CN110033470B - 一种晶圆边缘管芯判定方法及系统 - Google Patents

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Abstract

本发明属于晶圆边缘检测技术领域，公开了一种晶圆边缘管芯判定方法及系统，以晶圆中心点作为原点建立一个具有X向和Y向的平面晶圆图；即晶圆上的每一个点的位置都可以用X向和Y向上的值来描述；将晶圆根据加工管芯尺寸参数，从X向和Y向将晶圆分割成若干个管芯，并以每个管芯在晶圆图上的X向和Y向位置来对管芯位置参数进行描述；根据生产要求实际，将位于晶圆图最外沿的一圈或多圈管芯设定为晶圆的边缘管芯，并根据确定为边缘的管芯的位置参数计算出边缘与晶圆中心(即原点)的最小距离R，计算管芯与晶圆中心点(即原点)的距离，并与边缘与晶圆中心点(即原点)的最小距离R比较，判断管芯的位置是否为晶圆的边缘。

Description

一种晶圆边缘管芯判定方法及系统
技术领域
本发明属于晶圆边缘检测技术领域，具体涉及一种晶圆边缘管芯判定方法及系统。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
但是现在的晶圆制造工艺仍然无法避免在晶圆边缘产生缺陷，因此在使用晶圆进行加工时，可以通过监控晶圆边缘缺陷以判断是否有晶圆加工过程或工厂工艺引起的缺陷，并判断检测是否是由工厂生产工艺引起的，以便及时从源头消除问题来源。
晶圆到达工厂后要进行切割才能使用，而如何切割是依据产品不同而预先设置好的。切割后每一个切割好的小单元称为管芯(die)。单个管芯被完全打散顺序送去测试，但是每个管芯在晶圆图上的位置X和Y是跟随着管芯被记录下来的，因此在测试的时候只知道每个管芯的位置参数。任意一个管芯在晶圆图上的具体位置是至关重要的，因为晶圆边缘的管芯先天缺陷的可能性很大，如果管芯测试不合格需要根据它在晶圆图的位置决定是不是要有必要进行进一步的调查分析。
然而在研究晶圆的缺陷时，我们必须区分缺陷管芯是否位于晶片边缘部位。由于大多数生产缺陷点都在晶圆边缘，而每个产品可能具有不同的尺寸，因此具有不同的晶圆图像，且缺陷点在晶圆边缘的位置不同。在自动缺陷监测中，必须找到一种自动计算缺陷管芯是否处于晶圆边缘的方法，这种计算方法应该适用于所有不同产品的晶圆。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术对晶圆边缘缺陷判定的不足，提出一种基于晶圆特性和输入的除杂参数建立基于椭球拟合的晶圆边缘检测算法及系统。
一种晶圆边缘管芯判定方法，其特征在于，包括以下步骤：
晶圆图椭圆拟合，以晶圆中心点作为原点建立一个具有X向和Y向的平面晶圆图；即晶圆上的每一个点的位置都可以用X向和Y向上的值来描述；
晶圆分割，将晶圆根据加工管芯尺寸参数，从X向和Y向将晶圆分割成若干个管芯，并以每个管芯在晶圆图上的X向和Y向位置来对管芯位置参数进行描述；这样，即晶圆上分割出的每一个管芯可以用几行几列来描述其位置；
边缘限定，根据生产要求实际，将位于晶圆图最外沿的一圈或多圈管芯设定为晶圆的边缘管芯，并根据确定为边缘的管芯的位置参数计算出边缘与晶圆中心(即原点)的最小距离R；
管芯位置确定，调用管芯的位置参数，计算管芯与晶圆中心点(即原点)的距离，并与边缘与晶圆中心点(即原点)的最小距离R比较，判断管芯的位置是否为晶圆的边缘。
管芯由晶圆分割加工而来，管芯尺寸微小，属于精加工，而管芯上的缺陷有时候会源自于晶圆本身的缺陷，特别是晶圆边缘的问题；每个管芯使用前送入检测的时候是顺序打乱的，为了及时检测出缺陷管芯是否属于晶圆边缘位置从而准确追溯晶圆本身缺陷，采用本方法的位置参数标记进行计算比较的判定即可实现，每个管芯进入检测程序的时候，其位置参数即进入相应的系统中继续计算，判断出其是否属于晶圆边缘位置或得到其具体位置，若管芯有问题，即可以及时输出其在晶圆上的位置信息，实际使用中，管芯批量进入检测，那么其对应的位置信息、检测结果信息即可整体显示出对应晶圆的质量，并及时判定出有缺陷的管芯在晶圆边缘的分布情况和比例情况，从而了解到晶圆原材料的品质。
所述晶圆分割中，设定在X方向上的两端列数分别为Xmin，Xmax，而Y方向上的两端列数分别为Ymin，Ymax，而每个管芯在晶圆图上的位置为(X，Y)，其中Xmin≦X≦Xmax，而Ymin≦Y≦Ymax，X和Y的取值均为整数(含正整数和负整数)。
