CN109668918B - 处理装置、方法以及记录介质 - Google Patents

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Abstract

本发明提供处理装置、方法以及记录介质。处理装置具备：算出部(220)，其基于检测一致的X射线照射所得的强度分布来算出在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据的扩充率；和第1功能生成部(230)，其基于扩充率来生成将在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据向外侧的单位区域分配的分配功能。如此，通过使得能基于进行一致的X射线照射时的强度分布进行外周补正，能补正外周的强度分布的失真。其结果能扩大X射线强度数据的检测区域。

Description

处理装置、方法以及记录介质
技术领域
本发明涉及能进行X射线强度数据的外周补正的处理装置、方法以及记录介质。
背景技术
近年来，开发了混合型像素阵列检测器，在半导体的传感器层的背面纵横平铺像素，在该像素的背面设置读出芯片。例如像素尺寸以100μm左右构成的检测器具有高的位置分辨率，在衍射X射线的测定中有效。
在这样的混合型像素阵列检测器中，一般为了噪声应对或漏电流应对而在外周部形成保护环的图案(参考专利文献1)。由于该结构，在X射线的检测面沿着电场向外侧扩展灵敏度范围，平铺像素的区域因该灵敏度范围而变窄。并且由于传感器层内的外周部的电场扭曲，因此外周部的等电位面是曲面(参考非专利文献1)。作为结果，外周部的像素覆盖检测面的大的面积，与检测面上的像素位置相比靠外侧的信号进入到像素。
另一方面，因读出芯片间的缝隙而出现计数值与其他位置的计数值相比不同的倾向，到目前为止，对这样的现象提出如下那样的算法(参考专利文献2)：设定虚拟像素，赋予随机性将计数值分配到虚拟像素。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2005-57281号公报
专利文献2：JP特开2017-9503号公报
非专利文献
非专利文献1：Juan Pablo Balbuena Valenzuela，”Development of innovativesilicon radiation detectors-TDX”，P115-116
如上述那样，在混合型像素阵列检测器中，由于相比检测面上的像素位置靠外侧的信号进入像素，因此需要外周部的强度补正。另外，若要将检测器排列来大面积化，检测器的外周部分就会出现会成为无感区域的缝隙。
发明内容
本发明鉴于这样的事情而提出，目的在于，提供能补正外周部的强度分布的失真的处理装置以及方法、记录介质。
(1)为了达成上述的目的，本发明的处理装置能进行X射线强度数据的外周补正，其特征在于，具备：算出部，其基于检测一致的X射线照射所得的强度分布来算出在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据的扩充率；和第1功能生成部，其基于所述扩充率来生成所述将在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据向外侧的单位区域分配的分配功能。
如此，通过使得能基于进行一致的X射线照射时的强度分布进行外周补正，能补正外周侧的强度分布的失真。其结果能扩大X射线强度数据的检测区域。并且能在将多个检测器合起来模块化时减低检测器间的不能进行检测的缝隙。
(2)另外，本发明的处理装置特征在于，所述算出部使用在所述外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据相对于在内侧的单位区域检测到的X射线强度数据的比来算出所述扩充率。由此能补正在外周侧因特有的电位梯度而产生的失真。
(3)另外，本发明的处理装置特征在于，所述算出部使用在配置于内侧的特定范围的单位区域检测到的X射线强度数据的平均值，作为在所述内侧的单位区域检测到的X射线强度数据。由此能使用可靠性高的数据生成测量外周部的失真的基准。
(4)另外，本发明的处理装置特征在于，所述处理装置还具备：第2功能生成部，其对用所述分配功能补正检测所述一致的X射线照射的强度分布而得到的强度分布生成一致性补正功能。如此，通过在外周补正后进行一致性补正，能以1次一致性补正有效率地生成补正功能。
