DE102020103199A1 - Magnetfelderzeugungseinheit, positionserkennungsvorrichtung und verfahren zur herstellung einer magnetfelderzeugungseinheit - Google Patents

Magnetfelderzeugungseinheit, positionserkennungsvorrichtung und verfahren zur herstellung einer magnetfelderzeugungseinheit Download PDF

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Abstract

Eine Magnetfelderzeugungseinheit 2 ist an einem Objekt 7 befestigt, das sich relativ zu einem Magnetfelddetektor 3 bewegt. Die Magnetfelderzeugungseinheit 2 verfügt über einen Magnetfeldgenerator 4, eine erste Trägerstruktur 5, die an dem Objekt 7 befestigt ist und eine zweite Trägerstruktur 6, die unabhängig von der ersten Trägerstruktur 5 ist. Die zweite Trägerstruktur 6 wird von der ersten Trägerstruktur 5 getragen und trägt den Magnetfeldgenerator 4. Zum Beispiel ist die zweite Trägerstruktur 6 aus einem nichtmagnetischen Material gebildet, und der Magnetfeldgenerator 4 ist entfernt von der ersten Trägerstruktur 5 angeordnet.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Anmeldung beruht auf der am 20. März 2019 eingereichten JP-Anmeldung Nr. 2019-52755 und beansprucht deren Priorität, deren Offenlegung hiermit durch Verweis in vollem Umfang in diese Anmeldung aufgenommen wird.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Magnetfelderzeugungseinheit, eine diese verwendende Positionserkennungsvorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung der Magnetfelderzeugungseinheit, insbesondere einer Trägerstruktur für einen Magnetfeldgenerator der Magnetfelderzeugungseinheit.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Positionserkennungsvorrichtungen zur Erkennung der Position eines sich linear bewegenden Objektes sind bekannt. JP2013-96723A enthüllt eine Positionserkennungsvorrichtung mit einem Magnetfelddetektor und zwei Magneten. Die Magnete werden von einer Trägereinheit getragen, die sich linear bewegt und relativ zum Magnetfelddetektor beweglich ist. Durch die Bewegung der beiden Magnete relativ zum Magnetfelddetektor ändert sich ein Magnetfeld, das vom Magnetfelddetektor erfasst wird. Anhand der Änderung des Magnetfeldes werden die Positionen der beiden Magnete relativ zum Magnetfelddetektor, d.h. die Position des Objektes, erkannt.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Ein Magnetfeldgenerator, wie z.B. ein Magnet, kann indirekt von einem Objekt getragen werden, über eine am Objekt befestigte Trägerstruktur. Eine Magnetfelderzeugungseinheit, die eine Baugruppe aus der Trägerstruktur und dem Magnetfeldgenerator ist, wird in der Regel in eine mechanische Vorrichtung eingebaut und zusammen mit dieser verwendet. Daher kann die Trägerstruktur eine komplizierte Form haben, um Interferenzen zwischen dem Magnetfeldgenerator und dem mechanischen Gerät zu vermeiden oder um einen Abstand zwischen dem Magnetfeldgenerator und anderen magnetischen Materialien zu gewährleisten. Die Trägerstruktur wird z.B. durch Blechbearbeitung oder durch Schmieden hergestellt, aber wenn die Form kompliziert ist, erhöhen sich die Kosten und die Schritte zur Herstellung der Magnetfelderzeugungseinheit.
  • Die vorliegende Erfindung zielt darauf ab, eine Magnetfelderzeugungseinheit zu schaffen, die auch bei komplizierter Formgebung mit geringem Aufwand präzise hergestellt werden kann.
  • Eine Magnetfelderzeugungseinheit der vorliegenden Erfindung ist an einem Objekt befestigt, das sich relativ zum Magnetfelddetektor bewegt. Die Magnetfelderzeugungseinheit besteht aus: einem Magnetfeldgenerator; einer ersten Trägerstruktur, die am Objekt befestigt ist; und einer zweiten Trägerstruktur, die von der ersten Trägerstruktur unabhängig ist. Die zweite Trägerstruktur wird von der ersten Trägerstruktur getragen und trägt den Magnetfeldgenerator.
