DE102013222196A1 - Röntgendetektor und Röntgenbeugungsvorrichtung - Google Patents

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Kazuyuki Matsushita
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Abstract

Ein Siliziumstreifendetektor mit einer ersten Röntgendetektionseinheit (11) mit einer Vielzahl von Streifen (12), die parallel zueinander in einer ersten Richtung angeordnet sind, und mit einer zweiten Röntgendetektionseinheit (21) mit einer Vielzahl von Streifen (22), die zu einer parallel in einer zweiten Richtung senkrecht zu der ersten Richtung angeordnet sind, wird als ein Röntgendetektor (2) verwendet. Der Röntgendetektor (2) ist in einer Röntgenbeugungsvorrichtung angebracht, während die erste Richtung in Übereinstimmung mit einer Tangentialrichtung einer 2Θ-Drehung gebracht ist, und die zweite Richtung in Übereinstimmung mit einer Tangentialrichtung einer χ-Drehung gebracht ist, um eine In-Ebenen-Beugungsmessung durchzuführen.

Description

  • Gebiet der Erfindung:
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Röntgenbeugungsvorrichtung, bei welcher sowohl normale Röntgenbeugungsmessungen basierend auf einer 2Θ-Drehung als auch In-Ebenen-Beugungsmessungen durchgeführt werden können, und auf einen Röntgendetektor, der für die Röntgenbeugungsvorrichtung geeignet ist.
  • Technischer Hintergrund:
  • Ein Siliziumstreifendetektor (SSD) ist als Röntgendetektor bekannt, der für Röntgenbeugungsmessungen einsetzbar ist. Wie in 8 zu sehen ist, ist ein konventioneller Siliziumstreifendetektor so eingerichtet, dass beispielsweise streifenförmige Halbleiter vom p+-Typ auf einer Oberfläche eines Halbleiters vom n-Typ gebildet sind, und ein Halbleiter vom n+-Typ auf der Rückseitenoberfläche des Halbleiters vom n-Typ angeordnet ist. Eine hinreichende inverse Vorspannung ist zwischen jedem der Halbleiter vom p+-Typ und dem Halbleiter vom n+-Typ angelegt, um eine Verarmungsschicht in einem Abschnitt des Halbleiters vom n-Typ zu erzeugen. Dementsprechend bilden jeder streifenförmige Halbleiter vom p+-Typ und der Halbleiter vom n-Typ einen pn-Übergang aus, wobei jeder Streifen als Halbleiterdetektor wirkt. Wenn geladene Teilchen durch die solchermaßen gebildete Verarmungsschicht hindurchtreten, entstehen Elektronen-Loch-Paare, deren Anzahl proportional zu der von den geladenen Teilchen freigesetzten Energie ist, und die Elektronen werden zu den streifenförmigen Halbleitern vom p+-Typ (nachfolgend als „p+ Streifen” bezeichnet) hin gezogen, während die Löcher zu der Halbleiteroberfläche vom n+-Typ hingezogen werden. Infolgedessen können die Positionen, an welchen die geladenen Teilchen hindurchtreten, und die von den geladenen Teilchen an die Detektoren (d. h., die p+ Streifen) abgegebene Energie detektiert werden, indem diese Signale ausgelesen werden. Ein Halbleiter vom n+-Typ kann als ein Streifen zum Auslesen dieser Signale verwendet werden (siehe die Seiten 26 bis 27 aus „Research & Development of Extended Interval Silicon Strip Detector in BELLE-SVD", Aufsatz von Senyo Katsumi, Nagashima's Laboratory, Department of Physics, Faculty of Science of Osaka University, vom 8. Februar 1996 (Dokument 5)).
  • 9 ist ein Diagramm, das den Aufbau eines Röntgendetektors zeigt, in welchem ein Siliziumstreifendetektor, der in JP-A-2010-38722 (Dokument 1) offenbart ist, eingesetzt wird.
  • Der Röntgendetektor 102 besitzt mehrere schmale Einheitsdetektionsgebiete 103. Die Einheitsdetektionsgebiete 103 erstrecken sich derart, dass sie in einer X-Richtung länglich angeordnet sind. Diese Einheitsdetektionsgebiete 103 sind parallel zueinander angeordnet (d. h., sie liegen Seite an Seite). Das bedeutet, dass die mehreren Einheitsdetektionsgebiete 103 benachbart zueinander entlang einer Y-Richtung angeordnet sind (in einer Richtung senkrecht zur X-Richtung). Dieser Röntgendetektor 102 ist ein Detektor vom Typ mit einer eindimensionalen Positionsempfindlichkeit, welcher eine Detektionsposition in der Y-Richtung auflösen (identifizieren) kann.
  • Jedes Einheitsdetektionsgebiet 103 ist mit einem Detektionsschaltkreis 101 verbunden. Das Einheitsdetektionsgebiet 103 hat die Funktion, Röntgenphotonen eines nach dem anderen zu detektieren, und ein elektrisches Signal entsprechend der Energie des detektierten Röntgenphotons auszugeben. Der Detektionsschaltkreis nimmt (detektiert) anhand seiner Energieauflösungs- oder Unterscheidungsfunktion nur Signale entsprechend der Röntgenenergie zwischen vorbestimmten oberen und unteren Grenzenergiewerten unter den von den Einheitsdetektionsgebieten 103 ausgegebenen Signalen auf. Das heißt, dass der Detektionsschaltkreis 101 ausschließlich die oben beschriebenen Signale zählt. Die oberen und unteren Grenzenergiewerte der Röntgenenergie können beliebig vom Bedienpersonal gesetzt werden.
  • Einige Röntgenbeugungsvorrichtungen können sowohl Röntgenbeugungsmessungen basierend auf einer 2Θ-Drehung als auch In-Ebenen-Röntgenbeugungsmessungen durchführen. JP-A-H11-304731 (Dokument 2) und JP-A-2004-294136 (Dokument 3) offenbaren solch einen Typ von Röntgenbeugungsvorrichtungen.