(5)另外，本发明的处理装置特征在于，所述处理装置还具备：
补正部，其使用所述分配功能对通过测定而检测到的强度分布进行外周补正。由此能使用能补正外周侧的强度分布的失真的功能来补正测定数据。
(6)另外，本发明的处理装置特征在于，所述补正部赋予随机性来分配在所述外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据。由此能对分配赋予自然的统计变动，能减低单位区域的边界附近的分配的影响。
(7)另外，本发明的处理装置特征在于，所述补正部使用一致性补正功能对进行过所述外周补正的强度分布进行一致性补正。由此能进行外周补正以及一致性补正。
(8)另外，本发明的处理装置特征在于，通过所述测定而检测到的强度分布是在单晶的衍射测定中得到的数据。由此能在扩充的大的范围同时测定单晶的多个衍射斑点。
(9)另外，本发明的方法能进行X射线强度数据的外周补正，其特征在于，包括如下步骤：基于检测一致的X射线照射所得的强度分布来算出在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据的扩充率；基于所述扩充率来生成将在所述外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据向外侧的单位区域分配的分配功能。由此能补正外周部的强度分布的失真。其结果能扩大X射线强度数据的检测区域，能在模块化时减低检测器间的不能进行检测的缝隙。
(10)另外，本发明的记录介质，是记录能进行X射线强度数据的外周补正的程序的计算机可读且非临时的记录介质，其特征在于，所述控制程序使计算机执行如下处理：基于检测一致的X射线照射所得的强度分布来算出在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据的扩充率；基于所述扩充率来生成所述将在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据向外侧的单位区域分配的分配功能。由此能补正外周部的强度分布的失真。其结果能扩大X射线强度数据的检测区域，能在模块化时减低检测器间的不能进行检测的缝隙。
根据本发明，能补正X射线检测器的外周部的强度分布的失真。其结果，能扩大X射线强度数据的检测区域。并且在将多个检测器合起来进行模块化时，能减低检测器间的不能进行检测的缝隙。
附图说明
图1是表示本发明的X射线检测系统的结构的一例的概略图。
图2是表示检测器模块以及X射线数据处理装置的结构的框图。
图3是表示X射线检测器的结构的截面图。
图4是表示检测器模块的一部分的结构的侧视图。
图5是表示本发明的处理装置的结构的框图。
图6是表示本发明的补正功能的生成方法的流程图。
图7A、图7B分别是表示X射线检测器的外周部中的像素和扩充率的一例的示意图。
图8A、图8B分别是表示X射线检测器的外周部中的像素和扩充率的一例的示意图。
图9A、图9B分别是表示补正前以及补正后的X射线图像图。
附图标记的说明
10 X射线检测系统
20 X射线源
S 样品
50 检测器模块
100 X射线检测器
110 传感器层
115 入射层
117 N+层
118 N体层
119 P+层
120 像素(实体像素)
125 保护环
130 辨别电路
140 计数器部
150 计数器读出电路
160 ROIC层
200 处理装置
210 测定数据管理部
220 算出部
230 第1功能生成部
240 第2功能生成部
250 存储部
260 补正部
300 输入部
400 输出部
520 虚拟像素
530、630 扩充像素
具体实施方式
接下来参考附图来说明本发明的实施方式。为了易于理解说明而在各附图中对相同结构要素标注相同参考编号，省略重复的说明。
(系统全体的结构)
图1是表示X射线检测系统10的结构的一例的概略图。如图1所示那样，X射线检测系统10由X射线源20、样品S、检测器模块50以及处理装置200构成。
X射线源20例如使从作为阴极的丝极辐射的电子束与作为对阴极的转子靶碰撞来使X射线产生。从X射线源20辐射的X射线是所谓的点聚焦的X射线束。
在转子靶的外周面例如设有Mo或Cu那样的金属。在电子碰撞Mo靶时，辐射包含作为特征射线的MoKα射线(波长
