine Führungsrolle der zwei zweiten Führungsrollen 122b zum Umlenken des Substrats 102 (vor dem Aufwickeln) aus dem Prozessierbereich 111b heraus eingerichtet sein. For example, in the third wrapping configuration: at least one guide roller of the two first guide rollers 122b for deflecting the substrate 102 (after unwinding) in the processing area 111b be set up in; and at least one guide roller of the two second guide rollers 122b for deflecting the substrate 102 (before winding) out of the processing area 111b be set out.
Optional kann in der dritten Umwickelkonfiguration: zumindest eine Führungsrolle der zwei ersten Führungsrollen 122b zum Umlenken einer ersten Zwischenschicht 104 (welche z.B. gemeinsam mit dem Substrat 102 abgewickelt wird) eingerichtet sein; und zumindest eine Führungsrolle der zwei zweiten Führungsrollen 122b zum Umlenken einer zweiten Zwischenschicht 104 (welche z.B. gemeinsam mit dem Substrat 102 aufgewickelt wird) eingerichtet sein. Optionally, in the third wrapping configuration: at least one guide roller of the two first guide rollers 122b for deflecting a first intermediate layer 104 (which eg together with the substrate 102 settled) be set up; and at least one guide roller of the two second guide rollers 122b for deflecting a second intermediate layer 104 (which eg together with the substrate 102 wound up).
Beispielsweise kann in der Wartungskonfiguration 1800: die zwei ersten Führungsrollen 122b aus dem Wartungsbereich 111a herausgebracht sein oder werden und optional die erste Wickelhülsenkupplung 112a aus dem ersten Lager herausgebracht 211 sein oder werden (z.B. zum Austauschen gegen eine andere erste Wickelhülsenkupplung 112a). For example, in the maintenance configuration 1800: the two first guide rollers 122b from the maintenance area 111 be or be released and optionally the first winding sleeve clutch 112a released from the first camp 211 be or (for example, to exchange for another first winding sleeve clutch 112a ).
Alternativ oder zusätzlich kann in der Wartungskonfiguration 1900: die zwei zweiten Führungsrollen 122b aus dem Wartungsbereich 111a herausgebracht sein oder werden und optional die zweite Wickelhülsenkupplung 112b aus dem zweiten Lager herausgebracht 211 sein oder werden (z.B. zum Austauschen gegen eine andere zweite Wickelhülsenkupplung 112b). Alternatively or additionally, in the maintenance configuration 1900 : the two second guide rollers 122b from the maintenance area 111 be or be released and optionally the second winding tube coupling 112b released from the second camp 211 be or (for example, to exchange for another second cores clutch 112b ).
Optional können von den mehreren Wickelhülsenkupplungen 112a, 112b, 112c, 112d: eine dritte Wickelhülsenkupplung 112c mittels eines dritten Lagers gelagert sein, welches zum Austauschen 211 der dritten Wickelhülsenkupplung 112c eingerichtet ist; und/oder eine vierte Wickelhülsenkupplung 112d mittels eines vierten Lagers gelagert sein, welches zum Austauschen 211 der vierten Wickelhülsenkupplung 112d eingerichtet ist. Optionally, of the several corrugated sleeve couplings 112a . 112b . 112c . 112d : a third winding sleeve clutch 112c be stored by means of a third bearing, which for replacement 211 the third winding sleeve clutch 112c is set up; and / or a fourth winding sleeve clutch 112d be stored by means of a fourth bearing, which for replacement 211 the fourth winding sleeve clutch 112d is set up.
Optional kann in der Wartungskonfiguration 2000: die dritte Wickelhülsenkupplung 112c aus dem dritten Lager herausgebracht 211 sein oder werden (z.B. zum Austauschen gegen eine andere dritte Wickelhülsenkupplung 112c); und/oder die vierte Wickelhülsenkupplung 112d aus dem vierten Lager herausgebracht 211 sein oder werden (z.B. zum Austauschen 211 gegen eine andere vierte Wickelhülsenkupplung 112d). Optionally, in the 2000 Maintenance configuration: the third corrugated sleeve clutch 112c released from the third camp 211 be or (for example, to exchange for another third winding sleeve clutch 112c ); and / or the fourth winding sleeve clutch 112d released from the fourth camp 211 be or become (eg to exchange 211 against another fourth winding sleeve clutch 112d ).