  • Da der Magnetfeldgenerator über die erste und die zweite Trägerstruktur, die unabhängig voneinander sind, von dem Objekt getragen wird, können die Formen der ersten und der zweiten Trägerstruktur vereinfacht werden. Daher ist es nach der vorliegenden Erfindung möglich, eine Magnetfelderzeugungseinheit bereitzustellen, die auch bei komplizierter Formgebung mit geringem Aufwand präzise hergestellt werden kann.
  • Die oben genannten und weitere Gegenstände, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen, die Beispiele der vorliegenden Erfindung veranschaulichen, ersichtlich.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Positionserkennungsvorrichtung nach einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
    • 2A ist eine Seitenansicht der Magnetfelderzeugungseinheit der in 1 gezeigten Positionserkennungsvorrichtung;
    • 2B ist ein Querschnitt durch die Magnetfelderzeugungseinheit der in 1 dargestellten Positionserkennungsvorrichtung;
    • 3 ist eine vergrößerte Ansicht des Magnetfeldgenerators und des Magnetfelddetektors der in 1 dargestellten Positionserkennungsvorrichtung;
    • FIGURER 4A bis 5B sind Ansichten, die eine Herstellungsmethode der Magnetfelderzeugungseinheit zeigen;
    • 6A bis 6D sind Querschnittsansichten von Magnetfelderzeugungseinheiten nach anderen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung; und
    • 7A bis 7C sind Querschnittsansichten von Magnetfeldgeneratoren nach anderen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Im Folgenden werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Positionserkennungsvorrichtung. 2A ist eine Seitenansicht der Magnetfelderzeugungseinheit, gesehen aus Richtung A in 1, und 2B ist ein Querschnitt der Magnetfelderzeugungseinheit entlang der Linie B-B in 1. Die X-Richtung ist die Längsrichtung der zweiten Trägerstruktur 6, eine Richtung, in der der erste Magnet 8 und der zweite Magnet 9 angeordnet sind, und die Längsrichtung des Jochs 10. Die Y-Richtung ist die Längsrichtung der ersten Trägerstruktur 5 und verläuft orthogonal dazu. Die Positionserkennungsvorrichtung 1 hat eine Magnetfelderzeugungseinheit 2 und einen Magnetfelddetektor 3. Die Magnetfelderzeugungseinheit 2 wird an einem Objekt befestigt, dessen Position erfasst werden soll (im Folgenden Objekt 7 genannt), das sich relativ zum Magnetfelddetektor 3 bewegt. In der vorliegenden Ausführung ist der Magnetfelddetektor 3 an einer, nicht dargestellten, stationären Struktur befestigt, und die Magnetfelderzeugungseinheit 2 ist an Objekt 7 befestigt, das sich relativ zur stationären Struktur bewegt. Die Magnetfelderzeugungseinheit 2 kann aber auch an einer stationären Struktur befestigt werden, und die Magnetfelddetektor 3 kann an Objekt 7 befestigt werden, das sich relativ zur stationären Struktur bewegt.
  • Die Magnetfelderzeugungseinheit 2 umfasst den Magnetfeldgenerator 4, die erste Trägerstruktur 5 und die zweite Trägerstruktur 6. Die erste Trägerstruktur 5 wird an Objekt 7 befestigt. Die zweite Trägerstruktur 6 wird einerseits von der ersten Trägerstruktur 5 getragen und trägt andererseits den Magnetfeldgenerator 4. Die zweite Trägerstruktur 6 ist ein Element, das sich von der ersten Trägerstruktur 5 unterscheidet oder unabhängig von ihr ist. Der Magnetfeldgenerator 4 ist entfernt von der ersten Trägerstruktur 5 angeordnet. Die erste Trägerstruktur 5 hat eine längliche Form in der Y-Richtung, die zweite Trägerstruktur 6 hat eine längliche Form in der X-Richtung und die zweite Trägerstruktur 6 wird von der ersten Trägerstruktur 5 an einem Endabschnitt der zweiten Trägerstruktur 6 in Bezug auf die Längsrichtung Y getragen. Da die erste Trägerstruktur 5 und die zweite Trägerstruktur 6 im Allgemeinen L-förmig sind, ist es einfach, den Magnetfeldgenerator 4 an einer vom Objekt 7 entfernten Stelle zu montieren und dabei Störungen mit anderen Strukturen zu vermeiden.