由于管芯检测时，晶圆已经分割，管芯位置已经打乱，不可能通过晶圆图复原比对的方式来判定该管芯原本在晶圆上什么位置以及是否为晶圆边缘的管芯，并且晶圆本身也受限于加工水平等因素，很难构成完美的圆。为了便于测试，所述管芯位置确定为提高精度以及便利程度，是将待判定的管芯和晶圆边缘与晶圆中心点位置最近的一个管芯之间的距离来进行比较从而判断该管芯的位置是否为晶圆的边缘，所述晶圆中心点作为晶圆图的原点，则距离晶圆中心点位置最近的一个管芯为中心管芯，其位置为
Figure GDA0003032565720000031
所述边缘限定，将位于晶圆图最外沿的N圈管芯设定为晶圆边缘管芯；所述管芯位置确定，是根据晶圆分割总共行列的数量，以椭圆几何公式描述每一个管芯与中心管芯之间的归一化距离R(X，Y)，则任意一个管芯距中心管芯的归一化距离
Figure GDA0003032565720000032
其中,
a为椭圆X轴特征值，X轴特征值为晶圆图上的X向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的外圈以及管芯特征值常数P，
Figure GDA0003032565720000033
b为Y轴特征值，Y轴特征值为晶圆图上的Y向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的外圈以及管芯特征值常数P，
Figure GDA0003032565720000034
若R(X，Y)≦1+E，则判断该管芯位于非边缘，否则判断该管芯位于晶圆边缘，其中E为晶圆边缘特征值常数。
优选地，所述管芯特征值常数P为0.7；晶圆边缘特征值常数E为0.02。
进一步的，设定管芯判断值为A，A＝R(X，Y)-M；所述管芯位置确定时，代入待判定的管芯的位置(X，Y)、中心管芯的位置(X0,Y0)以及X轴特征值a、Y轴特征值b、管芯特征值常数P和晶圆边缘特征值常数E；
Figure GDA0003032565720000035
计算得到结果A；
若A>0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的边缘；若A≦0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的内部。
这种晶圆边缘管芯判定方法，采用公式化的技术方式直接给出管芯是否属于晶圆边缘位置的判定结果，计算数据要求复杂度低，实现起来更为顺畅快捷。
上述晶圆边缘管芯判定方法可以通过计算设备实现，即一种计算设备，包括：
一个或多个处理器，
存储器，所述存储器存储指令，当所述指令被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如上述晶圆边缘管芯判定的方法。
一种非暂时性机器可读存储介质，其存储有可执行指令，所述指令当被执行时使得所述机器执行晶圆边缘管芯判定方法的方法。
对应的，一种晶圆边缘管芯判定系统，其特征在于：包括参数输入系统、晶圆图生成系统和待检测管芯定位系统；
所述参数输入系统接收对晶圆加工成管芯的具体尺寸参数，以及设定的属于晶圆边缘的管芯；
所述晶圆图生成系统获取晶圆平面图像并以晶圆中心点为原点的二维坐标系，然后根据参数输入系统接收的管芯尺寸参数将晶圆平面图像分割为若干个位于二维坐标系上的管芯，并将每个管芯在二维坐标系上的X和Y值作为对该管芯的位置参数；
所述待检测管芯定位系统调用晶圆图生成系统中待判定管芯的位置参数以及参数输入系统中设定的属于晶圆边缘的管芯位置参数，计算待判定管芯以及属于晶圆边缘的管芯与原点之间的距离并进行比较判断出待判定管芯是否属于晶圆边缘的管芯。
所述参数输入系统，设定位于晶圆最外围的一圈或者多圈管芯属于晶圆边缘的管芯。
所述晶圆图生成系统，是以每个管芯在二维坐标系上所在的行和列作为描述管芯位置参数的X和Y值。
所述待检测管芯定位系统是调用晶圆图生成系统中距离原点最近的管芯的位置参数作为原点位置参数(X0,Y0)，根据晶圆图的生成特点，可以明确得知的是
Figure GDA0003032565720000041
其中，X方向上的两端列数分别为Xmin，Xmax，而Y方向上的两端列数分别为Ymin，Ymax；
所述待检测管芯定位系统中设置的计算单元通过圆形几何公式，带入待判定管芯位置参数(X，Y)、原点位置参数(X0,Y0)计算出待判定管芯与中心管芯之间的归一化距离
Figure GDA0003032565720000042
其中,a为椭圆X轴特征值,X轴特征值为晶圆图上的X向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的外圈以及管芯特征值常数P，
