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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine absolute Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung und ein Steuerverfahren der absoluten Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Konventionell gab es einen Encoder, welcher beinhaltet: N-te (N ist eine natürliche Zahl) absolute Muster zum Identifizieren einer absoluten Position, welche in einer Translationsrichtung einer Code-Platte gebildet sind und Musterbreiten einer kleinsten Identifikationsbreite X haben; und eine Erfassungseinheit, welche in der Lage ist, ein erstes Erfassungsgebiet zu erfassen, welches als ein Gebiet definiert ist, das durch (N+1) oder mehr aufeinanderfolgende Muster in der Translationsrichtung unter den absoluten Mustern angezeigt wird, wobei die Erfassungseinheit ein zweites Erfassungsgebiet erfasst, welches durch ein Auswahlmuster angezeigt wird, welches durch das erste Erfassungsgebiet ausgewählt wird, als Reaktion auf eine Translation der Code-Platte (siehe zum Beispiel die japanische ungeprüfte Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 2011-158302).
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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[Technische Aufgabe]
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Der konventionelle Encoder hat ein Problem, dass, wenn eine absolute Position nicht akkurat erfasst wird, eine Arbeitsmaschine, ein Roboter oder dergleichen basierend auf einer falschen Positionsinformation gesteuert wird, und Verlässlichkeiten des Encoders und eines Motors oder einer Maschine, welche den Encoder verwenden, verringert werden können.
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Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht eines solchen Problems gemacht, und es ist ein Hauptziel, eine hochverlässliche absolute Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung und ein hochverlässliches Verfahren zur Steuerung der absoluten Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung bereitzustellen.
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[Lösung des Problems]
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine absolute Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung:
- eine Skalenplatte, welche ein absolutes Muster von Codes für eine M-Sequenz von N Bits hat;
- eine Lichtemissionseinheit zum Bestrahlen der Skalenplatte mit Bestrahlungslicht;
- K Lichtempfangselemente zum Empfangen des Bestrahlungslichts, das an der Skalenplatte reflektiert wird oder durch diese hindurchgeht, wobei K um eins oder mehr größer als N ist; und
- eine Positionsinformations-Verarbeitungseinheit zum Erhalten einer absoluten Positionsinformation aus einem Vergleich zwischen einer ersten Gruppe von N aufeinanderfolgenden Codes unter K Signalniveauwerten, welche basierend auf Ausgaben von den K Lichtempfangselementen, welche das Bestrahlungslicht empfangen, erhalten werden, oder einer ersten Positionsinformation, welche durch die erste Gruppe von N aufeinanderfolgenden Codes angezeigt wird; und einer zweiten Gruppe von N aufeinanderfolgenden Codes, welche durch Verschieben der ersten Gruppe von N aufeinanderfolgenden Codes um mindestens eins erhalten werden, oder einer zweiten Positionsinformation, welche durch die zweite Gruppe von N aufeinanderfolgenden Codes angezeigt wird.
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[Wirkung der Erfindung]
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Gemäß dem Aspekt der vorliegenden Erfindung kann eine hochverlässliche absolute Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung und ein hochverlässliches Verfahren zur Steuerung der absoluten Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung bereitgestellt werden.
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Figurenliste
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Andere Ziele und weitere Merkmale von Ausführungsformen werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung ersichtlich, wenn sie im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen gelesen wird, für die Folgendes gilt:
- 1 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für einen Zustand darstellt, in dem ein Reflexionstyp-Encoder 100 gemäß einer Ausführungsform auf einem Motor 50 angebracht ist.
- 2A bis 2C sind Diagramme, welche ein Beispiel für den Reflexionstyp-Encoder 100 gemäß der Ausführungsform darstellen.
- 3A bis 3C sind Diagramme, welche ein Beispiel für ein Substrat 101 und ein optisches Modul 120 gemäß der Ausführungsform darstellen.
- 4 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für eine Konfiguration einer absoluten Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung 80 gemäß der Ausführungsform darstellt.
- 5 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für eine Schaltkonfiguration eines Schaltteils 130B einer Schalteinheit 130 gemäß der Ausführungsform darstellt.
- 6 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für eine Anordnung von 10 Lichtempfangselementen 124 darstellt und ein Extraktionsverfahren von zwei Code-Strings für einen M-Sequenzcode von 9 Bits darstellt.
- 7 ist ein Ablaufdiagramm, welches ein Beispiel für einen Teil eines Prozesses in einem Mikrocomputer 150 darstellt.
- 8 ist ein Ablaufdiagramm, welches ein Beispiel für einen Teil eines Prozesses in einem Mikrocomputer 160A darstellt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
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AUS FÜHRUNGS FORMEN
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Im Folgenden werden Ausführungsformen beschrieben, auf die die absolute Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung und das Steuerverfahren der absoluten Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung angewandt werden.
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<Ausführungsform>
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1 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für einen Zustand darstellt, in dem ein Reflexionstyp-Encoder 100 gemäß der Ausführungsform auf einem Motor 50 angebracht ist. In der folgenden Beschreibung wird ein XYZ-Koordinatensystem verwendet, und eine Betrachtung in einer XY-Ebene wird als eine Draufsicht bezeichnet.
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Ein Reflexionstyp-Encoder 100 beinhaltet ein Substrat 101, eine Skalenplatte 110, ein optisches Modul 120, eine Schalteinheit 130, einen Verbinder 135 und eine Encoder-Abdeckung 140. Im Folgenden werden 2A bis 3C zusätzlich zu 1 für die Beschreibung verwendet.