  • Objekt 7 bewegt sich linear in X-Richtung. In dieser Ausführungsform ist Objekt 7 die Welle 7, die sich linear entlang der zentralen Achse 7A bewegt. Die erste Trägerstruktur 5 hat die erste Bohrung 51, durch die die Welle 7 verläuft, sowie die zweite Bohrung 52 zur Positionierung. Die zweite Bohrung 52 ist mit einer Bohrung einer nicht dargestellten Struktur ausgerichtet, die sich zusammen mit der Welle 7 bewegt. In diese Bohrungen wird das zylindrische Befestigungselement 53 eingesetzt. Die erste Trägerstruktur 5 wird so auf der Welle 7 befestigt, dass die erste Trägerstruktur 5 daran gehindert wird, sich relativ zur Welle 7 zu drehen und sich in X-Richtung relativ zur Welle 7 zu bewegen. Auf diese Weise wird die Magnetfelderzeugungseinheit 2 durch das bewegliche Objekt 7 getragen und bewegt sich in X-Richtung zusammen mit dem Objekt 7 relativ zu dem feststehenden Magnetfelddetektor 3.
  • 3 ist eine vergrößerte Ansicht von Teil C in 2B, die den Magnetfeldgenerator 4 und den Magnetfelddetektor 3 zeigt. Der Magnetfeldgenerator 4 umfasst den ersten Magneten 8, den zweiten Magneten 9 und das Joch 10. Der erste und zweite Magnet 8, 9 sind im Allgemeinen rechteckig quaderförmig und haben eine erste und zweite Oberfläche 8A, 9A, die dem Magnetfelddetektor 3 zugewandt ist, sowie Rückseiten der ersten und zweiten Oberfläche 8A, 9A (im Folgenden als erste und zweite Rückseitenfläche 8B, 9B bezeichnet). Das Joch 10 wird an den ersten und zweiten Magneten 8, 9 auf der ersten und zweiten Rückseitenfläche 8B, 9B befestigt. Die erste Oberfläche 8A und die zweite Oberfläche 9A haben unterschiedliche Polaritäten. Wenn zum Beispiel die erste Oberfläche 8A der N-Pol ist, ist die zweite Oberfläche 9A der S-Pol. Das Joch 10 ist eine längliche Metallplatte, die aus einem weichmagnetischen Material, wie z.B. NiFe, hergestellt wird. Das Joch 10 steuert den Fluss des magnetischen Flusses so, dass der magnetische Fluss, der die zweite Rückseitenfläche 9B (den N-Pol) des zweiten Magneten 9 verlässt, effizient in die erste Rückseitenfläche 8B (den S-Pol) des ersten Magneten 8 eintritt. Das Joch 10 kann den ersten Magneten 8 und den zweiten Magneten 9 verkleinern. Der erste Magnet 8 und der zweite Magnet 9 haben im Wesentlichen die gleiche Form und Größe und sind aus dem gleichen Material gefertigt. Die erste Oberfläche 8A und die zweite Oberfläche 9A liegen in der gleichen Ebene, und der erste und zweite Magnet 8, 9 sind an Positionen vorgesehen, die in Bezug auf die Längsrichtung X des Jochs 10 gleich weit von der Mitte 10A des Jochs 10 entfernt sind. Das heißt, der Magnetfeldgenerator 4 ist symmetrisch aufgebaut. Aus diesem Grund bildet der magnetische Fluss, der aus der ersten Oberfläche 8A austritt und in die zweite Oberfläche 9A eintritt, an den Stellen, an denen der magnetische Fluss vom ersten und zweiten Magneten 8, 9 in Y-Richtung entfernt ist, eine im Wesentlichen sinusförmige Form.