  • Hierbei bezeichnet die In-Ebenen-Beugung eine Eigenschaft, dass, wenn Röntgenstrahlung auf der Oberfläche einer Probe unter einem kleinen Einfallswinkel einfällt, Röntgenbeugung unter einem kleinen Winkel in Bezug auf die Oberfläche der Probe auftritt. Diese Eigenschaft beruht auf der Tatsache, dass, wenn Röntgenstrahlung auf eine Probe unter einem kleinen Einfallswinkel einfällt, eine parallel zu der Oberfläche der Probe fortschreitende Röntgenkomponente in der Probe erzeugt wird, und eine Beugung der Röntgenkomponente in einer Kristallebene senkrecht zur Oberfläche der Probe auftritt, so dass deren gebeugte Röntgenstrahlung von der Probe nahezu parallel zu der Oberfläche abgestrahlt wird.
  • Diese In-Ebenen-Beugung ist ein zur Untersuchung dünner Filme geeignetes Verfahren, und es ist sehr nützlich zur Untersuchung von Proben wie solchen Proben, deren Filmdicke abnimmt, Proben, bei denen In-Ebenen-Orientierung aufgrund von Kompatibilitäten mit einem Substrat auftritt, etc. Um die In-Ebenen-Beugungsmessung durchzuführen, muss der Röntgendetektor einer 2Θ-Drehung für die optische Positionseinstellung unterworfen werden, und muss ferner einer Scan-Drehung in einer In-Ebenen-Richtung senkrecht zur 2Θ-Drehebene unterworfen werden, d. h., in einer χ-Richtung, um die In-Ebenen-Beugungsröntgenstrahlung zu detektieren.
  • In einem Fall, wo der Röntgendetektor (Siliziumstreifendetektor) wie oben beschrieben in der oben beschriebenen Röntgenbeugungsvorrichtung verwendet wird, ist es erforderlich, die Anordnungsausrichtung der Einheitsdetektionsgebiete 103 an die tangentiale Richtung der 2Θ-Drehung anzupassen (in Übereinstimmung zu bringen), wenn die Röntgenbeugungsmessungen auf Basis der 2Θ-Drehung wie in 10 gezeigt durchgeführt werden. Ferner ist es erforderlich, die Anordnungsausrichtung der Detektionsgebiete 103 entsprechend der In-Ebenen-Scanrichtung an die tangentiale Richtung der χ-Richtung anzupassen (in Übereinstimmung zu bringen), wenn die In-Ebenen-Beugungsmessung wie in 11 gezeigt durchgeführt wird.
  • Wenn folglich der Röntgendetektor 102, der so eingerichtet ist, dass mehrere schmale Einheitsdetektionsgebiete 103 parallel zueinander angeordnet sind wie beim Siliziumstreifendetektor, in der konventionellen Röntgenbeugungsvorrichtung verwendet wird, dann muss die Anordnung (Ausrichtung) des Röntgendetektors 102 zwischen der Röntgenbeugungsmessung basierend auf der 2Θ-Drehung und der In-Ebenen-Beugungsmessung jedes Mal gewechselt werden, und diese Wechseltätigkeit ist mühsam und stört eine schnelle Messung.
  • Die U.S.-Patentveröffentlichung Nr. 2005-0105684 (Dokument 4) offenbart einen Aufbau zum Drehen eines Röntgendetektors um eine Achse senkrecht zu einer Detektionsebene. Jedoch ist der offenbarte Aufbau bloß konzeptionell, und wenn er auf die aktuelle Vorrichtung angewendet wird, macht die Einbindung einer Drehvorrichtung in einen Röntgendetektor den Röntgendetektor selbst erheblich größer, weil der Röntgendetektor selbst schon ursprünglich groß und schwer ist. Daher kann das Problem auftreten, dass der Scan-Bereich des Röntgendetektors eingeschränkt werden muss, um eine Beeinträchtigung durch die umgebenden Bauteile zu vermeiden.
  • Zusammenfassung der Erfindung:
  • Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der vorhergehenden Situation implementiert, und besitzt die Aufgabe, einen Röntgendetektor bereitzustellen, der für eine Röntgenbeugungsvorrichtung geeignet ist, und eine Vielzahl von schmalen Einheitsmessgebieten besitzt, die parallel zueinander angeordnet sind, so dass sowohl Röntgenbeugungsmessungen basierend auf 2Θ-Drehung als auch In-Ebenen-Beugungsmessungen durchgeführt werden können, und die Aufgabe, eine Röntgenbeugungsvorrichtung bereitzustellen, in welcher der Röntgendetektor verwendet wird.
  • Um die oben beschriebene Aufgabe zu lösen, umfasst gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Röntgendetektor eine erste Röntgendetektionseinheit mit einer Vielzahl von schmalen Einheitsmessgebieten, die parallel zueinander in einer ersten Richtung angeordnet sind, und eine zweite Röntgendetektionseinheit mit einer Vielzahl von schmalen Einheitsmessgebieten, die parallel zueinander in einer zweiten Richtung senkrecht zur ersten Richtung angeordnet sind.
  • Der Röntgendetektor ist ein Detektor von dem Typ mit einer eindimensionalen Positionsempfindlichkeit, welcher die Detektionsposition in einer Richtung auflösen bzw. unterscheiden (identifizieren) kann, entlang welcher die mehreren schmalen Einheitsmessgebiete parallel zueinander angeordnet aufgereiht sind.
  • Der Röntgendetektor kann durch einen Siliziumstreifendetektor aufgebaut sein, bei welchem aus einem Halbleiter gebildete Streifen schmale Einheitsmessgebiete ausbilden.