Figure GDA0003603114900000051
)的X射线。在电子碰撞Cu靶时，辐射包含作为特征射线的CuKα射线(波长
Figure GDA0003603114900000052
)的X射线。
样品S被样品支承装置支承。检测器模块50检测例如在样品S衍射的衍射X射线或荧光X射线。处理装置200对检测到的计数值进行处理，输出检测结果。关于检测器模块50以及处理装置200的详细，之后叙述。
(检测器模块的结构)
图2是表示检测器模块50以及处理装置200的结构的框图。检测器模块50具备在X射线的检测面平行排列的多个X射线检测器100。X射线检测器100例如是光子计数方式的像素阵列型的二维半导体检测器，在X射线的入射侧具备X射线受光用的传感器层110，在其背面具备ROIC层160。另外，X射线检测器100并不限于二维半导体检测器，也可以是一维半导体检测器。
在ROIC层160读出在传感器层110产生的信号。ROIC层160具有多个像素120、辨别电路130、计数器部140、计数器读出电路150。对传感器层110二维阵列化地平铺多个像素120，原则上以统一的形状规则地排列。辨别电路130与多个像素120各自连接，进而计数器部140与各个辨别电路130连接。计数器读出电路150与各计数器部140连接。另外，像素是检测的单位区域，可以是条带。
辨别电路130按每个X射线波长辨别像素120的脉冲信号并输出。计数器部140对由辨别电路130按每个波长辨别的信号各自的个数进行计数。计数器部140例如内置与辨别数相同数量的计数器电路，使得能对由辨别电路130辨别的数量的脉冲信号分别进行计数。计数器读出电路150的输出信号作为通过能量的阈值分离的X射线的强度分布数据通过通信线传输到处理装置200。另外，数据可以通过无线或介质传递到处理装置200。
处理装置200例如由PC(个人计算机)、服务器或电路构成，优选是PC。PC例如由用于运算控制的CPU、用于存储数据的存储器、存储于存储器内的给定区域的系统软件以及存储于存储器内的其他给定区域的应用程序软件等构成。
在处理装置200连接键盘等，作为接受用户的输入的输入部300。另外，在处理装置200连接显示器、打印机等输出部400。输出部400按照来自处理装置200的指示输出测定结果。
(传感器层以及强度分布的失真)
图3是表示传感器层110的结构的截面图。在图3所示的示例中，传感器层110具备入射层115、N+层117、N体层118以及P+层119。入射层115是被覆X射线所入射的表面的层。N+层117由杂质多的N型半导体形成，N体层118由杂质少的N型半导体形成，P+层由杂质多的P型半导体形成。N体层118形成有感区域，通过入射到该层的X射线产生信号，各P+层将产生的信号传递到像素120。若是传感器层110的表面的中央，信号就会传递到X射线入射的位置的像素120。
但在传感器层110的外周部形成保护环125，保护环125包围传感器层110的外周侧而形成。由于该结构而在N体层118内，外周部的电场扭曲，外周部的等电位面形成向入射层115方向形成凸的曲面。并且在入射层115，灵敏度范围沿着电场向像素120的投影区域的外侧扩大。在图3中，一点划线表示等电位面，由于引起该一点划线所示那样的电位梯度，结果如虚线所示那样，外周部的像素120所覆盖的灵敏度范围增大，这样的话，外周部的X射线的强度分布被失真地检测到。
因此，需要对进入到像素的像素外侧的信号进行外周补正。在该情况下，虽然如上述那样的话强度分布会失真，但若能合适地补正该灵敏度范围的X射线的强度分布，反而能将检测区域向外周侧扩充。但在单纯的强度补正中，X射线图像会失真。与此相对，若进行图像尺寸的扩充，就能得到被适合补正的X射线图像。例如由一边100μm的正方形构成1像素的情况下，若能将灵敏度范围向外侧扩充300μm份，就会提升3像素份的位置精度。另外，强度分布的补正方法的详细后述。
由于传感器层110越厚则高能的X射线的灵敏度越得到提升，因此上述的补正是传感器层110越厚则效果越显著。例如与厚度300μm相比，厚度1mm的X射线检测器应补正的失真变大。在传感器层的厚度为300μm以上的情况下会出现1像素以上的偏离，因此外周补正的效果特别高。
(检测器间的缝隙)