Figure GDA0003032565720000051
b为Y轴特征值，Y轴特征值为晶圆图上的Y向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的外圈以及管芯特征值常数P，
Figure GDA0003032565720000052
所述待检测管芯定位系统中设置的判定单元根据R(X，Y)的计算结果，依据R(X，Y)≦1+E则判断该管芯位于非边缘、否则判断该管芯位于晶圆边缘的逻辑对待检测管芯的位置进行判定，其中E为晶圆边缘特征值常数。
进一步的，所述管芯特征值常数P为0.7；晶圆边缘特征值常数E为0.02；且所述计算单元中设置有管芯判断值公式A＝R(X，Y)-M，
即
Figure GDA0003032565720000053
所述判定单元中设置有对计算得结果A的判定逻辑，具体为：若A>0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的边缘；若A≦0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的内部。
附图说明
本发明的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚，附图中：
图1是本发明晶圆边缘管芯判定方法的逻辑示意图；
图2是本发明晶圆边缘管芯判定系统的系统框图；
图3是本发明晶圆分割管芯一种示意图；
图4是本发明晶圆图设定外围1圈管芯为边缘管芯的示意图；
图5是本发明晶圆图设定外围2圈管芯为边缘管芯的示意图；
图6是本发明晶圆图设定外围3圈管芯为边缘管芯的示意图。
附图标记说明
10：晶圆边缘管芯判定系统
11：参数输入系统
12：晶圆图生成系统
13：待检测管芯定位系统
具体实施方式
下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本发明目的技术方案，需要说明的是，本发明要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。
实施例1
晶圆到达工厂后要进行切割，而怎么切割是依据产品不一样已经确定好的了。比如图6，切割成X方向12列，Y方向15列；
切割后每一个切割好的小单元为管芯。单个管芯被完全打散顺序送去测试，但是每个管芯在晶圆上的位置X和Y是跟随着管芯被记录下来。在测试的时候我们只知道每个管芯的位置参数如X＝2，Y＝-3.因此如果想知道这个管芯在晶圆上的哪个位置，这是很重要的，因为晶圆边缘的管芯先天缺陷的可能性很大，如果管芯测试不合格则要根据它在晶圆上的位置来决定是不是要有进一步的调查，就要结合这个晶圆总共切成了什么样的形成晶圆图来决定。
这种晶圆边缘管芯判定方法就是通过计算得到一个管芯是否处于晶圆边缘的一个方法，晶圆边缘的定义是由用户自己决定的，比如可以是最外面一圈管芯为晶圆边缘管芯、最外面2圈为晶圆边缘管芯、或者最外面3圈为边缘管芯。
本实施例公开了一种如图1所示晶圆边缘管芯判定方法，包括晶圆图椭圆拟合、晶圆分割、边缘限定和管芯位置确定的步骤；
所述晶圆图椭圆拟合S1，如图3，以晶圆中心点作为原点建立一个具有X向和Y向的平面晶圆图；
所述晶圆分割S2，将晶圆根据加工管芯尺寸参数，从X向和Y向将晶圆分割成若干个管芯，如图3，并以每个管芯在晶圆图上的X向和Y向位置来对管芯位置参数进行描述；这样，即晶圆上分割出的每一个管芯可以用几行几列来描述其位置；
边缘限定S3，如图4、5或6任意所示，根据生产要求实际，将位于晶圆图最外沿的一圈或多圈管芯设定为晶圆的边缘管芯，并根据确定为边缘的管芯的位置参数计算出边缘与晶圆中心(即原点)的最小距离R；
管芯位置确定S4，调用管芯的位置参数，计算管芯与晶圆中心点(即原点)的距离，并与边缘与晶圆中心点(即原点)的最小距离R比较，判断管芯的位置是否为晶圆的边缘。
管芯由晶圆分割加工而来，管芯尺寸微小，属于精加工，而管芯上的缺陷有时候会源自于晶圆本身的缺陷，特别是晶圆边缘的问题；每个管芯使用前送入检测的时候是顺序打乱的，为了及时检测出缺陷管芯是否属于晶圆边缘位置从而准确追溯晶圆本身缺陷，采用本方法的位置参数标记进行计算比较的判定即可实现，每个管芯进入检测程序的时候，其位置参数即进入相应的系统中继续计算，判断出其是否属于晶圆边缘位置或得到其具体位置，若管芯有问题，即可以及时输出其在晶圆上的位置信息，实际使用中，管芯批量的进入检测，那么其对应的位置信息、检测结果信息即可整体显示出对应晶圆的质量，并及时判定出有缺陷的管芯在晶圆边缘的分布情况和比例情况，从而了解到晶圆原材料的品质。
