DE102015104685A1 - Randrissdetektionssystem - Google Patents

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An-Tai Xu
Pei-Haw Tsao
Cheng-Hung Tsai
Tsui-Mei Chen
Nai-Cheng Lu
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Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
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Abstract

Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform wird ein Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip bereitgestellt. Das Verfahren umfasst die folgenden Vorgänge: Empfangen eines Befehlssignals; Bereitstellen von Energie aus dem Befehlssignal; Bereitstellen eines Antwortsignals auf der Basis des Befehlssignals; und Ausführen einer Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals.

Description

  • HINTERGRUND
  • Während des Sägeprozesses entstehen an Chips oft Randrisse. Ein traditionelles Verfahren zur Randrissdetektion ist die Sichtinspektion, die aber nicht nach dem Verpackungsprozess auf Waferebene, wie zum Beispiel Tape and Reel (TnR), ausgeführt werden kann. Darum besteht Bedarf an der Entwicklung neuer Verfahren zur Randrissdetektion.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Aspekte der vorliegenden Offenbarung werden am besten anhand der folgenden detaillierten Beschreibung verstanden, wenn sie in Verbindung mit den beiliegenden Figuren gelesen wird. Es wird darauf hingewiesen, dass gemäß der gängigen Praxis in der Industrie verschiedene Strukturelemente nicht maßstabsgetreu gezeichnet sind. Die Abmessungen veranschaulichter Strukturelemente können im Interesse der Übersichtlichkeit der Besprechung nach Bedarf vergrößert oder verkleinert werden.
  • 1 ist ein Blocksschaubild, das ein beispielhaftes Randrissdetektionssystem gemäß einigen Ausführungsformen veranschaulicht.
  • 2 ist ein Flussdiagramm für ein Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip gemäß einigen Ausführungsformen.
  • 3 ist ein Flussdiagramm für ein Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip gemäß einigen Ausführungsformen.
  • 4 ist ein Blocksschaubild, das einen Wafer veranschaulicht, der Chips umfasst, die den beispielhaften RFID-Transponder aufweisen, gemäß einigen Ausführungsformen.
  • 5 ist ein Blocksschaubild, das das beispielhafte Randrissdetektionssystem unter Verwendung einer Tape-and-Reel-Verpackung gemäß einigen Ausführungsformen veranschaulicht.
  • 6 ist ein Blocksschaubild, das einen weiteren beispielhaften RFID-Transponder gemäß einigen Ausführungsformen veranschaulicht.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • Die folgende Offenbarung stellt viele verschiedene Ausführungsformen oder Beispiele zum Implementieren verschiedener Merkmale der Erfindung bereit. Im Folgenden werden konkrete Beispiele von Komponenten und Anordnungen beschrieben, um die vorliegende Offenbarung zu vereinfachen. Diese sind natürlich nur Beispiele und dienen nicht der Einschränkung. Zum Beispiel kann die Ausbildung eines ersten Strukturelements über oder auf einem zweiten Strukturelement in der folgenden Beschreibung Ausführungsformen umfassen, bei denen die ersten und die zweiten Strukturelemente in direktem Kontakt ausgebildet sind, und können auch Ausführungsformen umfassen, bei denen zusätzliche Strukturelemente zwischen den ersten und zweiten Strukturelementen ausgebildet sein können, so dass die ersten und die zweiten Strukturelemente nicht unbedingt in direktem Kontakt stehen. Darüber hinaus kann die vorliegende Offenbarung Bezugszahlen und/oder -buchstaben in den verschiedenen Beispielen wiederholen. Diese Wiederholung dient dem Zweck der Einfachheit und Klarheit und schafft nicht automatisch eine Beziehung zwischen den verschiedenen besprochenen Ausführungsformen und/oder Konfigurationen.