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2A bis 2C sind Diagramme, welche den Reflexionstyp-Encoder 100 gemäß der Ausführungsform darstellen. 2A stellt einen Teil des Reflexionstyp-Encoders 100 in einer Draufsicht transparent dar. 2B stellt eine Konfiguration einer Seitenfläche des Reflexionstyp-Encoders 100, betrachtet in einer XZ-Ebene, dar. 2C stellt eine Konfiguration einer Seitenfläche des Reflexionstyp-Encoders 100, betrachtet in einer YZ-Ebene, dar. 3A bis 3C sind Diagramme, welche das Substrat 101 und das optische Modul 120 darstellen.
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Die Encoder-Abdeckung 140 wird beschrieben. Die Encoder-Abdeckung 140 besteht aus Harz und ist ein Element mit einem zylindrischen Wandteil 140A, wie in 1 dargestellt. Die Encoder-Abdeckung 140 hat eine Struktur, in der beide Enden des zylindrischen Wandteils 140A geöffnet sind. Die Encoder-Abdeckung ist ein Beispiel für eine Abdeckung.
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Mit einem Endabschnitt der Encoder-Abdeckung 140 auf einer negativen Seite der Z-Achse ist ein scheibenähnliches Substrat 101 verbunden. Äußere Durchmesser der Encoder-Abdeckung 140 und des Substrats 101 sind die gleichen. Ferner ist mit einem Endabschnitt der Encoder-Abdeckung 140 auf einer positiven Seite der Z-Achse ein zylindrisches Gehäuse 50A des Motors 50 verbunden. Äußere Durchmesser der Encoder-Abdeckung 140 und des Gehäuses 50A des Motors 50 sind zum Beispiel die gleichen. Der Motor 50 ist zum Beispiel ein Servo-Motor. Auf dem Gehäuse 50A auf der negativen Seite der Z-Achse ist ein Wandteil parallel zu dem Substrat 101 angeordnet, und eine Rotationsachse des Motors 50 geht in einer Draufsicht durch ein Zentrum des Wandteils hindurch.
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Die Encoder-Abdeckung 140 beherbergt die Skalenplatte 110, das optische Modul 120, andere elektronische Teile und dergleichen innerhalb eines Raums, der von dem Substrat 101 und einem Wandteil des Gehäuses 50A des Motors 50 eingeschlossen wird.
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Als nächstes werden das Substrat 101, die Skalenplatte 110, das optische Modul 120, die Schalteinheit 130 und der Verbinder 135 beschrieben.
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Das Substrat 101 ist ein kreisförmiges Leitersubstrat in einer Draufsicht. Für das Substrat 101 kann zum Beispiel ein Leitersubstrat eines FR-4 (Flame Retardant Typ 4)-Standards verwendet werden. Auf einer Fläche des Substrats 101 auf der positiven Seite der Z-Achse (Fläche der Motorseite) ist das optische Modul 120 implementiert. Auf einer Fläche des Substrats 101 auf der negativen Seite der Z-Achse (Fläche der dem Motor gegenüberliegenden Seite) sind die Schalteinheit 130 und der Verbinder 135 implementiert. Obwohl in dem Substrat 101 elektronische Teile oder dergleichen, welche eine Schaltung konfigurieren, die mit dem optischen Modul 120 verbunden ist, außer der Schalteinheit 130 und dem Verbinder 135 implementiert sind, wird eine Darstellung der genannten elektronischen Teile oder dergleichen weggelassen.
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Die Skalenplatte 110 hat zum Beispiel einen Scheibenteil (Spaltplatte) 110A, der aus einem Metall oder einem Glas besteht, und eine Rotationsachse 110B, die an einem Zentrum des Scheibenteils 110A auf der positiven Seite der Z-Achse montiert ist. Die Rotationsachse 110B ist an der Rotationsachse des Motors 50 fixiert. Die Skalenplatte 110 rotiert um die Rotationsachse 110B in der XY-Ebene, entsprechend der Rotation der Rotationsachse des Motors 50. Daher sind die Rotationsrichtung und die Umfangsrichtung der kreisförmigen Skalenplatte 110 in der Draufsicht die gleichen.
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Der Scheibenteil 110A der Skalenplatte 110 ist parallel zu dem Substrat 101. Auf der Fläche der Skalenplatte 110 auf der negativen Seite der Z-Achse sind, wie in 2 dargestellt, Reflexionsteile 111 und 112 entlang des äußeren Umfangs angeordnet. Der Reflexionsteil 111 ist ein Reflexionsteil für ein inkrementelles Muster, und der Reflexionsteil 112 ist ein Reflexionsteil für ein absolutes Muster. Die Skalenplatte 110 ist ein Beispiel für ein Reflexionselement, und die Reflexionsteile 111 und 112 sind Beispiele für ein Reflexionsmuster. Die Fläche der Skalenplatte 110 auf der negativen Seite der Z-Achse ist ein Beispiel für eine erste Fläche. Das absolute Muster spezifiziert eine absolute Position unter Verwendung eines M-Sequenzmusters von 9 Bits. In diesem Beispiel sind 512 Reflexionsteile 112 in der Umfangsrichtung der Skalenplatte 110 angeordnet.
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Die Reflexionsteile 111 werden bereitgestellt, zum Beispiel indem Nicht-Reflexionsteile 111A, welche Licht nicht reflektieren (oder mit einem geringeren Reflexionsgrad als die Reflexionsteile 111) zwischen den Reflexionsteilen 111 angeordnet werden. Die Nicht-Reflexionsteile 111A werden bereitgestellt, zum Beispiel indem ein Lichtabsorber, der Licht absorbiert, aufgetragen wird. Das gleiche gilt für die Reflexionsteile 112. Die Reflexionsteile 112 werden bereitgestellt, indem Nicht-Reflexionsteile 112A, welche bereitgestellt werden, indem ein Lichtabsorber aufgetragen wird, zwischen den Reflexionsteilen 112 angeordnet werden.