实施例2
本实施例公开了一种如图1所示的晶圆边缘管芯判定方法，在实施例1的基础上，进一步的，所述晶圆分割S2中，设定在X方向上的两端列数分别为Xmin，Xmax，而Y方向上的两端列数分别为Ymin，Ymax，而每个管芯在晶圆图上的位置为(X，Y)，其中Xmin≦X≦Xmax，而Ymin≦Y≦Ymax，X和Y的取值均为整数(含正整数和负整数)。
由于管芯使用检测时，晶圆已经分割，管芯位置已经打乱，不可能通过晶圆图复原比对的方式来判定该管芯原本在晶圆上什么位置以及是否为晶圆边缘的管芯，并且晶圆本身也受限于加工水平等因素，很难构成完美的圆，但管芯本身属于精密加工，因此，而为了便于测试，所述管芯位置确定S4为提高精度以及便利程度，是将待判定的管芯和晶圆边缘与晶圆中心点位置最近的一个管芯之间的距离来进行比较从而判断该管芯的位置是否为晶圆的边缘的，所述晶圆中心点作为晶圆图的原点，则距离晶圆中心点位置最近的一个管芯为中心管芯，其位置为
Figure GDA0003032565720000071
所述边缘限定S3，将位于晶圆图最外沿的N圈，管芯设定为晶圆边缘管芯；所述管芯位置确定，例如图4、5或6所示的最外围的1、2或3圈为边缘管芯，是根据晶圆分割总共行列的数量，以椭圆几何公式描述每一个管芯与中心管芯之间的归一化距离R(X，Y)，则任意一个管芯距中心管芯的归一化距离
Figure GDA0003032565720000072
其中，
a为椭圆X轴特征值，X轴特征值为晶圆图上的X向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的外圈以及管芯特征值常数P，
Figure GDA0003032565720000081
b为Y轴特征值，Y轴特征值为晶圆图上的Y向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的外圈以及管芯特征值常数P，
Figure GDA0003032565720000082
若R(X，Y)≦1+E，则判断该管芯位于非边缘，否则判断该管芯位于晶圆边缘，其中E为晶圆边缘特征值常数。
实施例3
本实施例公开了一种如图1所示的晶圆边缘管芯判定方法，在实施例1和2的基础上，进一步的，所述管芯特征值常数P为0.7；晶圆边缘特征值常数E为0.02，设定管芯判断值为A，A＝R(X，Y)-M，其中M为边缘判断特征值常数且M＝0.98；
所述管芯位置确定S4时，代入待判定的管芯的位置(X，Y)、中心管芯的位置(X0,Y0)以及X轴特征值a、Y轴特征值b、管芯特征值常数P和晶圆边缘特征值常数E；
Figure GDA0003032565720000083
计算得到结果A；
若A>0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的边缘；若A≦0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的内部。
这种晶圆边缘管芯判定方法，采用公式化的技术方式直接给出管芯是否属于晶圆边缘位置的判定结果，计算数据要求复杂度低，实现起来更为顺畅快捷。这种晶圆边缘管芯判定方法可以通过包括一个或多个处理器和存储器的计算设备实现，所述存储器存储指令，当所述指令被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如上述晶圆边缘管芯判定的方法；进一步的，还可以有一种非暂时性机器可读存储介质，其存储有可执行指令，所述指令当被执行时使得所述机器执行晶圆边缘管芯判定方法的方法。
实施例4
本实施例公开了一种晶圆边缘管芯判定系统10，包括参数输入系统11、晶圆图生成系统12和待检测管芯定位系统13；
所述参数输入系统11接收对晶圆加工成管芯的具体尺寸参数，以及设定的属于晶圆边缘的管芯；
所述晶圆图生成系统12获取晶圆平面图像并以晶圆中心点为原点的二维坐标系，然后如图3，根据参数输入系统11接收的管芯尺寸参数将晶圆平面图像分割为若干个位于二维坐标系上的管芯，并将每个管芯在二维坐标系上的X和Y值作为对该管芯的位置参数；
所述待检测管芯定位系统13调用晶圆图生成系统12中待判定管芯的位置参数以及参数输入系统11中设定的属于晶圆边缘的管芯位置参数，计算待判定管芯以及属于晶圆边缘的管芯与原点之间的距离并进行比较判断出待判定管芯是否属于晶圆边缘的管芯。
实施例5
