DE102018124991A1

DE102018124991A1 - Verarbeitungseinrichtung, Verfahren und Programm

Info

Publication number: DE102018124991A1
Application number: DE102018124991.8A
Authority: DE
Inventors: Takuto Sakumura; Yasukazu NAKAYE; Kazuyuki Matsushita
Original assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Priority date: 2017-10-17
Filing date: 2018-10-10
Publication date: 2019-04-18
Also published as: US10748253B2; US20190114746A1; CN109668918A; JP2019074423A; JP6873414B2; CN109668918B

Abstract

Eine Verarbeitungseinrichtung 200, die eine Randkorrektur von Röntgenintensitätsdaten ermöglicht, beinhaltet Folgendes: eine Berechnungseinheit 220, die zum Berechnen einer Erweiterungsrate von Röntgenintensitätsdaten, die in einem Einheitsgebiet auf einer Randseite detektiert werden, basierend auf einer Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert, konfiguriert ist; und eine erste Funktionserzeugungseinheit 230, die zum Erzeugen einer Zuordnungsfunktion, die die Röntgenintensitätsdaten, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, einem äußeren Einheitsgebiet zuordnet, basierend auf der Erweiterungsrate konfiguriert ist. Wie dementsprechend beschrieben, macht das Ermöglichen einer Randkorrektur basierend auf der Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert, es möglich, die Verzerrung der Intensitätsverteilung auf der Randseite zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, das Detektionsgebiet der Röntgenintensitätsdaten zu erweitern.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verarbeitungseinrichtung, ein Verfahren und ein Programm, die eine Randkorrektur von Röntgenintensitätsdaten ermöglichen.
Beschreibung des Stands der Technik
In den letzten Jahren wurden hybride Pixelarraydetektoren entwickelt, die Pixel aufweisen, die vertikal und horizontal auf der Rückseite der Sensorschicht von Halbleitern gekachelt sind, wobei Auslesechips auf der Rückseite der Pixel bereitgestellt sind. Ein Detektor mit zum Beispiel einer Pixelgröße von etwa 100 µm weist eine hohe Positionsauflösung auf und ist effektiv zum Messen von gebeugten Röntgenstrahlen.
Für einen solchen hybriden Pixelarraydetektor ist das Bilden einer Struktur eines Schutzrings auf dem Rand üblich als Maßnahme gegen Rauschen oder Leckstrom (siehe Patentdokument 1). Die Struktur führt dazu, dass sich das empfindliche Gebiet der Röntgendetektionsoberfläche entlang des elektrischen Feldes ausbreitet und das Gebiet mit gekachelten Pixeln kleiner als das empfindliche Gebiet wird. Außerdem wird das elektrische Feld des Randes innerhalb der Sensorschicht verzerrt und daher ist die Äquipotentialfläche des Randes eine gekrümmte Oberfläche (siehe Nicht-Patent-Dokument 1). Infolgedessen decken Pixel auf dem Rand einen großen Bereich der Detektionsoberfläche ab und Signale, die von außerhalb der Pixelpositionen auf der Detektionsoberfläche stammen, dringen in die Pixel ein.
Andererseits wurde entgegen dem Phänomen, dass ein Zählwert aufgrund von Lücken zwischen den Auslesechips tendenziell verschieden von Zählwerten bei anderen Positionen ist, ein Algorithmus vorgeschlagen, der virtuelle Pixel festlegt und Zählwerte unter den virtuellen Pixeln zuordnet, wodurch eine Zufälligkeit hierzu bereitgestellt wird (siehe Patentdokument 2).
Stand-der-Technik-Dokumente
Patentdokument

Patentdokument 1: Offengelegtes japanisches Patent, Nr. 2005-57281
Patentdokument 2: Offengelegtes japanisches Patent, Nr. 2017-9503

Nicht-Patent-Dokument
Nicht-Patent-Dokument 1: Juan Pablo Balbuena Valenzuela, „Development of innovative silicon radiation detectors - TDX", S. 115-116
Wie oben beschrieben, erfordert der hybride Pixelarraydetektor eine Intensitätskorrektur des Randes, weil Signale, die von außerhalb der Pixelpositionen auf der Detektionsoberfläche stammen, in die Pixel eindringen. Außerdem bewirkt das Ausrichten von Detektoren zum Zweck des Erzielens eines größeren Bereichs, dass der Rand der Detektoren ein nichtdetektierbares Gebiet ist, wodurch eine Lücke erschaffen wird.
KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, die angesichts der zuvor genannten Umstände erfolgte, eine Verarbeitungseinrichtung, ein Verfahren und ein Programm bereitzustellen, die eine Korrektur einer Verzerrung der Intensitätsverteilung des Randes ermöglichen.
(1) Um das zuvor genannte Ziel zu erreichen, ist eine Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung eine Verarbeitungseinrichtung, die eine Randkorrektur der Röntgenintensitätsdaten ermöglicht, wobei die Einrichtung dadurch gekennzeichnet ist, dass sie Folgendes beinhaltet: eine Berechnungseinheit, die dazu konfiguriert ist, eine Erweiterungsrate von Röntgenintensitätsdaten zu berechnen, die in einem Einheitsgebiet auf einer Randseite detektiert werden, basierend auf einer Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert; und eine erste Funktionserzeugungseinheit, die dazu konfiguriert ist, eine Zuordnungsfunktion zu erzeugen, die die Röntgenintensitätsdaten, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, basierend auf der Erweiterungsrate einem äußeren Einheitsgebiet zuordnet.
Wie dementsprechend beschrieben, macht das Ermöglichen einer Randkorrektur basierend auf der Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert, es möglich, die Verzerrung der Intensitätsverteilung auf der Randseite zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, das Detektionsgebiet der Röntgenintensitätsdaten zu erweitern. Es ist dann möglich, die nichtdetektierbare Lücke zwischen Detektoren zu reduzieren, wenn mehrere Detektoren zu einem Modul kombiniert werden.