  • Ferner umfasst gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung in einer Röntgenbeugungsvorrichtung umfassend eine Θ-Drehvorrichtung, die eine in einer Probenhalterung gehaltene Probe um eine ω-Axiallinie herum dreht, die sich entlang der Oberfläche der Probe erstreckt, eine Röntgenquelle, die die Oberfläche der Probe mit Röntgenstrahlung bestrahlt, einen Röntgendetektor, der die von der Probe gebeugte Röntgenstrahlung detektiert, eine 2Θ-Drehvorrichtung, die den Röntgendetektor einer Θ-Drehung um die ω-Axiallinie herum unterzieht, und eine In-Ebenen-Drehvorrichtung, die den Röntgendetektor einer χ-Drehung um eine Axiallinie senkrecht zu der ω-Axiallinie unterzieht, dieser Röntgendetektor den Röntgendetektor gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung.
  • Hierbei ist in dem Röntgendetektor die erste Richtung, entlang welcher die schmalen Einheitsmessgebiete der ersten Röntgendetektionseinheit parallel zu einander angeordnet sind, auf die tangentiale Richtung der 2Θ-Drehung angepasst, und die zweite Richtung, entlang welcher die schmalen Einheitsmessgebiete der zweiten Röntgendetektionseinheit parallel zueinander angeordnet sind, ist auf die tangentiale Richtung der χ-Drehung angepasst.
  • Gemäß dem obigen Aufbau kann die Röntgendetektion basierend auf der 2Θ-Drehung durch die erste Röntgendetektionseinheit durchgeführt werden, und die Röntgendetektion basierend auf der χ-Drehung kann durch die zweite Röntgendetektionseinheit durchgeführt werden. Infolgedessen können sowohl die Röntgenbeugungsmessung basierend auf der 2Θ-Drehung als auch die In-Ebenen-Beugungsmessung basierend auf der χ-Drehung leicht und schnell durchgeführt werden, ohne dass der Röntgendetektor ausgetauscht werden muss, und ohne dass irgendeine Drehvorrichtung für den Röntgendetektor selbst bereitgestellt werden muss.
  • Ferner umfasst die Röntgenbeugungsvorrichtung weiter eine Auswahl- und Betriebseinheit, die beliebig die erste Röntgendetektionseinheit oder die zweite Röntgendetektionseinheit auswählt und betreibt.
  • Darüber hinaus umfasst die Röntgenbeugungsvorrichtung weiter eine Datenverarbeitungseinheit, die aus der ersten Röntgendetektionseinheit beziehungsweise der zweiten Röntgendetektionseinheit ausgegebene Detektionsdaten verarbeitet, wobei die Auswahl- und Betriebseinheit automatisch die erste Röntgendetektionseinheit oder die zweiten Röntgendetektionseinheit auswählt und betreibt, deren Detektionsdaten durch die Datenverarbeitungseinheit als Datenverarbeitungszielobjekt ausgewählt wurden.
  • Bei dem Röntgendetektor sind die erste Röntgendetektionseinheit und die zweite Röntgendetektionseinheit getrennt voneinander angeordnet. Folglich liegen deren Messungsreferenzpositionen weg voneinander. Wenn dementsprechend die Röntgenbeugungsvorrichtung gesteuert wird, ist es notwendig, dass der Ursprung für die 2Θ-Drehung mit der Röntgenmessungsreferenzposition der ersten Röntgendetektionseinheit assoziiert wird (mit dieser in Übereinstimmung gebracht wird), und dass der Ursprung für die χ-Drehung mit der Röntgenmessungsreferenzposition der zweiten Röntgendetektionseinheit assoziiert wird (mit dieser in Übereinstimmung gebracht wird).
  • Daher wird die vorliegende Erfindung bevorzugt mit einer Ursprungs-Anpassungseinheit versehen, die eine vorbestimmte Röntgenmessungsreferenzposition der ersten Röntgendetektionseinheit mit einem Messungsursprung für die 2Θ-Drehung in Übereinstimmung bringt, und die eine vorbestimmte Röntgenmessungsreferenzposition der zweiten Röntgendetektionseinheit mit einem Messungsursprung für die χ-Drehung in Übereinstimmung bringt, auf Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition der ersten Röntgendetektionseinheit sowie der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition der zweiten Röntgendetektionseinheit.
  • Des Weiteren kann die vorliegende Erfindung mit einer Ursprungs-Anpassungseinheit versehen sein, die eine vorbestimmte Röntgenmessungsreferenzposition der ersten Röntgendetektionseinheit mit einem Messungsursprung für die 2Θ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition der ersten Röntgendetektionseinheit in Übereinstimmung bringt, und die vorliegende Erfindung kann mit einer Ursprungskorrektureinheit versehen sein, die einen Versatz zwischen einer vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition der zweiten Röntgendetektionseinheit und einem Messungsursprung für die χ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition der zweiten Röntgendetektionseinheit korrigiert, wobei der Versatz in einem Zustand auftritt, bei dem die Röntgenmessungsreferenzposition der ersten Röntgendetektionseinheit in Übereinstimmung mit dem Messungsursprung für die 2Θ-Drehung gebracht wird. Oder die vorliegende Erfindung kann mit einer Ursprungs-Anpassungseinheit versehen sein, die eine vorbestimmte Röntgenmessungsreferenzposition der zweiten Röntgendetektionseinheit mit einem Messungsursprung für die χ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition der zweiten Röntgendetektionseinheit in Übereinstimmung bringt, und die Erfindung kann mit einer Ursprungskorrektureinheit versehen sein, die einen Versatz zwischen einer vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition der ersten Röntgendetektionseinheit und einem Messungsursprung für die 2Θ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition der ersten Röntgendetektionseinheit korrigiert, wobei der Versatz in einem Zustand auftritt, bei dem die Röntgenmessungsreferenzposition der zweiten Röntgendetektionseinheit in Übereinstimmung mit dem Messungsursprung für die χ-Drehung gebracht wird.
  • Bei dem obigen Aufbau können die erste Röntgendetektionseinheit und die zweite Röntgendetektionseinheit integral miteinander auf dem gleichen Substrat ausgeführt sein.