能将检测区域向外周侧扩充意味着在将多个X射线检测器100合起来模块化时能减低检测器间的不能进行检测的缝隙。图4是表示检测器模块50的一部分的结构的侧视图。图4部分扩大了将X射线检测器100排列配置时的检测器间。如图4所示那样将X射线检测器100并排2台，若配置在基板170上，则为了防止端部相互碰上，在相互的传感器层110空开间隙而设。其结果在像素间空开d1的间隙。通过对其如上述那样扩充外周部的灵敏度区域，能将检测区域的间隙缩减到d2。即，由于与物理的像素的配置相比，实际上加大了灵敏度区域，因此能缩窄间隙。
(处理装置的结构)
图5是表示处理装置200的结构的框图。处理装置200具备测定数据管理部210、算出部220、第1功能生成部230、第2功能生成部240、存储部250以及补正部260，能进行X射线的强度分布的外周补正。外周补正能与X射线强度数据的测定同时(实时)处理。
测定数据管理部210对在X射线检测器100按每个像素检测到的计数值进行接受、管理。例如测定数据管理部210与像素120的地址(i，j)建立关联地存储在该像素检测到的X射线的计数值。
算出部220基于检测出一致的X射线照射所得的强度分布，来算出在外周部的像素检测到的X射线强度数据的扩充率。本来在照射一致的X射线的情况下应当得到一致的强度分布，基于这样的假定，将在外周部的像素产生的强度的增加份认为是向外周侧的扩充份来算出扩充率。另外，X射线强度数据优选是在二维检测器检测到的数据，但电可以是在一维检测器中检测到的数据。因此，成为计算对象的强度分布的数据是在1个方向或2个方向上排列的多个像素中检测到的X射线强度数据。
算出部220优选使用在外周侧的像素检测到的X射线强度数据相对于在内侧的像素检测到的X射线强度数据的比来算出扩充率。由此能补正在外周部因特有的电位梯度产生的失真。另外，所谓内侧的像素，是指不受外周部的电场的失真的影响的靠近中央位置的像素。
算出部220优选使用在配置于内侧的特定范围的像素检测到的X射线强度数据的平均值，作为在内侧的像素检测到的X射线强度数据。例如能使用中央或其附近的像素的X射线强度数据。由此能使用可靠性高的数据生成测量外周部的失真的基准。
第1功能生成部230基于扩充率来生成分配功能，将在外周侧的像素检测到的X射线强度数据向外侧的像素分配。分配功能具体能在用于变换针对各像素的X射线强度数据的表格来确定，能作为表格存储。如此，通过能基于进行一致的X射线照射时的强度分布来进行外周补正，能补正外周部的强度分布的失真。其结果能扩大X射线强度数据的检测区域。
第2功能生成部240对用分配功能补正检测出一致的X射线照射所得的强度分布而得到的强度分布生成一致性补正功能。如此，除了能追加外周补正功能以外，还能追加一致性补正的功能。一致性补正功能具体能在用于变换针对各像素的X射线强度数据的表格来确定，能作为表格存储。其结果，能在X射线强度数据的分配后在1次一致性补正中有效率地进行补正。另外，也可以加进球面补正功能的生成。
存储部250存储分配功能以及一致性补正功能。分配功能针对分配前的像素的位置以及X射线强度数据的输入来输出分配后的像素的位置以及X射线强度数据。具体优选是用于使得能进行分配的变换表格。另外，也可以仅对位于外周附近的像素使之变换可能。分配前的像素仅由实体像素构成，分配后的像素不仅包含实体像素，还包含设于外周部的虚拟像素。一致性补正功能针对分配后的像素位置以及X射线强度数据的输入来输出对各像素的位置以及该X射线强度数据进行过一致性补正的数据。
补正部260使用分配功能对通过测定检测到的强度分布进行外周补正。由此能使用能补正外周侧的强度分布的失真的功能来补正测定数据。通过测定检测到的X射线强度数据，优选是在单晶的衍射测定中得到的数据。由此能在大的范围内同时测定单晶的多个衍射斑点。虽然若是粉末的话强度补正中没有影响，但在单晶的情况下能发挥扩大检测面的效果。
另外，补正部260优选进一步具备对进行过外周补正的数据进行一致性补正的一致性补正部。通过如此在外周补正后进行一致性补正，能有效率地进行补正。
另外，补正部260优选赋予随机性来分配在外周侧的像素检测到的X射线强度数据。由此能对分配赋予自然的统计变异，能减低像素的边界附近的分配的影响。
另外，补正部260，优选对分割计数值时的边界赋予以与该计数值的标准偏差成正比的数值为最大幅的偏离，作为随机性。由此能对每个像素赋予与计数值相应的适度的随机性。即，优选对实体像素的计数值的平方根乘以一定的系数，并对由此得到的数值上乘以-1以上1以下的随机数来算出偏离。通过这样的算出，能算出容易赋予随机性的计数值。