(2) Außerdem ist die Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Berechnungseinheit die Erweiterungsrate unter Verwendung eines Verhältnisses von Röntgenintensitätsdaten, die in einem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, gegenüber Röntgenintensitätsdaten, die in einem inneren Einheitsgebiet detektiert werden, berechnet. Entsprechend wird es möglich, die Verzerrung zu korrigieren, die aufgrund eines Potentialgradienten auftritt, der für den Rand intrinsisch ist.
(3) Außerdem ist die Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Berechnungseinheit einen Mittelwert von Röntgenintensitätsdaten, die in einem Einheitsgebiet innerhalb eines im Inneren bereitgestellten bestimmten Bereichs detektiert werden, als die Röntgenintensitätsdaten verwendet, die in dem inneren Einheitsgebiet detektiert werden. Entsprechend ist es möglich, ein Kriterium zum Messen der Verzerrung des Randes unter Verwendung sehr zuverlässiger Daten zu erzeugen.
(4) Außerdem ist die Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass sie ferner eine zweite Funktionserzeugungseinheit beinhaltet, die dazu konfiguriert ist, eine Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion für die Intensitätsverteilung zu erzeugen, die über eine Korrektur durch die Zuordnungsfunktion der Intensitätsverteilung erhalten wird, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert. Das Durchführen der Gleichmäßigkeitskorrektur nach der Randkorrektur auf die obige Weise ermöglicht das effiziente Erzeugen einer Korrekturfunktion durch eine einmalige Gleichmäßigkeitskorrektur.
(5) Außerdem ist die Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass sie ferner eine Korrektureinheit beinhaltet, die dazu konfiguriert ist, die Zuordnungsfunktion zu verwenden, um eine Randkorrektur der Intensitätsverteilung durchzuführen, die durch Messung detektiert wird. Entsprechend ist es möglich, die gemessenen Daten unter Verwendung einer Funktion zu korrigieren, die zum Korrigieren der Verzerrung der Intensitätsverteilung auf der Randseite in der Lage ist.
(6) Außerdem ist die Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Korrektureinheit die Röntgenintensitätsdaten zuordnet, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, wodurch eine Zufälligkeit für diese bereitgestellt wird. Entsprechend ist es möglich, die Zuordnung mit einer natürlichen statistischen Variation zu versehen, wodurch der Einfluss einer Zuordnung in der Nähe der Grenze der Einheitsgebiete reduziert wird.
(7) Außerdem ist die Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Korrektureinheit die Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion verwendet, um eine Gleichmäßigkeitskorrektur der Intensitätsverteilung durchzuführen, die durch eine Randkorrektur korrigiert wurde. Entsprechend ist es möglich, eine Randkorrektur und Gleichmäßigkeitskorrektur durchzuführen.
(8) Außerdem ist die Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die durch die Messung detektierte Intensitätsverteilung Daten sind, die durch eine Beugungsmessung eines Einkristalls bereitgestellt werden. Entsprechend ist es möglich, eine Vielzahl von Beugungsstellen eines Einkristalls gleichzeitig in einem erweiterten Weitenbereich zu messen.
(9) Außerdem ist ein Verfahren der vorliegenden Erfindung ein Verfahren, das eine Randkorrektur von Röntgenintensitätsdaten ermöglicht, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass es Folgendes beinhaltet: einen Schritt des Berechnens einer Erweiterungsrate von Röntgenintensitätsdaten, die in einem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, basierend auf einer Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert; und einen Schritt des Erzeugens einer Zuordnungsfunktion, die die Röntgenintensitätsdaten, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, einem äußeren Einheitsgebiet zuordnet, basierend auf der Erweiterungsrate. Entsprechend ist es möglich, die Verzerrung einer Intensitätsverteilung des Randes zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, den Detektionsbereich von Röntgenintensitätsdaten zu erweitern und die nichtdetektierbare Lücke zwischen Detektoren zu reduzieren, wenn mehrere Detektoren zu einem Modul kombiniert werden.
(10) Außerdem ist ein Programm der vorliegenden Erfindung ein Programm, das eine Randkorrektur von Röntgenintensitätsdaten ermöglicht, wobei das Programm dadurch gekennzeichnet ist, dass es bewirkt, dass ein Computer Folgendes durchführt: einen Prozess des Berechnens einer Erweiterungsrate von Röntgenintensitätsdaten, die in einem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, basierend auf einer Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert; und einen Prozess des Erzeugens einer Zuordnungsfunktion, die die Röntgenintensitätsdaten, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, einem äußeren Einheitsgebiet zuordnet, basierend auf der Erweiterungsrate. Entsprechend ist es möglich, die Verzerrung einer Intensitätsverteilung des Randes zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, den Detektionsbereich von Röntgenintensitätsdaten zu erweitern und die nichtdetektierbare Lücke zwischen Detektoren zu reduzieren, wenn Detektoren zu einem Modul kombiniert werden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird es möglich, die Verzerrung einer Intensitätsverteilung des Randes eines Röntgendetektors zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, den Detektionsbereich von Röntgenintensitätsdaten zu erweitern und die nichtdetektierbare Lücke zwischen Detektoren zu reduzieren, wenn mehrere Detektoren zu einem Modul kombiniert werden.
Figurenliste

1 ist eine schematische Ansicht, die ein Beispiel für eine Konfiguration eines Röntgendetektionssystems der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
2 ist ein Blockdiagramm, das eine Konfiguration eines Detektormoduls und einer Röntgendatenverarbeitungseinrichtung veranschaulicht;
3 ist eine Querschnittansicht, die eine Konfiguration eines Röntgendetektors veranschaulicht;
4 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration von Teilen der Detektormodule veranschaulicht;
5 ist ein Blockdiagramm, das eine Konfiguration einer Verarbeitungseinrichtung der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
6 ist ein Flussdiagramm, das ein Erzeugungsverfahren einer Korrekturfunktion der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
7A und 7B sind schematische Ansichten, die ein Beispiel für Pixel in einem Rand des Röntgendetektors bzw. eine Erweiterungsrate veranschaulichen;
8A und 8B sind schematische Ansichten, die ein Beispiel für Pixel in dem Rand des Röntgendetektors bzw. eine Erweiterungsrate veranschaulichen; und
9A und 9B veranschaulichen Röntgenbilder vor bzw. nach einer Korrektur.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Als Nächstes sind Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unten unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen erklärt. Der Einfachheit der Erklärung halber sind identische Komponenten durch die Zeichnungen hinweg mit identischen Bezugsziffern versehen, wobei eine doppelte Beschreibung weggelassen ist.