  • Ferner kann die Röntgenbeugungsvorrichtung so eingerichtet sein, dass zwei Elementröntgendetektoren mit jeweils einer Vielzahl von schmalen Einheitsmessungsgebieten, die parallel zueinander angeordnet sind, auf dem gleichen Substrat angeordnet sind. Die Vielzahl von schmalen Einheitsmessgebieten des einen Elementröntgendetektors sind in der ersten Richtung angeordnet, um die erste Röntgendetektionseinheit auszubilden, und die Vielzahl von schmalen Einheitsmessungsgebieten des anderen Elementröntgendetektors sind in der zweiten Richtung angeordnet, um die zweite Röntgendetektionseinheit auszubilden.
  • Bei dem obigen Aufbau kann eine Abschirmabdeckung vom Flachplattentyp, die eine Röntgenabschirmungsfunktion besitzt und mit einem darin ausgebildeten linearen Schlitz versehen ist, auf einer Detektionsfläche der zweiten Röntgendetektionseinheit angebracht sein, während die Längsrichtung des Schlitzes mit der zweiten Richtung in Übereinstimmung gebracht ist.
  • Mit dem obigen Aufbau werden die mehreren Einheitsmessgebiete der zweiten Röntgendetektionseinheit zu bloßen punktförmigen Messgebieten, welche dem Schlitz gegenüberstehen. Das heißt, dass die wie oben beschrieben mehreren punktförmigen Messgebiete so platziert sind, dass sie zueinander parallel in der zweiten Richtung angeordnet sind. Die in jedem punktförmigen Messgebiet detektierten Röntgendaten werden in Verbindung mit der Schlitzposition zum Detektionszeitpunkt aufakkumuliert, während der Röntgendetektor in der Richtung (2Θ-Drehrichtung) senkrecht zu der parallelen Anordnungsrichtung gescannt wird (2Θ-gescannt), wobei zweidimensionale Röntgenbeugungsdaten auf Grundlage von Koordinatenachsen entsprechend den zwei Richtungen der parallelen Anordnungsrichtung der Messgebiete und der Scanrichtung senkrecht zur parallelen Anordnungsrichtung erhalten werden (in dieser Beschreibung wird diese Messmethode als ”pseudo-zweidimensionale Messung” bezeichnet).
  • Wie oben beschrieben kann sowohl die Röntgenbeugungsmessung auf Grundlage einer 2Θ-Drehung als auch die In-Ebenen-Beugungsmessung auf Grundlage der χ-Drehung leicht und schnell durchgeführt werden, ohne dass der Röntgendetektor ausgetauscht wird, und ohne dass eine beliebige Drehvorrichtung für den Röntgendetektor selbst bereitgestellt werden muss.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • 1 ist eine Draufsicht, die einen Röntgendetektor gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 ist ein schematisches Diagramm, das eine Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 3 ist ein Diagramm, das das Messprinzip auf Basis eines TDI-Modes zeigt;
  • 4 ist ein Blockdiagramm, das ein Steuer-/Verarbeitungssystem der Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 5A bis 5D sind Diagramme, die eine Ursprungs-Anpassungseinheit und eine Ursprungs-Korrektureinheit zeigen;
  • 6 ist eine Draufsicht, die den Aufbau für den Röntgendetektor zeigt, um pseudo-zweidimensionale Messungen durchzuführen;
  • 7 ist eine Draufsicht, die einen Röntgendetektor gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 8 ist eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau eines Siliziumstreifendetektors zeigt;
  • 9 ist eine Draufsicht, die den Aufbau des Siliziumstreifendetektors zeigt;
  • 10 ist ein schematisches Diagramm, das einen Stand der Technik zeigt, bei welchem ein Siliziumstreifendetektor bei der Röntgenbeugungsmessung auf Grundlage einer 2Θ-Drehung verwendet wird; und
  • 11 ist ein schematisches Diagramm, das einen Stand der Technik zeigt, bei welchem ein Siliziumstreifendetektor bei einer In-Ebenen-Beugungsmessung verwendet wird.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Ausführungsbeispiele gemäß der vorliegenden Erfindung werden im Folgenden mit Bezug auf die Zeichnungen erläutert.
  • [Aufbau des Röntgendetektors]
  • Zunächst wird der Aufbau eines Röntgendetektors gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf 1 beschrieben.
  • Der in 1 gezeigte Röntgendetektor 2 besitzt eine erste Röntgendetektionseinheit 11 mit mehreren Streifen 12, welche schmale Einheitsmessgebiete ausbilden und parallel zueinander (Seite an Seite) in einer X-Richtung (erste Richtung) angeordnet sind, sowie eine zweite Röntgendetektionseinheit 21 mit mehreren Streifen 22, welche schmale Einheitsmessgebiete ausbilden und parallel zueinander (Seite an Seite) in einer Y-Richtung (zweite Richtung) ähnlich wie die erste Röntgendetektionseinheit 11 angeordnet sind. Hierbei sind die X-Richtung (erste Richtung) und die Y-Richtung (zweite Richtung) senkrecht zueinander.
  • Der Röntgendetektor dieses Ausführungsbeispiels ist durch die Anbringung des Siliziumstreifendetektors wie in den 8 und 9 gezeigt, ausgestaltet, und jeder der die schmalen Einheitsmessgebiete ausbildenden Streifen 12 und 22 ist aus einem Halbleiter gebildet. Insbesondere sind die aus einem Halbleiter vom p+-Typ gebildeten Streifen 12, 22 auf der Oberfläche eines Substrats 2a gebildet, das aus einem Halbleiter vom n-Typ gebildet ist, wobei die erste Röntgendetektionseinheit 11 und die zweite Röntgendetektionseinheit 21 integral miteinander ausgebildet sind. Die Streifen 12, 22 können aus einem Halbleiter vom n+-Typ gebildet sein (siehe S. 27–28 von Dokument 5).