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Die Skalenplatte 110 reflektiert Licht, das von einer LED 121 in dem optischen Modul 120 emittiert wird, zu Lichtempfangselementen 123 und 124 in dem optischen Modul 120. Reflektiertes Licht, das von der LED 121 emittiert wird und an dem Reflexionsteil 111 reflektiert wird, erreicht das Lichtempfangselement 123, und reflektiertes Licht, das von der LED 121 emittiert wird und an dem Reflexionsteil 112 reflektiert wird, erreicht das Lichtempfangselement 124.
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Ferner sind in dem Fall, wenn die Skalenplatte 110 aus Glas besteht, die Nicht-Reflexionsteile 111A und 112A zum Beispiel Gebiete, durch die Licht hindurchgeht und in denen metallische Ebenen, welche als die Reflexionsteile 111 und 112 dienen, nicht angeordnet sind.
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Breiten all der Reflexionsteile 111 in der Umfangsrichtung sind die gleichen, und die Breiten der Reflexionsteile 111 und Breiten der Nicht-Reflexionsteile 111A in der Umfangsrichtung der Skalenplatte sind die gleichen. Die Reflexionsteile 111 sind in regelmäßigen Intervallen in der Umfangsrichtung (mit gleichem Abstand) angeordnet. Die M-Sequenzcode-Reflexionsteile 112 drücken einen vorbestimmten Wert einer binären Zahl aus und sind als ein Code-String konfiguriert, in dem Kombinationen von N aufeinanderfolgenden Codes voneinander verschieden sind. Man beachte, dass es schwierig ist, die M-Sequenzcode-Reflexionsteile 112 präzise darzustellen, und daher, um die Erklärung zu vereinfachen, die M-Sequenzcode-Reflexionsteile 112 mit der gleichen Form wie die Reflexionsteile 111 dargestellt werden.
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Das optische Modul 120 beinhaltet einen Basisteil 120A, die LED 121, die Lichtempfangselemente 123 und 124. Das optische Modul 120 ist an einer Fläche des Substrats 101 auf der positiven Seite der Z-Achse montiert und zeigt in Richtung der Skalenplatte 110. Der Basisteil 120A ist eine flache Platte wie ein Substrat mit einer rechteckigen Form in einer Draufsicht. Auf einer Fläche des Basisteils 120A der positiven Seite der Z-Achse sind die LED 121 und die Lichtempfangselemente 123 und 124 angeordnet.
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Die LED 121 hat eine Lichtemissionseinheit 121A zum Emittieren von Laserlicht an einem Zentrum der LED 121 in einer Draufsicht, und eine lichtemittierende Fläche der Lichtemissionseinheit 121A zeigt in Richtung der positiven Seite der Z-Achse. Das heißt, die LED 121 zeigt in Richtung einer Fläche der Skalenplatte 110 auf der negativen Seite der Z-Achse. Die LED 121 ist eine Lambert-Typ-LED, und ein Lichtdurchmesser der Lichtemissionseinheit 121A liegt in einem Bereich von zum Beispiel 30 µm bis 100 µm.
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2A zeigt eine gerade Linie C, die durch ein Zentrum der Skalenplatte 110 geht und sich in einer Radiusrichtung der Skalenplatte 110 erstreckt. Die Lichtemissionseinheit 121A befindet sich auf der Linie C, und das Zentrum der Skalenplatte 110 befindet sich auf der negativen Seite der Y-Achse eines Transmissionsteils.
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Das Lichtempfangselement 123 ist ein Lichtempfangselement für ein inkrementelles Muster. Zum Beispiel kann eine Photodiode (PD) für das Lichtempfangselement 123 verwendet werden. Die Lichtempfangselemente 123, von denen jedes eine A-Phasen-Sinuswelle und eine B-Phasen-Sinuswelle erzeugt, sind in einer Sektorform mit einem gleichen Abstand entlang einer Rotationsrichtung der Skalenplatte 110 angeordnet. Der Abstand des Lichtemissionselements 123 ist ein Abstand zwischen Zentren der benachbarten Lichtemissionselemente 123 in der Rotationsrichtung der Skalenplatte 110.
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In 2A sind im Sinne einer einfachen Erklärung Zahlen 1 bis 7 sieben Reflexionsteilen 111 links der Linie C fortlaufend entgegen dem Uhrzeigersinn zugeordnet. Ferner sind Zahlen 1 bis 7 sieben Lichtempfangselementen 123 links der Linie C fortlaufend entgegen dem Uhrzeigersinn zugeordnet. Eine Randseite des Reflexionsteils 111 Nummer 1 in der Umfangsrichtung überlappt mit der Linie C, wie in 2A dargestellt.
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In diesem Zustand wird reflektiertes Licht, das von der Lambert-Typ-LED 121 emittiert wird und an den Reflexionsteilen 111 der Zahlen 1 bis 7 reflektiert wird, jeweils von den Lichtempfangselementen 123 der Zahlen 1 bis 7 empfangen. Licht, dass von der Lambert-Typ-LED 121 emittiert wird, wird auch von sieben Lichtempfangselementen 123, symmetrisch in Bezug auf die YZ-Ebene einschließlich der Linie C, empfangen.