(Konfiguration des gesamten Systems)
1 ist eine schematische Ansicht, die ein Beispiel für eine Konfiguration eines Röntgendetektionssystems 10 veranschaulicht. Das Röntgendetektionssystem 10 beinhaltet eine Röntgenquelle 20, eine Probe S, ein Detektormodul 50 und eine Verarbeitungseinrichtung 200, wie in 1 veranschaulicht ist.
Die Röntgenquelle 20 erzeugt Röntgenstrahlen, indem zum Beispiel bewirkt wird, dass ein Elektronenfluss, der von einem Filament emittiert wird, das die Kathode ist, ein Rotor-Target trifft, das die Antikathode ist. Die von der Röntgenquelle 20 emittierten Röntgenstrahlen sind sogenannte Punktfokusröntgenstrahlen.
Die Randoberfläche des Rotor-Targets weist ein Metall, wie etwa zum Beispiel Mo oder Cu, darauf bereitgestellt auf. Wenn ein Elektron das Mo-Target trifft, wird ein Röntgenstrahl emittiert, der einen MoKα-Strahl beinhaltet, der der charakteristische Strahl (Wellenlänge: 0,711 Ä) ist. Wenn ein Elektron das Cu-Target trifft, wird ein Röntgenstrahl emittiert, der einen CuKα-Strahl beinhaltet, der der charakteristische Strahl (Wellenlänge: 1,542 Ä) ist.
Die Probe S wird durch eine Probenstützvorrichtung gestützt. Das Detektormodul 50 detektiert zum Beispiel gebeugte Röntgenstrahlen oder Fluoreszenz-Röntgenstrahlen, die durch die Probe S gebeugt werden. Die Verarbeitungseinrichtung 200 verarbeitet die detektierten Zählwerte und gibt das Detektionsergebnis aus. Einzelheiten des Detektormoduls 50 und der Verarbeitungseinrichtung 200 sind unten erklärt.
(Konfiguration des Detektormoduls)
2 ist ein Blockdiagramm, das eine Konfiguration des Detektionsmoduls 50 und der Verarbeitungseinrichtung 200 veranschaulicht. Das Detektormodul 50 beinhaltet mehrere Röntgendetektoren 100, die parallel zu der Röntgendetektionsoberfläche ausgerichtet sind. Der Röntgendetektor 100, der zum Beispiel ein photonenzählender zweidimensionaler Pixelarrayhalbleiterdetektor ist, beinhaltet eine Röntgenstrahlenempfangssensorschicht 110 auf der Röntgenstrahleneinfallsseite und eine ROIC-Schicht 160 auf der Rückseite. Es wird angemerkt, dass der Röntgendetektor 100 nicht auf einen zweidimensionalen Halbleiterdetektor beschränkt ist und ein eindimensionaler Halbleiterdetektor sein kann.
Das Signal, das in der Sensorschicht 110 erzeugt wird, wird in der ROIC-Schicht 160 ausgelesen. Die ROIC-Schicht 160 weist eine Vielzahl von Pixeln 120, Unterscheidungsschaltkreise 130, Zählereinheiten 140 und einen Zählerausleseschaltkreis 150 auf. Die Vielzahl von Pixeln 120, die auf eine Weise eines zweidimensionalen Arrays relativ zu der Sensorschicht 110 gekachelt sind, sind regelmäßig auf eine im Wesentlichen gleichmäßige Weise angeordnet. Die Unterscheidungsschaltkreise 130 sind jeweils mit der Vielzahl von Pixeln 120 verbunden, wobei die Zählereinheiten 140 jeweils mit jedem der Unterscheidungsschaltkreise 130 verbunden sind. Der Zählerausleseschaltkreis 150 ist mit jeder der Zählereinheiten 140 verbunden. Es wird angemerkt, dass ein Pixel ein Einheitsgebiet einer Detektion ist und ein Streifen sein kann.
Der Unterscheidungsschaltkreis 130 unterscheidet und gibt die gepulsten Signale von den Pixeln 120 für jede Röntgenwellenlänge aus. Die Zählereinheiten 140 zählen die Anzahl an jeweiligen Signalen, die durch den Unterscheidungsschaltkreis 130 in jede Wellenlänge unterschieden wurden. Die Zählereinheiten 140 weisen so viele Zählerschaltkreise wie die Anzahl an Unterscheidungen darin eingebaut auf, so dass es zum Beispiel möglich ist, die Anzahl an jeweiligen gepulsten Signalen zu zählen, die durch den Unterscheidungsschaltkreis 130 unterschieden wurden. Das Ausgabesignal des Zählerausleseschaltkreises 150 wird durch eine Kommunikationsleitung an die Verarbeitungseinrichtung 200 als Intensitätsverteilungsdaten von Röntgenstrahlen, separiert durch einen Energieschwellenwert, übertragen. Es wird angemerkt, dass die Daten drahtlos oder über ein Medium an die Verarbeitungseinrichtung 200 übertragen werden können.
Die Verarbeitungseinrichtung 200 wird zum Beispiel durch einen PC (Personal Computer), einen Server oder einen Schaltkreis konfiguriert und es wird bevorzugt, dass sie ein PC ist. Ein PC wird zum Beispiel durch eine CPU zum Durchführen einer Arithmetikoperationssteuerung, einen Speicher zum Speichern von Daten, Systemsoftware, die in einem vorbestimmten Gebiet in dem Speicher gespeichert ist, Anwendungsprogrammsoftware, die in einem anderen vorbestimmten Gebiet in dem Speicher gespeichert ist, und dergleichen konfiguriert.