  • Bei dem oben beschriebenen Röntgendetektor 2 fungiert jeder der Streifen 12 und 22 als Halbleiterdetektor. Die erste Röntgendetektionseinheit 11 wirkt als Detektor vom Typ mit eindimensionaler Positionsempfindlichkeit, welcher die Detektionsposition in der X-Richtung auflösen bzw. unterscheiden kann, und die zweite Röntgendetektionseinheit 21 wirkt als Detektor vom Typ mit eindimensionaler Positionsempfindlichkeit, welcher die Detektionsposition in der Y-Richtung auflösen bzw. unterscheiden kann.
  • Wie oben beschrieben ist dieses Ausführungsbeispiel so ausgestaltet, dass die erste Röntgendetektionseinheit 11 und die zweite Röntgendetektionseinheit 21 beispielsweise integral miteinander auf dem Substrat 2a ausgebildet sind, das aus einem Halbleiter vom n-Typ gebildet ist.
  • [Zusammenfassung der Röntgenbeugungsvorrichtung und des Messverfahrens]
  • Als nächstes wird eine Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf 2 erläutert.
  • Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß diesem Ausführungsbeispiel besitzt einen Aufbau, der sowohl die Röntgenbeugungsmessung auf Grundlage einer 2Θ-Drehung als auch eine In-Ebenen-Beugungsmessung durchführen kann. Das heißt, dass diese Röntgenbeugungsvorrichtung einen Probentisch (nicht dargestellt), eine Röntgenquelle 1 zum Bestrahlen der Oberfläche Sa einer Probe S mit Röntgenstrahlen, einen Röntgendetektor 2 zum Detektieren der von der Probe S gebeugten Röntgenstrahlen, und ein Goniometer (nicht dargestellt) besitzt. Die Probe S ist in einer Probenhalterung auf dem Probentisch gehalten. Das Goniometer besitzt eine Θ-Drehvorrichtung 3, um darin den Probentisch anzubringen und um die Probe S einer Θ-Drehung um eine ω-Axiallinie herum zu unterziehen, die entlang der Probenoberfläche Sa verläuft, sowie eine 2Θ-Drehvorrichtung 4, um den Röntgendetektor 2 vermittels einer In-Ebenen-Drehvorrichtung 5 anzubringen, die nachfolgend beschrieben wird, und den Röntgendetektor 2 einer 2Θ-Drehung um die ω-Axiallinie herum zu unterziehen. Die In-Ebenen-Drehvorrichtung 5 ist in der 2Θ-Drehvorrichtung 4 angebracht, und unterzieht den Röntgendetektor 2 einer χ-Drehung um eine Axiallinie O senkrecht zu der ω-Axiallinie, wobei der Röntgendetektor 2 Scan-Messungen auf Grundlage einer 2Θ-Drehung und einer χ-Drehung an der Probenoberfläche Sa durchführen kann.
  • Die in dem oben beschriebenen Dokument 2 und dem Dokument 3 offenbarten öffentlich bekannten Konstruktionen können für den oben beschriebenen Vorrichtungsaufbau verwendet werden.
  • Wie in 1 gezeigt ist, besitzt der Röntgendetektor 2 die erste Röntgendetektionseinheit 11, bei welcher mehrere Streifen 12 parallel zueinander in der X-Richtung (erste Richtung) angeordnet sind, und die zweite Röntgendetektionseinheit 21, in welcher die mehreren Streifen 22 parallel zueinander in der Y-Richtung angeordnet sind (zweite Richtung).
  • Wie in 1 gezeigt ist, ist der Röntgendetektor 2 in der Röntgenbeugungsvorrichtung derart angebracht, dass die X-Richtung (erste Richtung), entlang welcher die Streifen 12 der ersten Röntgendetektionseinheit 11 parallel zueinander angeordnet sind, an die Tangentialrichtung der 2Θ-Drehung angepasst ist (in Übereinstimmung gebracht ist), und ebenso die Y-Richtung (zweite Richtung), entlang welcher die Streifen 22 der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 parallel zueinander angeordnet sind, an die Tangentialrichtung der χ-Drehung angepasst ist (in Übereinstimmung gebracht ist).
  • Bei der oben beschriebenen Röntgenbeugungsvorrichtung wird die erste Röntgendetektionseinheit 11 des Röntgendetektors 2 für Röntgenbeugungsmessungen auf Grundlage einer 2Θ-Drehung verwendet, und die zweite Röntgendetektionseinheit 21 des Röntgendetektors 2 wird für In-Ebenen-Beugungsmessungen basierend auf einem Scan in einer χ-Drehungsrichtung verwendet.
  • Hierbei wirkt die erste Röntgendetektionseinheit 11 als ein Detektor vom Typ mit eindimensionaler Positionsempfindlichkeit, welcher die Detektionsposition in der X-Richtung (erste Richtung) auflösen bzw. unterscheiden (identifizieren) kann, während jeder Streifen 12 als ein Detektor wirkt, und somit ist die erste Röntgendetektionseinheit 11 besonders geeignet für Röntgenbeugungsmessungen auf Grundlage eines Scanvorgangs in der 2Θ-Drehrichtung, welches als TDI-Modus bezeichnet wird (Time Delay Integration). Die zweite Röntgendetektionseinheit 21 wirkt als ein Detektor vom Typ mit eindimensionaler Positionsempfindlichkeit, welcher die Detektionsposition in der Y-Richtung (zweite Richtung) auflösen bzw. unterscheiden (identifizieren) kann, während jeder Streifen 22 als ein Detektor wirkt, und somit ist die zweite Röntgendetektionseinheit 21 besonders geeignet für eine In-Ebenen-Beugungsmessung basierend auf dem TDI-Modus (Time Delay Integration).