  • Des Weiteren können räumlich relative Begriffe, wie zum Beispiel „unterhalb”, „unter”, „unterer”, „oberhalb”, „oberer” und dergleichen, im vorliegenden Text verwendet werden, um die Beschreibung zu vereinfachen, um die Beziehung eines Elements oder Strukturelements zu einem oder mehreren anderen Elementen oder Strukturelementen zu beschreiben, wie in den Figuren veranschaulicht. Die räumlich relativen Begriffe sollen neben der in den Figuren gezeigten Ausrichtung noch weitere Ausrichtungen der Vorrichtung während des Gebrauchs oder Betriebes umfassen. Die Vorrichtung kann auch anders ausgerichtet (90 Grad gedreht oder anders ausgerichtet) sein, und die im vorliegenden Text verwendeten räumlich relativen Deskriptoren können gleichermaßen entsprechend interpretiert werden.
  • Die Offenbarung beschreibt ein Verfahren, das ein RFID-Lesegerät und einen RFID-Transponder zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip verwendet. Der RFID-Transponder umfasst eine Transponderantenne und einen Transponderprozessor. Der Transponderprozessor ist unter einem Dichtungsring des Chips angeordnet. Die Transponderantenne ist außerhalb des Dichtungsrings des Chips angeordnet. Das RFID-Lesegerät sendet ein Befehlssignal zu dem RFID-Transponder. Wenn der getestete Chip keine Randrisse hat, so senden die Transponderantenne und der Transponderprozessor, die den getesteten Chip umgeben, ein Antwortsignal an das RFID-Lesegerät. Das heißt, beim Empfangen des Antwortsignals bestimmt das RFID-Lesegerät, dass der getestete Chip keine Randrisse hat. Des Weiteren sendet das RFID-Lesegerät nach dem Bestimmen, dass der Chip keine Randrisse hat, einen Selbstzerstörungsbefehl zum Zerstören oder Deaktivieren des RFID-Transponders, so dass das Verfahren keine Auswirkungen auf den normalen Betrieb des Chips hat. Wenn Randrisse auftreten, die den getesteten Chip, die Transponderantenne oder den Transponderprozessor beschädigen, so kann das RFID-Lesegerät kein Antwortsignal erhalten.
  • Genauer gesagt, kann das Verfahren die folgenden Vorgänge umfassen: die Transponderantenne konvertiert zwischen elektromagnetischer Welle und elektrischem Signal; der Transponderprozessor gibt ein Antwortsignal durch die Transponderantenne aus; das RFID-Lesegerät empfingt das Antwortsignal; wenn die Transponderantenne nicht arbeitet, so empfängt das RFID-Lesegerät kein Signal von dem RFID-Transponder; wenn das RFID-Lesegerät das Antwortsignal von dem RFID-Transponder empfängt, so sendet das RFID-Lesegerät einen Selbstzerstörungsbefehl, um den RFID-Transponder zur Selbstzerstörung zu veranlassen.
  • Das Randrissdetektionssystem kann auf beliebige HF-Bänder angewendet werden, zum Beispiel: Niederfrequenz (NF) bei 120–135 kHz; Hochfrequenz (HF) bei 13,56 MHz; Ultrahochfrequenz (UHF) bei 433 MHz oder 860–960 MHz; und Mikrowelle bei 2450 MHz.
  • 1 ist ein Blocksschaubild, das ein beispielhaftes Randrissdetektionssystem gemäß einigen Ausführungsformen veranschaulicht. Wie in 1 gezeigt, wird ein System 100 bereitgestellt. Das System 100 umfasst ein RFID-Lesegerät 110 und einen RFID-Transponder 120, der drahtlos mit dem RFID-Lesegerät 110 verbunden ist. Der RFID-Transponder 120 ist physisch mit einem getesteten Chip 130 verbunden.
  • Der RFID-Transponder 120 kann eine Antenne 122 außerhalb des Dichtungsrings 131 des Chips 130 umfassen. Die Antenne 122 kann eine Breite von 1 Mikrometer haben. Der RFID-Transponder 120 kann einen Prozessor 124 umfassen, der unter einem Dichtungsring 131 des Chips 130 angeordnet ist. Der Prozessor 124 kann eine Breite von 10 Mikrometern und eine Länge von 500 Mikrometern haben.