  • Der Magnetfelddetektor 3 hat ein erstes Magnetfelddetektionselement 11 und ein zweites Magnetfelddetektionselement 12. Das erste Magnetfelddetektionselement 11 erfasst die X-Richtungskomponente eines Magnetfeldes, das parallel zu den ersten und zweiten Oberflächen 8A, 9A und auch parallel zur Richtung, in der der erste Magnet 8 und der zweite Magnet 9 angeordnet sind, verläuft. Das zweite Magnetfeld-Erfassungselement 12 erfasst die Y-Richtungskomponente eines Magnetfeldes, das senkrecht zur ersten und zweiten Oberfläche 8A, 9A steht. Die ersten und zweiten Magnetfelddetektionselemente 11, 12 sind Hall-Elemente, können aber auch magnetoresistive Elemente sein, wie z.B. AMR-, GMR- und TMR-Elemente. Durch Berechnung von arctan (Hy/Hx) aus der Magnetfeldkomponente Hx in X-Richtung, die von dem ersten Magnetfelddetektionselement 11 erfasst wird, und der Magnetfeldkomponente Hy in Y-Richtung, die von dem zweiten Magnetfelddetektionselement 12 erfasst wird, kann der Winkel θ des Magnetfeldes in Bezug auf die X-Richtung in der X-Y-Ebene ermittelt werden. Aus dem Winkel θ des Magnetfeldes können die Positionen des ersten und zweiten Magneten 8, 9, d.h. die Position des Objektes 7, in X-Richtung relativ zum Magnetfelddetektor 3 bestimmt werden.
  • Wie in den 1, 2A und 2B dargestellt, wird in der vorliegenden Ausführung die zweite Trägerstruktur 6 aus einem Harz gebildet, das sowohl mit der ersten Trägerstruktur 5 als auch mit dem Magnetfeldgenerator 4 verbunden ist. Die erste Endregion 5A der ersten Trägerstruktur 5 auf der Seite des Magnetfeldgenerators 4 ist mit dem Harz bedeckt, während die zweite Endregion 5B auf der der ersten Endregion 5A gegenüberliegenden Seite und die Zwischenregion 5C zwischen der ersten Endregion 5A und der zweiten Endregion 5B nicht mit dem Harz bedeckt sind. Die zweite Trägerstruktur 6 ist ein Harz, das im Spritzgussverfahren hergestellt wird. Das Harz bedeckt nur einen Teil des Magnetfeldgenerators 4 und lässt die erste Oberfläche 8A des ersten Magneten 8 und die zweite Oberfläche 9A des zweiten Magneten 9 frei. Dadurch kann die Harzmenge reduziert werden. Das Harz kann Füllstoffe enthalten oder nicht, aber wenn es Füllstoffe enthält, wird der Füllstoff vorzugsweise aus einem nichtmagnetischen Material gebildet. Mit anderen Worten, die zweite Trägerstruktur 6 wird vorzugsweise aus einem nichtmagnetischen Material gebildet. Wie oben beschrieben, bildet der magnetische Fluss, der sich zwischen dem ersten Magneten 8 und dem zweiten Magneten 9 bildet, eine im Wesentlichen sinusförmige Form. Wenn jedoch die zweite Trägerstruktur 6 aus einem magnetischen Material gebildet wird, dann wird der magnetische Fluss gestört, was zu Schwankungen von Hx und Hy führt und die Genauigkeit bei der Positionserfassung verschlechtert. Mit anderen Worten, um die Genauigkeit bei der Positionserfassung zu gewährleisten, ist es vorzuziehen, dass das Magnetfeld, das vom Magnetfeldgenerator 4 erzeugt wird, nicht durch die umgebenden Strukturen beeinflusst wird. Das bedeutet, dass vorzugsweise kein magnetisches Material in der Nähe des Magnetfeldgenerators 4 vorhanden sein sollte. Konventionell wird die Trägerstruktur typischerweise aus einem magnetischen Material, wie z.B. Eisen, gebildet, wobei die Trägerstruktur gleichzeitig als Joch dient. Dadurch wird das vom Magnetfeldgenerator 4 erzeugte Magnetfeld durch die Trägerstruktur leicht gestört. Da der Magnetfeldgenerator 4 in der vorliegenden Ausführung von anderen magnetischen Materialien magnetisch isoliert oder magnetisch schwebend ist, kann die Genauigkeit der Positionserfassung leicht sichergestellt werden.