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Das Lichtempfangselement 124 ist ein Lichtempfangselement für ein absolutes Muster. Zum Beispiel kann eine Photodiode (PD) für das Lichtempfangselement 124 verwendet werden. Eine Anzahl der Lichtempfangselemente 124 ist 10, was um eins größer als die Anzahl von Bits (9 Bits) zur Erfassung eines Winkels der Skalenplatte 110 entsprechend dem M-Sequenzcode ist. Die Lichtempfangselemente 124 sind in einer Sektorform entlang der Rotationsrichtung der Skalenplatte 110 angeordnet. In 2A sind Zahlen 1 bis 10 zehn Lichtempfangselementen 124 von dem am weitesten links liegenden Lichtempfangselement 124 fortlaufend im Uhrzeigersinn zugeordnet, sodass die Lichtempfangselemente 124 erste bis zehnte Bits anzeigen. Das fünfte Lichtempfangselement 124 ist so angeordnet, dass sich ein Zentrum einer Breite des fünften Lichtempfangselements 124 in der Rotationsrichtung der Skalenplatte 110 auf der Linie C befindet.
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Das Lichtempfangselement 124 empfängt ein Reflexionslicht von dem Reflexionsteil 112 für ein absolutes Muster, führt eine photoelektrische Umwandlung durch und gibt einen Photostrom aus.
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Reflektiertes Licht, das von der Lambert-Typ-LED 121 emittiert wird und an den Reflexionsteilen 112 reflektiert wird, wird von den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 10 empfangen. Zwei Code-Strings von 9 Bits für einen M-Sequenzcode werden erhalten, indem unter den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 10 die Lichtempfangselemente 124 der Zahlen 1 bis 9 und die Lichtempfangselemente 124 der Zahlen 2 bis 10 verwendet werden.
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Die Schalteinheit 130 ist mit den Lichtempfangselementen 123 und 124 durch Leitungen, die in dem Substrat 101 enthalten sind, verbunden. Die Schalteinheit 130 erzeugt ein Sinuswellen-Signal entsprechend dem Photostrom-Ausgang von dem Lichtempfangselement 123 und gibt einen M-Sequenzcode entsprechend dem Photostrom-Ausgang (Signalniveauwert) von dem Lichtempfangselement 124 aus.
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Der Verbinder 135 ist eine Klemme zum Extrahieren eines Ausgabesignals von dem Reflexionstyp-Encoder 100 an eine externe Vorrichtung.
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4 ist ein Diagramm, welches eine Konfiguration der absoluten Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung 80 darstellt. 5 ist ein Diagramm, welches eine Schaltkonfiguration eines Schaltteils 130B der Schalteinheit 130 darstellt. 6 ist ein Diagramm, welches eine Anordnung von 10 Lichtempfangselementen 124 darstellt und ein Verfahren zur Extraktion von zwei Code-Strings von 9 Bits für M-Sequenzcodes darstellt.
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Wie in 4 dargestellt, beinhaltet die absolute Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung 80 den Reflexionstyp-Encoder 100 und einen Servo-Verstärker 160. In 4 sind als Konfigurationselemente des Reflexionstyp-Encoders 100 die LED 121, die Lichtempfangselemente 123 und 124, die Schalteinheit 130 und ein Mikrocomputer 150 dargestellt. Der Mikrocomputer 150 ist in dem Substrat 101 installiert.
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Die LED 121 ist mit dem Mikrocomputer 150 verbunden, und die Lichtempfangselemente 123 und 124 sind über den Schaltelementteil 130 mit dem Mikrocomputer 150 verbunden.
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Die Schalteinheit 130 beinhaltet Schaltteile 130A und 130B. Der Schaltteil 130A ist mit dem Lichtempfangselement 123 verbunden und erzeugt eine A-Phasen-Sinuswelle und eine B-Phasen-Sinuswelle. Der Schaltteil 130B ist mit den Lichtempfangselementen 124 verbunden und gibt einen M-Sequenzcode aus.
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Der Schaltteil 130B wird mit Bezugnahme auf 5 beschrieben. 5 stellt eine Schaltkonfiguration des Schaltteils 130B dar, welches mit einem der 10 Lichtempfangselemente 124 für 10 Bits verbunden ist. Schaltkonfigurationen der 10 Schaltteile 130B, welche jeweils mit den 10 Lichtempfangselementen 124 verbunden sind, sind die gleichen.
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Der Schaltteil 130B beinhaltet einen Widerstand 131, einen Komparator 132, eine Spannungsteilerschaltung 133 und eine Ausgangsklemme 134.
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Das Lichtempfangselement 124, das mit dem Schaltteil 130B verbunden ist, ist mit einer Leistungsquelle verbunden, sodass eine Sperrvorspannung zwischen einer Anode und einer Katode angelegt ist. Mit einer Anode des Lichtempfangselements 124 ist eine nichtinvertierende Eingangsklemme des Komparators 132 verbunden, und ein Widerstand 131 ist in Reihe zwischen der Masse und einem Abzweig von einer Verbindung zwischen der Anode des Lichtempfangselements 124 und der nichtinvertierenden Eingangsklemme des Komparators 132 eingefügt. Der Widerstand 131 ist ein Beispiel für einen Stromspannungswandler zur Umwandlung eines Photostrom-Ausgangs von der Anode des Lichtempfangselements 124 in einen elektrischen Spannungswert.