具体能算出如下那样的分配比。例如在将计数值分配到2/3的区域和1/3的区域时，如以下那样对面积比率赋予与标准偏差成正比的随机的偏离σ1。由此能对计数值赋予随机性来扩大标准偏差，并能保存总计数。另外，数式(1)的2/√n的2是恒定的系数，也可以在每次测定改变值。
Figure GDA0003603114900000101
(补正功能的生成方法)
图6是表示补正功能的生成方法的流程图。首先对X射线检测器照射一致的X射线(步骤S1)。算出得到的强度分布当中、在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据的扩充率(步骤S2)。使用扩充率来生成将在外周侧的单位区域检测到的X射线强度数据向外侧的单位区域分配的功能(步骤S3)。使用对一致照射的强度分布进行过外周补正的数据来生成一致性补正的功能(步骤S4)。存储得到的外周补正和一致性补正的补正功能(步骤S5)。能对如此测定的强度分布进行外周补正以及一致性补正。另外，处理装置200的这些功能能由存储器以及处理器实现。
(外周补正的原理)
对外周补正的分配功能的原理进行说明。首先为了简单而考虑一维检测器中的分配。这时，在最外侧的像素中的X射线强度数据是中央或附近的像素的X射线强度数据的n倍的情况下，从该强度比可知偏离的距离。由此能带有强度的梯度地对虚拟像素分配X射线强度数据。例如若应成为10000的强度是11500，就假定为该像素向外侧伸长1.15，能进行强度的分配。在该情况下，将0.15份分配到外侧的像素，若能假定为分配的像素的强度向外侧伸长1.25，0.15和0.25就被进一步分配到外侧的像素。若重复这一过程，就能决定分配功能。
接下来说明二维检测器的情况。图7A、图7B分别是表示X射线检测器的外周部的像素和扩充率的一例的示意图。在图7A所示的示例中，以实线描绘的像素表示实体像素120。另外，以虚线描绘的像素表示虚拟像素520。在通过测定得到的强度分布的数据中，该X射线强度数据与实体像素120对应，不存在虚拟像素520的数据。虚拟像素520被虚拟地设置成直到灵敏度区域所及的范围。
在图7A所示的示例中，针对照射一致的X射线时的各实体像素120的X射线强度数据以A、B、C、D、D+α、D+β、E、E+α、F、J表征。对这些数据，例如能将数据扩充为J＝1倍(基准)、F＝1.5倍、E＝2倍、D＝2.5倍、C≈1.5×1.5倍、B≈2×2倍、A≈2.5×2.5倍，来进行分配。另外，在由于配置的对称性从而针对一致照射成为相同强度值的情况下，用相同记号来表征X射线强度数据。
另外，一致照射，理想上是指每单位面积的计数相等的照射，所谓「因对称性而成为相同强度值」，是指该理想的情况。虽然在实际求取各像素的倍率时会出现统计误差，但以足够大的计数进行测定，在统计误差变得足够小的条件下决定倍率即可。即，测定的结果是，能估计收敛的值，上述的示例的用相同记号表征的像素的值变得相同。这样的值的决定方法还在用一致性补正决定系数时进行。
在图7B中，根据图7A所示的实体像素120的强度分布来决定一点划线所示的扩充像素530的大小。如此计算出的扩充像素530与实体像素120以及虚拟像素520重复。能决定将与该重复份相应的X射线强度数据向实体像素120以及虚拟像素520分配的分配方法。这样的分配功能例如能通过表格确定，作为表格的数据存储。
(弓形的扩充像素)
图8A、图8B分别是表示X射线检测器的外周部的像素和扩充率的一例的示意图。如图8B的曲线的一点划线所示那样，还能基于有感区域的等电位面是向检测面侧凸的曲面这点，将靠近角的扩充像素630(图8B的示例中靠近角的4个区划)预估成弓形。在该情况下，能生成分配功能，对与在角侧被歪扭的曲线区划的扩充像素630重复的实体像素120以及虚拟像素520分配X射线强度数据。另外，上述的曲线的形状能基于在传感器层110内产生的电场预先决定。
(实施例)
使用上述的方法实际拍摄X射线图像，并进行外周补正。图9A、图9B分别是表示补正前以及补正后的X射线图像的图。图中的X射线图像中都是测定呈现为倾斜的直线的强度分布。根据分别呈现为强度分布的直线的靠近中央的部分，沿着强度分布的边界向外周侧延伸基准的直线L1、L2。其结果，如图9A所示那样，在补正前的X射线图像中可知，在外周部的区域C1，强度分布的边界从直线L1背离，强度分布失真。另一方面，如图9B所示那样，在补正后的X射线图像中可知，在外周部的区域C2，强度分布的边界与直线L2保持一致，通过外周补正补正了强度分布的失真。