  • Da die Trägerstruktur und das Joch konventionell als integrales Element ausgebildet sind, muss das integrale Element als Joch und als Trägerstruktur fungieren. Dadurch ist die Auswahl des Materials begrenzt. Wenn die Funktion des integralen Elements als Joch bevorzugt wird, ist es notwendig, dass alle Teile des Elements aus einem magnetischen Material, wie z.B. Eisen, hergestellt werden, aber das oben erwähnte Problem tritt auf. Auf der anderen Seite ist es kostenmäßig nachteilig, eine L-förmige Trägerstruktur aus einem nichtmagnetischen Material wie Aluminium herzustellen, da das Material kostspielig ist und es auch aufwendig ist, die Trägerstruktur in eine gewünschte Form zu bringen. Weiterhin ist es notwendig, ein von der Trägerstruktur unabhängiges Joch aus weichmagnetischem Material vorzusehen oder den ersten Magneten 8 und den zweiten Magneten 9 zu vergrößern. In der vorliegenden Ausführungsform können sowohl für die erste Trägerstruktur 5 als auch für das Joch 10 geeignete Materialien ausgewählt werden, außerdem können der erste Magnet 8 und der zweite Magnet 9 verkleinert werden.
  • Die erste Trägerstruktur 5 besteht aus Eisen. Da es sich bei der ersten Trägerstruktur 5 um ein längliches Element, wie z.B. eine Stange oder eine längliche Platte, handelt, kann sie kostengünstig hergestellt werden. Da die erste Trägerstruktur 5 vom Magnetfeldgenerator 4 entfernt ist, ist der magnetische Einfluss der ersten Trägerstruktur 5 auf den Magnetfeldgenerator 4 begrenzt. Die erste Trägerstruktur 5 kann aus einem nichtmagnetischen Material, wie z.B. Aluminium oder einem Harz, gebildet werden. Dadurch übt die erste Trägerstruktur 5 keinen Einfluss auf den Magnetfeldgenerator 4 aus, und die Position kann noch genauer erfasst werden.
  • Als nächstes wird eine Methode zur Herstellung der Magnetfelderzeugungseinheit 2 beschrieben. Zunächst wird, wie in 4A dargestellt, die untere Gussform 13 für den Spritzguss vorbereitet. Die untere Gussform 13 hat einen ersten konkaven Teil 15 zur Anordnung des Magnetfeldgenerators 4 (erster und zweiter Magnet 8, 9 und Joch 10), einen zweiten konkaven Teil 16 zur Anordnung des ersten Endbereichs 5A der ersten Trägerstruktur 5 und einen dritten konkaven Teil 17, der an den zweiten konkaven Teil 16 angrenzt, zur Anordnung des Zwischenbereichs 5C der ersten Trägerstruktur 5. Der erste und zweite konkave Teil 15, 16 sind ein durchgehender konkaver Teil, und der Absperrteil 18, der den Bereich definiert, in dem ein Harz eingefüllt wird, wird zwischen dem zweiten konkaven Teil 16 und dem dritten konkaven Teil 17 gebildet. Am Ende des dritten konkaven Teils 17, der dem zweiten konkaven Teil 16 gegenüberliegt, wird die Aussparung 19 zur Aufnahme des zweiten Endbereichs 5B gebildet. Als nächstes wird, wie in 4B gezeigt, der Magnetfeldgenerator 4 im ersten konkaven Teil 15, der erste Endbereich 5A der ersten Trägerstruktur 5 im zweiten konkaven Teil 16 und der Zwischenbereich 5C der ersten Trägerstruktur 5 im dritten konkaven Teil 17 angeordnet. Der Magnetfeldgenerator 4 und das erste Trägerstruktur 5 sind mit Abstand zueinander angeordnet. Obwohl nicht dargestellt, sind der erste konkave Teil 15 und der zweite konkave Teil 16 mit Haltevorrichtungen zur Unterstützung des Magnetfeldgenerators 4 bzw. der ersten Trägerstruktur 5 versehen. Anschließend wird die obere Gussform 14 auf die untere Gussform 13 gelegt, in der der Magnetfeldgenerator 4 und die erste Trägerstruktur 5 angeordnet sind. Die obere Gussform 14 ist in der Region 13A vorgesehen, die dem ersten und zweiten konkaven Teil 15, 16 entspricht. Die obere Gussform 14 hat einen vierten konkaven Teil 20, der dem ersten und zweiten konkaven Teil 15, 16 gegenüberliegt. Wie in 5A gezeigt, wird der Raum, der durch den ersten und zweiten konkaven Teil 15, 16 und den vierten konkaven Teil 20 gebildet wird, mit Harz 21 gefüllt. Danach wird das Harz 21 ausgehärtet, und wie in 5B gezeigt, wird die obere Gussform 14 entfernt, um den Magnetfeldgenerator 4, die erste Trägerstruktur 5 und das ausgehärtete Harz 21 aus der unteren Gussform 13 herauszunehmen. Das eingefüllte und ausgehärtete Harz 21 wird zum einen von der ersten Trägerstruktur 5 getragen und dient zum anderen als nichtmagnetische zweite Trägerstruktur 6, die den Magnetfeldgenerator 4 trägt. Die Form der zweiten Trägerstruktur 6 hängt von der Magnetfelderzeugungseinheit 2 ab, aber der erste Endbereich 5A der ersten Trägerstruktur 5 und der Magnetfelderzeuger 4 können standardisiert werden. Daher ist es möglich, verschiedene Formen von Magnetfelderzeugungseinheiten 2 durch einfaches Wechseln der unteren Gussform 13 und der oberen Gussform 14 herzustellen.