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Ferner ist mit der invertierenden Eingangsklemme des Komparators 132 die Spannungsteilerschaltung 133 verbunden, und mit einer Ausgangsklemme des Komparators 132 ist die Ausgangsklemme 134 verbunden. Die Spannungsteilerschaltung 133 beinhaltet zwei Widerstände, welche in Reihe zwischen der Leistungsquelle und der Masse verbunden sind, teilt eine Quellspannung und gibt die geteilte Spannung von einem Mittelpunkt der zwei Widerstände zu der invertierenden Eingangsklemme des Komparators 132 als eine Schwellspannung aus. Die Spannungsteilerschaltung 133 ist ein Beispiel für eine Schwellwertausgangseinheit. Der Widerstand 131, der Komparator 132 und die Spannungsteilerschaltung 133 sind Beispiele für eine Niveau-Bestimmungseinheit. Die Ausgangsklemme 134 ist mit dem Servo-Verstärker 160 verbunden.
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Der Mikrocomputer 150 beinhaltet, wie in 4 dargestellt, eine Hauptsteuereinheit 151, eine Lichtemissionssteuereinheit 152, Datenverarbeitungseinheiten 153 und 154 und einen Speicher 155. Der Mikrocomputer 51 wird durch einen Computer realisiert, welcher ein CPU (Central Processing Unit), ein RAM (Random Access Memory), ein ROM (Read Only Memory), eine Eingabe-/Ausgabeschnittstelle, einen internen Bus und dergleichen beinhaltet. Die Hauptsteuereinheit 151, die Lichtemissionssteuereinheit 152, die Datenverarbeitungseinheiten 153 und 154 sind als Funktionsblöcke von Funktionen von Programmen, die durch den Mikrocomputer 150 ausgeführt werden, dargestellt. Ferner ist der Speicher 155 ein Funktionsblock, welcher eine Funktion des Speichers des Mikrocomputers 150 ausdrückt.
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Die Hauptsteuereinheit 151 führt eine andere Verarbeitung als die Verarbeitung durch, welche die Lichtemissionssteuereinheit 152 und die Datenverarbeitungseinheiten 153 und 154 durchführen. Die Hauptsteuereinheit 151 ist eine Steuereinheit für eine Gesamtsteuerung einer Verarbeitung des Mikrocomputers 150. Die Lichtemissionssteuereinheit 152 führt eine Beleuchtungssteuerung der LED 121 durch.
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Die Datenverarbeitungseinheit 153 vergleicht eine A-Phasen-Sinuswelle und eine B-Phasen-Sinuswelle, die von dem Schaltteil 130A ausgegeben werden, mit einer vorbestimmten Bestimmungsschwelle, binarisiert die Sinuswellen und gibt die binarisierten Daten an den Servo-Verstärker 160 aus.
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Die Datenverarbeitungseinheit 154 extrahiert von einem Code-String für einen M-Sequenzcode von 10 Bits, der von dem Schaltteil 130 B ausgegeben wird, wie in 6 dargestellt, einen Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 und einen Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10, und gibt die zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits an den Servo-Verstärker 160 aus.Wenn zum Beispiel, wie in 6 dargestellt, der Code-String für den M-Sequenzcode von 10 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 10 „1011001111“ ist, ist der Code-String für den M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 „101100111“, und der Code-String für den M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 ist „011001111“.
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In der Ausführungsform ist 9 Bits ein Beispiel für N Bits, und 10 Bits ist ein Beispiel für K Bits, wobei K größer als N ist. Ein Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 ist ein Beispiel für eine erste Gruppe von N aufeinanderfolgenden Codes, und ein Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 ist ein Beispiel für eine zweite Gruppe von N aufeinanderfolgenden Codes.
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Der Speicher 155 speichert Daten und Programme, die zur Ausführung einer Verarbeitung durch die Hauptsteuereinheit 151, die Lichtemissionssteuereinheit 152 und die Datenverarbeitungseinheiten 153 und 154 benötigt werden.
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Man beachte, dass die binarisierten Daten und ausgewählte Phasendaten, die von der Datenverarbeitungseinheit 153 erzeugt werden, und der Code-String für eine M-Sequenz von 9 Bits, welcher von der Datenverarbeitungseinheit 154 erzeugt wird, über den Verbinder 135 an den Servo-Verstärker 160 ausgegeben werden.
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Der Servo-Verstärker 160 beinhaltet einen Mikrocomputer 160A. Der Mikrocomputer 160A beinhaltet eine Hauptsteuereinheit 161, eine Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162, eine Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 und einen Speicher 164.
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Der Mikrocomputer 160A wird durch einen Computer realisiert, welcher ein CPU, ein RAM, ein ROM, eine Eingabe-/Ausgabeschnittstelle, einen internen Bus und dergleichen beinhaltet. Die Hauptsteuereinheit 161, die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 und die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 sind als Funktionsblöcke von Funktionen von Programmen, die von dem Mikrocomputer 160A ausgeführt werden, dargestellt. Ferner ist der Speicher 164 ein Funktionsblock, welcher eine Funktion des Speichers des Mikrocomputers 160 A ausdrückt.
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Die Hauptsteuereinheit 161 führt eine andere Verarbeitung als die Verarbeitung durch, welche die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 und die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 durchführen. Die Hauptsteuereinheit 161 ist eine Steuereinheit für eine Gesamtsteuerung einer Verarbeitung des Mikrocomputers 160A.
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Die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 führt eine Verarbeitung einer Erfassung einer Rotationsposition der Skalenplatte 110 basierend auf den binarisierten Daten, die von der Datenverarbeitungseinheit 153 des Mikrocomputers 150 eingegeben werden, und den zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits, die von der Datenverarbeitungseinheit 154 eingegeben werden, aus.