  • Das RFID-Lesegerät 110 gibt ein Befehlssignal 111 aus. Der RFID-Transponder 120 empfängt das Befehlssignal 111. Der RFID-Transponder 120 erzeugt Energie aus dem Befehlssignal 111 und gibt ein Antwortsignal 121 auf der Basis des Befehlssignals 111 aus. Das RFID-Lesegerät 110 empfängt das Antwortsignal 121, so dass das RFID-Lesegerät 110 die Funktionstüchtigkeit des RFID-Transponders 120 sowie des getesteten Chips 130 bestimmt.
  • Das RFID-Lesegerät 110 gibt das Befehlssignal 111 in Bezug auf die Selbstzerstörung des RFID-Transponders auf der Basis des Antwortsignals 121. Der RFID-Transponder 120 empfängt das Befehlssignal 111 und veranlasst die Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals 111. Der RFID-Transponder kann des Weiteren das Befehlssignal 111 mit einer Nachschlagetabelle (nicht gezeigt) vergleichen, um zu bestimmen, ob das Antwortsignal 121 ausgegeben oder die Selbstzerstörung veranlasst werden soll. Zum Beispiel können das Befehlssignal 111 und die Nachschlagetabelle (nicht gezeigt) beide zwei Ziffern umfassen. Die zwei Ziffern, die die Selbstzerstörung des RFID-Transponders darstellen, können „00” sein, und die zwei Ziffern des Befehlssignals 111, die die Antwort oder Funktionstüchtigkeit des RFID-Transponders darstellen, können „11” sein.
  • Darüber hinaus bestimmt das RFID-Lesegerät 110, dass der getestete Chip 130 keine Randrisse hat, wenn das Antwortsignal 121 empfangen wird, das die Funktionstüchtigkeit des RFID-Transponders 120 anzeigt. Nach der Selbstzerstörung des RFID-Transponders 120 gibt der RFID-Transponder 120 kein Antwortsignal 121 mehr aus und hat keine Auswirkungen auf den getesteten Chip 130. Des Weiteren gibt das RFID-Lesegerät 110 das Befehlssignal 111 in Form einer elektromagnetischen Welle aus, und der RFID-Transponder 120 gibt das Antwortsignal 121 ebenfalls in Form einer elektromagnetischen Welle aus.
  • 2 ist ein Flussdiagramm für ein Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip gemäß einigen Ausführungsformen. Wie in 1 und 2 gezeigt, wird ein Verfahren 200 bereitgestellt. Das Verfahren 200 umfasst die folgenden Vorgänge: Empfangen eines Befehlssignals 111 (202); Bereitstellen von Energie aus dem Befehlssignal 111 (204); ereitstellen eines Antwortsignals 121 auf der Basis des Befehlssignals 111 (206); und Ausführen einer Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals 111 (208). Das Verfahren 200 umfasst des Weiteren das Vergleichen des Befehlssignals 111 mit einer Nachschlagetabelle (nicht gezeigt), um zu bestimmen, ob das Antwortsignal 121 ausgegeben oder die Selbstzerstörung veranlasst werden soll.
  • 3 ist ein Flussdiagramm für ein Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip gemäß einigen Ausführungsformen. Wie in 1 und 3 gezeigten, wird ein Verfahren 300 bereitgestellt. Das Verfahren 300 umfasst die folgenden Vorgänge: mittels eines RFID-Lesegerät 110, Bereitstellen eines Befehlssignals 111 in Bezug auf Antwort eines RFID-Transponders (302); mittels eines RFID-Transponders 120, Empfangen des Befehlssignals 111 und Erzeugen von Energie aus dem Befehlssignal 111 (304); mittels eines RFID-Transponders 120, Bereitstellen eines Antwortsignals 121 auf der Basis des Befehlssignals 111 (306); mittels eines RFID-Lesegerätes 110, Empfangen des Antwortsignals 121 und Bereitstellen des Befehlssignals 111 in Bezug auf die Selbstzerstörung des RFID-Transponders auf der Basis des Antwortsignals 121 (308); und mittels eines RFID-Transponders 120, Empfangen des Befehlssignals 111 und Veranlassen der Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals 111 (310).