  • In dem TDI-Modus werden mehrere Detektoren a1, a2, a3, a4 (entsprechend den mehreren Streifen 12, 22), die parallel angeordnet sind, in einer Richtung der parallelen Anordnung (der Richtung Q in 3) wie in 3 gezeigt gescannt, um Detektionsdaten aus jedem der Detektoren a1, a2, a3, a4 zu den Zeitpunkten t1, t2, t3, t4 auszulesen, welches einem Bewegungszeitpunkt eines Detektors entspricht. Die Detektionsdaten der entsprechenden Detektoren a1, a2, a3, a4 werden bei jedem Scanwinkel 2Θ1, 2Θ2, 2Θ3, 2Θ4 aufsummiert, und die Röntgenintensität bei jedem Scanwinkel 2Θ1, 2Θ2, 2Θ3, 2Θ4 wird bestimmt.
  • Die Messung basierend auf dem TDI-Modus besitzt einen Vorteil, dass die Messgeschwindigkeit erhöht ist und eine große Detektionsintensität bei jedem Scanwinkel erhalten werden kann. Das Messprinzip basierend auf dem TDI-Modus ist bereits öffentlich bekannt, und ist beispielsweise im Detail im Dokument 1 beschrieben.
  • 4 ist ein Blockdiagramm, das ein Steuer-/Verarbeitungssystem für die Röntgenbeugungsvorrichtung zeigt.
  • Die Röntgenbeugungsvorrichtung besitzt einen Computer 6. Der Computer 6 wird auf der Grundlage eines geeigneten und darin vorinstallierten Programms betrieben. Der Computer 6 steuert die entsprechenden Bauteile wie etwa die Röntgenquelle 1, den Röntgendetektor 2, die Θ-Drehvorrichtung 3, die 2Θ-Drehvorrichtung 4, die In-Ebenen-Drehvorrichtung 5, etc. Ferner fungiert der Computer 6 auch als eine Datenverarbeitungseinheit zum Verarbeiten von Detektionsdaten, die von der ersten Röntgendetektionseinheit 11 und der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 des Röntgendetektors 2 ausgegeben werden. Die verarbeiteten Daten (Messergebnisse) werden in einer Speichereinheit in dem Computer 6 gespeichert, und an externe Ausgabevorrichtungen wie etwa einen Bildschirm 7, einen Drucker 8, etc. ausgegeben.
  • Hierbei wirkt der Computer 6 auch als Auswahl- und Betriebseinheit zum Auswählen der ersten Röntgendetektionseinheit 11 oder der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 und zum Betreiben der ausgewählten Röntgendetektionseinheit. Das heißt, dass der Computer 6 die erste Röntgendetektionseinheit 11 oder die zweite Röntgendetektionseinheit 21 automatisch auswählt und betreibt, die als Datenverarbeitungszielobjekt ausgewählt wurde. Dementsprechend werden die Detektionsdaten automatisch nur von einer der Röntgendetektionseinheiten 11 oder 21 übermittelt.
  • Insbesondere wählt der Computer 6 eine der entsprechenden Messmoden für die Röntgenbeugungsmessung auf Grundlage der 2Θ-Drehung oder für die In-Ebenen-Beugungsmessung auf Grundlage einer externen Anweisung aus, wählt entweder die erste Röntgendetektionseinheit 11 oder die zweite Röntgendetektionseinheit 21 in Übereinstimmung mit dem ausgewählten Messmodus aus, und beginnt mit der Messung. Darüber hinaus verarbeitet der Computer 6 die von der ausgewählten Röntgendetektionseinheit 11 oder 21 aufgenommenen Detektionsdaten.
  • Der Computer 6 wirkt auch als eine Ursprungs-Anpassungseinheit und als eine Ursprungs-Korrektureinheit wie nachfolgend beschrieben ist.
  • [Ursprungs-Anpassungseinheit und Ursprungs-Korrektureinheit]
  • Wie in den 5A bis 5D gezeigt ist, ist bei dem oben beschriebenen Röntgendetektor 2 die Mitte O1 (Messungsreferenzposition) der ersten Röntgendetektionseinheit 11 nicht koinzident mit der Mitte O2 (Messungsreferenzposition) der zweiten Röntgendetektionseinheit 21. Beispielsweise liegen bei dem in den 5A und 5B gezeigten Aufbau die entsprechenden Mitten O1 und O2 der Röntgendetektionseinheit 11 und 21 weg voneinander in der Y-Richtung (zweite Richtung). Ferner liegen bei dem in den 5C und 5D gezeigten Aufbau die entsprechenden Mitten O1 und O2 der Röntgendetektionseinheiten 11, 21 weg voneinander in der X-Richtung (erste Richtung).
  • Daher sind bei der Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß diesem Ausführungsbeispiel die Mitte O1 der ersten Röntgendetektionseinheit 11 und die Mitte O2 der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 im Voraus bekannt, und eine Ursprungs-Anpassungseinheit zum Anpassen (in Übereinstimmung bringen) der Mitte O1 der ersten Röntgendetektionseinheit 11 und der Mitte O2 der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 jeweils entsprechend auf den Messursprung für die 2Θ-Drehung unter der Röntgenbeugungsmessung auf Grundlage der 2Θ-Drehung und dem Messursprung für die χ-Drehung unter der In-Ebenen-Beugungsmessung auf der Grundlage der vorbestimmten Mitte O1 der ersten Röntgendetektionseinheit 11 und der Mitte O2 der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 ist in das Steuersystem für die Röntgenbeugungsvorrichtung eingebunden. Der Messursprung wird wie folgend gesetzt. Beispielsweise sind die Röntgenquelle 1 und der Röntgendetektor 2 so angeordnet, dass sie einander zugewandt sind, und die Röntgenstrahlen werden unmittelbar von der Röntgenquelle 1 auf den Röntgendetektor 2 gerichtet (gestrahlt). Dabei ist die Mittenposition einer bestrahlten Fläche des Röntgendetektors 2 definiert als der Messursprung.