  • Die 6A bis 6D zeigen weitere Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung. Gemäß 6A kann das Harz die gesamte Oberfläche des Magnetfeldgenerators 4 bedecken. In dieser Ausführungsform können der erste und zweite Magnet 8, 9 und das Joch 10 vor der Umgebung geschützt werden. Bezogen auf 6B haben die erste und die zweite Trägerstruktur 5, 6 längliche Formen, und die zweite Trägerstruktur 6 wird von der ersten Trägerstruktur 5 an einer Zwischenposition der zweiten Trägerstruktur 6 in Bezug auf die Längsrichtung X getragen. Je nach den relativen Positionen von Magnetfeldgenerator 4 und Objekt 7 kann diese Ausführungsform alternativ zu der in 1, 2A, 2B gezeigten Ausführungsform verwendet werden. Wie in 6C und 6D dargestellt, dient die zweite Trägerstruktur 6 auch als Joch 10 und wird mit den Schrauben 22 als Fixierungsmittel an der ersten Trägerstruktur 5 befestigt. In dem in 6C gezeigten Beispiel erstreckt sich die Schraube 22 in Längsrichtung Y der ersten Trägerstruktur 5, um die zweite Trägerstruktur 6 an der ersten Trägerstruktur 5 zu befestigen. In dem in 6D gezeigten Beispiel erstreckt sich die Schraube 22 in die Richtung X, die orthogonal zur Längsrichtung Y der ersten Trägerstruktur 5 verläuft, um die zweite Trägerstruktur 6 an der ersten Trägerstruktur 5 zu befestigen. Die Position kann genauer erfasst werden, wenn die erste Trägerstruktur 5 und die Schraube 22 aus einem nichtmagnetischen Material geformt werden. Das Fixierungsmittel für die Fixierung der zweiten Trägerstruktur 6 an der ersten Trägerstruktur 5 ist nicht auf die Schraube 22 beschränkt und kann ein Klebstoff sein.
  • Die 7A bis 7C zeigen weitere Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung. In diesen Ausführungsformen ist die Ausgestaltung der Magnetfeldgeneratoren 4 anders als die der oben genannten Ausführungsformen. Bezogen auf 7A zeigen die erste Oberfläche 8A des ersten Magneten 8 und die zweite Oberfläche 9A des zweiten Magneten 9 in die gleiche Richtung, aber im Gegensatz zu 3 haben sie die gleiche Polarität (den N-Pol oder den S-Pol). Gemäß 7B liegen die erste Oberfläche 8A des ersten Magneten 8 und die zweite Oberfläche 9A des zweiten Magneten 9 einander gegenüber und haben die gleiche Polarität (N-Pol oder S-Pol). Der erste Magnet 8 und der zweite Magnet 9 sind am Joch 10 auf der dritten Oberfläche 8B neben der ersten Oberfläche 8A bzw. auf der vierten Oberfläche 9B neben der zweiten Oberfläche 9A befestigt, und die Rückseitenfläche 8C der dritten Oberfläche 8B und die Rückseitenfläche 9C der vierten Oberfläche 9B liegen dem Magnetfelddetektor 3 gegenüber. Da in diesen Ausführungsformen die erste Oberfläche 8A und die zweite Oberfläche 9A die gleiche Polarität haben, werden die magnetischen Flusslinien so gebildet, dass sie sich voneinander weg erstrecken. Jedoch ist es, wie in 3 dargestellt, möglich, die Position von Objekt 7 relativ zu den Magnetfelderkennungsmitteln 3 in X-Richtung auf der Basis von Hx und Hy zu bestimmen. Weiterhin kann, wie in 7C gezeigt, der Magnetfeldgenerator 4 aus einem einzigen Magneten gebildet werden, um das Joch wegzulassen. Obwohl die Größe des Magneten im Vergleich zu den anderen Ausführungsformen erhöht ist, kann die Konfiguration des Magnetfeldgenerators 4 vereinfacht werden.