  • Des Weiteren kann das Verfahren 300 des Weiteren Folgendes umfassen: Anordnen eines Prozessors 124 des RFID-Transponders 120 unter einem Dichtungsring 131 des Chips 130. Das Verfahren 300 kann des Weiteren Folgendes umfassen: Anordnen einer Antenne 122 des RFID-Transponders 120 außerhalb eines Dichtungsrings 131 des Chips 130. Das Verfahren 300 kann des Weiteren Folgendes umfassen: Bestimmen, dass der Chip 130 keine Randrisse hat, bei Empfangen des Antwortsignals 121. Das Verfahren 300 kann des Weiteren Folgendes umfassen: Beenden des Bereitstellens des Antwortsignals 121 nach der Selbstzerstörung des RFID-Transponders 120. Das Verfahren 300 kann des Weiteren Folgendes umfassen: Ausüben von keinerlei Auswirkungen auf den Chip 130 nach der Selbstzerstörung des RFID-Transponders 120. Das Verfahren 300 kann des Weiteren Folgendes umfassen: mittels eines RFID-Transponders 120, Vergleichen des Befehlssignals 111 mit einer Nachschlagetabelle, um zu bestimmen, ob das Antwortsignal 121 bereitgestellt oder die Selbstzerstörung veranlasst werden soll. Der Vorgang 302 kann des Weiteren Folgendes umfassen: Bereitstellen des Befehlssignals 111 in Form einer elektromagnetischen Welle. Der Vorgang 302 kann des Weiteren Folgendes umfassen: Bereitstellen des Antwortsignals 121 in Form einer elektromagnetischen Welle.
  • Als Nächstes werden weitere Details des beispielhaften Randrissdetektionssystems dargestellt. 4 ist ein Blocksschaubild, das einen Wafer veranschaulicht, der Chips umfasst, die den beispielhaften RFID-Transponder aufweisen, gemäß einigen Ausführungsformen. Wie in 4 gezeigt, wird ein Wafer 400 bereitgestellt. Der Wafer 400 hat mehrere Chips, die durch mehrere Skribierlinien getrennt sind. Zum Beispiel sind der erste Chip 402 und der zweite Chip 404 durch die Skribierlinie 410 getrennt.
  • Der erste Chip 402 umfasst einen RFID-Transponder 420 und einen getesteten Chip 430. Der RFID-Transponder 420 ist physisch mit dem getesteten Chip 430 verbunden. Der RFID-Transponder 420 ist nicht auf die Form in 4 beschränkt und kann eine Antenne (nicht gezeigt) umfassen, die den getesteten Chip 430 umfängt. Die Antenne kann eine Breite von 1 Mikrometer haben. Der RFID-Transponder 420 kann des Weiteren einen Prozessor umfassen, der unter einem Dichtungsring des getesteten Chips 430 angeordnet ist. Der Prozessor kann eine Breite von 10 Mikrometern und einen Länge von 500 Mikrometern haben. Der zweite Chip 404 umfasst einen weiteren RFID-Transponder 440 und einen weiteren getesteten Chip 450. Die Funktion des RFID-Transponders 440 und des getesteten Chips 450 ähnelt dem RFID-Transponder 420 und dem getesteten Chip 430 und wird hier nicht wiederholt.
  • Der Wafer 400 wird an diesen Skribierlinien zum Herstellen einzelner Chips zertrennt. Zum Beispiel wird der Wafer 400 entlang der Skribierlinie 410 zerschnitten, um den ersten Chip 402 und den zweiten Chip 404 herzustellen. In der Ausführungsform erfolgt das Zertrennen mittels Techniken wie zum Beispiel physischem Sägen oder Lasersägen.