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In der Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 werden die binarisierten Daten, die von der Datenverarbeitungseinheit 153 eingegeben werden, zur Erfassung einer mehrfachen Rotation verwendet.
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Ferner kollationiert die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 die zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits, die von der Datenverarbeitungseinheit 154 eingegeben werden, mit M-Sequenzcode-Referenzdaten, die in dem Speicher 164 gespeichert sind, und erhält einen Winkelwert, in dem alle aufeinanderfolgenden neun Codes von ‚1‘ oder ‚0‘, die in dem Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits enthalten sind, vorhanden sind, unter aufeinanderfolgenden 512 M-Sequenzcode-Referenzdaten, welche Codes von ‚1‘ oder ‚0‘ beinhalten. Die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 erhält zwei Winkelwerte, die von den zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits angezeigt werden, durch die Verarbeitung.
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In dem Fall von 9 Bits haben die M-Sequenzcode-Referenzdaten Winkelwerte in 0,7 Grad-Intervallen, weil 360 Grad geteilt durch 512 etwa 0,7 Grad ist.
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Die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 bestimmt, ob eine Differenz zwischen den zwei Winkelwerten eine vorbestimmte Bedingung erfüllt. Das heißt, die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 bestimmt, ob die Differenz zwischen den zwei Winkelwerten 0,7 Grad beträgt. Wenn die Differenz 0,7 Grad beträgt, gibt die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 den Winkelwert, der von dem Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 angezeigt wird, als einen Winkelwert (absolute Position) der Skalenplatte 110 aus. Die Differenz zwischen den zwei Winkelwerten, welche 0,7 Grad beträgt, bedeutet, dass eine Differenz zwischen dem Winkelwert, der von dem Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 angezeigt wird, welcher zum Beispiel 70,0 Grad beträgt, und dem Winkelwert, der von dem Code-String für eine M-Sequenz von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 angezeigt wird, welcher zum Beispiel 70,7 Grad beträgt, ein vorbestimmter Wert ist (0,7 Grad). Der vorbestimmte Wert wird durch die Anzahl der Reflexionsteile 112, die auf der Skalenplatte 110 angeordnet sind, bestimmt. Die Winkelwerte von 70 Grad und von 70,7 Grad sind Beispiele für eine erste Positionsinformation und eine zweite Positionsinformation.
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Wenn die Differenz zwischen den zwei Winkelwerten nicht 0,7 Grad beträgt, bestimmt die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162, dass die Differenz zwischen den zwei Winkelwerten nicht die vorbestimmte Bedingung erfüllt, und sendet Abweichdaten, welche anzeigen, dass die Differenz zwischen den Winkelwerten nicht 0,7 Grad beträgt, an die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163.
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Wenn die Daten, welche anzeigen, dass die Differenz zwischen den Winkelwerten nicht 0,7 Grad beträgt, von der Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 gesendet werden, bestimmt die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163, dass eine Unregelmäßigkeit in einem Erfassungsprozess vorliegt. Der Erfassungsprozess ist ein Prozess, in dem die LED 121 Licht emittiert, das Licht an dem Reflexionsteil 112 reflektiert wird und das Licht von dem Lichtempfangselement empfangen wird. Zum Beispiel kann in dem Fall, wenn Staub an dem Lichtempfangselement 124 haftet oder ein Kratzer auf dem Lichtempfangselement 124 vorliegt, in dem Fall, wenn die LED 121 nicht Licht emittiert, in dem Fall, wenn der Reflexionsteil 112 ein anderes Licht als das Licht, das von der LED 121 emittiert wird, reflektiert, oder in dem Fall, wenn das Lichtempfangselement 124 ein anderes Licht als das Licht, das von der LED 121 emittiert wird, empfängt, ein korrekter M-Sequenzcode nicht erhalten werden.
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Wenn die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 bestimmt, dass eine Unregelmäßigkeit vorliegt, veranlasst die Hauptsteuereinheit 161 den Mikrocomputer, wieder den Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 und den Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 zu erhalten.
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Wenn ferner die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 kontinuierlich zweimal bestimmt, dass eine Unregelmäßigkeit vorliegt, zeigt die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 an, dass ein Fehler vorliegt.
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Der Speicher 164 speichert Daten und Programme, die benötigt werden, um eine Verarbeitung durch die Hauptsteuereinheit 161, die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 und die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 durchzuführen, und die aufeinanderfolgenden 512 M-Sequenzcode-Referenzdaten einschließlich Werten von ‚1‘ oder ‚0‘ .
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7 ist ein Ablaufdiagramm, welches einen Prozess darstellt, in dem zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits extrahiert werden und die Codes an den Servo-Verstärker 160 durch den Mikrocomputer 150 ausgegeben werden.
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Der Prozess, der durch die Datenverarbeitungseinheit 154 durchgeführt wird, wie in 7 dargestellt, wird wiederholt durchgeführt, während die Leistung des Reflexionstyp-Encoders 100 AN ist.
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Wenn der Prozess beginnt, bestimmt die Datenverarbeitungseinheit 154, ob ein Code-String für einen M-Sequenzcode von 10 Bits von dem Schaltteil 130B eingegeben wird (Schritt S1).
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Wenn die Datenverarbeitungseinheit 154 bestimmt, dass der Code-String für einen M-Sequenzcode von 10 Bits eingegeben wird (Schritt 1: JA), extrahiert die Datenverarbeitungseinheit 154 einen Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 und einen Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 (Schritt S2).
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Die Hauptsteuereinheit 151 gibt den Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 und den Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 an den Servo-Verstärker 160 aus (Schritt S3).