Die Verarbeitungseinrichtung 200 weist eine Tastatur oder dergleichen auf, die mit dieser als eine Eingabeeinheit 300 zum Empfangen einer Eingabe von einem Benutzer verbunden ist. Außerdem weist die Verarbeitungseinrichtung 200 eine mit ihr verbundene Ausgabeeinheit 400 auf, wie etwa eine Anzeige, einen Drucker, oder dergleichen. Die Ausgabeeinheit 400 gibt das Messergebnis als Reaktion auf Anweisungen von der Verarbeitungseinrichtung 200 aus.
(Sensorschicht und Verzerrung der Intensitätsverteilung)
3 ist eine Querschnittansicht, die eine Konfiguration der Sensorschicht 110 veranschaulicht. Bei dem in 3 veranschaulichten Beispiel beinhaltet die Sensorschicht 110 eine Einfallsschicht 115, eine N⁺-Schicht 117, eine N-Volumenschicht 118 und P⁺-Schichten 119. Die Einfallsschicht 115 ist eine Schicht, die die Oberfläche bedeckt, auf die die Röntgenstrahlen einfallen. Die N⁺-Schicht 117 ist durch einen fremdstoffreichen N-Typ-Halbleiter gebildet, die N-Volumenschicht 118 ist durch einen fremdstoffarmen N-Typ-Halbleiter gebildet und die P⁺-Schichten sind durch einen fremdstoffreichen P-Typ-Halbleiter gebildet. Mit dem Bilden eines empfindlichen Gebiets durch die N-Volumenschicht 118 wird ein Signal durch einen Röntgenstrahl erzeugt, der auf die Schicht einfällt, und jede der P⁺-Schichten überträgt das erzeugte Signal an ein entsprechendes der Pixel 120. Unter der Voraussetzung, dass die Position, bei der der Röntgenstrahl einfällt, das Zentrum der Oberfläche der Sensorschicht 110 ist, wird das Signal an eines der Pixel 120 übertragen, das sich bei der Position befindet.
Jedoch ist ein Schutzring 125 bei dem Rand der Sensorschicht 110 gebildet, wobei der Schutzring 125 auf eine solche Weise gebildet ist, dass er die Randseite der Sensorschicht 110 umgibt. Die Struktur bewirkt, dass das elektrische Feld um den Rand herum in der N-Volumenschicht 118 verzerrt wird, wobei die Äquipotentialfläche des Randes eine gekrümmte Oberfläche konvex in der Richtung der Einfallsschicht 115 bildet. Und in der Einfallsschicht 115 erstreckt sich das empfindliche Gebiet außerhalb des Projektionsgebiets der Pixel 120 entlang des elektrischen Feldes. In 3 sind, wobei strichpunktierte Linien Äquipotentialflächen angeben, Potentialgradienten aufgetreten, wie durch die strichpunktierten Linien angegeben, und infolgedessen wird das empfindliche Gebiet, das durch die Pixel 120 auf dem Rand abgedeckt wird, größer, wie durch die gestrichelten Linien angegeben ist, und, sofern keine Maßnahme ergriffen wird, wird die Intensitätsverteilung von Röntgenstrahlen an dem Rand als verzerrt detektiert.
Daher wird eine Randkorrektur gegenüber Signalen notwendig, die von außerhalb eines Pixels stammen und in das Pixel eindringen. In einem solchen Fall ist es möglich, obwohl die Intensitätsverteilung verzerrt ist, sofern wie oben besprochen keine Maßnahme wie ergriffen wird, das Detektionsgebiet zu der Randseite hin zu erweitern, unter der Voraussetzung, dass die Röntgenintensitätsverteilung in dem empfindlichen Gebiet angemessen korrigiert werden kann. Jedoch kann eine einfache Intensitätskorrektur zu einem verzerrten Röntgenbild führen. Im Gegensatz dazu ermöglicht eine Erweiterung der Bildgröße das Erhalten eines angemessen korrigierten Röntgenbildes. Zum Beispiel wird unter der Annahme eines Falls des Bildens eines 100-µm-Quadratpixels die Möglichkeit des Erweiterns des empfindlichen Gebiets auswärts um 300 µm die Positionsgenauigkeit um drei Pixel vergrößern. Einzelheiten des Korrekturverfahrens der Intensitätsverteilung sind unten erklärt.
Je dicker die Sensorschicht 110 ist, desto mehr nimmt die Empfindlichkeit für hochenergetische Röntgenstrahlen zu und daher produziert die zuvor genannte Korrektur einen signifikanteren Effekt, wenn die Sensorschicht 110 dicker ist. Zum Beispiel ist die zu korrigierende Verzerrung größer für einen Röntgendetektor mit einer Dicke von 1 mm als für jenen mit einer Dicke von 300 µm. Der Effekt einer Randkorrektur ist insbesondere größer, weil eine Lageveränderung von einem Pixel oder mehreren auftritt, wenn die Dicke der Sensorschicht 300 µm oder mehr beträgt.
(Lücke zwischen Detektoren)
Die Fähigkeit des Erweiterns des Detektionsgebiets zu der Randseite bedeutet, dass es möglich ist, die nichtdetektierbare Lücke zwischen Detektoren zu reduzieren, wenn mehrere Detektoren 100 zu einem Modul kombiniert werden. 4 ist eine Seitenansicht, die eine Konfiguration von Teilen der Detektormodule 50 veranschaulicht. 4 veranschaulicht auf eine teilweise vergrößerte Weise das Intervall zwischen Röntgendetektoren 100, die in einer Ausrichtung angeordnet sind. Wie in 4 veranschaulicht, sind zwei der Röntgendetektoren 100 auf ihren jeweiligen Sensorschichten 110 angeordnet und sind mit einem Abstand getrennt, sodass verhindert wird, dass ihre Enden aneinander anstoßen, wenn sie nebeneinander auf einem Substrat 170 platziert sind. Infolgedessen gibt es einen Abstand von d1 zwischen den Pixeln. Der Abstand in dem Detektionsgebiet kann zu d2 verschmälert werden, indem das empfindliche Gebiet des Randes, wie oben beschrieben, erweitert wird. Mit anderen Worten kann das empfindliche Gebiet tatsächlich breiter als die physische Pixelanordnung genutzt werden und daher ist es möglich, den Abstand zu verschmälern.