  • 5 ist ein Blocksschaubild, das das beispielhafte Randrissdetektionssystem unter Verwendung einer Tape-and-Reel-Verpackung gemäß einigen Ausführungsformen veranschaulicht. Wie in 5 gezeigt, werden die Chips auf die Tape-and-Reel-Vorrichtung 508 gelegt, um sie an den Kunden zu versenden. Jedoch kommt es während der Tape-and-Reel-Verpackung leicht zu Rissen, die die Chips beschädigen. Unter Verwendung eines beispielhaften Randrissdetektionssystems 510, das ein RFID-Lesegerät 502 und einen RFID-Transponder 420 umfasst, der drahtlos mit dem RFID-Lesegerät 502 verbunden ist, können die Chips mit Rissen leicht detektiert werden.
  • In der Ausführungsform entsteht während der Tape-and-Reel-Verpackung ein Riss 506 in dem ersten Chip 402 und beschädigt den RFID-Transponder 420 und den getesteten Chip 430. Wenn das Werkzeug 504 für die Tape-and-Reel-Verpackung das RFID-Lesegerät 502 auffordert, ein Befehlssignal 503 auszugeben, so ist der RFID-Transponder 420 nicht in der Lage, das Befehlssignal 503 zu empfangen und ein Antwortsignal zu senden. Dann kann das Werkzeug 504 für die Tape-and-Reel-Verpackung, das mit dem RFID-Lesegerät 502 verbunden ist, kein Antwortsignal empfangen. Darum bestimmt das Werkzeug 504 für die Tape-and-Reel-Verpackung einen Ausfall des ersten Chips 402.
  • In der Ausführungsform kommt es in dem zweiten Chip 404 zu keinem Riss. Wenn der getestete Chip 450 keine Randrisse hat, so ist der RFID-Transponder 440, der mit dem Chip 450 verbunden ist, funktionstüchtig, um ein Antwortsignal an das RFID-Lesegerät 502 zu senden. Das heißt, wenn das Antwortsignal empfangen wird, so bestimmt das RFID-Lesegerät 502, dass der getestete Chip 450 keine Randrisse hat. Des Weiteren sendet das RFID-Lesegerät 502 nach dem Bestimmen, dass der Chip 450 keine Randrisse hat, einen Selbstzerstörungsbefehl zum Zerstören oder Deaktivieren des RFID-Transponders 440, so dass das Verfahren keine Auswirkungen auf die normale Funktion des Chips 450 hat.
  • 6 ist ein Blocksschaubild, das einen beispielhaften RFID-Transponder gemäß einigen Ausführungsformen veranschaulicht. Der RFID-Transponder 120 kann so konfiguriert sein, wie in 6 gezeigt. Der RFID-Transponder 120 umfasst eine Antenne 602, ein analoges Frontend (AFE) 610, eine MCU und einen Speicher 630. Das analoge Frontend (AFE) 610 umfasst einen Hüllkurvendetektor 611, einen Gleichrichter 612, einen Spannungsregler 613, eine Rücksetzungseinheit 614 und einen Modulator 615. Der RFID-Transponder 120 ist mit einem getesteten Chip verbunden.
  • Die Antenne 602 empfängt das Befehlssignal 603. Der Gleichrichter 612 und der Spannungsregler 613 erzeugen Energie 618 aus dem Befehlssignal 603. Die Rücksetzungseinheit 614 sendet ein Rücksetzungssignal 619 zum Initialisieren der MCU 620. Der Hüllkurvendetektor 611 extrahiert eine demoduliertes Signal 616 und einen Takt 617 aus dem Befehlssignal 603. Die MCU 620 gibt ein Steuersignal 621 an den Modulator 615 auf der Basis des demodulierten Signals 616 aus. Über die Antenne 602 moduliert der Modulator 615 das Steuersignal 621 und sendet das Antwortsignal 121 an ein RFID-Lesegerät (nicht gezeigt). Das Antwortsignal 121 kann Informationen über die Funktionstüchtigkeit des RFID-Transponders 120 sowie des getesteten Chips transportieren. Nachdem die Funktionstüchtigkeit bestätigt wurde, führt die MCU 620 des Weiteren eine Selbstzerstörung auf der Basis des demodulierten Signals 616 und der Daten im Speicher 630 aus.
  • Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform wird ein Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip bereitgestellt. Das Verfahren umfasst die folgenden Vorgänge: Empfangen eines Befehlssignals; Bereitstellen von Energie aus dem Befehlssignal; Bereitstellen eines Antwortsignals auf der Basis des Befehlssignals; und Ausführen einer Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals.
  • Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform wird ein Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip bereitgestellt. Das Verfahren umfasst die folgenden Vorgänge: mittels eines RFID-Lesegerätes, Bereitstellen eines Befehlssignals in Bezug auf die Antwort eines RFID-Transponders; mittels eines RFID-Transponders, Empfangen des Befehlssignals und Erzeugen von Energie aus dem Befehlssignal; mittels eines RFID-Transponders, Bereitstellen eines Antwortsignals auf der Basis des Befehlssignals; mittels eines RFID-Lesegerätes, Empfangen des Antwortsignals und Bereitstellen des Befehlssignals in Bezug auf die Selbstzerstörung des RFID-Transponders auf der Basis des Antwortsignals; und mittels eines RFID-Transponders, Empfangen des Befehlssignals und Veranlassen der Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals.
  • Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform wird ein Randrissdetektionssystem für einen getesteten Chip bereitgestellt. Das System umfasst ein RFID-Lesegerät und einen RFID-Transponder. Das RFID-Lesegerät gibt ein Befehlssignal aus. Der RFID-Transponder ist drahtlos mit dem RFID-Lesegerät verbunden, empfängt das Befehlssignal, erzeugt Energie aus dem Befehlssignal und gibt ein Antwortsignal auf der Basis des Befehlssignals aus. Das RFID-Lesegerät empfängt das Antwortsignal und stellt das Befehlssignal in Bezug auf die Selbstzerstörung des RFID-Transponders auf der Basis des Antwortsignals bereit, und der RFID-Transponder empfängt das Befehlssignal und veranlasst die Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals.
  • Das oben Dargelegte umreißt Merkmale verschiedener Ausführungsformen, damit der Fachmann die Aspekte der vorliegenden Offenbarung besser verstehen kann. Dem Fachmann leuchtet ein, dass er ohne Weiteres die vorliegende Offenbarung als eine Basis für das Entwerfen oder Modifizieren anderer Prozesse und Strukturen verwenden kann, um die gleichen Zwecke und/oder die gleichen Vorteile der Ausführungsformen zu erreichen, die im vorliegenden Text vorgestellt wurden. Der Fachmann erkennt ebenso, dass solche äquivalenten Konstruktionen nicht vom Wesen und Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung abweichen und dass er verschiedene Änderungen, Ersetzungen und Modifizierungen daran vornehmen kann, ohne vom Wesen und Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung abzuweichen.

Claims (20)

  1. Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip, das Folgendes umfasst: Empfangen eines Befehlssignals; Bereitstellen von Energie aus dem Befehlssignal; Bereitstellen eines Antwortsignals auf der Basis des Befehlssignals; und Ausführen einer Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, das des Weiteren das Vergleichen des Befehlssignals mit einer Nachschlagetabelle umfasst, um zu bestimmen, ob das Antwortsignal bereitgestellt oder die Selbstzerstörung veranlasst werden soll.
  3. Verfahren zum Detektieren von Randrissen in einem getesteten Chip, das Folgendes umfasst: mittels des RFID-Lesegerätes, Bereitstellen eines Befehlssignals in Bezug auf die Antwort eines RFID-Transponders; mittels des RFID-Transponders, Empfangen des Befehlssignals und Erzeugen von Energie aus dem Befehlssignal; mittels des RFID-Transponders, Bereitstellen eines Antwortsignals auf der Basis des Befehlssignals; mittels des RFID-Lesegerätes, Empfangen des Antwortsignals und Bereitstellen des Befehlssignals in Bezug auf die Selbstzerstörung des RFID-Transponders auf der Basis des Antwortsignals; und mittels des RFID-Transponders, Empfangen des Befehlssignals und Veranlassen der Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, das des Weiteren das Anordnen eines Prozessors des RFID-Transponders unter einem Dichtungsring des Chips umfasst.