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Die Hauptsteuereinheit 151 bestimmt, ob die Leistung des Reflexionstyp-Encoders 100 AUS ist (Schritt S4) .
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Wenn die Hauptsteuereinheit 151 bestimmt, dass die Leistung nicht AUS ist (Schritt S4: NEIN), kehrt die Hauptsteuereinheit 151 im Ablauf zurück zu Schritt S1. Wenn die Hauptsteuereinheit 151 bestimmt, dass die Leistung AUS ist (Schritt S4: JA), endet der Ablauf des Prozesses (ENDE).
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Gemäß dem vorgenannten Prozess, der durch die Datenverarbeitungseinheit 154 und die Hauptsteuereinheit 151 durchgeführt wird, werden der Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 und der Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 extrahiert und an den Servo-Verstärker 160 ausgegeben.
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8 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Prozess, bei dem die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 zwei Winkelwerte von den zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits erhält, und einen Prozess, bei dem die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 mit einer Unregelmäßigkeit umgeht, darstellt.
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Wenn der Prozess beginnt, kollationiert die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 die zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits, welche von der Datenverarbeitungseinheit 154 eingegeben werden, mit den M-Sequenzcode-Referenzdaten, die in dem Speicher 164 gespeichert sind, um zwei Winkelwerte zu erhalten (Schritt S11) .
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Die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 bestimmt, ob eine Differenz zwischen den zwei Winkelwerten 0,7 Grad beträgt (Schritt S12).
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Wenn die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 bestimmt, dass die Differenz zwischen den zwei Winkelwerten 0,7 Grad beträgt (Schritt S12: JA), gibt die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 den Winkelwert, der durch den Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 angezeigt wird, als einen Winkelwert der Skalenplatte 110 aus (Schritt S13).
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Wenn die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 bestimmt, dass die Differenz zwischen den zwei Winkelwerten nicht 0,7 Grad beträgt (Schritt S12: NEIN), sendet die Positionsinformations-Verarbeitungseinheit 162 Abweichdaten (Schritt S14).
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Wenn die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 die Abweichdaten empfängt, bestimmt die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163, dass eine Unregelmäßigkeit vorliegt (Schritt S15).
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Die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 bestimmt, ob eine Unregelmäßigkeit kontinuierlich zweimal vorliegt (Schritt S16). Die Bestimmung, ob die Unregelmäßigkeit kontinuierlich zweimal vorliegt, kann zum Beispiel durchgeführt werden, indem bestimmt wird, ob andere Abweichdaten innerhalb eines Zeitraums, welcher eine vorbestimmte Zeit, die benötigt wird, um zwei Winkelwerte zu erhalten, und eine vorbestimmte Gewährungszeit beinhaltet, seit dem vorherigen Empfang der Abweichdaten empfangen werden.
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Wenn die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 bestimmt, dass eine Unregelmäßigkeit nicht kontinuierlich zweifach vorliegt (Schritt S16: NEIN), sendet die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 eine Instruktion von der Hauptsteuereinheit 161 an den Mikrocomputer 150, um den Mikrocomputer 150 zu veranlassen, zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits wieder zu erhalten (S17).
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Wenn die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 bestimmt, dass eine Unregelmäßigkeit kontinuierlich zweifach vorliegt (Schritt S16: JA), sendet die Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit 163 eine Instruktion von der Hauptsteuereinheit 161 an den Mikrocomputer 150, um darzustellen, dass ein Fehler vorliegt.
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Wenn die Prozesse der Schritte S13, S17 und S18 beendet sind, bestimmt die Hauptsteuereinheit 161, ob eine Leistung des Reflexionstyp-Encoders 100 AUS ist (Schritt S19) .
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Wenn die Hauptsteuereinheit 161 bestimmt, dass die Leistung nicht AUS ist (Schritt S19: NEIN), kehrt die Hauptsteuereinheit 161 im Ablauf zurück zu Schritt S11, und wenn die Hauptsteuereinheit 161 bestimmt, dass die Leistung AUS ist (Schritt S19: JA), endet der Ablauf des Prozesses (ENDE).
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Gemäß dem vorliegenden Prozess werden die Winkelwerte basierend auf zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits erhalten. Wenn eine Abweichung zwischen den zwei Winkeln vorhanden ist, wird bestimmt, dass eine Unregelmäßigkeit vorliegt, und ein Prozess zur Behebung der Unregelmäßigkeit wird durchgeführt.
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Da in der Ausführungsform ein Winkelwert mit einem Fehler-Check unter Verwendung von zwei Winkelwerten, die von zwei Code-Strings für eine M-Sequenz von 9 Bits erhalten werden, erhalten wird, kann ein Wert eines Code-Strings für einen M-Sequenzcode von 9 Bits des Reflexionsteils 112 korrekt erfasst werden, eine fehlerhafte Erfassung kann unterdrückt werden und die Verlässlichkeit kann erhöht werden.
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Daher kann gemäß der Ausführungsform ein hochverlässlicher Reflexionstyp-Encoder 100 bereitgestellt werden.
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Wenn eine fehlerhafte Erfassung oder eine Fehlfunktion in einer Steuerung eines Motors 50 unter Verwendung eines Reflexionstyp-Encoders 100 vorhanden ist, kann eine Rotationsposition des Motors 50 nicht korrekt gesteuert werden. Indem solch ein hochverlässlicher Reflexionstyp-Encoder 100 verwendet wird, kann die Rotationsposition des Motors 50 korrekt gesteuert werden. Das gleiche gilt für andere Vorrichtungen als den Motor 50.