(Konfiguration der Verarbeitungseinrichtung)
5 ist ein Blockdiagramm, das eine Konfiguration der Verarbeitungseinrichtung 200 veranschaulicht. Die Verarbeitungseinrichtung 200, die eine Messdatenverwaltungseinheit 210, eine Berechnungseinheit 220, eine erste Funktionserzeugungseinheit 230, eine zweite Funktionserzeugungseinheit 240, eine Speichereinheit 250 und eine Korrektureinheit 260 beinhaltet, ermöglicht eine Randkorrektur einer Röntgenintensitätsverteilung. Eine Randkorrektur kann gleichzeitig (Echtzeit) zu der Messung von Röntgenintensitätsdaten verarbeitet werden.
Die Messdatenverwaltungseinheit 210 empfängt und verwaltet die Zählwerte, die durch den Röntgendetektor 100 für jeweilige Pixel detektiert werden. Zum Beispiel speichert die Messdatenverwaltungseinheit 210 den Zählwert von Röntgenstrahlen, der für das Pixel detektiert wird, in Assoziation mit der Adresse (i, j) von einem der Pixel 120.
Die Berechnungseinheit 220 berechnet die Erweiterungsrate der Röntgenintensitätsdaten, die für das Pixel auf dem Rand detektiert werden, basierend auf der Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert. Das Berechnen der Erweiterungsrate wird unter Berücksichtigung davon, dass die Menge einer erhöhten Intensität, die in Pixeln auf einem Rand auftritt, der Menge der Erweiterung zu dem Rand entspricht, basierend auf einer Annahme durchgeführt, dass eine gleichmäßige Intensitätsverteilung vorliegen sollte, wenn ursprünglich gleichmäßige Röntgenstrahlen abgestrahlt werden. Es wird angemerkt, dass, obwohl es bevorzugt wird, dass die Röntgenintensitätsdaten Daten sind, die durch einen zweidimensionalen Detektor detektiert werden, sie durch einen eindimensionalen Detektor detektiert werden können. Daher sind die Daten der zu berechnenden Intensitätsverteilung die Röntgenintensitätsdaten, die für eine Vielzahl von Pixeln detektiert werden, die in einer Richtung oder zwei Richtungen ausgerichtet sind.
Es wird bevorzugt, dass die Berechnungseinheit 220 eine Erweiterungsrate unter Verwendung des Verhältnisses der Röntgenintensitätsdaten, die für Pixel bei der Randseite detektiert werden, gegenüber den Röntgenintensitätsdaten, die für innere Pixel detektiert werden, berechnet. Entsprechend wird es möglich, eine Verzerrung zu korrigieren, die aufgrund eines Potentialgradienten auftritt, der für den Rand intrinsisch ist. Es wird angemerkt, dass ein inneres Pixel auf ein Pixel bei einer Position nahe dem Zentrum verweist, das nicht durch eine Verzerrung des elektrischen Feldes in dem Rand beeinflusst wird.
Es wird bevorzugt, dass die Berechnungseinheit 220 den Mittelwert von Röntgenintensitätsdaten, die für Pixel innerhalb eines bestimmten Bereichs detektiert werden, der bei einer inneren Position bereitgestellt ist, als Röntgenintensitätsdaten für innere Pixel verwendet. Zum Beispiel ist es möglich, Röntgenintensitätsdaten von Pixeln in dem Zentrum oder seiner Nähe zu verwenden. Entsprechend ist es möglich, ein Kriterium zum Messen der Verzerrung des Randes unter Verwendung sehr zuverlässiger Daten zu erzeugen.
Die erste Funktionserzeugungseinheit 230 erzeugt eine Zuordnungsfunktion, die Röntgenintensitätsdaten, die für Pixel bei dem Rand detektiert werden, äußeren Pixeln zuordnet, basierend auf der Erweiterungsrate. Insbesondere kann die Zuordnungsfunktion in einer Tabelle zum Umwandeln von Röntgenintensitätsdaten für jeweilige Pixel spezifiziert und als eine Tabelle gespeichert werden. Wie dementsprechend beschrieben, macht das Ermöglichen einer Randkorrektur basierend auf der Intensitätsverteilung, wenn eine gleichmäßige Röntgenbestrahlung durchgeführt wird, es möglich, die Verzerrung der Intensitätsverteilung des Randes zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, das Detektionsgebiet der Röntgenintensitätsdaten zu erweitern.
Die zweite Funktionserzeugungseinheit 240 erzeugt eine Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion für die Intensitätsverteilung, die durch Korrigieren der Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert, unter Verwendung der Zuordnungsfunktion erhalten wird. Eine Funktion zur Gleichmäßigkeitskorrektur kann auf die obige Weise zusätzlich zu der Randkorrekturfunktion hinzugefügt werden. Die Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion kann in einer Tabelle zum Umwandeln von Röntgenintensitätsdaten für jeweilige Pixel spezifiziert und als eine Tabelle gespeichert werden. Infolgedessen ist es möglich, eine Korrektur effizient durch eine einmalige Gleichmäßigkeitskorrektur nach der Zuordnung der Röntgenintensitätsdaten durchzuführen. Es wird angemerkt, dass eine Erzeugung einer sphärischen Oberflächenkorrekturfunktion auch hinzugefügt werden kann.
Die Speichereinheit 250 speichert die Zuordnungsfunktion und die Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion. Die Zuordnungsfunktion gibt als Reaktion auf eine Eingabe der Positionen und der Röntgenintensitätsdaten von Pixeln vor einer Zuordnung die Positionen und die Röntgenintensitätsdaten der Pixel nach einer Zuordnung aus. Insbesondere ist es bevorzugt, dass die Zuordnungsfunktion eine Umwandlungstabelle ist, die eine Zuordnung ermöglicht. Außerdem kann die Zuordnungsfunktion lediglich die Pixel in dem Rand oder in seiner Nähe umwandeln. Die Pixel vor einer Zuordnung beinhalten lediglich reale Pixel und die Pixel nach einer Zuordnung beinhalten nicht nur reale Pixel, sondern auch virtuelle Pixel, die auf dem Rand bereitgestellt werden. Die Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion gibt als Reaktion auf eine Eingabe der Positionen und der Röntgenintensitätsdaten von Pixeln nach einer Zuordnung Daten mit den Positionen und die Röntgenintensitätsdaten jeweiliger Pixel korrigiert durch eine Gleichmäßigkeitskorrektur aus.