  5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, das des Weiteren das Anordnen einer Antenne des RFID-Transponders außerhalb eines Dichtungsrings des Chips umfasst.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 5, das des Weiteren das Bestimmen, dass der getestete Chip keine Randrisse hat, wenn das Antwortsignal empfangen wird, umfasst.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 6, das des Weiteren das Beenden des Bereitstellens des Antwortsignals nach der Selbstzerstörung des RFID-Transponders umfasst.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 7, bei dem nach der Selbstzerstörung des RFID-Transponders keine Auswirkungen auf den getesteten Chip erfolgen.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 8, das des Weiteren umfasst, mittels eines RFID-Transponders das Befehlssignal mit einer Nachschlagetabelle zu vergleichen, um zu bestimmen, ob das Antwortsignal bereitgestellt oder die Selbstzerstörung veranlasst werden soll.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 9, wobei das Bereitstellen des Befehlssignals mittels eines RFID-Lesegerätes des Weiteren umfasst, das Befehlssignal in Form einer elektromagnetischen Welle bereitzustellen.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 10, wobei das Bereitstellen des Antwortsignals mittels eines RFID-Transponders des Weiteren umfasst, das Antwortsignal in Form einer elektromagnetischen Welle bereitzustellen.
  12. Randrissdetektionssystem für einen getesteten Chip, das Folgendes umfasst: ein RFID-Lesegerät, das ein Befehlssignal bereitstellt; und einen RFID-Transponder, der drahtlos mit dem RFID-Lesegerät verbunden ist, das Befehlssignal empfängt, Energie aus dem Befehlssignal erzeugt und ein Antwortsignal auf der Basis des Befehlssignals bereitstellt, wobei das RFID-Lesegerät das Antwortsignal empfängt und das Befehlssignal in Bezug auf die Selbstzerstörung des RFID-Transponders auf der Basis des Antwortsignals bereitstellt, und der RFID-Transponder das Befehlssignal empfängt und die Selbstzerstörung auf der Basis des Befehlssignals veranlasst.
  13. System nach Anspruch 12, wobei das RFID-Lesegerät bestimmt, dass der getestete Chip keine Randrisse hat, wenn das Antwortsignal empfangen wird.
  14. System nach Anspruch 12 oder 13, wobei nach der Selbstzerstörung des RFID-Transponders der RFID-Transponder kein Antwortsignal mehr bereitstellt.
  15. System nach einem der Ansprüche 12 bis 14, wobei nach der Selbstzerstörung des RFID-Transponders der RFID-Transponder keine Auswirkungen auf den getesteten Chip hat.
  16. System nach einem der Ansprüche 12 bis 15, wobei der RFID-Transponder das Befehlssignal mit einer Nachschlagetabelle vergleicht, um zu bestimmen, ob das Antwortsignal bereitgestellt oder die Selbstzerstörung veranlasst werden soll.
  17. System nach einem der Ansprüche 12 bis 16, wobei das RFID-Lesegerät das Befehlssignal in Form einer elektromagnetischen Welle bereitstellt.
  18. System nach einem der Ansprüche 12 bis 17, wobei der RFID-Transponder das Antwortsignal in Form einer elektromagnetischen Welle bereitstellt.
  19. System nach einem der Ansprüche 12 bis 18, wobei der RFID-Transponder des Weiteren einen Prozessor umfasst, der unter einem Dichtungsring des Chips angeordnet ist.
  20. System nach einem der Ansprüche 12 bis 19, wobei der RFID-Transponder des Weiteren eine Antenne außerhalb eines Dichtungsrings des Chips umfasst.
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