  • Obwohl bestimmte bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung gezeigt und ausführlich beschrieben wurden, sollte klar sein, dass verschiedene Änderungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Geist oder Umfang der beigefügten Ansprüche abzuweichen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2019052755 [0001]
    • JP 2013096723 A [0003]

Claims (15)

  1. eine Magnetfelderzeugungseinheit (2), die an einem Objekt (7) befestigt ist, das sich relativ zu einem Magnetfelddetektor (3) bewegt, umfassend: einen Magnetfeldgenerator (4); eine erste Trägerstruktur (5), die an dem Objekt (7) befestigt ist; und eine von der ersten Trägerstruktur (5) unabhängige zweite Trägerstruktur (6), wobei die zweite Trägerstruktur (6) von der ersten Trägerstruktur (5) getragen wird und den Magnetfeldgenerator (4) trägt.
  2. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach Anspruch 1, wobei die zweite Trägerstruktur (6) aus einem nichtmagnetischen Material gebildet ist und der Magnetfeldgenerator (4) von der ersten Trägerstruktur (5) entfernt angeordnet ist.
  3. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach Anspruch 2, wobei die erste Trägerstruktur (5) aus einem nichtmagnetischen Material gebildet ist.
  4. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach Anspruch 2 oder 3, wobei die zweite Trägerstruktur (6) aus einem Harz (21) gebildet ist, das sowohl mit der ersten Trägerstruktur (5) als auch mit dem Magnetfeldgenerator (4) verbunden ist.
  5. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach Anspruch 4, wobei das Harz (21) einen Teil des Magnetfeldgenerators (4) bedeckt.
  6. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach Anspruch 4, wobei das Harz (21) eine gesamte Oberfläche des Magnetfeldgenerators (4) bedeckt.
  7. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei die zweite Trägerstruktur (6) aus einem spritzgegossenen Harz hergestellt ist.
  8. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach Anspruch 2 oder 3, die ferner ein Fixierungsmittel (22) zum Fixieren der zweiten Trägerstruktur (6) an der ersten Trägerstruktur (5) umfasst, wobei das Fixierungsmittel (22) aus einem nichtmagnetischen Material gebildet ist.
  9. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei der Magnetfeldgenerator (4) umfasst: einen ersten Magneten (8) mit einer ersten Oberfläche (8A), die dem Magnetfelddetektor (3) zugewandt ist, einen zweiten Magneten (9) mit einer zweiten Oberfläche (9A), die dem Magnetfelddetektor (3) zugewandt ist; und ein längliches Joch (10), das an dem ersten und zweiten Magneten (8, 9) auf der Rückseitenfläche der ersten bzw. zweiten Oberfläche (8A, 9A) befestigt ist und das aus einem weichmagnetischen Material besteht, wobei der erste und der zweite Magnet (8, 9) in Bezug auf eine Längsrichtung des Jochs (10) in gleichem Abstand von einem Zentrum des Jochs (10) angeordnet sind.
  10. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach Anspruch 9, wobei die zweite Oberfläche (9A) eine andere Polarität als die erste Oberfläche (8A) hat.