Die Korrektureinheit 260 führt eine Umfangskorrektur an der Intensitätsverteilung, die durch eine Messung detektiert wird, unter Verwendung der Zuordnungsfunktion durch. Entsprechend ist es möglich, die gemessenen Daten unter Verwendung einer Funktion zu korrigieren, die zum Korrigieren der Verzerrung der Intensitätsverteilung bei der Randseite in der Lage ist. Es wird bevorzugt, dass die Röntgenintensitätsdaten, die durch eine Messung detektiert werden, Daten sind, die durch eine Beugungsmessung eines Einkristalls erhalten werden. Entsprechend ist es möglich, eine Vielzahl von Beugungsstellen eines Einkristalls gleichzeitig in einem weiten Bereich zu messen. Obwohl Pulver eine Intensitätskorrektur nicht beeinflusst, kann ein Einkristall einen Effekt aufzeigen, dass es möglich ist, die Detektionsoberfläche zu erweitern.
Außerdem wird es bevorzugt, dass die Korrektureinheit 260 ferner eine Gleichmäßigkeitskorrektureinheit beinhaltet, die zum Durchführen der Gleichmäßigkeitskorrektur an Daten, die durch eine Randkorrektur korrigiert sind, konfiguriert ist. Durchführen einer Gleichmäßigkeitskorrektur nach einer Randkorrektur auf die obige Weise ermöglicht eine effiziente Korrektur.
Außerdem wird es bevorzugt, dass die Korrektureinheit 260 die Röntgenintensitätsdaten zuordnet, die für Pixel bei der Randseite detektiert werden, wodurch eine Zufälligkeit für diese bereitgestellt wird. Entsprechend ist es möglich, die Zuordnung mit einer natürlichen statistischen Variation zu versehen, wodurch der Einfluss einer Zuordnung in der Nähe der Grenze der Pixel reduziert wird.
Außerdem wird es bevorzugt, dass die Korrektureinheit 260 eine Verschiebung, als eine Zufälligkeit, deren Wert ein Wert innerhalb eines Wertes proportional zu der Standardabweichung der Zählwerte ist, zu der Grenze bereitstellt, wenn die Zählwerte geteilt werden. Entsprechend ist es möglich, eine angemessene Zufälligkeit gemäß dem Zählwerte für jedes Pixel bereitzustellen. Mit anderen Worten wird es bevorzugt, die Verschiebung durch Multiplizieren eines numerischen Wertes, der zum Multiplizieren der Quadratwurzel des Zählwertes des realen Pixels mit einem konstanten Koeffizienten erhalten wird, mit einer zufälligen Zahl gleich oder größer als -1 und gleich oder kleiner als 1 zu berechnen. Eine solche Berechnung ermöglicht einfaches Berechnen von Zählwerten mit einer für diese bereitgestellten Zufälligkeit.
Speziell kann das Zuordnungsverhältnis wie folgt berechnet werden. Wenn zum Beispiel die Zählwerte zwischen einem 2/3-Gebiet und einem 1/3-Gebiet zugeordnet werden, wird das Flächenverhältnis mit einer zufälligen Verschiebung σ1 versehen, die innerhalb eines Wertes proportional zu der Standardabweichung wie folgt liegt. Entsprechend ist es möglich, die Standardabweichung zu vergrößern, indem die Zählwerte mit einer Zufälligkeit versehen werden, und auch den Gesamtzählwert beizubehalten. Es wird angemerkt, dass 2 aus 2/Vn, die in Formel (1) auftaucht, ein konstanter Koeffizient ist, dessen Wert für jede Messung geändert werden kann. $\begin{array}{l} \frac{2}{3} : \frac{1}{3} \to \frac{2}{3} \pm σ_{1} : \frac{1}{3} \mp σ_{1} \\ ∵ - \frac{2}{\sqrt{n}} < σ_{1} < \frac{2}{\sqrt{n}} \end{array}$
(Erzeugungsverfahren der Korrekturfunktion)
6 ist ein Flussdiagramm, das ein Erzeugungsverfahren der Korrekturfunktion veranschaulicht. Zuerst werden gleichmäßige Röntgenstrahlen auf den Röntgendetektor abgestrahlt (Schritt S1). Unter der erhaltenen Intensitätsverteilung werden Erweiterungsraten für die Röntgenintensitätsdaten berechnet, die in Einheitsgebieten bei der Randseite detektiert werden (Schritt S2). Unter Verwendung der Erweiterungsraten wird eine Funktion zum Zuordnen der Röntgenintensitätsdaten, die in den Einheitsgebieten bei der Randseite detektiert werden, zu einem äußeren Einheitsgebiet erzeugt (Schritt S3). Eine Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion wird unter Verwendung der Daten erzeugt, die durch eine Randkorrektur der Intensitätsverteilung einer gleichmäßigen Bestrahlung korrigiert werden (Schritt S4). Die erhaltene Korrekturfunktion der Randkorrektur und Gleichmäßigkeitskorrektur wird gespeichert (Schritt S5). Dementsprechend ist es möglich, eine Randkorrektur und Gleichmäßigkeitskorrektur an der gemessenen Intensitätsverteilung durchzuführen. Es wird angemerkt, dass die Funktionen der Verarbeitungseinrichtung 200 durch einen Speicher und einen Prozessor realisiert werden können.