Claims (10)

1.一种处理装置，能进行X射线强度数据的外周补正，所述X射线强度数据由光子计数方式的像素阵列型的二维半导体检测器得到，其特征在于，具备：
算出部，其基于检测一致的X射线照射所得的强度分布，在根据应当检测到一致的强度分布的假定，将在外周部的像素产生的X射线强度数据的增加份作为向外周侧的单位区域扩充的扩充份时，算出在外周部的单位区域检测到的X射线强度数据的扩充率；和
第1功能生成部，其基于所述扩充率来生成将在所述外周部的单位区域检测到的X射线强度数据向外周侧的单位区域分配的分配功能，
所述算出部，在所述外周侧的像素的X射线强度数据为中央附近的像素的X射线强度数据的n倍的情况下，假定所述外周侧的像素在所述外周部扩充n倍，算出所述扩充率。
2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
所述算出部使用在所述外周部的单位区域检测到的X射线强度数据相对于在内侧的单位区域检测到的X射线强度数据的比来算出所述扩充率。
3.根据权利要求2所述的处理装置，其特征在于，
所述算出部使用在配置于内侧的特定范围的单位区域检测到的X射线强度数据的平均值，作为在所述内侧的单位区域检测到的X射线强度数据。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的处理装置，其特征在于，
所述处理装置还具备：
第2功能生成部，其对用所述分配功能补正检测到所述一致的X射线照射的强度分布而得到的强度分布生成一致性补正功能。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的处理装置，其特征在于，
所述处理装置还具备：
补正部，其使用所述分配功能对通过测定而检测到的强度分布进行外周补正。
6.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，
所述补正部赋予随机性，来分配在所述外周部的单位区域检测到的X射线强度数据。
7.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，
所述补正部使用一致性补正功能对进行过所述外周补正的强度分布进行一致性补正。
8.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，
通过所述测定而检测到的强度分布是在单晶的衍射测定中得到的数据。
9.一种处理方法，能进行X射线强度数据的外周补正，所述X射线强度数据由光子计数方式的像素阵列型的二维半导体检测器得到，其特征在于，包括如下步骤：
基于检测一致的X射线照射所得的强度分布，在根据应当检测到一致的强度分布的假定，将在外周部的像素产生的X射线强度数据的增加份作为向外周侧的单位区域扩充的扩充份时，算出在外周部的单位区域检测到的X射线强度数据的扩充率；
基于所述扩充率来生成将在所述外周部的单位区域检测到的X射线强度数据向外周侧的单位区域分配的分配功能，
在所述外周侧的像素的X射线强度数据为中央附近的像素的X射线强度数据的n倍的情况下，假定所述外周侧的像素在所述外周部扩充n倍，算出所述扩充率。
10.一种记录介质，是记录能进行X射线强度数据的外周补正的控制程序的计算机可读且非临时的记录介质，所述X射线强度数据由光子计数方式的像素阵列型的二维半导体检测器得到，其特征在于，
所述控制程序使计算机执行如下处理：
基于检测一致的X射线照射所得的强度分布，在根据应当检测到一致的强度分布的假定，将在外周部的像素产生的X射线强度数据的增加份作为向外周侧的单位区域扩充的扩充份时，算出在外周部的单位区域检测到的X射线强度数据的扩充率；
基于所述扩充率来生成将在所述外周部的单位区域检测到的X射线强度数据向外周侧的单位区域分配的分配功能，
在所述外周侧的像素的X射线强度数据为中央附近的像素的X射线强度数据的n倍的情况下，假定所述外周侧的像素在所述外周部扩充n倍，算出所述扩充率。
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