本实施例公开了一种晶圆边缘管芯判定系统，在实施例4的基础上，进一步的，所述参数输入系统11，设定位于晶圆最外围的一圈或者多圈管芯属于晶圆边缘的管芯。
如图4至6中任意一幅所示，所述晶圆图生成系统12，是以每个管芯在二维坐标系上所在的行和列作为描述管芯位置参数的X和Y值。
所述待检测管芯定位系统13是调用晶圆图生成系统12中距离原点最近的管芯的位置参数作为原点位置参数(X0,Y0)，根据晶圆图的生成特点，可以明确得知的是
Figure GDA0003032565720000091
其中，X方向上的两端列数分别为Xmin，Xmax，而Y方向上的两端列数分别为Ymin，Ymax；
所述待检测管芯定位系统13中设置的计算单元通过圆形几何公式，带入待判定管芯位置参数(X，Y)、原点位置参数(X0,Y0)计算出待判定管芯与中心管芯之间的归一化距离
Figure GDA0003032565720000092
其中,a为椭圆X轴特征值,X轴特征值为晶圆图上的X向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的外圈以及管芯特征值常数P，
Figure GDA0003032565720000093
b为Y轴特征值，Y轴特征值为晶圆图上的Y向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的外圈以及管芯特征值常数P，
Figure GDA0003032565720000094
所述待检测管芯定位系统13中设置的判定单元根据R(X，Y)的计算结果，依据R(X，Y)≦1+E则判断该管芯位于非边缘、否则判断该管芯位于晶圆边缘的逻辑对待检测管芯的位置进行判定，其中E为晶圆边缘特征值常数。
进一步的，所述管芯特征值常数P为0.7；晶圆边缘特征值常数E为0.02；且所述计算单元中设置有管芯判断值公式A＝R(X，Y)-M，
即
Figure GDA0003032565720000101
所述判定单元中设置有对计算得结果A的判定逻辑，具体为：若A>0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的边缘；若A≦0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的内部。

Claims (8)

1.一种晶圆边缘管芯判定方法，其特征在于，包括：
晶圆图椭圆拟合，以晶圆中心点作为原点建立一个具有互相垂直的第一方向和第二方向的平面晶圆图；
晶圆分割，将晶圆按照加工管芯尺寸参数，从第一方向和第二方向分割成若干个管芯，并以每个管芯在晶圆图上的第一方向和第二方向的位置作为参数来对管芯位置进行描述；
边缘限定，将位于晶圆图最外沿的一圈或N圈管芯设定为晶圆的边缘管芯，并根据确定为边缘的管芯的位置参数计算出边缘与晶圆中心点的最小距离R；
管芯位置确定，用管芯的位置参数计算管芯与晶圆中心点的距离，并与边缘与晶圆中心点的最小距离R比较，判断管芯的位置是否为晶圆的边缘；
所述晶圆分割中，设定在第一方向上晶圆中心点两端管芯列数分别为Xmin、Xmax，第二方向上晶圆中心点两端管芯行数分别为Ymin、Ymax，每个管芯在晶圆图上的位置为(X，Y)，其中Xmin≤X≤Xmax，且Ymin≤Y≤Ymax，X和Y的取值均为整数；
所述管芯位置确定，是将待判定的管芯与晶圆中心点的距离，和晶圆边缘到晶圆中心点位置最近的一个管芯与晶圆中心点的距离来进行比较从而判断该管芯的位置是否为在晶圆的边缘，所述晶圆中心点作为晶圆图的原点，则距离晶圆中心点位置最近的一个管芯为中心管芯，其位置为
Figure FDA0003032565710000011
所述管芯位置确定，是根据晶圆分割总共行列的数量，以椭圆几何公式描述每一个管芯与中心管芯之间的归一化距离R(X，Y)，则任意一个管芯距中心管芯的归一化距离为
Figure FDA0003032565710000012
其中,
a为椭圆在第一方向的轴向特征值，等于晶圆图上的第一方向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的管芯圈数N以及管芯特征值常数P，
Figure FDA0003032565710000013
b为椭圆在第二方向的轴向特征值，等于晶圆图上的第二方向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的管芯圈数N以及管芯特征值常数P，
Figure FDA0003032565710000021