(Prinzip der Randkorrektur)
Das Prinzip der Zuordnungsfunktion der Randkorrektur ist unten erklärt. Zuerst wird der Einfachheit halber eine Zuordnung durch einen eindimensionalen Detektor angenommen. Falls die Röntgenintensitätsdaten für die äußersten Pixel n-mal die Röntgenintensitätsdaten für Pixel in dem Zentrum oder seiner Nähe sind, wird die Distanzverschiebung gemäß dem Intensitätsverhältnis gefunden. Entsprechend ist es möglich, die Röntgenintensitätsdaten virtuellen Pixeln zuzuordnen, wobei ein Gradient einer Intensität für diese bereitgestellt wird. Falls zum Beispiel eine Intensität, die ursprünglich 10000 sein sollte, 11500 war, ist es möglich, eine Zuordnung einer Intensität unter der Annahme durchzuführen, dass sich das Pixel um einen Faktor von 1,15 nach außen erstreckt. In einem solchen Fall, wenn es möglich ist anzunehmen, dass 0,15 einer Intensität einem außerhalb befindlichen Pixel zugeordnet ist, und sich die zugeordnete Intensität des Pixels um einen Faktor von 1,25 nach außen erstreckt, werden Zuordnungen um Faktoren von 0,15 und 0,25 zu einem Pixel, das sich weiter außerhalb befindet, durchgeführt. Wiederholen des Prozesses ermöglicht eine Bestimmung der Zuordnungsfunktion.
Als Nächstes wird unten ein Fall eines zweidimensionalen Detektors erklärt. 7A und 7B sind schematische Ansichten, die ein Beispiel für Pixel in einem Rand des Röntgendetektors bzw. eine Erweiterungsrate veranschaulichen. Bei dem in 7A veranschaulichten Beispiel, geben die durch durchgezogene Linien gezeichneten Pixel die realen Pixel 120 an. Außerdem geben die durch gestrichelte Linien gezeichneten Pixel virtuelle Pixel 520 an. In den Daten einer Intensitätsverteilung, die durch eine Messung erhalten werden, entsprechen die Röntgenintensitätsdaten den realen Pixeln 120 und es existieren keine Daten der virtuellen Pixel 520. Die virtuellen Pixel 520 sind virtuell bis zu einer Entfernung bereitgestellt, bis zu der das empfindliche Gebiet reicht.
Bei dem in 7A veranschaulichten Beispiel sind Röntgenintensitätsdaten für jedes der realen Pixel 120 als A, B, C, D, D+α, D+β, E, E+α, F und J bezeichnet, wenn gleichmäßige Röntgenstrahlen abgestrahlt werden. Mit Bezug auf die Daten ist es möglich, Pixel zu erweitern und Daten zuzuordnen, wie etwa zum Beispiel J=1 mal (Kriterium), F=1,5 mal, E=2 mal, D=2,5 mal, C≈1,5×1,5 mal, B≈2×2 mal, A≈2,5×2,5 mal. Es wird angemerkt, dass Röntgenintensitätsdaten durch gleiche Symbole in einem Fall bezeichnet werden, in dem Intensitätswerte aus einer gleichmäßigen Bestrahlung aufgrund einer Symmetrie der Anordnung resultieren.
Es wird angemerkt, dass eine gleichmäßige Bestrahlung idealerweise auf eine Bestrahlung verweist, die zu einem gleichen Zählwert pro Einheitsfläche führt, und „Symmetrie, die zu einem gleichen Intensitätswert führt“ den idealen Fall angibt. Obwohl ein statistischer Fehler auftreten kann, wenn die Erweiterungsrate jedes Pixels tatsächlich berechnet wird, reicht es aus, die Messung unter Verwendung eines ausreichend großen Zählwertes durchzuführen und die Erweiterungsrate mit einer Bedingung zu bestimmen, unter der ein statistischer Fehler ausreichend klein wird. Mit anderen Worten ist es als ein Ergebnis einer Messung möglich, den Konvergenzwert zu schätzen, und der Wert eines Pixels, ausgedrückt durch das gleiche Symbol wie jenes bei dem obigen Beispiel, ist der gleiche. Ein solches Wertbestimmungsverfahren wird auch durchgeführt, wenn ein Koeffizient durch eine Gleichmäßigkeitskorrektur bestimmt wird.
In 7B wird die Größe erweiterter Pixel 530, angegeben durch die strichpunktierten Linien, basierend auf der Intensitätsverteilung der realen Pixel 120, die in 7A veranschaulicht sind, bestimmt. Die erweiterten Pixel 530, die auf diese Weise berechnet werden, überlappen mit den realen Pixels 120 und den virtuellen Pixeln 520. Es ist möglich, ein Zuordnungsverfahren zu bestimmen, das die Röntgenintensitätsdaten den realen Pixel 120 und den virtuellen Pixeln 520 gemäß dem Überlappungsgrad zuordnet. Eine solche Zuordnungsfunktion kann zum Beispiel durch eine Tabelle spezifiziert und als Daten der Tabelle gespeichert werden.
(Bogenförmiges erweitertes Pixel)
8A und 8B sind schematische Ansichten, die ein Beispiel für Pixel in dem Rand des Röntgendetektors bzw. eine Erweiterungsrate veranschaulichen. Wie durch die strichpunktierten Linien der Kurve aus 8B veranschaulicht, ist es möglich, basierend auf der Tatsache, dass die Äquipotentialfläche des empfindlichen Gebiets eine gekrümmte Fläche ist, die zu der Detektionsoberflächenseite hin konvex ist, zu schätzen, dass die erweiterten Pixel 630 nahe der Ecke (die vier Abschnitte nahe der Ecke bei dem Beispiel aus 8B) bogenförmig sind. In einem solchen Fall ist es möglich, eine Zuordnungsfunktion zu erzeugen, die die Röntgenintensitätsdaten den realen Pixeln 120 und den virtuellen Pixeln 520 zuordnet, die mit den erweiterten Pixeln 630 überlappen, die durch eine Kurve unterteilt werden, die zu der Ecke hin verzerrt ist. Es wird angemerkt, dass die Form der Kurve basierend auf einem elektrischen Feld vorbestimmt sein kann, das in der Sensorschicht 110 auftritt.