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Man beachte, dass in der Ausführungsform ein Modus zur Bestimmung, ob eine Differenz zwischen zwei Winkelwerten 0,7 Grad ist, beschrieben wurde für eine Bestimmung, ob eine vorbestimmte Bedingung erfüllt ist. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, und der Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 kann mit dem Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 verglichen werden. Speziell werden ein Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits der Zahlen 1 bis 9, welche eine erste Gruppe von 9 aufeinanderfolgenden Codes sind, und ein Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits der Zahlen 2 bis 10, welche eine zweite Gruppe von 9 aufeinanderfolgenden Codes sind, erhalten, und es kann bestimmt werden, ob eine Ordnung der ersten Gruppe von 9 aufeinanderfolgenden Codes und der zweiten Gruppe von 9 aufeinanderfolgenden Codes eine vorbestimmte Ordnung ist.
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Ferner wurde in der Ausführungsform ein Modus beschrieben, in dem der Reflexionstyp-Encoder 100 10 Lichtempfangselemente 124 beinhaltet und ein Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9 und ein Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 2 bis 10 verwendet werden. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, und wenn mehr als zehn Lichtempfangselemente 124 in dem Reflexionstyp-Encoder 100 enthalten sind, kann ein Winkel basierend auf einem Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits erfasst werden, welcher um zwei oder mehr Code-Einheiten verschoben ist, in Bezug auf den Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits basierend auf den Lichtempfangselementen 124 der Zahlen 1 bis 9, um eine Genauigkeit einer Winkeldifferenz zu bestimmen. Zum Beispiel beträgt in dem Fall, wenn der Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits um zwei Code-Einheiten verschoben wird, die Winkeldifferenz 1,4 Grad, und in dem Fall, wenn der Code-String für einen M-Sequenzcode von 9 Bits um drei Code-Einheiten verschoben wird, beträgt die Winkeldifferenz 2,1 Grad.
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Ferner wurde in der vorgenannten Ausführungsform ein Modus beschrieben, in dem die Lichtempfangselemente 124 für 9 Bits angeordnet sind. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, das heißt, die Größe der Lichtempfangselemente 124 ist nicht auf 9 Bits beschränkt, und kann 8 Bits oder weniger, oder 10 Bits oder mehr sein.
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Ferner wurde in der vorgenannten Ausführungsform ein Modus beschrieben, in dem das Gehäuse 50A des Motors 50 auf der positiven Seite der Z-Achse der Encoder-Abdeckung 140 angebracht ist. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Das Substrat kann anstatt des Gehäuses 50A auf der Encoder-Abdeckung 140 angebracht sein, wobei der Motor 50 auf der positiven Seite der Z-Achse des Substrats angebracht ist.
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Ferner wurde in der vorgenannten Ausführungsform ein Modus beschrieben, in dem die Encoder-Abdeckung 140 eine zylindrische Form hat. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, und die Encoder-Abdeckung 140 kann eine andere Form haben, wie zum Beispiel eine quadratzylindrische Form oder dergleichen.
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Ferner wurde in der vorgenannten Ausführungsform ein Modus beschrieben, in dem die Reflexionsteile 111 und 112 auf der Fläche der negativen Seite der Z-Achse der Skalenplatte 110 angeordnet sind. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, und die Reflexionsteile 111 und 112 können auf einer Fläche der positiven Seite der Z-Achse der Skalenplatte 110 angeordnet sein. In diesem Fall kann ein Substrat oder dergleichen auf der positiven Seite der Z-Achse der Skalenplatte 110 bereitgestellt sein, und das optische Modul 120 kann auf der negativen Seite der Z-Achse des Substrats angeordnet sein, um in Richtung der Reflexionsteile 111 und 112 zu zeigen.
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Ferner wurde in der vorgenannten Ausführungsform ein Modus beschrieben, in dem der Reflexionstyp-Encoder 100 ein Rotationstyp-Encoder ist. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, und ein Reflexionstyp-Encoder 100 kann ein Lineartyp-Encoder sein.
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Wie oben beschrieben, wurden eine absolute Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung und ein Verfahren zur Steuerung der absoluten Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung gemäß der beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Ausführungsform beschränkt, die speziell offenbart wird. Verschiedene Variationen und Modifikationen können vorgenommen werden, ohne von dem Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen, der in Ansprüchen beschrieben wird.
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Die vorliegende Erfindung basiert auf der japanischen Prioritätsanmeldung Nr. 2018-050141, eingereicht am 16. März 2018, und nimmt deren Priorität in Anspruch; ihr gesamter Inhalt wird hiermit durch Bezugnahme einbezogen.
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Bezugszeichenliste
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- 50
- Motor
- 50A
- Gehäuse
- 80
- Absolute Positionsinformations-Erfassungsvorrichtung
- 100
- Reflexionstyp-Encoder
- 110
- Skalenplatte
- 111,112
- Reflexionsteil
- 120
- Optisches Modul
- 120A
- Basisteil
- 121
- LED
- 123,124
- Lichtempfangendes Element
- 130
- Schalteinheit
- 130A,130B
- Schaltteil
- 140
- Encoder-Abdeckung
- 150
- Mikrocomputer
- 151
- Hauptsteuereinheit
- 152
- Lichtemissionssteuereinheit
- 153,154
- Datenverarbeitungseinheit
- 155
- Speicher
- 160
- Servo-Verstärker
- 160A
- Mikrocomputer
- 161
- Hauptsteuereinheit
- 162
- Positionsinformations-Verarbeitungseinheit
- 163
- Unregelmäßigkeits-Bestimmungseinheit
- 164
- Speicher