  • Weiters kann die Ursprungsanpassungseinheit eingerichtet sein, lediglich die Mitte O1 der ersten Röntgendetektionseinheit 11 mit dem Messursprung für die 2Θ-Drehung in Übereinstimmung zu bringen, und es kann nicht nur die Ursprungs-Anpassungseinheit in dem Steuersystem eingebunden sein, sondern auch eine Ursprungs-Korrektureinheit zum Korrigieren eines Versatzes (einer Abweichung) zwischen dem Messursprung für die χ-Drehung und der Mitte O2 der zweiten Röntgendetektionseinheit 21, welches in einem Zustand auftritt, bei dem die Mitte O1 der ersten Röntgendetektionseinheit 11 mit dem Messursprung für die 2Θ-Drehung in Übereinstimmung gebracht ist, wenn die In-Ebenen-Beugungsmessung durchgeführt wird.
  • Die Ursprungs-Anpassungseinheit kann eingerichtet sein, lediglich die Mitte O2 der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 mit dem Messursprung für die χ-Drehung in Übereinstimmung zu bringen, und die Ursprungs-Korrektureinheit kann eingerichtet sein, einen Versatz (eine Abweichung) zwischen dem Messursprung für die 2Θ-Drehung und die Mitte O1 der ersten Röntgendetektionseinheit 11 zu korrigieren, welcher in einem Zustand auftritt, bei dem die Mitte O2 der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 in Übereinstimmung mit dem Messursprung für die χ-Drehung gebracht ist, wenn die Röntgenbeugungsmessung basierend auf der 2Θ-Derhung durchgeführt wird.
  • Die Ursprungs-Anpassungseinheit und die Ursprungs-Korrektureinheit werden von dem Computer 6 aufgebaut, und die Mitte O1 (Messungsreferenzposition) der ersten Röntgendetektionseinheit 11 und die Mitte O2 (Messungsreferenzposition) der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 werden in dem Computer 6 im Voraus aufgezeichnet.
  • [Pseudo-zweidimensionale Messung]
  • 6 zeigt einen Aufbau zum Ausführen einer pseudo-zweidimensionalen Messung durch die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel.
  • Das heißt, ein linearer Schlitz 31 ist in einer Abschirmabdeckung 30 von einem Flachplattentyp mit einer Röntgenstrahlen abschirmenden Funktion ausgebildet, und die Abschirmabdeckung 30 ist auf der Detektionsfläche der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 angebracht, während der Schlitz 31 (d. h., die Längsrichtung des Schlitzes 31) mit der Y-Richtung (zweite Richtung) in Übereinstimmung gebracht ist.
  • Dementsprechend sind die mehreren Streifen 22 der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 in punktförmige Messgebiete (22a) umgewandelt, die lediglich einem Gebiet der Detektionsfläche entsprechen, welche dem Schlitz 31 gegenübersteht. Diese punktförmigen Messgebiete sind parallel zueinander in der Y-Richtung (zweite Richtung) angeordnet.
  • Bei der pseudo-zweidimensionalen Messung wird die Röntgenbeugungsmessung auf Grundlage der 2Θ-Drehung durch Verwendung der zweiten Röntgendetektionseinheit 21 durchgeführt, die mit der Abschirmabdeckung 30 bedeckt ist. Das heißt, dass die in jedem der Messgebiete 22a detektierten Röntgendaten in Verbindung mit der Position des Schlitzes 31 zu demjenigen Detektionszeitpunkt aufakkumuliert werden, während der Röntgendetektor 2 in der Richtung (2Θ-Drehrichtung) senkrecht zu der Y-Richtung gescannt wird (2Θ-gescannt), wobei zweidimensionale Röntgenbeugungsdaten auf Grundlage von Koordinatenachsen entsprechend den beiden Richtungen (Y-Richtung und die 2Θ-Drehrichtung senkrecht zu der Y-Richtung) erhalten werden.
  • [Andere Ausführungsbeispiele]
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obigen Ausführungsbeispiele beschränkt, und verschiedene Abwandlungen oder Anwendungen können den obigen Ausführungsbeispielen hinzugefügt werden.
  • Beispielsweise kann der Röntgendetektor 2 so eingerichtet werden, dass zwei Siliziumstreifendetektoren 10, 20 (Element-Röntgendetektoren) Seite an Seite auf der Oberfläche eines Substrats 2b wie in 7 gezeigt angeordnet sind. Mehrfache Streifen 12, 22, die schmale Einheitsmessgebiete ausbilden, sind Seite an Seite auf jedem der Detektoren 10, 20 angeordnet. Wie im Fall des Röntgendetektors 2, der in 1 gezeigt ist, ist ein Detektor 10 so angeordnet, dass die mehreren Streifen 12 parallel zueinander (Seite an Seite) in der X-Richtung (erste Richtung) angeordnet sind, und der andere Detektor 20 ist so angeordnet, dass die mehreren Streifen 22 in der Y-Richtung (zweite Richtung) parallel (Seite an Seite) zueinander angeordnet sind.
  • Die gleiche Funktion wie beim Röntgendetektor 2 gemäß dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel kann bei dem oben beschriebenen Aufbau umgesetzt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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    • Seiten 26 bis 27 aus „Research & Development of Extended Interval Silicon Strip Detector in BELLE-SVD”, Aufsatz von Senyo Katsumi, Nagashima's Laboratory, Department of Physics, Faculty of Science of Osaka University, vom 8. Februar 1996 [0002]

Claims (11)

  1. Ein Röntgendetektor (2) umfassend eine erste Röntgendetektionseinheit (11) mit einer Vielzahl von schmalen Einheitsmessgebieten (12), die parallel zueinander in einer ersten Richtung (X) angeordnet sind, und eine zweite Röntgendetektionseinheit (21) mit einer Vielzahl von schmalen Einheitsmessgebieten (22), die parallel zueinander in einer zweiten Richtung (Y) senkrecht zu der ersten Richtung (X) angeordnet sind.