(Experimentalbeispiel)
Ein Röntgenbild wurde tatsächlich fotografiert und eine Randkorrektur wurde unter Verwendung des oben beschriebenen Verfahrens durchgeführt. 9A und 9B veranschaulichen die Röntgenbilder vor bzw. nach einer Korrektur. In dem veranschaulichten Röntgenbild gibt es gemessene Intensitätsverteilungen, die als diagonale gerade Linien erscheinen. Gerade Linien L1 und L2 wurden als Kriterien zu der Randseite entlang der Grenze der Intensitätsverteilungen basierend auf dem Teil nahe dem Zentrum der geraden Linien erweitert, die jeweils als Intensitätsverteilung erscheinen. Als ein Ergebnis kann es gesehen werden, dass die Grenze der Intensitätsverteilungen von der geraden Linie L1 in dem Gebiet C1 des Randes in dem Röntgenbild vor der Korrektur, wie in 9A veranschaulicht, abweicht und dass die Intensitätsverteilungen verzerrt sind. Andererseits kann, wie in 9B veranschaulicht, gesehen werden, dass die Grenze der Intensitätsverteilungen weiterhin mit der geraden Linie L2 in dem Gebiet C2 des Randes in dem Röntgenbild nach einer Korrektur zusammenfällt und die Verzerrung der Intensitätsverteilungen durch eine Randkorrektur korrigiert wurde.
Bezugszeichenliste

10:: Röntgendetektionssystem
20:: Röntgenquelle
S:: Probe
50:: Detektormodul
100:: Röntgendetektor
110:: Sensorschicht
115:: Einfallsschicht
117:: N⁺-Schicht
118:: N-Volumenschicht
119:: P⁺-Schicht
120:: Pixel (reales Pixel)
125:: Schutzring
130:: Unterscheidungsschaltkreis
140:: Zählereinheit
150:: Zählerausleseschaltkreis
160:: ROIC-Schicht
200:: Verarbeitungseinrichtung
210:: Messdatenverwaltungseinheit
220:: Berechnungseinheit
230:: erste Funktionserzeugungseinheit
240:: zweite Funktionserzeugungseinheit
250:: Speichereinheit
260:: Korrektureinheit
300:: Eingabeeinheit
400:: Ausgabeeinheit
520:: virtuelles Pixel
530, 630:: erweitertes Pixel

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2005057281 [0004]
JP 2017009503 [0004]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

Juan Pablo Balbuena Valenzuela, „Development of innovative silicon radiation detectors - TDX“, S. 115-116 [0005]

Claims

Verarbeitungseinrichtung, die eine Randkorrektur von Röntgenintensitätsdaten ermöglicht, wobei die Einrichtung Folgendes umfasst: eine Berechnungseinheit, die dazu konfiguriert ist, eine Erweiterungsrate von Röntgenintensitätsdaten zu berechnen, die in einem Einheitsgebiet auf einer Randseite detektiert werden, basierend auf einer Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert; und eine erste Funktionserzeugungseinheit, die dazu konfiguriert ist, eine Zuordnungsfunktion zu erzeugen, die die Röntgenintensitätsdaten, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, basierend auf der Erweiterungsrate einem äußeren Einheitsgebiet zuordnet.
Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 1, wobei die Berechnungseinheit dazu konfiguriert ist, die Erweiterungsrate unter Verwendung eines Verhältnisses von Röntgenintensitätsdaten, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, gegenüber Röntgenintensitätsdaten, die in einem inneren Einheitsgebiet detektiert werden, zu berechnen.
Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 2, wobei die Berechnungseinheit dazu konfiguriert ist, einen Mittelwert von Röntgenintensitätsdaten, die in einem Einheitsgebiet innerhalb eines im Inneren bereitgestellten bestimmten Bereichs detektiert werden, als die Röntgenintensitätsdaten zu verwenden, die in dem inneren Einheitsgebiet detektiert werden.
Verarbeitungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, die ferner eine zweite Funktionserzeugungseinheit umfasst, die dazu konfiguriert ist, eine Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion für die Intensitätsverteilung zu erzeugen, die über eine Korrektur durch die Zuordnungsfunktion der Intensitätsverteilung erhalten wird, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert.
Verarbeitungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, die ferner eine Korrektureinheit umfasst, die dazu konfiguriert ist, die Zuordnungsfunktion zu verwenden, um eine Randkorrektur der Intensitätsverteilung durchzuführen, die durch Messung detektiert wird.
Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 5, wobei die Korrektureinheit dazu konfiguriert ist, die Röntgenintensitätsdaten zuzuordnen, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, wodurch eine Zufälligkeit in der Zuordnung bereitgestellt wird.
Verarbeitungseinrichtung nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Korrektureinheit dazu konfiguriert ist, die Gleichmäßigkeitskorrekturfunktion zu verwenden, um eine Gleichmäßigkeitskorrektur der Intensitätsverteilung durchzuführen, die durch die Randkorrektur korrigiert wird.
Verarbeitungseinrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, wobei die durch die Messung detektierte Intensitätsverteilung, Daten sind, die durch eine Beugungsmessung eines Einkristalls bereitgestellt werden.
Verfahren, das eine Randkorrektur von Röntgenintensitätsdaten ermöglicht, wobei das Verfahren Folgendes umfasst: einen Schritt des Berechnens einer Erweiterungsrate von Röntgenintensitätsdaten, die in einem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, basierend auf einer Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert; und einen Schritt des Erzeugens einer Zuordnungsfunktion, die die Röntgenintensitätsdaten, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, einem äußeren Einheitsgebiet zuordnet, basierend auf der Erweiterungsrate.
Programm, das eine Randkorrektur von Röntgenintensitätsdaten ermöglicht, wobei das Programm bewirkt, dass ein Computer Folgendes durchführt: einen Prozess des Berechnens einer Erweiterungsrate von Röntgenintensitätsdaten, die in einem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, basierend auf einer Intensitätsverteilung, die aus einer Detektion von gleichmäßigen Röntgenstrahlen resultiert; und einen Prozess des Erzeugens einer Zuordnungsfunktion, die die Röntgenintensitätsdaten, die in dem Einheitsgebiet auf der Randseite detektiert werden, einem äußeren Einheitsgebiet zuordnet, basierend auf der Erweiterungsrate.