若R(X，Y)≤1+E，则判断该管芯位于非边缘，否则判断该管芯位于晶圆边缘，其中E为晶圆边缘特征值常数。
2.如权利要求1所述的一种晶圆边缘管芯判定方法，其特征在于：所述管芯特征值常数P为0.7；晶圆边缘特征值常数E为0.02。
3.如权利要求1所述的一种晶圆边缘管芯判定方法，其特征在于：设定管芯判断值为A，A＝R(X，Y)-M，其中M为边缘判断特征值常数，M＝0.98；所述管芯位置确定时，代入待判定的管芯的位置(X，Y)、中心管芯的位置(X0,Y0)以及第一方向的轴向特征值a、第二方向的轴向特征值b、管芯特征值常数P和晶圆边缘特征值常数E，
Figure FDA0003032565710000022
计算得到结果A；
若A>0，则判定缺陷管芯位于晶圆的边缘；若A≤0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的内部。
4.一种晶圆边缘管芯判定系统，其特征在于：包括参数输入系统、晶圆图生成系统和待检测管芯定位系统；
所述参数输入系统接收对晶圆加工成管芯的具体尺寸参数，以及设定的属于晶圆边缘的管芯；
所述晶圆图生成系统获取晶圆平面图像并以晶圆中心点为原点建立包括互相垂直的第一方向和第二方向的二维坐标系，然后根据参数输入系统接收的管芯尺寸参数将晶圆平面图像分割为若干个位于二维坐标系上的管芯，并将每个管芯在二维坐标系上的X和Y值作为对该管芯的位置参数；所述晶圆图生成系统，是以每个管芯在二维坐标系上所在的行和列作为描述管芯位置参数的X和Y值；
所述待检测管芯定位系统调用晶圆图生成系统中待判定管芯的位置参数以及参数输入系统中设定的属于晶圆边缘的管芯位置参数，计算待判定管芯以及属于晶圆边缘的管芯与原点之间的距离并进行比较判断出待判定管芯是否属于晶圆边缘的管芯；
所述待检测管芯定位系统调用晶圆图生成系统中距离原点最近的管芯的位置参数作为原点位置参数
Figure FDA0003032565710000031
其中，第一方向上晶圆中心点两端的管芯列数分别为Xmin，Xmax，第二方向上晶圆中心点两端的管芯行数分别为Ymin，Ymax；
所述待检测管芯定位系统中设置的计算单元通过圆形几何公式，带入待判定管芯位置参数(X，Y)、原点位置参数(X0,Y0)计算出待判定管芯与中心管芯之间的归一化距离
Figure FDA0003032565710000032
其中,
a为椭圆在第一方向的轴向特征值，等于晶圆图上的第一方向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的管芯圈数N以及管芯特征值常数P，
Figure FDA0003032565710000033
b为椭圆在第二方向的轴向特征值，等于晶圆图上的第二方向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的管芯圈数N以及管芯特征值常数P，
Figure FDA0003032565710000034
所述待检测管芯定位系统中设置的判定单元根据R(X，Y)的计算结果，依据R(X，Y)≤1+E判断该管芯位于非边缘，否则判断该管芯位于晶圆边缘的逻辑对待检测管芯的位置进行判定，其中E为晶圆边缘特征值常数。
5.如权利要求4所述的一种晶圆边缘管芯判定系统，其特征在于：所述参数输入系统，设定位于晶圆最外围的一圈或者多圈管芯属于晶圆边缘的管芯。
6.如权利要求4所述的一种晶圆边缘管芯判定系统，其特征在于：所述管芯特征值常数P为0.7；晶圆边缘特征值常数E为0.02；且所述计算单元中设置有管芯判断值公式A＝R(X，Y)-M，其中M为边缘判断特征值常数且M＝0.98，即
Figure FDA0003032565710000035
所述判定单元中设置有对计算得结果A的判定逻辑，具体为：若A>0，则判定缺陷管芯位于晶圆的边缘；若A≤0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的内部。
7.一种计算设备，包括：
一个或多个处理器；
存储器，所述存储器存储指令，当所述指令被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如权利要求1到3中任一所述的方法。
8.一种非暂时性机器可读存储介质，其存储有可执行指令，所述指令当被执行时使得所述机器执行如权利要求1到3中任一所述的方法。
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