  2. Eine Röntgenbeugungsvorrichtung, umfassend: eine Θ-Drehvorrichtung (3), die eine in einer Probenhalterung gehaltene Probe (S) um eine ω-Axiallinie herum dreht, die entlang der Oberfläche (Sa) der Probe (S) verläuft; eine Röntgenquelle (1), welche die Oberfläche (Sa) der Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt; der Röntgendetektor (2) gemäß Anspruch 1, welcher die von der Probe (S) gebeugte Röntgenstrahlung detektiert; eine 2Θ-Drehvorrichtung (4), die den Röntgendetektor (2) einer 2Θ-Drehung um die ω-Axiallinie herum unterzieht; und eine In-Ebenen-Drehvorrichtung (5), die den Röntgendetektor (2) einer χ-Drehung um eine Axiallinie (O) senkrecht zu der ω-Axiallinie unterzieht, wobei die erste Richtung (X), entlang welcher die schmalen Einheitsmessgebiete (12) der ersten Röntgendetektionseinheit (11) parallel zueinander angeordnet sind, in Übereinstimmung mit einer Tangentialrichtung der 2Θ-Drehung gebracht ist, und wobei die zweite Richtung (Y), entlang welcher die schmalen Einheitsmessgebiete (22) der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) parallel zueinander angeordnet sind, mit einer Tangentialrichtung der χ-Drehung in Übereinstimmung gebracht ist.
  3. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß Anspruch 2, ferner umfassend eine Auswahl- und Betriebseinheit (6), welche die erste Röntgendetektionseinheit (11) oder die zweite Röntgendetektionseinheit (12) auswählt und betreibt.
  4. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß Anspruch 3, ferner umfassend eine Datenverarbeitungseinheit (6), die Detektionsdaten verarbeitet, die von der ersten Röntgendetektionseinheit (11) oder der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) ausgegeben werden, wobei die Auswahl- und Betriebseinheit (6) automatisch die erste Röntgendetektionseinheit (11) oder die zweite Röntgendetektionseinheit (21) auswählt und betreibt, deren Detektionsdaten als Datenverarbeitungszielobjekt durch die Datenverarbeitungseinheit (6) ausgewählt wurden.
  5. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 4, ferner umfassend eine Ursprungs-Anpassungseinheit (6), welche eine vorbestimmte Röntgenmessreferenzposition (O1) der ersten Röntgendetektionseinheit (11) mit einem Messungsursprung für die 2Θ-Drehung in Übereinstimmung bringt, und welche eine vorbestimmte Röntgenmessungsreferenzposition (O2) der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) mit einem Messungsursprung für die χ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition (O1) der ersten Röntgendetektionseinheit (11) und der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition (O2) der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) in Übereinstimmung bringt.
  6. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 4, ferner umfassend eine Ursprungs-Anpassungseinheit (6), welche eine vorbestimmte Röntgenmessungsreferenzposition (O1) der ersten Röntgendetektionseinheit (11) mit einem Messungsursprung für die 2Θ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition (O1) der ersten Röntgendetektionseinheit in Übereinstimmung bringt, sowie eine Ursprungs-Korrektureinheit (6), die einen Versatz zwischen einer vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition (O2) der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) und einem Messungsursprung für die χ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition (O2) der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) korrigiert, wobei der Versatz in einem Zustand auftritt, bei dem die Röntgenmessungsreferenzposition (O1) der ersten Röntgendetektionseinheit (11) in Übereinstimmung mit dem Messungsursprung für die 2Θ-Drehung gebracht ist.
  7. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 4, ferner umfassend eine Ursprungs-Anpassungseinheit (6), die eine vorbestimmte Röntgenmessungsreferenzposition (O2) der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) mit einem Messungsursprung für die χ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition (O2) der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) in Übereinstimmung bringt, sowie eine Ursprungs-Korrektureinheit (6), die einen Versatz zwischen einer vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition (O1) der ersten Röntgendetektionseinheit (11) und einen Messungsursprung für die 2Θ-Drehung auf der Grundlage der vorbestimmten Röntgenmessungsreferenzposition (O1) der ersten Röntgendetektionseinheit (11) korrigiert, wobei der Versatz in einem Zustand auftritt, bei dem die Röntgenmessungsreferenzposition (O2) der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) in Übereinstimmung mit dem Messungsursprung für die χ-Drehung gebracht ist.
  8. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 7, wobei die erste Röntgendetektionseinheit (11) und die zweite Röntgendetektionseinheit (21) integral miteinander auf dem gleichen Substrat (2a) ausgebildet sind.
  9. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 7, wobei zwei Element-Röntgendetektoren (10, 20) mit jeweils einer Vielzahl von parallel zueinander angeordneten schmalen Einheitsmessgebieten (12, 22) auf dem gleichen Substrat (2b) angeordnet sind, wobei die Vielzahl von schmalen Einheitsmessgebieten (12) des einen Element-Röntgendetektors (10) in der ersten Richtung (X) angeordnet sind, um die erste Röntgendetektionseinheit (11) aufzubauen, und wobei die Vielzahl von schmalen Einheitsmessgebieten (22) des anderen Elementröntgendetektors (20) in der zweiten Richtung (Y) angeordnet sind, um die zweite Röntgendetektionseinheit (21) aufzubauen.
  10. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 9, wobei der Röntgendetektor (2) einen Siliziumstreifendetektor umfasst, bei welchem aus einem Halbleiter gebildete Streifen schmale Einheitsmessgebiete ausbilden.
  11. Die Röntgenbeugungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 10, ferner umfassend eine Abschirmabdeckung (30) vom Flachplattentyp, die eine Röntgenstrahlen abschirmende Funktion besitzt, wobei die Abschirmabdeckung (30) mit eine linearen Schlitz (31) darin ausgebildet ist, wobei die Abschirmabdeckung (30) auf einer Detektionsfläche der zweiten Röntgendetektionseinheit (21) angebracht ist, während eine Längsrichtung des Schlitzes (31) mit der zweiten Richtung (Y) in Übereinstimmung gebracht ist.
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