  11. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei der Magnetfeldgenerator (4) umfasst: einen ersten Magneten (8) mit einer ersten Oberfläche (8A), einen zweiten Magneten (9) mit einer zweiten Oberfläche (9A), die der ersten Oberfläche (8A) zugewandt ist und die die gleiche Polarität wie die erste Oberfläche (8A) hat, und ein längliches Joch (10), das an dem ersten und zweiten Magneten (8, 9) auf an die erste bzw. zweite Oberfläche (8A, 9A) angrenzenden Oberflächen befestigt ist und das aus einem weichmagnetischen Material besteht, wobei der erste und der zweite Magnet (8, 9) in Bezug auf eine Längsrichtung des Jochs (10) in gleichem Abstand von einem Zentrum des Jochs (10) angeordnet sind.
  12. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei die erste und die zweite Trägerstruktur (5, 6) längliche Formen haben und die zweite Trägerstruktur (6) von der ersten Trägerstruktur (5) an einer Zwischenposition der zweiten Trägerstruktur (6) in Bezug auf deren Längsrichtung getragen wird.
  13. die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei die erste und die zweite Trägerstruktur (5, 6) längliche Formen haben und die zweite Trägerstruktur (6) durch die erste Trägerstruktur (5) an einem Ende der zweiten Trägerstruktur (6) in Bezug auf deren Längsrichtung gestützt wird.
  14. eine Positionserkennungsvorrichtung (1), die Folgendes umfasst: die Magnetfelderzeugungseinheit (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 13, die an einem sich linear bewegenden Objekt (7) befestigt ist; und einen Magnetfelddetektor (3) zur Detektion eines Magnetfeldes, das von der Magnetfelderzeugungseinheit (2) erzeugt wird.
  15. Verfahren zur Herstellung einer Magnetfelderzeugungseinheit (2), die an einem Objekt (7) befestigt ist, das sich relativ zu einem Magnetfelddetektor (3) bewegt, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: Anordnen eines Magnetfeldgenerators (4), der ein Magnetfeld erzeugt, und einer ersten Trägerstruktur (5), die an dem Objekt (7) befestigt ist, in einer Gussform, so dass der Magnetfeldgenerator (4) von der ersten Trägerstruktur (5) entfernt angeordnet ist; und Füllen der Gussform mit einem Harz (21) und Ausbilden einer nichtmagnetischen zweiten Trägerstruktur (6) aus dem Harz (21), wobei die zweite Trägerstruktur (6) von der ersten Trägerstruktur (5) getragen wird und den Magnetfeldgenerator (4) trägt.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7444143B2 (ja) * 2021-07-20 2024-03-06 Tdk株式会社 磁気センサ装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5493216A (en) 1993-09-08 1996-02-20 Asa Electronic Industry Co., Ltd. Magnetic position detector
DE19917464A1 (de) 1999-04-17 2000-11-02 Bosch Gmbh Robert Wegmeßvorrichtung
JP2007147304A (ja) * 2005-11-24 2007-06-14 Tdk Corp 加速度センサ及び磁気ディスクドライブ装置
DE102005062784A1 (de) * 2005-12-28 2007-07-05 Robert Bosch Gmbh Magnet-Baueinheit zur Befestigung auf einer Welle
DE102007037215A1 (de) * 2007-08-07 2009-02-12 Robert Bosch Gmbh Stellorgan
JP4385071B2 (ja) * 2007-12-18 2009-12-16 三菱電機株式会社 非接触式回転角度検出装置及びその製造方法
DE102011107819A1 (de) 2010-07-02 2012-01-26 Hirschmann Automotive Gmbh Abgasrückführsystem einer Brennkraftmaschine mit einem Abgasrückführventil
JP5500389B2 (ja) * 2011-04-14 2014-05-21 株式会社デンソー ストローク量検出装置
JP5834751B2 (ja) * 2011-10-13 2015-12-24 株式会社ジェイテクト 着磁パルサリング及びその製造方法、並びに転がり軸受装置
JP2013096723A (ja) * 2011-10-28 2013-05-20 Denso Corp 位置検出装置
EP2829858B1 (de) * 2012-03-22 2019-09-11 KYB Corporation Drehmomentsensor
JP5850259B2 (ja) * 2012-11-28 2016-02-03 株式会社デンソー 回転電機
JP6110759B2 (ja) 2013-08-27 2017-04-05 アルプス電気株式会社 移動検知装置ならびにアクチュエータ
JP2019132754A (ja) * 2018-02-01 2019-08-08 アイシン精機株式会社 センサユニット

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